JPH1078145A - ゲートバルブ機構 - Google Patents
ゲートバルブ機構Info
- Publication number
- JPH1078145A JPH1078145A JP23425796A JP23425796A JPH1078145A JP H1078145 A JPH1078145 A JP H1078145A JP 23425796 A JP23425796 A JP 23425796A JP 23425796 A JP23425796 A JP 23425796A JP H1078145 A JPH1078145 A JP H1078145A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- flanges
- gate
- valve
- sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の問題点を解決し、小型で且つ均一な封
止圧力で完全封止ができ、またごみの発生を防止できる
ゲートバルブの提供にある。 【解決手段】 バルブハウジング６内に２枚のゲートフ
ランジ１，２を組み入れ、このフランジ間に間隔を拡
張、収縮させるアクチュータの役目をするベローズ３を
設ける。ベローズ３の両面は２枚のフランジ１，２と固
着して設けられ、ベローズ３内に挿入されたアーム５に
よってフランジ１，２をバルブハウジング６内の開口位
置から封止位置に移動させる。操作アーム５内にはベロ
ーズ３内に開口して圧搾空気などの流体圧を給排するパ
イプ４が設けてあり、圧力流体の給排によってベローズ
が膨張、収縮する。ベローズ３の膨張によってフランジ
１，２間隔が拡張してバルブ封止状態にし、ベローズ３
の収縮によってフランジ１，２間を縮小して開口状態に
制御する。
止圧力で完全封止ができ、またごみの発生を防止できる
ゲートバルブの提供にある。 【解決手段】 バルブハウジング６内に２枚のゲートフ
ランジ１，２を組み入れ、このフランジ間に間隔を拡
張、収縮させるアクチュータの役目をするベローズ３を
設ける。ベローズ３の両面は２枚のフランジ１，２と固
着して設けられ、ベローズ３内に挿入されたアーム５に
よってフランジ１，２をバルブハウジング６内の開口位
置から封止位置に移動させる。操作アーム５内にはベロ
ーズ３内に開口して圧搾空気などの流体圧を給排するパ
イプ４が設けてあり、圧力流体の給排によってベローズ
が膨張、収縮する。ベローズ３の膨張によってフランジ
１，２間隔が拡張してバルブ封止状態にし、ベローズ３
の収縮によってフランジ１，２間を縮小して開口状態に
制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体処理装置にお
ける真空容器（処理室）の封止を目的とするゲートバル
ブ機構に関するものである。
ける真空容器（処理室）の封止を目的とするゲートバル
ブ機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来方式のゲートバルブを図６に示す。
図の（ａ）はバルブ開口状態図、（ｂ）はその上面図、
（ｃ）はバルブ封止状態図で、図示するように、ゲート
フランジ１１がアーム１２によってバルブハウジング１
３の中を移動し、アーム１２を駆動するシリンダ１５後
端に設けられたリンク機構１４により封止動作を行う。
この方式は小型のゲートバルブでは利用できても、大型
（大口径）のゲートバルブにおいては、圧力に抗する大
型のシリンダ１５及びアーム１２が必要なため、装置が
大きくなり、また、リンク機構１４では封止のための均
一な圧力が得られないなどの問題がある。
図の（ａ）はバルブ開口状態図、（ｂ）はその上面図、
（ｃ）はバルブ封止状態図で、図示するように、ゲート
フランジ１１がアーム１２によってバルブハウジング１
３の中を移動し、アーム１２を駆動するシリンダ１５後
端に設けられたリンク機構１４により封止動作を行う。
この方式は小型のゲートバルブでは利用できても、大型
（大口径）のゲートバルブにおいては、圧力に抗する大
型のシリンダ１５及びアーム１２が必要なため、装置が
大きくなり、また、リンク機構１４では封止のための均
一な圧力が得られないなどの問題がある。
【０００３】また大型のゲートバルブにおいては、図７
のように、ゲートフランジ２１を操作するアーム２２の
駆動シリンダ２５の他に、複数のシリンダ２６を用い、
アーム２７によってゲートフランジ２１の周囲を押さ
え、均一な封止圧力を得る構造のゲートバルブが使用さ
れるが、この方式では装置自体が大きく、シリンダ２６
部からのごみが出やすい問題点がある。
のように、ゲートフランジ２１を操作するアーム２２の
駆動シリンダ２５の他に、複数のシリンダ２６を用い、
アーム２７によってゲートフランジ２１の周囲を押さ
え、均一な封止圧力を得る構造のゲートバルブが使用さ
れるが、この方式では装置自体が大きく、シリンダ２６
部からのごみが出やすい問題点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように従来方式で
は、ゲートフランジを圧力に抗して押さえる大型のシリ
ンダが必要なため、装置が大きくなる欠点があり、また
均一な圧力で押圧するのに複数のシリンダ及びアームが
必要で装置は大型且つ複雑になる。またシリンダ部から
のごみの発生が真空系に問題がある。
は、ゲートフランジを圧力に抗して押さえる大型のシリ
ンダが必要なため、装置が大きくなる欠点があり、また
均一な圧力で押圧するのに複数のシリンダ及びアームが
必要で装置は大型且つ複雑になる。またシリンダ部から
のごみの発生が真空系に問題がある。
【０００５】本発明の目的は、このような問題点を解決
し、小型で且つ均一な封止圧力で完全封止ができ、また
ごみの発生を防止できるゲートバルブの提供にある。
し、小型で且つ均一な封止圧力で完全封止ができ、また
ごみの発生を防止できるゲートバルブの提供にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の目的は、バルブハ
ウジング内に組み入れた２枚の相対するゲートフランジ
と、該ゲートフランジ間に介在して間隔を拡張、縮小変
化させるベローズと、該ベローズ内においてベローズを
膨張、収縮作動させる手段と、前記ゲートフランジをバ
ルブハウジング内の封止位置と開口位置とに移動操作さ
せるアームとを備えたことによって達成される。
ウジング内に組み入れた２枚の相対するゲートフランジ
と、該ゲートフランジ間に介在して間隔を拡張、縮小変
化させるベローズと、該ベローズ内においてベローズを
膨張、収縮作動させる手段と、前記ゲートフランジをバ
ルブハウジング内の封止位置と開口位置とに移動操作さ
せるアームとを備えたことによって達成される。
【０００７】前記ベローズの膨張、収縮作動は、前記ア
ームを経てベローズ内に開口するパイプにより圧力流体
を流入、流出させることにより、膨張させて２枚のゲー
トフランジ間隔を拡張させハウジング開口部に圧接させ
ることにより封止状態とし、ベローズを収縮させて２枚
のゲートフランジ間隔を縮小させ封止状態を解放する。
この解放したゲートフランジをアームによって封止位置
から後退させてバルブ開口とさせる。
ームを経てベローズ内に開口するパイプにより圧力流体
を流入、流出させることにより、膨張させて２枚のゲー
トフランジ間隔を拡張させハウジング開口部に圧接させ
ることにより封止状態とし、ベローズを収縮させて２枚
のゲートフランジ間隔を縮小させ封止状態を解放する。
この解放したゲートフランジをアームによって封止位置
から後退させてバルブ開口とさせる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
により説明する。
により説明する。
【０００９】図１は、本発明の一実施形態の構成図で、
（ａ）が側断面図、（ｂ）が上断面図を示し、バルブハ
ウジング６内に２枚のゲートフランジ１，２を組み入
れ、このフランジ間に間隔を拡張、縮小変化させるアク
チェータの役目をするベローズ３を設ける。ベローズ３
の両面は２枚のフランジ１，２と固着して設けられ、ベ
ローズ３内に挿入されたアーム５によってフランジ１，
２がバルブハウジング６内を開口位置から封止位置に移
動される。操作アーム５内にはベローズ３内に開口して
圧搾空気などの流体圧を給排するパルプ４が設けてあ
り、圧力流体の給排によりベローズ３が膨張、収縮す
る。
（ａ）が側断面図、（ｂ）が上断面図を示し、バルブハ
ウジング６内に２枚のゲートフランジ１，２を組み入
れ、このフランジ間に間隔を拡張、縮小変化させるアク
チェータの役目をするベローズ３を設ける。ベローズ３
の両面は２枚のフランジ１，２と固着して設けられ、ベ
ローズ３内に挿入されたアーム５によってフランジ１，
２がバルブハウジング６内を開口位置から封止位置に移
動される。操作アーム５内にはベローズ３内に開口して
圧搾空気などの流体圧を給排するパルプ４が設けてあ
り、圧力流体の給排によりベローズ３が膨張、収縮す
る。
【００１０】なおバルブハウジング６の開口６ａは、図
（ｂ）に示すように四角形をし、フランジ１，２は、こ
の開口６ａに充分閉塞できる大きさとし、フランジ１，
２間に介在するベローズ３は円形をしている。
（ｂ）に示すように四角形をし、フランジ１，２は、こ
の開口６ａに充分閉塞できる大きさとし、フランジ１，
２間に介在するベローズ３は円形をしている。
【００１１】図２はバルブ封止時を示す。フランジ１及
び２はアーム５の操作によりバルブハウジング６内の開
口部６ａに移動され、その位置でパイプ４から圧搾空気
が送り込まれることによりベローズ３が膨張してフラン
ジ１，２をハウジング６の開口６ａを中心とした封止面
に押し付けバルブ封止状態とする。この２枚のフランジ
１，２による封止によりバルブハウジング６に連結する
図示しない真空容器（処理室）は完全に閉塞される。
び２はアーム５の操作によりバルブハウジング６内の開
口部６ａに移動され、その位置でパイプ４から圧搾空気
が送り込まれることによりベローズ３が膨張してフラン
ジ１，２をハウジング６の開口６ａを中心とした封止面
に押し付けバルブ封止状態とする。この２枚のフランジ
１，２による封止によりバルブハウジング６に連結する
図示しない真空容器（処理室）は完全に閉塞される。
【００１２】次に図３はバルブ開口時を示し、先づ、フ
ランジ１，２の封止位置において、パイプ４から圧搾空
気を排気する。これによりベローズ３が収縮し、フラン
ジ１，２もバルブハウジング６から離れ、封止が解除さ
れる。このフランジ間隔が縮小した状態においてアーム
５によりフランジ１，２をバルブハウジングの開口部６
ａから後退させ封止状態から開口状態（図１の位置）へ
切り替える。この開口状態においてはバルブハウジング
６に連結する真空容器は、例えば他方に連結する真空ポ
ンプにより真空排気処理、あるいは拡散ガスの供給等が
行なわれる。
ランジ１，２の封止位置において、パイプ４から圧搾空
気を排気する。これによりベローズ３が収縮し、フラン
ジ１，２もバルブハウジング６から離れ、封止が解除さ
れる。このフランジ間隔が縮小した状態においてアーム
５によりフランジ１，２をバルブハウジングの開口部６
ａから後退させ封止状態から開口状態（図１の位置）へ
切り替える。この開口状態においてはバルブハウジング
６に連結する真空容器は、例えば他方に連結する真空ポ
ンプにより真空排気処理、あるいは拡散ガスの供給等が
行なわれる。
【００１３】このバルブ制御によれば、大型（大口径）
のゲートバルブにおいてもベローズ３の収縮膨張により
２枚のフランジ１，２には均一な圧力を作用でき、均一
な封止圧力により安定した封止状態、開口状態のバルブ
切替ができ、また２枚フランジ１，２を用いたことによ
り封止力も充分であり、ベローズ３による閉回路制御に
より真空容器へのごみの発生及び侵入を防止できる。
のゲートバルブにおいてもベローズ３の収縮膨張により
２枚のフランジ１，２には均一な圧力を作用でき、均一
な封止圧力により安定した封止状態、開口状態のバルブ
切替ができ、また２枚フランジ１，２を用いたことによ
り封止力も充分であり、ベローズ３による閉回路制御に
より真空容器へのごみの発生及び侵入を防止できる。
【００１４】なお、ベローズ３の収縮、膨張制御に作動
流体としては、空気以外のガス、液体等も利用できる。
また流体の出し入れによるベローズ３の一連の膨張、収
縮動作の一方をスプリングによって置き換えた構造も可
能である。またバルブ開口部６ａ，フランジ１，２の形
状は図示の四角形に限定されず、ベローズ３の形状、ベ
ローズ３の設置個数等も任意に設計変更できる。
流体としては、空気以外のガス、液体等も利用できる。
また流体の出し入れによるベローズ３の一連の膨張、収
縮動作の一方をスプリングによって置き換えた構造も可
能である。またバルブ開口部６ａ，フランジ１，２の形
状は図示の四角形に限定されず、ベローズ３の形状、ベ
ローズ３の設置個数等も任意に設計変更できる。
【００１５】図４及び図５は、本発明の他の実施形態を
示す動作説明図である。この実施形態ではベローズ３の
膨張、収縮の作動を電磁石を利用するようにしたもので
ある。即ち、ベローズ３内に電磁石７と永久磁石８を、
各々ベローズ３を介して２枚のフランジ１，２に固定
し、各々を相対向して設ける。電磁石７はアーム５内を
通る励磁用リード線から電流供給される。図４はバルブ
開口部６ａの封止位置にフランジ１，２を移動させた状
態で電磁石７を励磁し、永久磁石８との反撥によりベロ
ーズ３を膨張して封止状態としたものである。また図５
は電磁石７の励磁を逆励磁に切り替えるか、励磁を切っ
て永久磁石８に吸着してベローズ３を収縮させフランジ
１，２を狭ばめて封止状態を解放した場合を示す。
示す動作説明図である。この実施形態ではベローズ３の
膨張、収縮の作動を電磁石を利用するようにしたもので
ある。即ち、ベローズ３内に電磁石７と永久磁石８を、
各々ベローズ３を介して２枚のフランジ１，２に固定
し、各々を相対向して設ける。電磁石７はアーム５内を
通る励磁用リード線から電流供給される。図４はバルブ
開口部６ａの封止位置にフランジ１，２を移動させた状
態で電磁石７を励磁し、永久磁石８との反撥によりベロ
ーズ３を膨張して封止状態としたものである。また図５
は電磁石７の励磁を逆励磁に切り替えるか、励磁を切っ
て永久磁石８に吸着してベローズ３を収縮させフランジ
１，２を狭ばめて封止状態を解放した場合を示す。
【００１６】なお、この場合も２枚のフランジ１，２の
作動を行なう、電磁石７及び永久磁石８はベローズ３内
に収納して設けられているので、作動運動に伴なうごみ
の発生、侵入を防止できる。
作動を行なう、電磁石７及び永久磁石８はベローズ３内
に収納して設けられているので、作動運動に伴なうごみ
の発生、侵入を防止できる。
【００１７】また、図示しないが、ベローズ３の膨張、
収縮の作動は、他の機構を利用でき、例えばリンクを用
いたパンタグラフの機構等を用いることも可能である。
収縮の作動は、他の機構を利用でき、例えばリンクを用
いたパンタグラフの機構等を用いることも可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、２枚の相
対するゲートフランジの封止動作を相互間に介在させた
ベローズの膨張、収縮によって行なうようにしたので、
真空系への潤滑油や摩耗によるごみの発生、侵入を完全
に防止できる。また、ベローズの膨張、収縮によって２
枚のゲートフランジの拡張、縮小を行なうので均一な封
止圧力を作用させることができる構造であり、装置の構
造を小さく構成でき、かつ大型（大口径）のゲートバル
ブが安定して容易に構成できる。
対するゲートフランジの封止動作を相互間に介在させた
ベローズの膨張、収縮によって行なうようにしたので、
真空系への潤滑油や摩耗によるごみの発生、侵入を完全
に防止できる。また、ベローズの膨張、収縮によって２
枚のゲートフランジの拡張、縮小を行なうので均一な封
止圧力を作用させることができる構造であり、装置の構
造を小さく構成でき、かつ大型（大口径）のゲートバル
ブが安定して容易に構成できる。
【図１】本発明の一実施形態の構造図。
【図２】図１の封止状態動作説明図。
【図３】図１の封止状態解放動作説明図。
【図４】本発明の他の実施形態の封止状態動作説明図。
【図５】図４の封止状態解放動作説明図。
【図６】従来の小型ゲートバルブ構造図。
【図７】従来の大型ゲートバルブ構造図。
１，２…ゲートフランジ、３…ベローズ、４…パイプ、
５…アーム、６…バルブハウジング、７…電磁石、８…
永久磁石。
５…アーム、６…バルブハウジング、７…電磁石、８…
永久磁石。
Claims (2)
- 【請求項１】 真空容器の開口部を封止するゲートバル
ブ機構において、バルブハウジング内に組み入れた２枚
の相対するゲートフランジと、該ゲートフランジ間に介
在して間隔を拡張、縮小変化させるベローズと、該ベロ
ーズ内においてベローズを膨張、収縮作動させる手段
と、前記ゲートフランジをバルブハウジング内の封止位
置と開口位置とに移動操作させるアームとを備えてなる
ゲートバルブ機構。 - 【請求項２】 前記ベローズを膨張、収縮作動させる手
段は、前記アームを経てベローズ内に開口するパイプに
より圧力流体を流入、流出させる装置であることを特徴
とする請求項１記載のゲートバルブ機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23425796A JPH1078145A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ゲートバルブ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23425796A JPH1078145A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ゲートバルブ機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1078145A true JPH1078145A (ja) | 1998-03-24 |
Family
ID=16968145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23425796A Pending JPH1078145A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ゲートバルブ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1078145A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100489553B1 (ko) * | 2002-07-19 | 2005-05-23 | 박웅기 | 진공 게이트밸브 |
| JP2007170666A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Vat Holding Ag | 振り子とスライドゲート真空バルブ |
| JP2007292273A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Ulvac Japan Ltd | 真空ゲートバルブ |
| KR101099571B1 (ko) | 2010-01-18 | 2011-12-28 | 프리시스 주식회사 | 진공 게이트밸브 |
| CN107164850A (zh) * | 2017-07-24 | 2017-09-15 | 宁夏如意科技时尚产业有限公司 | 一种梳棉机负压主管道风量调节装置 |
| KR20200021195A (ko) * | 2018-08-20 | 2020-02-28 | 주식회사 에스티테크놀로지 | 팽창식 진공 게이트 밸브 |
| JP2022510636A (ja) * | 2018-11-27 | 2022-01-27 | バット ホールディング アーゲー | ロック装置、ロックシステム、及びロック装置の作動方法 |
| CN114321416A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-12 | 江苏汉唐环保科技有限公司 | 一种具有高密封性的双层挡门板 |
-
1996
- 1996-09-04 JP JP23425796A patent/JPH1078145A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100489553B1 (ko) * | 2002-07-19 | 2005-05-23 | 박웅기 | 진공 게이트밸브 |
| JP2007170666A (ja) * | 2005-12-20 | 2007-07-05 | Vat Holding Ag | 振り子とスライドゲート真空バルブ |
| JP2007292273A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-11-08 | Ulvac Japan Ltd | 真空ゲートバルブ |
| KR101099571B1 (ko) | 2010-01-18 | 2011-12-28 | 프리시스 주식회사 | 진공 게이트밸브 |
| CN107164850A (zh) * | 2017-07-24 | 2017-09-15 | 宁夏如意科技时尚产业有限公司 | 一种梳棉机负压主管道风量调节装置 |
| KR20200021195A (ko) * | 2018-08-20 | 2020-02-28 | 주식회사 에스티테크놀로지 | 팽창식 진공 게이트 밸브 |
| JP2022510636A (ja) * | 2018-11-27 | 2022-01-27 | バット ホールディング アーゲー | ロック装置、ロックシステム、及びロック装置の作動方法 |
| CN114321416A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-12 | 江苏汉唐环保科技有限公司 | 一种具有高密封性的双层挡门板 |
| CN114321416B (zh) * | 2021-12-30 | 2023-09-01 | 江苏汉唐环保科技有限公司 | 一种具有高密封性的双层挡门板 |
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