JPS61171905A - エアシリンダの制御装置 - Google Patents
エアシリンダの制御装置Info
- Publication number
- JPS61171905A JPS61171905A JP1385685A JP1385685A JPS61171905A JP S61171905 A JPS61171905 A JP S61171905A JP 1385685 A JP1385685 A JP 1385685A JP 1385685 A JP1385685 A JP 1385685A JP S61171905 A JPS61171905 A JP S61171905A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- passage
- cylinder
- negative pressure
- piston rod
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、クリーンルームなどにおいて用いられるエア
シリンダの制御装置に関する。
シリンダの制御装置に関する。
近年、清浄な環境での作業を要する場合、たとえば高集
積度の半導体装置を製造する場合には、極めて厳格な清
浄度を持つクリーンルームが利用されている。
積度の半導体装置を製造する場合には、極めて厳格な清
浄度を持つクリーンルームが利用されている。
このような作業にエアシリンダが用いられる場合、この
エアシリンダのピストンロッドとシリンダとのシール間
隙から洩れ出る空気に含まれる汚染物質が、そのクリー
ンルーム内を汚染することになる。
エアシリンダのピストンロッドとシリンダとのシール間
隙から洩れ出る空気に含まれる汚染物質が、そのクリー
ンルーム内を汚染することになる。
−ル材として特殊で高価なものを用いる必要があるほか
、ピストンロッドのシール材による摩擦抵抗が増大し、
これらの摩耗、劣化が促進されて、結局上記洩れを生じ
てしまうという問題点があること、あるいは一旦ピスト
ンロッドのシールから外部に洩れ出た空気を２重にシー
ルして、洩れ出た分を別途の管路で外部に排出しなけれ
ばならないことを本発明者は見い出した。
、ピストンロッドのシール材による摩擦抵抗が増大し、
これらの摩耗、劣化が促進されて、結局上記洩れを生じ
てしまうという問題点があること、あるいは一旦ピスト
ンロッドのシールから外部に洩れ出た空気を２重にシー
ルして、洩れ出た分を別途の管路で外部に排出しなけれ
ばならないことを本発明者は見い出した。
本発明の目的は、ピストンロッド側の空気室はピストン
のいかなる運動状態にあっても大気圧または大気圧以下
の負圧に保持するようにして、ピストンロッドとシリン
ダとの間隙からシリンダ内の空気がクリーンルームなど
に洩れ出るのを確実に防止することができるエアシリン
ダの制御装置を提供することにある。
のいかなる運動状態にあっても大気圧または大気圧以下
の負圧に保持するようにして、ピストンロッドとシリン
ダとの間隙からシリンダ内の空気がクリーンルームなど
に洩れ出るのを確実に防止することができるエアシリン
ダの制御装置を提供することにある。
本発明はピストンによって隔成したシリンダ内の各空気
室を、ポートを通じて大気通路、負圧通路および空気圧
通路のそれぞれに選択的に通じさせる切換弁を設け、ピ
ストンがいかなる移動位置にあっても上記ピストンロッ
ド側の空気室のポートが上記大気通路または負圧通路に
連通ずるように切換弁を作動させる構成としたものであ
り、これによってそのピストンロッド側の空気室からシ
リンダ外へ、その空気室内の空気が洩れ出るのを完全に
防止することができることになる。
室を、ポートを通じて大気通路、負圧通路および空気圧
通路のそれぞれに選択的に通じさせる切換弁を設け、ピ
ストンがいかなる移動位置にあっても上記ピストンロッ
ド側の空気室のポートが上記大気通路または負圧通路に
連通ずるように切換弁を作動させる構成としたものであ
り、これによってそのピストンロッド側の空気室からシ
リンダ外へ、その空気室内の空気が洩れ出るのを完全に
防止することができることになる。
〔実施例１〕
第１図は本発明にかかるエアシリンダの制御装置の一実
施例を示す説明図である。
施例を示す説明図である。
本実施例１において、■はエアシリンダ装置としてのエ
アシリンダ７クチユエータで、たとえば半導体素子の製
造等のためのクリーンルーム２内に設置されている。エ
アシリンダアクチュエータ１はシリンダ３と、このシリ
ンダ３内をピストンパツキン６ａによって２つの空気室
４．５に隔成するピストン６と、一端がピストン６に固
着され 吏かつシリンダ３の一端において
出入するピストンロッド７とを有する。８はピストンロ
ッド７とシリンダ３端のロッド挿通孔３ａとの間に介装
されたシール材である。９はピストン６をピストンロッ
ド７側とは反対方向に付勢するスプリングである。１０
．１１は空気室４．５にそれぞれ連通するポートである
。
アシリンダ７クチユエータで、たとえば半導体素子の製
造等のためのクリーンルーム２内に設置されている。エ
アシリンダアクチュエータ１はシリンダ３と、このシリ
ンダ３内をピストンパツキン６ａによって２つの空気室
４．５に隔成するピストン６と、一端がピストン６に固
着され 吏かつシリンダ３の一端において
出入するピストンロッド７とを有する。８はピストンロ
ッド７とシリンダ３端のロッド挿通孔３ａとの間に介装
されたシール材である。９はピストン６をピストンロッ
ド７側とは反対方向に付勢するスプリングである。１０
．１１は空気室４．５にそれぞれ連通するポートである
。
一方、１２は電磁力によって作動制御される切換弁であ
り、上記ポー）１０．１１はこの切換弁１２および必要
な空気管路１３．１４を介して、大気通路１５や真空ポ
ンプ１６を接続した負圧通路１７あるいは空気圧源１８
を接続した空気圧通路１９に選択的に連通される構造と
なっている。
り、上記ポー）１０．１１はこの切換弁１２および必要
な空気管路１３．１４を介して、大気通路１５や真空ポ
ンプ１６を接続した負圧通路１７あるいは空気圧源１８
を接続した空気圧通路１９に選択的に連通される構造と
なっている。
２０は圧力調整弁である。
次に、本実施例１の作用について説明する。
まず、エアシリンダアクチェエータｌに仕事をさせる必
要のない場合には、図示のような位置に切換弁１２が切
り換えられているので、空気室４は真空ポンプ１６によ
って負正に引かれ、他の空気室５は大気通路１５を介し
て大気に通じている。
要のない場合には、図示のような位置に切換弁１２が切
り換えられているので、空気室４は真空ポンプ１６によ
って負正に引かれ、他の空気室５は大気通路１５を介し
て大気に通じている。
このため、その負圧およびスプリング９の復元反発力に
よってピストン６は左方に付勢され、終極一方、エアシ
リンダアクチュエータ１に仕事が要求されて、切換弁１
２のソレノイドが付勢されると、この切換弁１２は位置
が切り換えられ、空気室４には空気圧通路１９が接続さ
れ、空気圧源１８から空気室４に圧縮空気が送り込まれ
る一方、空気室５は負圧通路１７に連通し、真空ポンプ
１６によって空気室５中の空気は強制排気される。
よってピストン６は左方に付勢され、終極一方、エアシ
リンダアクチュエータ１に仕事が要求されて、切換弁１
２のソレノイドが付勢されると、この切換弁１２は位置
が切り換えられ、空気室４には空気圧通路１９が接続さ
れ、空気圧源１８から空気室４に圧縮空気が送り込まれ
る一方、空気室５は負圧通路１７に連通し、真空ポンプ
１６によって空気室５中の空気は強制排気される。
このため、上記圧縮空気圧および強制排気による負圧が
協働してスプリング９に抗してピストン６を右方に移動
させることになる。このため、ピストンロッド７はシリ
ンダ３のロッド挿通孔３ａ外へ突出していく、この突出
動作によってピストンロッド７は所期の作業を実行する
。
協働してスプリング９に抗してピストン６を右方に移動
させることになる。このため、ピストンロッド７はシリ
ンダ３のロッド挿通孔３ａ外へ突出していく、この突出
動作によってピストンロッド７は所期の作業を実行する
。
この突出動作においては、空気室５は次第に容積が小さ
くなっていくのであるが、この空気室５が負正に引かれ
るので、これまで大気が充満していたにも拘わらず、負
圧通路１７を通ってすばやく排気され、従ってクリーン
ルームからシール８を通して空気が洩れ入ることはあっ
ても、ロンドことが完全になくなる。つまり、ピストン
ロッド７のいかなる運動行程にあっても、空気室５内は
大気圧または大気圧以下に保たれるので、シール８を通
して洩れ出た空気を別途の管路で回収するなどの方法を
とらな（でも、クリーンルームへの空気室５内からの空
気の洩れおよびこれによるクリーンルームの汚染を完全
に防止することができる。
くなっていくのであるが、この空気室５が負正に引かれ
るので、これまで大気が充満していたにも拘わらず、負
圧通路１７を通ってすばやく排気され、従ってクリーン
ルームからシール８を通して空気が洩れ入ることはあっ
ても、ロンドことが完全になくなる。つまり、ピストン
ロッド７のいかなる運動行程にあっても、空気室５内は
大気圧または大気圧以下に保たれるので、シール８を通
して洩れ出た空気を別途の管路で回収するなどの方法を
とらな（でも、クリーンルームへの空気室５内からの空
気の洩れおよびこれによるクリーンルームの汚染を完全
に防止することができる。
〔実施例２〕
第２図は本発明の他の実施例を示す説明図である。本実
施例２では第１図と同じ機能のものは同じ番号を付し、
説明を省略する。
施例２では第１図と同じ機能のものは同じ番号を付し、
説明を省略する。
本実施例２において、２２は電磁力によって作動制御さ
れる切換弁で、ポート１０は該切換弁２２および空気管
２３を介して、大気通路１５あるいは空気圧源１８を接
続した空気圧通路１９に選択的に連通される構造となっ
ている。一方、ポート１１は負圧通路２４を介して真空
ポンプ１６に連通されている。
れる切換弁で、ポート１０は該切換弁２２および空気管
２３を介して、大気通路１５あるいは空気圧源１８を接
続した空気圧通路１９に選択的に連通される構造となっ
ている。一方、ポート１１は負圧通路２４を介して真空
ポンプ１６に連通されている。
次に本実施例２の作用について説明する。
させる必要がない場合には、切換弁２２が図示の位置に
切り換えられているので、空気室４は大気通路１５を介
して大気に通じているため、ピストンロッド６はスプリ
ング９によって左方に付勢され、左端部に位置している
。一方、空気室５はポート１１と負圧通路２４を介して
真空ポンプ１６に常に連通しているため、負圧になって
いる。このときの負圧力は、スプリング９の反発力より
も小さい負圧力に設定されている。
切り換えられているので、空気室４は大気通路１５を介
して大気に通じているため、ピストンロッド６はスプリ
ング９によって左方に付勢され、左端部に位置している
。一方、空気室５はポート１１と負圧通路２４を介して
真空ポンプ１６に常に連通しているため、負圧になって
いる。このときの負圧力は、スプリング９の反発力より
も小さい負圧力に設定されている。
切換弁２２のソレノイドが付勢され切り換えられると、
空気室４には空気圧通路１９が接続され、空気圧源１８
から圧縮空気が送り込まれてピストン６はスプリング９
に抗して右方に移動する。このため、ピストンロッド７
はシリンダ３のロッド挿通孔３ａ外へ突出し、所期の作
業を実行する。
空気室４には空気圧通路１９が接続され、空気圧源１８
から圧縮空気が送り込まれてピストン６はスプリング９
に抗して右方に移動する。このため、ピストンロッド７
はシリンダ３のロッド挿通孔３ａ外へ突出し、所期の作
業を実行する。
、ニー（Ｄｈ＠、’１ｍ’！ｉ ５ ！よＩＣａＥＥ！
Ｚｆｆｌ＆ｈフイ！。 賽で、クリーンルーム
２内への空気の洩れおよびこれによるクリ−・ンルーム
２内の汚染を完全に防止することができる。
Ｚｆｆｌ＆ｈフイ！。 賽で、クリーンルーム
２内への空気の洩れおよびこれによるクリ−・ンルーム
２内の汚染を完全に防止することができる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
たとえば、ポート１１と真空ポンプ１６との間に切換弁
を設けて、上記切換弁２２と同時作動制御して真空ポン
プ１６の駆動停止を制御することもできる。
たとえば、ポート１１と真空ポンプ１６との間に切換弁
を設けて、上記切換弁２２と同時作動制御して真空ポン
プ１６の駆動停止を制御することもできる。
本発明によれば、ピストンによって隔成されたピストン
ロッド側の空気室内を、ピストンロッドの運動状態いか
んに拘わらず常に大気圧または大気圧以下に保つように
したので、ピストンロッドとシリンダとのシール性を必
要以上に強固にしたり、あるいは洩れ空気の回収回路を
シリンダ端に別途に設けたりすることなく、これらピス
トンロッド、シール材およびシリンダの各間隙から外部
への空気の洩れを有効に防止でき、たとえばこのシリン
ダアクチェエータをクリーンルームで使用する場合にお
けるクリーンルーム内の空気の汚染を効果的に防止する
ことができる。
ロッド側の空気室内を、ピストンロッドの運動状態いか
んに拘わらず常に大気圧または大気圧以下に保つように
したので、ピストンロッドとシリンダとのシール性を必
要以上に強固にしたり、あるいは洩れ空気の回収回路を
シリンダ端に別途に設けたりすることなく、これらピス
トンロッド、シール材およびシリンダの各間隙から外部
への空気の洩れを有効に防止でき、たとえばこのシリン
ダアクチェエータをクリーンルームで使用する場合にお
けるクリーンルーム内の空気の汚染を効果的に防止する
ことができる。
ダの制御装置を示す説明図、第２図は本発明の他の実施
例を示す説明図である。 １・・・エアシリンダアクチュエータ、３・・・シリン
ダ、 ４．５・・・空気室、６・・・ピストン、 ７
・・・ピストンロッド、１２・・・切換弁、 １５・・
・大気通路、１７・・・負圧通路、１９・・・空気圧通
路、２２・・・切換弁。 特許出願人 株式会社 小金井製作所代理人 弁理士
筒 井 大 和 手綱→甫正書（自発） 、事件の表示 昭和６０年 特許層 第１３８５６号 ′、発明の
名称 エアシリンダの制御装置 、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号名 称
株式会社 小金井製作所 代表者 安岡静長 、代理人 〒１６０ 住 所 東京都新宿区西新宿７丁目１８番１８号新宿
税理士ビル別館４１２号
例を示す説明図である。 １・・・エアシリンダアクチュエータ、３・・・シリン
ダ、 ４．５・・・空気室、６・・・ピストン、 ７
・・・ピストンロッド、１２・・・切換弁、 １５・・
・大気通路、１７・・・負圧通路、１９・・・空気圧通
路、２２・・・切換弁。 特許出願人 株式会社 小金井製作所代理人 弁理士
筒 井 大 和 手綱→甫正書（自発） 、事件の表示 昭和６０年 特許層 第１３８５６号 ′、発明の
名称 エアシリンダの制御装置 、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号名 称
株式会社 小金井製作所 代表者 安岡静長 、代理人 〒１６０ 住 所 東京都新宿区西新宿７丁目１８番１８号新宿
税理士ビル別館４１２号
Claims (3)
- （１）、ピストンによって２つの空気室を隔成したシリ
ンダの内外に、上記ピストンに一体のピストンロッドを
出入させるエアシリンダの制御装置であって、上記各空
気室のポートに大気通路、負圧通路または空気圧通路を
選択的に連通切換する切換弁を設けたことを特徴とする
エアシリンダの制御装置。 - （２）、上記切換弁は上記ピストンロッド側の空気室の
ポートが上記大気通路に連通するとき他方の空気室のポ
ートに上記負圧通路を連通させ、上記ピストンロッド側
の空気室のポートが上記負圧通路に連通するとき他方の
空気室のポートを上記空気圧通路に連通させるように切
り換えられるよう構成されていることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のエアシリンダの制御装置。 - （３）、上記ピストンロッド側の空気室のポートは負圧
通路に連通し、他方の空気室のポートは大気通路または
空気圧通路を選択的に連通させるようにした切換弁で構
成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のエアシリンダの制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1385685A JPS61171905A (ja) | 1985-01-28 | 1985-01-28 | エアシリンダの制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1385685A JPS61171905A (ja) | 1985-01-28 | 1985-01-28 | エアシリンダの制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61171905A true JPS61171905A (ja) | 1986-08-02 |
Family
ID=11844911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1385685A Pending JPS61171905A (ja) | 1985-01-28 | 1985-01-28 | エアシリンダの制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61171905A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0185166U (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | ||
| JPH01100901U (ja) * | 1987-12-26 | 1989-07-06 | ||
| JP2007322896A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Nsk Ltd | 露光装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4836154A (ja) * | 1971-09-22 | 1973-05-28 | ||
| JPS5838063B2 (ja) * | 1973-08-29 | 1983-08-20 | 神鋼電機株式会社 | バツテリ−オデンゲントスル チヨクリユウチヨクマキデンドウキ |
-
1985
- 1985-01-28 JP JP1385685A patent/JPS61171905A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4836154A (ja) * | 1971-09-22 | 1973-05-28 | ||
| JPS5838063B2 (ja) * | 1973-08-29 | 1983-08-20 | 神鋼電機株式会社 | バツテリ−オデンゲントスル チヨクリユウチヨクマキデンドウキ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0185166U (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | ||
| JPH01100901U (ja) * | 1987-12-26 | 1989-07-06 | ||
| JP2007322896A (ja) * | 2006-06-02 | 2007-12-13 | Nsk Ltd | 露光装置 |
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