JP7445655B2 - ロック装置、ロックシステム、及びロック装置の作動方法 - Google Patents
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Description
さらに、ロック装置、特に真空ロック装置、および/またはロックシステム、特に真空ロックシステムの作動方法が提案される。このようにして、特に有利な輸送特性を得ることができる。特に、このようにして、ロック装置の高い適応性および/またはロック装置の特に高い気密性が有利に達成可能である。
12…ロック作動要素
14…開口部
16…開口部
18…支持ユニット
20…開放要素
22…開放要素
24…開口部
26…処理チャンバ
28…輸送チャンバ
30…制御および/または調整ユニット
32…圧力接続
34…真空ポンプ
36…結合要素
38…移動経路
40…移動経路
42…第2結合要素
44…側部
46…側部
48…キャリア要素
50…開口面
52…移動方向
54…移動方向
56…磁石
58…格納位置
60…ドッキング装置
62…固定要素
64…排気装置
66…ロックシステム
68…ロック装置
70…アイテム
72…シーリング要素
74…内部
76…内部
78…シーリング要素
80…内部
82…シーリング要素
84…側部
86…側部
88…開口部
90…圧力ダクト
92…バルブ
94…磁石
96…方法ステップ
98…方法ステップ
100…圧力センサ
102…方法ステップ
104…方法ステップ
106…方法ステップ
108…方法ステップ
110…方法ステップ
112…方法ステップ
114…方法ステップ
116…方法ステップ
118…方法ステップ
120…方法ステップ
Claims (24)
- ロック装置(68;68a;68b)、特に、真空ロック装置であって、特に真空気密閉鎖可能な少なくとも1つのロックチャンバ(10;10a;10b)を備え、前記ロックチャンバ(10;10a;10b)の少なくとも1つの開口部(14,16;14a,16a;14b,16b)、好ましくは、前記ロックチャンバ(10;10a;10b)の少なくとも2つの開口部(14,16;14a,16a;14b,16b)の開放状態を調整するように少なくとも構成された、移動可能に支持された少なくとも1つのロック作動要素(12;12a;12b)を備え、前記ロック作動要素(12;12a;12b)を移動可能に支持するように構成された支持ユニット(18;18a;18b)を備えるロック装置において、
前記ロック作動要素(12;12a;12b)は、少なくとも半自動化された方法で、前記ロック作動要素(12;12a;12b)と少なくとも1つの開放要素(20;20a;20b)との間の作動的にリリース可能な力嵌めおよび/または形状嵌め結合を生成するように少なくとも構成されており、前記開放要素(20;20a;20b)は、少なくとも前記ロックチャンバ(10;10a;10b)の開口部(14,16;14a,16a;14b,16b)および/またはさらなるチャンバ(26,28;26a,28a;26b,28b)、特に、前記ロックチャンバ(10;10a;10b)と結合可能な処理チャンバ(26;26a;26b)または輸送チャンバ(28;28a;28b)の少なくとも1つの開口部(24;24a;24b)を閉鎖、好ましくは真空気密閉鎖するように少なくとも構成されており、
前記ロック作動要素(12;12a;12b)は、少なくとも前記開放要素(20,22;20a,22a;20b,22b)との少なくとも磁気結合のために構成されていることを特徴とする、ロック装置(68;68a;68b)。 - 前記ロック作動要素(12;12a;12b)は、少なくとも半自動化された方法で前記ロック作動要素(12;12a;12b)と、前記開放要素(20;20a;20b)とは異なる少なくとも1つの第2開放要素(22;22a;22b)との間の力嵌めおよび/または形状嵌め結合を生成するように少なくとも構成されていることを特徴とする、請求項1に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記ロック作動要素(12;12a;12b)は、少なくとも1つの作動状態において、前記開放要素(20;20a;20b)及び前記第2開放要素(22;22a;22b)と少なくとも同時に力嵌めおよび/または形状嵌め結合されるように構成されることを特徴とする、請求項2に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記開放要素(20;20a;20b)によって閉鎖可能な前記ロックチャンバ(10;10a;10b)の前記開口部(14;14a;14b)と、前記第2開放要素(22;22a;22b)によって閉鎖可能な前記ロックチャンバ(10;10a;10b)の第2開口部(16;16a;16b)とは、前記ロックチャンバ(10;10a;10b)における反対の両側部(84,86;84a,84b;84b,86b)に配置されていることを特徴とする、請求項2または請求項3に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記開口部(14;14a;14b)の開口面(50;50a;50b)に垂直な視線方向において、少なくとも前記開口部(14;14a;14b)と前記第2開口部(16;16a;16b)とは、少なくとも大部分が重なっており、
前記少なくとも大部分は、少なくとも66%を意味することを特徴とする、請求項4に記載のロック装置(68;68a;68b)。 - 前記ロック作動要素(12;12a;12b)は、少なくとも前記開放要素(20,22;20a,22a;20b,22b)との少なくとも作動的にリリース可能な力嵌めおよび/または形状嵌めによる機械的結合のために少なくとも構成されていることを特徴とする、請求項1~請求項5のいずれか一項に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記ロック作動要素(12;12a;12b)は、少なくとも前記開放要素(20,22;20a,22a;20b,22b)との空気圧結合のために構成されていることを特徴とする、請求項1~請求項6のいずれか一項に記載のロック装置。
- 前記ロック作動要素(12;12a;12b)は、互いに異なる少なくとも2つの移動経路(38,40;38a,40a;38b,40b)に沿って移動可能に前記支持ユニット(18;18a;18b)によって支持された少なくとも1つの結合要素(36;36a;36b)を備えることを特徴とする、請求項1~請求項7のいずれか一項に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記ロック作動要素(12;12a;12b)は少なくとも1つの第2結合要素(42;42a;42b)を含み、前記結合要素(36;36a;36b)および前記第2結合要素(42;42a;42b)は、前記ロック作動要素(12;12a;12b)における反対の両側部(44,46;44a,46a;44b,46b)に配置されることを特徴とする、請求項8に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記結合要素(36;36a;36b)および/または前記第2結合要素(42;42a;42b)は、少なくとも前記結合要素(36;36a;36b)および/または前記第2結合要素(42;42a;42b)を運ぶ前記ロック作動要素(12;12a;12b)の移動可能に支持されたキャリア要素(48;48a;48b)に対して少なくとも移動可能であるように、前記支持ユニット(18;18a;18b)によって支持されることを特徴とする、請求項9に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記結合要素(36;36a)および/または前記第2結合要素(42;42a)は、前記支持ユニット(18;18a)によって、前記ロックチャンバ(10;10a)の前記開口部(14;14a)の開口面(50;50a)に少なくとも実質的に垂直に延びる移動方向(52、54;52a、54a)に少なくとも沿って移動可能であることを特徴とする、請求項9または請求項10に記載のロック装置(68;68a)。
- 前記結合要素(36b)および/または前記第2結合要素(42b)は、少なくとも実質的に弧状の移動経路(40.1b,40.2b)に少なくとも沿って移動可能に前記支持ユニット(18b)によって支持されることを特徴とする、請求項9または請求項10に記載のロック装置(68b)。
- 前記開放要素(20,22;20a,22a;20b;22b)との結合のため、前記結合要素(36;36a;36b)および前記第2結合要素(42;42a;42b)は、少なくとも実質的に互いに対向する複数の移動方向(52、54;52a、54a;52b、54b)に移動可能であることを特徴とする、少なくとも請求項9に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記ロック作動要素(12;12a;12b)は、磁場によって前記ロック作動要素(12;12a;12b)と前記開放要素(20、22;20a、22a;20b、22b)との間に力嵌め結合を少なくとも部分的に生成するように特に構成された少なくとも1つの磁石(56;56a;56b)を備えることを特徴とする、請求項1~請求項13のいずれか一項に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記ロック作動要素(12;12a;12b)は、前記支持ユニット(18;18a;18b)によって、前記ロックチャンバ(10;10a;10b)の前記開口部(14;14a;14b)の開口面(50;50a;50b)に少なくとも実質的に平行に延びる少なくとも平面内で移動可能であることを特徴とする、請求項1~請求項14のいずれか一項に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記開放要素(20,22;20a,22a;20b,22b)と力嵌めおよび/または形状嵌め結合された状態で前記ロック作動要素(12;12a;12b)は、前記支持ユニット(18;18a;18b)によって格納位置(58;58a;58b)に移動可能であり、前記格納位置(58;58a;58b)では、前記ロック作動要素(12;12a;12b)と、前記ロック作動要素(12;12a;12b)と力嵌めおよび/または形状嵌め結合された前記開放要素(20,22;20a,22a;20b,22b)とは、開放状態が前記ロック作動要素(12;12a;12b)によって調整可能な前記開口部(14,16,24;14a,16a,24a;14b,16b,24b)と重なりがないことを特徴とする、請求項1~請求項15のいずれか一項に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記ロックチャンバ(10;10a;10b)は、輸送チャンバ(28;28a;28b)の前記ロックチャンバ(10;10a;10b)への真空気密ドッキングを可能にするように少なくとも構成された少なくとも1つのドッキング装置(60;60a;60b)を備えることを特徴とする、請求項1~請求項16のいずれか一項に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記ドッキング装置(60;60a;60b)は、前記ロックチャンバ(10;10a;10b)に対して少なくとも前記輸送チャンバ(28;28a;28b)を力嵌めおよび/または形状嵌め保持するために構成された少なくとも1つの固定要素(62;62a;62b)を備えることを特徴とする、請求項17に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- 前記ロックチャンバ(10;10a;10b)は、少なくとも1つの排気装置(64;64a;64b)を備えることを特徴とする、請求項1~請求項18のいずれか一項に記載のロック装置(68;68a;68b)。
- ロックシステム(66;66a;66b)、特に真空ロックシステムであって、請求項1~請求項19のいずれか一項に記載のロック装置(68;68a;68b)、特に真空ロック装置を備え、特に真空下で処理ステップを実行するための処理チャンバ(26;26a;26b)を備え、かつ、輸送チャンバ(28;28a;28b)、特に真空輸送容器を備えたロックシステム(66;66a;66b)。
- 前記ロック装置(68;68a;68b)が前記処理チャンバ(26;26a;26b)に固定的に接続されること、および/または、前記ロック装置(68;68a;68b)が前記処理チャンバ(26;26a;26b)内に少なくとも部分的に配置されることを特徴とする、請求項20に記載のロックシステム(66;66a;66b)。
- 請求項20または請求項21に記載のロックシステム(66;66a;66b)の輸送チャンバ(28;28a;28b)、特に真空輸送容器。
- 請求項1~請求項19のいずれか一項に記載のロック装置(68;68a;68b)、特に、真空ロック装置、および/または、請求項20又は請求項21に記載のロックシステム(66;66a;66b)、特に真空ロックシステムの作動方法。
- 方法ステップ(96,98,102~120;96a,98a,102a~120a;96b,98b,102b~120b)の少なくとも1つのシーケンスにおいて、輸送チャンバ(28;28a;28b)の内容物は、前記ロック装置(68;68a;68b)によって前記輸送チャンバ(28;28a;28b)から処理チャンバ(26;26a;26b)に運ばれ、またはその逆に運ばれ、前記輸送チャンバ(28;28a;28b)は、前記輸送チャンバ(28;28a;28b)内の圧力が前記ロック装置(68;68a;68b)のロックチャンバ(10;10a;10b)内の圧力と少なくとも実質的に同等である場合にのみ開かれることを特徴とする、請求項23に記載の方法。
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