JP2022510636A - ロック装置、ロックシステム、及びロック装置の作動方法 - Google Patents

Abstract

本発明は、特に真空気密閉鎖可能な少なくとも１つのロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）を備え、前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）の少なくとも１つの開口部（１４，１６；１４ａ，１６ａ；１４ｂ，１６ｂ）、好ましくは、前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）の少なくとも２つの開口部（１４，１６；１４ａ，１６ａ；１４ｂ，１６ｂ）の開放状態を調整するための移動可能に支持された少なくとも１つのロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）を備え、前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）を移動可能に支持するための支持ユニット（１８；１８ａ；１８ｂ）を備えたロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）、特に、真空ロック装置に関する。

Description

この発明は、ロック装置、ロックシステム、輸送チャンバ、及びロック装置の作動方法に関する。

少なくとも１つのロックチャンバを備えたロック装置がすでに提案されている。そのロック装置は、移動可能に支持された少なくとも１つのロック作動要素と、支持ユニットとを備える。ロック作動要素は、少なくとも、ロックチャンバの少なくとも１つの開口部の開放状態を調整するように構成されている。支持ユニットは、ロック作動要素の可動支持のために構成されている。特許文献１および特許文献２には、そのようなロック装置が示されている。特許文献１および２では、ロックチャンバの開口部を覆う開放要素が、ロック作動要素と固定的かつ非リリース的に接続されている。

欧州特許第２８７６３４１号明細書 米国特許第９０８６１７３号明細書

本発明の目的は、特に、適応性に関して有利な特徴を有する一般的な装置を提供することである。

本発明は、ロック装置、特に、真空ロック装置であって、特に真空気密閉鎖可能な少なくとも１つのロックチャンバを備え、ロックチャンバの少なくとも１つの開口部、好ましくは、ロックチャンバの少なくとも２つの開口部の開放状態を調整するように少なくとも構成された、移動可能に支持された少なくとも１つのロック作動要素を備え、ロック作動要素を移動可能に支持するように構成された支持ユニットを備えたロック装置に基づく。

ロック作動要素は、少なくとも半自動化された方法で、特に完全に自動化された方法で、特に、ロック作動要素と少なくとも１つの開放要素との間の作動的にリリース可能な力嵌めおよび／または形状嵌め結合を生成するように少なくとも構成されており、開放要素は、少なくともロックチャンバの開口部および／またはさらなるチャンバ、特に、ロックチャンバと結合可能な処理チャンバまたは輸送チャンバの少なくとも１つの開口部を閉鎖、好ましくは真空気密閉鎖するように少なくとも構成されることが提案される。このようにして、ロック装置の柔軟性に関する特に有利な特性が達成可能である。特に有利には、複数の異なる開口部、例えば、異なる開口寸法または異なる開口形状を有する開口部、および／または、カバー、プレート等の複数の異なる開放要素の切り替えおよび／または取り扱いのためにロック装置を構成することが可能である。有利には、これは、例えば、特に真空状態を維持しながら、輸送チャンバの内容物を輸送するための異なる輸送チャンバの結合を可能にし、これにより、ロックを介した処理チャンバへの輸送チャンバの内容物の汚染のない輸送を促進することが有利に可能になる。とりわけ、特に、例えば、ＯＬＥＤ製造のためのベース材料のような汚染に敏感な製品について、特に有利な輸送特性が達成可能である。さらに、輸送プロセスは、有利には、特に単純に保つことができる。

「ロック装置」は、特に、２つの領域間の遷移のために構成されると理解されるべき装置であり、２つの領域は、混同されない異なる特性を有する。「真空ロック装置」は、特に、２つの真空領域間の遷移、または少なくとも１つの領域が真空を有する、異なる圧力の２つの領域間の遷移を可能にすることを意図している。「開放状態」は、特に、開口部の閉状態および／または開口部の開状態を意味する。「開放状態の調整」は、特に、開口部の、特に可逆的な開放および／または、特に、開口部の、可逆的な、閉鎖を意味する。「移動可能に支持」は、特に、並進可能な支持および／または回転可能な支持を意味する。特に、支持ユニットは、ロック作動要素全体を移動可能に支持するように、および／またはロック作動要素のさらなる部分に対してロック作動要素の少なくとも一部を移動可能に支持するように構成される。優先的に、ロック作動要素の上記一部およびさらなる部分は、少なくとも部分的にロックチャンバの内部に配置される。ロック作動要素は、特に、ある種の自動運転可能なスライダとして実現される。特に、ロック作動要素は、好ましくは支持ユニットを介して、少なくとも２つの開放要素を、開口部を閉じる開放要素の台座とロック作動要素の支持位置との間で移動するように少なくとも構成される。支持位置において、開放要素および／またはロック作動要素は、ロック作動要素および／またはロック作動要素と力嵌めおよび／または形状嵌め結合される開放要素、特に、開放要素および第２開放要素が、ロック作動要素によって開放状態が調整可能な開口を接続する直線との交点が完全にない。

「半自動化された」機能とは、特に、機能が部分的に人間の入力なしで指定されたとおりに機能することを理解されたい。「完全に自動化された」機能は、特に、人間の入力なしで完全に指定されたとおりに機能する。「作動的にリリース可能な」結合は、特に、破壊することなく、好ましくは、ロック作動要素の切り替え可能な機能を介して、例えば、磁場をオンおよび／またはオフに切り替えることによって、機械的ラッチ装置のリリースおよび／または接続によって、および／または、負圧を生成するポンプ装置をオンおよび／またはオフにすることによって、リリース可能および／または接続可能な結合であると理解されるべきである。特に、リリース可能な接続は、ロック装置の作動中にリリース可能および／または接続可能である。「力嵌め結合」とは、特に、保持力、例えば、磁力、圧力および／または摩擦力によって生成されると理解されるべきリリース可能な結合である。好ましくは、力嵌め結合は、磁気結合、好ましくは磁石結合、および／または空気圧結合として理解されるべきである。特に、力嵌め結合は、例えば電磁石への電流供給および／または吸引ポンプの切り替えを介して、遠隔制御を介して切り替えることができる。「形状嵌め結合」とは、特に、少なくとも２つのカップリングパートナーが互いに少なくとも部分的に係合することによって生成されると理解されるべきリリース可能な結合であり、例えば、ロック作動要素の結合要素と開放要素の結合要素との結合である。形状嵌め結合は、特にラッチまたはクリップ接続として実現される。「開放要素」は、特に、ロックチャンバの複数の開口部のうちの少なくとも１つに適合される、好ましくは取り外し可能なカバー、またはロック作動要素とは別に実現されるバルブプレートを意味する。開放要素は、特に、真空気密な態様でロックチャンバの少なくとも１つの開口部を閉鎖するように構成される。開放要素は、例えば、ロック装置に属する開放要素として、または処理チャンバまたは輸送チャンバの開放要素として実現される。「真空気密な態様で閉鎖する」とは、特に、漏れ速度が１０^－４ｍｂａｒ・ｌ／ｓ未満（１０^－５Ｐａ・ｍ^３／ｓ未満）、好ましくは１０^－５ｍｂａｒ・ｌ／ｓ未満（１０^－６Ｐａ・ｍ^３／ｓ未満）、優先的には１０^－６ｍｂａｒ・ｌ／ｓ未満（１０^－７Ｐａ・ｍ^３／ｓ未満）である閉鎖と理解されるべきである。「処理チャンバ」とは、特に電子部品、例えば、電子チップまたはダイオード、例えばＯＬＥＤの処理手順および／または製造手順のための雰囲気を提供するように構成された真空チャンバであると理解されるべきである。処理チャンバは、例えば、ＯＬＥＤ製造の蒸発チャンバとして優先的に実現される。「輸送チャンバ」とは、特に、例えば、物体、特に半導体および／またはＯＬＥＤ、好ましくは真空下で半導体および／またはＯＬＥＤの生産のための生産材料を輸送するための真空ポッド、ＦＯＵＰ、ＳＭＩＦまたは同等の容器である真空輸送容器であると理解されるべきである。ロック作動要素は、台座から、開放要素、特に少なくとも２つの開放要素を少なくとも大部分、好ましくは完全に取り除くように、ロックチャンバの開口部、特にそれぞれの開放要素に割り当てられた開口部を特に真空気密閉鎖するように、および／または、少なくとも開放要素、特に少なくとも２つの開放要素を台座に運ぶように構成されることが考えられる。ロック作動要素は、特にそれぞれ割り当てられた開口部を真空気密閉鎖するように特に構成される。代替的または追加的に、ロック作動要素は、ロック作動要素と固定的に接続され、特に、破壊せずにリリースできない付加的な開放要素によって、ロックチャンバのさらなる開口部、特にロックチャンバの第２開口部を閉鎖するように構成され得る。

さらに、ロック作動要素は、少なくとも半自動化された方法で、特に、ロック作動要素と、開放要素とは異なる少なくとも１つの第２開放要素、特に、ロック開放要素および／または輸送チャンバ、好ましくは真空輸送容器の開放要素との間に、特に、作動的にリリース可能な力嵌めおよび／または形状嵌め結合を生成するように少なくとも構成されることが提案される。これは有利に、ロック装置の柔軟性をさらに増強することを可能にする。特に、少なくとも２つの異なる開放要素が単一のロック作動要素によって切り替えられることが有利に可能である。これにより、複雑さを軽減できるという利点がある。第２開放要素は、特に、輸送チャンバ、特に第２真空輸送容器、処理チャンバ、特に第２処理チャンバ、またはロックチャンバの開口部の蓋および／またはカバーとして具体化される。有利には、例えば、２つの異なる輸送チャンバ間または２つの異なる処理チャンバ間での物体の容易な輸送が、このようにして可能にされ得る。

さらに、ロック作動要素は、少なくとも１つの作動状態で、開放要素および第２開放要素と、少なくとも同時に、特に作動的にリリース可能に、力嵌めおよび／または形状嵌めの方法で結合されるように構成されることが提案される。これは有利に、ロック装置の柔軟性をさらに増強することを可能にする。特に、少なくとも２つの異なる開放要素が単一のロック作動要素によって同時に切り替えられ、その結果、複雑さが有利に低減されることが有利に可能である。このようにして、両方の開放要素が単一のロック作動要素によって取り除かれることが有利に可能である。例えば、ロック作動要素は、輸送チャンバと処理チャンバとの間に、特に圧力のない経路を形成することが有利に可能であるように、第１開放要素を開口部から取り除いて処理チャンバへの経路を明らかにし、次に処理チャンバおよびロックチャンバ内の圧力を適合させた後、第２開放要素を開口部から取り除いて輸送チャンバへの経路を明らかにするように構成され得る。「少なくとも同時に結合」とは、特に、ロック作動要素が、少なくとも１つの作動状態で、少なくとも２つの開放要素と同時に結合されるように構成されるということと理解されたい。「構成される」とは、特に、特別にプログラムされた、設計された、および／または用意されたことを意味する。特定の機能のために構成されているオブジェクトとは、オブジェクトが、少なくとも１つの適用状態および／または作動状態で前記特定の機能を達成および／または実行することを特に理解されたい。

開放要素によって閉鎖可能であるロックチャンバの開口部と、第２開放要素によって閉鎖可能であるロックチャンバの第２開口部とがロックチャンバにおける反対の両側部に配置されることも提案される。このようにして、ロック装置を介した物体の単純な移動が有利に達成可能である。特に、第１開口部および第２開口部は、少なくとも実質的に互いに平行に配向された開口面を有する。「実質的に平行」とは、特に、基準方向に対する方向の配向を意味し、特に平面において、その方向は、基準方向からの偏差が特に８°より小さく、有利には５°よりも小さく、特に有利には２°よりも小さい。「開口面」は、特に、開口部、特に開口部の縁によって形成される平面を意味する。好ましくは、開口部の開口面は、少なくとも開口部全体にわたって延びる。好ましくは、開口部の開口面は、開口部の壁部に対して少なくとも実質的に垂直に延びる。開口部の開口面は、開口部を通る最短の通過経路である直線に対して少なくとも実質的に垂直に延びることが好ましい。「実質的に垂直に」という用語は、特に、基準方向に対する方向の配向を定義することを意図しており、方向および基準方向は、特に平面で見た場合、９０°の角度を含み、その角度は、特に８°よりも小さく、有利には５°よりも小さく、特に有利には２°よりも小さい最大偏差を有する。特に好ましくは、開口部の開口面は、開口部をちょうど完全に取り囲む最小の仮想直方体における開口部を覆う側面に少なくとも実質的に平行に延在し、特に、開口部を覆う最小の仮想直方体の側面は、該側面に垂直な視線方向において開口部を完全に覆う。「反対」は、特に、この文脈において、正反対であることを意味する。あるいは、開口部は、ロックチャンバにおける互いに角度を付けて配向された側部、例えば、ロックチャンバにおける互いに垂直に配向された側部に配置することが考えられる。その結果、輸送されたアイテムは、ロックチャンバを通る角度のあるまたは湾曲した経路をたどる必要がある。

さらに、開口部の開口面に垂直な、特に開口部および第２開口部の開口面に垂直な視線方向において、少なくとも開口部および第２開口部は、少なくとも大部分が、好ましくは完全に重なることが提案される。これは、有利には、ロック装置を介した物体の容易なおよび／または好ましくは直接の移動を達成することを可能にする。さらに、有利には、ロック装置を通る経路を可能な限り短く保つことができる。これは、特にコンパクトな方法で実現されるロック装置を達成することを有利に可能にする。「大部分」とは、特に、少なくとも６６％、好ましくは少なくとも７５％、有利には少なくとも８５％、優先的には少なくとも９５％、特に優先的には少なくとも９９％を意味する。特に、複数の開口部は異なる寸法を有し、開口部の１つのみが、少なくとも部分的に、好ましくは少なくとも大部分が、他の開口部と重なることが考えられる。特に、オーバーラップゾーンは、アイテム、特に基板の輸送が、好ましくは直線経路に沿って、ロックチャンバを通ってスライド可能であるように、少なくとも十分に大きい。

さらに、ロック作動要素は、少なくとも開放要素、特にロックチャンバの少なくとも１つのロック開放要素との磁気結合のために少なくとも構成されることが提案される。このようにして、特に有利な結合特性が達成可能である。特に、例えば相互に係合する構成要素の摩擦による粒子生成を、ロックチャンバの内部において好ましく低レベルに維持することが可能である。有利なことに、特に高い真空適合性が達成可能である。さらに、ロック作動要素と開放要素との間の単純で安全なおよび／または切り替え可能で作動的にリリース可能な結合が有利に達成可能である。２つの構成要素の「磁気結合」は、複数の構成要素が、相互に磁気引力を及ぼすように構成され、その磁気引力が、特に、開放要素がロック作動要素に、位置的に固定された態様で固定されるのに十分な大きさであると理解されるべきである。特に、磁気結合を生成する力、好ましくは少なくとも磁気結合を生成する磁場は、ロック作動要素によって及ぼされる。特に、磁気結合を生成する磁場は、少なくとも部分的にロック作動要素内に生成される。開放要素は、好ましくは、ロック作動要素の磁場と相互作用するように構成された少なくとも１つのセクションを含む。このセクションは、例えば、磁性、特に強磁性の材料で実現される、および／または、例えば永久磁石や電磁石といった磁石を含む。代替的または追加的に、磁気結合を生成する力、好ましくは少なくとも磁気結合を生成する磁場は、開放要素によって同様に及ぼされ得る。代替的または追加的に、磁気結合を生成する磁場は、少なくとも部分的に開放要素内に生成され得る。代替的または追加的に、ロック作動要素は、少なくとも１つのセクションを含み得、該セクションは、例えば、磁性、特に強磁性の材料で実現され、および／または磁石を含み、特に、ロック作動要素の磁場と相互作用するように構成される。

特に、磁気結合は切り替え可能であり、好ましくはアクティブ化可能および／または非アクティブ化可能である。特に、磁気結合を生成する少なくとも１つの磁場は、切り替え可能であり、好ましくは、アクティブ化可能および／または非アクティブ化可能である。特に、ロック装置および／または開放要素は、制御および／または調整ユニットを備える。特に、制御および／または調整ユニットは、磁気結合および／または磁気結合の少なくとも１つの磁場の切り替え、好ましくはアクティブ化および／または非アクティブ化のために少なくとも構成される。あるいは、制御および／または調整ユニットによって切り替え可能である少なくとも１つの磁場が、磁気結合を生成する磁場を変更するように、好ましくは覆うように構成されることが考えられる。特に、磁気結合は、そのような覆う磁場によって解放することができる。このようにして、無電流結合が有利に達成可能である。その結果、例えば、一時的な停電により開放要素がロック作動要素から解放されたり、制御されずにロックチャンバ内を移動したりすることを防止できる「フェイルセーフ機能」を実現することが可能であり、それにより、損傷または不必要に長いダウンタイムを有利に回避できる。

「ロック開放要素」とは、特に、ロックチャンバに割り当てられ、輸送容器または処理チャンバがロックチャンバと使用されるかは無関係に、ロックチャンバ、処理チャンバが統合されているかは無関係に、ロックチャンバの開口を閉じるように構成された開放要素であると理解されるべきである。特に、ロック開放要素は、処理チャンバの開口部に接続されたロックチャンバの開口部を閉じるように構成された開放要素である。「制御および／または調整ユニット」は、特に、少なくとも１つの制御電子部品を備えたユニットを意味する。「制御電子部品」とは、特に、プロセッサユニット、メモリユニット、およびメモリユニットに格納されたオペレーションプログラムを備えたユニットを意味する。

さらに、ロック作動要素は、少なくとも開放要素、特にロックチャンバの少なくとも１つのロック開放要素と、作動的にリリース可能な力嵌めおよび／または形状嵌めの機械的結合のために少なくとも構成されることが提案される。このようにして、特に有利な結合特性が達成可能である。特に、安全なおよび／または単純な、作動的にリリース可能な結合が有利に達成可能である。有利には、「フェイルセーフ機能」、特に開放要素とロック作動要素との間のフェイルセーフ結合が達成可能である。ロック作動要素と開放要素との間の力嵌めおよび／または形状嵌め結合は、少なくとも磁気結合と機械的結合との組み合わせを実現すると考えられる。機械的結合は、特にクリップ接続、プラグ接続、プレス接続、ネジ接続などとして実現される。代替的または追加的に、機械的結合は、少なくとも１つのアクターを含み、該アクターは、力嵌めおよび／または形状嵌め接続が開放要素とロック作動要素との間で生成および／またはリリースされるように、少なくとも機械的結合の保持要素を移動するように少なくとも構成されることが考えられる。特に、機械的結合、特にアクターは、制御および／または調節ユニットによって作動可能であり、好ましくはアクティブ化可能および／または非アクティブ化可能である。

さらに、ロック作動要素は、少なくとも開放要素、特にロックチャンバの少なくとも１つのロック開放要素との空気圧結合のために構成されることが提案される。このようにして、特に有利な結合特性が達成可能である。さらに、既存の排気装置、特に既存の真空ポンプを、好ましくは、少なくともロックチャンバおよび／または処理チャンバの内圧の調整に加えて、ロック作動要素と開放要素との間の力嵌めおよび／または形状嵌め結合の少なくとも一部の生成のために使用することが有利に可能である。これは、複雑さの軽減を有利に可能にする。特に、空気圧結合を生成するために、ロック作動要素は、負圧によって開放要素をロック作動要素に吸引するように構成された少なくとも１つの圧力接続を備える。特に、空気圧結合は、制御および／または調整ユニットによって作動可能であり、好ましくはアクティブ化可能および／または非アクティブ化可能である。

ロック作動要素が、互いに異なる少なくとも２つの移動経路に沿って移動可能に支持ユニットによって支持される少なくとも１つの結合要素を含む場合、特に有利な結合プロセス、特に、開口部からの開放要素の特に有利な取り除き、および／または、開口部への開放要素の特に有利な装着が達成可能である。特に、例えば２つの表面の相互摩擦による粒子の生成を、可能な限り低く保つことができる。したがって、特に、ロックチャンバ内で結合要素および／またはロック作動要素が旋回するのと比較して、可能な限り小さいサイズのロック装置を得ることが有利に可能であり、結合要素および／またはロック作動要素の最小限必要とされる移動スペースを減らすことができる。「結合要素」は、特に、ロック作動要素と開放要素との力嵌め結合の結合力を伝達するように、および／またはロック作動要素と開放要素との形状嵌め結合の形状嵌め接続を生成するように構成された要素であると理解されるべきである。結合要素は、特に、結合状態で開放要素に直接接触するように構成される。特に、結合要素は、少なくとも部分的にロック作動要素に統合されるように実現される。移動経路は、特に、少なくとも互いに角度を付けて、好ましくは少なくとも実質的に互いに垂直に配向される。特に、結合要素の第１移動経路は、開放要素を開口部に配置するため、および／または開放要素を開口部から取り除くために構成される。特に、結合要素の第１移動経路は、開口部の開口面に対して少なくとも実質的に垂直に向けられている。特に、結合要素の第２移動経路は、開放要素をロックチャンバ内の支持位置に持ってくるように、および／または開放要素を支持位置から移動させるように構成される。特に、結合要素の第２移動経路は、開口部の開口面に少なくとも実質的に平行に向けられている。代替的または追加的に、結合要素の複数の移動経路の少なくとも１つ、特に第１移動経路は、少なくとも実質的に弧を形成し得る。

また、ロック作動要素は、少なくとも１つの第２結合要素を含み、結合要素および第２結合要素は、ロック作動要素における反対の両側部に配置されることも提案される。このようにして、高度な適応性が有利に達成可能である。特に、有利には、複数の開放要素を単一のロック作動要素によってピックアップすることができる。これにより、複雑さを軽減できるという利点がある。「反対の両側部」とは、特に、互いに反対を向く２つの側部であると理解されるべきである。

さらに、結合要素および／または第２結合要素は、少なくとも結合要素および／または第２結合要素を運ぶロック作動要素の移動可能に支持されたキャリア要素に対して少なくとも移動可能であるように、支持ユニットによって支持されることが提案される。このようにして、特に結合要素を開放要素に個別に接近させることができるので、有利な結合特性が達成可能である。有利には、これは、特に、実現された異なる開放要素、例えば、異なる厚さを有する開放要素との有利な接触結合を簡単な方法で可能にすることができるので、増強された適応性をもたらす。結合要素および第２結合要素は、それらがキャリア要素に直接接続されるように特に実現される。結合要素および第２結合要素は、それらがロック作動要素、優先的にはキャリア要素に少なくとも部分的に統合されるように特に実現される。結合要素および第２結合要素は、それらが少なくとも部分的に、好ましくは少なくとも大部分が、ロック作動要素、優先的にはキャリア要素から引き出し可能であるように特に実現される。キャリア要素は、特に、ロックチャンバ内に少なくとも部分的に、好ましくは少なくとも大部分が配置される。キャリア要素は、特に、ロック作動要素と一体的に実現される。キャリア要素は、特に、ロック作動要素を保持するための保持装置とは異なる方法で実装される。支持ユニットは、特に、ロックチャンバに対して移動可能にキャリア要素を支持するように構成される。支持ユニットは、特に、キャリア要素に対して移動可能に結合要素を支持するように構成される。支持ユニットは、特に、キャリア要素に対して移動可能に第２結合要素を支持するように構成される。

また、結合要素および／または第２結合要素は、支持ユニットによって、ロックチャンバの開口部の開口面に、特に、ロック作動要素によって閉鎖可能なロックチャンバのすべての開口部のすべての開口面に少なくとも実質的に垂直に延びる移動方向に少なくとも沿って移動可能であることが提案される。結果として、開口部からの開放要素の特に穏やかな装着および／または取り除きが有利に達成可能であり、粒子生成を特に低レベルに維持することが可能になる。

さらに、結合要素および／または第２結合要素は、支持ユニットによって支持され、特に、少なくとも実質的に弧状の移動経路に沿って少なくとも移動可能に、ロック作動要素のキャリア要素に対して支持されることが提案される。このようにして、特にコンパクトな支持ユニットを有利に実現することができる。有利なことに、支持ユニットは、特に簡単な方法で実現することができる。特に、結合要素および／または第２結合要素は、それらがロック作動要素のキャリア要素に対して支持ユニットによって旋回可能であるように実現される。特に、結合要素および／または第２結合要素は、開放要素と結合された状態と、開放要素から分離された状態との間を往復移動によって往復できるように構成される。

さらに、開放要素との結合について、結合要素および第２結合要素は、少なくとも実質的に互いに正反対の移動方向に移動可能であり、特に、移動可能に案内され、好ましくは、引き出し可能であることが提案される。このようにして、特にロックチャンバの両側に位置する２つの開口部の開放状態を単一のロック作動要素を介して同時に切り替えることができるので、高度の適応性が有利に達成可能である。これは特に、ロックチャンバを介した物体の高速かつ簡単な輸送を可能にする。「実質的に直径方向に」という用語は、特に、基準方向に対する方向の配向を定義することを意図しており、方向および基準方向は、特に平面で見た場合、１８０°の角度を含み、その角度は、特に８°より小さく、有利には５°より小さく、そして特に有利には２°よりも小さい最大偏差を含む。特に、結合要素および第２結合要素は、ロック作動要素、好ましくはキャリア要素から、少なくとも実質的に互いに正反対の移動方向に引き出し可能である。

さらに、ロック作動要素、特に結合要素および／または第２結合要素は、特に、磁場によりロック作動要素と開放要素との間の力嵌め結合を少なくとも部分的に生成するように特に構成された少なくとも１つの磁石、特に永久磁石または電磁石を備えることが提案される。結果として、ロック作動要素と開放要素との間の特に単純および／または効果的な結合が有利に達成可能である。特に、磁石、特に電磁石は、制御および／または調整ユニットによって切り替え可能であり、好ましくはアクティブ化可能および／または非アクティブ化可能である。特に、磁石、特に永久磁石の磁場は、制御および／または調整ユニットによって操作することができ、好ましくは重ね合わせ可能である。特に、ロック作動要素は、結合要素の数に相当する少なくともいくつかの磁石を含む。特に、少なくとも１つの磁石が各結合要素に割り当てられる。特に、各結合要素には、その結合要素と共に移動可能な磁石が含まれる。

さらに、ロック作動要素は、少なくとも、ロックチャンバの開口部の開口面、特に、ロックチャンバのすべての開口部のすべての開口面に少なくとも実質的に平行に延びる平面内で、支持ユニットによって移動可能であり、特に並進移動可能であり、好ましくはガイドされた態様で移動可能であることが提案される。このようにして、有利には、可能な限り小さいサイズのロック装置が達成可能である。さらに、これは、複雑さの低い、好ましく単純なロック装置を有利に達成する結果となる。

さらに、ロック作動要素の支持位置では、ロック作動要素と、ロック作動要素と力嵌めおよび／または形状嵌めで結合された開放要素、特に開放要素および第２開放要素とは、開放状態がロック作動要素によって調整可能な開口部と重なりがないことが提案される。このようにして、特に有利な輸送特性が達成可能である。特に、これは有利には、輸送された物体によってロックチャンバを通って通る経路を完全に解放すること、すなわち、潜在的な障害物が完全にない状態に保つことを可能にする。「重なりがない」という用語は、開口部の開口面に特に垂直に延びる視線方向にロックチャンバの開口部を通して見たときに、ロック作動要素と、該ロック作動要素に力嵌めおよび／または形状嵌め結合された開放要素とが観察者には見えない、および／または開口部のどの部分も覆わないことを特に意味する。

ロックチャンバが、輸送チャンバ、特に真空輸送容器のロックチャンバへの真空気密ドッキングを可能にするように少なくとも構成された少なくとも１つのドッキング装置を含む場合、有利な輸送特性を達成することが特に可能である。特に、輸送チャンバから処理チャンバへの物体の真空気密輸送が有利に可能になり得る。ドッキング装置は、特に、輸送チャンバとロックチャンバとの機械的、磁気的および／または空気圧的、好ましくは力嵌めおよび／または形状嵌め結合のために構成される。特に、ドッキングプロセスに続いて、ロックチャンバの少なくとも１つの開口部は、輸送チャンバの少なくとも１つの開口部および／または少なくとも１つの開放要素と完全に重なる。輸送チャンバがドッキング装置にドッキングされ、かつ輸送チャンバの開放要素が取り除かれた状態では、ドッキング装置の漏れ速度は、特に１０^－４ｍｂａｒ・ｌ／ｓ未満（１０^－５Ｐａ・ｍ^３／ｓ未満）、好ましくは１０^－５ｍｂａｒ・ｌ／ｓ未満（１０^－６Ｐａ・ｍ^３／ｓ未満）、優先的に１０^－６ｍｂａｒ・ｌ／ｓ未満（１０^－７Ｐａ・ｍ^３／ｓ未満）である。

さらに、ドッキング装置が、ロックチャンバに対して、輸送チャンバ、特に真空輸送容器の少なくとも一部を力嵌めおよび／または形状嵌め保持するために構成された少なくとも１つの固定要素を備えることが提案される。これにより、有利なことに、ロックチャンバの高い安全性および／または高い真空気密性が達成可能である。有利なことに、例えば、輸送チャンバ内およびロックチャンバ内の圧力のバランスをとった後の、ロックチャンバからの輸送チャンバの不注意な解放を回避することができる。固定要素は、特に、機械的固定要素、例えば、クリッピングまたはねじ込みとして、磁気固定要素、例えば、永久磁石または電磁石による磁気結合として、および／または空気圧固定要素、例えば吸引チャネルとして実現される。

ロックチャンバが少なくとも１つの排気装置を含む場合、ロックチャンバと処理チャンバおよび／または輸送チャンバとの間の能動的な圧力補償が有利に可能になる。このようにして、特に汚染のない輸送プロセスが有利に達成可能である。排気装置は、特に、ロックチャンバの内部の圧力を調整するように構成される。排気装置は、特に、ロックチャンバの内部に負圧、好ましくは真空を生成するように構成される。特に、排気装置は、少なくとも１つの圧力接続、例えば、ロックチャンバの内部に案内される接続チャネルまたは接続ホースを含む。特に、排気装置は、少なくとも１つの真空ポンプを備える。排気装置は、特に、処理チャンバの真空ポンプシステムと少なくとも部分的に一体的に実現される。制御および／または調整ユニットは、排気装置、特に排気装置のポンプ性能を制御するように構成される。特に、排気装置は、ロックチャンバの内部の圧力を測定するように少なくとも構成された少なくとも１つの圧力センサを備える。制御および／または調整ユニットは、特に、圧力センサを読み取り、測定値を、輸送チャンバまたは処理チャンバ内の圧力を決定するためのセンサの少なくとも１つのさらなる測定値とバランスをとるように、かつ比較を使用して、排気装置を制御および／または調整するように構成される。あるいは、ロックチャンバは、排気装置なしで実現することもでき、これは、例えば、ロックチャンバの内部の圧力を調整する可能性がないことを意味する。

さらに、ロックシステム、特に真空ロックシステムが提案され、該システムは、ロック装置、特に真空ロック装置を備え、特に真空下での処理ステップの実行のために処理チャンバを備え、かつ、少なくとも１つの輸送チャンバ、特に真空輸送容器、好ましくは複数の輸送チャンバ、特に複数の真空輸送容器を備える。このようにして、輸送チャンバ、特に真空輸送容器から処理チャンバへの、好ましく汚染のない物体および／または生産材料の輸送が有利に可能になり得る。

さらに、ロック装置、特に真空ロック装置が、処理チャンバに固定的に接続されること、および／または、処理チャンバ内に少なくとも部分的に配置されることが提案される。このようにして、特に有利な輸送特性を得ることができる。特に、ロック装置の特に高い気密性がこのように達成可能である。さらに、ロックシステムの高いコンパクト性を実現できる。「固定的に接続」という用語は、特に、破壊せずに分離できないことを意味する。特に、ロックチャンバは処理チャンバの不可欠な構成要素を形成する。好ましくは、ロックチャンバの少なくとも１つの壁部は、同時に処理チャンバの壁部を形成する。

さらに、ロックシステムの輸送チャンバ、特に真空輸送容器が提案される。
さらに、ロック装置、特に真空ロック装置、および／またはロックシステム、特に真空ロックシステムの作動方法が提案される。このようにして、特に有利な輸送特性を得ることができる。特に、このようにして、ロック装置の高い適応性および／またはロック装置の特に高い気密性が有利に達成可能である。

また、ロック作動装置の方法における方法ステップの少なくとも１つのシーケンスにおいて、輸送チャンバの内容物は、ロック装置によって輸送チャンバから処理チャンバに運ばれ、またはその逆に運ばれ、輸送チャンバは、輸送チャンバ内の圧力がロック装置のロックチャンバ内の圧力と少なくとも実質的に同等である場合にのみ開かれる、特にロック装置のロックチャンバに向けて開かれることが提案される。このようにして、ＯＬＥＤ製造のための物体および／または出発材料が、圧力差および／またはガス流にさらされることなく、輸送チャンバから処理チャンバに取り出されることが有利に可能であり、その結果、汚染を特に低いレベルに維持することが有利に可能となり、および／または、ＯＬＥＤ製造のための物体および／または出発材料のための理想的な保管条件をデリバリーチェーンに沿って確保することが可能となる。「実質的に同等」である２つの圧力とは、特に、２つの圧力の圧力差が１０ｍｂａｒ（１０^３Ｐａ）より小さく、好ましくは１ｍｂａｒ（１０^２Ｐａ）より小さく、優先的には、１０^－３ｍｂａｒ（１０^－１Ｐａ）より小さく、特に優先的には１０^－６ｍｂａｒ（１０^－４Ｐａ）よりも小さいことを理解されたい。

本発明によるロック装置、本発明によるロックシステム、および本発明による方法は、本明細書では、上記の用途および実施に限定されない。特に、本明細書に記載の機能を実現するために、本発明によるロック装置、本発明によるロックシステム、および本発明による方法は、ここで与えられた数とは異なる数の要素、構成要素、およびユニットを含み得る。

さらなる利点は、以下の図面の説明から明らかになるであろう。図面には、本発明の３つの例示的な実施形態が示されている。図面、説明、および特許請求の範囲は、複数の特徴を組み合わせて含む。当業者はまた、意図的に特徴を個別に検討し、さらなる好都合な組み合わせを見出すであろう。

図１は、ドッキングされていない状態のロック装置および輸送チャンバを備えたロックシステムの概略断面図。 図２は、ドッキング状態にある輸送チャンバと閉じたロック装置とを備えたロックシステムの概略断面図。 図３は、ドッキング状態にある輸送チャンバと開いたロック装置とを備えたロックシステムの概略断面図。 図４は、ロック装置の作動方法のフローチャート。 図５は、代替のロック装置を備えた代替のロックシステム。 図６は、第２の代替のロック装置を備えた第２の代替のロックシステム。

図１は、ロックシステム６６を示している。ロックシステム６６は、真空ロックシステムとして実現されている。ロックシステム６６は、ロック装置６８を備えている。ロック装置６８は、真空ロック装置として実現されている。ロックシステム６６は、処理チャンバ２６を備えている。処理チャンバ２６は、真空下で物体に対して処理ステップを実行するように構成されている。ロックシステム６６は、輸送チャンバ２８を備えている。輸送チャンバ２８は、真空輸送容器として具体化されている。輸送チャンバ２８は、真空下でアイテム７０を輸送するように構成されている。ロックシステム６６は、輸送チャンバ２８と処理チャンバ２６との間でアイテム７０を往復輸送するように構成されている。輸送チャンバ２６は、開放要素２２を備えている。輸送チャンバ２８の開放要素２２は、輸送チャンバ２８の内部８０を真空気密閉鎖するように構成されている。開放要素２２は、ロックチャンバ１０と結合可能な輸送チャンバ２８の少なくとも１つの開口部８８および／またはロックチャンバ１０の少なくとも１つの開口部１６を真空気密閉鎖するように構成される。ロックシステム６６は、ロックチャンバ１０を備えている。ロックチャンバ１０は、処理チャンバ２６と固定的に接続されている。ロックチャンバ１０は、真空気密閉鎖可能である。ロックチャンバ１０は、処理チャンバ２６と真空気密に接続されている。ロックチャンバ１０は、処理チャンバ２６とハードシーリングで接続されている。ロック装置６８は、ロックチャンバ１０を備えている。ロック装置６８は、処理チャンバ２６に固定的に接続されている。

ロックチャンバ１０は、開口部１４を備えている。開口部１４は、第１開口部を実現している。ロックチャンバ１０の開口部１４は、ロックチャンバ１０の内部７４と処理チャンバ２６の内部７６との間の接続をもたらすように構成されている。真空気密閉鎖のために、ロックチャンバ１０の開口部１４は、開放要素２０によって閉鎖することができる。開放要素２０は、ロックチャンバ１０のロック開放要素として実現されている。ロック開放要素は、ロックチャンバ１０の少なくとも開口部１４および／またはロックチャンバ１０と固定的に接続された処理チャンバ２６の少なくとも１つの開口部２４を真空気密閉鎖するように構成される。ロックチャンバ１０は、シーリング要素７８を備えている。ロックチャンバ１０のシーリング要素７８は、開放要素２０、特にロック開放要素の真空気密性を確保するように構成されている。ロックチャンバ１０のシーリング要素７８は、Ｏリングとして具体化されている。ロックチャンバ１０は、輸送チャンバ２６と真空気密に接続可能である。ロックチャンバ１０は、第２開口部１６を備えている。ロックチャンバ１０の第２開口部１６は、ロックチャンバ１０の内部７４と輸送チャンバ２８の内部８０との間の接続をもたらするように構成されている。

ロックチャンバ１０はドッキング装置６０を備えている。ドッキング装置６０は、輸送チャンバ２８をロックチャンバ１０に真空気密にドッキングできるように構成されている。ロックチャンバ１０は、特に異なる方法で実現される複数の輸送チャンバ２８と真空気密に結合するように構成されている。ドッキング装置６０は、少なくとも１つの固定要素６２を備えている。固定要素６２は、ロックチャンバ１０に対して少なくとも輸送チャンバ２８を力嵌めおよび／または形状嵌め保持するために構成される。固定要素６２は、クランプ要素として実現されている。代替的に、固定要素６２は、ねじ要素、磁石要素、空気吸引装置などとして実現することができる。輸送チャンバ２８は、シーリング要素７２を備えている。輸送チャンバ２８のシーリング要素７２は、Ｏリングとして具体化されている。輸送チャンバ２８のシーリング要素７２は、ロックシステム６６を囲む空気に対する、ドッキングされた輸送チャンバ２８の真空気密性を確保するように構成されている。

輸送チャンバ２８がロックチャンバ１０にドッキングされているロック装置６８の作動状態では、第２開放要素２２は、ロックチャンバ１０の第２開口部１６を閉鎖する。開放要素２０によって閉鎖可能なロックチャンバ１０の開口部１４と、第２開放要素２２によって閉鎖可能なロックチャンバ１０の第２開口部１６とは、ロックチャンバ１０における反対の両側部８４、８６に配置されている。ロックチャンバ１０の第１開口部１４は、処理チャンバ２６に面するロックチャンバ１０の側部８４に配置されている。ロックチャンバ１０の第２開口部１６は、処理チャンバ２６とは反対側のロックチャンバ１０の側部８６に配置されている。開口部１４の開口面５０に垂直な視線方向において、ロックチャンバ１０の開口部１４とロックチャンバ１０の反対側の開口部１６とは完全に重なっている。

輸送チャンバ２８は、付加的なシーリング要素８２を備えている。輸送チャンバ２８の付加的なシーリング要素８２は、Ｏリングとして具体化されている。輸送チャンバ２８の付加的なシーリング要素８２は、輸送チャンバ２８を囲む空気に対する、閉鎖された輸送チャンバ２８の真空気密性を確保するように構成されている。代替的には、シーリング要素７２、７８、８２は、Ｏリングとは異なる任意の種類のシーリングとして具体化されてもよい。

ロック装置６８は、排気装置６４を備えている。排気装置６４は、少なくともロックチャンバ１０内の内圧を調整、好ましくは減圧するように構成されている。排気装置６４は、圧力接続部３２を備えている。圧力接続部３２は、ロックチャンバ１０の壁部を貫通するボアとして実現されている。排気装置６４は、真空ポンプ３４を備えている。真空ポンプ３４と圧力接続部と３２とは、圧力ダクト９０を介して接続されている。圧力ダクト９０はバルブ９２を備えている。バルブ９２は、ロックチャンバ１０内の圧力を調整、特に増加させるように構成されている。ロック装置６８は、制御および／または調整ユニット３０を備えている。制御および／または調整ユニット３０は、少なくともロックチャンバ１０内の内圧を調整するように構成されている。制御および／または調整ユニット３０は、バルブ９２を制御するように構成されている。制御および／または調整ユニット３０は、真空ポンプ３４を制御するように構成されている。排気装置６４は、圧力センサ１００を備えている。圧力センサ１００は、ロックチャンバ１０の内部７４の内圧を測定するように構成されている。

ロック装置６８は、ロック作動要素１２を備えている。ロック作動要素１２は、一種のスライダとして実現されている。ロック作動要素１２は、ロックチャンバ１０の開口部１４，１６の少なくとも一方の開放状態を調整するように構成されている。ロック作動要素１２は、ロックチャンバ１０の少なくとも２つの開口部１４，１６の開放状態を調整するように構成されている。ロック作動要素１２は移動可能に支持されている。ロック装置６８は、支持ユニット１８を備えている。支持ユニット１８は、少なくともロック作動要素１２を移動可能に支持するように構成されている。ロック作動要素１２は、少なくとも半自動化された方法で、ロック作動要素１２と、少なくとも１つの開放要素２０との間に、作動的にリリース可能な力嵌めおよび／または形状嵌め結合を生成するように少なくとも構成されている。ロック作動要素１２の位置は、ロックチャンバ１０内で移動可能である。ロック作動要素１２は、支持ユニット１８によって並進移動可能である。ロック作動要素１２は、支持ユニット１８により、ロックチャンバ１０の開口部１４の開口面５０と平行な面内で移動可能である。制御および／または調整ユニット３０は、ロック作動要素１２の動きを少なくとも半自動制御するように構成されている。

ロック作動要素１２は、少なくとも半自動化された方法で、ロック作動要素１２と、開放要素２０とは異なる少なくとも第２開放要素２２との間に、力嵌めおよび／または形状嵌め結合を生成するように少なくとも構成されている。ロック作動要素１２は、少なくとも１つの作動状態において、２つの開放要素２０、２２と同時に力嵌めおよび／または形状嵌め結合されるように構成される。ロック作動要素１２は、少なくとも１つの作動状態において、開放要素２０及び開放要素２０とは異なる第２開放要素２２と、力嵌めおよび／または形状嵌めの方法で同時に結合されるように構成される。

ロック作動要素１２は、開放要素２０、２２と磁気結合するように構成される。ロック作動要素１２は、磁石５６、９４を含む。磁石５６、９４は、磁場によって、ロック作動要素１２と開放要素２０、２２との間の力嵌め結合を少なくとも部分的に生成するように構成される。磁石５６、９４は電磁石として具体化されている。開放要素２０、２２は、例えば鉄などの強磁性材料で少なくとも部分的に実現される。制御および／または調整ユニット３０は、電磁石の磁場を制御するように構成される。開放要素２０、２２は、磁石５６、９４によって引き付けられる。この磁気吸引力により、開放要素２０，２２がロック作動要素１２にくっつく。代替的または追加的に、磁石５６、９４は永久磁石として具体化される。このような場合、ロック作動要素１２は、逆磁場を発生させるための少なくとも１つの電磁石を備える。逆磁場は、ロック作動要素１２の永久磁石の開放要素２０、２２への吸引力の影響を少なくとも一時的に打ち消すように構成される。

ロック作動要素１２は、開放要素２０、２２との作動的にリリース可能な力嵌めおよび／または形状嵌め機械的結合のために構成される。ロック作動要素１２は、ラッチ機構（図示せず）を備えている。ラッチ機構は、作動的に解除できるように実現されている。

ロック作動要素１２は、結合要素３６を備えている。ロック作動要素１２は、キャリア要素４８を備えている。キャリア要素４８は、結合要素３６を支持している。キャリア要素４８は、ロック作動要素１２と一体的に実現されている。結合要素３６は、少なくとも１つの作動状態において、ロックチャンバ１０の開口部１４に面するキャリア要素４８の側部４６に配置される。キャリア要素４８は、支持ユニット１８によって移動可能に実現される。キャリア要素４８は、ロックチャンバ１０の開口部１４の開口面５０に平行に延びる平面内で移動可能である。結合要素３６は、互いに異なる２つの移動経路３８、４０に沿って移動可能であるように、支持ユニット１８によって支持されている。結合要素３６は、ロックチャンバ１０の開口部１４の開口面５０に平行に延びる平面内で、第１移動経路３８に沿って、ロック作動要素１２と共に移動することができる。第１移動経路３８は直線状に延びている。さらに、結合要素３６は、移動可能に支持されたキャリア要素４８に対して移動可能であるように、支持ユニット１８によって支持されている。結合要素３６は、支持ユニット１８によって、第２移動経路４０に沿って、２つの対向する移動方向５２、５４に移動可能である。第２移動経路４０は、ロックチャンバ１０の開口部１４の開口面５０に対して垂直に延びている。第２移動経路４０は、直線状に延びている。第１移動経路３８と第２移動経路４０とは直交している。結合要素３６は、キャリア要素４８から引き出すことができるように実現される。結合要素３６は、キャリア要素４８内に部分的に引っ込めることができるように実現される。

結合要素３６は、開放要素２０との力嵌めおよび／または形状嵌め結合に加わるように構成される。結合要素３６は、開放要素２０に接近することにより、ロック作動要素１２と開放要素２０との間に力嵌めおよび／または形状嵌め結合を生成するように構成される。結合要素３６は、開放要素２０をピックアップするように構成される。結合要素３６は、第１結合要素を形成する。結合要素３６は磁石５６を含む。磁石５６は、結合要素３６と共に移動する。磁石５６は、結合要素３６に組み込まれるように実現される。

ロック作動要素１２は、少なくとも１つの第２結合要素４２を備えている。キャリア要素４８は、第２結合要素４２を支持している。第２結合要素４２は、結合要素３６と実質的に同一に実現される。結合要素３６および第２結合要素４２は、ロック作動要素１２における反対の両側部４４、４６に配置されている。第２結合要素４２は、少なくとも１つの作動状態において、ロックチャンバ１０の開口部１４とは反対側を向くキャリア要素４８の側部４４に配置されている。第２結合要素４２は、互いに異なる２つの移動経路３８、４０に沿って移動可能であるように、支持ユニット１８によって支持されている。第２結合要素４２は、ロックチャンバ１０の開口部１４の開口面５０に平行に延びる平面内で、第１移動経路３８に沿って、ロック作動要素１２と共に移動することができる。さらに、第２結合要素４２は、移動可能に支持されたキャリア要素４８に対して移動可能であるように、支持ユニット１８によって支持されている。第２結合要素４２は、２つの対向する移動方向５２、５４に第２移動経路４０に沿って移動できるように、支持ユニット１８によって支持されている。第２結合要素４２は、キャリア要素４８から引き出すことができるように実現される。第２結合要素４２は、キャリア要素４８内に部分的に引っ込めることができるように実現される。

第２結合要素４２は、開放要素２０とは異なる第２開放要素２２との力嵌めおよび／または形状嵌め結合に加わるように構成される。第２結合要素４２は、第２開放要素２２に接近することによって、ロック作動要素１２と第２開放要素２２との間の力嵌めおよび／または形状嵌め結合を引き起こすように構成される。第２結合要素４２は、第２開放要素２２をピックアップするように構成される。開放要素２０、２２との結合のために、結合要素３６および第２結合要素４２は、互いに正反対の移動方向５２、５４に移動可能である。結合要素３６および第２結合要素４２は、正反対の移動方向５２、５４において、ロック作動要素１２のキャリア要素４８から引き出すことが可能である（図２も参照）。第２結合要素４２は、第２磁石９４を含む。第２磁石９４は、第２結合要素４２と共に移動する。第２磁石９４は、第２結合要素４２に組み込まれるように実現される。磁石５６および第２磁石９４は、互いに正反対の移動方向５２、５４に移動可能である。磁石５６および第２磁石９４は、正反対の移動方向５２、５４において、ロック作動要素１２のキャリア要素４８から少なくとも部分的に引き出すことが可能である。結合要素３６、４２と開放要素２０、２２との力嵌め結合のために、磁石５６、９４は、それぞれ、開放要素２０、２２の近接にもたらされ、アクティブ化される。磁気結合では、磁気引力が、結合要素３６、４２の磁石５６、９４と、開放要素２０、２２の強磁性構成要素との間に生成される。

ロック作動要素１２は、ロック装置６８を開閉するように構成されている。図３では、開状態のロック装置６８が示されている。開状態では、ロックチャンバ１０を介した処理チャンバ２６と輸送チャンバ２８との間のアイテム７０の輸送が可能である。ロック作動要素１２は、ロック装置６８を介したアイテム７０の輸送を可能にするために、開放要素２０、２２を支持位置５８にもたらすように構成される。図３において、ロック作動要素１２は、支持位置５８に配置されている。ロック作動要素１２と、ロック作動要素１２と力嵌めおよび／または形状嵌め結合された開放要素２０，２２とは、ロック作動要素１２の支持位置５８において、開放状態がロック作動要素１２を介して調整可能な開口部１４，１６，２４，８８と重なりがない（図３参照）。

図４は、ロック装置６８の作動方法のフローチャートを示す。少なくとも１つの方法ステップ９６では、輸送チャンバ２８が、ロックチャンバ１０に向かって移動される。方法ステップ９６では、ロックチャンバ１０の開口部１４が、真空気密に閉じられる。ロックチャンバ１０の第２開口部１６は、方法ステップ９６では閉じられていない。少なくとも１つのさらなる方法ステップ９８では、輸送チャンバ２８が、ドッキング装置６０によってロックチャンバ１０にドッキングされる。方法ステップ９８では、ロックチャンバ１０の第２開口部１６が、輸送チャンバ２８によって、特に第２開放要素２２によって真空気密に閉じられる。少なくとも１つのさらなる方法ステップ１０２では、ロックチャンバ１０の内部７４内の内圧が、排気装置６４によって、処理チャンバ２６の内部７６内の内圧と等しくなる。少なくとも１つのさらなる方法ステップ１０４では、ロック作動要素１２が、開放要素２０の近くに配置される。少なくとも１つのさらなる方法ステップ１０６では、結合要素３６が、該結合要素３６が開放要素２０に接触するように、支持ユニット１８によって、ロック作動要素１２のキャリア要素４８から引き出される。少なくとも１つのさらなる方法ステップ１０８では、結合要素３６の磁石５６がアクティブ化され、その結果、開放要素３６が、結合要素３６によって磁気的に引き付けられる。少なくとも１つのさらなる方法ステップ１１０では、開放要素２０と結合される結合要素３６が、ロック作動要素１２のキャリア要素４８内に引き込まれる。方法ステップ１１０では、開放要素２０が、ロックチャンバ１０の開口部１４から取り除かれる。方法ステップ１１０では、ロックチャンバ１０が、処理チャンバ２６に向かって開かれる。少なくとも１つのさらなる方法ステップ１１２では、ロックチャンバ１０の内部７４および輸送チャンバ２８の内部８０の内圧が、処理チャンバ２６の内部７６の内圧に適合される。あるいは、少なくとも１つのさらなる方法ステップ１１２’では、ロックチャンバ１０の内部７４および処理チャンバ２６の内部７６の内圧が、輸送チャンバ２８の内部８０の内圧に適合される。少なくとも１つのさらなる方法ステップ１１４では、第２結合要素４２が、該第２結合要素４２が第２開放要素２２に接触するように、支持ユニット１８によってロック作動要素１２のキャリア要素４８から引き出される。少なくとも１つのさらなる方法ステップ１１６では、第２開放要素２２が第２結合要素４２によって磁気的に引き付けられるように、第２結合要素４２の第２磁石９４がアクティブ化される。少なくとも１つのさらなる方法ステップ１１８では、第２開放要素２２と結合された第２結合要素４２が、ロック作動要素１２のキャリア要素４８内に引き込まれる。方法ステップ１１８では、第２開放要素２２が、ロックチャンバ１０の第２開口部１６から取り除かれる。方法ステップ１１８では、ロックチャンバ１０が、輸送チャンバ２８に向かって開かれる。少なくとも１つのさらなる方法ステップ１２０では、ロック作動要素１２および該ロック作動要素１２と結合された開放要素２０、２２が、支持位置５８に移動される。方法ステップ１１８では、完全に圧力平衡された真空環境内で、輸送チャンバ２８から処理チャンバ２６へ、またはその逆にアイテム７０を輸送するための経路が解放される。少なくとも１つのさらなる方法ステップ１２０では、アイテム７０が、ロックチャンバ１０を通って輸送される。次にロックシステム６６を閉じるために、上記の方法ステップ９６、９８、１０２～１２０が逆の順序で実行される。

要約すると、記載された方法ステップ９６、９８、１０２～１２０のシーケンスにおいて、輸送チャンバ２８の内容物は、ロック装置６８によって処理チャンバ２６に取り込まれるか、またはその逆であり、輸送チャンバ２８は、輸送チャンバ２８内の内圧がロックチャンバ１０内の内圧と少なくとも実質的に等しい場合にのみ開かれる。

図５および図６には、本発明の２つのさらなる例示的な実施形態が示されている。以下の説明および図面は、例示的な実施形態間の差異に実質的に限定される。同一の名称の構成要素に関し、特に同じ参照番号を有する構成要素に関し、主に図面および／または他の例示的な実施形態の説明、特に図１～図４も参照可能である。例示的な実施形態を区別するために、図１～図４の例示的な実施形態の参照番号に文字は追加されていない。図５および図６の例示的な実施形態では、文字ａまたは文字ｂが参照番号に追加されている。

図５は、代替のロック装置６８ａを備えた代替のロックシステム６６ａを示している。代替のロックシステム６６ａは、処理チャンバ２６ａ、輸送チャンバ２８ａ、およびロックチャンバ１０ａを備える。ロックチャンバ１０ａは、少なくとも部分的に処理チャンバ２６ａ内に配置されている。

図６は、第２の代替のロック装置６８ｂを備えた第２の代替のロックシステム６６ｂのカットアウトを示している。ロック装置６８ｂは、ロックチャンバ１０ｂを備える。ロック装置６８ｂは、ロック作動要素１２ｂを備える。ロック作動要素１２ｂは、結合要素３６ｂを備える。ロック作動要素１２ｂは、さらなる結合要素４２ｂを備える。ロック作動要素１２ｂは、キャリア要素４８ｂを備える。結合要素３６ｂは、移動可能に支持されたキャリア要素４８ｂに対して移動可能であるように、支持ユニット１８ｂによって支持されている。結合要素３６ｂは、支持ユニット１８ｂによって、第２移動経路４０．１ｂに沿って、２つの対向する移動方向５２ｂ、５４ｂに移動可能である。第２結合要素４２ｂは、支持ユニット１８ｂによって、さらなる第２移動経路４０．２ｂに沿って、２つの対向する移動方向５２ｂ、５４ｂに移動可能である。第２移動経路４０．１ｂ、４０．２ｂは、少なくとも実質的に弧状に延びる。第２移動経路４０．１ｂ、４０．２ｂは、ほぼクォーターサークルの形状を有する弧を形成する。第１結合要素３６ｂおよび第２結合要素４２ｂは、それらがキャリア要素４８ｂに対して旋回可能および／または折り畳み可能であるように実現される。

１０…ロックチャンバ
１２…ロック作動要素
１４…開口部
１６…開口部
１８…支持ユニット
２０…開放要素
２２…開放要素
２４…開口部
２６…処理チャンバ
２８…輸送チャンバ
３０…制御および／または調整ユニット
３２…圧力接続
３４…真空ポンプ
３６…結合要素
３８…移動経路
４０…移動経路
４２…第２結合要素
４４…側部
４６…側部
４８…キャリア要素
５０…開口面
５２…移動方向
５４…移動方向
５６…磁石
５８…支持位置
６０…ドッキング装置
６２…固定要素
６４…排気装置
６６…ロックシステム
６８…ロック装置
７０…アイテム
７２…シーリング要素
７４…内部
７６…内部
７８…シーリング要素
８０…内部
８２…シーリング要素
８４…側部
８６…側部
８８…開口部
９０…圧力ダクト
９２…バルブ
９４…磁石
９６…方法ステップ
９８…方法ステップ
１００…圧力センサ
１０２…方法ステップ
１０４…方法ステップ
１０６…方法ステップ
１０８…方法ステップ
１１０…方法ステップ
１１２…方法ステップ
１１４…方法ステップ
１１６…方法ステップ
１１８…方法ステップ
１２０…方法ステップ

Claims (25)

1. ロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）、特に、真空ロック装置であって、特に真空気密閉鎖可能な少なくとも１つのロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）を備え、前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）の少なくとも１つの開口部（１４，１６；１４ａ，１６ａ；１４ｂ，１６ｂ）、好ましくは、前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）の少なくとも２つの開口部（１４，１６；１４ａ，１６ａ；１４ｂ，１６ｂ）の開放状態を調整するように少なくとも構成された、移動可能に支持された少なくとも１つのロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）を備え、前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）を移動可能に支持するように構成された支持ユニット（１８；１８ａ；１８ｂ）を備えるロック装置において、
   前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）は、少なくとも半自動化された方法で、特に、前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）と少なくとも１つの開放要素（２０；２０ａ；２０ｂ）との間の作動的にリリース可能な力嵌めおよび／または形状嵌め結合を生成するように少なくとも構成されており、前記開放要素（２０；２０ａ；２０ｂ）は、少なくとも前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）の開口部（１４，１６；１４ａ，１６ａ；１４ｂ，１６ｂ）および／またはさらなるチャンバ（２６，２８；２６ａ，２８ａ；２６ｂ，２８ｂ）、特に、前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）と結合可能な処理チャンバ（２６；２６ａ；２６ｂ）または輸送チャンバ（２８；２８ａ；２８ｂ）の少なくとも１つの開口部（２４；２４ａ；２４ｂ）を閉鎖、好ましくは真空気密閉鎖するように少なくとも構成されていることを特徴とする、ロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
2. 前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）は、少なくとも半自動化された方法で前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）と、前記開放要素（２０；２０ａ；２０ｂ）とは異なる少なくとも１つの第２開放要素（２２；２２ａ；２２ｂ）との間の力嵌めおよび／または形状嵌め結合を生成するように少なくとも構成されていることを特徴とする、請求項１に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
3. 前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）は、少なくとも１つの作動状態において、前記開放要素（２０；２０ａ；２０ｂ）及び前記第２開放要素（２２；２２ａ；２２ｂ）と少なくとも同時に力嵌めおよび／または形状嵌め結合されるように構成されることを特徴とする、請求項２に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
4. 前記開放要素（２０；２０ａ；２０ｂ）によって閉鎖可能な前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）の前記開口部（１４；１４ａ；１４ｂ）と、前記第２開放要素（２２；２２ａ；２２ｂ）によって閉鎖可能な前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）の第２開口部（１６；１６ａ；１６ｂ）とは、前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）における反対の両側部（８４，８６；８４ａ，８４ｂ；８４ｂ，８６ｂ）に配置されていることを特徴とする、請求項２または請求項３に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
5. 前記開口部（１４；１４ａ；１４ｂ）の開口面（５０；５０ａ；５０ｂ）に垂直な視線方向において、少なくとも前記開口部（１４；１４ａ；１４ｂ）と前記第２開口部（１６；１６ａ；１６ｂ）とは、少なくとも大部分が重なっていることを特徴とする、請求項４に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
6. 前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）は、少なくとも前記開放要素（２０，２２；２０ａ，２２ａ；２０ｂ，２２ｂ）との少なくとも磁気結合のために構成されることを特徴とする、請求項１～請求項５のいずれか一項に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
7. 前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）は、少なくとも前記開放要素（２０，２２；２０ａ，２２ａ；２０ｂ，２２ｂ）との少なくとも作動的にリリース可能な力嵌めおよび／または形状嵌めによる機械的結合のために少なくとも構成されていることを特徴とする、請求項１～請求項６のいずれか一項に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
8. 前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）は、少なくとも前記開放要素（２０，２２；２０ａ，２２ａ；２０ｂ，２２ｂ）との空気圧結合のために構成されていることを特徴とする、請求項１～請求項７のいずれか一項に記載のロック装置。
9. 前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）は、互いに異なる少なくとも２つの移動経路（３８，４０；３８ａ，４０ａ；３８ｂ，４０ｂ）に沿って移動可能に前記支持ユニット（１８；１８ａ；１８ｂ）によって支持された少なくとも１つの結合要素（３６；３６ａ；３６ｂ）を備えることを特徴とする、請求項１～請求項８のいずれか一項に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
10. 前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）は少なくとも１つの第２結合要素（４２；４２ａ；４２ｂ）を含み、前記結合要素（３６；３６ａ；３６ｂ）および前記第２結合要素（４２；４２ａ；４２ｂ）は、前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）における反対の両側部（４４，４６；４４ａ，４６ａ；４４ｂ，４６ｂ）に配置されることを特徴とする、請求項９に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
11. 前記結合要素（３６；３６ａ；３６ｂ）および／または前記第２結合要素（４２；４２ａ；４２ｂ）は、少なくとも前記結合要素（３６；３６ａ；３６ｂ）および／または前記第２結合要素（４２；４２ａ；４２ｂ）を運ぶ前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）の移動可能に支持されたキャリア要素（４８；４８ａ；４８ｂ）に対して少なくとも移動可能であるように、前記支持ユニット（１８；１８ａ；１８ｂ）によって支持されることを特徴とする、請求項９または請求項１０に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
12. 前記結合要素（３６；３６ａ）および／または前記第２結合要素（４２；４２ａ）は、前記支持ユニット（１８；１８ａ）によって、前記ロックチャンバ（１０；１０ａ）の前記開口部（１４；１４ａ）の開口面（５０；５０ａ）に少なくとも実質的に垂直に延びる移動方向（５２、５４；５２ａ、５４ａ）に少なくとも沿って移動可能であることを特徴とする、請求項９～請求項１１のいずれか一項に記載のロック装置（６８；６８ａ）。
13. 前記結合要素（３６ｂ）および／または前記第２結合要素（４２ｂ）は、少なくとも実質的に弧状の移動経路（４０．１ｂ，４０．２ｂ）に少なくとも沿って移動可能に前記支持ユニット（１８ｂ）によって支持されることを特徴とする、請求項９～請求項１１のいずれか一項に記載のロック装置（６８ｂ）。
14. 前記開放要素（２０，２２；２０ａ，２２ａ；２０ｂ；２２ｂ）との結合のため、前記結合要素（３６；３６ａ；３６ｂ）および前記第２結合要素（４２；４２ａ；４２ｂ）は、少なくとも実質的に互いに対向する複数の移動方向（５２、５４；５２ａ、５４ａ；５２ｂ、５４ｂ）に移動可能であることを特徴とする、少なくとも請求項１０に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
15. 前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）は、磁場によって前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）と前記開放要素（２０、２２；２０ａ、２２ａ；２０ｂ、２２ｂ）との間に力嵌め結合を少なくとも部分的に生成するように特に構成された少なくとも１つの磁石（５６；５６ａ；５６ｂ）を備えることを特徴とする、請求項１～請求項１４のいずれか一項に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
16. 前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）は、前記支持ユニット（１８；１８ａ；１８ｂ）によって、前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）の前記開口部（１４；１４ａ；１４ｂ）の開口面（５０；５０ａ；５０ｂ）に少なくとも実質的に平行に延びる少なくとも平面内で移動可能であることを特徴とする、請求項１～請求項１５のいずれか一項に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
17. 前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）の支持位置（５８；５８ａ；５８ｂ）では、前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）と、前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）と力嵌めおよび／または形状嵌め結合された前記開放要素（２０，２２；２０ａ，２２ａ；２０ｂ，２２ｂ）とは、開放状態が前記ロック作動要素（１２；１２ａ；１２ｂ）によって調整可能な前記開口部（１４，１６，２４；１４ａ，１６ａ，２４ａ；１４ｂ，１６ｂ，２４ｂ）と重なりがないことを特徴とする、請求項１～請求項１６のいずれか一項に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
18. 前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）は、輸送チャンバ（２８；２８ａ；２８ｂ）の前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）への真空気密ドッキングを可能にするように少なくとも構成された少なくとも１つのドッキング装置（６０；６０ａ；６０ｂ）を備えることを特徴とする、請求項１～請求項１７のいずれか一項に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
19. 前記ドッキング装置（６０；６０ａ；６０ｂ）は、前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）に対して少なくとも前記輸送チャンバ（２８；２８ａ；２８ｂ）を力嵌めおよび／または形状嵌め保持するために構成された少なくとも１つの固定要素（６２；６２ａ；６２ｂ）を備えることを特徴とする、請求項１８に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
20. 前記ロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）は、少なくとも１つの排気装置（６４；６４ａ；６４ｂ）を備えることを特徴とする、請求項１～請求項１９のいずれか一項に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）。
21. ロックシステム（６６；６６ａ；６６ｂ）、特に真空ロックシステムであって、請求項１～請求項２０のいずれか一項に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）、特に真空ロック装置を備え、特に真空下で処理ステップを実行するための処理チャンバ（２６；２６ａ；２６ｂ）を備え、かつ、輸送チャンバ（２８；２８ａ；２８ｂ）、特に真空輸送容器を備えたロックシステム（６６；６６ａ；６６ｂ）。
22. 前記ロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）が前記処理チャンバ（２６；２６ａ；２６ｂ）に固定的に接続されること、および／または、前記ロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）が前記処理チャンバ（２６；２６ａ；２６ｂ）内に少なくとも部分的に配置されることを特徴とする、請求項２１に記載のロックシステム（６６；６６ａ；６６ｂ）。
23. 請求項２１または請求項２２に記載のロックシステム（６６；６６ａ；６６ｂ）の輸送チャンバ（２８；２８ａ；２８ｂ）、特に真空輸送容器。
24. 請求項１～請求項２０のいずれか一項に記載のロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）、特に、真空ロック装置、および／または、請求項２１又は請求項２２に記載のロックシステム（６６；６６ａ；６６ｂ）、特に真空ロックシステムの作動方法。
25. 方法ステップ（９６，９８，１０２～１２０；９６ａ，９８ａ，１０２ａ～１２０ａ；９６ｂ，９８ｂ，１０２ｂ～１２０ｂ）の少なくとも１つのシーケンスにおいて、輸送チャンバ（２８；２８ａ；２８ｂ）の内容物は、前記ロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）によって前記輸送チャンバ（２８；２８ａ；２８ｂ）から処理チャンバ（２６；２６ａ；２６ｂ）に運ばれ、またはその逆に運ばれ、前記輸送チャンバ（２８；２８ａ；２８ｂ）は、前記輸送チャンバ（２８；２８ａ；２８ｂ）内の圧力が前記ロック装置（６８；６８ａ；６８ｂ）のロックチャンバ（１０；１０ａ；１０ｂ）内の圧力と少なくとも実質的に同等である場合にのみ開かれることを特徴とする、請求項２４に記載の方法。

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