JPH0842715A - 無しゅう動真空ゲートバルブ - Google Patents

無しゅう動真空ゲートバルブ

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JPH0842715A
JPH0842715A JP6176899A JP17689994A JPH0842715A JP H0842715 A JPH0842715 A JP H0842715A JP 6176899 A JP6176899 A JP 6176899A JP 17689994 A JP17689994 A JP 17689994A JP H0842715 A JPH0842715 A JP H0842715A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、無しゅう動真空ゲートバルブに関
し、特に、水パーティクルの発生を極小とすることを目
的とする。 【構成】 本発明による無しゅう動真空ゲートバルブ
は、弁棒(9)及び弁体(8)の直動のみによって弁棒(9)の
端部に設けられたカムフォロワ(10)がカム孔(6)と係合
し、弁体の直動及び傾動を達成して無しゅう動の弁体の
開閉弁を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、無しゅう動真空ゲート
バルブに関し、特に、パーティクルの発生を極小とする
ための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の無しゅう
動真空ゲートバルブとしては、例えば、本出願人による
特公平５−４９８６６号公報に開示された構成を挙げる
ことができる。すなわち、この特公平５−４９８６６号
公報に開示された構成では、弁棒を下げて弁体を開口の
弁座位置に位置させ、この弁棒を傾動させることによっ
て弁体を弁座に押圧させ、弁箱の開口を閉じるようにし
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の無しゅう動真空
ゲートバルブは、以上のように構成されていたため、次
のような課題が存在していた。すなわち、弁棒が最長時
に閉弁するため、大型のバルブの場合、弁棒の径が大形
化し、バルブ自体も大形化することになっていた。ま
た、弁棒と弁体とはスプリングを介して作動自在な状態
で結合されているため、作動時のパーティクルの発生を
避けることは不可能であり、より高クリーン度を要求さ
れるクリーンルームで用いられる半導体製造装置のチャ
ンバには不適であった。また、エアシリンダと腕部材に
より弁棒を傾動させる際に、押圧部材と腕部材との当接
部分からのパーティクルの発生を防止することは不可能
であった。また、組立後の弁箱は密閉状で開けることが
極めて困難であるため、例えば、弁体に設けられている
Ｏリングの交換を必要とする場合には、極めて困難な作
業となっていた。また、従来構成では、直動動作と傾動
動作とを連係して行っていたため、開閉速度が遅くなっ
ていた。
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、パーティクルの発生を極小
とした無しゅう動真空ゲートバルブを提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による無しゅう動
真空ゲートバルブは、弁箱の開口を、前記弁箱にその一
端が設けられたシールベローズを介して移動しかつ傾動
する弁棒に設けられた弁体で開閉するようにした無しゅ
う動真空ゲートバルブにおいて、前記弁箱上に設けられ
た複数のシリンダの各ロッド端に設けられたスイング体
と、前記スイング体に設けられカム孔を有するカム体
と、前記弁棒の端部に設けられ前記カム孔と係合するカ
ムフォロワと、前記カム体にスプリングを介して接続さ
れ前記シールベローズの他端が接続されたスライド体
と、を備え、前記カム体の直動により前記弁棒及び弁体
が直動及び傾動を行うようにした構成である。
【０００６】さらに詳細には、前記各シリンダの内側に
はガイド孔を有する一対のガイド体が設けられ、前記ス
ライド体に設けられたガイドローラが前記ガイド孔に係
合されている構成である。
【０００７】さらに詳細には、前記カム孔は、前記カム
フォロワを直線案内する直線案内部と、前記カムフォロ
ワをロックするためのロック部と、からなる構成であ
る。
【０００８】
【作用】本発明による無しゅう動真空ゲートバルブにお
いて、各シリンダを作動させることにより、各ロッド、
スイング体、カム体、スライド体を介して弁棒及び弁体
が上昇又は下降の直動を行い、弁体は弁箱の開口に対応
した状態となる。前述の状態下で、さらに、シリンダを
作動させてカム体を直動させると、弁棒の端部のカムフ
ォロワがカム体のカム孔の直線案内部に沿って移動する
ため弁棒は傾動し、同時に、弁体も傾動して開口の弁座
に密合することによって開口の閉弁が行われる。さら
に、シリンダを作動させるカム体を直動させると、カム
フォロワはカム孔の曲折したロック部に係合し、弁棒は
傾動したままのロック状態を維持し、シリンダの駆動状
態を解決した後も弁棒の傾動による開口の閉弁を維持す
ることができる。また、開口の閉弁を開弁に切換える場
合は、各シリンダを逆モードに作動させて、スイング
体、カム体及びスライド体を前述とは逆方向に直動させ
ることによって開弁することができる。
【０００９】
【実施例】以下、図面と共に本発明による無しゅう動真
空ゲートバルブの好適な実施例について詳細に説明す
る。図１において符号１で示されるものは、周知の開口
２を有する弁箱であり、この弁箱１は、クリーンルーム
で用いられる半導体製造装置のチャンバ間に配設されて
いる。前記弁箱１のボンネットフランジ１ａ上には複数
のエア型のシリンダ２，３が設けられ、この各シリンダ
２，３の各ロッド２ａ，３ａの端部には板状のスイング
体４がねじ５により固定されている。
【００１０】前記スイング体４の一面４ａには、その側
部にシリンダ２，３の軸線に対して傾斜した形状のカム
孔６を有するカム体７が設けられ、このカム体７の凹部
７ａ内には、前記弁箱１内の弁体８に接続された弁棒９
の端部に形成されたローラ型のカムフォロワ１０が係合
して配設されている。
【００１１】前記カム体７には、複数のスプリング１１
を介して断面コ型をなすスライド体１２が接続され、前
記弁棒９はこのスライド体１２の貫通孔１２ａを貫通し
ている。前記スライド体１２と弁棒９は密合状に一体化
接続され、このスライド体１２の凹部１２ｂ内には、前
記弁箱１のボンネットフランジ１ａ上にその一端１３ａ
を固定したシールベローズ１３の他端１３ｂが接続され
ている。従って、弁棒９が貫通する弁箱１の貫通孔１Ａ
は、前述のシールベローズ１３及びスライド体１２によ
って密閉状に保持され、弁棒９作動時における弁箱１内
の気密が保持されている。
【００１２】前述カム孔６は、図２から図４で示すよう
に、カムフォロワ１０を直線案内する直線案内部６ａ
と、このカムフォロワ１０をロックするためこの直線案
内部６ａと連続形成のロック部６ｂと、から構成されて
おり、このロック部６ｂにカムフォロワ１０が係合する
と、弁棒９はロックされた状態となるように構成されて
いる。また、前記各シリンダ２，３の内側に設けた縦孔
５０内には、図５で示すように、前記スライド体１２の
外側に設けたガイドローラ５２が係合されている。
【００１３】次に、動作について述べる。まず、図１及
び図２の開弁状態において、各シリンダ２，３を作動さ
せることにより、各ロッド２ａ，３ａ、スイング体４、
カム体７及びスライド体１２を介して弁棒９及び弁体８
が図２から図３のように下降し、同時に、シールベロー
ズ１３が図３のように縮小すると共に、弁体８は弁箱１
の開口１Ｂに対応した状態となる。
【００１４】前述の状態下で、さらに、シリンダ２，３
を作動させてカム体７を下降させると、弁棒９の端部の
カムフォロワ１０がカム体７のカム孔６の直線案内部６
ａに沿って移動するため弁棒９は傾動し、同時に、弁体
８も図４で示すように傾動して開口１Ｂの弁座１Ｂａに
密合することによって開口１Ｂの閉弁が行われる。
【００１５】さらに、シリンダを作動させてカム体７を
直動させると、カムフォロワ１０はカム孔６の曲折した
ロック部６ｂに係合し、弁棒９は傾動したままのロック
状態を維持し、各シリンダ２，３の駆動状態を解除した
後も弁棒９の傾動による開口１Ｂの閉弁を維持すること
ができる。また、開口１Ｂの閉弁を開弁に切換える場合
は、各シリンダ２，３を逆モードに作動させて、スイン
グ体４、カム体７及びスライド体１２を前述と逆方向に
直動させることによって開弁することができる。なお、
前述の動作においては、図６で示すように、弁体８の閉
弁時は、第１カムリードＤ1でＯリング８ａが弁座１Ｂ
ａに接し、第２カムリードＤ2でＯリング８ａが締めら
れ、開弁時は第２カムリードＤ2でＯリング８ａの弁座
１Ｂａに対する粘着力に抗してＯリング８ａをはがすた
めの作用をなしている。
【００１６】
【発明の効果】本発明による無しゅう動真空ゲートバル
ブは、以上のように構成されているため、次のような効
果を得ることができる。すなわち、シリンダによるスイ
ング体、カム体及びスライド体の直動のみで、カム孔に
係合するカムフォロワを介して弁棒を直動と傾動の両方
を行わせることができ、パーティクルの発生が少なく、
スーパークリーンルームでの使用に対して従来のような
特別な防塵対策も必要がなく、大幅なコストダウンを達
成することができる。また、カム体とカム孔を介して１
動作で直動と傾動を行うため、従来よりも大幅に高速の
開閉動作を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による無しゅう動真空ゲートバルブを示
す正面構成図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図２の半閉弁動作の構成図である。
【図４】図２の完全閉弁動作の構成図である。
【図５】図１の開弁状態を示す断面図である。
【図６】カム孔を示す構成図である。
【符号の説明】
１ 弁箱 １Ｂ 開口 ２，３ シリンダ ４ スイング体 ６ カム孔 ６ａ 直線部 ６ｂ ロック部 ７ カム体 ８ 弁体 ９ 弁棒 １０ カムフォロワ １１ スプリング １２ スライド体 １３ シールベローズ ５０ ガイド孔 ５２ ガイドローラ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 弁箱(1)の開口(1B)を、前記弁箱(1)にそ
    の一端が設けられたシールベローズ(13)を介して移動し
    かつ傾動する弁棒(9)に設けられた弁体(8)で開閉するよ
    うにした無しゅう動真空ゲートバルブにおいて、前記弁
    箱(1)上に設けられた複数のシリンダ(2,3)の各ロッド端
    (2a,3a)に設けられたスイング体(4)と、前記スイング体
    (4)に設けられカム孔(6)を有するカム体(7)と、前記弁
    棒(9)の端部に設けられ前記カム孔(6)と係合するカムフ
    ォロワ(10)と、前記カム体(7)にスプリング(11)を介し
    て接続され前記シールベローズ(13)の他端が接続された
    スライド体(12)と、を備え、前記カム体(9)の直動によ
    り前記弁棒(1B)及び弁体(8)が直動及び傾動を行う構成
    としたことを特徴とする無しゅう動真空ゲートバルブ。
  2. 【請求項２】 前記各シリンダ(2,3)の内側にはガイド
    孔(50)を有する一対のガイド体(51)が設けられ、前記ス
    ライド体(7)に設けられたガイドローラ(52)が前記ガイ
    ド孔(6)に係合されていることを特徴とする請求項１記
    載の無しゅう動真空ゲートバルブ。
  3. 【請求項３】 前記カム孔(6)は、前記カムフォロワ(1
    0)を直線案内する直線案内部(6a)と、前記カムフォロワ
    (6)をロックするためのロック部(6b)と、からなること
    を特徴とする請求項１又は２記載の無しゅう動真空ゲー
    トバルブ。
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