JP2005140151A - ゲート弁 - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明は、一対の弁板面を有する弁板を設けた弁棒をアクチュエータによって傾動させ、簡単な構成により高い開閉弁動作を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明によるゲート弁は、一対の弁板面(5,6)を有する弁板(90)を設けて軸支された弁棒(4)を昇降用シリンダ(43)で昇降させ、弁棒(4)をアクチュエータ(31,32)又はカム体(61,62)とカム昇降用シリンダ(67,68)又は駆動用ブロック(72,73)とシリンダ(70,71)又は連結体(81)と駆動手段(図示せず)によって傾動させ、一対の弁板面(5,6)を用いて開閉弁を行う構成である。
【選択図】図1

Description

本発明は、ゲート弁に関し、特に、液晶パネル等の大型部材を搬送させるための大型開口の開閉を、無摺動でかつ簡単に行うための新規な改良に関する。
従来、用いられていたこの種の大型開口用のゲート弁としては、特許文献1及び特許文献2の構成を挙げることができる。
図14に示されるように、弁棒に設けた弁板を横方向に傾動させる構成が採用されていた。
すなわち、弁箱1の各開口2、3の一方のみを1枚の弁板90の一面で開閉弁し、弁棒4の傾動と上下動は複雑なカムを用いて行っていた。
特開平8−42715号公報 特開平10−10834号公報
従来のゲート弁は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。すなわち、弁棒の上下動と傾動を複雑なカムで行っているため、機構が複雑となり、かつ、大型弁箱の開口に対しては弁板の重量が重く、大形化し、コスト高となっていた。
また、弁板の片面のみを用いて開口の開閉弁を行うため、Oリングの耐久性を保持することが難しく、信頼性を確立することが容易ではなく、メンテナンスのコストも高くなっていた。
本発明によるゲート弁は、一対の第1、第2開口を有する弁箱内で上昇及び下降自在な一対のテーパ状の第1、第2弁板面を有する弁板を回動自在に設けた弁棒と、前記弁棒を回動自在に支持するための軸支体と、前記軸支体に設けられ前記弁棒を昇降させる昇降用シリンダと、前記弁棒の長孔に係合するピンと、前記ピンを有し前記弁棒の長手方向と直交する横方向に往復移動自在な横方向アクチュエータと、前記横方向アクチュエータの両側に設けられた一対の第1、第2ストッパと、前記第1、第2ストッパに接続された第1、第2ロックシリンダとを備え、前記昇降用シリンダにより前記弁棒を上昇させた状態で、前記各ロックシリンダのうちの一方を作動させて一方の前記第2ストッパと横方向アクチュエータとの係合を解除し、前記横方向アクチュエータを横方向に移動させることにより、前記弁棒を傾動させ、前記各弁板面の何れか一方を前記開口に接合して閉弁とするようにした構成であり、また、前記横方向アクチュエータは、固定配置の枠体に設けられた横方向棒を案内として設けられ、前記各ストッパは、前記横方向アクチュエータの両側部と前記枠体との間に配設されている構成であり、また、一対の第1、第2開口を有する弁箱内で横方向に移動自在に設けられ一対のテーパ状の第1、第2弁板面を有する弁板を回動自在に設けた弁棒と、前記弁棒を回動自在に軸支するため前記弁箱の外側に配設された軸支部と、前記弁棒の下部に下部軸支部を介して連結されたロッドを有するアクチュエータとを備え、前記アクチュエータのロッドを横方向へ移動させることにより、前記弁板面を傾動させ、前記各弁板面によって前記各開口の何れかを閉弁又は開弁とするようにした構成であり、また、一対の第1、第2開口を有する弁箱内で横方向に移動自在に設けられ一対のテーパ状の第1、第2弁板面を有する弁板を回動自在に設けた弁棒と、前記弁棒を回動自在に軸支するため前記弁箱の外側に配設された軸支部と、前記弁棒の下部に設けられた突起体と、前記弁棒を昇降させるための昇降用シリンダと、前記突起体に係合する第1カム孔を有する第1カム体及び第2カム孔を有する第2カム体と、前記第1カム体を昇降するための第1カム昇降用シリンダと、前記第2カム体を昇降するための第2カム昇降用シリンダとを備え、前記各カム体の昇降を選択することにより前記弁板面を傾動させ、前記各弁板面によって前記各開口の何れかを閉弁又は開弁とするようにした構成であり、また、前記各カム体は、互いに積層された状態で配設され、前記各カム昇降用シリンダは互いに異なる位置に配設されている構成であり、また、一対の第1、第2開口を有する弁箱内で横方向に移動自在に設けられ一対のテーパ状の第1、第2弁板面を有する弁板を回動自在に設けた弁棒と、前記弁棒を回動自在に軸支するため前記弁箱の外側に配設された軸支部と、前記弁棒の下方位置に配設され第1駆動用ブロックを有する第1シリンダ及び第2駆動用ブロックを有する第2シリンダとを備え、前記各シリンダを選択駆動して前記各駆動用ブロックの何れかを前記弁棒の下部側部に摺接させることにより、前記弁棒を傾動させ、前記各弁板面によって前記各開口の何れかを閉弁又は開弁とするようにした構成であり、また、一対の第1、第2開口を有する弁箱内で横方向に移動自在に設けられ一対のテーパ状の第1、第2弁板面を有する弁板を回動自在に備えた弁棒と、前記弁棒を回動自在に軸支するため前記弁箱の外側に配設された軸支部と、前記弁棒の下部に下部軸支部を介して接続された連結体と、前記連結体の基部を軸支するための基部軸支部と、前記連結体を回動するための連結体駆動手段とを備え、前記連結体の回動により前記弁棒を傾動させ、前記各弁板面によって前記各開口の何れかを閉弁又は開弁とするようにした構成である。
本発明によるゲート弁は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、弁棒に対して一対のテーパ状の弁板面を有する弁板を回動自在に支持し、弁棒をシリンダからなるアクチュエータのみ、又はシリンダと簡単なカム板の組合せによって弁棒を昇降及び傾動させているため、極めて簡単な構成によって、弁箱の一対の開口の何れでも一対の弁板面を用いて自在に開閉弁することができ、高い信頼性を得ることができる。
本発明は、一対のテーパ状の弁板面を有する弁板を弁棒に回動自在に設け、シリンダ等のアクチュエータ又はカム板とシリンダ等の組合せによって一対の弁板面を一対の開口の何れかに接合させ、簡単な構成で高い信頼性を得ることを目的とする。
以下、図面と共に本発明によるゲート弁の好適な実施の形態について説明する。
図1及び図2は本発明によるゲート弁の第1実施例を示すもので、(A)から(D)迄は可逆的に開閉弁動作を示している。
図1において符号1で示されるものは全体形状が箱型をなし、第1、第2開口2、3を有する弁箱であり、前記弁箱1内に昇降自在に設けられた弁棒4の上端にはテーパ状の第1、第2弁板面5、6を両側に有する弁板90が軸支部7を介して回動可能に設けられている。尚、この各弁板面5、6は、下部から上部に向けて先細り状となるテーパ形状で構成されている。
前記各弁板面5、6を有する弁板90は、図11及び図12で示されているように、弁棒4の上部に設けられた軸支部7を介して回動自在に設けられている。尚、各弁板面5、6にはOリング90aを有している。
前記弁棒4は、前記弁箱1の底板1aを作動自在に貫通して下方へ延設されており、その下部に形成された長孔30には横方向アクチュエータ31のピン32が係合している。
前記横方向アクチュエータ31は、枠体33に設けられた横方向棒34を案内として左右何れかの方向に移動できるように、周知のエアー式等のシリンダ型又は電磁駆動型等で構成されている。
前記横方向アクチュエータ31の両側と前記枠体33との間には、第1、第2ストッパ35、36が位置し、前記各ストッパ35、36には第1、第2ロックシリンダ37、38が接続されている。
従って、前記各ストッパ35、36が図1の(A)のように、横方向アクチュエータ31と枠体33との間に位置する場合は、横方向アクチュエータ31は横方向に移動することができず、弁棒4は傾動することのない中立の直立状態となるように構成されている。
前記弁棒4のほぼ中間位置には、固定板42が固定され、この固定板42と弁箱1の底板1aとの間には、前記弁棒4を外部から遮断する状態で筒状のベローズ44が伸縮自在に設けられている。
前記ベローズ44の上部には枠状の軸支体40が配設され、この軸支体40の内側には、図3で示されるように、前記ベローズ44の外周面に固定された固定部40aが設けられ、この軸支体40に設けられたピン等からなる軸支部41が前記固定部40aの支持孔40bに嵌入し、この軸支部41を回転中心としてベローズ44と共に弁棒4が回動可能に構成されている。
前記軸支体40と固定板42との間には、昇降用シリンダ43が設けられている。
次に動作について述べる。まず、図1の(A)の状態は、昇降用シリンダ43が作動して固定板42と共に弁棒4が降下されており、各弁板面5、6は開口2、3から逃げた開弁状態に構成されている。
次に、図1の(B)のように、昇降用シリンダ43を作動させて縮めることにより、ベローズ44も圧縮されて弁棒4は上昇し、弁板90の各弁板面5、6は各開口2、3に対応した位置となる。
前述の状態下で、図2の(C)の状態のように、第2ロックシリンダ38の第2ストッパ36を引き込んだ後に、横方向アクチュエータ31を図上で右方向に移動させると、一方のロックが解除され、弁棒4は図2の(D)の状態のように右側へ回動されて第1弁板5が第1開口2に接合して、第1開口2が閉弁される。従って、各弁板面5、6は、図1及び図2の矢印で示されるように、前述とは逆方向の動作も可である。
次に、図4の(A)、(B)、(C)は、本発明の実施例2を示す構成であり、実施例1と同一又は同等部分には同一符号を付し、その説明は省略する。尚、図1における軸支体40、固定部40a、軸支部41の構成は、図4においても同様に構成されているが、図示を省略している。また、弁棒4の昇降構成は、図1の昇降用シリンダ43ではなく、図示しないシリンダ等を用いてアクチュエータ52と弁棒4を同時に昇降させるように構成されている。
前記弁棒4の下部4aは固定部材50を作動自在に貫通しており、この下部4aには下部軸支部51を介してアクチュエータ52のロッド53が接続されている。
前記アクチュエータ52は、周知のエアシリンダ(油圧でも可)よりなり、中間位置で停止可能な第1、第2ポートa、b、cを有している。
次に、動作について述べる。図4の(A)の状態は、アクチュエータ52の第1ポートaにエアーを供給しているため、前記下部4aが、図上で右側に回動し、第1弁板面5が第1開口2を閉弁している。
図4の(B)の状態は、アクチュエータ52の第3ポートcにエアーを供給し、弁棒4を回動しない中立位置とし、前述のように、図示しないシリンダを介して弁棒4の昇降が可能であり、各開口2、3は開弁状態となっている。
図4の(C)の状態は、前記アクチュエータ52の第2ポートbにエアーを供給して作動させ、ロッド53を押出し、前記下部4aを、図上で左側に回動することにより、第2弁板面6が第2開口3に接合して第2開口3が閉弁状態となる。
従って、各弁板面5、6の開閉弁動作は、図4の双方向の矢印で示されるように、何れの方向の動作も可能である。従って、弁板90と弁棒4は、弁箱1内で横方向に往復移動自在に配設されている。
図5から図7は、実施例3を示す構成図であり、図1と同一又は同等部分には同一符号を付し、その説明は省略すると共に、図1とは異なる部分についてのみ説明する。
前記弁棒4の下部4aに設けられた棒状の突起体60は、互いに横方向に積層されて配設された板状の第1、第2カム体61、62の第1、第2カム孔63、64に貫通する状態で係合している。
前記各カム体61、62は、第1、第2アーム65、66を介して第1、第2カム昇降用シリンダ67、68の第1、第2ピストンロッド67a、68aに接続されている。
前記第1、第2カム体61、62を前記第1、第2カム昇降用シリンダ67、68の選択的な駆動によって昇降させることによって、図5の(A)及び(C)の状態のように弁棒4及び弁板90を左側又は右側に横方向に往復移動させ、弁箱1の各開口2、3の開閉弁を行うことができる。
また、図5の(B)の状態は、各カム昇降用シリンダ67、68の各ピストンロッド67a、68aを縮めた状態を示しており、各カム体61、62の各カム孔63、64の上部に突起体60が位置し、弁棒4が中立位置に保持されている。
図8は実施例4を示す構成図であり、図1と同一又は同等部分には同一符号を付して説明を省略し、図1と異なる部分についてのみ説明する。
前記弁棒4の下部4aの両側には、一対のテーパ部4b、4cが形成され、この下部4aの下方位置には、第1、第2シリンダ70、71が設けられ、各シリンダ70、71のピストンロッド70a、71aに設けられた第1、第2駆動用ブロック72、73の各段部72a、73aが前記各テーパ部4b、4cに当接するように構成されている。
次に、動作について述べる。尚、弁棒4を昇降させるための昇降用シリンダ等については、図1の構成と同一であるため、ここでは、図示を省略している。
図8においては、第1駆動用ブロック72を上昇させ、第2駆動用ブロック73を降下させた状態を示しており、第1駆動用ブロック72が前記下部4aの左側に接合することにより、弁棒4が左に傾動して、第1弁板面5による第1開口2が閉弁されている。
尚、第2駆動用ブロック73のみを上昇させた場合には、図8の状態とは逆に、弁棒4は右側へ傾動し、第2弁板面6による第2開口3の閉弁が行われる。また、各駆動用ブロック72、73を降下させた状態では、前記下部4aが各段部72a、73a上に位置し、弁棒4は傾動のない中立状態となる。
また、弁棒4を昇降させる場合には、図示しない移動手段によって各シリンダ70、71を横方向に逃がすことにより、弁棒4の昇降を行うことができる。
図9は実施例5を示す構成図であり、図1と同一又は同等部分には同一符号を付し、その説明は省略する。
すなわち、弁棒4の下部4aは、下部軸支部80を介して連結体81が連結され、この連結体81の基部81aは基部軸支部82によって回動自在に設けられている。
前記連結体81を、図示しない周知のシリンダ、モータ、アクチュエータ等の駆動手段によって左右に選択的に回動させることにより、弁棒4の回動を行うことができる。
また、弁棒4の昇降動作は、図1の昇降用シリンダ43等を用いて行うことができる。尚、図13は前述の各実施例における弁板90の動作を従来例の図14の構成と比較して示している。従って、弁板90の各弁板面5、6に設けられているOリング90aが交互に用いられている状態を示している。
本発明は、真空ゲート弁以外の一般の搬送用の開閉にも適用可である。
本発明によるゲート弁の実施例1の構造及び動作を示す動作構成図である。 図1の動作の続きを示す動作構成図である。 図1の要部を示す断面図である。 本発明によるゲート弁の実施例2の構造及び動作を示す動作構成図である。 本発明によるゲート弁の実施例3の構造及び動作を示す動作構成図である。 図5の要部を示す平面構成図である。 図5の要部を示す拡大分解斜視図である。 本発明によるゲート弁の実施例4を示す構成図である。 本発明によるゲート弁の実施例5を示す構成図である。 図9のP部を示す拡大構成図である。 本発明のゲート弁を示す拡大斜視図である。 図11の他の形態を示す斜視図である。 本発明のゲート弁の動作を示す説明図である。 従来のゲート弁の動作を図13の動作と対比して示す説明図である。
符号の説明
1 弁箱
2、3 第1、第2開口
4 弁棒
4A 支持体
4a 下部
5、6 第1、第2弁板面
7 軸支部
10 弁板受け機構
11、12 第1、第2支軸
13〜16 受け体
20 孔
30 長孔
31 横方向アクチュエータ
32 ピン
33 枠体
34 横方向棒
35、36 第1、第2ストッパ
37、38 第1、第2ロックシリンダ
40 軸支部
41 軸支部
42 固定板
43 昇降用シリンダ
44 ベローズ
50 固定部材
51 下部軸支部
52 アクチュエータ
53 ロッド
60 突起体
61 第1カム体
62 第2カム体
63 第1カム孔
64 第2カム孔
67 第1カム昇降用シリンダ
68 第2カム昇降用シリンダ
70 第1シリンダ
71 第2シリンダ
72 第1駆動用ブロック
73 第2駆動用ブロック
80 下部軸支部
81 連結体
81a 基部
82 基部軸支部
90 弁板
90a Oリング

Claims (7)

  1. 一対の第1、第2開口(2,3)を有する弁箱(1)内で上昇及び下降自在な一対のテーパ状の第1、第2弁板面(5,6)を有する弁板(90)を回動自在に設けた弁棒(4)と、前記弁棒(4)を回動自在に支持するための軸支体(40)と、前記軸支体(40)に設けられ前記弁棒(4)を昇降させる昇降用シリンダ(43)と、前記弁棒(4)の長孔(30)に係合するピン(32)と、前記ピン(32)を有し前記弁棒(4)の長手方向と直交する横方向に往復移動自在な横方向アクチュエータ(31)と、前記横方向アクチュエータ(31)の両側に設けられた一対の第1、第2ストッパ(35,36)と、前記第1、第2ストッパ(35,36)に接続された第1、第2ロックシリンダ(37,38)とを備え、
    前記昇降用シリンダ(43)により前記弁棒(4)を上昇させた状態で、前記各ロックシリンダ(37,38)のうちの一方を作動させて一方の前記第2ストッパ(36)と横方向アクチュエータ(31)との係合を解除し、前記横方向アクチュエータ(31)を横方向に移動させることにより、前記弁棒(4)を傾動させ、前記各弁板面(5,6)の何れか一方を前記開口(2,3)に接合して閉弁とするように構成したことを特徴とするゲート弁。
  2. 前記横方向アクチュエータ(31)は、固定配置の枠体(33)に設けられた横方向棒(34)を案内として設けられ、前記各ストッパ(35,36)は、前記横方向アクチュエータ(31)の両側部と前記枠体(33)との間に配設されていることを特徴とする請求項1記載のゲート弁。
  3. 一対の第1、第2開口(2,3)を有する弁箱(1)内で横方向に移動自在に設けられ一対のテーパ状の第1、第2弁板面(5,6)を有する弁板(90)を回動自在に設けた弁棒(4)と、前記弁棒(4)を回動自在に軸支するため前記弁箱(1)の外側に配設された軸支部(41)と、前記弁棒(4)の下部に下部軸支部(51)を介して連結されたロッド(53)を有するアクチュエータ(52)とを備え、
    前記アクチュエータ(52)のロッド(53)を横方向へ移動させることにより、前記弁板面(5,6)を傾動させ、前記各弁板面(5,6)によって前記各開口(2,3)の何れかを閉弁又は開弁とするように構成したことを特徴とするゲート弁。
  4. 一対の第1、第2開口(2,3)を有する弁箱(1)内で横方向に移動自在に設けられ一対のテーパ状の第1、第2弁板面(5,6)を有する弁板(90)を回動自在に設けた弁棒(4)と、前記弁棒(4)を回動自在に軸支するため前記弁箱(1)の外側に配設された軸支部(41)と、前記弁棒(4)の下部に設けられた突起体(60)と、前記弁棒(4)を昇降させるための昇降用シリンダ(67,68)と、前記突起体(60)に係合する第1カム孔(63)を有する第1カム体(61)及び第2カム孔(64)を有する第2カム体(62)と、前記第1カム体(61)を昇降するための第1カム昇降用シリンダ(67)と、前記第2カム体(62)を昇降するための第2カム昇降用シリンダ(68)とを備え、前記各カム体(61,62)の昇降を選択することにより前記弁板面(5,6)を傾動させ、前記各弁板面(5,6)によって前記各開口(2,3)の何れかを閉弁又は開弁とするように構成したことを特徴とするゲート弁。
  5. 前記各カム体(61,62)は、互いに積層された状態で配設され、前記各カム昇降用シリンダ(67,68)は互いに異なる位置に配設されていることを特徴とする請求項4記載のゲート弁。
  6. 一対の第1、第2開口(2,3)を有する弁箱(1)内で横方向に移動自在に設けられ一対のテーパ状の第1、第2弁板面(5,6)を有する弁板(90)を回動自在に設けた弁棒(4)と、前記弁棒(4)を回動自在に軸支するため前記弁箱(1)の外側に配設された軸支部(41)と、前記弁棒(4)の下方位置に配設され第1駆動用ブロック(72)を有する第1シリンダ(70)及び第2駆動用ブロック(73)を有する第2シリンダ(71)とを備え、前記各シリンダ(70,71)を選択駆動して前記各駆動用ブロック(72,73)の何れかを前記弁棒(4)の下部(4a)側部に接合させることにより、前記弁棒(4)を傾動させ、前記各弁板面(5,6)によって前記各開口(2,3)の何れかを閉弁又は開弁とするように構成したことを特徴とするゲート弁。
  7. 一対の第1、第2開口(2,3)を有する弁箱(1)内で横方向に移動自在に設けられ一対のテーパ状の第1、第2弁板面(5,6)を有する弁板(90)を回動自在に備えた弁棒(4)と、前記弁棒(4)を回動自在に軸支するため前記弁箱(1)の外側に配設された軸支部(41)と、前記弁棒(4)の下部に下部軸支部(80)を介して接続された連結体(81)と、前記連結体(81)の基部(81a)を軸支するための基部軸支部(82)と、前記連結体を回動するための連結体駆動手段(100)とを備え、
    前記連結体(81)の回動により前記弁棒(4)を傾動させ、前記各弁板面(5,6)によって前記各開口(2,3)の何れかを閉弁又は開弁とするように構成したことを特徴とするゲート弁。
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