KR100374255B1 - 밀폐 콘테이너 - Google Patents

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KR100374255B1 KR1019950043130A KR19950043130A KR100374255B1 KR 100374255 B1 KR100374255 B1 KR 100374255B1 KR 1019950043130 A KR1019950043130 A KR 1019950043130A KR 19950043130 A KR19950043130 A KR 19950043130A KR 100374255 B1 KR100374255 B1 KR 100374255B1
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Abstract

본 발명은 뚜껑을 닫을 때 콘테이너본체의 기밀성을 계속 유지하고, 뚜껑을 열때에는 콘테이너본체 안밖의 압력차를 평형으로 하여 용이하게 열수 있는 밀폐콘테이너를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해 본 발명은 반도체웨이퍼(W)를 수납하는 내부를 불활성가스분위기로 된 콘테이너본체(5)와, 정기구(10)의 시정/해정 작동에 의한 상기 콘테이너본체(5)의 내부를 기밀/개방 상태로 하는 뚜껑(9)을 구비하여 이루어지는 밀폐콘테이너에 있어서,
상기 뚜껑(9)에 설치된 상기 콘테이너본체(5)의 안밖으로 연통하는 통기구(35A)를 상기 정기구(10)의 시정/해정 작동에 동기하여 기밀/개방 상태로 하는 압력평형기구(11)를 설치한 것으로 구성하였다.

Description

밀폐콘테이너
본 발명은 클린룸에서 반도체웨이퍼의 반송에 사용되는 밀폐콘테이너에 관한 것으로, 특히, 콘테이너를 열때에 안밖의 압력차를 평형으로 하는 압력평형기구에 관한 것이다.
예를들면, 반도체의 제조는 내부분위기를 청정화한 클린룸안에서 행해지지만, 클린룸안에서의 공정간 반송은 반도체웨이퍼로의 먼지의 부착을 방지하기 위해 당해 반도체웨이퍼를 수납한 웨이퍼카세트를 가반식인 뚜껑으로 밀폐된 밀폐콘테이너에 수납하여 행한다. 더구나, 근년에, 반도체웨이퍼의 자연산화에 의한 산화막의 성장을 방지하기 위해, 상기 밀폐콘테이너의 내부분위기를 질소 N2가스등의 불활성가스로 치환하도록 하고 있다.
그렇지만, 밀폐콘테이너에 반도체웨이퍼를 수납하고, 불활성가스로 치환한후, 밀폐상태에서 반도체웨이퍼를 장시간 보관해도, 밀폐콘테이너를 폐쇄하는 뚜껑의 간극에서 자연산화막 생성의 요인으로 되는 산소와 수분이 혼입한다는 문제가 있었다.
이 문제를 해결하기 위해 본 발명의 발명자는 일본국 특원평 5-32667호에 기재한 밀폐콘테이너를 제안하였다. 이 밀폐콘테이너는 뚜껑의 내부에 설치된 고무의 회동에 의한 판상의 로크아암을 콘테이너본체에 계합 · 변형시켜, 이 판상 로크아암의 변형에 의한 압압력에 의해 콘테이너본체와 뚜껑을 기밀히 계합하여 밀폐콘테이너의 기밀성을 향상시키고 있지만, 반도체웨이퍼의 자연산화에 의한 산화막을 생성하는 요인으로 되는 (산소)가스라던가 수분은 절연물등에서 자연발생하여 밀폐 콘테이너 내부로 방출된다.
그렇지만, 종래기술에서의 밀폐콘테이너에서는, 예를들면, 따뜻한 반도체웨이퍼를 밀폐콘테이너안에 수납하여, 고무의 회동에 의한 밀폐콘테이너를 기밀히 밀폐한 후에, 이 밀폐콘테이너 안의 온도가 실온까지 내려가면, 이 밀폐콘테이너 내부가 부압(-)으로 되고, 밀폐콘테이너 내외의 압력차가 생기게 된다. 이 결과,뚜껑이 밀폐콘테이너쪽으로 흡착된 상태로 되고, 고무의 회동에 의해서도 밀폐콘테이너의 뚜껑이 열리지 않게 된다는 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위해 된것으로, 뚜껑을 닫을때의 콘테이너 본체의 기밀성을 계속 유지하고, 뚜껑을 열시에는 콘테이너본체 안밖의 압력차를 평형으로 하여 용이하게 열수 있는 밀폐콘테이너를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 문제를 해결하기 위해 본 발명의 밀폐콘테이너는,
청구범위제 1항에서는, 반도체웨이퍼를 수납하는 내부를 불활성가스 분위기로 된 콘테이너본체와, 정기구(錠機構)의 시정(施鎭)/해정(解錠) 작동에 의해 상기 콘테이너본체의 내부를 기밀/개방 상태로 하는 뚜껑을 구비하여 이루어지는 밀폐콘테이너에 있어서, 상기 뚜껑에 설치된 상기 콘테이너본체의 안밖으로 연통하는 통기구를 상기 정기구의 시정/해정 작동에 동기하여 기밀/개방 상태로 하는 압력평형기구를 설치한 것이다.
청구범위 제 2항에서는, 상기 압력평형기구가 상기 정기구를 구성하는 고무의 회동에 의해 변형되는 로크아암에 추종하여 이동하고, 상기 통기구를 개폐하는 개폐뚜껑으로 구성되어 있다.
이러한, 본 발명의 밀폐콘테이너에 의하면, 뚜껑에 설치된 컨테이너본체 안밖으로 연통하는 통기구를 정기구의 시정/해정 작동에 동기하여 기밀/개방 상태로 하는 압력평형기구를 설치했으므로, 정기구의 시정시에는 압력평형기구가 통기구를 닫도록 작동하고, 정기구의 해정시에는 압력평형기구가 통기구를 열도록 작동시킬 수 있다.
또한, 압력평형기구가 정기구를 구성하는 고무의 회동에 의해 변형되는 로크아암에 추종하여 이동하고, 통기구를 개폐하는 개폐뚜껑으로 구성했으므로, 종래의 구조를 이용하여 용이하게 통기구를 개폐할 수 있다.
[실시예]
실시예 1
이하, 본 발명의 실시예 1인 밀폐콘테이너에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 제 1도는 본 실시예 1에서의 밀폐콘테이너의 구조를 설명하기위한 종단면도, 제 2도는 본 실시예 1에서의 밀폐콘테이너의 정기구와 압력평형기구의 구성을 설명하기 위한 제 1도의 요부확대도, 제 3도는 본 실시예 1에서의 밀폐콘테이너의 정기구의 고무와 로크아암의 구조 및 이들의 관계를 설명하기 위한 사시도, 제 4도 (a) 내지 (c)는 본 실시예 1에 관한 밀폐콘테이너의 개폐작동을 설명하기 위한 요부확대도이다.
제 1도에 있어서, 5는 가반식의 밀폐콘테이너(1)의 콘테이너본체이고, 이의 개구부(6)에는 플렌지(7)가 설치되어 있다. 또한, 밀폐콘테이너(1)의 개구부(6) 안에는 환상씰재(8)를 개재하여 뚜껑(9)이 감합되어 있고, 이 뚜껑(9)의 내부에는 정기구(10)와 압력평형기구(11)가 설치되어 있다. 12는 콘테이너본체(5)의 두부에 설치된 파수(把手)이다. 13은 반도체웨이퍼(W)를 수납한 웨이퍼카세트이고, 밀폐콘테이너(1) 내부의 뚜껑(9)위에 배치되어 있다. 14는 내부에 승강장치(15)를 가지는 가스퍼지박스(gas Purge Box)이고, 불활성가스(질소 N2가스)를 공급하는 공급가스관(16)과 밀폐콘테이너(1) 내부의 불필요한 가스를 배기하는 배출가스관(17)이 접속되어 있다.
밀폐콘테이너(1)의 뚜껑(9)은 위뚜껑(9A)과 아래뚜껑(9B)으로 중공체로 되어 있고, 예를들어 제 2도에 도시한 바와같은 정기구(10)와 압력평형기구(11)를 가지고 있다. 이 정기구(10)는 고무(21) · 로크아암(22)을 주요부로 하여 구성되어 있고, 이 고무(21)는, 제 3도에 도시한 바와같이, 중앙부에 관통공(23A)을 가지는 원반상의 기대(23)위에 소정 반경을 가지고 원주방향으로 연장되는 돌기부(24A, 24B)가 상호 대향하여 일체로 형성되어 있고, 이 각 돌기부(24A, 24B)에는 경사면(24a, 24a)이 형성되어 있을 뿐만 아니라, 각 돌기부(24A, 24B)사이에는 단면 타원형상의 진퇴돌기부(25A, 25B)가 각각 형성되어 있다. 그리고, 이 고무(21)는 각 돌기부(24A, 24B)가 돌출하는 쪽을 위뚜껑(9A)에 대향시켜 아래뚜껑(9A)의 중앙부에서 뚜껑(9)의 중공(A)안으로 돌출하는 축부(26)와 · 위뚜껑(9A)의 중앙부에서 뚜껑(9)의 중공(A)안으로 돌출하는 축부(27)로 회전가능하게 축지지되어 있다.
로크아암(22)은 뚜껑(9)의 중공(A)안으로 펼쳐저 배치된 판상재이고, 제 3도에 도시한 바와같이, 뚜껑(9)을 열시에 이 일단부쪽(플렌지(7)와 반대쪽의 단부)으로 회전가능한 롤러(22a)와 이 연재방향에 직교하는 방향으로 돌출하는 안내부(22A)를 가지고, 이 안내부(22A)에 형성된 고무(21)의 진퇴돌기부(25A, 25B)의 형상에 대략 합치하는 안내구(22B)를 각 진퇴돌기부(25A, 25B)에 외삽하고, 롤러(22a)가 고무(21)의 각 돌기부(24A, 24B) 위를 주행가능한 상태로 하여 기대(23) 위에 적치되어 있을뿐만 아니라, 아래뚜껑(9B)에서 중공(A)안으로 돌출하는 철부(28)위에 개합하고 있다. 이에 의해 로크아암(22)은 고무(21)가 회전하면, 고무(21)의 진퇴돌기부(25A, 25B)가 안내구(22B)의 구면(22b)에 연하여 이동함에 의해 계합구(30)로 진퇴가능토록 될뿐만 아니라, 로크아암(22)의 롤러(22a)가 돌기부(24A, 24B)의 경사면(24a)을 주행함에 의해 경사가능토록 되여 아암(21)에 편지지(片支情)되여 있다. 29는 위뚜껑(9A)에 일체로 형성된 철부이고, 철부(28)에 대향하는 위치에 설치되어있다. 30은 밀폐콘테이너(1)의 플렌지(7)내면에 개구하여 원주방향으로 펼쳐져 형성된 계합구이고, 이 계합구(30)에 로크아암(22)이 계합가능토록 되여있다. 또한, 승강장치(15)의 승강대(15A)에는 밀폐콘테이너(1)쪽에 연장되는 고무축(31)이 설치되어 있고, 이 고무축(31)은 이 승강대(15A) 위에 뚜껑(9)이 동심으로 적치된 때에 고무(21)와 스플라인(Spline)계합한다. 이 승강대(15A)는 고무축(31)을 소정각도만 회동하는 고무축구동기구(32)를 내장하고있다.
압력평형기구(11)는 위뚜껑(9A)에 형성된 통기공(35)과 이 통기공(35)을 개폐하는 개폐뚜껑(40)을 주요부로 하여 구성되어 있다. 이 통기공(35)은 밀폐콘테이너(1)의 내부에 개구하는 통기구(35A)와 이 통기구(35A)에서 직경이 확대되어 뚜껑(9)의 중공(A) 안으로 개구하는 변공(35B)을 가지는 단부공(段付孔)이고, 이 변공(35B)안에 개폐뚜껑(40)을 두부(40A)가 섭동자재하게 감합되어 있다. 개폐뚜껑(40)의 두부(40A)에는 아래뚜껑(9B)쪽으로 직경이 축소하여 연장된 축상부(40B)가 일체로 형성되어 있을뿐만 아니라, 이 축상부(40B)의 반대쪽 단에는 환상씰재(41)가 설치되어 있다. 또한 이 축상부(40B)는 로크아암(22)에 형성된 반경방향으로 연장하는 장공(22b)을 섭동자재로 관통하고 있고, 이 로크아암(22)을 경계로 하여 축방향으로 소정간격을 두고 양 위치에는 반경 바깥쪽으로 돌출하는 계지부(42, 43)가 각각 설치되어 있다. 더구나 계지부(43)는 로크아암(22)에 당접하고 있다. 44는 변공(35B)의 개구 일부를 막으며 위뚜껑(9A)에 취부된 판상부재이다. 45는 로크아암(22)에 일단이 취부된 판스프링이다.
본 실시예 1에 관한 밀폐콘테이너(1)는 이상과 같이 구성되었지만, 다음에, 이 밀폐콘테이너(1)의 개폐작동에 대하여, 제 4도(a) 내지 제 4도(c)를 참조하여 설명한다. 통상, 설명의 편의상, 뚜껑(9)의 정기구(10)는 해정상태로, 압력평형기구(11)는, 제 4도(a)에 도시한 바와같이, 개폐뚜껑(40)이 통기구(35A)에서 떨어져 밀폐콘테이너(1)의 내부가 뚜껑(9)의 중공(A)을 개재하여 외부로 연통하고 있는 상태로 되어 있는 것으로 한다.
가스퍼지박스(14)에 의해 밀폐콘테이너(1)의 내부가 불활성가스(질소 N2가스등)로 치환된후, 이 밀폐콘테이너(1) 안으로 수납된 반도체웨이퍼(W)를 목적지까지 반송 또는 보관하기 위해 뚜껑(9)을 닫아 밀폐콘테이너(1) 안을 기밀상태로 하기에는 고무(21)를 소정각도만 회동시킨다. 이에 의해 로크아암(22)은, 제 4도(b)에 도시한 바와같이, 아암(21)의 진퇴돌기부(25A, 25B)가 로크아암(22)의 안내구(22B)의 구면(22b)에 연하여 이동할때에 플렌지(7)쪽으로 압출력을 받으므로, 밀폐콘테이너(1)의 플렌지(7)에 형성된 계합구(30) 안으로 진입된다. 이때, 로크아암(22)은 그 계합구(30)로의 진입시에 판스프링(45)의 탄성력을 받어 철부(28)를 지점으로 하여 균형되어 있지만, 로크아암(22)의 이동에 수반하여 그 중심위치가 계합구(30)쪽으로 이동하고, 드디어, 판스프링(45)의 탄성력에 대향하여 로크아암(22)이 반시계방향으로 회전하여 이 선단부가 계합구(30)의 단부에 간섭하지 않도록 되여 계합구(30) 안으로 진입된다.
그리고, 더구나 고무(21)를 회동하면, 로크아암(22)은 이 롤러(22a)가 고무(21)에 형성된 돌기부(24A, 24B)의 경사면(24a, 24a) 위를 올라가면서 주행을 하므로 위뚜껑(9A) 쪽으로 압상되어, 제 4도(c)에 도시한 바와같이, 위뚜껑(9A)의 철부(29)를 지점으로하여 로크아암(22)의 플렌지(7) 측단부가 계합구(30)의 저면(30a)에 계합하도록 변형되어 이 변형에 의해 로크아암(22)의 압압력으로 밀폐콘테이너(1)의 콘테이너본체(5)를 아래뚜껑(9B)쪽으로 이동시켜 환상씰(8)을 개재하여 위뚜껑(9A)에 기밀히 계합시켜 정기구(10)를 시정상태로 한다. 이때에, 로크아암(22)의 철부(29)를 지점으로 하여 고무(21)쪽에 위치하는 부분은, 제 4도(c)에 도시한 바와같이, 위뚜껑(9A)쪽으로 서서히 이동되여 오고, 드디어, 개폐뚜껑(40)의 계지부(42)에 계합하여 이 개폐뚜껑(40)과 함께 이동한다. 이에 의해, 개폐뚜껑(40)의 두부(40A)가 환상씰재(41)를 개재하여 통기구(35A)를 닫도록 (폐쇄상태로 하는) 변공(35B)의 단부(35b)에 개합하여,밀폐콘테이너(1)와 내부를 외부에서 기밀한 상태로 한다.
이어, 기밀로 된 밀폐콘테이너(1)의 내부에서 반도체웨이퍼(W)를 취출하기 위해 뚜껑(9)을 열려면 고무(22)를 상기와는 역회동시킨다. 이에 의해 로크아암(22)은 이 롤러(22a)가 돌기부(24A, 24B)의 경사면(24a, 24a) 위를 내려가면서 주행하므로 그 변형이 해제되어, 제 4도(a)에 도시한 바와같이, 로크아암(22)이 원래 형상으로 되돌려 지도록 아래뚜껑(9B)쪽으로 이동하여 철부(28)에 개합할 뿐만아니라, 진퇴돌기부(25A, 25B)가 안내구(22B)의 구면(22a)에 연하여 이동하고 이 안내구(22B)에 합치함에 의해 계합구(30)안에서 퇴피(退避)된다. 이때, 압력평형기구(11)의 개폐뚜껑(40)은 이 계지부(43)가 로크아암(22)에 계합하여 로크아암(22)의 이동에 추종하여 아래뚜껑(9B) 쪽으로 이동됨으로, 통기구(35A)가 뚜껑(9)의 중공(A)에 개구하고, 밀폐콘테이너(1)의 내부가 통기구(35A) - 뚜껑(9)의 중공(A) 및 아래뚜껑(9B)과 플랜지(7) 사이의 간극을 개재하여 외부와 연통상태로 되고, 이 밀폐콘테이너(1)의 내부 압력이 즉시로 외부압력(대기압)과 평형상태로 된다. 그리고,뚜껑(9)을 콘테이너본체(5)에서 벗겨내어 내부에 수납되어 있는 반도체웨이퍼(W)를 취출하는 것이다.
실시예 2
이하, 본 발명의 실시예 2인 밀폐콘테이너에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 제 5도는 본 실시예 2에 관한 밀폐콘테이너의 압력평형기구의 구성을 설명하기 위한 제 1도의 요부확대도이다. 통상, 본 실시예 2에 관한 제 5도에 있어서, 상기 실시예 1의 제 1도 내지 제 4도와 동일한 부호는 동일한 구성을 나타냄으로 그 설명을 생략한다.
제 5도에 있어서, 본 실시예 2에서의 밀폐콘테이너(100)는 상기 실시예 1의 밀폐콘테이너(1)에서의 압력평형기구(11)의 변형예를 도시한 것으로, 101은 위뚜껑(9A)의 중앙부 근방{고무(21)의 근방}에 형성된 통기구이고, 밀폐콘컨테이너(1)의 내부와 뚜껑(9)의 중공(A)과로 개구하고 있다. 통기구(101)의 밀폐콘테이너(1)의 내부에 개구하는 쪽은 필터(102)로 피복되어 있다. 103은 압력평형기구(104)로 되는 탄성재(예를들면, 고무재등)로 형성된 개폐뚜껑이고, 통기구(101)의 개구에 대향하는 로크아암(22) 위에 취부 고정되고, 이 통기구(101)를 탄성을 가지고 밀폐가능하게 하고 있다.
본 실시예 2에서의 밀폐콘테이너(100)는, 상기와 같이 구성되지만, 다음에, 이 밀폐콘테이너(100)의 개폐작동에 대하여 설명하지만, 정기구(10)의 작동은 상기 실시예 1에서의, 제 4도(a)내지 (c)에 도시한 바와같은 작동을 하므로, 그 설명을 생략하고, 압력평형기구(104)의 작동을 중심으로 하여 설명한다.
가스퍼지박스(14)에 의해 밀폐콘테이너(100)의 내부가 불활성가스(질소 N2가스등)으로 치환된 후, 이 밀폐콘테이너(1)안에 수납된 반도체웨이퍼(W)를 목적지까지 반송 또는 보관하기 위해 뚜껑(9)을 닫아 밀폐콘테이너(100) 안을 기밀상태로 하려면, 고무(22)를 회동시켜 로크아암(22)을 계합구(30) 안으로 진입시킬 뿐만 아니라, 위뚜껑(9A)의 철부(29)를 지점으로 하여 로크아암(22)의 플렌지(7) 측단부가 계합구(30)의 저면(30a)에 계합하도록 변형되어 이 변형에 의해 로크아암(22)의 압압력으로 밀폐콘테이너(1)의 콘테이너본체(5)를 아래뚜껑(9B)쪽으로 이동시켜서 환상씰(8)을 개재하여 위뚜껑(9A)에 기밀히 계합시켜 정기구(10)를 시정상태로 한다. 이때, 로크아암(22)의 철부(29)를 지점으로 하여 고무(21)쪽으로 위치하는 부분은 개폐뚜껑(103)과 함께 위뚜껑(9A)쪽으로 이동되어가고, 드디어, 개폐뚜껑(40)이 통기구(101)를 막아 위뚜껑(9A)에 탄성을 가지고 당접하여 밀폐콘테이너(100)의 내부를 외부로 부터 기밀한 상태로 한다.
다음으로, 기밀히 된 밀폐콘테이너(100)의 내부에서 반도체웨이퍼(W)를 취출하기 위해 뚜껑(9)을 열려면, 고무(21)를 상기와는 역회동시켜 로크아암(22)을 원래 상태로 되돌리도록 아래뚜껑(9B)쪽으로 이동하여 철부(28)에 계합할 뿐만 아니라, 계합구(30)안으로 퇴피한다. 이때, 압력평형기구(104)의 개폐뚜껑(103)은 로크아암(22)의 이동과 함께 아래뚜껑(9B) 쪽으로 이동되므로, 통기구(101)가 뚜껑(9)의 중공(A)에 개구하고, 밀폐콘테이너(100)의 내부가 통기구(101) - 뚜껑(9)의 중공(A) 및 아래뚜껑(9B)과 플렌지(7) 사이의 간극을 개재하여 외부와 연통상태로 되고, 이 밀폐 콘테이너(100)의 내부압력이 즉시로 외부압력(대기압)과 평형상태로 된다. 그리고, 뚜껑(9)을 콘테이너본체(5)에서 벗겨내어 내부에 수납되어 있는 반도체웨이퍼(W)를 취출하는 것이다.
통상, 본 실시예 1 및 실시예 2에 관한 밀폐콘테이너(1, 100)는 정기구(10) 고무(21)의 회동에 의해 변형되는 로크아암(22)에 추종시켜서, 압력평형기구(11)의 개폐 뚜껑(40, 103)을 이동시켜 통기구(35A, 101)를 개폐하도록 구성한 것을 도시했지만, 이에 한정되는 것이 아니고, 고무(21)의 회동을 크랭크등을 개재시켜 직선운동으로 변환하여 개폐뚜껑(40, 103)을 이동시키는 구조로 한 것이여도 좋다.
이렇게 본 발명의 밀폐콘테이너에 의하면, 뚜껑에 설치된 콘테이너본체의 안밖으로 연통하는 통기구를 정기구의 시정/해정 작동에 동기하여 기밀/개방 상태로 하는 압력평형기구를 설치했으므로, 정기구의 시정시에는 압력평형기구가 통기구를 닫도록 작동시켜 콘테이너본체의 내부를 기밀상태로 유지할 수 있을 뿐만아니라, 정기구의 해정시에는 압력평형기구가 통기구를 열도록 작동시킬 수 있으므로, 콘테이너본체의 내부를 기밀상태로 하여 보관할때에 이 콘테이너본체의 안밖으로 압력 차가 생겨도, 이 통기구의 개구에 의해 콘테이너본체 안밖의 압력을 평형으로 하여 용이하게 뚜껑을 열 수 있다.
또한, 압력평형기구가 정기구를 구성하는 고무의 회동에 의해 변형되는 로크아암에 추종하여 이동하고, 통기구를 개폐하는 개폐뚜껑으로 구성했으므로, 종래의 구조를 이용하여 용이하게 통기구를 개폐할 수 있으므로, 복잡한 통행구 개폐수단을 사용하지 않고,간단히 개조할 수 있다.
제 1도는 본 발명의 실시예 1에 관한 밀폐콘테이너의 구성을 설명하기 위한 종단면도,
제 2도는 본 발명의 실시예 1에 관한 밀폐콘테이너의 정(錠)기구와 압력평형기구의 구성을 설명하기 위한 제 1도의 요부확대도,
제 3도는 본 발명의 실시예 1에 관한 밀폐콘테이너의 정기구의 고무와 로크아암의 구조 및 이들의 관계를 설명하기위한 상태도,
제 4도의 (a) 내지 (c)는 본 발명의 실시예 1에 관한 밀폐콘테이너의 개폐작동을 설명하기 위한 요부확대도,
제 5도는 본 발명의 실시예 2에 관한 밀폐콘테이너의 압력평형기구의 구성을 설명하기위한 제 1도의 요부확대도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 -------밀폐콘테이너 5 -------콘테이너 본체
10 ------정기구(鎭機構) 11 -------압력평형기구
21 -------고무 22 ------ 로크아암
35A, 101 ------통기구 40, 103 --- 개폐뚜껑
W --------반도체웨이퍼

Claims (2)

  1. 반도체 웨이퍼를 수납하기 위한 밀폐콘테이너에서;
    반도체 웨이퍼의 출입을 위한 개구를 가지는 내부가 비어있는 콘테이너본체,
    상기 개구를 막기 위한 뚜껑, 상기 뚜껑은 상기 콘테이너본체의 내부와 외부를 연락하는 통기구를 가지고,
    캠부재와 캠부재의 회전운동에 의해 움직이는 로크암을 포함하는 로크수단, 상기 로크암은 상기 콘테이너본체의 상기 개구에서 상기 뚜껑의 시정 및 해정작동을 하고,
    상기 콘테이너본체의 내부가 외부와 연통하도록 하는 압력평형기구, 상기 압력평형기구는 상기 통기구의 개폐를 위한 개폐뚜껑을 가지고, 여기에서 상기 개폐뚜껑은 :
    상기 뚜껑에서 상기 통기구와 연통하며, 상기 통기구의 직경보다 큰 직경을 가지는 간극에 미끄럼 감합되는 두부,
    상기 두부에 배치되는 환상씰재, 상기 환상씰재는 상기 통기구를 필링하고,
    상기 환상씰재의 반대측면에서 상기 두부의 직경보다 작은 직경으로 상기 두부로부터 수직으로 신장하는 축상부, 상기 축상부는 상기 두부와 연결되며 상기 로크암에 길이방향으로 형성된 장공을 통해 미끄러질 수 있게 신장하고, 그리고
    상기 축상부에 고정되며 상기 로크암이 그 사이에 놓일 정도의 거리로 길이방향으로 서로 이격된 한쌍의 계지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 밀폐 콘테이너.
  2. 반도체 웨이퍼를 수납하기 위한 밀폐콘테이너에서:
    반도체 웨이퍼의 출입을 위한 개구를 가지는 내부가 비어있는 콘테이너본체,
    상기 개구를 막기 위한 뚜껑, 상기 뚜껑은 상기 콘테이너본체의 내부와 외부를 연락하는 통기구를 가지고,
    캠부재 및 캠부재의 회전운동에 의해 수평방향으로도 수직방향으로도 이동가능한 로크아암을 포함하는 로크수단, 상기 로크아암은 상기 콘테이너본체의 상기 개구에서 상기 뚜껑의 시정 및 해정작동을 하고,
    상기 콘테이너본체의 내부가 외부와 연통하도록 하는 압력평형기구, 상기 압력평형기구는 상기 통기구의 개폐를 위한 개폐뚜껑을 가지고, 상기 개폐뚜껑은 탄성재를 포함하며, 로크아암의 운동에 의해서 상기 통기구의 상기 위치와 같은 위치에서 상기 로크아암에 고정되는 것을 특징으로 하는 밀폐콘테이너.
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