JP2017076799A - 磁気ラッチ補助を備える基板容器 - Google Patents
磁気ラッチ補助を備える基板容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017076799A JP2017076799A JP2016201954A JP2016201954A JP2017076799A JP 2017076799 A JP2017076799 A JP 2017076799A JP 2016201954 A JP2016201954 A JP 2016201954A JP 2016201954 A JP2016201954 A JP 2016201954A JP 2017076799 A JP2017076799 A JP 2017076799A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door
- magnetic
- magnetic couplers
- substrate container
- couplers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
32 容器シェル
34 ドアフレーム
36 ドア
36a 前方パネル
36b 後方パネル
37 内部チャンバ
38 外周
42 ドア軸
43 座面
44 ガスケット
44a リップ
45 座面
52 機械的ドアラッチ
54 ラッチ先端
56 ラッチ位置
58 第1の磁気カプラ
61 磁化材料
62 第2の磁気カプラ
63 非磁性ケーシング
64 ドア軸42に平行な方向
65 間隙寸法
66 磁気結合
68 磁気引力
69 総磁気引力
71 力の所定の範囲
72 垂直投影面
74 第1の磁気カプラ58の面
76 第2の磁気カプラの面78の一部分
78 第2の磁気カプラの反対の面
80 グラフ
82 磁力曲線
84 磁力曲線
92 フレームポケット
94 ドアポケット
96 後方面
98 位置合わせ表面
102 前方面
104 位置合わせ表面
130 ドア
132 一体成形本体
134 内面
136 リブ
138 外側フランジ
142 座面
144 外周
146 ドアポケット
148 磁気カプラ
162 貫通孔
164 プラグ
166 円筒形空洞
172 外面
174 空所
176 鍵穴
178 溝付き止まり穴
179 内部空所
182 平面
200 ドア
202 シールド
204 磁石
206 外周
208 留め具
212 ポケット
250 基板容器
252 シェル部分
254 フレーム
256 ドア
258 プレート
Claims (18)
- 基板容器であって、
ドアフレームを含む容器シェルと、
前記ドアフレーム内に据えられたドアであって、ドア軸を中心として同心の外周を含むドアと、
前記容器シェル及び前記ドアフレームのうちの一方に取り付けられたガスケットと、
前記ガスケットの近くの複数の別個のラッチ位置で前記ドアを前記ドアフレームへ掛け止めする少なくとも1つの機械的ドアラッチと、
前記ドア及び前記ドアフレームの少なくとも一方に取り付けられた複数の磁気カプラと
を含み、
前記複数の磁気カプラにより前記ドアと前記ドアフレームとの間に総磁気引力が生じる、基板容器。 - 前記少なくとも1つの機械的ドアラッチが前記ドアに取り付けられる、請求項1に記載の基板容器。
- 前記少なくとも1つの機械的ドアラッチが前記ドア内に取り付けられ、かつ前記ドアの前記外周の周りの前記複数の別個のラッチ位置で前記ドアを前記ドアフレームへ掛け止めするために、前記ドアの前記外周を通って前記ドアフレーム内へ延在する複数のラッチ先端を含む、請求項2に記載の基板容器。
- 前記少なくとも1つの機械的ドアラッチが、前記ドアの前記外周の周りの前記複数の別個のラッチ位置で、前記ドアを前記ドアフレームへ掛け止めする、請求項3に記載の基板容器。
- 前記総磁気引力が所定の力の範囲内にある、請求項1に記載の基板容器。
- 前記総磁気引力が、両端を含む50ニュートン〜200ニュートンの力の範囲にある、請求項5に記載の基板容器。
- 前記総磁気引力が、両端を含む80ニュートン〜150ニュートンの力の範囲にある、請求項6に記載の基板容器。
- 前記総磁気引力が、両端を含む100ニュートン〜130ニュートンの力の範囲にある、請求項7に記載の基板容器。
- 前記総磁気引力が、両端を含む120ニュートン〜200ニュートンの力の範囲にある、請求項8に記載の基板容器。
- 前記複数の磁気カプラのうちの磁気カプラが互いに接触しない、請求項1に記載の基板容器。
- 前記複数の磁気カプラのうちの第1の複数の磁気カプラが前記ドアフレームに近接して及び前記複数の別個のラッチ位置間に取り付けられ、
前記複数の磁気カプラのうちの第2の複数の磁気カプラが前記ドアに取り付けられ、前記複数の磁気カプラのうちの前記第2の複数の磁気カプラが前記複数の磁気カプラのうちの前記第1の複数の磁気カプラと実質的に整列しており、
前記総磁気引力が前記複数の磁気カプラのうちの前記第1の複数の磁気カプラと前記複数の磁気カプラのうちの前記第2の複数の磁気カプラとの間に生じる、請求項1に記載の基板容器。 - 前記複数の磁気カプラのうちの前記第1の複数の磁気カプラ及び前記複数の磁気カプラのうちの前記第2の複数の磁気カプラが、前記ドア軸に対して平行な方向に実質的に整列する、請求項11に記載の基板容器。
- 前記ドアフレームが、複数のポケットであって、その中に前記第1の複数の磁気カプラが取り付けられる、複数のポケットを規定する、請求項11に記載の基板容器。
- 前記第1の複数の磁気カプラが磁化材料を含む、請求項11に記載の基板容器。
- 前記第2の複数の磁気カプラが鉄鋼材料を含む、請求項11に記載の基板容器。
- 前記第1の複数の磁気カプラのうちの前記磁気カプラの少なくとも幾つかが、前記ドアフレームのそれぞれのエッジに近接してセンタリングされ、及び前記第2の複数の磁気カプラの少なくとも幾つかが、前記ドアのそれぞれのエッジに近接してセンタリングされる、請求項1に記載の基板容器。
- 磁気シールドが、基板搬送装置の内部チャンバと、前記第1の複数の磁気カプラ及び前記第2の複数の磁気カプラのうちの少なくとも一方との間に配置される、請求項11に記載の基板容器。
- 前記第1の複数の磁気カプラのうちの前記磁気カプラの又は前記第2の複数の磁気カプラの少なくとも幾つかが、非磁性ケーシングに含まれる磁化材料を含む、請求項11に記載の基板容器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562242032P | 2015-10-15 | 2015-10-15 | |
US62/242,032 | 2015-10-15 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017076799A true JP2017076799A (ja) | 2017-04-20 |
JP2017076799A5 JP2017076799A5 (ja) | 2019-11-14 |
JP6961335B2 JP6961335B2 (ja) | 2021-11-05 |
Family
ID=58551570
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016201954A Active JP6961335B2 (ja) | 2015-10-15 | 2016-10-13 | 磁気ラッチ補助を備える基板容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6961335B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11951468B2 (en) | 2018-03-16 | 2024-04-09 | Eppendorf Se | Laboratory cabinet device for storing laboratory samples, comprising a magnetic closure |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60160539U (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-25 | ソニー株式会社 | 半導体ウエハ等収納容器 |
WO1998056676A1 (fr) * | 1997-06-13 | 1998-12-17 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Recipient en feuille mince pourvu d'un couvercle |
JPH11317438A (ja) * | 1997-11-12 | 1999-11-16 | Intevac Inc | 基板キャリアの磁気支持を利用する基板支持装置 |
US20070175792A1 (en) * | 2006-02-02 | 2007-08-02 | Barry Gregerson | Magnetic seal for wafer containers |
JP2010263185A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Gugeng Precision Industrial Co Ltd | ウェーハキャリア |
-
2016
- 2016-10-13 JP JP2016201954A patent/JP6961335B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60160539U (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-25 | ソニー株式会社 | 半導体ウエハ等収納容器 |
WO1998056676A1 (fr) * | 1997-06-13 | 1998-12-17 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Recipient en feuille mince pourvu d'un couvercle |
JPH11317438A (ja) * | 1997-11-12 | 1999-11-16 | Intevac Inc | 基板キャリアの磁気支持を利用する基板支持装置 |
US20070175792A1 (en) * | 2006-02-02 | 2007-08-02 | Barry Gregerson | Magnetic seal for wafer containers |
JP2010263185A (ja) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | Gugeng Precision Industrial Co Ltd | ウェーハキャリア |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11951468B2 (en) | 2018-03-16 | 2024-04-09 | Eppendorf Se | Laboratory cabinet device for storing laboratory samples, comprising a magnetic closure |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6961335B2 (ja) | 2021-11-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5103605B2 (ja) | ウェーハキャリア | |
US9919863B2 (en) | Reticle pod with cover to baseplate alignment system | |
JP6577048B2 (ja) | 磁気的に連結されるカセットを備えた底部開口ポッド | |
JP2017076799A (ja) | 磁気ラッチ補助を備える基板容器 | |
JP2020127294A (ja) | ロータコアの製造装置及びロータコアの製造方法 | |
TWI710046B (zh) | 具有磁性閂鎖輔助之基板容器 | |
TWI588069B (zh) | 用於收納基板之卡匣 | |
KR101908094B1 (ko) | 자성 유체 씰 | |
CN105905421A (zh) | 一种粘接钕铁硼磁体用的装料盒 | |
US7654304B2 (en) | Clamshell chassis assembly | |
TW201900284A (zh) | 噴嘴單元、及具備噴嘴單元的環境氣體置換裝置、與環境氣體置換方法 | |
TWI788852B (zh) | 真空用電磁鐵裝置及其製造方法 | |
JP5798403B2 (ja) | 連通部開閉装置 | |
JP7445655B2 (ja) | ロック装置、ロックシステム、及びロック装置の作動方法 | |
JP2008021744A (ja) | 半導体ウェーハ収納容器 | |
CN108361400B (zh) | 真空阀 | |
KR20220113679A (ko) | 주사전자현미경용 시료 밀폐 장치 | |
TWI688030B (zh) | 收納容器的蓋體及收納容器 | |
JP3573410B2 (ja) | 型吸着装置を備えた型締装置 | |
TWI847322B (zh) | 用於倍縮光罩之設備及組裝倍縮光罩盒之方法 | |
JP2003172470A (ja) | 電磁弁 | |
KR20180016543A (ko) | 일체형 본체를 갖는 도어를 갖는 웨이퍼 캐리어 | |
JPS6018670A (ja) | 高速弁 | |
CN217499389U (zh) | 一种蒸发源结构及蒸镀设备 | |
KR102533363B1 (ko) | 영구자석을 이용한 가림막 이송장치 구조 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20171124 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20180406 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20190920 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190930 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190930 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20191015 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201030 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210212 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210413 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210813 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20210813 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20210823 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20210824 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210928 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211013 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6961335 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |