JPWO2005101484A1 - 基板収納容器の雰囲気置換ポート接続装置 - Google Patents
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Abstract
接続装置(100)は、ウエハ(1)を収納するウエハキャリア(10)に設けられ、ウエハキャリア(10)の雰囲気を置換するためのガスが流入するガス流入口(32)を有するパージポート(30)に接続される装置であって、例えば、基台(101)と、基台(101)に形成された連通口(102)と、ガス流入口(32)と連通口(102)とを密着させる密着機構とを備え、密着機構は、パージポート(30)に対向する対向面(103)に設けられ、連通口(102)の周縁に配置されているシール用リング(105)と、対向面(103)に形成された溝部(104)と、溝部(104)に連通する減圧用通路(107)と、減圧用通路(107)に接続され、空間の空気を外部に輸送する真空ポンプ等とからなり、基台(101)とパージポート(30)とを接触させた位置で、溝部(104)とガス流入口(32)の周縁部(32A)とから形成される空間の圧力を減圧して、ガス流入口(32)と連通口(102)とを密着させる。
Description
本発明は、シリコンウエハ等の各種基板(以下、ウエハという)を収納する基板収納容器(以下、ウエハキャリアという)に、所望の気体(N2ガス等)を導入して、ウエハキャリアの雰囲気を置換するための雰囲気置換ポートに接続される接続装置に関するものである。
従来、この種のウエハキャリアは、ロードポートによりキャリアドアが開けられる。その後、ウエハは、基板処理装置により、クリーン度の高い基板処理装置の内部に搬送され、ウエハに必要な処理が行われる。
図4は、ウエハキャリアを示す概略図である。なお、図4Aは、ウエハキャリアがロードポートに載置されている状態を示しており、図4Bは、後述するパージポートを示している。なお、ウエハキャリアとしては、FOUP(Front Opening Unified Pod)と、FOSB(Front Opening Shipping Box)とが知られている。
ウエハキャリア10は、その内部に所定間隔でウエハ1を収納しており、一面に開放面12を有するキャリアシェル11と、キャリアシェル11に係合するキャリアドア13とを備えている。キャリアシェル11は、その上部に、不図示の自動搬送装置により把持されるためのロボットフランジ17が設けられている。キャリアシェル11は、その下部に、V字溝が形成されたベースプレート16が設けられている。
ここで、ウエハキャリア10は、高機能プラスチックで成型されているが、プラスチックには水分等を吸収する性質があり、そのために、水分等がウエハキャリア10内に浸入してしまう場合があった。
さらに、キャリアドア13は、ウエハキャリア10の密閉性を保つためのパッキン(不図示)が設けられているが、パッキンによる密閉性が完全ではなく、ウエハキャリア10の雰囲気が外部に漏れてしまう場合もあった。
したがって、ウエハキャリア10内の湿度、酸素濃度等は、次第に上昇してしまう可能性があった。
また、ウエハ1の表面にフォトレジストが塗布されている場合には、ウエハキャリア10は、その内部に、フォトレジストから気化した有機溶剤が拡散し、雰囲気が有機汚染されてしまうことがあった。
このウエハキャリア10内の湿度、酸素濃度の上昇、有機汚染を防止するために、ウエハキャリア10は、その底部に、ウエハキャリア10にN2ガスやドライエアを導入して、ウエハキャリア10の雰囲気を置換(パージ)するための雰囲気置換ポート(以下、パージポートいう)30が設けられている。
ロードポート20は、搬送されたウエハキャリア10を載置する載置台21と、載置台21に設けられ、ウエハキャリア10の位置決めを行うキネマティックピン22と、ロードポートドア25と、ロードポートドア25を開閉するためのロードポートドア開閉機構24と、壁面23等とを備えている。キネマティックピン22は、上述したベースプレート16に形成されたV字溝と係合する。
また、ロードポートドア25は、キャリアドア13の位置決めを行うレジストレーションピン26と、回転することによりキャリアドア13の開閉を可能とするラッチキー27とを備えている。また、キャリアドア13は、レジストレーションピン穴14とラッチキー穴15とを備えている。レジストレーションピン穴14は、レジストレーションピン26が挿入されて、位置決めを行うためのものである。ラッチキー穴15は、ラッチキー27が挿入されて、キャリアドア13を開閉するために用いられる。
つぎに、パージポート30を用いて、ウエハキャリア10の雰囲気を置換する、いわゆるパージについて説明する。
パージポート30は、例えば、図4Bに示すように、基台31と、基台31に設けられ、N2ガス等(以下、パージガスという)が流入されるガス流入口32と、チェック弁34と、チェック弁34を可動できるように収納する弁室33と、チェック弁34をガス流入口32側に付勢する圧縮バネ35と、連通口37と、圧縮バネ35を支持する支持板36と、フィルター38等とを備えている。
パージガスは、不図示のガス供給装置よりガス流入口32に流入する。パージガスの流量に伴う力は、圧縮バネ35を圧縮し、チェック弁34と基台31との間に隙間を生じさせる。パージガスは、この隙間から弁室33と連通口37とを経て、フィルター38を通過することにより、ウエハキャリア10の内部に導入される。
ここで、パージガスの流量とパージに要する時間(以下、パージ時間という)とについて説明する。
図5は、パージガスの流量とパージ時間との関係を示す図である。
ウエハキャリア10内の酸素濃度は、例えば、10ppm以下であることが好ましい。ここで、グラフAは、パージガスの流量が5L/minである場合の酸素濃度と、この酸素濃度に至るパージ時間を示している。同様に、グラフB,C,D,E,Fは、それぞれ流量が10L/min、15L/min、20L/min、30L/min、40L/minである場合を示している。グラフA〜Fは、パージガスの流量が小さい場合には、パージ時間が長いことを示している。
一方、基板処理装置では、ウエハキャリア10内の雰囲気を短時間で置換したいという要望があり、そのために、パージガスの流量を大きくする必要があった。例えば、ウエハキャリア10内の雰囲気を5分程度で酸素濃度10ppm以下にするためには、パージガスの流量は、グラフFに示されるように、40L/min程度必要となる。
しかし、パージガスがパージポート30に設けられたチェック弁34やフィルター38を通過するときに、フィルター38は、パージガスの流量に伴う圧力を受けることになる。
図6は、パージガスの流量とフィルター38にかかる圧力との関係を示す図である。
パージ時間を5分程度にするためには、上述したように、パージガスの流量を40L/min位にする必要があり、この場合には、フィルター38にかかる圧力Pは、図示のように、約3.3kgf/cm2となる。
パージポート30は、例えば、不図示の接続装置を介してガス供給装置に接続されている。このとき、パージポート30と既存の接続装置とのシール部の断面積S(例えば、2.0cm2)に発生する力Fは、F=P・Sの関係にあるので、F=3.3×2=6.6kgfとなる。
この力Fは、ウエハキャリア10の底部から上部に向かう方向に作用するために、パージポート30と既存の接続装置とを引き離す力となってしまう。このため、ウエハキャリア10がキネマティックピン22から浮き上がってしまう可能性がある。
これにより、ウエハキャリア10に設けられたキャリアドア13は、その位置が上下にずれてしまい、開閉時に動かない等の問題が生じることがある。
一方、特許文献1には、ウエハキャリアの底部に設けられたガス流入口と、このガス流入口にかぶさるように設けられ、一方向に開口を有する蓋と、ガス流入口に接続されたガス供給手段とを備えたウエハキャリアが開示されている。しかし、特許文献1のウエハキャリアは、既存のパージポートを用いないために、ウエハキャリアの構成を変更することになり、コストが高くなる可能性があった。さらに、このウエハキャリアは、ガス流入口に設けられた蓋に、パージガスの流量に伴う圧力がかかり、下方から上方に押し上げることになってしまい、位置が安定しない可能性があった。
特開2003−17553号公報(第5図)
図4は、ウエハキャリアを示す概略図である。なお、図4Aは、ウエハキャリアがロードポートに載置されている状態を示しており、図4Bは、後述するパージポートを示している。なお、ウエハキャリアとしては、FOUP(Front Opening Unified Pod)と、FOSB(Front Opening Shipping Box)とが知られている。
ウエハキャリア10は、その内部に所定間隔でウエハ1を収納しており、一面に開放面12を有するキャリアシェル11と、キャリアシェル11に係合するキャリアドア13とを備えている。キャリアシェル11は、その上部に、不図示の自動搬送装置により把持されるためのロボットフランジ17が設けられている。キャリアシェル11は、その下部に、V字溝が形成されたベースプレート16が設けられている。
ここで、ウエハキャリア10は、高機能プラスチックで成型されているが、プラスチックには水分等を吸収する性質があり、そのために、水分等がウエハキャリア10内に浸入してしまう場合があった。
さらに、キャリアドア13は、ウエハキャリア10の密閉性を保つためのパッキン(不図示)が設けられているが、パッキンによる密閉性が完全ではなく、ウエハキャリア10の雰囲気が外部に漏れてしまう場合もあった。
したがって、ウエハキャリア10内の湿度、酸素濃度等は、次第に上昇してしまう可能性があった。
また、ウエハ1の表面にフォトレジストが塗布されている場合には、ウエハキャリア10は、その内部に、フォトレジストから気化した有機溶剤が拡散し、雰囲気が有機汚染されてしまうことがあった。
このウエハキャリア10内の湿度、酸素濃度の上昇、有機汚染を防止するために、ウエハキャリア10は、その底部に、ウエハキャリア10にN2ガスやドライエアを導入して、ウエハキャリア10の雰囲気を置換(パージ)するための雰囲気置換ポート(以下、パージポートいう)30が設けられている。
ロードポート20は、搬送されたウエハキャリア10を載置する載置台21と、載置台21に設けられ、ウエハキャリア10の位置決めを行うキネマティックピン22と、ロードポートドア25と、ロードポートドア25を開閉するためのロードポートドア開閉機構24と、壁面23等とを備えている。キネマティックピン22は、上述したベースプレート16に形成されたV字溝と係合する。
また、ロードポートドア25は、キャリアドア13の位置決めを行うレジストレーションピン26と、回転することによりキャリアドア13の開閉を可能とするラッチキー27とを備えている。また、キャリアドア13は、レジストレーションピン穴14とラッチキー穴15とを備えている。レジストレーションピン穴14は、レジストレーションピン26が挿入されて、位置決めを行うためのものである。ラッチキー穴15は、ラッチキー27が挿入されて、キャリアドア13を開閉するために用いられる。
つぎに、パージポート30を用いて、ウエハキャリア10の雰囲気を置換する、いわゆるパージについて説明する。
パージポート30は、例えば、図4Bに示すように、基台31と、基台31に設けられ、N2ガス等(以下、パージガスという)が流入されるガス流入口32と、チェック弁34と、チェック弁34を可動できるように収納する弁室33と、チェック弁34をガス流入口32側に付勢する圧縮バネ35と、連通口37と、圧縮バネ35を支持する支持板36と、フィルター38等とを備えている。
パージガスは、不図示のガス供給装置よりガス流入口32に流入する。パージガスの流量に伴う力は、圧縮バネ35を圧縮し、チェック弁34と基台31との間に隙間を生じさせる。パージガスは、この隙間から弁室33と連通口37とを経て、フィルター38を通過することにより、ウエハキャリア10の内部に導入される。
ここで、パージガスの流量とパージに要する時間(以下、パージ時間という)とについて説明する。
図5は、パージガスの流量とパージ時間との関係を示す図である。
ウエハキャリア10内の酸素濃度は、例えば、10ppm以下であることが好ましい。ここで、グラフAは、パージガスの流量が5L/minである場合の酸素濃度と、この酸素濃度に至るパージ時間を示している。同様に、グラフB,C,D,E,Fは、それぞれ流量が10L/min、15L/min、20L/min、30L/min、40L/minである場合を示している。グラフA〜Fは、パージガスの流量が小さい場合には、パージ時間が長いことを示している。
一方、基板処理装置では、ウエハキャリア10内の雰囲気を短時間で置換したいという要望があり、そのために、パージガスの流量を大きくする必要があった。例えば、ウエハキャリア10内の雰囲気を5分程度で酸素濃度10ppm以下にするためには、パージガスの流量は、グラフFに示されるように、40L/min程度必要となる。
しかし、パージガスがパージポート30に設けられたチェック弁34やフィルター38を通過するときに、フィルター38は、パージガスの流量に伴う圧力を受けることになる。
図6は、パージガスの流量とフィルター38にかかる圧力との関係を示す図である。
パージ時間を5分程度にするためには、上述したように、パージガスの流量を40L/min位にする必要があり、この場合には、フィルター38にかかる圧力Pは、図示のように、約3.3kgf/cm2となる。
パージポート30は、例えば、不図示の接続装置を介してガス供給装置に接続されている。このとき、パージポート30と既存の接続装置とのシール部の断面積S(例えば、2.0cm2)に発生する力Fは、F=P・Sの関係にあるので、F=3.3×2=6.6kgfとなる。
この力Fは、ウエハキャリア10の底部から上部に向かう方向に作用するために、パージポート30と既存の接続装置とを引き離す力となってしまう。このため、ウエハキャリア10がキネマティックピン22から浮き上がってしまう可能性がある。
これにより、ウエハキャリア10に設けられたキャリアドア13は、その位置が上下にずれてしまい、開閉時に動かない等の問題が生じることがある。
一方、特許文献1には、ウエハキャリアの底部に設けられたガス流入口と、このガス流入口にかぶさるように設けられ、一方向に開口を有する蓋と、ガス流入口に接続されたガス供給手段とを備えたウエハキャリアが開示されている。しかし、特許文献1のウエハキャリアは、既存のパージポートを用いないために、ウエハキャリアの構成を変更することになり、コストが高くなる可能性があった。さらに、このウエハキャリアは、ガス流入口に設けられた蓋に、パージガスの流量に伴う圧力がかかり、下方から上方に押し上げることになってしまい、位置が安定しない可能性があった。
本発明の目的は、ウエハキャリアの位置を安定させると共に、パージを短時間で行うことができる接続装置を提供することである。
第1の発明は、基板を収納する基板収納容器に設けられ、前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスが流入するガス流入口を有する雰囲気置換ポートに接続される接続装置であって、基台と、前記基台に形成された連通口と、前記ガス流入口と前記連通口とを密着させる密着機構と、を含む接続装置である。
第2の発明は、前記密着機構は、前記雰囲気置換ポートに対向する対向面に設けられたシール部と、前記対向面に形成された溝部と、前記基台と前記雰囲気置換ポートとを接触させた位置で、前記溝部と前記ガス流入口の周縁部とから形成される空間の圧力を減圧する減圧部と、を含むことを特徴とする。
第3の発明は、前記減圧部は、前記溝部に連通する減圧用通路と、前記減圧用通路に接続され、前記空間の空気を外部に輸送する輸送部と、を含むことを特徴とする。
第4の発明は、前記シール部は、前記連通口の周縁に配置されているシール用リングであることを特徴とする。
第5の発明は、前記密着機構は、前記雰囲気置換ポートに対向する対向面に設けられたシール部と、前記雰囲気置換ポートを保持する保持部と、前記保持部により保持された前記雰囲気置換ポートに、前記対向面を押付ける押付け部と、を含むことを特徴とする。
第6の発明は、前記保持部は、前記雰囲気置換ポートに形成されたフランジ部と係合する係合部と、前記係合部を駆動するための第1カム部と、前記カム部に当接する第1当接部と、を含み、前記第1当接部が前記第1カム部に当接した状態で変位することにより、前記係合部は、前記フランジ部と係合することを特徴とする。
第7の発明は、前記押付け部は、前記基台を移動させる移動部と、前記移動部を駆動するための第2カム部と、前記第2カム部に当接する第2当接部と、を含み、前記第2当接部が前記第2カム部に当接した状態で変位することにより、前記移動部は、前記雰囲気置換ポートと前記対向面とが密着するまで、前記基台を前記雰囲気置換ポートに押付けることを特徴とする。
第8の発明は、前記第1カム部と前記第2カム部とは、同軸に設けられ、前記保持部を駆動した後に、前記押付け部を駆動するように、位相がずれていることを特徴とする。
第9の発明は、前記シール部は、前記連通口の周縁に配置されていることを特徴とする。
本発明によれば、基板収納容器の雰囲気を置換するための雰囲気置換ポートに設けられたガス流入口と、基台に形成された連通口とを密着機構により密着させるようにしたので、基板収納容器に、ガスの流量に伴う引き離し力が発生したとしても、接続装置と基板収納容器とが引き離されることなく、基板収納容器の位置を安定させると共に、ガスの流量を大きくして、基板収納容器の雰囲気を置換するために要する時間を短縮することができる。
第1の発明は、基板を収納する基板収納容器に設けられ、前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスが流入するガス流入口を有する雰囲気置換ポートに接続される接続装置であって、基台と、前記基台に形成された連通口と、前記ガス流入口と前記連通口とを密着させる密着機構と、を含む接続装置である。
第2の発明は、前記密着機構は、前記雰囲気置換ポートに対向する対向面に設けられたシール部と、前記対向面に形成された溝部と、前記基台と前記雰囲気置換ポートとを接触させた位置で、前記溝部と前記ガス流入口の周縁部とから形成される空間の圧力を減圧する減圧部と、を含むことを特徴とする。
第3の発明は、前記減圧部は、前記溝部に連通する減圧用通路と、前記減圧用通路に接続され、前記空間の空気を外部に輸送する輸送部と、を含むことを特徴とする。
第4の発明は、前記シール部は、前記連通口の周縁に配置されているシール用リングであることを特徴とする。
第5の発明は、前記密着機構は、前記雰囲気置換ポートに対向する対向面に設けられたシール部と、前記雰囲気置換ポートを保持する保持部と、前記保持部により保持された前記雰囲気置換ポートに、前記対向面を押付ける押付け部と、を含むことを特徴とする。
第6の発明は、前記保持部は、前記雰囲気置換ポートに形成されたフランジ部と係合する係合部と、前記係合部を駆動するための第1カム部と、前記カム部に当接する第1当接部と、を含み、前記第1当接部が前記第1カム部に当接した状態で変位することにより、前記係合部は、前記フランジ部と係合することを特徴とする。
第7の発明は、前記押付け部は、前記基台を移動させる移動部と、前記移動部を駆動するための第2カム部と、前記第2カム部に当接する第2当接部と、を含み、前記第2当接部が前記第2カム部に当接した状態で変位することにより、前記移動部は、前記雰囲気置換ポートと前記対向面とが密着するまで、前記基台を前記雰囲気置換ポートに押付けることを特徴とする。
第8の発明は、前記第1カム部と前記第2カム部とは、同軸に設けられ、前記保持部を駆動した後に、前記押付け部を駆動するように、位相がずれていることを特徴とする。
第9の発明は、前記シール部は、前記連通口の周縁に配置されていることを特徴とする。
本発明によれば、基板収納容器の雰囲気を置換するための雰囲気置換ポートに設けられたガス流入口と、基台に形成された連通口とを密着機構により密着させるようにしたので、基板収納容器に、ガスの流量に伴う引き離し力が発生したとしても、接続装置と基板収納容器とが引き離されることなく、基板収納容器の位置を安定させると共に、ガスの流量を大きくして、基板収納容器の雰囲気を置換するために要する時間を短縮することができる。
図1は、本発明の実施例1による接続装置が設けられたロードポートにウエハキャリアを載置した状態を示す図である。
図2は、本発明の実施例1による接続装置を示す説明図である。
図3は、本発明の実施例2による接続装置200を示す説明図である。
図4は、ウエハキャリアを示す概略図である。
図5は、パージガスの流量とパージ時間との関係を示す図である。
図6は、パージガスの流量とフィルター38にかかる圧力との関係を示す図である。
図2は、本発明の実施例1による接続装置を示す説明図である。
図3は、本発明の実施例2による接続装置200を示す説明図である。
図4は、ウエハキャリアを示す概略図である。
図5は、パージガスの流量とパージ時間との関係を示す図である。
図6は、パージガスの流量とフィルター38にかかる圧力との関係を示す図である。
以下、図面等を参照して、本発明の実施例をあげて、さらに詳しく説明する。
図1は、本発明の実施例1による接続装置が設けられたロードポートにウエハキャリアを載置した状態を示す図である。
図2は、本発明の実施例1による接続装置を示す説明図である。
接続装置100は、図1に示すように、不図示の自動搬送装置により搬送されてきたウエハキャリア10のパージポート30の位置に設けられている。
接続装置100は、ウエハキャリア10の雰囲気を置換するためのパージガスが流入するガス流入口32を有するパージポート30に接続される装置である。
接続装置100は、図2に示すように、連通口102が形成された基台101と、パージポート30に対向する対向面103に設けられたシール用リング105,106と、この対向面103に形成された溝部104等とを備えている。
また、接続装置100は、基台101とパージポート30とを接触させた位置で、溝部104とガス流入口32の周縁部32Aとから形成される空間の圧力を減圧する減圧部を有する。減圧部は、溝部104に連通する減圧用通路107と、減圧用通路107に接続され、上述した空間の空気を外部に輸送する不図示の真空ポンプ等とを備えている。
シール用リング105,106は、例えば、OリングやXリングであって、シール用リング105は、連通口102の周縁に配置され、シール用リング106は、溝部104の外側に配置されている。
溝部104は、基台101の対向面103に環状に形成されている。また、溝部104は、上述した空間を真空ポンプ等で減圧することにより、ガス流入口32と連通口102とを密着させる。
したがって、接続装置100によれば、パージポート30と、連通口102が形成された基台101とを接触させた位置で、対向面103に設けられた溝部104と、ガス流入口32の周縁部32Aとから形成される空間の圧力を減圧することにより、ガス流入口32と連通口102とを密着させるようにしたので、ウエハキャリア10に、パージガスの流量に伴う引き離し力(例えば、数kgf以上の上向きの力)が発生したとしても、接続装置100とウエハキャリア10とが引き離されることなく、ウエハキャリア10の位置を安定させると共に、パージガスの流量を大きくして、ウエハキャリア10の雰囲気を置換するために要するパージ時間を短縮することができる。
図3は、本発明の実施例2による接続装置200を示す説明図である。なお、図3Aは、接続装置200の正面図であり、図3Bは、接続装置200を下側から見た図であり、図3Cは、接続装置200の側面図である。
接続装置200は、連通口202が形成された基台201と、パージポート30に対向する対向面203に設けられたシール用リング204と、保持部210と、押し付け部220と、保持部210及び押し付け部220を駆動するカム部230等とを備えている。シール用リング204は、例えば、Oリングであって、連通口202の周縁に配置されている。
接続装置200は、保持部20によってパージポート30を保持した状態で、押付け部220によって基台201をパージポート30に押付ける機構を有する。
以下、具体的に説明する。カム部230は、保持部210と押付け部220との間に設けられ、保持用カム231と、押付け用カム233等とを備えている。この保持用カム231と押付け用カム233は、同軸のシャフト232に設けられている。また、この保持用カム231と押付け用カム233は、保持部210を駆動した後に、押付け部220を駆動するように、位相がずれている。
保持部210は、軸213に回転可能に支持された係合片211を有している。係合片211は、その一端には、パージポート30に形成されたフランジ部39と係合する爪部212が設けられ、他端には、保持用カム231と当接する保持用当接部214が設けられている。係合片211は、シャフト232の回転に伴い、保持用カム231に当接する保持用当接部214が変位することにより、爪部212とフランジ部39とが係合して、パージポート30を保持する。
押付け部220は、軸223に回転可能に支持された押付け片221を有している。押付け片221は、その一端には、基台201をパージポート30側に移動させる接触部222が設けられ、他端には、押付け用カム233に当接する押付け用当接部224が設けられている。押付け片221は、シャフト232の回転に伴い、押付け用カム233に当接する押付け用当接部224が変位することにより、パージポート30と対向面203とが密着するまで、基台201をパージポート30側に押付ける。
つぎに、接続装置200の動作について説明する。なお、図3Aは、左側には、パージポート30と基台201とを密着させた状態を示し、右側には、この密着させた状態を解除した状態を示している。
まず、接続装置200による密着動作について説明する。
接続装置200は、シャフト232の回転に伴い、保持用カム231に当接する保持用当接部214が変位する。これにより、係合片211が反時計方向に回転し(図3A右側)、保持部210の爪部212は、フランジ部39と係合する。爪部212とフランジ部39とが係合することにより、パージポート30は保持され、その位置が安定する。
その後、接続装置200は、シャフト232の回転に伴い、押付け用カム233に当接する押付け用当接部224が変位する。これにより、押付け片221が時計方向に回転し(図3A右側)、押付け部220の接触部222は、基台201と接触する。さらに、接触部222は、シャフト232の回転に伴い、パージポート30と対向面203とが密着するまで、基台201をパージポート30側に押付ける。
つぎに、接続装置200による密着状態を解除する動作について説明する。
接続装置200は、シャフト232の回転に伴い、押付け用カム233と当接する押付け用当接部224が変位する。これにより、押付け片221が時計方向に回転し(図3A左側)、押付け部220の接触部222は、基台201から離れる。
その後、接続装置200は、シャフト232の回転に伴い、保持用カム231に当接する保持用当接部214が変位する。これにより、係合片211が反時計方向に回転し(図3A左側)、保持部210の爪部212は、フランジ部39と離れる。
したがって、接続装置200によれば、位相の異なる保持用カム231と押付け用カム233との回転に従い、係合片211の爪部212と、パージポート30のフランジ部39とを係合させ、さらに、押付け片221の接触部222により、基台201をパージポート30側に移動させるようにしたので、パージガスの流量を大きくした場合であっても、パージポート30を確実に位置決めできるので、ウエハキャリア10に、パージガスの流量に伴う引き離し力が発生したとしても、接続装置200とウエハキャリア10とが引き離されることなく、ウエハキャリア10の位置を安定させると共に、パージガスの流量を大きくして、パージ時間を短縮することができる。
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
上述した溝部104は、対向面103に環状に形成されているが、これに限られず、空間を真空ポンプ等で減圧することにより、ガス流入口32と連通口102とを密着させることができるのであれば、環状に形成しなくてもよい。
上述した係合片211は、保持用カム231により駆動され、同じく、押付け片221は、押付け用カム233により駆動されているが、これに限られず、ソレノイド、エアシリンダ等を用いて、係合片211を駆動させて、爪部212とフランジ部39とを係合させ、さらに、押付け片221を駆動させて、接触部222で基台201を押付けるようにしてもよい。
上述した接続装置200は、押付け部220の代わりにエアシリンダを用いてもよい。すなわち、接続装置200は、エアシリンダの圧力を適宜調整し、このエアシリンダの圧力に伴う押付け力により、基台201をエアシリンダで直接押付けるようにしてもよい。
上述した接続装置200は、押付け片221の接触部222等に適宜の緩衝バネを設けてもよい。すなわち、接続装置200は、この緩衝バネを用いて、押付け片221が基台201を押付ける力を、適宜調整できるようにしてもよい。これにより、接続装置200は、その耐久性を高めることができ、長期的な使用に耐えることができる。
図1は、本発明の実施例1による接続装置が設けられたロードポートにウエハキャリアを載置した状態を示す図である。
図2は、本発明の実施例1による接続装置を示す説明図である。
接続装置100は、図1に示すように、不図示の自動搬送装置により搬送されてきたウエハキャリア10のパージポート30の位置に設けられている。
接続装置100は、ウエハキャリア10の雰囲気を置換するためのパージガスが流入するガス流入口32を有するパージポート30に接続される装置である。
接続装置100は、図2に示すように、連通口102が形成された基台101と、パージポート30に対向する対向面103に設けられたシール用リング105,106と、この対向面103に形成された溝部104等とを備えている。
また、接続装置100は、基台101とパージポート30とを接触させた位置で、溝部104とガス流入口32の周縁部32Aとから形成される空間の圧力を減圧する減圧部を有する。減圧部は、溝部104に連通する減圧用通路107と、減圧用通路107に接続され、上述した空間の空気を外部に輸送する不図示の真空ポンプ等とを備えている。
シール用リング105,106は、例えば、OリングやXリングであって、シール用リング105は、連通口102の周縁に配置され、シール用リング106は、溝部104の外側に配置されている。
溝部104は、基台101の対向面103に環状に形成されている。また、溝部104は、上述した空間を真空ポンプ等で減圧することにより、ガス流入口32と連通口102とを密着させる。
したがって、接続装置100によれば、パージポート30と、連通口102が形成された基台101とを接触させた位置で、対向面103に設けられた溝部104と、ガス流入口32の周縁部32Aとから形成される空間の圧力を減圧することにより、ガス流入口32と連通口102とを密着させるようにしたので、ウエハキャリア10に、パージガスの流量に伴う引き離し力(例えば、数kgf以上の上向きの力)が発生したとしても、接続装置100とウエハキャリア10とが引き離されることなく、ウエハキャリア10の位置を安定させると共に、パージガスの流量を大きくして、ウエハキャリア10の雰囲気を置換するために要するパージ時間を短縮することができる。
図3は、本発明の実施例2による接続装置200を示す説明図である。なお、図3Aは、接続装置200の正面図であり、図3Bは、接続装置200を下側から見た図であり、図3Cは、接続装置200の側面図である。
接続装置200は、連通口202が形成された基台201と、パージポート30に対向する対向面203に設けられたシール用リング204と、保持部210と、押し付け部220と、保持部210及び押し付け部220を駆動するカム部230等とを備えている。シール用リング204は、例えば、Oリングであって、連通口202の周縁に配置されている。
接続装置200は、保持部20によってパージポート30を保持した状態で、押付け部220によって基台201をパージポート30に押付ける機構を有する。
以下、具体的に説明する。カム部230は、保持部210と押付け部220との間に設けられ、保持用カム231と、押付け用カム233等とを備えている。この保持用カム231と押付け用カム233は、同軸のシャフト232に設けられている。また、この保持用カム231と押付け用カム233は、保持部210を駆動した後に、押付け部220を駆動するように、位相がずれている。
保持部210は、軸213に回転可能に支持された係合片211を有している。係合片211は、その一端には、パージポート30に形成されたフランジ部39と係合する爪部212が設けられ、他端には、保持用カム231と当接する保持用当接部214が設けられている。係合片211は、シャフト232の回転に伴い、保持用カム231に当接する保持用当接部214が変位することにより、爪部212とフランジ部39とが係合して、パージポート30を保持する。
押付け部220は、軸223に回転可能に支持された押付け片221を有している。押付け片221は、その一端には、基台201をパージポート30側に移動させる接触部222が設けられ、他端には、押付け用カム233に当接する押付け用当接部224が設けられている。押付け片221は、シャフト232の回転に伴い、押付け用カム233に当接する押付け用当接部224が変位することにより、パージポート30と対向面203とが密着するまで、基台201をパージポート30側に押付ける。
つぎに、接続装置200の動作について説明する。なお、図3Aは、左側には、パージポート30と基台201とを密着させた状態を示し、右側には、この密着させた状態を解除した状態を示している。
まず、接続装置200による密着動作について説明する。
接続装置200は、シャフト232の回転に伴い、保持用カム231に当接する保持用当接部214が変位する。これにより、係合片211が反時計方向に回転し(図3A右側)、保持部210の爪部212は、フランジ部39と係合する。爪部212とフランジ部39とが係合することにより、パージポート30は保持され、その位置が安定する。
その後、接続装置200は、シャフト232の回転に伴い、押付け用カム233に当接する押付け用当接部224が変位する。これにより、押付け片221が時計方向に回転し(図3A右側)、押付け部220の接触部222は、基台201と接触する。さらに、接触部222は、シャフト232の回転に伴い、パージポート30と対向面203とが密着するまで、基台201をパージポート30側に押付ける。
つぎに、接続装置200による密着状態を解除する動作について説明する。
接続装置200は、シャフト232の回転に伴い、押付け用カム233と当接する押付け用当接部224が変位する。これにより、押付け片221が時計方向に回転し(図3A左側)、押付け部220の接触部222は、基台201から離れる。
その後、接続装置200は、シャフト232の回転に伴い、保持用カム231に当接する保持用当接部214が変位する。これにより、係合片211が反時計方向に回転し(図3A左側)、保持部210の爪部212は、フランジ部39と離れる。
したがって、接続装置200によれば、位相の異なる保持用カム231と押付け用カム233との回転に従い、係合片211の爪部212と、パージポート30のフランジ部39とを係合させ、さらに、押付け片221の接触部222により、基台201をパージポート30側に移動させるようにしたので、パージガスの流量を大きくした場合であっても、パージポート30を確実に位置決めできるので、ウエハキャリア10に、パージガスの流量に伴う引き離し力が発生したとしても、接続装置200とウエハキャリア10とが引き離されることなく、ウエハキャリア10の位置を安定させると共に、パージガスの流量を大きくして、パージ時間を短縮することができる。
以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
上述した溝部104は、対向面103に環状に形成されているが、これに限られず、空間を真空ポンプ等で減圧することにより、ガス流入口32と連通口102とを密着させることができるのであれば、環状に形成しなくてもよい。
上述した係合片211は、保持用カム231により駆動され、同じく、押付け片221は、押付け用カム233により駆動されているが、これに限られず、ソレノイド、エアシリンダ等を用いて、係合片211を駆動させて、爪部212とフランジ部39とを係合させ、さらに、押付け片221を駆動させて、接触部222で基台201を押付けるようにしてもよい。
上述した接続装置200は、押付け部220の代わりにエアシリンダを用いてもよい。すなわち、接続装置200は、エアシリンダの圧力を適宜調整し、このエアシリンダの圧力に伴う押付け力により、基台201をエアシリンダで直接押付けるようにしてもよい。
上述した接続装置200は、押付け片221の接触部222等に適宜の緩衝バネを設けてもよい。すなわち、接続装置200は、この緩衝バネを用いて、押付け片221が基台201を押付ける力を、適宜調整できるようにしてもよい。これにより、接続装置200は、その耐久性を高めることができ、長期的な使用に耐えることができる。
Claims (9)
- 基板を収納する基板収納容器に設けられ、前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスが流入するガス流入口を有する雰囲気置換ポートに接続される接続装置であって、
基台と、
前記基台に形成された連通口と、
前記ガス流入口と前記連通口とを密着させる密着機構と、
を含む接続装置。 - 請求の範囲1に記載の接続装置において、
前記密着機構は、
前記雰囲気置換ポートに対向する対向面に設けられたシール部と、
前記対向面に形成された溝部と、
前記基台と前記雰囲気置換ポートとを接触させた位置で、前記溝部と前記ガス流入口の周縁部とから形成される空間の圧力を減圧する減圧部と、
を含むことを特徴とする接続装置。 - 請求の範囲2に記載の接続装置において、
前記減圧部は、
前記溝部に連通する減圧用通路と、
前記減圧用通路に接続され、前記空間の空気を外部に輸送する輸送部と、
を含むことを特徴とする接続装置。 - 請求の範囲2に記載の接続装置において、
前記シール部は、前記連通口の周縁に配置されているシール用リングであること、
を特徴とする接続装置。 - 請求の範囲1に記載の接続装置において、
前記密着機構は、
前記雰囲気置換ポートに対向する対向面に設けられたシール部と、
前記雰囲気置換ポートを保持する保持部と、
前記保持部により保持された前記雰囲気置換ポートに、前記対向面を押付ける押付け部と、
を含むことを特徴とする接続装置。 - 請求の範囲5に記載の接続装置において、
前記保持部は、
前記雰囲気置換ポートに形成されたフランジ部と係合する係合部と、
前記係合部を駆動するための第1カム部と、
前記カム部に当接する第1当接部と、
を含み、
前記第1当接部が前記第1カム部に当接した状態で変位することにより、前記係合部は、前記フランジ部と係合すること、
を特徴とする接続装置。 - 請求の範囲6に記載の接続装置において、
前記押付け部は、
前記基台を移動させる移動部と、
前記移動部を駆動するための第2カム部と、
前記第2カム部に当接する第2当接部と、
を含み、
前記第2当接部が前記第2カム部に当接した状態で変位することにより、前記移動部は、前記雰囲気置換ポートと前記対向面とが密着するまで、前記基台を前記雰囲気置換ポートに押付けること、
を特徴とする接続装置。 - 請求の範囲6に記載の接続装置において、
前記第1カム部と前記第2カム部とは、同軸に設けられ、
前記保持部を駆動した後に、前記押付け部を駆動するように、位相がずれていること、
を特徴とする接続装置。 - 請求の範囲5に記載の接続装置において、
前記シール部は、前記連通口の周縁に配置されていること、
を特徴とする接続装置。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090804 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091208 |