JP2005076836A - ゲートバルブ並びに真空処理容器および真空処理容器のゲート開閉方法 - Google Patents

Abstract

【課題】
ゲートバルブに作用する大気雰囲気圧力の作用方向の考慮することによって小さな駆動源であっても充分にゲート開閉できるゲートバルブ、並びに真空処理容器および真空処理容器のゲート開閉方法を提供する。
【解決手段】
弁箱１の開口部７をシリンダ駆動装置２１によって駆動され、かつ傾動する弁棒１６に設けられた弁体１５によって開閉するようにしたゲートバルブは、開口部７に、離間して相対峙する一対の弁座８（８ａ、８ｂ）を形成しており、更に一対の弁座８ａ、８ｂの間を無摺動で移動して挿入出されるようにして弁体１５が設けられて、弁棒１６に、ガイドプレート３０に設けた溝３９に沿って走行するローラ２８を備えたステム受け２７を設け、かつカム体４２を双方向に揺動させるカム孔４１に収納した構成を有し、カム体４２をカム孔４１内の中途位置に停止させる停止装置を備える。
【選択図】 図２

Description

本発明は、真空処理装置に使用されるゲートバルブ並びに真空処理容器および真空処理容器のゲート開閉方法に関する。

特許文献１には、弁箱の開口を、前記弁箱に設けられたシリンダおよびシールベローズを介して移動しかつ傾動する弁棒に設けられた弁板で開閉するようにした無摺動真空ゲートバルブにおいて、前記弁棒と前記シリンダの連結棒との間にカムリード体と一対のローラを設け、前記カムリード体を前記各ローラで狭持することにより、前記シリンダの動きを前記弁棒に伝達して、前記弁板による前記開口の開閉を行うように構成した無摺動真空ゲートバルブが記載される。

特許文献２には、真空装置用ゲートバルブであり、貫通孔を有するバルブボディと、該バルブボディ内を貫通孔軸に直角な方向に往復動されるステムと、前記貫通孔軸方向に直行する状態で、前記ステムに保持される２枚のシールプレートと、で構成され、２枚の該シールプレートは、前記ステムとともに往復動され、前記バルブボディの貫通孔の位置において、貫通孔軸方向両側に押し出し・引き戻しされるとともに、少なくとも１枚の平板形状が前記貫通孔の軸直角面形状より小さい前記シールプレートが前記ステムと着脱可能に構成されているバルブおよび被搬送物を真空状態で搬送するための容器であり、前記被搬送物を挿入・挿出する開口部および該開口部の周囲にフランジ部が形成された真空容器と、前記開口部を気密状態で覆うシールプレートと、で構成されている真空搬送容器が記載されている。

特許文献３には、貫通する開口部、および一端部がボンネットフランジによって覆われた収納用空間を有し、開口部と収納用空間とを連通する弁体用開口部が形成された弁箱と、開口部の開放時に収納用空間に収納され、開口部の閉鎖時に弁体用開口部から開口部に進入し、開口部の周辺のシール面に密着して、開口部を閉鎖するとともに弁箱、ボンネットフランジおよび弁体によって区画される収納用空間を密閉する弁体と、ボンネットフランジを挿通するロッドを介して弁体を駆動する駆動手段とを有する真空用ゲートバルブにおいて、弁体の閉鎖作動状態で、収納用空間と外部とを連通する収納用空間用連通路を形成し、該収納用空間用連通路を開閉バルブを介して真空源に接続させる真空用ゲートバルブが記載されている。

特開平９−３０３５７８号公報 特開平９−０３２９６６号公報 特開平１０−００９４４１号公報

ゲートバルブは、駆動装置によって往復駆動される弁棒（ロッド）の動作に応じて弁体が往復駆動され、この弁体が弁体用開口部からの弁座に密着すると共に、弁体が弁体用開口部からの密着を解除されて引き出される。かくして開口部に接続された真空搬送容器（真空容器）のゲートを開放または遮断する。

従来は、前述した文献のように、弁体用開口部を挿入、挿出される半導体基板などの被搬送物（被処理物）は大きさが比較的小さなものであるため、真空搬送容器のゲート開閉に当たってのゲートバルブ駆動に当たって駆動力は比較的小さくて済み、構造も比較的小さく構成することができた。

液晶あるいは太陽電池用の基板は、大型化しており、例えば横長２０００ｍｍ、縦長１８００ｍｍの大型ガラス基板を使用する真空処理装置は数トンの重さにも達するようになっている。このような大型化した基板の搬送に当たって使用されるゲートは当然大型化されることになるが、この場合に従来の方式によるゲート開閉手段によっては駆動源を大型化せざるを得ず、装置が大型化し、コストが高いものとなる。

本発明は、かかる点に鑑み、ゲートバルブが被搬送物の搬送あるいは処理の際に開閉される場合と、週に１あるいは２度などの頻度で行われる真空処理容器のメンテナンス作業の際に開閉される場合とにゲートバルブに作用する大気雰囲気圧力の作用方向の考慮することによって小さな駆動源であっても充分にゲート開閉出来るゲートバルブ、並びに真空処理容器および真空処理容器のゲート開閉方法を提供することを目的とする。

本発明は、開口部に、離間して相対峙する一対の弁座を形成し、弁体を使用目的に応じていずれかの弁座側に揺動させ、一方の弁座に着座させるゲートバルブ並びにこのゲートバルブを使用して真空保持を容易に行うことのできる真空処理容器（真空搬送室を含む）を構成する。

本発明は、弁箱の開口部を、シリンダ駆動装置によって駆動され、かつ傾動する弁棒に設けられた弁体によって開閉するようにしたゲートバルブにいて、前記開口部に、離間して相対峙する一対の弁座を形成し、該一対の弁座の間を無摺動で移動して挿入出されるようにして前記弁体を設け、前記弁棒を他方に傾動させて前記弁体の１側を一方の弁座に密着させ、更に前記弁棒を他方に傾動させて前記弁体の他側を他方の弁座に密着させる傾動装置を設けたことを特徴とする。

また、本発明は、弁箱の開口部を、シリンダ駆動装置によって駆動され、かつ双方向に駆動される弁棒に設けられた弁体によって開閉するようにしたゲートバルブにおいて、前記開口部に離間して相対峙する一対の弁座を形成し、該一対の弁座の間を無摺動で移動して挿入出されるようにして前記弁体を設け、かつ前記弁棒の軸方向駆動を阻止させる阻止装置を設けて阻止点で前記弁棒を相対峙する一対の弁座の双方向に移動させるよう作動し、前記弁棒の一方向の移動に伴って前記弁体の１側を一方の弁座に密着させ、更に他方向への移動に伴って前記弁体の他側を他方の弁座に密着させる弁棒移動装置を設けたことを特徴とする。

以上のように、本発明によれば、相対峙する一対の弁座を設けた弁座の内、大気雰囲気圧力方向にある弁座に弁体が密着、着座するようにしたので、ゲートバルブが被搬送物の搬送あるいは処理の際に開閉される場合と、メンテナンス時に開閉される場合とを使い分けてゲートバルブの弁体に作用する大気雰囲気圧力の作用方向に弁体が動くようにしたので、小さな駆動源であっても液晶パネルのように大きな被搬送物を挿入出するゲートバルブであっても充分に開閉することができるようになる。
また、このようなゲートバルブを備える真空搬送容器および真空搬送容器の開閉方法を提供することができ、被搬送物の搬送を容易に行うことができる。

本発明のゲートバルブは、弁箱の開口部を、シリンダ駆動装置によって駆動され、かつ傾動する弁棒に設けられた弁体によって開閉するようにしたゲートバルブにおいて、前記開口部に、離間して相対峙する一対の弁座を形成し、該一対の弁座の間を無摺動で移動して挿入出されるようにして前記弁体を設けて、前記弁棒に、ガイドプレートに設けた溝に沿って走行するローラを備えたステム受けを設け、かつカム体を双方向に揺動させるカム孔に収納した構成を有し、前記カム孔内の一方側の揺動によって前記対峙する一対の弁座の一方向に弁棒を傾動させ、前記カム体のカム孔内の他方側への揺動によって弁座の他方側に弁棒を傾動させる傾動装置を備えて構成される。そして、このゲートバルブを使用して、真空処理容器にゲートバルブを設けて前記被搬送物を挿入、挿出する被搬送物の搬送方法において、前記ゲートバルブには離間して相対峙して一対の弁座が設けられ、いずれかの弁座を弁体によって選択的に開閉するに当たって、真空処理容器内の被搬送物の搬送に当たっては当該真空処理容器側の弁座を弁体で閉鎖し、当該真空処理容器のメンテナンス時に当たっては他側の弁座を閉鎖するようにした真空処理容器のゲート開閉方法が構成される。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

図１は、本発明の実施例の一部内部構成を含めて構成を示す斜視図であり、図２は図１の内部構成を示す断面図であり、図２（ａ）はほぼ右半分の構成を示し、図２（ｂ）はその側断面を示す。
図１および図２において、ゲートバルブ１００は、弁箱を備え、弁箱下蓋４には外箱３が連結してある。弁箱１は、開口部７を備える。開口部７は、離間して設置される相対峙する一対の開口部品７ａ、７ｂからなり、一対の開口部品７ａ、７ｂには一対の相対峙する弁座８（８ａ、８ｂ）が形成され、これらの弁座８ａ、８ｂとの間には空間９Ａが形成される。

一対の開口部品７ａ、７ｂは、弁箱１に形成した開口９にねじ止めされた保持部材１０（１０ａ、１０ｂ）によって弁箱上蓋１１に固着される。開口部品７ａ、７ｂおよび保持部材１０（１０ａ、１０ｂ）は一体成形されてもよい。その上で溶接によって弁箱上蓋１１に固着されるようにされてもよい。
図に示す例にあっては、一対の弁座８（８ａ、８ｂ）は、それぞれ弁箱１の外側から嵌め込み方式によって嵌め込まれて固定されているが、弁箱１の内壁に取付けて固定してもよい。両方式を選択できる構成とすることができる。

ゲートバルブ１００は、弁座８（８ａ、８ｂ）の間に形成された空間９Ａ内を無摺動する弁体１５およびこれに連結されて駆動する弁棒１６を備える。
弁座８、弁体１５および弁棒１６、並びに弁棒１６を駆動する駆動装置は、複数個、図に示す例にあっては左右２個設けられており、これらの構成は同一のものとされるので、図にあっては右半分の構成が表示してある。以下、この右半分の構成を中心にして説明を行う。左側の構成の説明は右半分の構成についての説明が準用される。図に示すように弁棒１６は弁箱下蓋４のシール部１７を貫通して外箱３内に延在する。

弁棒１６の両側に駆動源であるシリンダ駆動装置２１（２１ａ、２１ｂ）が配設される。シリンダ駆動装置２１は弁棒１６の軸方向に沿って駆動用シリンダ２２（２２ａ、２２ｂ）を有し、これらの駆動用シリンダ２２（２２ａ、２２ｂ）は、ねじ２３（２３ａ、２３ｂ）によって弁箱下蓋４に固定されている。
シリンダ駆動装置２１（２１ａ、２１ｂ）は、駆動用シリンダ２２（２２ａ、２２ｂ）から伸びるそれぞれ３本のロッド２４（２４ａ、２４ｂ）を有している。それぞれのロッド２４は連結材２５（２５ａ、２５ｂ）を介して連結子２６に連結される。この連結子２６には左側のシリンダ駆動装置のロッドにも連結されており、平行上下動して曲げを発生させないようにして弁棒１６の駆動を行う。
弁棒１６には、これを包囲するようにしてステム受け２７が設けられ、その上端部には外方に向けてローラ２８が設けてある。

ステム受け２７の内側の空間にあって、弁棒１６を包囲するようにしてベローズ２９が設けてある。これによって、弁棒１６をその外側から密封するようにしてある。この場合に、ベローズ２９によって密封されて弁棒１６はベローズ２９内を任意に上下動可能とされる。
ステム受け２７およびベローズ２９の外側には弁箱下蓋４に固着された２枚の平行板であるガイドプレート３０（３０ａ、３０ｂ）が弁棒１６に沿って配設してあり、弁棒１６方向に向けて、すなわち内側面に弁棒１６に沿って溝３９が形成してある。

ローラ２８はこれらの溝３９に組み込まれて、すなわち溝３９に係合して上下方向に摺動可能とされる。ローラ２８は溝３９の上端でそれ以上の軸方向移動が阻止される。これによって、阻止構造（阻止装置）が構成される。
弁棒１６の下端にはスプリング３３がカムベース３４との間に設けてある。また、弁棒１６の下端部において弁棒１６に密着するステム受け２７にはカム装置４０が設置されている。カムベース３４は連結子２６に連結してある。

図３に、カム装置４０の外観詳細を示す。図４は、カム体４２のカム孔４１内の移動状況を示し、図４（ａ）はカム装置４０の初期状況（締切前位置）を示し、図４（ｂ）はカム体４２の通常締切位置を示し、図４（ｃ）はカム体４２の真空処理容器メンテナンス時締切位置を示す。図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）において、カム装置４０は左右両体からなるが、右方構成ついて説明する。左右構成については右方構成を準用する。
カム装置４０は、カムベース３４に固着されて上方に伸びるカム板４３を有し、左右のカム板４３は、ステム受け２７にねじ４４によって接続してある。

カム板４３には、上下双方に形成された円部５１、５２と中央部５３とからなり、中央部５３が開口方向から見て左方にずれた形状とされた形（疑似円弧形状）とされ、カム体４２内を軌跡５４に沿って移動可能とされる。左右のカム体４２は心棒４５によって一体としてあるので、左右のカム体４２は一体となってカム孔４１内を移動する。

左右の弁棒１６の中間に、弁箱下蓋４にねじ６１によって固着されたシリンダ装置６０が設けてあり、シリンダ装置６０は、ストッパ用シリンダ６２とこれから伸びるロッド６３と、その先端に設けたストッパ６１を備える。カム体４２は、カム孔４１内を上下方向に疑似円弧を描いて揺動することができ、上記ストッパ６４を備えた停止装置によってカム孔４１内の最外周点の中途位置で停止され、一方向から他方向への揺動が制限されるようになっている。
尚、ストッパシリンダは複数個使用することもあり、また駆動用シリンダ２２と直列に配置されてもよい。

以上のような構成において、シリンダ駆動装置２１によって駆動用シリンダ２２が作動し、ロッド２４が引き上げられると、連結材２５、連結子２６、カムベース３４、スプリング３３が上方に駆動される。外箱３の内部には中間隔壁３６（３６ａ、３６ｂ）が設けてあって、中間隔壁３６には連結子摺動口部３７が設けてあるので、連結子２６はこの連結子貫通口部３７内を上方方向に移動することができる。この駆動によって弁棒は上方に移動し、これに一体化された弁体１５を上方に駆動し、相対峙する一対の弁座８（８ａ、８ｂ）の間の空間に挿入される。また、逆の駆動によって空間から挿出される。

弁棒１６が上方に移動し、ローラ２８が溝３９の終着点に達すると、弁棒１６は上昇が阻止され、スプリング３３が圧縮されて行く。これに伴って、カム装置４０が図４（ａ）に示す状態から、図４（ｂ）に示す状態へと作動するに至る。すなわち、阻止点において駆動用シリンダの推力がスプリング３３の反発力に打ち勝ってカム板４３が前記各部品とともに上方向へ移動することによりカム体４２はカム孔４１内を転動し、カム孔４１の中途位置に至る。前述のようにカム孔４１は中央部が左方に突き出て、上下端部が右方に曲がっており、弁棒１６は、移動阻止されたローラ２８を中心として回動される。この圧縮が所定の範囲でなされると、連結子２６は、前述のようにストッパ６４に当設する。その時に、ストッパ６４はシリンダ駆動装置６０によってその位置を動かないようにされているので当設した段階でカム体４２、そして弁棒１６の動作は制限される。また、この点がメンテナンス時への切替点とされ得る。この時には、弁棒１６の回動が終了して、弁体１５が対峙する一方の弁座８ｂに密着、着座し、開口部７の閉鎖を行っている。

カム孔４１は下方部において再び右方に曲がっており、最終端までカム体４２が移動すると、弁棒１６は今度はローラ２８を中心として反対側に回動せられ、弁座８ｂを開放し、他方の弁座８ａに密着、着座するようになる。この状況にあっても開口部７は閉鎖される。
この動作に当たっては、シリンダ装置６０の作用によって作動中のストッパ６４のストッパ機能を解除することを行う。ストッパ機能の解除によってストッパ６４は上方に持ち上げ得、これによってスプリング３３は更に圧縮されることが可能になり、駆動用シリンダの推力によって図４（ｃ）に示すような位置までカム体４２はカム孔４１内を移動することができる。

図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、カム体４２は片側に曲がったカム孔４１内を軌跡５４で示すようにして移動することができ、逆の操作によって図４（ｃ）から図４（ｂ）に、更に図４（ａ）に示す状況となる。

次に、図５（図５の１と図５の２）によって弁体１５による弁座８の閉鎖、開放動作を説明する。図５（１）は開位置、図５（２）は締切前位置、図５（３）は通常締切位置、そして図５（４）は真空処理容器メンテナンス時締切位置を示す。図５（１）は、図２に示す図と同一である。よって、図２は開位置状況を示す図である。弁体１５が弁座８ｂに着座したときが被搬送物（被処理物）を処理している状況を示しており、弁体１５が弁座８ａに着座したときが真空処理容器内のメンテナンスを行っている状況を示している。従って、図５（４）（ａ）において、弁体１５の左方側が搬送室、処理室、例えばロードロック室、真空搬送室であり、右方側が真空処理室となる。

図５（１）において、開口部７の下方である弁箱１内にあり、弁座８ａ、８ｂは双方共、開放されており、被搬送物の移送が可能な状態とされる。カム装置４０は、図４（ａ）に対応している。

図５（２）において、締切前位置にあっては、駆動用シリンダ２２の作動によって連結子２６は上方に駆動され、これに伴って弁棒１６が上方に向けて移動し、弁棒１６によってこれに一体とされた弁体１５が上方に向けて駆動される。この駆動は無摺動移動とされ、弁座８ａ、８ｂの中間の空間９Ａに配置される。従って、この状態で弁体１５はいずれの弁座８ａ、８ｂにも接触していない。そして図に示すようにカム体４２はカム孔４１の最上端に位置している。カム装置４０は、図４（ａ）に対応している。ローラ２８は溝３９の最上位に至り、これ以上は移動しない。

図５（３）において、駆動用シリンダ２２の更なる作用によって連結子２６は上方に向けて移動し、ストッパ６４によって連結子２６の上方移動は阻止されて、スプリング３３は圧縮される。この圧縮によって発生した圧縮力によってカム体はカム孔４１内を中間点まで移動し、弁棒１６をローラ２８を中心として右方に回動せしめる。カム装置４０は、図４（ｂ）に対応している。これによって、前述のように、弁座８ｂは弁体１５によって閉鎖される。従って、真空処理室は、搬送室側が大気雰囲気になっても真空状況が維持される。ここで重要なことは、大気雰囲気によって弁体１５を弁座８ｂに押し付けられることであって、圧力に逆らって弁体１５を弁座８ｂに着座せしめる動作を行っているのではないということである。弁体１５を弁座８ｂに着座、密着させるに充分な駆動力を駆動用シリンダ２２に付与しておくことによって小さな駆動用シリンダ２２で確実に弁体１５の弁座８ｂへの着座がなされる。従って、駆動用シリンダ２２は開口部７の大きさに比べて小さな容量を有する装置として構成することができ、駆動用シリンダ２２と弁体１５との間に設ける諸部品を小さなものとすることができる。しいては装置全体を小型化することができる。

通常の被搬送物の処理は、図５（１）、（２）、（３）に示す状況の繰り返しとなる。この処理装置に加えて、真空処理容器は週に１回あるいは数度の頻度でメンテナンスをすることを要する。このメンテナンス時にあっても大気雰囲気圧力方向に弁体１５を移動させれば済むので、本実施例の構成にあっては小さなエネルギでもって確実にゲートの閉鎖をすることができ、駆動用シリンダ２２、その他の装置を大型化させない。

真空処理容器のメンテナンス時には、図５（３）の状態から、図５（４）に示すようにシリンダ装置６０を作動させてストッパ６４を上方に移動させる（フリーとする）。これに伴って、駆動用シリンダ２２の作用によって連結子２６は上方に向けて移動し（弁棒１６は上方向移動は阻止されている）、更にスプリング３３は圧縮されながらカム体４２はカム孔４１内の中間点から下方に移動し、最下位に達する。カム装置４０は、図４（ｃ）に対応している。この移動に当っては、カム体４２は軌跡５４に沿って動作するので、弁棒１６は今度は左方に回動するに至る。従って、弁体１５は弁座８ｂを開放し、弁座８ａを閉鎖するに至る。これによって、真空処理室がメンテナンスのために大気雰囲気とされても搬送室は真空が維持される。また、ここで重要なことは、大気雰囲気によって弁体１５が弁座８ａに押し付けられることであって、圧力に逆らって弁体１５を弁座８ａに着座せしめる動作を行っているのではないということである。弁体１５を弁座８ａに着座、密着させるに充分な駆動力を駆動用シリンダ２２に付与しておくことによって小さな駆動用シリンダ２２で確実に弁体１５の弁座８ａへの着座がなされる。従って、駆動用シリンダ２２をメンテナンスのために大型化することを要しないことになる。すなわち、締切に要する容量の駆動用シリンダ２２を真空処理室メンテナンス時締切に使用することができる。

先の実施例にあっては、カム体４２とこれを収納するカム孔４１とによってカム装置４０を構成し、これを弁棒１６の傾動装置として使用したが、他の構成になる傾動装置、例えば空気圧を用いた空気圧装置によって弁棒１６を回動させ、傾動させることができる。

また、先の実施例にあっては、ローラ２８を支点として回動するようにしていてこの原理を利用して小さな駆動力で弁棒１６を傾動させ、弁体１５を弁座８に着座させているが、他の駆動装置によって弁棒１６を上下動無摺動移動および水平方向双方向移動させることが可能である。

以上のように、本実施例によれば、弁箱１の開口部７を、シリンダ駆動装置２１によって駆動され、かつ傾動する弁棒１６に設けられた弁体１５によって開閉するようにしたゲートバルブ１００において、開口部７に、離間して相対峙する一対の弁座８（８ａ、８ｂ）を形成し、一対の弁座８ａ、８ｂの間を無摺動で移動して挿入出されるようにして弁体１５を設け、弁棒１６を一方に傾動させて弁体１５の１側を一方の弁座８ｂに密着させ、更に弁棒１６を他方に傾動させて弁体１５の他側を他方の弁座８ａに密着させる傾動装置を設けたゲートバルブが構成される。

また、弁箱１の開口部７を、シリンダ駆動装置２１によって駆動され、かつ傾動する弁棒１６に設けられた弁体１５によって開閉するようにしたゲートバルブ１００において、開口部７に、離間して相対峙する一対の弁座８（８ａ、８ｂ）を形成し、一対の弁座８ａ、８ｂの間を無摺動で移動して挿入出されるようにして弁体１５を設けて、弁棒１６に、ガイドプレート３０（３０ａ、３０ｂ）に設けた溝３９に沿って走行するローラ２８を備えたステム受け２７を設け、かつカム体４２を双方向に揺動させるカム孔４１に収納した構成であるカム装置４０を有し、カム体４２をカム孔４１内の中途位置に停止させるストッパ６４などによって構成される停止装置を備え、カム体４２をカム孔４１内の一方側の揺動によって対峙する一対の弁座８ｂの一方向に弁棒１６を傾動させ、カム体４２のカム孔４１内の他方側への揺動によって弁座８ａの他方側に弁棒１６を傾動させる傾動装置を設けたゲートバルブが構成される。
前記停止装置は、ストッパ６４を備えたシリンダ装置６０からなり、かつ停止解除によってカム体４２はカム孔４１内を他方側に揺動可能とされる。

また、弁箱１の開口部７を、シリンダ駆動装置２１によって駆動され、かつ傾動する弁棒１６に設けられた弁体１５によって開閉するようにしたゲートバルブ１００において、開口部７に、離間して相対峙する一対の弁座８（８ａ、８ｂ）を形成し、一対の弁座８ａ、８ｂの間を無摺動で移動して挿入出されるようにして弁体１５を設け、かつ弁棒１６の軸方向駆動を阻止させるローラ２８およびこれが係合する溝３９阻止装置を設けて阻止点（例えば、溝３９の終点）で弁棒１６の相対峙する一対の弁座８ａ、８ｂの双方に移動させるように作動し、弁棒１６の所定の該傾動に伴って弁体１５の１側を一方の弁座８ｂに密着させ、更に傾動位置が進むと、すなわち他の所定の傾動に伴って弁体１５の他側を他方の弁座８ｂに密着させる傾動装置を設けたゲートバルブが構成される。

また、弁箱１の開口部７を、シリンダ駆動装置２１によって駆動され、かつ双方向に駆動される弁棒１６に設けられた弁体１５によって開閉するようにしたゲートバルブ１００において、開口部７に、離間して相対峙する一対の弁座８（８ａ、８ｂ）を形成し、一対の弁座８ａ、８ｂの間を無摺動で移動して挿入出されるようにして弁体１５を設け、かつ弁棒１６の軸方向駆動を阻止させる阻止装置を設けて阻止点で弁棒１６を相対峙する一対の弁座８ａ、８ｂの双方向に移動させるよう作動し、弁棒１６の一方向の移動に伴って弁体１５の１側を一方の弁座８ａに密着させ、更に他方向への移動に伴って弁体１５の他側を他方の弁座８ｂに密着させるシリンダ駆動装置あるいは空気圧移動装置などによって構成される弁棒移動装置を設けたゲートバルブが構成される。

図６は、真空搬送室７１、真空処理室７５およびロードロック室７３の構成を示す。真空搬送室７１内には搬送装置７４が配設され、真空搬送室７１の周囲には、例えば６個の真空処理室７５と、１つまたは２つのロードロック室７３が配設される。真空搬送室７１と真空処理室７５との間には前述したゲートバルブ１００が、そして真空搬送室７１とロードロック室７３との間には同様のゲートバルブ１００が配置される。尚、７６はカセット装置であり、７７はカセットであり、７８は他のゲートである。

以上のように、被搬送物を真空状態で搬送するための容器であり、被搬送物を挿入、挿出するゲートバルブ１００を備えたものにおいて、該ゲートバルブ１００は、離間して相対峙する一対の弁座８を有し、いずれかの弁座８を、弁棒１６に連結されて弁座８の間に無摺動で挿入された弁体１５によって、弁棒１６の傾動によって選択的に開閉されるようにされた真空搬送室７１、すなわち真空搬送容器が構成される。

このような真空搬送容器を使用することによって、いずれかの弁座８を弁体１５に開閉するに当たって、真空搬送容器内での被搬送物の搬送は、真空搬送容器側の弁座８ｂを弁体１５で閉鎖し、真空搬送容器のメンテナンス時に当たっては他側の弁座８ａを閉鎖するようにした真空搬送容器のゲート開閉方法が構成される。

本発明の実施例の一部内部構成を含めて構成を示す斜視図。 図１の内部構成を示す断面図。 カム装置の外観を示す図。 カム装置の作動状況を示す図。 ゲートバルブの開位置、締切前位置、締切位置およびメンテナンス時締切位置を示す図。 ゲートバルブの開位置、締切前位置、締切位置およびメンテナンス時締切位置を示す図。 ゲートバルブを適用した応用例の概略構成を示す図。

符号の説明

１…弁箱、３…外箱、４…弁箱下蓋、７…開口部、８（８ａ、８ｂ）…弁座、９…開口、１５…弁体、１６…弁棒、２１（２１ａ、２１ｂ）…シリンダ駆動装置、２２（２２ａ、２２ｂ）…駆動用シリンダ、２６…連結子、２７…ステム受け、２８…ローラ、３０（３０ａ、３０ｂ）…ガイドプレート、３３…スプリング、３４…カムベース、３９…溝、４０…カム装置、４１…カム孔、４２…カム体、６０…シリンダ装置、６４…ストッパ、１００…ゲートバルブ。

Claims (8)

1. 弁箱の開口部を、シリンダ駆動装置によって駆動され、かつ傾動する弁棒に設けられた弁体によって開閉するようにしたゲートバルブにおいて、前記開口部に、離間して相対峙する一対の弁座を形成し、該一対の弁座の間を無摺動で移動して挿入出されるようにして前記弁体を設け、前記弁棒を一方に傾動させて前記弁体の１側を一方の弁座に密着させ、更に前記弁棒を他方に傾動させて前記弁体の他側を他方の弁座に密着させる傾動装置を設けたことを特徴とするゲートバルブ。
2. 弁箱の開口部を、シリンダ駆動装置によって駆動され、かつ傾動する弁棒に設けられた弁体によって開閉するようにしたゲートバルブにおいて、前記開口部に、離間して相対峙する一対の弁座を形成し、該一対の弁座の間を無摺動で移動して挿入出されるようにして前記弁体を設けて、前記弁棒に、ガイドプレートに設けた溝に沿って走行するローラを備えたステム受けを設け、かつカム体を双方向に揺動させるカム孔に収納した構成を有し、前記カム孔内の一方側の揺動によって前記対峙する一対の弁座の一方向に弁棒を傾動させ、前記カム体のカム孔内の他方側への揺動によって弁座の他方側に弁棒を傾動させる傾動装置を設けたことを特徴とするゲートバルブ。
3. 請求項１から２において、前記停止装置は、ストッパを備えたシリンダ装置からなり、かつ停止解除によってカム体はカム孔内を他方側に揺動可能とされることを特徴とするゲートバルブ。
4. 弁箱の開口部を、シリンダ駆動装置によって駆動され、かつ傾動する弁棒に設けられた弁体によって開閉するようにしたゲートバルブにおいて、前記開口部に、離間して相対峙する一対の弁座を形成し、該一対の弁座の間を無摺動で移動して挿入出されるようにして前記弁体を設け、かつ前記弁棒の軸方向駆動を阻止させる阻止装置を設けて阻止点で前記弁棒を相対峙する一対の弁座の双方に移動させるように作動し、前記弁棒の所定の該傾動に伴って前記弁体の１側を一方の弁座に密着させ、更に他の所定の傾動に伴って前記弁体の他側を他方の弁座に密着させる傾動装置を設けたことを特徴とするゲートバルブ。
5. 弁箱の開口部を、シリンダ駆動装置によって駆動され、かつ双方向に駆動される弁棒に設けられた弁体によって開閉するようにしたゲートバルブにおいて、前記開口部に、離間して相対峙する一対の弁座を形成し、該一対の弁座の間を無摺動で移動して挿入出されるようにして前記弁体を設け、かつ前記弁棒の軸方向駆動を阻止させる阻止装置を設けて阻止点で前記弁棒を相対峙する一対の弁座の双方向に移動させるよう作動し、前記弁棒の一方向の移動に伴って前記弁体の他側を他方の弁座に密着させる弁棒移動装置を設けたことを特徴とするゲートバルブ。
6. 請求項１から５のいずれかにおいて、前記一対の弁座は、それぞれ前記弁箱の外側から嵌め込み方式によって嵌め込まれて固定され、または前記弁箱の内壁に取り付けられることを特徴とするゲートバルブ。
7. 被搬送物を真空状態で搬送あるいは処理するための容器（以下、真空処理容器という。）であり、前記被搬送物を挿入、挿出するゲートバルブを設けたものにおいて、該ゲートバルブは、離間して相対峙する一対の弁座を有し、いずれかの弁座を弁棒に連結されて該弁座の間に無摺動で挿入出された弁体によって、前記弁棒の傾動によって選択的に開閉されることを特徴とする真空処理容器。
8. 真空処理容器にゲートバルブを設けて前記被搬送物を挿入、挿出する被搬送物の搬送方法において、前記ゲートバルブには離間して相対峙して一対の弁座が設けられ、いずれかの弁座を弁体によって選択的に開閉するに当たって、真空処理容器内の被搬送物の搬送に当たっては当該真空処理容器側の弁座を弁体で閉鎖し、当該真空処理容器のメンテナンス時に当たっては他側の弁座を閉鎖するようにしたことを特徴とする真空処理容器のゲート開閉方法。
   

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