KR20100083803A - 진공 게이트 밸브 및 이것을 사용한 게이트 개폐방법 - Google Patents

진공 게이트 밸브 및 이것을 사용한 게이트 개폐방법 Download PDF

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가부시키가이샤 브이텍스
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Abstract

게이트의 퇴피 및 폐쇄 이동 시도 포함하여 게이트 개방상태로부터 폐쇄상태 및 폐쇄상태로부터 개방상태에서, 게이트 퇴피실로의 이물의 침입, 부착을 적게 한다. 셔터는, 게이트가 게이트 퇴피실에 수납되었을 때에, 셔터 이동실을 이동하여 셔터 시일부가 고정 시일부에 접촉함으로써 입구를 폐쇄하고, 또한 게이트가 셔터 이동실을 이동하여 제 1 게이트 시일부가 고정 시일에 접촉함으로써 배기구를 폐쇄하였을 때에, 셔터 이동실을 이동하여 셔터 시일부가 제 2 게이트 시일부에 접촉함으로써 입구를 폐쇄한다.

Description

진공 게이트 밸브 및 이것을 사용한 게이트 개폐방법{VACUUM GATE VALVE, AND GATE OPENING/CLOSING METHOD USING THE GATE VALVE}
본 발명은, 진공처리장치 사이 또는 진공처리장치와 진공배기펌프 사이에 사용되는 진공 게이트 밸브 및 이 진공 게이트 밸브를 사용한 게이트 개폐방법에 관한 것이다.
배기구에 설치된 게이트 시일면에 밀접하여 배기구를 폐쇄하는 게이트가 설치되는 경우에, 게이트(밸브체)를 배기구로부터 퇴피시켰을 때에 게이트 퇴피실에 이물이 침입, 부착하는 일이 없도록 게이트 퇴피구 차폐수단이 설치된다.
일본국 특개평7-42872호 공보에는, 이와 같은 게이트 퇴피구 차폐수단으로서 배기구를 형성하는 배기통로 내에 원통형 셔터를 설치하고, 배기통로 내를 이동시켜, 게이트의 퇴피 시에 게이트 퇴피구를 차폐하는 것이 기재되어 있다.
일본국 특개평3-239884호 공보에는, 밸브박스와, 밸브자리와, 개구를 가지는 밸브판과, 이 밸브판에 연결한 밸브봉과,
밸브봉 구동기구와, 밸브판 누름체와, 상기 밸브박스와 상기 밸브자리 및 밸브판 누름체 사이에 삽입 연결된 신축 자유로운 벨로즈로 이루어지고, 상기 밸브판의 개, 폐위치에서는 상기 밸브판이 상시 상기 밸브자리 및 상기 밸브판 누름체에 대접하여, 상기 밸브봉 구동기구가 차지하는 상기 밸브박스 내의 데드 스페이스가 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 초고진공 게이트 밸브가 기재되어 있다.
일본국 특개평7-42872호 공보에 기재된 원통형의 셔터는 배기통로 내를 이동하는 것으로 되어 있고, 또 일본국 특개평3-239884호 공보에 기재된 신축 자유로운 벨로즈는 데드 스페이스 내에 설치되어 있다. 이와 같은 종래예의 구성에 의하면, 게이트의 퇴피 또는 폐쇄 이동 시에 셔터 또는 벨로즈는 배기에 접촉하게 되어 배기 중의 이물이 부착될 염려가 있다.
본 발명은, 이와 같은 점을 감안하여 게이트의 퇴피 및 폐쇄 이동 시를 포함하여 게이트 개방상태로부터 폐쇄상태 및 폐쇄상태로부터 개방상태에서, 게이트 퇴피실로의 이물의 침입, 부착을 적게 할 수 있는 진공 게이트 밸브 및 이 진공 게이트 밸브를 사용한 게이트 개폐방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 끝부에 배기구가 형성된 배기 몸통부를 구비한 본체와, 게이트 퇴피실을 구비한 게이트 퇴피부와, 상기 게이트 퇴피실로부터 상기 배기 몸통부로 이동하여 상기 배기구를 폐쇄하고, 또한 상기 게이트 퇴피실에 수납되는 게이트와, 당해 게이트를 이동시키는 게이트 구동부와, 상기 배기 몸통을 따라 이동 가능하게 되어 상기 셔터 이동실에 설치된 셔터와, 당해 셔터를 이동시키는 셔터 구동부를 구비한 진공 게이트 밸브에 있어서,
상기 본체는, 상기 배기 몸통부의 옆쪽부에 면하여 입구가 형성되고, 상기 게이트의 상기 입구의 폐쇄 이동 시 및 상기 게이트의 상기 게이트 퇴피실로의 퇴피 이동 시에 상기 셔터를 상기 배기 몸통부로부터 격리하는 셔터 이동실이 형성된 셔터 이동부를 구비하고,
상기 게이트 퇴피부는 상기 게이트 퇴피실이 상기 셔터 이동실에 연통하여 설치되고,
상기 셔터 이동부에는, 상기 셔터 이동실의 상기 입구에 대향하여, 고정 시일부가 형성되고,
상기 셔터는, 상기 고정 시일부에 대향하도록 하여 셔터 시일부를 구비하고,
상기 게이트는, 상기 게이트 퇴피실로부터 상기 셔터실로, 다시 당해 셔터실로부터 상기 배기 몸통부로 이동 가능하게 되고, 그리고 상기 게이트에는, 그 일면측에 상기 고정 시일부에 대향하여 제 1 게이트 시일부가 형성되고, 그리고, 상기 게이트에는 제 1 게이트 시일부의 반대면측에 상기 셔터 시일부에 대향하여 제 2 게이트 시일부가 형성되며,
상기 셔터는, 상기 게이트가 상기 게이트 퇴피실에 수납되었을 때에, 상기 셔터 이동실을 이동하여 셔터 시일부가 상기 고정 시일부에 접촉함으로써 상기 입구를 폐쇄하고, 또한 상기 게이트가 상기 셔터 이동실을 이동하여 제 1 게이트 시일부가 상기 고정 시일에 접촉함으로써 상기 배기구를 폐쇄하였을 때에, 상기 셔터 이동실을 이동하여 상기 셔터 시일부가 제 2 게이트 시일부에 접촉함으로써 상기 입구를 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브를 제공한다.
본 발명은, 또, 상기 고정 시일부, 상기 셔터 시일부, 제 1 게이트 시일부 및 제 2 게이트 시일부는 상기 배기 몸통부의 길이방향이고, 상기 셔터 이동실 내에서 동일면 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브를 제공한다.
본 발명은, 또, 상기 셔터 시일부는 셔터링에 의해 형성되어 당해 셔터링 및 상기 셔터는 서로 착탈 자유롭게 되고, 상기 배기 몸통부는 안 둘레면에 원통형상의 커버 및 커버의 바깥 둘레측에 상기 셔터 이동실의 일부가 되는 셔터 수납실을 구비하고, 당해 셔터 수납실의 옆쪽측에 당해 셔터 수납실을 따라 상기 셔터 구동부의 셔터 구동 피스톤이 설치되고, 당해 셔터 구동 피스톤은 상기 셔터링에 접속되어, 상기 배기 몸통부를 따라 동작하는 상기 셔터 구동 피스톤에 의해 상기 배기 몸통부를 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브를 제공한다.
본 발명은, 또, 상기 게이트 구동부와 상기 셔터 구동부는 1세트의 구동원 및 구동력 변환장치에 의해 구동되고, 상기 게이트가 상기 게이트 퇴피실로 퇴피되었을 때에 상기 셔터를 이동하도록 제어하는 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브를 제공한다.
본 발명은, 또, 상기 게이트 퇴피부는 박스형상으로 형성되고, 상기 본체에 본체 옆쪽으로부터 일체화되고, 또한 착탈 자유롭게 되며, 상기 게이트에는 진자형의 게이트가 사용되고, 당해 게이트는 상기 게이트 퇴피부 및 상기 셔터 이동실을 요동하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브를 제공한다.
본 발명은, 끝부에 배기구가 형성된 배기 몸통부를 구비한 본체와, 게이트 퇴피실을 구비한 게이트 퇴피부와, 상기 게이트 퇴피실로부터 상기 배기 몸통부로 이동하여 상기 배기구를 폐쇄하고, 또한 상기 게이트 퇴피실에 수납되는 게이트와, 당해 게이트를 이동시키는 게이트 구동부와, 상기 배기 몸통을 따라 이동 가능하게 되어 상기 셔터 이동실에 설치된 셔터와, 당해 셔터를 이동시키는 셔터 구동부를 구비하고,
상기 본체는, 상기 배기 몸통부의 옆쪽부에 면하여 입구가 형성되고, 상기 게이트의 상기 입구의 폐쇄 시 및 상기 게이트의 상기 게이트 퇴피실로의 퇴피 시에 상기 셔터를 상기 배기 몸통부로부터 격리하는 셔터 이동실이 형성된 셔터 이동부를 구비하고,
상기 게이트 퇴피부는 상기 게이트 퇴피실이 상기 셔터 이동실에 연통하여 설치되고, 상기 셔터 이동부에는, 상기 셔터 이동실의 상기 입구에 대향하여, 고정 시일부가 형성되며,
상기 셔터는, 상기 고정 시일부에 대향하도록 하여 셔터 시일부를 구비하고,
그리고 상기 게이트에는, 그 일면측에 상기 고정 시일부에 대향하여 제 1 게이트 시일부가 형성되고, 그리고, 상기 게이트에는 제 1 게이트 시일부의 반대면측에 상기 셔터 시일부에 대향하여 제 2 게이트 시일부가 형성된 진공 게이트 밸브의 게이트 개폐방법에 있어서,
상기 게이트가 상기 게이트 퇴피실에 수납되었을 때에, 상기 셔터는, 상기 셔터 이동실을 이동하여 셔터 시일부가 상기 고정 시일부에 접촉함으로써 상기 입구를 폐쇄하고, 또한 상기 게이트가, 상기 게이트 퇴피실로부터 상기 셔터실로, 다시 당해 셔터실로부터 상기 배기 몸통부로 이동하고, 상기 게이트 시일부가 상기 고정 시일에 접촉함으로써 상기 배기구를 폐쇄할 때에, 상기 셔터가 상기 셔터 이동실을 이동하여 상기 셔터 시일부가 제 2 시일부에 접촉함으로써 상기 입구를 폐쇄하도록 하여 상기 게이트의 개폐를 행하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브의 게이트 개폐방법을 제공한다.
본 발명은, 또, 상기 고정 시일부, 상기 셔터 시일부, 제 1 게이트 시일부 및 제 2 게이트 시일부는 상기 배기 몸통부의 길이방향이고, 상기 고정 시일부에 대하여 동일면 상에서 상기 셔터 이동실을 이동하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브의 게이트 개폐방법을 제공한다.
이하, 본 발명의 일 실시예를 도면에 의거하여 설명한다.
본 발명에 의하면, 상기한 셔터 및 셔터 이동실을 구비하고, 셔터는, 게이트의 퇴피 시에서도 게이트의 배기구 폐쇄 시에서도 셔터 이동실의 입구를 폐쇄하고, 또한 게이트의 퇴피 이동 시 및 폐쇄 이동 시에 배기 몸통부로부터 격리되게 되어, 게이트의 개방상태로부터 폐쇄상태 및 폐쇄상태로부터 개방상태에서 게이트 퇴피실로의 이물의 침입 부착이 적은 것으로 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예의 상면도,
도 2는 본 발명의 실시예의 측면 단면도(도 3의 A-A 단면도),
도 3은 본 발명의 실시예의 하면도,
도 4는 도 2의 일부 상세도,
도 5는 게이트의 회동상황(1)을 나타내는 도,
도 6은 게이트의 회동상황(2)을 나타내는 도,
도 7은 게이트 및 셔터 조작부의 구성도,
도 8은 게이트 및 셔터의 이동을 설명하는 도,
도 9는 밸브 폐쇄로부터 밸브 개방까지의 상태를 나타내는 도,
도 10은 밸브 개방으로부터 밸브 폐쇄까지의 상태를 나타내는 도면이다.
[실시예]
도 1은, 본 발명의 실시예의 진공 게이트 밸브의 상면도, 도 2는 측면 단면도, 도 3은 하면도이다. 또한, 도 2는 도 3의 A-A 단면도이다.
이들 도면에서, 진공 게이트 밸브(100)는, 본체(11)와 게이트 퇴피부(12)로구성되고, 본체(11), 게이트 퇴피부(12) 모두 박스형상으로 형성되고, 양자는 서로 착탈 자유롭게 하여 일체화되고, 양자 사이에 O링(14)이 설치된다. 본체(11)는 게이트 퇴피부(12)에 비하여 높이가 높게 구성되고, 위쪽에서 본 경우, 양자는 도 1에 나타내는 바와 같이 대략 타원형을 이루고, 중앙부가 굵은 형이 된다.
본체(11)는, 중앙의 내부에 배기 몸통부(15)가 설치되고, 이 배기 몸통부(15)의 옆쪽부에 면하여 배기 몸통부(15)의 주위에 독립된 모양으로 셔터 이동실(16)이 형성된다. 즉, 본체(11)의 옆쪽부에는 그 주위에 셔터 이동실(16)을 형성한 셔터 이동부(17)가 설치된다.
게이트 퇴피부(12)는, 그 내부에 게이트 퇴피실(13)을 구비하고, 이 게이트 퇴피실(13)은,
셔터 이동실(16)을 거쳐 배기 몸통부(15)에 연통된다. 배기 몸통부(15)는, 원통형상이 되고, 따라서 셔터 이동실(16)도 배기 몸통부(15)의 주위에서 독립된 형상이 되고, 셔터 이동실(16)에는 배기 몸통부(15)의 옆쪽에 면하여 그 주위에 입구(18)가 형성된다. 배기 몸통부(15)의 끝부(아래쪽 끝부, 출구 끝부)에는 배기구(20)가 형성된다.
게이트(밸브)(21)는, 배기구(20)를 폐쇄할 수 있는 크기가 구성되고, 배기 몸통부(15), 셔터 이동실(16) 및 게이트 퇴피실(13)을 뒤에서 설명하는 바와 같이 이동 가능하다.
셔터 이동실(16)에는 원통형상의 셔터(22)가 배기 몸통부(15)의 몸통 길이방향으로 배기 몸통부(15)를 따라 이동 가능하게 하여 설치된다.
도 4에, 도 1의 셔터 이동실(16) 및 셔터 이동실(16) 부근의 구성의 상세 구조를 나타낸다.
도 4에서, 본체(11)는, 중앙부재(31), 상부 부재(32) 및 하부 부재(33)로부터 구성되고, 각각의 접착면에는 시일재가 설치되어 일체화되고, 전체적으로 통형상의 박스체로 되어 있다.
중앙부재(31)의 하부 방향에서 하부 부재의 안쪽 방향에 중앙부재(31)와 하부 부재(33)에 의해 셔터 이동실(16)이 형성된다. 따라서 중앙부재(31) 및 하부 부재(33)는 셔터 이동실(16)을 구비한 셔터 이동부(17)를 구성한다.
셔터 이동실(16)은, 뒤에서 설명하는 바와 같이, 게이트(21)의 진자 회전을 허용하도록 평면방향에서 게이트 퇴피실(13)을 향하여 점차 확대된 실로서 형성된다.
본체(11)의 배기 몸통부(15)의 벽면에는 원통형상의 커버(35)가 아래쪽 배기구(20)의 방향으로 연장되어 끼워 넣여져 고착된다.
중앙부재(31)의 내벽부에는 오목부가 형성되어 있고, 이 오목부의 앞면측은 커버(35)로 덮여져 있고, 셔터 수납실(36)이 형성되고, 이 셔터 수납실(36)은 그 아래쪽부에서 셔터 이동실(16)과 연통하여 셔터 이동실(16)의 일부가 된다. 따라서, 셔터 이동실(36)은 셔터 수납실(36)이 위쪽을 향하여 돌출된 형상이 된다.
셔터 수납실(36)에는 셔터(22)가 수납된다. 셔터 수납실(36)의 도면에서 상하방향의 길이와 커버(35)가 오목부를 덮는 길이와는 동일 길이가 된다. 셔터(22)는 셔터 수납실(36)을 이동 가능하게 되고, 또한 그 아래쪽부의 셔터 이동실(36)을 게이트(21)를 향하여 이동 가능하게 된다. 셔터(22)를 위쪽으로 이동하였을 때에는 셔터(22)는 셔터 수납실(36)에 대부분이 수납된다.
중앙부재(31)의 내부이고 셔터 수납실(36)의 옆쪽으로서 셔터 수납실(36)을 따라 셔터 구동부(41)가 설치되어 있다. 셔터 구동부(41)는, 실린더(42), O링 수납실(43), 실린더(42) 및 O링 수납실(43)을 관통하여 설치한 구동축(44)의 상단에 설치한 셔터 구동 피스톤(45), O링 수납실(43)에 설치한 O링(46) 및 구동축(44)의 하단에 설치한 셔터링 유지부(47)로 구성된다. 셔터 구동 피스톤(45)의 상단면과 상부 부재(32)의 하단면 사이의 실린더(42)에는 구동원으로부터의 공기가 도입되고, 공압에 의해 셔터 구동 피스톤(45)에 O링(46)의 가압력에 저항하여 작용하고, 구동축(44) 및 셔터링 유지부(47)를 아래쪽으로 이동시킨다.
셔터(22)의 하단부의 가압 옆쪽에는 셔터링(시일링)(48)이 고정되고, 이 셔터링(48)에는 왼쪽 끝부에서 셔터링 유지부(47)가 설치되어 셔터링 유지부(47)에 의해 유지되어, 이동된다. 셔터링(48)의 이동에 따라 일체적으로 셔터(22)가 상하이동한다.
셔터링(48)의 하단면은 시일면으로서 형성되어 있고, 이 부분은 셔터 시일부(49)라 부른다.
게이트(21)의 상면에는 셔터 시일부(49)에 대향하여 O링(51)이 설치되어 있고, 이 O링(51)을 포함하여 여기서는 제 2 게이트 시일부(52)라 부른다.
게이트(21)의 반대쪽 면, 즉 하면에는 다른 O링(53)이 설치되어 있고, 이 O링(51)을 포함하여 여기서는 제 1 게이트 시일부(54)라 부른다.
아래쪽 부재(33)에 설치한 배기구(20)의 입구부 주위는 밸브자리로서 구성되어 있고, 이 밸브자리에는 게이트(21)가 착좌되나, 이 착좌부에 고정의 시일부가 설치되어 있고, 여기서는 고정 시일부(55)라 부른다. 이와 같이, 셔터 이동부(17)에는, 셔터 이동실(16)의 입구(18)에 대향하여 고정 시일부(55)가 형성되어 있다.
O링(51)및 O링(53)은 각각 셔터 시일부(49)와 제 2 게이트 시일부(52), 제 1 게이트 시일부(54)와 고정 시일부(55)의 사이에 개재하여 시일기능 및 쿠션, 댐퍼기능을 한다. O링(51)은 시일부를 구성함에 있어서 필수의 것이 아니다.
이와 같이, 고정 시일부(55), 셔터 시일부(49), 제 1 게이트 시일부(54) 및 제 2 게이트 시일부(52)는 배기 몸통부(15)의 길이방향이고, 셔터 이동실(16)의 내부에서 동일면(A) 상에 설치된다. 셔터 시일부(49)는 상기한 바와 같이 셔터링(48)에 의해 형성되고, 셔터링(48) 및 셔터(22)는, 또한 셔터링(48) 및 셔터링 유지부(47)는 서로 착탈 자유롭게 된다. 이와 같이, 본체(11)에는, 배기 몸통부(15)의 옆쪽부에 셔터 이동실(16)이 형성되나, 이 셔터 이동실(16)과 배기 몸통부(15)의 사이는 게이트(21)가 이동 가능하도록 연통되어 있고, 셔터 이동실(16)의 입구(18)가 연통부 입구가 된다. 따라서, 본체(11)에 의해 형성되는 셔터 이동부(17)에는, 배기 몸통부(15)의 옆쪽부에 면하여 입구(18)가 형성되고, 셔터(22)를 수납하여 배기 몸통부(15)로부터 격리할 수 있는 셔터 이동실(16)이 형성된다. 이 셔터(22)의 배기 몸통부(15)로부터의 격리 및 각 시일부의 시일 및 입구(18)의 셔터(22)에 의한 폐쇄는 이 셔터 이동실(16) 내에서 행하여진다. 그리고, 셔터 이동부(17)에는, 셔터 이동실(16)의 입구(18)에 대향하여 밸브자리 위에 고정 시일부(55)가 형성되게 된다. 그리고 상기한 바와 같이, 셔터(22)는, 고정 시일부(55)에 대향하도록 하여 하단부에 셔터 시일부(49)를 구비한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 본체(11)에는, 배기 몸통부(15)를 둘러싸도록 하여 볼트(61)가 설치되도록 되어 있고, 본체(11)를 다른 부재에 고정할 수 있게 하고 있다. 또, 도 3에 나타내는 바와 같이, 본체(11)에는, 게이트(21)를 조작하기 위한 게이트 및 셔터 조작부(62)가 설치되어 있다.
도 5 및 도 6은, 게이트(21)에 의한 진공 밸브(100)의 게이트 개폐상태를 나타낸다. 도 5는 게이트(21)에 의한 밸브 폐쇄상태를, 그리고 도 6은 게이트(21)에의한 밸브 개방상태를 나타낸다. 이들 도면에서, 셔터 이동실(16)은 게이트 퇴피실(13)에 연통되어 있고, 게이트(21)는 샤프트(68)를 중심으로 하여 셔터 이동실(16) 및 게이트 퇴피실(13)을 진자형상 회전, 즉 밸브체 회전을 한다. 도 5는, 게이트(21)가 셔터 이동실로 회동하여 배기구(20)를 폐쇄한 상태를 나타내고, 도 6은, 게이트(21)가 셔터 퇴피실(13)로 회동하여 배기구(20)를 개방하고, 자신은 셔터 퇴피실(13)로 퇴피한 상태를 나타낸다.
도 7은 게이트 및 셔터 구동원으로서의 게이트 및 셔터 조작부(62)의 구성을 나타낸다.
도 7에서, 게이트 및 셔터 조작부(62)는, 조작 본체(64), 조작 본체(62) 내에 설치되는 엑츄에이터(65), 엑츄에이터(65)에 의해 회전 구동되는 1군의 기어(66, 67), 고정 회전하는 기어(67)에 의해 회전 조작되는 샤프트(68), 요동 공전하는 기어(66)에 의해 요동 조작되는 공기 변환 레버(69), 요동하는 공기 변환 레버(69)에 의해 조작되는 공기 변환 밸브(70, 71) 및 공기 변환 밸브(70, 71)에 공기를 보내는 공기실(72)로 이루어진다.
공급한 공기에 의해 엑츄에이터(65)를 조작하여 기어군(66, 67)을 회전시킨다.
이에 따라 샤프트(68)가 회전하고, 샤프트(68)에 고정된 게이트(21)를 진자회전시켜, 도 5, 도 6에 나타내는 상태를 형성한다. 이 경우에, 요동하는 기어(66)에 의해 공기 변환 밸브(70, 71)의 공기가 변환된다. 이와 같이 하여 구동력 변환장치가 구성된다. 공기 공급에 있어서, 상기한 메카니컬 제어가 아니라, 시퀀스 제어(프로그램화된 컴퓨터 제어 등)를 행하는 제어장치를 설치할 수도 있다.
변환된 공기가 공기실(72)로부터 실린더(42)의 위쪽부, 아래쪽부로 도입되고, 각각 셔터 구동용 피스톤(45)에 작용하여, 게이트(21)의 회동에 연동하는 형으로 셔터(22)를 상하 이동시킨다. 이와 같이 하여, 게이트 구동부 및 셔터 구동부의 일부가 형성되고, 본 예의 경우 1세트이 공기 구동원이 사용된다. 게이트 구동부 및 셔터 구동부를 각각의 구동원에 의해 구동하도록 하여도 된다.
도 5 ~ 도 7에는, 진자 타입의 게이트(21)(펜드롤타입 게이트)의 예를 나타내었으나, 직선형상을 이동할 수 있는 게이트를 사용하고, 이 직선형상 이동의 게이트의 이동에 연동하여 셔터(22)를 상하 이동시키도록 하여도 된다.
도 8은, 게이트(21)와 셔터(22)의 운동 상태를 나타내는 도면이다. 도 8(1)은, 게이트(21)가 배기구(20)에 대향하여 위치하고, 셔터(22)가 아래쪽 끝으로 이동하여, 셔터 시일부(49)가 고정 시일부(55)에 접촉한 상태를 나타내고, 도 8(2)는 실린더(42)로의 변환 공기의 도입에 의해 셔터 구동 피스톤(45)이 위쪽으로 이동하여 셔터(22)가 셔터 수납실(36)에 수납된 상태를 나타내고, 게이트(21)가 퇴피 가능하게 된 것을 나타내며, 도 8(3)은 샤프트(68)의 회전에 의해 게이트(21)가 배기몸통(15)으로부터 샤프트 이동실(16)을 통하여 게이트 퇴피실(13)로 퇴피한 상태를 나타내고, 도 8(4)는 게이트(21)가 게이트 퇴피실(13)로 퇴피하였을 때에, 변환된 공기가 실린더(42)로 도입되어 셔터(22)가 아래쪽으로 이동하여 최하점에 도달하여 셔터부(49)가 고정 시일부(55)에 접촉한 상태를 나타낸다. 이와 같이 게이트(21)와 셔터(22)는 크로스하는 방향으로 이동한다. 또한, 이들 도면은 게이트(21) 및 셔터(22)의 동작을 나타내는 도면으로서 시일링(48)을 할애하고 있기 때문에, 시일상황을 정확하게 나타내는 것이 아니다.
도 9는, 밸브 폐쇄(CLOSE)부터 개방(OPEN)까지의 순서를 나타내는 도면이다.
도 9의 (1)은, 밸브 폐쇄의 상태를 나타낸다. 이 상태에서는 게이트(21)의 제 1 게이트 시일부(54)가 고정 시일부(55)에 접촉하여 게이트(21)가 배기구(20)를 폐쇄하고, 셔터 시일부(49)가 제 2 게이트 시일부(52)에 접촉하여 셔터(22)가 게이트와 함께, 셔터 이동실(16)의 입구(18)를 폐쇄하고 있는 상태를 나타낸다. 이것에 의하여, 프로세스 챔버로부터 튀어 오른 이물(데포짓)이 입구(18)를 거쳐 게이트 퇴피실(13)에 침입하는 것이 방지된다.
도 9의 (2)는 게이트(21)가 게이트 퇴피실(13)로의 퇴피를 위해 셔터(22)가 위쪽으로 이동한 상태를 나타낸다. 이 상태에서는 공기가 변환되고, 셔터(22)는 셔터 수납실(36)에 수납되고, 배기 몸통부(15), 셔터 이동실(16) 및 게이트 퇴피실(13)은 연통한다.
도 9의 (3)은, 게이트(21)가 게이트 퇴피실(13)로 퇴피한 상태를 나타낸다.
도 9의 (4)는, 게이트(21)가 게이트 퇴피실(13)로 퇴피한 상태에서, 공기가 변환되고, 셔터 수납실(36)에 수납되어 있던 셔터(22)가 아래쪽으로 이동하고, 하단에 도달하여 셔터 시일부(49)가 고정 시일부(55)에 접촉하여 셔터(22)가 단독으로 입구(18)를 폐쇄한다. 이 상태에서는 밸브 개방이 된다.
도 10은, 밸브 개방으로부터 밸브 폐쇄까지의 순서를 나타내는 도면이다. 단계는 도 9에 나타내는 순서와 반대가 된다.
도 10의 (1)은, 도 9의 (4)에 상당하고, 게이트(21)가 게이트 퇴피실(13)로 퇴피하여 셔터(22)가 입구(18)를 단독으로 폐쇄하고 있는 상태를 나타낸다. 이 경우에는, 셔터 시일부(49)는 고정 시일부(55)에 접촉하고 있다.
도 10의 (2)는, 도 9의 (3)에 상당하고, 게이트(21)의 이동을 위해 셔터(22)가 위쪽으로 이동하여 셔터 수납실(36)에 수납된 상태를 나타낸다. 이것에 의해, 게이트 퇴피실(l3), 셔터 이동실(16) 및 배기 몸통부(15)가 연통한다.
도 10의 (3)은, 도 9의 (2)에 상당하고, 게이트(21)가 연통한 게이트 퇴피실(13), 셔터 이동실(16) 및 배기 몸통부(15)를 이동하여, 배기구(20)의 위쪽으로 이동한 상태를 나타낸다.
도 10의 (4)는, 도 9의 (1)에 상당하고, 배기구(20)의 위쪽에 있던 게이트(21)가 이동하여 제 1 게이트 시일부(54)가 고정 시일부(55)에 접촉하여 게이트(31)가 배기구(20)로 이동하면 공기가 변환되고, 배기구(20)를 폐쇄함과 동시에, 셔터(22)가 아래쪽으로 이동하여 셔터 시일부(49)가 제 2 게이트 시일부(52)에 접촉하고, 셔터(22)는 게이트(21)와 함께 입구(18)를 폐쇄한다. 이 상태는 밸브 폐쇄의 상태이다.
이와 같이, 셔터(22)는, 게이트(21)가 게이트 퇴피실(13)에 수납되었을 때에, 셔터 이동실(16)을 이동하여 셔터 시일부(49)가 고정 시일부(55)에 접촉함으로써 입구(18)를 폐쇄하고, 또한 게이트(21)가 셔터 이동실(16)을 이동하여 제 1 게이트 시일부(54)가 고정 시일(55)에 접촉함으로써 배기구(20)를 폐쇄하였을 때에, 셔터 이동실(16)을 이동하여 셔터 시일부가 제 2 게이트 시일부(52)에 접촉함으로써 입구(18)를 폐쇄한다.
이 경우에, 고정 시일부(55), 셔터 시일부(49), 제 1 게이트 시일부(52) 및 제 2 게이트 시일부(54)는 배기 몸통부(15)의 길이방향이고, 고정 시일부(55)에 대하여 동일면(A) 위에서 셔터 이동실(16)을 이동하게 된다.
게이트(21)가 배기구(20)를 개방한 상태일 때에, 셔터 시일부(49)는 고정 시일부(55)에 접촉하여 고정 시일부(55)가 배기구에 노출되는 것을 방지하고, 고정 시일부(55)에의 이물의 부착을 방지할 수 있다. 게이트(21)가 배기구를 폐쇄한 상태일 때에, 제 1 게이트 시일부(53)에 고정 시일부(55)에 접촉하고, 또한 셔터 시일부(49)가 제 2 게이트 시일부(52)에 접촉함으로써 입구(18)를 폐쇄하여, 이물이 게이트 퇴피실(13)로 침입, 부착하는 것이 방지된다. 셔터(22)는 셔터 이동실(16)의 일부를 구성하는 셔터 수납실(16)에 게이트(21)의 이동 시 및 게이트(21)가 배기구(20)를 폐쇄하고 있을 때에는 수납되어 있어 이물이 셔터(22)에 부착하는 것이 방지된다. 셔터(22)는, 형성된 셔터 이동실(16)을 상하 이동하여, 상기한 바와 같이, 셔터실(16) 내에서 게이트 퇴피실로의 이물의 침입을 방지하는 기능을 가진다. 그리고, 게이트(21)가 배기구(20)를 폐쇄할 때에, 각 시일부는 셔터 이동실(16) 내에서 상하방향으로 동일한 수직선 상에 설치되어 폐쇄를 확실하게 하여 이물의 부착을 유효하게 방지한다.

Claims (7)

  1. 끝부에 배기구가 형성된 배기 몸통부를 구비한 본체와, 게이트 퇴피실을 구비한 게이트 퇴피부와, 상기 게이트 퇴피실로부터 상기 배기 몸통부로 이동하여 상기 배기구를 폐쇄하고, 또한 상기 게이트 퇴피실에 수납되는 게이트와, 당해 게이트를 이동시키는 게이트 구동부와, 상기 배기 몸통을 따라 이동 가능하게 되어 상기 셔터 이동실에 설치된 셔터와, 당해 셔터를 이동시키는 셔터 구동부를 구비한 진공 게이트 밸브에 있어서,
    상기 본체는, 상기 배기 몸통부의 옆쪽부에 면하여 입구가 형성되고, 상기 게이트의 상기 입구의 폐쇄 이동 시 및 상기 게이트의 상기 게이트 퇴피실로의 퇴피 이동 시에 상기 셔터를 상기 배기 몸통부로부터 격리하는 셔터 이동실이 형성된 셔터 이동부를 구비하고,
    상기 게이트 퇴피부는 상기 게이트 퇴피실이 상기 셔터 이동실에 연통하여 설치되고,
    상기 셔터 이동부에는, 상기 셔터 이동실의 상기 입구에 대향하여, 고정 시일부가 형성되고,
    상기 셔터는, 상기 고정 시일부에 대향하도록 하여 셔터 시일부를 구비하고,
    상기 게이트는, 상기 게이트 퇴피실로부터 상기 셔터실로, 다시 당해 셔터실로부터 상기 배기 몸통부로 이동 가능하게 되고, 그리고 상기 게이트에는, 그 일면측에 상기 고정 시일부에 대향하여 제 1 게이트 시일부가 형성되고, 그리고, 상기 게이트에는 제 1 게이트 시일부의 반대면측에 상기 셔터 시일부에 대향하여 제 2 게이트 시일부가 형성되며,
    상기 셔터는, 상기 게이트가 상기 게이트 퇴피실에 수납되었을 때에, 상기 셔터 이동실을 이동하여 셔터 시일부가 상기 고정 시일부에 접촉함으로써 상기 입구를 폐쇄하고, 또한 상기 게이트가 상기 셔터 이동실을 이동하여 제 1 게이트 시일부가 상기 고정 시일에 접촉함으로써 상기 배기구를 폐쇄하였을 때에, 상기 셔터 이동실을 이동하여 상기 셔터 시일부가 제 2 게이트 시일부에 접촉함으로써 상기 입구를 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 고정 시일부, 상기 셔터 시일부, 제 1 게이트 시일부 및 제 2 게이트 시일부는 상기 배기 몸통부의 길이방향이고, 상기 셔터 이동실 내에서 동일면 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 셔터 시일부는 셔터링에 의해 형성되어 당해 셔터링 및 상기 셔터는 서로 착탈 자유롭게 되고, 상기 배기 몸통부는 안 둘레면에 원통형상의 커버 및 커버의 바깥 둘레측에 상기 셔터 이동실의 일부가 되는 셔터 수납실을 구비하고, 당해 셔터 수납실의 옆쪽측에 당해 셔터 수납실을 따라 상기 셔터 구동부의 셔터 구동 피스톤이 설치되고, 당해 셔터 구동 피스톤은 상기 셔터링에 접속되어, 상기 배기 몸통부를 따라 동작하는 상기 셔터 구동 피스톤에 의해 상기 배기 몸통부를 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 게이트 구동부와 상기 셔터 구동부는 1세트의 구동원 및 구동력 변환장치에 의해 구동되고, 상기 게이트가 상기 게이트 퇴피실로 퇴피되었을 때에 상기 셔터를 이동하도록 제어하는 제어장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 게이트 퇴피부는 박스형상으로 형성되고, 상기 본체에 본체 옆쪽으로부터 일체화되고, 또한 착탈 자유롭게 되며, 상기 게이트에는 진자형의 게이트가 사용되고, 당해 게이트는 상기 게이트 퇴피부 및 상기 셔터 이동실을 요동하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
  6. 끝부에 배기구가 형성된 배기 몸통부를 구비한 본체와, 게이트 퇴피실을 구비한 게이트 퇴피부와, 상기 게이트 퇴피실로부터 상기 배기 몸통부로 이동하여 상기 배기구를 폐쇄하고, 또한 상기 게이트 퇴피실에 수납되는 게이트와, 당해 게이트를 이동시키는 게이트 구동부와, 상기 배기 몸통을 따라 이동 가능하게 되어 상기 셔터 이동실에 설치된 셔터와, 당해 셔터를 이동시키는 셔터 구동부를 구비하고,
    상기 본체는, 상기 배기 몸통부의 옆쪽부에 면하여 입구가 형성되고, 상기 게이트의 상기 입구의 폐쇄 시 및 상기 게이트의 상기 게이트 퇴피실로의 퇴피 시에 상기 셔터를 상기 배기 몸통부로부터 격리하는 셔터 이동실이 형성된 셔터 이동부를 구비하고,
    상기 게이트 퇴피부는 상기 게이트 퇴피실이 상기 셔터 이동실에 연통하여 설치되고,
    상기 셔터 이동부에는, 상기 셔터 이동실의 상기 입구에 대향하여, 고정 시일부가 형성되며,
    상기 셔터는, 상기 고정 시일부에 대향하도록 하여 셔터 시일부를 구비하고,
    그리고 상기 게이트에는, 그 일면측에 상기 고정 시일부에 대향하여 제 1 게이트 시일부가 형성되고, 그리고, 상기 게이트에는 제 1 게이트 시일부의 반대면측에 상기 셔터 시일부에 대향하여 제 2 게이트 시일부가 형성된 진공 게이트 밸브의 게이트 개폐방법에 있어서,
    상기 게이트가 상기 게이트 퇴피실에 수납되었을 때에, 상기 셔터는, 상기 셔터 이동실을 이동하여 셔터 시일부가 상기 고정 시일부에 접촉함으로써 상기 입구를 폐쇄하고, 또한 상기 게이트가, 상기 게이트 퇴피실로부터 상기 셔터실로, 다시 당해 셔터실로부터 상기 배기 몸통부로 이동하고, 상기 게이트 시일부가 상기 고정 시일에 접촉함으로써 상기 배기구를 폐쇄할 때에, 상기 셔터가 상기 셔터 이동실을 이동하여 상기 셔터 시일부가 제 2 시일부에 접촉함으로써 상기 입구를 폐쇄하도록 하여 상기 게이트의 개폐를 행하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브의 게이트 개폐방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 고정 시일부, 상기 셔터 시일부, 제 1 게이트 시일부 및 제 2 게이트 시일부는 상기 배기 몸통부의 길이방향이고, 상기 고정 시일부에 대하여 동일면 상에서 상기 셔터 이동실을 이동하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브의 게이트 개폐방법.
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