WO2009057513A1 - 真空ゲートバルブおよびこれを使用したゲート開閉方法 - Google Patents

真空ゲートバルブおよびこれを使用したゲート開閉方法 Download PDF

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WO2009057513A1
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shutter
chamber
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exhaust
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PCT/JP2008/069292
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Hideaki Nagai
Takashi Hisae
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V-Tex Corporation
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    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/0318—Processes

Definitions

  • the present invention relates to a vacuum gate valve used between vacuum processing apparatuses or between a vacuum processing apparatus and a vacuum exhaust pump, and a gate opening / closing method using the vacuum gate valve.
  • Gate retraction opening shielding means is provided to prevent this.
  • a cylindrical shatter is provided in the exhaust passage that forms the exhaust port as such a gate retreat opening shielding means, and the inside of the exhaust passage is moved so that the gate is retracted. It describes that the gate opening is shielded.
  • JP-A-3-2 3 9 8 8 4 discloses a valve box, a valve seat, a valve plate having an opening, a valve stem connected to the valve plate,
  • valve stem drive mechanism consists of a valve stem drive mechanism, a valve plate presser, and a telescopic bellows connected between the valve box and the valve seat and the valve plate presser.
  • the valve plate is in the open and closed positions of the valve plate.
  • An ultra-high vacuum goot valve is described in which the dead space in the valve box occupied by the valve stem drive mechanism is closed while always in contact with the valve seat and the valve plate presser. Disclosure of the invention
  • the cylindrical shirt described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-4 2 8 72 is designed to move in the exhaust passage, and the expansion and contraction described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-2 3 988 84.
  • a flexible bellows is provided in the dead space. According to such a conventional configuration, When the gate is retracted or closed, the shirter or bellows may come into contact with the exhaust, and foreign matter in the exhaust may adhere.
  • the present invention can reduce the intrusion and adhesion of foreign matter into the goot retracting chamber from the gate open state to the closed state and from the closed state to the open state, including when the gate is retracted and closed. It is an object of the present invention to provide a vacuum gate valve and a gate opening / closing method using the vacuum gate valve.
  • the present invention includes a main body having an exhaust body having an exhaust port formed at an end thereof, a gate retracting section having a gate retracting chamber, and moving from the goot retracting chamber to the exhaust trunk to move the exhaust
  • a gate that closes the mouth and is housed in the gate evacuation chamber, a gate drive unit that moves the gate, and a shutter that is movable along the exhaust cylinder and provided in the shirter moving chamber.
  • a vacuum gate valve comprising: a shutter drive unit that moves the shutter;
  • the main body is formed with an inlet facing a side portion of the exhaust body, and the shutter is exhausted when the gate is closed and when the gate is retracted into the gate retracting chamber.
  • a shutter moving portion formed with a shutter moving chamber that is isolated from the body portion, wherein the gate retracting portion is provided in communication with the shutter moving chamber, and the shutter moving portion includes the shutter moving chamber.
  • a fixed seal portion is formed facing the inlet of
  • the shutter includes a shutter seal portion so as to face the fixed seal portion, and the gate is movable from the gate retracting chamber to the shutter chamber, and further from the shutter chamber to the exhaust cylinder, A first gate seal portion is formed on one side of the gate so as to face the fixed seal portion, and the goot faces the shutter seal portion on the opposite surface side of the first gate seal portion.
  • the shutter is shut when the gate is stored in the gate retracting chamber.
  • the inlet seal is closed when the shirt seal portion comes into contact with the fixed seat portion by moving through the moving chamber, and the goot is moved through the shirt moving chamber and the first gate seal portion is
  • the exhaust port is closed by contacting a fixed seal, the shutter is moved in the shutter moving chamber, and the shutter seal portion contacts the second gate seal portion to close the inlet.
  • a vacuum goot valve characterized by the above is provided.
  • the fixed seal portion, the shirter seal portion, the first gate seal portion, and the second gout seal portion are arranged on the same plane in the shutter moving chamber in the longitudinal direction of the exhaust body portion.
  • a vacuum gate valve is provided.
  • the shutter seal portion is formed by a shutter ring, and the shutter ring and the shutter are detachable from each other.
  • the exhaust drum portion is formed on a cylindrical cover on the inner peripheral surface and on the outer peripheral side of the cover.
  • a shutter storage chamber serving as a part of the shutter moving chamber; and a shutter drive piston of the shutter drive unit is provided along the shutter storage chamber on a side of the shutter storage chamber, and the shutter drive piston is connected to the shutter ring.
  • the vacuum goot valve is provided that is moved along the exhaust body by the shatter-driven biston connected to the exhaust body and operating along the exhaust body.
  • the gate driving unit and the shirter driving unit are driven by a set of driving source and driving power switching devices, and the shutter is moved when the gate is retracted into the gate retracting chamber.
  • a vacuum gate valve comprising a control device for controlling in such a manner.
  • the gate retracting portion is formed in a box shape, is integrated with the main body from the side of the main body, and is detachable, and a pendulum-shaped gate is used as the gate.
  • the gate provides a vacuum gate valve characterized by swinging the gate retracting portion and the shutter moving chamber.
  • the present work consists of a main body having an exhaust moon part having an exhaust port formed at an end, a gate retracting part having a gate retracting chamber, and moving from the gate retracting chamber to the exhaust trunk to move the exhaust A gate housed in the gate evacuation chamber, a gate driving unit for moving the gate, and a shutter provided in the shutter moving chamber, which is movable along the exhaust cylinder. And a shatter drive unit for moving the shatter,
  • the main body has an inlet formed facing a side portion of the exhaust drum portion, and the shutter is opened from the exhaust drum portion when the gate is closed and when the goot is retracted into the goot retracting chamber.
  • a shatter moving section having a shatter moving chamber to be isolated is provided,
  • the gate retracting portion is provided with the gate retracting chamber communicating with the shutter moving chamber, and the shutter moving portion is formed with a fixed sheath portion facing the entrance of the shutter moving chamber,
  • the shutter includes a shutter seal portion so as to face the fixed seal portion, and the gate has a first gate seal portion facing the fixed seal portion on one side thereof, and In the gate opening and closing method of the vacuum gate valve, the second gate seal portion is formed on the gate opposite to the shutter seal portion on the opposite side of the first gate seal portion.
  • the shutter is moved in the shutter moving chamber so that the shutter seal portion comes into contact with the fixed seal portion, thereby closing the inlet, and
  • the gate is moved from the gate evacuation chamber to the shirter chamber, and further from the shutter chamber to the exhaust body portion, and when the goot seal portion contacts the fixed seal, the exhaust port is closed.
  • the gate is opened and closed so as to close the inlet by the shutter moving in the shutter moving chamber and the shutter seal portion coming into contact with the second sea portion.
  • a method for opening and closing a gate of a vacuum goot valve is provided.
  • the present invention also includes the fixed seal portion, the shirt seal portion, and the first gate seal.
  • the vacuum gate valve goot opening / closing method is characterized in that the second goot seal portion moves in the longitudinal direction of the exhaust body portion on the same plane with respect to the fixed seal portion. I will provide a.
  • the above-described shirter and the shirter moving chamber are provided, and the shirter closes the entrance of the shutter moving chamber and retracts the gate regardless of whether the gate is retracted or the gate exhaust port is closed.
  • the shirter When moving, it should be isolated from the exhaust body when moving, so that there is little intrusion of foreign matter into the goot evacuation chamber from the open state of the gate to the closed state and from the closed state to the open state. it can.
  • FIG. 1 is a top view of this embodiment.
  • FIG. 2 is a side sectional view of the embodiment of the present invention (AA sectional view of FIG. 3).
  • FIG. 3 is a bottom view of the embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a partial detail view of FIG.
  • FIG. 5 is a diagram showing the turning state (1) of the gate.
  • FIG. 6 is a diagram showing the turning situation (2) of the gate.
  • FIG. 7 is a configuration diagram of the gate and shutter operation unit.
  • FIG. 8 is a diagram for explaining the movement of the gate and the shirt.
  • FIG. 9 is a diagram showing a state from valve closing to pulp opening.
  • FIG. 10 is a view showing a state from valve opening to valve closing.
  • FIG. 1 is a top view of a vacuum gate valve according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a side sectional view
  • FIG. It is a bottom view. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
  • the vacuum gate valve 1 ⁇ 0 is composed of a main body 1 1 and a gate retracting part 1 2, and the main body 1 1 and the gate retracting part 1 2 are formed in a box shape, both of which are detachable and integrated. And an O-ring 14 is disposed between the two.
  • the main body 11 is configured to have a height higher than that of the gate retracting portion 12 and when viewed from above, both are substantially elliptical as shown in FIG. 1, and the central portion is thick.
  • the main body 1 1 is provided with an exhaust moon part 15 in the center, facing the side part of the exhaust body 15, and the shirta moving chamber 1 in an independent form around the exhaust body 15. 6 is formed.
  • the side portion of the main body 11 is provided with a shirter moving portion 17 having a shirter moving chamber 16 formed around it.
  • the gate evacuation section 1 2 includes a gate evacuation chamber 1 3 therein, and the gate evacuation chamber 1 3
  • the exhaust cylinder 15 communicates with the shirta moving chamber 16.
  • the exhaust body 15 is cylindrical, and thus the shirter moving chamber 16 is also formed in an independent shape around the exhaust month 15, and the shutter moving chamber 16 has an exhaust body 15 side.
  • An inlet 18 is formed on the periphery facing it.
  • An exhaust port 20 is formed at the end of the exhaust body 15 (lower end, outlet end).
  • the gate (valve) 21 is configured to have a size capable of closing the exhaust port 20, and can move through the exhaust body 15, the shirter moving chamber 16, and the gate retracting chamber 13 as described later.
  • a cylindrical shutter 22 is provided in the shutter moving chamber 16 so as to be movable along the exhaust body 15 in the body length direction of the exhaust body 15.
  • FIG. 4 shows a detailed structure of the configuration around the shota moving chamber 16 and the shutter moving chamber 16 in FIG.
  • the main body 11 is composed of a central member 31, an upper member 3 2, and a lower member 3 3. It is a box.
  • a shirter moving chamber 16 is formed by the central member 31 and the lower member 33 in the lower direction of the central member 31 and inward of the lower member. Therefore, the central member 31 and the lower member 33 constitute a shutter moving unit 17 having a shutter moving chamber 16.
  • the shirter moving chamber 16 is formed as a chamber that gradually expands toward the gate retracting chamber 13 in the planar direction so as to allow the pendulum rotation of the gate 21.
  • a cylindrical cover 35 extends in the direction of the lower exhaust port 20 and is fixedly attached to the wall surface of the body portion 15 of the main body 11.
  • a hollow is formed in the inner wall portion of the central member 31, and the front side of this hollow is covered with a cover 35, forming a shirter storage chamber 36, and this shirter converging chamber 36 is below it It communicates with the shatter moving room 16 at the side and becomes a part of the shatter moving room 16. Accordingly, the shutter moving chamber 36 has a shape in which the shirter storage chamber 36 protrudes upward.
  • the shirtta storage room 36 stores the shirta 2 2.
  • the length in the up-down direction and the length covered by the cover 35 are the same length.
  • the shirter 22 can move in the shutter storage chamber 36 and can move the shirter moving chamber 36 in the lower part thereof toward the gate 21. When the shirter 2 2 is moved upward, most of the shirter 2 2 is stored in the shirter storage chamber 3 6.
  • a shutter horse motion part 41 is provided inside the central member 31 and on the side of the shirter storage chamber 36 and along the shirter storage chamber 36.
  • the shutter drive unit 4 1 includes a cylinder 4 2, a 0 ring storage chamber 4 3, a shutter drive piston 4 5 provided at the upper end of a drive shaft 4 4 disposed through the cylinder 4 2 and the 0 ring storage chamber 4 3, It comprises a 0 ring 4 6 disposed in the 0 ring storage chamber 43 and a shutter ring holding portion 47 provided at the lower end of the drive shaft 44.
  • Air from the drive source is introduced into the cylinder 42 between the upper end surface of the shatter-driven biston 45 and the lower end surface of the upper member 32, and the air pressure causes the 0-ring 46 to push the shatter-drive piston 45. Acting against the pressure, the drive shaft 44 and the shutter ring holding portion 47 are moved downward.
  • a shutter ring (seal ring) 4 8 is fixed to the pressure side of the lower end of the shutter 2 2,
  • a shutter ring holding portion 47 is attached to the shirt talling 48 at the left end, and is held and moved by the shirt tall holding portion 47.
  • the shirter 2 2 moves up and down as the shirtering 4 8 moves.
  • the lower end surface of the shutter ring 48 is formed as a seal surface, and this portion is referred to as a shutter seal portion 49.
  • An O-ring 51 is provided on the upper surface of the gate 21 so as to face the shirt seal portion 49, and the O-ring 51 is referred to as a second gate seal portion 52 here.
  • the other surface of the gate 21, that is, the lower surface is provided with another O-ring 53, and this O-ring 51 is referred to here as the first gate seal portion 54.
  • the periphery of the inlet portion of the exhaust port 20 provided in the lower member 33 is configured as a valve seat, and the gate 21 is seated on this valve seat, and a fixed seal portion is provided on this seat portion, Here, it is referred to as a fixed seal portion 55.
  • the fixed seal portion 55 is formed in the shirter moving portion 17 so as to face the inlet 18 of the shirter moving chamber 16.
  • the O-ring 5 1 and the O-ring 5 3 are respectively interposed between the shutter seal portion 4 9 and the second gate seal portion 52, and between the first gate seat portion 54 and the fixed seat portion 55. It performs the function, cushion and dumbar function.
  • the O-ring 51 is not indispensable for constituting the seal part.
  • the fixed seal portion 55, the shatter seal portion 49, the first gate case portion 54, and the second gate seal portion 52 are in the longitudinal direction of the exhaust body 15 and the shutter moving chamber 16 It is arranged on the same surface (A).
  • the shirter seal part 49 is formed by the shuttering 48 as described above, and the shirtering 48 and the shirter 22 are further detachable from the shirt talling 48 and the shirtering holding part 47.
  • the shutter moving chamber 16 is formed on the side of the exhaust body 15 in the main body 11. Force to be communicated between the shatter moving chamber 16 and the exhaust trunk 15 so that the gate 21 can move, and the inlet 18 of the shatter moving chamber 16 becomes the communicating portion entrance.
  • an inlet 18 is formed in the shirter moving part 17 formed by the main body 11 so as to face the side part of the exhaust body 15, and the shirter 2 2 is accommodated from the exhaust body 15.
  • a shatter chamber 16 is formed that comes out of isolation. Isolation of the shirter 22 from the exhaust body 15 and sealing of each seal part and closing of the inlet 18 by the shirter 2 2 are performed in the shutter moving chamber 16.
  • a fixed seal part 55 is formed on the valve seat so as to face the inlet 18 of the shirter moving chamber 16.
  • the shutter 22 includes the shutter case portion 49 at the lower end so as to face the fixed seal portion 55.
  • the port 11 is attached to the main body 11 so as to surround the exhaust body 15 so that the main body 11 can be fixed to other members. is there. Further, as shown in FIG. 3, the main body 11 is provided with a gate and shirter operation section 62 for operating the gate 21.
  • FIG. 5 and FIG. 6 show the gate opening / closing state of the vacuum valve 100 by the gate 21.
  • Figure 5 shows the valve closed by gate 21
  • Figure 6 shows the valve open by gate 21.
  • the shatter moving chamber 16 communicates with the gate evacuation chamber 13
  • the gate 21 has a pendulum-like rotation, that is, a valve, with the shaft 68 moving around the shaft 68. Make body rotation.
  • FIG. 5 shows a state in which the gate 21 rotates to the shutter moving chamber and closes the exhaust port 20
  • FIG. 6 shows a state in which the gate 21 rotates to the shattering chamber 13 and the exhaust port 2. 0 is opened, and it shows that it has evacuated to the shatter evacuation chamber 13.
  • Fig. 7 shows the configuration of the gate and shatter control unit 62 as the gate and shatter drive source.
  • the gate and shutter operation section 6 2 is composed of the operation body 6 4 and the operation body 6 2.
  • Actuator 6 5 disposed inside, a group of gears 6 6 and 6 7 driven to rotate by the actuator 6 5, a shaft 6 8 rotated by a fixedly rotating gear 6 7, and a gear 6 which revolves and revolves 6 6
  • Air switch lever 6 9 operated by swinging, air switching valve 7 0, 7 1 operated by swinging air switching lever 6 9 and air chamber for sending air to air switch valves 7 0, 7 1 7 2 Consists of.
  • the actuator 65 is operated by the supplied air to rotate the gear groups 6 6 and 6 7.
  • the shaft 68 rotates, and the gate 21 fixed to the shaft 68 rotates the pendulum, thereby forming the states shown in FIGS.
  • the air of the air switching valves 70, 71 is switched by the swinging gear 66.
  • the driving force switching device is configured.
  • a control device that performs sequence control (programmed computer control, etc.) instead of the mechanical control described above.
  • the switched air is introduced into the upper and lower portions of the air chamber 7 2 and the cylinder 42 2, and acts on the shutter driving piston 4 5 to interlock with the rotation of the gate 2 1.
  • Move up and down. In this way, a part of the gate drive unit and the shirt drive unit is formed, and in this example, one set of air drive source is used. You may make it drive a gate drive part and a shutter drive part by a separate drive source.
  • Figure 5 shows an example of a pendulum type gate 21 (pendroll type gate).
  • a gate that can move in a straight line is used, and this straight-fed gate movement is used.
  • the shirter 2 2 may be moved up and down in conjunction with each other.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating a state in which the gate 21 and the shutter 22 are interlocked.
  • FIG. 8 (1) shows a state where the gate 21 is located opposite to the exhaust port 20, the shirter 22 is moved at the lower end, and the shirter seal part 4 9 is in contact with the fixed seal part 55.
  • 8 (2) shows the state in which the shirter driving piston 45 is moved upward by introducing the switching air to the cylinder 4 2 and the shirter 2 2 is stored in the shutter storage chamber 36, and the gate 21 can be retracted.
  • Na Fig. 8 (3) shows the state where the gate 21 is retracted from the exhaust cylinder 15 through the shaft moving chamber 16 to the gate retracting chamber 13 by the rotation of the shaft 68, and Fig. 8 (4) shows that the gate 21 is retracted.
  • FIG 9 shows the sequence from valve closing (CLOSE) to opening (OPEN).
  • Figure 9 (1) shows the valve closed.
  • the first gate seal portion 54 of the gate 21 contacts the fixed seal portion 55
  • the gate 21 closes the exhaust port 20
  • the shutter seal portion 49 contacts the second gate seal portion 52
  • the shirt 22 shows the state where the inlet 18 of the shirter moving chamber 16 is closed together with the gate. This prevents foreign matter (depot) that has risen from the process chamber from entering the gate evacuation chamber 13 via the inlet 18.
  • Fig. 9 (2) shows the state in which the shatter 22 is moved up to move the gate 21 into the gate evacuation chamber 13. In this state, the air is switched, the shirter 22 is stored in the shirter storage chamber 36, and the exhaust trunk 15, the shirter moving chamber 16, and the gate evacuation chamber 13 are in communication.
  • FIG. 9 (3) shows a state in which the gate 21 is retracted to the goot retreat chamber 13.
  • FIG. 9 (4) the air is switched when the gate 21 is retracted to the goot evacuation chamber 13, and the shatter 22 stored in the shatter storage chamber 36 moves downward, reaches the lower end, and the shutter seal portion 49 is moved. In contact with the fixed seal portion 55, the shirt 22 alone closes the inlet 18. In this state, the valve is opened.
  • FIG. 10 is a diagram showing an order from valve opening to valve closing. The steps are reversed in the order shown in Figure 9.
  • FIG. 10 (1) corresponds to FIG. 9 (4), and shows a state where the gate 21 is retracted to the gate retracting chamber 13 and the shirter 2 2 is closing the inlet 18 alone.
  • the shirt seal part 49 is in contact with the fixed seal part 55.
  • FIG. 10 (2) corresponds to FIG. 9 (3), and shows a state in which the shirter 2 2 is moved up and stored in the shirter converging chamber 36 due to the movement of the gate 21.
  • the gate evacuation chamber 13, the shirter moving chamber 16, and the exhaust trunk portion 15 communicate with each other.
  • FIG. 10 (3) corresponds to FIG. 9 (2) and moves through the gate retracting chamber 13, the shutter moving chamber 16, and the exhaust body 15, to which the gate 21 communicates, and above the exhaust port 20. Indicates the state of movement.
  • FIG. 10 (4) corresponds to FIG. 9 (1), and the gate 21 located above the exhaust port 20 moves down, and the first gate seal portion 5 4 becomes the fixed seal portion 5.
  • the gate 3 1 moves to the exhaust port 20 in contact with 5
  • the air is switched, and the exhaust port 20 is closed.
  • the shirter 22 is moved down, and the shutter seal portion 4 9 becomes the second gate seal portion.
  • the shutter 2 2 closes the inlet 18 together with the gate 2 1. This state is a valve closed state.
  • the shirt 22 is moved through the shutter moving chamber 16 so that the shutter seal portion 49 contacts the fixed seal portion 55.
  • the fixed seal portion 5 5, the shatter seal portion 4 9, the first gate seal portion 52 and the second gate seal portion 5 4 are in the longitudinal direction of the exhaust trunk portion 15, and the fixed seal portion 5 5 On the same plane (A), the shatter moving room 16 moves.
  • the shutter seal portion 4 9 contacts the fixed seal portion 55 and prevents the fixed seal portion 55 from being exposed to the exhaust port. 5 Foreign matter can be prevented from adhering to 5.
  • the first gate seal portion 53 contacts the fixed seal portion 55 and the seal V seal portion 4 9 contacts the negative gate seal portion 52.
  • the inlet 18 is blocked, and foreign matter is prevented from entering and adhering to the gate evacuation chamber 13.
  • the shirter 22 is stored in the shutter storage chamber 16 that forms a part of the shirter moving chamber 16 when the gate 21 is moved and when the gate 21 closes the exhaust port 20. 2 Attaching to 2 is prevented.
  • the shirter 22 has a function of moving the formed shirter moving chamber 16 up and down to prevent foreign matter from entering the gate retracting chamber in the shirter chamber 16 as described above.
  • the seals are arranged on the same vertical line in the up and down direction in the shirter moving chamber 16 to ensure the blockage and effectively adhere foreign matter. To prevent.

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Abstract

　ゲートの退避および閉塞移動時も含めてゲート開放状態から閉塞状態および閉塞状態から開放状態において、ゲート退避室への異物の侵入、付着を少なくする。　シャッタは、ゲートがゲート退避室に収納されたときに、シャッタ移動室を移動されてシャッタシール部が固定シール部に接触することによって入口を閉塞し、かつゲートがシャッタ移動室を移動されて第一のゲートシール部が固定シールに接触することによって排気口を閉塞したときに、シャッタ移動室を移動されてシャッタシール部が第二のゲートシール部に接触することによって入口を閉塞する。

Description

明 細 書
真空ゲートバルブおよびこれを使用したゲート開閉方法 技術分野
本発明は、真空処理装置間あるいは真空処理装置と真空排気ポンプ間に使用される 真空ゲートバルブおよびこの真空ゲートバルブを使用したゲート開閉方法に関する。 背景技術
排気口に設けられたゲートシール面に密接して排気口を閉塞するゲートが設けら れる場合に、 ゲート （弁体） を排気口から歷させたときにゲート退避室に異物が侵 入、 付着することがないようにゲート退避口遮蔽手段が設けられる。
特開平 7— 4 2 8 7 2号公報には、このようなゲート退避口遮蔽手段として排気口 を形成する排気通路内に円筒型シャツタを設け、排気通路内を移動させ、ゲートの退 避時にゲート退避口を遮蔽することが記載されている。
特開平 3— 2 3 9 8 8 4号公報には、 弁箱と、 弁座と、 開口を有する弁板と、 この 弁板に連結した弁棒と、
弁棒駆動機構と、弁板押えと、上記弁箱と上記弁座及び弁板押え間に介揷連結された 伸縮自在なべローズとより成り、上記弁板の開、閉位置では上記弁板が常時上記弁座 及び上記弁板押えに対接し、上記弁棒駆動機構が占める上記弁箱内のデッドスペース が閉塞されることを特徴とする超高真空グート弁が記載されている。 発明の開示
特開平 7— 4 2 8 7 2号公報に記載された円筒型のシャツタは排気通路内を移動 するものとなっており、また特開平 3— 2 3 9 8 8 4号公報に記載された伸縮自在な ベローズはデッドスペース内に設けられている。 このような従来例の構成によると、 ゲートの退避あるいは閉塞移動時にシャツタあるいはベローズは排気に接触するこ とになって排気中の異物が付着するおそれがある。
本発明は、かかる点に鑑みてゲートの退避および閉塞移動時を含めてゲート開放状 態から閉塞状態および閉塞状態から開放状態において、グート退避室への異物の侵入、 付着を少なくすることのできる真空ゲートバルブおよびこの真空ゲートバルブを用 いたゲート開閉方法を提供することを目的とする。
本発明は、端部に排気口が形成された排気胴部を備えた本体と、ゲート退避室を備 えたゲ一ト退避部と、前記グート退避室から前記排気胴部に移動して前記排気口を閉 塞し、かつ前記ゲート退避室に収納されるゲートと、該ゲートを移動させるゲート駆 動部と、前記排気胴に沿って移動可能とされて前記シャツタ移動室に設けられたシャ ッタと、該シャッタを移動させるシャッタ駆動部と、 を備えた真空ゲートバルブにお いて、
前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して入口が形成され、前記ゲートの前記入 口の閉塞移動時および前記ゲートの前記ゲート退避室への退避移動時に前記シャッ タを前記排気胴部から隔離するシャッタ移動室が形成されたシャッタ移動部を備え、 前記ゲート退避部は前記ゲート退避室が前記シャッタ移動室に連通して設けられ、 前記シャッタ移動部には、前記シャッタ移動室の前記入口に対向して、固定シール 部が形成され、
前記シャッタは、前記固定シール部に対向するようにしてシャッタシール部を備え、 前記ゲートは、前記ゲート退避室から前記シャッタ室に、更に該シャッタ室から前 記排気胴部に移動可能とされ、そして前記ゲートには、その一面側に前記固定シール 部に対向して第一ゲートシール部が形成され、そして、前記グートには第一のゲート シール部の反対面側に前記シャッタシール部に対向して第二のゲートシール部が形 成され、
前記シャッタは、前記ゲートが前記ゲート退避室に収納されたときに、前記シャッ タ移動室を移動されてシャツタシール部が前記固定シー 部に接触することによつ て前記入口を閉塞し、かつ前記グートが前記シャツタ移動室を移動されて第一のグー トシール部が前記固定シールに接触することによつて前記排気口を閉塞したときに、 前記シャッタ移動室を移動されて前記シャッタシール部が第二のゲートシール部に 接触することによつて前記入口を閉塞することを特徴とする真空グートバルブを提 供する。
本発明は、 また、 前記固定シール部、前記シャツタシール部、 第一のゲートシール 部および第二のグートシール部は前記排気胴部の長手方向で、前記シャッタ移動室内 において同一面上に配設されることを特徴とする真空ゲートバルブを提供する。 本発明は、また、前記シャッタシール部はシャッタリングによって形成されて該シ ャッタリングおよび前記シャッタは互いに着脱自在とされ、前記排気胴部は内周面に 円筒状のカバーおよびカバーの外周側に前記シャッタ移動室の一部となるシャッタ 収納室を備え、該シャッタ収納室の側方側に該シャッタ収納室に沿って前記シャッタ 駆動部のシャッタ駆動ビストンが設けられ、該シャッタ駆動ビストンは前記シャッタ リングに接続されて、前記排気胴部に沿って動作する前記シャツタ駆動ビストンによ つて前記排気胴部に沿って移動されることを特徴とする真空グートバルブを提供す る。
本発明は、また、前記ゲート駆動部と前記シャツタ駆動部は 1組の駆動源おょぴ駆 動力切換装置によって駆動され、前記ゲートが前記ゲート退避室に退避された時に前 記シャッタを移動するように制御する制御装置を備えることを特徴とする真空ゲー トバルブを提供する。
本発明は、 また、前記ゲート退避部は箱状に形成され、前記本体に本体側方から一 体化され、 かつ着脱自在とされ、前記ゲートには振り子形のゲートが用いられ、該ゲ 一トは前記ゲート退避部および前記シャッタ移動室を揺動することを特徴とする真 空ゲートバルブを提供する。 本努明は、端部に排気口が形成された排気月同部を備えた本体と、ゲート退避室を備 えたゲート退避部と、前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動して前記排気ロを閉 塞し、かつ前記ゲート退避室に収納されるゲートと、該ゲートを移動させるゲート駆 動部と、前記排気胴に沿って移動可能とされて前記シャッタ移動室に設けられたシャ ッタと、 該シャツタを移動させるシャツタ駆動部と、 を備え、
前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して入口が形成され、前記ゲートの前記入 口の閉塞時および前記グートの前記グート退避室への退避時に前記シャッタを前記 排気胴部から隔離するシャツタ移動室が形成されたシャツタ移動部を備え、
前記ゲート退避部は前記ゲート退避室が前記シャッタ移動室に連通して設けられ、 前記シャッタ移動部には、前記シャッタ移動室の前記入口に対向して、固定シーノレ 部が形成され、
前記シャッタは、前記固定シール部に対向するようにしてシャッタシール部を備え、 そして前記ゲートには、その一面側に前記固定シール部に対向して第一のゲートシ ール部が形成され、そして、前記ゲートには第一のゲートシール部の反対面側に前記 シャッタシール部に対向して第二のゲートシール部が形成された真空ゲートバルブ のゲート開閉方法において、
前記グートが前記ゲート退避室に収納されたときに、前記シャッタは、前記シャッ タ移動室を移動されてシャッタシール部が前記固定シール部に接触することによつ て前記入口を閉塞し、 かつ前記ゲートが、 前記ゲート退避室から前記シャツタ室に、 更に該シャッタ室から前記排気胴部に移動され、前記グートシール部が前記固定シー ルに接触することによつて前記排気口を閉塞するときに、前記シャッタが前記シャッ タ移動室を移動して前記シャッタシール部が第二のシー 部に接触することによつ て前記入口を閉塞するようにして前記ゲートの開閉を行うこと
を特徴とする真空グートバルブのゲート開閉方法を提供する。
本発明は、 また、 前記固定シール部、 前記シャツタシール部、第一のゲートシール 部おょぴ第二のグートシール部は前記排気胴部の長手方向で、前記固定シール部に対 して同一面上で前記シャッタ移動室を移動することを特徴とする真空ゲートバルブ のグート開閉方法を提供する。
以下、 本発明の 1実施例を図面に基づいて説明する。
本発明によれば、上述したシャツタおよびシャツタ移動室を備え、 シャツタは、 ゲ ートの退避時にあってもゲートの排気口閉塞時にあってもシャッタ移動室の入口を 閉塞し、かつゲートの退避移動時おょぴ閉塞移動時に排気胴部から隔離されるように なって、ゲートの開放状態から閉塞状態および閉塞状態から開放状態においてグート 退避室への異物の侵入付着が少ないものとすることができる。 図面の簡単な説明
図 1は本宪明の実施例の上面図である。
図 2は本発明の実施例の側面断面図 （図 3の A— A断面図） である。
図 3は本発明の実施例の下面図である。
図 4は図 2の一部詳細図である。
図 5はゲートの回動状況 （1 ) を示す図である。
図 6はゲートの回動状況 （2 ) を示す図である。
図 7はゲートおよびシャッタ操作部の構成図である。
図 8はゲートおよびシャツタの移動を説明する図である。
図 9はバルブ閉塞からパルプ開放までの状態を示す図である。
図 1 0はバルブ開放からバルブ閉塞までの状態を示す図である。 発明を実施するための最良の形態
〔実施例〕
図 1は、本発明の実施例の真空ゲートバルブの上面図、 図 2は側面断面図、 図 3は 下面図である。 なお、 図 2は図 3の A— A断面図である。
これらの図において、真空ゲートバルブ 1◦ 0は、本体 1 1とゲート退避部 1 2か ら構成され、本体 1 1、 ゲート退避部 1 2共箱状に形成され、 両者は互いに着脱自在 として一体化され、両者間に Oリング 1 4が配設される。本体 1 1はゲート退避部 1 2に比べて高さが高く構成され、上方から見た場合、両者は図 1に示すようにほぼ楕 円形をなし、 中央部が太形とされる。
本体 1 1は、 中央の内部に排気月同部 1 5が設けられ、 この排気胴部 1 5の側方部に 面して排気胴部 1 5の周囲に独立した形でのシャツタ移動室 1 6が形成される。すな わち、本体 1 1の側方部にはその周囲にシャツタ移動室 1 6を形成したシャツタ移動 部 1 7が設けられる。
ゲート退避部 1 2は、その内部にゲート退避室 1 3を備え、 このゲート退避室 1 3 は、
シャツタ移動室 1 6を介して排気胴部 1 5に連通される。排気胴部 1 5は、 円筒状と され、従ってシャツタ移動室 1 6も排気月同部 1 5の周囲で独立した形状とされ、シャ ッタ移動室 1 6には排気胴部 1 5の側方に面してその周囲に入口 1 8が形成される。 排気胴部 1 5の端部 （下側端部， 出口端部） には排気口 2 0が形成される。
ゲート （弁） 2 1は、 排気口 2 0を閉塞できる大きさが構成され、 排気胴部 1 5、 シャツタ移動室 1 6およびゲート退避室 1 3を後述するように移動可能である。 シャッタ移動室 1 6には円筒状のシャッタ 2 2が排気胴部 1 5の胴長方向に排気 胴部 1 5に沿って移動可能にして設けられる。
図 4に、図 1のシャツタ移動室 1 6およびシャッタ移動室 1 6付近の構成の詳細構 造を示す。
図 4において、本体 1 1は、 中央部材 3 1、 上部部材 3 2および下部部材 3 3から 構成され、それぞれの接着面にはシーノレ材が配設されて一体化され、全体的に筒状の 箱体とされている。 中央部材 3 1の下部方向で下部部材の内方向に中央部材 3 1と下部部材 3 3によ つてシャツタ移動室 1 6が形成される。従って中央部材 3 1および下部部材 3 3はシ ャッタ移動室 1 6を備えたシャッタ移動部 1 7を構成する。
シャツタ移動室 1 6は、後述するように、ゲート 2 1の振り子回転を許容するよう に平面方向でゲート退避室 1 3に向けて漸次拡大した室として形成される。
本体 1 1のお気胴部 1 5の壁面には円筒状のカバー 3 5が下方の排気口 2 0の方 向に延在して嵌め込まれて固着される。
中央部材 3 1の内壁部には窪みが形成されており、この窪みの前面側はカバー 3 5 で覆われており、シャツタ収納室 3 6が形成され、 このシャツタ収鈉室 3 6はその下 方部でシャツタ移動室 1 6と連通してシャツタ移動室 1 6の一部となる。従って、 シ ャッタ移動室 3 6はシャツタ収納室 3 6が上方に向けて突出した形状となる。
シャツタ収納室 3 6にはシャツタ 2 2が収納される。シャツタ収納室 3 6の図で上 下方向の長さとカバー 3 5が窪み覆う長さとは同一長さとされる。シャツタ 2 2はシ ャッタ収納室 3 6を移動可能とされ、かつその下方部のシャツタ移動室 3 6をゲート 2 1に向けて移動可能とされる。シャツタ 2 2を上方に移動したときにはシャツタ 2 2はシャツタ収納室 3 6に大部分が収納される。
中央部材 3 1の内部であってシャツタ収納室 3 6の側方であってシャツタ収納室 3 6に沿ってシャッタ馬区動部 4 1が設けてある。 シャッタ駆動部 4 1は、シリンダ 4 2、 0リング収納室 4 3、 シリンダ 4 2および 0リング収納室 4 3を貫通して配置し た駆動軸 4 4の上端に設けたシャッタ駆動ピストン 4 5、 0リング収納室 4 3に配設 した 0 リング 4 6および駆動軸 4 4の下端に設けたシャッタリング保持部 4 7から 構成される。シャツタ駆動ビストン 4 5の上端面と上部部材 3 2の下端面との間のシ リンダ 4 2には駆動源からの空気が導入され、空圧によってシャツタ駆動ピストン 4 5に 0リング 4 6の押圧力に抗して作用し、駆動軸 4 4およびシャッタリング保持部 4 7を下方へと移動させる。 シャッタ 2 2の下端部の圧側方にはシャッタリング (シールリング） 4 8が固定さ れ、
このシャツタリング 4 8には左方端部でシャッタリング保持部 4 7が取り付けられ てシャツタリング保持部 4 7によって保持され、移動される。 シャツタリング 4 8の 移動に伴って一体的にシャツタ 2 2が上下動する。
シャッタリング 4 8の下端面はシール面として形成してあり、この部分はシャッタ シール部 4 9と称する
ゲート 2 1の上面にはシャツタシール部 4 9に対向して Oリング 5 1が設けてあ り、 この Oリング 5 1を含めてここでは第二のゲートシール部 5 2と称する。
ゲート 2 1の反対側の面、すなわち下面には他の Oリング 5 3が設けてあり、 この Oリング 5 1を含めてここでは第一のゲートシール部 5 4と称する。
下方部材 3 3に設けた排気口 2 0の入口部周囲は弁座として構成してあり、この弁 座にはゲート 2 1が着座するが、 この着座部に固定のシール部が設けてあり、 ここで は固定シール部 5 5と称する。 このように、 シャツタ移動部 1 7には、 シャツタ移動 室 1 6の入口 1 8に対向して固定シール部 5 5が形成されている。
Oリング 5 1およぴ Oリング 5 3はそれぞれシャッタシール部 4 9と第二のゲー トシール部 5 2、第一のゲートシーノレ部 5 4と固定シーノレ部 5 5との間に介在してシ ール機能およびクッシヨン、 ダンバー機能を果す。 Oリング 5 1はシール部を構成す るに当って必須なものではない。
このように、 固定シール部 5 5、 シャツタシール部 4 9、 第一のゲートシーノレ部 5 4および第二のゲートシール部 5 2は排気胴部 1 5の長手方向で、シャッタ移動室 1 6の内部で同一面 （A) 上に配設される。 シャツタシール部 4 9は上述のようにシャ ッタリング 4 8によって形成されてシャツタリング 4 8およびシャツタ 2 2とは、更 にシャツタリング 4 8およびシャツタリング保持部 4 7とは互いに着脱自在とされ る。 このように、本体 1 1には、 排気胴部 1 5の側方部にシャッタ移動室 1 6が形成 される力 このシャツタ移動室 1 6と排気胴部 1 5との間はゲート 2 1が移動可能な ように連通しており、 シャツタ移動室 1 6の入口 1 8が連通部入口となる。 従って、 本体 1 1によって形成されるシャツタ移動部 1 7には、排気胴部 1 5の側方部に面し て入口 1 8が形成され、シャツタ 2 2を収納して排気胴部 1 5から隔離することの出 来るシャツタ移動室 1 6が形成される。このシャツタ 2 2の排気胴部 1 5からの隔離 ならびに各シール部のシールおよび入口 1 8のシャツタ 2 2による閉塞はこのシャ ッタ移動室 1 6内で行われる。 そして、 シャツタ移動部 1 7には、 シャツタ移動室 1 6の入口 1 8に対向して弁座上に固定シール部 5 5が形成されることになる。そして 上述のように、シャッタ 2 2は、 固定シール部 5 5に対向するようにして下端部にシ ャッタシーノレ部 4 9を備える。
図 1に示すように、本体 1 1には、排気胴部 1 5を囲むようにしてポルト 6 1が取 り付けられるようにしてあり、本体 1 1を他の部材に固定することができるようにし てある。 また、 図 3に示すように、 本体 1 1には、 ゲート 2 1を操作するためのゲー トおよびシャツタ操作部 6 2が設けてある。
図 5および図 6は、 ゲート 2 1による真空バルブ 1 0 0のゲート開閉状態を示す。 図 5はゲート 2 1によるバルブ閉状態を、そして図 6はゲート 2 1によるバルブ開状 態を示す。 これらの図において、 シャツタ移動室 1 6はゲート退避室 1 3に連通して おり、ゲート 2 1はシャフト 6 8を中心としてシャツタ移動室 1 6およびゲート退避 室 1 3を振り子状回転、すなわち弁体回転をなす。 図 5は、 ゲート 2 1がシャッタ移 動室に回動して排気口 2 0を閉塞した状態を示し、図 6は、ゲート 2 1がシャツタ退 避室 1 3に回動して排気口 2 0を開放し、自身はシャツタ退避室 1 3に退避した状態 を示す。
図 7ゲートおよびシャツタ駆動源としてのゲートおよびシャツタ操作部 6 2の構 成を示す。
図 7において、 ゲートおよびシャッタ操作部 6 2は、操作本体 6 4、操作本体 6 2 内に配設されるァクチユエータ 6 5、ァクチユエータ 6 5によって回転駆動される一 群の歯車 6 6， 6 7、 固定回転する歯車 6 7によって回転操作されるシャフト 6 8、 摇動公転する歯車 6 6によって揺動操作されるエア切換レバー 6 9、揺動するエア切 換レバー 6 9によって操作されるエア切換弁 7 0， 7 1およびエア切換弁 7 0， 7 1 にエアを送り出すエア室 7 2からなる。
供給したエアによってァクチユエータ 6 5を操作して歯車群 6 6， 6 7を回転させ る。
これに伴ってシャフト 6 8が回転し、シャフト 6 8に固定されたゲート 2 1を振り子 回転させ、 図 5、 図 6に示す状態を形成する。 この場合に、揺動する歯車 6 6によつ てエア切換弁 7 0， 7 1のエアが切り換えられる。 このようにして駆動力切換装置が 構成される。エア供給に当たり、前述のメカニカル制御ではなく、シーケンス制御（プ ログラム化されたコンピュータ制御など） を行う制御装置を設置することもできる。 切り換えられたエアがエア室 7 2からしリンダ 4 2の上方部、 下方部に導入され、 それぞれシャッタ駆動用ビストン 4 5に作用して、ゲート 2 1の回動に連動する形で シャツタ 2 2を上下動させる。 このようにして、ゲート駆動部およびシャツタ駆動部 の一部が形成され、本例の場合 1組のエア駆動源が用いられる。 ゲート駆動部および シャッタ駆動部を別々の駆動源によって駆動するようにしてもよい。
図 5—図 7には、振り子タイプのゲート 2 1 (ペンドロールタイプゲート） の例を 示したが、直線状を移動することができるゲートを用い、 この直 f泉状移動のゲートの 移動に連動してシャツタ 2 2を上下動させるようにしてもよい。
図 8は、 ゲート 2 1とシャッタ 2 2の連動の状態を示す図である。 図 8 ( 1 ) は、 ゲート 2 1が排気口 2 0に対向して位置し、シャツタ 2 2が下方端移動し、 シャツタ シール部 4 9が固定シール部 5 5に接触した状態を示し、 図 8 ( 2 ) はシリンダ 4 2 への切り換えエアの導入によってシャツタ駆動ビストン 4 5が上方移動してシャツ タ 2 2がシャッタ収納室 3 6に収納された状態を示してゲート 2 1が退避可能にな つたことを示し、 図 8 (3) はシャフト 68の回転によってゲート 21が排気胴 15 からシャフト移動室 16を通ってゲート退避室 13に退避した状態を示し、図 8 (4) はゲート 21がグート退避室 13に退避したときに、切り換えられたエアがシリンダ 42に導入されてシャツタ 22が下方動して最下点に達してシャツタ部 49が固定 シーノレ部 55に接触した状態を示す。このようにゲート 21とシャツタ 22とはクロ スする方向に移動する。 なお、 これらの図はゲート 21およびシャツタ 22の動作を 示す図であってシールリング 48を割愛しているので、シール状況を正確に示すもの ではない。
図 9は、 バルブ閉塞 （CLOSE) から開放 （OPEN) までの順序を示す図であ る。
図 9 (1) は、 バルブ閉の状態を示す。 この状態ではゲート 21の第一のゲートシ ール部 54が固定シール部 55に接触してゲート 21が排気口 20を閉塞し、シャッ タシール部 49が第二のゲートシール部 52に接触してシャツタ 22がゲートと共 に、 シャツタ移動室 16の入口 18を閉塞している状態を示す。 これによつて、 プロ セスチャンバ一から舞い上がった異物（デポ）が入口 18を介してゲート退避室 13 に侵入することが防止される。
図 9 (2) はゲート 21がゲート退避室 13への退避のためにシャツタ 22が上動 した状態をしめす。 この状態ではエアが切り換えられ、シャツタ 22はシャツタ収納 室 36に収納され、排気胴部 15、 シャツタ移動室 16およぴゲート退避室 13は連 通する。
図 9 (3) は、 ゲート 21がグート退避室 13に退避した状態を示す。
図 9 (4) は、 ゲート 21がグート退避室 13に退避した状態で、 エアが切り換え られ、シャツタ収納室 36に収納されていたシャツタ 22が下動し、下端に達してシ ャッタシール部 49が固定シール部 55に接触してシャツタ 22が単独で入口 18 を閉塞する。 この状態ではバルブ開となる。 図 1 0は、バルブ開放からバルブ閉塞までの順序を示す図である。 ステップは図 9 に示す順と逆になる。
図 1 0 ( 1 ) は、 図 9 ( 4 ) に相当し、 ゲート 2 1がゲート退避室 1 3に退避して シャツタ 2 2が入口 1 8を単独で閉塞している状態を示す。 この場合には、 シャツタ シール部 4 9は固定シール部 5 5に接触している。
図 1 0 ( 2 ) は、 図 9 ( 3 ) に相当し、 ゲート 2 1の移動のためにシャツタ 2 2が 上動してシャツタ収鈉室 3 6に収納された状態を示す。 これによつて、ゲート退避室 1 3、 シャツタ移動室 1 6および排気胴部 1 5が連通する。
図 1 0 ( 3 ) は、 図 9 ( 2 ) に相当し、 ゲート 2 1が連通したゲート退避室 1 3、 シャッタ移動室 1 6および排気胴部 1 5を移動し、排気口 2 0の上方に移動した状態 を示す。
図 1 0 ( 4 ) は、 図 9 ( 1 ) に相当し、 排気口 2 0の上方にあったゲ^ ~ト 2 1が下 動して第一のゲートシール部 5 4が固定シール部 5 5に接触してゲート 3 1が排気 口 2 0に移動するとエアが切り換わり、排気口 2 0を閉塞すると同時に、シャツタ 2 2が下動してシャッタシール部 4 9が第二のゲートシール部 5 2に接触し、シャッタ 2 2はゲート 2 1と共に入口 1 8を閉塞する。 この状態はバルプ閉の状態である。 このように、シャツタ 2 2は、ゲート 2 1がゲート退避室 1 3に収納されたときに、 シャッタ移動室 1 6を移動されてシャッタシール部 4 9が固定シール部 5 5に接触 することによって入口 1 8を閉塞し、かつゲート 2 1がシャツタ移動室 1 6を移動さ れて第一のゲートシール部 5 4が固定シール 5 5に接触することによって排気口 2 0を閉塞したときに、シャッタ移動室 1 6を移動されてシャッタシール部が第二のゲ 一トシ一ノレ部 5 2に接触することによって入口 1 8を閉塞する。
この場合に、 固定シール部 5 5、 シャツタシール部 4 9、第一のゲートシール部 5 2および第二のゲートシール部 5 4は排気胴部 1 5の長手方向で、固定シール部 5 5 に対して同一面 （A) 上でシャツタ移動室 1 6を移動することになる。 ゲート 2 1が排気口 2 0を開いた状態の時に、シャッタシール部 4 9は固定シール 部 5 5に接触して固定シール部 5 5が排気口に露呈されることを防止し、固定シール 部 5 5への異物の付着を防止することができる。ゲート 2 1が排気口を閉じた状態の 時に、第一のゲートシール部 5 3に固定シール部 5 5に接触し、かつシャ Vタシール 部 4 9が第-のゲートシール部 5 2に接触することによって入口 1 8を閉塞し、異物 がゲート退避室 1 3に侵入、付着することが防止される。 シャツタ 2 2はシャツタ移 動室 1 6の一部を構成するシャッタ収納室 1 6にゲート 2 1の移動時およびゲート 2 1が排気口 2 0を閉塞しているときには収納されていて異物がシャツタ 2 2に付 着することが防止される。 シャツタ 2 2は、形成されたシャツタ移動室 1 6を上下動 して、上述のように、シャツタ室 1 6内においてゲート退避室への異物の侵入を防止 する機能を有する。 そして、 ゲート 2 1が排気口 2 0を閉塞するときに、各シール部 はシャツタ移動室 1 6内において上下方向に同一の垂直線上に配設されて閉塞を確 実にして異物の付着を有効に防止する。

Claims

請 求 の 範 囲
1 .端部に排気口が形成された排気胴部を備えた本体と、ゲート退避室を備えたゲー ト退避部と、前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動して前記排気口を閉塞し、か つ前記ゲート退避室に収納されるゲートと、 該ゲートを移動させるゲート駆動部と、 前記排気胴に沿って移動可能とされて前記シャッタ移動室に設けられたシャッタと、 該シャツタを移動させるシャツタ駆動部と、 を備えた真空ゲートバルブにおいて、 前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して入口が形成され、前記ゲートの前記入 口の閉塞移動時および前記ゲートの前記ゲート退避室への退避移動時に前記シャッ タを前記排気胴部から隔離するシャッタ移動室が形成されたシャッタ移動部を備え、 前記ゲート退避部は前記ゲート退避室が前記シャッタ移動室に連通して設けられ、 前記シャッタ移動部には、前記シャッタ移動室の前記入口に対向して、固定シール 部が形成され、
前記シャッタは、前記固定シール部に対向するようにしてシャッタシール部を備え、 前記ゲートは、前記ゲート退避室から前記シャッタ室に、更に該シャッタ室から前 記排気胴部に移動可能とされ、そして前記ゲートには、その一面側に前記固定シール 部に対向して第一グートシール部が形成され、そして、前記ゲートには第一のグート シール部の反対面側に前記シャッタシール部に対向して第二のゲートシール部が形 成され、
前記シャッタは、前記ゲートが前記ゲート退避室に収納されたときに、前記シャッ タ移動室を移動されてシャッタシール部が前記固定シール部に接触することによつ て前記入口を閉塞し、かつ前記グートが前記シャッタ移動室を移動されて第一のゲー トシール部が前記固定シールに接触することによって前記排気口を閉塞したときに、 前記シャッタ移動室を移動されて前記シャッタシール部が第二のゲートシール部に 接触することによって前記入口を閉塞することを特徴とする真空ゲ トバルブ。
2 . 請求項 1において、前記固定シール部、 前記シャツタシール部、 第一のゲートシ ール部および第二のゲートシール部は前記排気胴部の長手方向で、前記シャッタ移動 室内において同一面上に配設されることを特徴とする真空ゲートバルブ。
3 . 請求項 1において、前記シャッタシール部はシャッタリングによって形成されて 該シャッタリングおよび前記シャッタは互いに着脱自在とされ、前記排気胴部は内周 面に円筒状のカバーおょぴカバーの外周側に前記シャッタ移動室の一部となるシャ ッタ収納室を備え、該シャッタ収納室の側方側に該シャッタ収納室に沿って前記シャ ッタ駆動部のシャツタ駆動ビストンが設けられ、該シャツタ,駆動ビストンは前記シャ ッタリングに接続されて、前記排気胴部に沿って動作する前記シャツタ駆動ピストン によって前記排気胴部に沿って移動されることを特徴とする真空ゲートバルブ。
4 .請求項 1において、前記ゲート駆動部と前記シャッタ駆動部は 1組の駆動源およ ぴ駆動力切換装置によって駆動され、前記ゲートが前記グート退避室に退避された時 に前記シャッタを移動するように制御する制御装置を備えることを特徴とする真空 ザ一トバルブ。
5 . 請求項 1において、前記グート退避部は箱状に形成され、前記本体に本体側方か ら一体化され、 かつ着脱自在とされ、 前記ゲートには振り子形のゲートが用いられ、 該ゲートは前記ゲート退避部および前記シャッタ移動室を揺動することを特徴とす る真空ゲートバルブ。
6 .端部に排気口が形成された排気胴部を備えた本体と、ゲート退避室を備えたグー ト退避部と、前記ゲート退避室から前記排気胴部に移動して前記排気口を閉塞し、か つ前記グート退避室に収納されるゲートと、 該ゲートを移動させるゲート駆動部と、 前記排気胴に沿って移動可能とされて前記シャッタ移動室に設けられたシャッタと、 該シャツタを移動させるシャツタ駆動部と、 を備え、
前記本体は、前記排気胴部の側方部に面して入口が形成され、前記ゲートの前記入 口の閉塞時おょぴ前記ゲートの前記ゲート退避室への退避時に前記シャ Vタを前記 排気胴部から隔離するシャッタ移動室が形成されたシャッタ移動部を備え、 前記ゲート退避部は前記ゲート退避室が前記シャッタ移動室に連通して設けられ、 前記シャツタ移動部には、前記シャツタ移動室の前記入口に対向して、固定シール 部が形成され、
前記シャッタは、前記固定シール部に対向するようにしてシャッタシール部を備え、 そして前記ゲートには、その一面側に前記固定シール部に対向して第一のグートシ ール部が形成され、そして、前記ゲートには第一のゲートシール部の反対面側に前記 シャツタシール部に対向して第二のゲートシール部が形成された真空ゲートバルブ のゲート開閉方法において、
前記ゲートが前記ゲート退避室に収納されたときに、前記シャッタは、前記シャッ タ移動室を移動されてシャッタシール部が前記固定シール部に接触することによつ て前記入口を閉塞し、 かつ前記ゲートが、 前記ゲート退避室から前記シャツタ室に、 更に該シャッタ室から前記排気胴部に移動され、前記ゲートシール部が前記固定シー ルに接触することによって前記排気口を閉塞するときに、前記シャッタが前記シャッ タ移動室を移動して前記シャッタシーノレ部が第二のシール部に接触することによつ て前記入口を閉塞するようにして前記ゲートの開閉を行うこと
を特徴とする真空グートバルブのゲート開閉方法。
7 . 請求項 6において、前記固定シーノレ部、 前記シャツタシール部、第一のゲートシ ール部および第二のゲートシール部は前記排気胴部の長手方向で、前記固定シール部 に対して同一面上で前記シャッタ移動室を移動することを特徴とする真空ゲートバ ルブのゲート開閉方法。
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