JPH04106583U - 真空用ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 〔目的〕 超高真空や極高真空領域を必要とする真空機
器の真空チャンバー（ハウジング）の内表面から真空時
に放出されるガスを低減させるものである。 〔構成〕 ハウジング１の開口部Ａ１１１と開口部Ｂ１
１２の間にシールプレート２と、環状のシールプレート
押え４を設け、このシールプレート押え４の環状の内周
側及び外周側と開口部Ｂ１１２の周辺部との間にそれぞ
れ第一ベローズ７及び第二ベローズ８を設け、シールプ
レート押え４及びシールプレート２の駆動装置を開口部
１１から隔離するように構成したものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は真空用ゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の真空用ゲートバルブでは、バルブ開放時にハウジング内表面及びシール プレート等の内蔵部品で、特にその操作装置等が真空側に露出していた。

【０００３】 真空処理機器や真空実験装置においては、到達圧力が超高真空や極高真空領域 とする必要があるものは、真空チャンバーやゲートバルブ等に代表される真空機 器の内表面から放出されるガスを低減させるため表面積を少なくする必要がある 。特にゲートバルブ等の操作装置部分は表面積増加の原因となっている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は上述の真空チャンバー内でガス放出箇所である内表面を可能な限り小 さくし、特に構造が複雑で内表面の大きいゲートバルブ部分を改良したゲートバ ルブを提供することを課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上述の課題を解決するために、開口部１１を有するハウジング１と第一シール 材３を装着したシールプレート２とを有し、前記開口部１１の閉鎖、開放を行う ゲートバルブにおいて、前記開口部１１と同心的に配置され、前記開口部１１と ほぼ同一の内径を有し、前記第一シール材３とほぼ同一径の第二シール材５を装 着したシールプレート押え４と、前記開口部１１とほぼ同一内径の第一ベローズ ７と、この第一ベローズ７の外側に同心的に配置され、前記第一ベローズ７の外 径より大きい内径の第二ベローズ８よりなり、前記第一及び第二ベローズ７、８ のそれぞれの一端は前記シールプレート押え４に密着接合してあり、それぞれの 他端は前記ハウジング１の開口部１１の周辺に密着接合してあり、前記シールプ レート押え４が前記開口部１１の中心軸と平行に移動可能に構成したものである 。

【０００６】

【実施例】

図１は本考案のゲートバルブ部分の断面図で、ゲートバルブの閉鎖時のもの、 図２は同じく開放時のものである。

【０００７】 ハウジング１には開口部１１が２か所あり、開口部Ａ１１１と開口部Ｂ１１２ である。

【０００８】 開口部Ａ１１１の内側１１１ａにはハウジング１の壁面（ハウジング１の内側 面１ａ）に沿って移動するようにシールプレート２が設けられている。このシー ルプレート２のシール面（開口部Ａ１１１に接する側）に開口部Ａ１１１の周囲 でハウジング１の壁面に接するように第一シール材３が溝２１に挿入されてシー ルプレート２とハウジング１の壁面との間を気密保持するように構成されている 。なお、このシールプレート２をハウジング１の壁面に沿って移動せしめる機構 は従来の公知の機構であるので説明は省略する。又、開口部Ａ１１１の外側１１ １ｂはハウジング１の外側面１ｂと同一面となっている。

【０００９】 シールプレート２と開口部Ｂ１１２との間には内径が開口部１１の直径とほぼ 等しい環状のシールプレート押え４が設けられている。このシールプレート押え ４はシールプレート２に接する面で、かつシールプレート２の第一シール材３と ほぼ等しい直径の第二シール材５が溝４１に挿入されてシールプレート２とシー ルプレート押え４との間を気密保持するように構成されている。このシールプレ ート押え４は複数箇所に設けられているロッド６により、開口部１１の中心線に 平行に（シールプレート２と垂直方向）に移動するように構成されている。なお 、ロッド６の駆動機構は公知の機構であるので、説明は省略する。

【００１０】 シールプレート押え４と開口部Ｂ１１２の内側１１２ａとの間には二重構造に ベローズが設けられている。内側の第一ベローズ７は内径が開口部１１の直径と ほぼ等しく、外径は複数のロッド６で形成される円の内側になるような大きさで ある。更に、第一ベローズ７の一端はシールプレート押え４に密着接合してあり 、他端は開口部Ｂ１１２の周辺に密着接合してある。又、開口部Ｂ１１２の外側 面１１２ｂはハウジング１の外側面１ｂと同一面となっている。

【００１１】 二重構造のベローズの外側の第二ベローズ８は内径が複数のロッド６で形成さ れる円の外側になるような大きさであり、両端は第一ベローズ７と同様にそれぞ れシールプレート押え４及び開口部Ｂ１１２の周辺に密着接合してある。

【００１２】 次に本考案のゲートバルブの動作について説明する。

【００１３】 ゲートバルブ開放時には、第一及び第二ベローズ７、８の先端に設けられたシ ールプレート押え４はロッド６により開口部Ａ１１１の内側１１１ａに押しつけ られ、第二シール材５と第一及び第二ベローズ７、８によりシールされ、引上げ らているシールプレート２及びその駆動装置（図示せず）は開口部１１から隔離 される。

【００１４】 ゲートバルブ閉鎖時には、開口部Ａ１１１とシールプレート押え４の間にシー ルプレート２が挿入されており、かつシールプレート押え４がシールプレート２ にロッド６で押付けられているので、開口部Ａ１１１の周辺とシールプレート２ 間は第一シール材３でシールされ、シールプレート２とシールプレート押え４の 間は第二シール材５でシールされる。更に、シールプレート２の駆動装置等は第 一及び第二ベローズ７、８により開口部１１から隔離された状態である。

【００１５】 他の実施例として、上述のロッド６及びその駆動装置を用いず、第一及び第二 ベローズ７、８で密閉された空間に圧力流体を充填又は排出することによって行 うことも可能である。

【００１６】

【考案の効果】

従来の真空用ゲートバルブでは、開放時の内表面積はハウジング１のゲートバ ルブ部分の内表面、シールプレート２の表面、各種内蔵部品の表面の総和であり 、特に各種内蔵部品の表面が大きな割合を示していた。

【００１７】 本考案によるゲートバルブでは、ゲートバルブが開放時の見掛け上の内表面積 は第一ベローズ７の内表面積のみとなり、従来のゲートバルブに比較して非常に 小さくなる。

【００１８】 又、ゲートバルブ閉鎖時においても、開口部Ｂ１１２からのゲートバルブの内 表面積は第一ベローズ７とシールプレート２のみであり、従来例のような各種内 蔵部品は第一及び第二ベローズ７、８により開口部１１から隔離されている。

【００１９】 従って、本考案のゲートバルブから放出されるガスを従来のものより著しく低 減することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のゲートバルブ部分の断面図で、ゲート
バルブの閉鎖時のものである。

【図２】本考案のゲートバルブ部分の断面図で、ゲート
バルブの開放時のものである。

【符号の説明】

１ ハウジング １１ 開口部 １１１ 開口部Ａ １１２ 開口部Ｂ ２ シールプレート ２１ 溝 ３ 第一シール材 ４ シールプレート押え ４１ 溝 ５ 第二シール材 ６ ロッド ７ 第一ベローズ ８ 第二ベローズ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 開口部を有するハウジングと第一シール
   材を装着したシールプレートとを有し、前記開口部の閉
   鎖、開放を行うゲートバルブにおいて、前記開口部と同
   心的に配置され、前記開口部とほぼ同一の内径を有し、
   前記第一シール材とほぼ同一径の第二シール材を装着し
   たシールプレート押えと、前記開口部とほぼ同一内径の
   第一ベローズと、この第一ベローズの外側に同心的に配
   置され、前記第一ベローズの外径より大きい内径の第二
   ベローズよりなり、前記第一及び第二ベローズのそれぞ
   れの一端は前記シールプレート押えに密着接合してあ
   り、それぞれの他端は前記ハウジングの開口部の周辺に
   密着接合してあり、前記シールプレート押えが前記開口
   部の中心軸と平行に移動可能に構成したことを特徴とす
   る真空用ゲートバルブ。