JP6961335B2 - 磁気ラッチ補助を備える基板容器 - Google Patents

Description

本開示は概して、基板容器及びウエハ搬送装置に関し、より詳細には、そのような基板容器のドアラッチに関する。

様々な従来の基板搬送装置、例えば正面開口式一体型ポッド（ＦＯＵＰ）及び標準機械的インターフェイス（ＳＭＩＦ）ポッドは、それに対するアクセスのための開口部を規定する容器シェルを含む。シェルの開口部は、フレームであって、フレーム内へ掛け止めされるドアを受け入れてシェルとともに筐体を形成するフレームに囲まれることが多い。ガスケットがドアとシェルとの間に配置され、筐体内の微環境の完全性を保存する。

周囲環境において見出される酸素及び水蒸気などの特定の構成物質が、基板の品質を低下させることで知られている。従って、これらの構成物質が筐体内の微環境へ入ることを防ぐことが望ましい。しかしながら、従来の基板容器は、不活性ガスで能動的に加圧されない場合、時間が経つにつれて周囲の雰囲気から周囲の構成物質が入ることを許すようになる。周囲の構成物質の周知の入口の１つはドアとシェルとの間のガスケットである。従って、基板容器のドアとシェルとの間のシーリング配置構成に対する改良形態が歓迎されるであろう。

本開示の様々な実施形態において、基板搬送装置は、ドアのシェルへシーリングするのを補助する磁気カプラを追加した機械的ドアラッチを含む。改良された据付により、ドアシールを通じた漏出速度を低下させることができる。様々な実施形態が、機械的ドアラッチの複雑さを増すことなくガスケットシーリングを向上させる。

磁気カプラは、ドアガスケットの近くの機械的ドアラッチのラッチ位置同士の間の位置でシェル及びドア上に位置する。ドアが設置されてシェル内へ掛け止めされると、磁力が、機械的ドアラッチのラッチ位置間にあるガスケットに沿ったセグメントでガスケットに対して追加的な圧縮シーリング力を提供する。様々な実施形態が、業界標準の負荷ポートインターフェイスで作動する。ある実施形態において、作動的に結合した磁気カプラ同士の間の磁気空隙を減らすために、ポケットがドアハウジング及びシェル内へ（例えば、鋳型形状又は成形後機械加工により）形成される。特定の実施形態において、磁気結合が追加的な粒子生成をしにくいように、結合した磁気カプラが互いに接触せず、表面をドアシール以外に接触させない。

従来の基板搬送装置は、別個のラッチ位置でドアを容器シェルに向かって引くように作動する機械的ドアラッチを有し、この機械的ドアラッチは、ドアと容器シェルとの間のガスケットを圧縮する。ドアの固有の弾性により、ガスケットは、機械的ドアラッチの作動により、別個のラッチ位置の近くにおいて、別個のラッチ位置から離れたガスケットに沿ったポイントよりも大きい度合いで圧縮され得る。すなわち、ラッチ力はガスケットの長さに沿って均一に分配されない。ドアとシェルとの間の不均一なシーリングが存在し得、シールの完全性を損ない得る。

構造上、本開示の様々な実施形態において、基板容器は、ドアフレームを備えた容器シェルと、ドアフレーム内に据えられたドアであって、ドア軸を中心として同心の外周を含むドアと、を含む。ガスケットが容器シェル及びドアフレームのうちの一方へ取り付けられ得る。ある実施形態において、少なくとも１つの機械的ドアラッチが、ガスケットの近くの複数の別個のラッチ位置でドアをドアフレームへ掛け止めする。複数の磁気カプラが、ドア及びドアフレームの少なくとも一方に取り付けられてもよい。総磁気引力がドアとドアフレームとの間に複数の磁気カプラにより生じる。ある実施形態において、少なくとも１つの機械的ドアラッチがドアに取り付けられる。少なくとも１つの機械的ドアラッチがドア内に取り付けられてもよく、かつドアの外周の周りの複数の別個のラッチ位置でドアをドアフレームへ掛け止めするために、ドアの外周を通ってドアフレーム内へ延在する複数のラッチ先端を含んでもよい。ある実施形態において、少なくとも１つの機械的ドアラッチが、ドアの外周の周りの複数の別個のラッチ位置で、ドアをドアフレームへ掛け止めする。様々な実施形態において、複数の磁気カプラのうちの磁気カプラが互いに接触しない。ある実施形態において、複数の磁気カプラのうちの第１の複数の磁気カプラがドアフレームに近接して及び複数の別個のラッチ位置間に取り付けられ、複数の磁気カプラのうちの第２の複数の磁気カプラがドアに取り付けられる。複数の磁気カプラのうちの第２の複数の磁気カプラは複数の磁気カプラのうちの第１の複数の磁気カプラと実質的に整列してもよく、総磁気引力が複数の磁気カプラのうちの第１の複数の磁気カプラと複数の磁気カプラのうちの第２の複数の磁気カプラとの間に生じる。ある実施形態において、複数の磁気カプラのうちの第１の複数の磁気カプラ及び複数の磁気カプラのうちの第２の複数の磁気カプラは、ドア軸に対して平行な方向に実質的に整列する。

本開示の様々な実施形態において、基板容器は、ドアフレームを備えた容器シェルと、ドアフレーム内に据えられたドアと、を含むものとして開示される。ドアは、ドア軸を規定し、ドア軸を中心とする外周を含む。連続的なドアシールが容器シェル及びドアフレームのうちの一方に取り付けられる。ある実施形態において、少なくとも１つの機械的ドアラッチがドア内に取り付けられ、かつドアの外周の周りの複数の別個のラッチ位置でドアをドアフレームへ掛け止めするために、ドアの外周を通ってドアフレーム内へ延在する複数のラッチ先端を含む。第１の複数の磁気カプラがドアフレームに近接して及び複数の別個のラッチ位置同士の間に取り付けられてもよい。第２の複数の磁気カプラがドアに取り付けられてもよく、第２の複数の磁気カプラは、ドア軸に対して平行な方向に第１の複数の磁気カプラと実質的に整列する。総磁気引力が第１の複数の磁気カプラと第２の複数の磁気カプラとの間で生じ、総磁気引力は所定の力の範囲内にある。１つ又は複数の実施形態において、所定の力の範囲は両端を含む８０ニュートン〜１４０ニュートンである。本明細書において、「両端を含む」と言われる範囲は、述べられた範囲の端点を含む。

ドアフレームは、複数のポケットであって、その中に第１の複数の磁気カプラが取り付けられる、複数のポケットを規定し得る。ある実施形態において、第１の複数の磁気カプラは磁化材料を含む。ある実施形態において、第２の複数の磁気カプラは鉄鋼材料を含む。第１の複数の磁気カプラのうちの磁気カプラの少なくとも幾つかは、ドアフレームのそれぞれのエッジに近接してセンタリングされてもよく、及び第２の複数の磁気カプラの少なくとも幾つかは、ドアのそれぞれのエッジに近接してセンタリングされてもよい。

磁気シールドが、基板搬送装置の内部チャンバと、第１の複数の磁気カプラ及び第２の複数の磁気カプラのうちの少なくとも一方との間に配置され得る。ある実施形態において、磁気シールドは鉄鋼材料でできている。ある実施形態において、第１の複数の磁気カプラのうちの磁気カプラの又は第２の複数の磁気カプラの幾つかは、非磁性ケーシングに含まれる磁化材料を含む。

本開示の様々な実施形態において、基板容器は、ドアフレームを含む容器シェルと、ドアフレーム内に据えられたドアであって、ドア軸とドア軸を中心とする外周とを規定するドアと、容器シェル及びドアフレームのうちの一方へ取り付けられた連続的なドアシールと、を含む。少なくとも１つの機械的ドアラッチがドア内に取り付けられてもよく、かつドアの外周の周りの複数の別個のラッチ位置でドアをドアフレームへ掛け止めするために、ドアの外周を通ってドアフレーム内へ延在する複数のラッチ先端を含んでもよい。ある実施形態において、第１の複数の磁気カプラが、複数の別個のラッチ位置間で容器及びドアのうちの一方へ取り付けられる。第２の磁気カプラが容器及びドアの他方へ取り付けられてもよく、第２の磁気カプラは第１の複数の磁気カプラとドア軸に対して平行な方向に実質的に整列している。磁気引力が第１の複数の磁気カプラと第２の磁気カプラとの間で生じ、磁気引力は所定の力の範囲内にある。ある実施形態において、引力は両端を含む５０ニュートン（Ｎ）〜２００Ｎの範囲にあり、ある実施形態において、範囲は両端を含む８０Ｎ〜１５０Ｎであり、ある実施形態において、範囲は両端を含む１００Ｎ〜１３０Ｎであり、ある実施形態において、範囲は両端を含む１２０Ｎ〜１３０Ｎである。一実施形態において、引力の目標値は１２５Ｎである。１つ又は複数の実施形態において、第１の複数の磁気カプラは磁化材料を含み、第２の磁気カプラは磁気材料である。

本開示の様々な実施形態において、基板搬送装置を作る方法は、シェルとドアとを有する基板搬送装置を組み立てるステップであって、ドアがシェルのフレーム内にドア軸に沿って取り付け可能であり、ドアがドアをドアフレームへ固定するための少なくとも１つの機械的ドアラッチを含む、ステップと、ガスケットをドアとシェルとの間に配置するステップと、ドアフレームに近接して少なくとも１つの磁気カプラを取り付けるステップと、少なくとも１つの磁気カプラをドアへ取り付けるステップであって、ドアの少なくとも１つの磁気カプラがドアの少なくとも１つの磁気カプラフレームと実質的に整列している、ステップとを含む。実質的な整列はドア軸に対して平行な方向であってもよい。ある実施形態において、実質的な整列はドア軸に対して平行な方向である。ある実施形態において、ドアフレームに近接して少なくとも１つの磁気カプラを取り付けるステップにおいて取り付けられた少なくとも１つの磁気カプラは、複数の別個のラッチ位置間に取り付けられる。本方法はまた、ドアフレームに近接して取り付けられた少なくとも１つの磁気カプラと、少なくとも１つの磁気カプラであって、ドアへ取り付けられて所定の力の範囲内にある総磁気引力を生じる少なくとも１つの磁気カプラとを選択するステップを含んでもよい。一実施形態において、所定の力の範囲は、両端を含む８０ニュートン〜１４０ニュートンである。

本開示は、添付図面に関連する様々な例示的実施形態の以下の説明を考慮するとより詳細に理解され得る。

本開示の実施形態による基板容器の部分分解図である。 本開示の実施形態によるドアの及びドアフレームに近接した磁気カプラの部分切欠図である。 本開示の実施形態による図１の基板容器のためのドアの概略正面図である。 本開示の実施形態による基板容器の側部断面図である。 本開示の実施形態による、係合のために整列したドア及びドアフレームの部分断面図である。 本開示の実施形態による、係合している図５Ａのドア及びドアフレームの部分断面図である。 本開示の実施形態による、部分的に整列している磁気カプラの斜視図である。 本開示の実施形態による、１つの磁気カプラについて及び１０個の磁気カプラについての間隙寸法に対する磁力をプロットしたグラフである。 本開示の実施形態による基板容器のシェルの背面斜視図である。 図８のシェルの部分拡大図である。 本開示の実施形態による基板容器ドアの後方パネルの斜視図である。 本発明の実施形態による一体成形本体を有するドアの分解斜視図である。 図１１のドアの組立体の正面斜視図である。 図１２のドアの背面斜視図である。 本開示の実施形態による、磁石及び磁気シールドを備える基板容器ドアの部分図である。 図１４のドアの部分拡大断面図である。 本開示の実施形態による基板容器シェル及びドアの斜視図である。

本開示は様々な修正形態及び代替的形状に従う一方で、その詳細が、図面において一例として示されており、詳しく説明される。しかしながら、本開示の態様を説明された特定の例示的実施形態に限定することは意図されないことは理解されたい。対照的に、本開示の趣旨及び範囲内にある全ての修正形態、均等物、及び代替形態を包含することが意図される。

図１〜図４を参照すると、磁気ラッチ補助を備える基板容器３０が本開示の実施形態に従って示されている。基板容器３０は、ドアフレーム３４を有する容器シェル３２と、ドアフレーム３４内に閉鎖体を形成するよう寸法決めされたドア３６と、を含み、閉鎖体が基板容器３０の内部チャンバ３７（図４）を規定する。ドア３６は、前方パネル３６ａと、後方パネル３６ｂと、ドア軸４２を中心とした外周３８と、を含む。ある実施形態において、ドアフレーム３４は、ドア３６と容器シェル３２との間にシールを提供するためにドア３６に取り付けられる連続的なシール又はガスケット４４を受けるように構成された座面４３（図５）を規定する。ある実施形態において、ドアフレーム３４上の座面４３の代わりに又はそれに加えて、座面４５がドア３６上に構成される。ある実施形態（図示せず）において、ガスケット４４はドア３６の代わりにドアフレーム３４に取り付けられる。

様々な実施形態において、少なくとも１つの機械的ドアラッチ５２がドア３６内に取り付けられる。機械的ドアラッチ５２は、ドア３６の外周３８の周りの複数の別個のラッチ位置５６でドア３６をドアフレーム３４へ掛け止めするために、ドア３６の外周３８を通ってドアフレーム３４内へ延在する複数のラッチ先端５４を含み得る。ある実施形態において、第１の複数の磁気カプラ５８は、容器シェル３２のドアフレーム３４に近接して、複数の別個のラッチ位置５６の間に取り付けられる。第２の複数の磁気カプラ６２はドア３６に取り付けられてもよく、第２の複数の磁気カプラは第１の複数の磁気カプラ５８とドア軸４２に対して平行な方向６４で実質的に整列している。様々な実施形態において、第１及び第２の複数の磁気カプラ５８及び６２の幾つか又は全てが、磁化材料６１であって非磁性（例えば、ポリマー）ケーシング６３内に封入されるか、又はそうでなければ包含される磁化材料６１を含む。

本出願の目的上、「磁気カプラ」は磁化材料か又は磁化材料へ引き付けられる材料かのいずれかとして定義される。「磁化材料」は、磁性の材料、例えばアース永久磁石又は起動された電磁石である。磁化材料へ引き付けられる材料の例は、鋼又は鉄などの鉄鋼材料及び引き付けられる磁化材料である関連する合金を含む。

図４、図５Ａ、及び図５Ｂを参照すると、本開示の実施形態による、基板容器３０のドアフレーム３４内でのドア３６の動作が図示されている。ドア３６はドアフレーム３４と共に配置される。図１〜図３を参照して説明される機械的ドアラッチ５２は、ドア３６をドアフレーム３４に固定するために作動され得る。ある実施形態において、機械的ドアラッチ５２は、ドアを容器シェル３２に向かって引き、ドア３６と容器シェル３２との間のガスケット４４を圧縮するよう作動する。ドア３６の固有の弾性のため、ガスケット４４は、機械的ドアラッチ５２の作動により別個のラッチ位置５６の近くで圧縮され得る。ある実施形態において、ドア３６がドアフレーム３４内に据えられる及び／又は掛け止めされると、ガスケット４４のリップ４４ａがドア３６及びドアフレーム３４の両方に係合（例えば、ドアフレーム３４の座面４３及びドア３６の座面４５の両方に係合）し、それにより基板容器３０の内部及び外部の間の２つの連続的なシール線を確立する。

ドア３６をドアフレーム３４内に据えることにより、第１の複数の磁気カプラ５８及び第２の複数の磁気カプラ６２が、磁気結合６６が反対の第１及び第２の磁気カプラ５８及び６２（図５Ｂ）の各々の間に生じる距離又は間隙寸法６５内にもたらされる。各磁気結合６６がドア３６をドアフレーム３４の座面４３のより近くへ局所的に引くのに十分な磁気引力６８を確立することができ、それによりそれぞれの反対の第１及び第２の磁気カプラ５８及び６２の近くでガスケット４４をさらに圧縮する。磁気引力６８の和は総磁気引力６９を確立する。

機能的に、磁気引力６８及びそれに続く総磁気引力６９は、複数の別個のラッチ位置５６間のガスケット４４に沿った位置でドアフレーム３４のより近くにドア３６を引く又は偏向させる。ドア３６の偏向は追加的な圧縮力をガスケット４４へかけ、別個のラッチ位置５６間にあるガスケット４４に沿ったポイント又はセグメントでのシールの完全性を高める。

ある実施形態において、ドア３６がドアフレーム３４内に据えられると、機械的ドアラッチ５２は、仮説による最悪の場合の衝撃事象の間、ドア３６を適所に保持する設計されたドア保持力を提供するのに必要な構造を提供する。総磁気引力６９は、設計されたドア保持力に加えてのものであり、設計コンダクタンスでドアフレーム３４とドア３６との間のガスケット４４の完全性を維持するのに十分な力を提供する。「コンダクタンス」は、高い圧力での基板搬送装置の漏出速度又は圧減衰に関するパラメータである。所与の基板搬送装置についての所与の圧力でのコンダクタンスが大きいほど、漏出速度は遅い。

１つ又は複数の実施形態において、係合した機械的ドアラッチ５２と総磁気引力６９とが組み合わさって設計されたドア保持力を提供する。これらの配置構成により、総磁気引力６９は、実質的に、最悪の場合の衝撃事象においてドアを保持するのに必要な力未満であり得る最小又は望ましいコンダクタンスを提供するようにのみ設計される。従って、機械的ドアラッチが掛け止めを外されるとドア３６はドアフレーム３４から容易に除去され得る。

図６を参照すると、第１及び第２の磁気カプラ５８及び６２が、本開示の様々な実施形態のための実質的に整列した状態で示されている。本開示の目的上、「実質的な整列」は、第１の磁気カプラ５８の面７４の垂直投影面７２が、第２の磁気カプラ６２の反対の面７８の少なくとも一部分７６でドア軸４２に対して平行な方向６４に重なる整列として定義される。同様に本開示の目的上、「最適な整列」は、磁気カプラ５８及び６２の面７４及び７８が互いに平行であり、第１の磁気カプラ５８の面７４の垂直投影面７２が第２の磁気カプラ６２の反対の面７８の一部分７６に最大限重なる整列として定義される。

図７を参照すると、本開示の実施形態による、間隙寸法６５の関数としての磁気カプラ５８及び６２の間の磁力曲線８２及び８４のグラフ８０が表されている。磁力曲線８２及び８４は、それぞれ複数の磁気カプラ５８及び６２の個々の磁石の磁気引力６８及び総磁気引力６９を表す。グラフ８０は、第１の複数の磁気カプラ５８及び第２の複数の磁気カプラ６２の両方が磁化材料でできており、互いに面する磁気カプラ５８及び６２の反対の磁極と最適に整列する場合に予期される力のレベルの代表である。

磁力曲線８２についてのデータは、例えば、Pipersville、Pennsylvania、U.S.A.のK & J Magnetics, Incにより供給されるModel BY044ネオジウムブロック磁石など、２インチ（ｉｎ）×０．２５ｉｎ×０．２５ｉｎの寸法を有するＮ４２タイプネオジウムブロック磁石に対応する。総磁気引力６９の磁力曲線８４は、１０個の磁気カプラ６２と最適に整列した１０個の磁気カプラ５８の代表であり、各磁気カプラ５８及び６２はＮ４２タイプネオジウムブロック磁石である。

特定の実施形態において、磁気引力６８は所定の力の範囲内にある。同様に、総磁気引力６９は所定の力の範囲７１内にあり得る。例えば、グラフ８０に従って、力曲線８４から取られる１０個の磁石対システムについての総磁気引力６９は、最適に整列された８ミリメートル（ｍｍ）の間隙寸法６５でおよそ１２５ニュートン（Ｎ）となるであろう。第１の複数の磁気カプラ５８と第２の複数の磁気カプラ６２との間のいくらかの不整合を認めること、及び元々予測された磁力の不確実性を認めると、８ｍｍの間隙寸法６５について期待される総磁気引力６９についての代表的な及び非限定的な力の範囲は、両端を含む８０Ｎ〜１４０Ｎである。ある実施形態において、引力は両端を含む５０ニュートン（Ｎ）〜２００Ｎの範囲にあり、ある実施形態において、範囲は両端を含む８０Ｎ〜１５０Ｎであり、ある実施形態において、範囲は両端を含む１００Ｎ〜１３０Ｎであり、ある実施形態において、範囲は両端を含む１２０Ｎ〜１３０Ｎである。一実施形態において、引力の目標値は１２５Ｎである。

図８〜図１０を参照すると、本開示の実施形態に従って、基板容器３０のドアフレーム３４は複数のフレームポケット９２を規定するとして示され、ドア３６は複数のドアポケット９４を規定するとして示される。フレームポケット９２はドアフレーム３４の後方面９６上に位置付けられ、各フレームポケット９２はドアフレーム３４の座面（図５Ｂ）４３の反対の位置合わせ表面９８を規定する。ドアポケット９４はドア３６の後方パネル３６ｂの前方面１０２上に位置付けられ、各ドアポケット９４はドア３６の座面４５（図５Ａ及び図５Ｂ）の反対の位置合わせ表面１０４を規定する。ある実施形態において、ドア３６がドアフレーム３４と共に据えられると、複数のフレームポケット９２の各々は方向付けられ、複数のドアポケット９４の対応する１つと整列させられる。

機能的に、フレームポケット９２及びドアポケット９４により、磁気カプラ５８及び６２が、ポケット９２、９４なしの構成についてよりも、互いにより近づくことが可能になる。磁気カプラ５８及び６２がより近づくことにより、より強い磁気引力６８及び６９が可能になり、並びに／又は弱い磁気強度の磁石で同じレベルの磁気引力６８及び６９が可能になる。ポケット９２、９４はまた、製造及び組立プロセスの間の磁気カプラ５８、６２の取付位置の容易な識別も可能にし得る。

図１１〜図１３を参照すると、本開示の実施形態による基板搬送装置３０のためのドア１３０が示される。ドア１３０は単一の又は一体成形本体１３２を含む。様々な実施形態において、ガスケット４４がドア１３０へ取り付けられる。内面１３４はリブ１３６を含み得る。特定の実施形態において、ドア１３０の外側フランジ１３８は、ガスケット４４とインターフェイスする座面１４２を含む。フランジ１３８はまた、外周１４４を含み得る。ある実施形態において、複数のドアポケット１４６が外側フランジ１３８内に規定され、外周１４４から接近可能である。複数の磁気カプラ１４８が複数のドアポケット１４６内に配置されてもよい。様々な実施形態において、磁気カプラ１４８は、基板容器３０のドアフレーム３４に近接して取り付けられた磁気カプラ５８と整列する（図１）。図示の実施形態において、ドア１３０は機械的ドアラッチを含まない。従って、１つ又は複数の実施形態において、磁気カプラ５８、１４８は、仮説による最悪の場合の衝撃事象の間、ドア３６を適所に保持するために、設計されたドア保持力でドア１３０を保持するようなサイズにされる。様々な実施形態において、ドア１３０は貫通孔１６２を規定する。貫通孔１６２は、内面１３４から貫通孔１６２をシールするプラグ１６４と（例えば、超音波溶接又はレーザー溶接により）嵌合してもよい。貫通孔１６２及び／又はプラグ１６４は、ドア１３０の内面１３４に隣接して円筒形空洞１６６を規定してもよい。

図１２を参照すると、ドア１３０の本体１３２はまた外面１７２を含む。様々な実施形態において、本体１３２は、ロボットによる自動制御装置とインターフェイスするのに必要な場合のみ、外面１７２から接近可能な空所１７４を規定する。例えば、空所１７４は貫通孔１６２を含んでもよく、各貫通孔１６２は鍵穴１７６を規定する。空所１７４は溝付き止まり穴１７８を含み得る。

機能的に、リブ１３６は、本体１３２を射出成形又は鋳造技術を使用して製造することを可能にし、また、ドア１３０へ剛性を与える。リブ１３６間に規定される内部空所１７９は、フランジ１３８の厚さを有する厚板の重量よりもドア１３０の重量を減少させる。鍵穴１７６は、半導体製造装置材料協会（Semiconductor Equipment and Materials International）（ＳＥＭＩ（登録商標））標準鍵（図示せず）とインターフェイスするように構成される。鍵穴１７６より寸法が大きい円筒形空洞１６６により、ドア１３０の本体１３２と共に鍵が回転することが可能になり、鍵の回転時にドア１３０を効果的にフックすることが可能になる。溝付き止まり穴１７８により、ＳＥＭＩ（登録商標）標準ドアピンとインターフェイスすることが可能になる。止まり穴１７８を囲む平面１８２により、ＳＥＭＩ（登録商標）標準真空カップとのインターフェイスが可能になり得る。

空所１７４を、ロボットによる自動制御装置とのインターフェイスにのみ必要であると定義することにより、ドア１３０と負荷ポート（図示せず）のベースとの間の空洞内に捕捉され得る酸素の量が減らされる。基板容器３０が負荷ポートとドッキングされ、ドア１３０が除去されると、ドア空所１７４内に捕捉される酸素の量が、装置フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）環境内へ放出される。空所１７４の体積を減らすことにより放出される酸素の量を減らす又は最小化することにより、ＥＦＥＭ環境内の酸素の量の増加が少なくなる。

図１４及び図１５を参照すると、本開示の実施形態による、磁石２０４を遮蔽するためのシールド２０２を含むドア２００が示される。シールド２０２は、例えば留め具２０８で、ドア２００の外周２０６に近接して取り付けられる。ある実施形態において、シールド２０２は磁石２０４を収納するためのポケット２１２を規定する。この配置構成はドア３６又はドア１３０内へ組み込むことができ、ポケット２１２及び常駐の磁石２０４が第１の複数の磁気カプラ５８と磁気結合するように整列されている。ある実施形態において、同等なシールド配置構成がドアフレーム３４内に組み込まれる。

機能的に、ある実施形態において、シールド配置構成は、内部チャンバ３７を磁石２０４の磁束から遮蔽する又は内部チャンバ３７の磁石２０４の磁束を減少させる。シールドはまた、例えば磁石２０４が対になっている対応する磁気カプラに向かってなどの望ましい方向に磁気エネルギーを集中させ得る。

図１６を参照すると、本開示の一実施形態による基板容器２５０が示される。基板容器２５０は、フレーム２５４を有するシェル部分２５２と、基板容器２５０の閉鎖体を提供するドア２５６とを含む。ドア２５６は、ドア３６及びドア１３０の磁気カプラ５８についての上述のとおり、磁石（図示せず）と嵌合される。ガスケット（図示せず）がドア２５６とシェル部分２５２との間に配置されてもよい。図示された実施形態において、シェル部分２５２はフレーム２５４に近接して配置されるプレート２５８を含む。プレート２５８は、鉄鋼材料（例えば、鋼又は鉄及び特定の関連する合金）などの磁石へ引き付けられる材料でできている。

基板容器２５０の磁気ラッチ又は磁気ラッチ補助は、基板容器３０と同じ原理で動作する。ドア２５６の磁石はプレート２５８へ引き付けられ、それによりガスケットへ圧縮をもたらす。

詳細な説明は、異なる図面の同様の要素に同じ番号が振られる図面を参照して読まれなければならない。必ずしも縮尺どおりではない詳細な説明及び図面は、例示的実施形態を示し、本発明の範囲を限定することを意図するものではない。示された例示的実施形態は例示的なものとしてのみ意図されたものである。いずれの例示的実施形態の選択された特徴も、そうではないと明らかに述べられない限り、追加的な実施形態内に組み込まれ得る。

本明細書において開示された追加的な図及び方法の各々は、改良されたデバイス並びにデバイスを作製及び使用するための方法を提供するために、別々に使用することも、他の特徴及び方法と併せて使用することもできる。従って、本明細書において開示された特徴及び方法の組合せは、最も幅広い意味では本開示を実施するのに必要ではないこともあり、代わりに、説明する代表的かつ好ましい実施形態を特に説明するためのみに開示される。

本開示を読むと、実施形態に対する様々な修正形態が、当業者にとって明らかとなり得る。例えば、関連する技術分野の当業者は、異なる実施形態について説明される様々な特徴が、他の特徴と、単独で、又は異なる組合せで、適切に組み合わされ得る、分けられ得る、及び再び組み合わされ得ることを認めるであろう。同様に、上述の様々な特徴は全て、本開示の範囲又は趣旨への限定というよりむしろ例示的実施形態とみなされるべきである。

関連する技術分野の当業者は、様々な実施形態が上述の個々の任意の実施形態において示される特徴よりも少ない特徴を含み得ることを認めるであろう。本明細書において説明された実施形態は、様々な特徴が組み合わされ得る方法の徹底的な提示であることを意味するものではない。従って、実施形態は特徴の互いに排他的な組合せではなく、むしろ、特許請求の範囲は、当業者により理解されるとおり、異なる個々の実施形態から選択された異なる個々の特徴の組合せを含むことができる。

上記の文献の参照による組み込みはいずれも、本明細書における明示的な開示と逆である主題が組み込まれないよう限定されている。上記の文献の参照による組み込みはいずれも、文献に含まれる特許請求の範囲が本明細書において参照により組み込まれることがないように、さらに限定されている。上記の文献の参照による組み込みはいずれも、明確に本明細書に含まれない限り、文献において提供される定義がいずれも、参照により本明細書に組み込まれることがないよう、さらに限定されている。

本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用されるとおり、単数形「１つの（a）」、「１つの（an）」、及び「その（the）」は、文脈が明らかにそうではないと示さない限り、複数の参照物を含む。本明細書及び添付の特許請求の範囲で使用されるとおり、用語「又は」は一般に、文脈が明らかにそうではないと示さない限り、「及び／又は」を含むその意味で用いられる。本明細書に含まれる「実施形態」、「開示」、「本開示」、「本開示の実施形態」、「開示された実施形態」などへの言及は、そうではないと言明されない限り、自認された先行技術ではない、本特許出願の明細書（特許請求の範囲及び図面を含む本文）を指す。

特許請求の範囲を解釈する目的のために、米国特許法第１１２条（ｆ）の規定は、特定の用語「ための手段」又は「ためのステップ」がそれぞれの請求項で列挙されない限り発動されないことが明確に意図される。

３０ 基板容器
３２ 容器シェル
３４ ドアフレーム
３６ ドア
３６ａ 前方パネル
３６ｂ 後方パネル
３７ 内部チャンバ
３８ 外周
４２ ドア軸
４３ 座面
４４ ガスケット
４４ａ リップ
４５ 座面
５２ 機械的ドアラッチ
５４ ラッチ先端
５６ ラッチ位置
５８ 第１の磁気カプラ
６１ 磁化材料
６２ 第２の磁気カプラ
６３ 非磁性ケーシング
６４ ドア軸４２に平行な方向
６５ 間隙寸法
６６ 磁気結合
６８ 磁気引力
６９ 総磁気引力
７１ 力の所定の範囲
７２ 垂直投影面
７４ 第１の磁気カプラ５８の面
７６ 第２の磁気カプラの面７８の一部分
７８ 第２の磁気カプラの反対の面
８０ グラフ
８２ 磁力曲線
８４ 磁力曲線
９２ フレームポケット
９４ ドアポケット
９６ 後方面
９８ 位置合わせ表面
１０２ 前方面
１０４ 位置合わせ表面
１３０ ドア
１３２ 一体成形本体
１３４ 内面
１３６ リブ
１３８ 外側フランジ
１４２ 座面
１４４ 外周
１４６ ドアポケット
１４８ 磁気カプラ
１６２ 貫通孔
１６４ プラグ
１６６ 円筒形空洞
１７２ 外面
１７４ 空所
１７６ 鍵穴
１７８ 溝付き止まり穴
１７９ 内部空所
１８２ 平面
２００ ドア
２０２ シールド
２０４ 磁石
２０６ 外周
２０８ 留め具
２１２ ポケット
２５０ 基板容器
２５２ シェル部分
２５４ フレーム
２５６ ドア
２５８ プレート

Claims (9)

1. 基板容器であって、
   ドアフレームを含む容器シェルと、
   前記ドアフレーム内に据えられたドアであって、ドア軸を中心として同心の外周を含むドアと、
   前記容器シェル及び前記ドアフレームのうちの一方に取り付けられたガスケットと、
   前記ガスケットの近くの複数の別個のラッチ位置で前記ドアを前記ドアフレームへ掛け止めする少なくとも１つの機械的ドアラッチと、
   前記ドア及び前記ドアフレームの少なくとも一方に取り付けられた複数の磁気カプラとを含み、
   前記複数の磁気カプラにより前記ドアと前記ドアフレームとの間に総磁気引力が生じ、
   前記複数の磁気カプラのうちの第１の複数の磁気カプラが前記ドアフレームに近接して及び前記複数の別個のラッチ位置間に取り付けられ、
   前記複数の磁気カプラのうちの第２の複数の磁気カプラが前記ドアに取り付けられ、前記複数の磁気カプラのうちの前記第２の複数の磁気カプラが前記複数の磁気カプラのうちの前記第１の複数の磁気カプラと実質的に整列しており、
   前記総磁気引力が前記複数の磁気カプラのうちの前記第１の複数の磁気カプラと前記複数の磁気カプラのうちの前記第２の複数の磁気カプラとの間に生じ、
   前記第１の複数の磁気カプラと前記第２の複数の磁気カプラとの間には空間が設けられて５０ニュートン〜２００ニュートンの範囲を有する前記総磁気引力を生成し、
   磁気シールドが、前記基板容器の内部チャンバと、前記第１の複数の磁気カプラ及び前記第２の複数の磁気カプラのうちの少なくとも一方との間に配置される、基板容器。
2. 前記少なくとも１つの機械的ドアラッチが前記ドアに取り付けられる、請求項１に記載の基板容器。
3. 前記少なくとも１つの機械的ドアラッチが前記ドア内に取り付けられ、かつ前記ドアの前記外周の周りの前記複数の別個のラッチ位置で前記ドアを前記ドアフレームへ掛け止めするために、前記ドアの前記外周を通って前記ドアフレーム内へ延在する複数のラッチ先端を含む、請求項２に記載の基板容器。
4. 前記総磁気引力が所定の力の範囲内にある、請求項１に記載の基板容器。
5. 前記複数の磁気カプラのうちの前記第１の複数の磁気カプラ及び前記複数の磁気カプラのうちの前記第２の複数の磁気カプラが、前記ドア軸に対して平行な方向に実質的に整列する、請求項１に記載の基板容器。
6. 前記ドアフレームが、複数のポケットであって、その中に前記第１の複数の磁気カプラが取り付けられる、複数のポケットを規定する、請求項１に記載の基板容器。
7. 前記第１の複数の磁気カプラが磁化材料を含み、前記第２の複数の磁気カプラが鉄鋼材料を含む、請求項１に記載の基板容器。
8. 前記第１の複数の磁気カプラのうちの前記磁気カプラの少なくとも幾つかが、前記ドアフレームのそれぞれのエッジに近接してセンタリングされ、及び前記第２の複数の磁気カプラの少なくとも幾つかが、前記ドアのそれぞれのエッジに近接してセンタリングされる、請求項１に記載の基板容器。
9. 前記第１の複数の磁気カプラ又は前記第２の複数の磁気カプラの少なくとも幾つかが、非磁性ケーシングに含まれる磁化材料を含む、請求項１に記載の基板容器。

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