JP6745953B1 - 仕切りバルブ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明者らは、このような仕切りバルブに関する出願をおこなっている(特許文献1)。
この場合、仕切りバルブが流路となるチャンバに対して、非特許文献1に記載される日本工業規格で規定される真空装置用フランジを用いて接続されている。
1.二通りの接続方法に対応可能な仕切りバルブを提供すること。
2.装置の省スペース化を図ること。
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第1開口部及び第2開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられ前記第1開口部を密閉するように第1チャンバに接続する第1接続部と、
前記弁箱に設けられ前記第2開口部を密閉するように第2チャンバに接続する第2接続部と、
を有し、
前記第1接続部が、前記第1開口部の周囲に沿って設けられて前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とをシール可能な内シール領域と、
前記内シール領域よりも前記第1開口部の径方向外側に位置する複数の締結穴と、
前記締結穴よりも前記第1開口部の径方向外側に位置する外シール領域と、を有し、
前記外シール領域によって、前記締結穴に締結される接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第1チャンバとのシールをおこなうとともに、
前記内シール領域によって、前記接続部材が前記第1チャンバの大気側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第1チャンバとのシールをおこなって、
前記接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出する接続方式と大気側に露出する接続方式とのどちらにも対応可能であり、
前記内シール領域と前記外シール領域とにはシール溝が形成され、前記シール溝が前記弁箱の表面に形成され、前記内シール領域と前記外シール領域とのいずれかの前記シール溝にはシール部材が配置され、
前記第1接続部では、前記弁箱の表面において前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側が、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側に比べて前記中空部に近接する方向に凹んでいることにより上記課題を解決した。
本発明の仕切りバルブは、仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第1開口部及び第2開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記回転軸を回転して前記弁体を回転駆動可能な回転軸駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
前記弁箱に設けられ前記第1開口部を密閉するように第1チャンバに接続する第1接続部と、
前記弁箱に設けられ前記第2開口部を密閉するように第2チャンバに接続する第2接続部と、
を有し、
前記第1接続部が、前記第1開口部の周囲に沿って複数設けられる接続部材と、
前記第1開口部の径方向で前記接続部材の両側位置でかつ前記第1開口部の周囲に沿って設けられて前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とをシール可能な内シール領域と外シール領域と、を有し、
前記外シール領域によって、前記接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第1チャンバとのシールをおこなうとともに、
前記内シール領域によって、前記接続部材が前記第1チャンバの大気側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第1チャンバとのシールをおこなって、
前記接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出する接続方式と大気側に露出する接続方式とのどちらにも対応可能であり、
前記内シール領域と前記外シール領域とにはシール溝が形成され、前記シール溝が前記弁箱の表面に形成され、前記内シール領域と前記外シール領域とのいずれかの前記シール溝にはシール部材が配置され、
前記第1接続部では、前記弁箱の表面において前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側が、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側に比べて前記中空部に近接する方向に凹んでいることにより上記課題を解決した。
本発明の仕切りバルブは、前記第1接続部では、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側で、前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とが互いに接触していることができる。
本発明の仕切りバルブが、前記第1接続部では、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側において、前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とが互いに離間していることが好ましい。
本発明の仕切りバルブにおいて、前記第1接続部では、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側には、前記第1開口部の縁部まで前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面との間に隙間が形成されていることが可能である。
本発明においては、前記第1接続部では、前記接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出するとともに、
前記外シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置されることができる。
本発明の仕切りバルブは、前記第1接続部では、前記接続部材が前記第1チャンバの大気側に露出するとともに、
前記内シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置されることができる。
本発明の仕切りバルブは、前記弁箱付勢部が、前記第2開口部の周囲に配置されることができる。
また、本発明の仕切りバルブは、前記シール溝が前記チャンバの表面に形成され、
前記第1接続部では、前記第1チャンバの表面において、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側が、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側に比べて前記中空部に近接する方向に突出していることができる。
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第1開口部及び第2開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記回転軸を回転して前記弁体を回転駆動可能な回転軸駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
前記弁箱に設けられ前記第1開口部を密閉するように第1チャンバに接続する第1接続部と、
前記弁箱に設けられ前記第2開口部を密閉するように第2チャンバに接続する第2接続部と、
を有し、
前記第1接続部が、前記第1開口部の周囲に沿って複数設けられる接続部材と、
前記第1開口部の径方向で前記接続部材の両側位置でかつ前記第1開口部の周囲に沿って設けられて前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とをシール可能な内シール領域と外シール領域と、を有する。
これにより、接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出する接続方式であっても、接続部材が前記第1チャンバの大気側に露出する接続方式であっても、兼用が可能でどちらの接続方式にも対応可能な仕切りバルブを提供することが可能となる。この場合、接続方式によって、内シール領域と外シール領域を切り替えて第1開口部を密閉することができる。
具体的には、接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出する接続方式においては、接続部材が貫通する貫通孔の外側となる外シール領域によって、弁箱と第1チャンバとのシールをおこなうことができる。また、接続部材が前記第1チャンバの大気側に露出する接続方式においては、接続部材が貫通する貫通孔の内側となる内シール領域によって、弁箱と第1チャンバとのシールをおこなうことができる。これらにより、真空装置に対する仕切りバルブの実装時に、どちらの接続方式であっても対応して、同一の仕切りバルブを真空装置に容易に実装することが容易となる。したがって、製造期間の長い仕切りバルブの在庫を削減することが可能となる。
これにより、弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とが互いに接触するメタルタッチとなる領域に対して、メタルタッチ領域よりも第1開口部に近接した領域で仕切りバルブと第1チャンバとをシールすることが可能となる。
これにより、真空側となる外シール領域よりも内側において、弁箱および第1チャンバが互いに摺動してしまうことを防止できる。したがって、仕切りバルブと第1チャンバとのシール部分において、パーティクルの発生源となることを防止することができる。
これにより、真空側となる外シール領域よりも内側において、弁箱および第1チャンバが互いに摺動してしまうことを防止できる。したがって、仕切りバルブと第1チャンバとのシール部分において、パーティクルの発生源となることを防止することが可能である。
これにより、接続部材によって弁箱と第1チャンバとを締結することにより第1開口部の周りに周設されたシール部材をその全周で対向する面に押しつけて、弁箱と第1チャンバとをシールすることが可能となる。
前記第1接続部では、前記弁箱の表面において前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側が、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側に比べて前記中空部に近接する方向に凹んでいる。
これにより、弁箱における第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側には、前記第1開口部の縁部まで前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面との間に隙間を形成して、真空側となる外シール領域よりも内側において、弁箱および第1チャンバが互いに摺動してしまうことを防止できる。したがって、仕切りバルブと第1チャンバとのシール部分において、パーティクルの発生源となることを防止することができる。
前記第1接続部では、前記第1チャンバの表面において、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側が、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側に比べて前記中空部に近接する方向に突出している。
これにより、第1チャンバにおける第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側には、前記第1開口部の縁部まで前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面との間に隙間を形成して、真空側となる外シール領域よりも内側において、弁箱および第1チャンバが互いに摺動してしまうことを防止できる。したがって、仕切りバルブと第1チャンバとのシール部分において、パーティクルの発生源となることを防止することができる。
前記外シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置される。
これにより、締結ボルト等とされる接続部材によって弁箱と第1チャンバとを取り付け固定する際に、第1チャンバの内側となる真空側から接続部材を締結して、仕切りバルブと第1チャンバとをシールすることが可能となる。同時に、締結ボルト等とされる接続部材が貫通する貫通孔をシール溝のシール部材よりも真空側として、貫通孔の内部が大気側に連通することを防止して、シール状態を維持することができる。この場合、接続部材は、気抜きボルトとすることができる。
前記内シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置されることができる。
これにより、締結ボルト等とされる接続部材によって弁箱と第1チャンバとを取り付け固定する際に、第1チャンバの外側となる大気側から接続部材を締結して、仕切りバルブと第1チャンバとをシールすることが可能となる。この場合、接続部材は、気抜きボルトではない通常の締結ボルトとすることができる。
これにより、油圧駆動とされる弁箱付勢部が、加熱状態であるチャンバから離間した位置において駆動する状態を維持することができ、弁箱付勢部の駆動確実性を維持することが可能となる。
図1は、本実施形態における仕切りバルブの一接続方式を示す流路に沿った方向の断面図である。
図2は、本実施形態における仕切りバルブの他の接続方式を示す流路に沿った方向の断面図である。図において、符号100は、仕切りバルブである。
回転軸20は、流路H方向に延在する軸線を有する。
回転軸20は、弁体5を中空部11内における退避位置(弁開放位置)と弁開口遮蔽位置(摺動準備位置)との間で回転可能に支持する。
回転軸駆動部200は、回転軸20を回転駆動可能である。
回転軸駆動部200は、弁体5を往復回転動作させることが可能である。
中立弁部30は、回転軸20に固定される。
中立弁部30は、中空部11における流路H方向の中央位置を維持する。
可動弁部(可動弁板部)54は、弁開口遮蔽位置(摺動準備位置)と弁閉塞位置とにおいて、弁枠部63に対して流路H方向における位置を変更可能である。
可動弁部(可動弁板部)54には、第1開口部12aの周囲に位置する弁箱10の内面に密着される弁板シールパッキンが設けられる。
弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70の可動部(伸縮ロッド)72は、真空雰囲気とされたチャンバCh内に向けて伸縮可能とされる。
弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70においては、付勢部材(押しつけバネ)の付勢力によって縮退した可動部(伸縮ロッド)72が、可動弁部(可動弁板部)54から離間して、固定部71に収納される。
この際、弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70は、可動部(伸縮ロッド)72によって、可動弁部(可動弁板部)54を第1開口部12aに向けて移動させて、可動弁部(可動弁板部)54を弁箱10の内面に接触させる。さらに、弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70は、可動弁部(可動弁板部)54を弁箱10の内面に押圧して閉塞状態とし、流路Hを閉鎖する(閉弁動作)。
これにより、可動弁部(可動弁板部)54が弁箱10の内面から引き離されて退避される。可動弁部(可動弁板部)54を流路H方向における中空部11の中央位置とすることにより、流路Hを開放する(解除動作)。
仕切りバルブ100は、この解除動作と退避動作とにより、可動弁部(可動弁板部)54が弁開口遮蔽位置(摺動準備位置)から退避位置(弁開放位置)に退避して弁開状態とする弁開動作が行われる。回転軸駆動部200は、ノーマルクローズが可能な構成とされている。
弁箱10は、所定の厚みを有する板状である。弁箱10の内部には、中空部11が形成される。弁箱10の両面には、中空部11に連通する第1開口部12aと第2開口部12bとが形成される。
第1開口部12aは、第1チャンバ910に接続される。第2開口部12bは、第2チャンバ920に接続される。ここで、流路Hを便宜上第1チャンバ910から第2チャンバ920へと向かう方向に設定する。
仕切りバルブ100には、第2開口部12bを密閉するように第2チャンバ920に接続する第2接続部940が弁箱10に設けられる。
図1に示す接続方式を便宜上JISタイプと称する。このタイプは、第1チャンバ910に対して、接続フランジ911を有する接続筒915を介して弁箱10と第1チャンバ910とを接続する。このタイプは、後述する接続部材932が第1チャンバ910の大気側に露出する接続方式である。
図2に示す接続方式を便宜上ダイレクトタイプと称する。このタイプは、第1チャンバ910に対して、第1チャンバ910のチャンバ壁部912に直接弁箱10を接続する。このタイプは、後述する接続部材932が第1チャンバ910の真空側に露出する接続方式である。
本実施形態の第1接続部930は、図1〜図3に示すように、第1開口部12aの周囲に沿って、内シール領域931と、接続部材932と、外シール領域933と、メタルタッチ領域934と、を有する。これら内シール領域931と、接続部材932と、外シール領域933と、メタルタッチ領域934とは、第1開口部12aの周囲に沿って第1開口部12aの径方向外側に向けて同心状に配置される。
接続部材932は、例えば締結ボルトとされる。
あるいは、接続部材932は、気抜きボルトとされる。
外シール領域933は、第1開口部12aと同心状に配置される。外シール領域933は、第1開口部12aの輪郭に沿って配置される。外シール領域933は、第1開口部12aの全周に設けられる。外シール領域933には、シール溝933aが形成される。
特に、後述するJISタイプの接続方式がメインである場合には、シール溝931aの深さ寸法および幅寸法をシール溝933aの深さ寸法および幅寸法に対して大きくことができる。
なお、どちらの接続方式に対しても等しく対応すること、つまり、兼用することがメインである場合には、シール溝933aの深さ寸法および幅寸法と、シール溝931aの深さ寸法および幅寸法とを、略等しくすることが好ましい。
メタルタッチ領域934は、接続フランジ911における弁箱10に対向する表面914とその全域で接触する。メタルタッチ領域934は、所定の幅寸法を有していればよく、例えば、接続フランジ911の外縁輪郭と等しい領域とされることができる。なお、メタルタッチ領域934は、弁箱10と接続フランジ911とを固定して仕切りバルブ100を第1チャンバ910に支持可能であれば、その大きさは限定されない。
つまり、メタルタッチ領域934よりも第1開口部12aに近接する弁箱10の第1チャンバ910に対向する表面10aが、凹部935とされる。
凹部935は、その全域で、等しい深さ寸法を有する。
凹部935は、シール溝931aに収納されたシール部材931bまたはシール溝933aに収納されたシール部材933bが接続フランジ911の表面914に接触した状態で押しつぶされて、弁箱10と接続フランジ911の表面914との間を密閉可能な深さ寸法である。
凹部935の内部においては、接続フランジ911の表面914と弁箱10の表面10aとは接触していない。
本実施形態の仕切りバルブ100において、第2接続部940では、図1,図2,図4に示すように、弁箱10の第2チャンバ920に対向する表面10bに内シール領域941と、メタルタッチ領域934と、が形成される。また、本実施形態の第2接続部940では、弁箱10の第2チャンバ920に対向する表面10bに、接続部材942を締結するための締結穴942aが複数形成される。
第2接続部940では、接続フランジ921を有する第2チャンバ920に対して、弁箱10を接続する。
第2チャンバ920には、仕切りバルブ100に近接する端部位置に接続フランジ921が設けられる。
接続フランジ921は、流路H方向に見て、第2開口部12bと同一の内周断面形状を有する。
接続フランジ921には、接続部材942が貫通する貫通孔921bが設けられる。
メタルタッチ領域944は、接続フランジ921における弁箱10に対向する表面924とその全域で接触する。メタルタッチ領域944は、所定の幅寸法を有していればよく、例えば、接続フランジ921の外縁輪郭と等しい領域とされることができる。
メタルタッチ領域944には、締結穴942aが形成される。つまり、締結穴942aの周囲では、弁箱10の表面10bと接続フランジ921の表面924とが接触している。
つまり、弁箱10の第2チャンバ920に対向する表面10bにおいて、メタルタッチ領域944よりも第2開口部12bに近接している領域が、凹部945とされる。
凹部945は、その全域で、等しい深さ寸法を有する。
凹部945は、シール溝941aに収納されたOリング等のシール部材941bが接続フランジ921の表面924に接触した状態で押しつぶされて、弁箱10の表面10bと接続フランジ921との間を密閉可能な深さ寸法である。
凹部945の内部においては、接続フランジ921の表面924と弁箱10の表面10bとは接触していない。
内シール領域941のシール溝941aでは、Oリング等のシール部材941bが接続フランジ921の表面924に押しつぶされることで、流路Hに対するシールがおこなわれる。
接続筒915は、第1開口部12aと同一の断面形状を有する。
接続筒915には、仕切りバルブ100に近接する端部位置に接続フランジ911が設けられる。
接続フランジ911には、接続部材932が貫通する貫通孔911bが設けられる。
内シール領域931のシール溝931aにはOリング等のシール部材931bが配置される。
シール溝933aではOリング等のシール部材933bが接続フランジ911の表面914に押しつぶされることで、流路Hに対するシールがおこなわれる。
なお、図3において、このJISタイプの接続方式と次のダイレクトタイプの接続方式とを示すため、別体である接続フランジ911とチャンバ壁部912とを同一箇所に示している。
チャンバ壁部912には、チャンバ開口部912aが開口している。チャンバ開口部912aは、第1開口部12aと同一の断面形状を有する。
チャンバ開口部912aは、JISタイプにおける接続フランジ911に対応する。
チャンバ壁部912には、接続部材932が貫通する貫通孔912bが設けられる。
外シール領域933のシール溝933aにはOリング等のシール部材933bが配置される。
シール溝933aではOリング等のシール部材933bがチャンバ壁部912の表面914に押しつぶされることで、流路Hに対するシールがおこなわれる。
図5は、本実施形態における仕切りバルブの第1接続部を示す流路に沿った方向の拡大断面図である。
図7は、本実施形態における仕切りバルブの第1接続部を示す斜視図である。
本実施形態において、上述した第1実施形態と異なるのは、第1接続部と第2接続部との構成が形成される部位に関する点であり、これ以外の上述した第1実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
弁箱10の表面10aには、複数の締結穴932aが設けられる。
弁箱10の表面10aは、第1開口部12aの径方向外側において締結穴932aを除いて面一となるように形成されている。
本実施形態の第1接続部930においても、JISタイプおよびダイレクトタイプの両方の接続方式で兼用することができる。
複数の締結穴932aは、第1実施形態と同様に、第1開口部12aの径方向外側に向けて同心状に配置される。
つまり、内シール領域931と、貫通孔911bと、外シール領域933と、メタルタッチ領域934とが、第1開口部12aの輪郭から接続フランジ911の径方向外側に向けて同心状に配置される。
流路H方向に沿って見た場合に、内シール領域931と、貫通孔911bと、外シール領域933と、メタルタッチ領域934とは、第1実施形態における対応する構成と同じ位置となるように形成されている。
つまり、接続フランジ911の表面914に、メタルタッチ領域934よりも接続フランジ911の径方向で内側の輪郭に近接する位置に、凹部935が形成されている。凹部935は、流路H方向に弁箱10の表面10aから離間するように形成されている。
凹部935には、弁箱10の表面10aに対向する底部となる位置に、内シール領域931と、貫通孔911bと、外シール領域933と、が形成されている。
凹部935は、第1実施形態と同様に、シール溝931aに収納されたOリング等のシール部材931bまたはシール溝933aに収納されたOリング等のシール部材933bが弁箱10の表面10aに接触した状態で押しつぶされて、弁箱10の表面10aと接続フランジ911との間を密閉可能な深さ寸法である。
外シール領域933は、接続フランジ911と同心状に配置される。外シール領域933は、接続フランジ911の輪郭に沿って配置される。外シール領域933は、接続フランジ911の全周に設けられる。外シール領域933には、シール溝933aが形成される。
特に、後述するJISタイプの接続方式がメインである場合には、シール溝931aの深さ寸法および幅寸法をシール溝933aの深さ寸法および幅寸法に対して大きくことができる。
なお、どちらの接続方式に対しても等しく対応すること、つまり、兼用することがメインである場合には、シール溝933aの深さ寸法および幅寸法と、シール溝931aの深さ寸法および幅寸法とを、略等しくすることが好ましい。
メタルタッチ領域934は、弁箱10における接続フランジ911に対向する表面10aとその全域で接触する。メタルタッチ領域934は、所定の幅寸法を有していればよく、例えば、外シール領域933から接続フランジ911の外縁輪郭までと等しい領域とされる。なお、メタルタッチ領域934は、弁箱10と接続フランジ911とを固定して仕切りバルブ100を第1チャンバ910に支持可能な大きさとされる。
凹部935の内部においては、接続フランジ911の表面914と弁箱10の表面10aとは接触していない。
締結穴932aは、接続フランジ911と仕切りバルブ100とが互いに取り付けられた際に、貫通孔911bと対応する位置に配置される。つまり、締結穴932aは、第1開口部12aの周方向において互いに離間するように複数形成される。複数の締結穴932aは、流路Hの中心に対して、同一の円周上に配置される。複数の締結穴932aは、ほぼ面一とされる弁箱10の表面10aに形成される。締結穴932aは、凹部935に対応する位置に配置される。
内シール領域931のシール溝931aにはOリング等のシール部材931bが配置される。
シール溝933aではOリング等のシール部材933bが弁箱10の表面10aに押しつぶされることで、流路Hに対するシールがおこなわれる。
チャンバ壁部912には、チャンバ開口部912aが開口している。チャンバ開口部912aは、第1開口部12aと同一の断面形状を有する。
つまり、内シール領域931と、貫通孔912bと、外シール領域933と、メタルタッチ領域934とが、チャンバ開口部912aの開口輪郭からチャンバ開口部912aの径方向外側に向けて同心状に配置される。
なお、本実施形態のダイレクトタイプの接続方式では、上述したJISタイプにおける接続方式における接続フランジ911が、チャンバ壁部912に対応する。
つまり、チャンバ壁部912の表面914には、チャンバ開口部912aの径方向でメタルタッチ領域934よりも内側となるとともに、チャンバ開口部912aの開口輪郭に近接する位置に、凹部935が形成されている。凹部935は、流路H方向に弁箱10の表面10aから離間するように形成されている。
凹部935には、弁箱10の表面10aに対向する底部となる位置に、内シール領域931と、貫通孔911bと、外シール領域933と、が形成されている。
凹部935は、第1実施形態と同様に、シール溝931aに収納されたOリング等のシール部材931bまたはシール溝933aに収納されたOリング等のシール部材933bが弁箱10の表面10aに接触した状態で押しつぶされて、弁箱10の表面10aとチャンバ壁部912との間を密閉可能な深さ寸法である。
外シール領域933は、チャンバ開口部912aと同心状に配置される。外シール領域933は、チャンバ開口部912aの輪郭に沿って配置される。外シール領域933は、チャンバ開口部912aの全周に設けられる。外シール領域933には、シール溝933aが形成される。
特に、後述するJISタイプの接続方式がメインである場合には、シール溝931aの深さ寸法および幅寸法をシール溝933aの深さ寸法および幅寸法に対して大きくことができる。
なお、どちらの接続方式に対しても等しく対応すること、つまり、兼用することがメインである場合には、シール溝933aの深さ寸法および幅寸法と、シール溝931aの深さ寸法および幅寸法とを、略等しくすることが好ましい。
メタルタッチ領域934は、弁箱10における表面10aとその全域で接触する。メタルタッチ領域934は、所定の幅寸法を有していればよい。なお、メタルタッチ領域934は、弁箱10とチャンバ壁部912とを固定して仕切りバルブ100を第1チャンバ910に支持可能な大きさとされる。
凹部935の内部においては、チャンバ壁部912の表面914と弁箱10の表面10aとは接触していない。
外シール領域933のシール溝933aにはOリング等のシール部材933bが配置される。
シール溝931aではOリング等のシール部材931bが弁箱10の表面10aに押しつぶされることで、流路Hに対するシールがおこなわれる。
図8は、本実施形態における仕切りバルブの第2接続部を示す斜視図である。
本実施形態の第2接続部940は、図6,図8に示すように、第2開口部12bの周囲に沿って、接続部材942を締結する複数の締結穴942aが弁箱10の表面10bに配置される。
複数の締結穴942aは、第1実施形態と同様に、第2開口部12bの径方向外側に向けて同心状に配置される。
メタルタッチ領域944は、弁箱10における接続フランジ921に対向する表面10bとその全域で接触する。メタルタッチ領域944は、所定の幅寸法を有していればよく、例えば、内シール領域941から接続フランジ921の外縁までと等しい領域とされることができる。
メタルタッチ領域944には、締結穴942aが形成される。つまり、締結穴942aの周囲では、弁箱10の表面10bと接続フランジ921の表面924とが接触している。
つまり、接続フランジ921の表面924において、メタルタッチ領域944よりも接続フランジ921の内周縁に近接している領域が、凹部945とされる。
凹部945は、その全域で、等しい深さ寸法を有する。
凹部945は、シール溝941aに収納された弾性体であるOリング等のシール部材941bが弁箱10の表面10bに接触した状態で押しつぶされて、弁箱10の表面10bと接続フランジ921との間を密閉可能な深さ寸法である。
凹部945の内部においては、接続フランジ921の表面924と弁箱10の表面10bとは接触していない。
内シール領域941のシール溝941aでは、Oリング等のシール部材941bが弁箱10の表面10bに押しつぶされることで、流路Hに対するシールがおこなわれる。
本実施形態において上述した第2実施形態と異なるのは仕切りバルブの振り子弁体等に関する点であり、これ以外の対応する構成要素に関しては、同一の符号を付してその説明を省略する。
図10は、本実施形態における仕切りバルブを示す流路に沿った断面図である。
図11は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。
なお、本実施形態において、第1チャンバ910および第2チャンバ920は図示を省略している。
弁箱10には、第1接続部930および第2接続部940が設けられる。
弁体5は、弁閉塞位置において第1チャンバ910の第1空間と第2チャンバ920の第2空間とを遮断可能とされる。
回転軸20は、流路H方向とほぼ平行に延在する軸線を有する。回転軸20は、弁箱10を貫通する。回転軸20は、回転軸駆動部200により回転駆動可能である。
回転軸20には、接続部材(不図示)を介して弁体5が固定される。あるいは、回転軸20には、接続部材(不図示)を介さずに弁体5が直接接続されてもよい。
回転軸20は、弁体5の位置切り替え部として機能する。
弁体5は、第1開口部12aおよび/または第2開口部12bを閉塞可能である。
弁体5は、弁閉塞位置と弁開口遮蔽位置と弁開放位置(退避位置)との間で動作する。
弁体5は、退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能である。
弁開放位置(退避位置)において、弁体5は、第1開口部12aおよび/または第2開口部12bから退避した開放状態(図9に破線で示す)になる。
中立弁部30は、回転軸20の軸線に対して直交する方向に延在する。中立弁部30は、回転軸20の軸線に対して直交する方向に平行な面に含まれるように配置される。
円形部30aは、第1開口部12aおよび/または第2開口部12bの輪郭よりやや大きなリング状とされる。円形部30aの径方向内側となる位置には、可動弁部40が配置される。円形部30aの内周は、流路H方向視して、第1開口部12aおよび/または第2開口部12bとほぼ重なるように配置される。
これら回転軸20および中立弁部30は、弁箱10に対して回動はするが、流路H方向には位置変動しない。
この場合、平板状の中立弁部30に可動弁部40の嵌合される貫通孔が形成されて円形部30aとされる。円形部30aの周方向の一部分が、径方向外向きに延長された部分が回転部30bとされる。
なお、円形部30aと回転部30bとは、流路H方向の厚み寸法が等しくなるように形成することもできる。
可動弁部40は、中立弁部30に対して流路H方向の位置が変更可能に接続される。つまり、可動弁部40は、中立弁部30に対して厚さ方向のみ摺動可能として接続される。
可動弁部40は、流路H方向に互いに移動可能な2つの部分からなる。可動弁部40は、可動弁枠部60(スライド弁枠)と可動弁板部50(カウンター板)とを備える。
可動弁枠部60は、内枠板60dと外周クランク部60cと外枠板60eとが接続されて、径方向におけるリング状の断面形状が、略Z字形状とされている。
摺動面60bは、流路H方向と平行な軸線を有する円筒面である。摺動面60bは、外周クランク部60cの内周面において周方向の全長に設けられる。摺動面60bは、後述する可動弁板部50の内周クランク部50cの摺動面50bと互いに摺動可能として対向状態に位置する。
外周クランク部60cには、内周クランク部50cが嵌合している。
可動弁枠部60は、弁枠付勢部(補助バネ)90によって、中立弁部30に対して流路H方向における位置が変更可能に接続される。可動弁枠部60と円形部30aとは、同心状の二重円環とされる。
可動弁板部50は、可動弁枠部60における外周クランク部60cの径方向内側に嵌合される。可動弁板部50の径方向外側となる位置には、可動弁板部50の周囲を囲むように可動弁枠部60が配置される。
第1の位置は、振り子動作可能な位置にある可動弁枠部60と中立弁部30とに対して同様に可動弁板部50が振り子動作可能な位置である。
第3の位置は、第2の位置における可動弁枠部60に対して、可動弁板部50が第2開口部12bに接触可能な位置である。
可動弁板部50は、弁板50dにおける第1開口部12aに対向する面の周縁位置に内周クランク部50cが周設されて、直径を通る断面形状が、略U字形状とされている。弁板50dは、内周クランク部50cの径方向内側を密閉するように設けられる。弁板50dは、流路H方向と略直交する方向に配置された平板状とされる。
弁板50dの中心Oから見て、弁板付勢部(保持バネ)80の角度位置は、弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70と弁枠付勢部90との角度位置と重なるように構成される。
周溝59は、隣接する付勢部穴58の間を結ぶように内周クランク部50cの周方向に周設される。
内周クランク部50cには、周溝59によって、周溝59を挟んで流路H方向に立設された内周壁59aと、外周壁59bと、内周壁59aおよび外周壁59bの間の底部59cとが形成される。
付勢部穴58は、後述する弁板付勢部80を収納可能として、略円筒状に形成される。付勢部穴58の底部58cは平面状とされており、湾曲部59d,59eと同程度の曲率半形を有する湾曲部は設けないことができる。
可動弁板部50において、内周クランク部50cの内周壁59aと、弁板50dの周縁部分とが、周溝59の底部59cよりも周溝59の開口に近接した位置で接続される。
さらに、内周壁59aの径方向内側には、流路H方向となる可動弁板部50の厚さ方向において、内周クランク部50cの中心位置よりも第1開口部12aに近接する位置に弁板50dが接続されることが好ましい。
内周壁59aと弁板50dとが接続される位置として、流路H方向において、内周クランク部50cの中心位置よりも、第1開口部12aに近接した位置となる内周壁59aの端部に近接した位置に設定することができる。
溝52mは、外周溝56よりも周溝59の開口に近接した位置、つまり、流路H方向における外周壁59bの端部に近接した位置に設けられる。溝52mは、流路H方向となる可動弁板部50の厚さ方向において、外周壁59bの第1開口部12aに近接した位置に配される。
溝51mは、可動弁板部50の径方向において、外周壁59bよりも外側に位置する。溝51mは、後述するカウンタークッション(シール部材)51を収容する。溝51mは、突条における第2開口部12bに近接した位置となる端面に設けられる。
外周溝56は、流路H方向における溝52mと溝51mとの間に位置する。外周溝56は、摺動シールパッキン(摺動シール部材)52に接しないように配置される。
カウンタークッション(シール部材)51は、第2開口部12bの形状に対応して円環状に形成される。カウンタークッション(シール部材)51は、弾性体である。カウンタークッション(シール部材)51は、閉弁時に第2開口部12bの周縁となる弁箱内面10Bに密着可能である。
気抜き穴53は、外周溝56の内部と、カウンタークッション51よりも中心Oに近接する位置で内周クランク部50cの第2開口部12bに対向する面とを連通する。
可動弁板部50と弁箱内面10Bとが衝突した際に、可動弁板部50と弁箱内面10Bとカウンタークッション51とによって密閉空間が形成される。気抜き穴53は、この密閉空間から気体を除去する。
弁板付勢部80は、流路H方向視して可動弁枠部60と可動弁板部50とが重なる領域、つまり、可動弁枠部60の内枠板60dと可動弁板部50の内周クランク部50cとに配置される。
具体的な複数の弁板付勢部80の配置としては、図12に示すように、弁板50dの中心Oから見て、4個の弁板付勢部80が同じ角度位置(90°)に配された構成を示すことができる。
弁板付勢部80は、可動弁枠部60の内枠板60dと、可動弁板部50の内周クランク部50cとを接続する。
板ガイドピン81は、太さ寸法が略均一の棒状体で構成されている。板ガイドピン81は、ボルト状とされる。板ガイドピン81は、弁板付勢部80内を貫通する。板ガイドピン81は、流路H方向に立設される。板ガイドピン81の基部81bは、可動弁枠部60の内枠板60dに固設される。板ガイドピン81の基部81bは、内枠板60dを貫通する。板ガイドピン81の長軸部は、内枠板60dから付勢部穴58に向けて立設される。
受圧部83は、付勢部穴58の底部58cと当接可能であるか、底部58cと当接しない程度の位置に配置される。受圧部83は、板ガイドピン81の先端81aにフランジ状に周設される。受圧部83は、板ガイドピン81から径方向外側に向いて突出する。
規制筒85は、板ガイドピン81の長軸部と同軸の筒状とされる。規制筒85は、板ガイドピン81の摺動位置および摺動方向を規制する。規制筒85は、一方の端部が、付勢部穴58を塞ぐ蓋部58fに接続される。規制筒85の軸方向寸法は、板ガイドピン81の軸方向寸法よりも小さい。規制筒85の径方向内側には、板ガイドピン81と接触するブシュ85aが配置される。
孔部58gは、規制筒85と同軸かつ同径とされる。孔部58gおよび規制筒85には、板ガイドピン81が嵌合している。
コイルバネ(保持バネ)82は、二重に設けて付勢力を強化したが、一重とすることもできる。
板ガイドピン81の基部81bおよび内枠板60dには、蓋部58fよりも内枠板60dに近接する位置となる空間と、内枠板60dよりも弁箱内面10Aに近接する中空部11と、を連通する気抜き穴85cが設けられる。
受圧部83、板ガイドピン81の先端81a、板ガイドピン81の基部81b、内枠板60dは、互いに固定されているため、互いの位置関係が変化しない。このため、コイルバネ(保持バネ)82は、蓋部58fと内枠板60dとが流路H方向に近接する向きに、蓋部58fと受圧部83とを常時付勢する。
また、可動弁板部50と可動弁枠部60とが摺動した際にも、可動弁板部50および可動弁枠部60の姿勢が変化せずに平行移動を行うことができる。
枠ガイドピン91は、太さ寸法が略均一の棒状体で構成されている。枠ガイドピン91は、弁枠付勢部(補助バネ)90内を貫通する。枠ガイドピン91は、流路H方向に立設される。枠ガイドピン91は、可動弁枠部60の外枠板60eに固設される。枠ガイドピン91は、外枠板60eの付勢部穴68と同軸に配置される。枠ガイドピン91の基部91bには、枠ガイドピン91の長軸部よりも径寸法を拡径した受圧部93が設けられる。
凹部30cmの中央位置には、流路H方向に円フランジ部30cを貫通する貫通孔30gが設けられる。
貫通孔30gには、枠ガイドピン91の先端91aに近接する位置が摺動可能として貫通している。
枠ガイドピン91の先端91aの周囲に中立スペーサ94が設けられる。
規制筒95は、枠ガイドピン91の長軸部と同軸の筒状とされる。規制筒95は、枠ガイドピン91の摺動位置および摺動方向を規制する。規制筒95の軸方向寸法は、枠ガイドピン91の軸方向寸法よりも小さい。規制筒95の径方向内側には、枠ガイドピン91と接触するブシュ95aが配置される。
フランジ部95fは、円フランジ部30cにおける凹部30cmの裏面となる位置に固定接続される。規制筒95は、フランジ部95fによって、円フランジ部30cにおける外枠板60eに対向する面に固定される。
枠コイルバネ92は、例えばスプリングなどの弾性部材とされて、付勢部穴68の軸線と平行な付勢軸を有する配置とされている。
弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70は、可動弁枠部60をシール面に向く方向に押圧する昇降機構を構成している。弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70は、可動弁枠部60を流路H方向において第1開口部12aに近接する方向に付勢可能な位置、つまり、第2開口部12bの周囲となる位置に配置される。
弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70は、第1〜第2実施形態における弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70とされる。
弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70には、油圧駆動時に、作動流体である油が、真空側となる中空部11に漏れないように、多段のシール手段が設けられる。
伸縮ロッド(可動部)72の周囲には、例えば、可動弁枠部60に近接する位置にリング状のシール部材(Oリング)77fが設けられる。伸縮ロッド(可動部)72は、固定部71と真空側となる中空部11とにおける境界をシールした状態で伸縮自在とされる。
可動弁部40における閉弁動作および解除動作は、弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70による機械的な当接動作と、弁枠付勢部90による機械的な分離動作と、によっておこなわれる。
この解除動作と退避動作とにより、可動弁部40を弁開状態とする弁開動作が行われる。
一連の動作(閉弁動作、解除動作、退避動作)において、弁板付勢部80は、可動弁枠部60と可動弁板部50とを連動させる。
図10〜図12には、弁開口遮蔽位置(摺動準備位置)におる可動弁部40(可動弁枠部60、可動弁板部50)が、弁箱10の何れの弁箱内面10A、10Bとも接していない状態を示す。この状態を、弁体がFREEな状態と称する。
次に、弁体がFREEな状態から、弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70を駆動する。すると、伸縮ロッド(可動部)72の先端部72aが、図14,図15に矢印F1で示すように、可動弁枠部60の下面60sbに当接する。このとき、伸縮ロッド(可動部)72の先端部72aは、受圧部93に当接する。
弁体がFREEな状態において、弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70が可動弁枠部60を弁箱10の弁箱内面10Aに接触させて流路Hを閉鎖する(閉弁動作)。
図14,図15には、上記の閉弁動作により流路Hが閉鎖された状態を表す。
この状態を、正圧/差圧無の弁閉状態と称する。正圧/差圧無の弁閉状態とは、弁体5が弁箱10の一方の内面と接した状態であり、他方の内面とは接していない状態である。つまり、正圧/差圧無の弁閉状態では、弁体5の可動弁枠部60が第1開口部12aの周囲の弁箱内面10Aと接する。同時に、弁体5が第2開口部12bの周囲に位置する弁箱内面10Bとは接していない。
図16は、本実施形態における仕切りバルブの周縁部を示す流路に沿った拡大断面図である。図17は、本実施形態における仕切りバルブの弁箱付勢部、弁枠付勢部および弁板付勢部を示す流路に沿った拡大断面図である。
図16,図17には、逆圧状態で流路Hが閉鎖された状態を表す。
この状態を、逆圧の弁閉状態と称する。逆圧の弁閉状態とは、弁体5が、流路H方向における両方の弁箱内面10A,10Bと接した状態である。つまり、逆圧の弁閉状態では、弁体5の可動弁枠部60が第1開口部12aの周囲の弁箱内面10Aと接した状態を保ちながら、弁体5の可動弁板部50が第2開口部12bの周囲に位置する弁箱内面10Bにも接した状態である。ここで、逆圧とは、閉弁状態から開弁状態の方向へ弁体に対して圧力が加わることである。
これにより、可動弁板部50は、第2開口部12bの周囲の弁箱内面10Bに衝突する。このとき、カウンタークッション51が、可動弁板部50における衝突による衝撃を緩和する。弁体5の受けた力を弁箱10の弁箱内面10B(裏側のボディ)で受けさせる機構が、逆圧キャンセル機構である。
特に、中立弁部30と可動弁板部50と可動弁枠部60との摺動方向を、いずれも往復方向B1,B2からずれないように規制できる。
弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70と弁板付勢部(保持バネ)80と弁枠付勢部(補助バネ)90とが上記の構成とされたことにより、可動弁枠部60は、中立弁部30に対する流路H方向への移動において、移動方向に対して、この移動方向への押圧力が一致する位置・方向に作用する。
これにより、可動弁枠部60にモーメントが発生してしまうことを抑制できる。したがって、可動弁枠部60における変形発生を抑制することができる。
これらにより、可動弁枠部60におけるシール性を向上して、可動弁枠部60の動作確実性を向上することが可能となる。
また、弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70および弁枠付勢部(補助バネ)90と、弁板付勢部(保持バネ)80とが、それぞれ異なる組数として配置されることもできる。この場合でも、弁箱付勢部(押しつけシリンダ)70および弁枠付勢部(補助バネ)90は同じ組数とすることが好ましい。
例えば、接続フランジ911またはチャンバ壁部912に凹部935を形成して、シール溝931a,933aを弁体10の表面10aに形成することができる。あるいは、接続フランジ911またはチャンバ壁部912にシール溝931a,933aを形成して、凹部935を弁体10の表面10aに形成することができる。
第2接続部940を第1節続部930と同じように、内シール領域941に加えて外シール領域を設け、第2チャンバ920に接続する際に、二つのタイプの接続方式が兼用可能になるようにすることもできる。
10…弁箱
10a,10b…表面
11…中空部
12a…第1開口部
12b…第2開口部
20…回転軸
30…中立弁部
40…可動弁部
50…可動弁板部
54…可動弁部(可動弁板部)
60…可動弁枠部
63…弁枠部
70…弁箱付勢部(押しつけシリンダ)
80…弁板付勢部(保持バネ)
90…弁枠付勢部(補助バネ)
100…仕切りバルブ
200…回転軸駆動部
700…油圧駆動部
910…第1チャンバ
911,921…接続フランジ
911b,912b,921b…貫通孔
912…チャンバ壁部
912a…チャンバ開口部
914,924…表面
915…接続筒
920…第2チャンバ
930…第1接続部
931,941…内シール領域
931a,933a,941a…シール溝
931b,933b,941b…シール部材
932,942…接続部材
932a,942a…締結穴
933…外シール領域
934,944…メタルタッチ領域
935,945…凹部
940…第2接続部
H…流路
O…中心
Claims (11)
- 仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第1開口部及び第2開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられ前記第1開口部を密閉するように第1チャンバに接続する第1接続部と、
前記弁箱に設けられ前記第2開口部を密閉するように第2チャンバに接続する第2接続部と、
を有し、
前記第1接続部が、前記第1開口部の周囲に沿って設けられて前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とをシール可能な内シール領域と、
前記内シール領域よりも前記第1開口部の径方向外側に位置する複数の締結穴と、
前記締結穴よりも前記第1開口部の径方向外側に位置する外シール領域と、を有し、
前記外シール領域によって、前記締結穴に締結される接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第1チャンバとのシールをおこなうとともに、
前記内シール領域によって、前記接続部材が前記第1チャンバの大気側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第1チャンバとのシールをおこなって、
前記接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出する接続方式と大気側に露出する接続方式とのどちらにも対応可能であり、
前記内シール領域と前記外シール領域とにはシール溝が形成され、前記シール溝が前記弁箱の表面に形成され、前記内シール領域と前記外シール領域とのいずれかの前記シール溝にはシール部材が配置され、
前記第1接続部では、前記弁箱の表面において前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側が、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側に比べて前記中空部に近接する方向に凹んでいる
ことを特徴とする仕切りバルブ。 - 前記第1接続部では、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側で、前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とが互いに接触している
ことを特徴とする請求項1記載の仕切りバルブ。 - 前記第1接続部では、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側において、前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とが互いに離間している
ことを特徴とする請求項1または2記載の仕切りバルブ。 - 前記第1接続部では、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側には、前記第1開口部の縁部まで前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面との間に隙間が形成されている
ことを特徴とする請求項1または2記載の仕切りバルブ。 - 仕切りバルブであって、
中空部と、
前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第1開口部及び第2開口部とを有する弁箱と、
前記流路を開放および閉塞可能な弁体と、
前記弁体を前記中空部内における退避位置と弁開口遮蔽位置との間で回転可能に支持するとともに流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、
前記回転軸を回転して前記弁体を回転駆動可能な回転軸駆動部と、
前記流路方向における位置を変更可能として前記弁体に設けられる可動弁部と、
前記弁箱に設けられて前記弁開口遮蔽位置の前記可動弁部を前記流路方向に移動してクローズする弁箱付勢部と、
前記弁箱付勢部に作動油圧を供給して駆動する油圧駆動部と、
前記弁箱に設けられ前記第1開口部を密閉するように第1チャンバに接続する第1接続部と、
前記弁箱に設けられ前記第2開口部を密閉するように第2チャンバに接続する第2接続部と、
を有し、
前記第1接続部が、前記第1開口部の周囲に沿って複数設けられる接続部材と、
前記第1開口部の径方向で前記接続部材の両側位置でかつ前記第1開口部の周囲に沿って設けられて前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とをシール可能な内シール領域と外シール領域と、を有し、
前記外シール領域によって、前記接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第1チャンバとのシールをおこなうとともに、
前記内シール領域によって、前記接続部材が前記第1チャンバの大気側に露出する接続方式において前記弁箱と前記第1チャンバとのシールをおこなって、
前記接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出する接続方式と大気側に露出する接続方式とのどちらにも対応可能であり、
前記内シール領域と前記外シール領域とにはシール溝が形成され、前記シール溝が前記弁箱の表面に形成され、前記内シール領域と前記外シール領域とのいずれかの前記シール溝にはシール部材が配置され、
前記第1接続部では、前記弁箱の表面において前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側が、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側に比べて前記中空部に近接する方向に凹んでいる
ことを特徴とする仕切りバルブ。 - 前記第1接続部では、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも外側で、前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とが互いに接触している
ことを特徴とする請求項5記載の仕切りバルブ。 - 前記第1接続部では、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側において、前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面とが互いに離間している
ことを特徴とする請求項5または6記載の仕切りバルブ。 - 前記第1接続部では、前記第1開口部の径方向で前記外シール領域よりも内側には、前記第1開口部の縁部まで前記弁箱の表面と前記第1チャンバの表面との間に隙間が形成されている
ことを特徴とする請求項5または6記載の仕切りバルブ。 - 前記第1接続部では、前記接続部材が前記第1チャンバの真空側に露出するとともに、
前記外シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置される
ことを特徴とする請求項5または6記載の仕切りバルブ。 - 前記第1接続部では、前記接続部材が前記第1チャンバの大気側に露出するとともに、
前記内シール領域の前記シール溝にはシール部材が配置される
ことを特徴とする請求項5または6記載の仕切りバルブ。 - 前記弁箱付勢部が、前記第2開口部の周囲に配置される
ことを特徴とする請求項5または6記載の仕切りバルブ。
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