CN104380455B - 盖开闭装置 - Google Patents

Abstract

一种盖开闭装置(1)，具备装置主体(2)、锁开闭机构(30)以及容器固定部(80)。在装置主体载置箱体(70)，该箱体具备容器主体(71)、成为能够相对于容器主体开闭的底部的盖部(72)、以及进行盖部相对于容器主体的开锁以及上锁的锁机构(74)。锁开闭机构使在箱体载置于装置主体时与该锁机构卡合的卡合部(35)移动，从而进行用于使该锁机构进行开锁的开锁动作、以及用于使该锁机构进行上锁的上锁动作。容器固定部在使锁机构进行开锁的情况下，与锁开闭机构联动，使容器主体固定于装置主体。

Description

盖开闭装置

技术领域

本发明涉及在收纳被收纳物的收纳容器中进行盖部相对于容器主体的开闭的盖开闭装置。

背景技术

在半导体装置或者液晶显示装置等的制造工厂的洁净室中，半导体晶片或者玻璃基板等以收纳于收纳容器的状态被输送。因此，在收纳容器与各种装置之间移载被收纳物时，需要使用盖开闭装置进行盖部相对于容器主体的开闭。以往，为了迅速进行盖部相对于容器主体的开闭，提出了在盖开闭装置设置平衡收纳容器的内外压力差的压力平衡机构等各种技术(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利第3180600号公报

在上述半导体装置或者液晶显示装置等的制造工厂中，严格要求各种部件的输送效率的提高。因此，为了提高输送效率，在将盖部安装于容器主体时，也要求防止容器主体的抬起以及错位从而准确地安装盖部。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种能够在容器主体准确安装盖部的盖开闭装置。

本发明的一个方面的盖开闭装置对具备收纳被收纳物的容器主体、成为能够相对于容器主体开闭的底部且载置被收纳物的盖部、以及进行盖部相对于容器主体的开锁以及上锁的锁机构的收纳容器，进行盖部相对于容器主体的开闭，上述盖开闭装置具备：装置主体，其载置收纳容器；移动部，其具有在收纳容器载置于装置主体时与锁机构卡合的卡合部，该移动部通过使卡合部移动而进行用于使锁机构实施开锁的开锁动作、以及用于使锁机构实施上锁的上锁动作；以及容器固定部，在使锁机构进行开锁的情况下，该容器固定部与移动部联动而将容器主体固定于装置主体。

在该盖开闭装置中，在使移动部移动而使锁机构进行开锁的情况下，容器固定部与移动部联动，将容器主体固定于装置主体。这样，与锁机构的开锁动作联动地将容器主体固定于装置主体，所以例如在锁机构为开锁状态时安装盖部的情况下，也能够抑制容器主体抬起以及盖部错位等的产生。因此，根据该盖开闭装置，能够将盖部准确安装于容器主体。

这里，优选，上述移动部还具有：多个转动部件，所述转动部件具有卡合部，并且在装置主体支承为能够转动而使卡合部移动；连结部件，其至少将一对转动部件连结并使所述转动部件转动；以及致动器，其安装于装置主体，对连结部件施加驱动力，容器固定部与连结部件的移动联动。根据该结构，使用连结部件至少连结一对转动部件，从而能够使设置于该一对转动部件的卡合部在同一时刻动作。由此，能够同时进行与多个转动部件的卡合部对应设置的多个锁机构的开锁动作以及上锁动作。因此，能够抑制多个锁机构的开锁动作以及上锁动作产生差别而产生例如容器主体抬起以及盖部错位等。因此，根据该盖开闭装置，能够将盖部更准确地安装于容器主体。

优选，容器固定部具有按压容器主体的按压部件、和将按压部件向容器主体施力的施力部件，移动部还具有联动部件，该联动部件以如下方式动作：在实施上锁动作时使按压部件朝克服施力部件的作用力的方向离开容器主体，在实施开锁动作时允许施力部件对按压部件的施力。根据该结构，在固定容器主体时能够利用施力部件的作用力将按压部件按压于容器主体，所以不需要用于固定容器主体的特别的致动器等，能够简化装置结构。

优选，容器固定部还具有手柄部，该手柄部的基端侧在装置主体支承为能够转动且该手柄部的前端侧能够移动，按压部件是能够与容器主体弹性抵接的弹性辊，能够转动地安装于手柄部的前端侧，施力部件是对上述手柄部的前端侧施力的弹簧，联动部件是凸轮从动件，该凸轮从动件固定于该连结部件上的能够伴随着连结部件的移动而与手柄部抵接以及分离的位置，并使手柄部转动。根据该结构，使容器固定部为能够转动的手柄部，利用凸轮从动件使手柄部转动，从而能够使弹性辊对容器主体的按压动作以及按压的解除动作与移动部的移动联动。由此，不需要用于使手柄部转动的专用的致动器等，能够简化装置结构，能够实现节省电力。

根据本发明的一个方面，可提供能够将盖部准确安装于容器主体的盖开闭装置。

附图说明

图1是具备本发明的一实施方式的盖开闭装置的储料器的主视图。

图2是储料器沿图1的II－II线的剖视图。

图3是储料器沿图1的III－III线的剖视图。

图4是本发明的一实施方式的盖开闭装置的纵剖视图。

图5是图4的盖开闭装置的俯视图。

图6是其它状态下的图4的盖开闭装置的纵剖视图。

图7是利用图4的盖开闭装置开闭盖部的箱体的仰视图。

图8是图7的箱体的锁机构的放大图。

图9是示出盖开闭装置1与锁开闭机构30的配置的俯视图。

图10是容器固定部周围的放大剖视图。

图11是沿图9的XI－XI线的剖视图。

图12是沿图9的XII－XII线的剖视图。

图13是其它状态下的图9的盖开闭装置的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明本发明的一实施方式。此外，在各图中对相同或者相当的部分标注相同的附图标记并省略重复的说明。

[储料器的结构]

图1是具备本发明的一实施方式的盖开闭装置的储料器的主视图。图2是储料器沿图1的II－II线的剖视图，图3是储料器沿图1的III－III线的剖视图。如图1～图3所示，储料器50具备中间掩膜用旋转架51和箱体用旋转架52。中间掩膜用旋转架51保管多个在半导体晶片或者玻璃基板等的表面曝光规定图案时使用的矩形板状的中间掩膜R。箱体用旋转架52保管多个空状态下的用于收纳并输送中间掩膜R的箱体70。此外，用于保管中间掩膜R的箱体70通常具有遵照半导体等国际标准即SEMI标准的结构。这样的储料器50设置于半导体装置或者液晶显示装置等的制造工厂的洁净室。

中间掩膜用旋转架51通过驱动部53而绕轴线CL旋转。中间掩膜用旋转架51具有沿其旋转方向并设的多个块51a。各块51a能够在上下多层保管中间掩膜R。箱体用旋转架52在中间掩膜用旋转架51的下侧通过驱动部54而绕轴线CL旋转。箱体用旋转架52能够沿其旋转方向保管多个箱体70。

储料器50还具备中间掩膜输送装置55、箱体输送装置56以及盖开闭装置1。中间掩膜输送装置55是沿升降引导器57升降的机械臂，并在盖开闭装置1与中间掩膜用旋转架51之间输送中间掩膜R。箱体输送装置56是沿升降引导器58升降的机械臂，并在盖开闭装置1与箱体用旋转架52之间输送空的箱体70。盖开闭装置1是被称为箱体开启器的装置，进行箱体70的开闭。在盖开闭装置1的附近设置有暂时保管已收纳有中间掩膜R的箱体70以及空的箱体70的箱体用固定架59。

上述旋转架51、52、驱动部53、54、输送装置55、56、固定架59以及盖开闭装置1配置于外壳61内。在外壳61设置有例如能够供顶棚行驶车出入的端口62、63。收纳有中间掩膜R的箱体70经由端口62进入外壳61内。另一方面，收纳有中间掩膜R的箱体70经由端口63输出至外壳61外。

在外壳61的上壁设置有洁净气体供给装置64。洁净气体供给装置64将例如净化空气或者氮气等洁净气体作为直流式供给至外壳61内。供给到外壳61内的洁净气体从外壳61的下部向外壳61外排出。

这里，对收纳有中间掩膜R的箱体70进入的情况下的储料器50的动作进行说明。例如若利用顶棚行驶车向端口62输送箱体70，则该箱体70被箱体输送装置56输送至盖开闭装置1。若箱体70被输送至盖开闭装置1，则收纳于该箱体70的中间掩膜R通过中间掩膜输送装置55而储存于中间掩膜用旋转架51。另一方面，残留于盖开闭装置1的空的箱体70通过箱体输送装置56储存于箱体用旋转架52。此外，在多个箱体70连续进入外壳61内的情况下，箱体70被暂时保管于箱体用固定架59，依次输送至盖开闭装置1。

接下来，对收纳有中间掩膜R的箱体70输出的情况下的储料器50的动作进行说明。若利用中间掩膜输送装置55从中间掩膜用旋转架51向盖开闭装置1输送中间掩膜R，则该中间掩膜R收纳于被箱体输送装置56从箱体用旋转架52输送到盖开闭装置1的空的箱体70。收纳有中间掩膜R的箱体70通过箱体输送装置56从盖开闭装置1输送至端口63，通过例如顶棚行驶车从端口63输送至规定的输送目的地。此外，在多个箱体70连续输出至外壳61外的情况下，箱体70被暂时保管于箱体用固定架59，依次输送至端口63。

[盖开闭装置的结构]

图4是本发明的一实施方式的盖开闭装置的纵剖视图，图5是图4的盖开闭装置的俯视图。此外，在以下的说明中，将中间掩膜R相对于盖开闭装置1导出导入的一侧称为“前侧”，将其相反的一侧称为“后侧”。将从前侧观察处于直立状态的盖开闭装置1的情况下的左侧简称为“左侧”，将从前侧观察处于直立状态的盖开闭装置1的情况下的右侧简称为“右侧”。

如图4以及5所示，盖开闭装置1具备立方体箱状的装置主体2。装置主体2具有上壁3、下壁4、侧壁5以及隔壁6。装置主体2的内部空间被隔壁6上下分为中间掩膜导出导入区域2a和设备设置区域2b。其中，中间掩膜导出导入区域2a与设备设置区域2b在隔壁6的左侧的区域以及右侧的区域连通。在上壁3设置有剖面为矩形的凹部3a，在凹部3a的底面设置有剖面为矩形的开口3b。凹部3a的底面成为载置由箱体输送装置56输送来的箱体(收纳容器)70的载置面10。此外，箱体70具备收纳中间掩膜(被收纳物)R的立方体箱状的容器主体71、和载置中间掩膜R的矩形板状的盖部72。盖部72成为能够相对于容器主体71开闭的底部。在容器主体71的顶部设置有供箱体输送装置56把持的被把持部73。盖开闭装置1是对收纳中间掩膜R的箱体70进行使盖部72相对于容器主体71开闭的装置。

在装置主体2内配置有在中间掩膜导出导入区域2a升降的升降台7。升降台7具有矩形板状的主体部8、和设置于主体部8的下端部的矩形板状的凸缘部9。在升降台7上升时，主体部8配置于开口3b内，凸缘部9与上壁3的内表面抵接。此时，上壁3的开口3b由设置于凸缘部9的矩形环状的密封部件11气密性地封闭，主体部8的上表面8a与载置面10(即，凹部3a的底面)处于同一面。

在装置主体2内配置有使升降台7升降的气缸12。气缸12具有固定于下壁4的内表面的缸体部12a、和基端部插入缸体部12a内的杆部12b。杆部12b的前端部经由设置于隔壁6的中央部分且剖面为矩形的开口6a而固定于升降台7的下表面。此外，在装置主体2内的设备设置区域2b设置有用于调节气体相对于气缸12的导出导入的电磁阀等各种设备。为了使升降台7升降，可以使用多个气缸，也可以代替气缸而使用其它致动器。

在装置主体2的前侧的侧壁5设置有将外部与装置主体2内的中间掩膜导出导入区域2a连通的剖面为矩形的中间掩膜导出导入口5a。中间掩膜导出导入口5a通过经由气缸等致动器而动作的封闭板14从内侧进行开闭。在利用封闭板14将中间掩膜导出导入口5a封闭时，中间掩膜导出导入口5a由设置于封闭板14的矩形环状的密封部件15气密性地封闭。

这里，对收纳有中间掩膜R的箱体70进入的情况下的盖开闭装置1的动作进行说明。如图4所示，在上壁3的开口3b被升降台7气密性地封闭、且中间掩膜导出导入口5a被封闭板14气密性地封闭的状态下，盖开闭装置1待机。在该状态下，若被箱体输送装置56从端口62输送到盖开闭装置1的箱体70载置于盖开闭装置1的载置面10，则该箱体70的锁机构通过盖开闭装置1而成为开锁状态(详细后述)。

接着，如图6所示，升降台7与载置有中间掩膜R的盖部72一起下降，将中间掩膜R配置于中间掩膜导出导入区域2a。若封闭板14动作而使中间掩膜导出导入口5a开放，则中间掩膜输送装置55经由中间掩膜导出导入口5a进入中间掩膜导出导入区域2a，将配置于中间掩膜导出导入区域2a的中间掩膜R储存于中间掩膜用旋转架51。

接着，若封闭板14动作使中间掩膜导出导入口5a被封闭板14气密性地封闭，并且升降台7与盖部72一起上升而使上壁3的开口3b被升降台7气密性地封闭，则载置于盖开闭装置1的载置面10的空的箱体70的锁机构通过盖开闭装置1而成为上锁状态(详细后述)。锁机构处于上锁状态的空的箱体70通过箱体输送装置56储存于箱体用旋转架52。

接下来，对收纳有中间掩膜R的箱体70输出的情况下的储料器50的动作进行说明。如图4所示，在上壁3的开口3b被升降台7气密性地封闭、且中间掩膜导出导入口5a被封闭板14气密性地封闭的状态下，盖开闭装置1待机。在该状态下，若被箱体输送装置56从箱体用旋转架52输送到盖开闭装置1的空的箱体70载置于盖开闭装置1的载置面10，则该箱体的锁机构通过盖开闭装置1而成为开锁状态(详细后述)。

接着，如图6所示，升降台7与盖部72一起下降，盖部72配置于中间掩膜导出导入区域2a。若封闭板14动作而使中间掩膜导出导入口5a开放，则从中间掩膜用旋转架51输送中间掩膜R的中间掩膜输送装置55经由中间掩膜导出导入口5a进入中间掩膜导出导入区域2a，将中间掩膜R载置于在中间掩膜导出导入区域2a配置的盖部72。

接着，若封闭板14动作使中间掩膜导出导入口5a被封闭板14气密性地封闭，并且升降台7与载置有中间掩膜R盖部72一起上升而使上壁3的开口3b被升降台7气密性地封闭，则载置于盖开闭装置1的载置面10的箱体70的锁机构通过盖开闭装置1而成为上锁状态(详细后述)。锁机构处于上锁状态的箱体70通过箱体输送装置56输送至端口62。

[盖开闭装置的锁开闭机构的结构]

在说明盖开闭装置1的锁开闭机构的之前，先说明箱体70的锁机构。图7是利用图4的盖开闭装置开闭盖部的箱体的仰视图，图8是图7的箱体的锁机构的放大图。如图7所示，在箱体70中，容器主体71的底部设置有多个锁机构74。更具体而言，锁机构74以在容器主体71的前侧的侧壁的底部设置有一对且在容器主体71的后侧的侧壁的底部设置有一对的方式，在容器主体71的底部设置有多个。锁机构74进行盖部72相对于容器主体71的上锁以及开锁。

如图8所示，各锁机构74具有臂75、和压缩弹簧等施力部件76。臂75的基端部被轴77轴支承为能够在容器主体71的底部转动。另一方面，在臂75的前端部设置有卡合部78。卡合部78与设置于盖部72的切口部72a卡合。切口部72a以与各锁机构74的卡合部78对应的方式在盖部72设置有多个，并向对应的卡合部78侧以及下侧开口。此外，在卡合部78设置有朝下侧开口的长孔状的凹部78a。该凹部78a与后述的盖开闭装置1的卡合部35A～35D卡合。

施力部件76配置在容器主体71与臂75之间，以使卡合部78与切口部72a卡合的方式对臂75施力。由此，在相对于盖开闭装置1输送箱体70的情况下，使卡合部78与切口部72a卡合，锁机构74成为上锁状态(参照图8的(a))。另一方面，在相对于容器主体71装卸盖部72的情况下，使卡合部78脱离切口部72a，锁机构74成为开锁状态(参照图8的(b))。这样，锁机构74进行盖部72相对于容器主体71的上锁以及开锁。此外，以上的锁机构74的结构是一个例子，在具有符合SEMI标准等的结构的箱体，只要是能够进行盖部72相对于容器主体71的上锁以及开锁，则也可以是其它结构。

接下来，说明盖开闭装置1的锁开闭机构。图9是示出盖开闭装置1与锁开闭机构30的配置的俯视图。如图9所示，锁开闭机构(移动部)30配置于在上壁3设置的凹部3c内。凹部3c以在开口3b的周围部分从前侧部分经由右侧部分而到达后侧部分的方式延伸。

锁开闭机构30具有板状的第一转动部件34A、34B、34C、34D、锁定销等卡合部35A、35B、35C、35D、板状的第一连结部件37A、37B、一对形成为板状的第二转动部件38、板状的第二连结部件39、以及气缸(致动器)33。第一转动部件34A～34D分别被轴承36支承为能够在凹部3c的底面转动。第一转动部件34A～34D以在箱体70载置于盖开闭装置1的载置面10时与该箱体70的各锁机构74在上下方向对置的方式配置。

在前侧(即，箱体70载置于载置面10时相对于盖部72位于前侧)的第一转动部件34A、34B中，卡合部35A、35B相对于轴承36在左侧的位置立设于第一转动部件34A、34B各自的上表面。在前侧的第一转动部件34A的下表面，且在相对于轴承36靠右侧的位置立设有弹簧卡合部42A。另一方面，在后侧(即，箱体70载置于载置面10时相对于盖部72位于后侧)的第一转动部件34C、34D中，卡合部35C、35D相对于轴承36在右侧的位置立设于第一转动部件34C、34D各自的上表面。在后侧的第一转动部件34D的下表面，且在相对于轴承36靠左侧的位置立设有弹簧卡合部42D。

前侧的第一连结部件37A是在凹部3c的前侧部分沿左右方向延伸的杆状的部件，在相对于轴承36靠前侧的位置，能够转动地安装于各前侧的一对第一转动部件34A、34B。这样，前侧的第一连结部件37A将前侧的一对第一转动部件34A、34B连结，使该第一转动部件34A、34B转动。另一方面，后侧的第一连结部件37B是在凹部3c的后侧部分沿左右方向延伸的杆状的部件，在相对于轴承36靠后侧的位置，能够转动地安装于各后侧的一对第一转动部件34C、34D。这样，后侧的第一连结部件37B将后侧的一对第一转动部件34C、34D连结，使该第一转动部件34C、34D转动。

一对第二转动部件38各自被轴承41支承为能够在凹部3c的底面转动。在前侧的第二转动部件38，且在相对于轴承41靠前侧的位置，能够转动地安装有前侧的第一连结部件37A的右侧端部。这样，前侧的第一连结部件37A与前侧的第二转动部件38连接。另一方面，在后侧的第二转动部件38，且在相对于轴承41靠后侧的位置，能够转动地安装有后侧的第一连结部件37B的右侧端部。这样，后侧的第一连结部件37B与后侧的第二转动部件38连接。

第二连结部件39是在凹部3c的右侧部分沿前后方向延伸的杆状的部件，在相对于轴承41靠右侧的位置，能够转动地安装于各一对第二转动部件38。这样，第二连结部件39将一对第二转动部件38连结，使该第二转动部件38转动。

气缸33是对第一连结部件37A、37B施加驱动力的致动器，并配置于第二连结部件39的下侧。气缸33具有能够转动地安装于装置主体2的缸体部33a、和基端部插入缸体部33a内的杆部33b。杆部33b的前端部能够转动地安装于第二连结部件39的中间部。

如图9所示，在上壁3的前侧的缘部附近设置有容器固定部80A。同样，在上壁3的后侧的缘部附近设置有容器固定部80B。以下，详细说明容器固定部80A、80B。图10是容器固定部周围的放大剖视图，图10(a)示出了设置于前侧的容器固定部，图10(b)示出了设置于后侧的容器固定部。图11是沿图9的XI－XI线的剖视图，图12是沿图9的XII－XII线的剖视图。

如图10(a)、图11以及图12所示，容器固定部80A具备手柄部81A、弹性辊(按压部件)82A、弹簧卡合部84A、弹簧(施力部件)85A。手柄部81A的基端侧经由隔离物86A连结于上壁3。此外，隔离物86A从上壁3的前侧的缘部附近朝第一连结部件37A上延伸，在第一连结部件37A上能够转动地与手柄部81A的基端侧连结。此外，手柄部81A与隔离物86A的连结部分是开口3b的左右方向的大致中间位置。手柄部81A的前端向左侧延伸。

弹性辊82A能够转动地安装于手柄部81A的前端侧的上表面，并且能够与容器主体71的外周面弹性抵接。弹簧卡合部84A立设于手柄部81A的前端的下表面。弹簧85A的一端与立设于第一转动部件34A的下表面的弹簧卡合部42A卡合，另一端与弹簧卡合部84A卡合。弹簧85A向使弹簧卡合部42A与弹簧卡合部84A相互靠近的方向对两者施力。

这里，在第一连结部件37A的上表面设置有凸轮从动件(联动部件)45A，该凸轮从动件45A能够伴随着第一连结部件37A的移动而与手柄部81A抵接以及分离。在手柄部81A的与凸轮从动件45A抵接的部位设置有凸轮面83A。凸轮从动件45A与凸轮面83A抵接，从而以使手柄部81A的前端侧(弹性辊82A侧)远离开口3b的方式，使手柄部81A转动。具体而言，在第一连结部件37A向左侧滑动时，凸轮从动件45A与凸轮面83A抵接，凸轮从动件45A将凸轮面83A向前侧顶出，由此，手柄部81A转动。相反，在第一连结部件37A向右侧滑动时，凸轮从动件45A与凸轮面83A分离，通过弹簧85A的作用力，以使手柄部81A的前端侧向开口3b侧移动的方式使手柄部81A转动。

另一方面，如图10(b)所示，与容器固定部80A相同，容器固定部80B具备手柄部81B、弹性辊(按压部件)82B、弹簧卡合部84B、弹簧(施力部件)85B。手柄部81B的基端侧经由隔离物86B连结于上壁3。此外，隔离物86B从上壁3的后侧的缘部附近朝第一连结部件37B上延伸，在第一连结部件37B上能够转动地与手柄部81B的基端侧连结。此外，手柄部81B与隔离物86B的连结部分是开口3b的左右方向的大致中间位置。手柄部81B的前端向右侧延伸。

弹性辊82B能够转动地安装于手柄部81B的前端侧的上表面，并且能够与容器主体71的外周面弹性抵接。弹簧卡合部84B立设于手柄部81B的前端的下表面。弹簧85B的一端与立设于第一转动部件34D的下表面的弹簧卡合部42D卡合，另一端与弹簧卡合部84B卡合。弹簧85B向使弹簧卡合部42D与弹簧卡合部84B相互靠近的方向对两者施力。

这里，在第一连结部件37B的上表面设置有凸轮从动件(联动部件)45B，该凸轮从动件45B能够伴随着第一连结部件37B的移动而与手柄部81B抵接以及分离。在手柄部81B的与凸轮从动件45B抵接的部位设置有凸轮面83B。凸轮从动件45B与凸轮面83B抵接，从而以使手柄部81B的前端侧(弹性辊82B侧)远离开口3b的方式使手柄部81B转动。具体而言，在第一连结部件37B向右侧滑动时，凸轮从动件45B与凸轮面83B抵接，凸轮从动件45B将凸轮面83B向后侧顶出，由此，手柄部81B转动。相反，在第一连结部件37B向左侧滑动时，凸轮从动件45B与凸轮面83B分离，通过弹簧85B的作用力，以使手柄部81B的前端侧向开口3b侧移动的方式使手柄部81B转动。

如图5所示，各卡合部35A～35D分别经由多个设置于顶板部3d的长孔状的开口3e向上侧突出，该顶板部3d成为上壁3的一部分且覆盖凹部3c。容器固定部80A、80B分别经由设置于顶板部3d的开口3f、3g向上侧突出。由此，若箱体70载置于盖开闭装置1的载置面10，则在上下方向对置的卡合部35A～35D与该箱体70的各锁机构74的凹部78a卡合。容器固定部80A、80B的弹性辊82A、82B分别与容器主体71的外周面对置。

这里，对用于使箱体70的锁机构74进行开锁的锁开闭机构30的开锁动作进行说明。如图5所示，在设置于顶板部3d的长孔状的各开口3e中卡合部35A～35D位于内侧(即，开口3b侧)、容器固定部80A的弹性辊82A以及容器固定部80B的弹性辊82B位于外侧(即，离开开口3b一侧)的状态下，锁开闭机构30待机。此时，锁开闭机构30的第一连结部件37A、37B、第二连结部件39以及气缸33处于图9所示的状态。在该状态下，若箱体70载置于盖开闭装置1的载置面10，则在上下方向对置的卡合部35A～35D与该箱体70中处于上锁状态的各锁机构74的凹部78a(参照图8的(a))卡合。

接着，如图13所示，在锁开闭机构30中，相对于缸体部33a进行气体的导出导入从而使杆部33b向后侧滑动。由此，前侧的第二转动部件38向俯视逆时针方向转动，使前侧的第一连结部件37A向右侧移动。进而，前侧的第一转动部件34A、34B向俯视逆时针方向转动，使卡合部35A、35B向前侧移动。另一方面，后侧的第二转动部件38向俯视逆时针方向转动，使后侧的第一连结部件37B向左侧移动。进而，后侧的一对第一转动部件34C、34D向俯视逆时针方向转动，使卡合部35A～35D向后侧移动。即，在设置于顶板部3d的长孔状的各开口3e成为卡合部35A～35D位于外侧(即，与开口3b相反的一侧)的状态。由此，在箱体70的锁机构74中，卡合部78脱离切口部72a，锁机构74成为开锁状态(参照图8的(b))，能够从容器主体71取下盖部72。

使前侧的第一连结部件37A向右侧移动，第一转动部件34A向俯视逆时针方向转动，从而借助与弹簧卡合部42A卡合的弹簧85A的作用力使手柄部81A的前端侧(安装有弹性辊82A一侧)向开口3b侧移动。此时，凸轮从动件45A离开凸轮面83A，所以允许手柄部81A的前端侧向开口3b侧移动。另一方面，使后侧的第一连结部件37B向左侧移动，第一转动部件34D向俯视逆时针方向转动，从而借助与弹簧卡合部42D卡合的弹簧85B的作用力使手柄部81B的前端侧(安装有弹性辊82B一侧)向开口3b侧移动。此时，凸轮从动件45B离开凸轮面83B，所以允许手柄部81B的前端侧向开口3b侧移动。

即，与锁开闭机构30的开锁动作联动地使弹性辊82A、82B向开口3b侧移动，从而容器主体71的外周面被弹性辊82A、82B夹住，容器主体71相对于装置主体2固定。此外，通过弹簧85A、85B的作用力进行弹性辊82A、82B对容器主体71的固定。因此，即使容器主体71的大小产生了差别，也能够很好地固定容器主体71。

接下来，对用于使箱体70的锁机构74进行上锁的锁开闭机构30的上锁动作进行说明。在设置于顶板部3d的长孔状的各开口3e中卡合部35A～35D位于外侧(即，与开口3b相反的一侧)的状态下，锁开闭机构30待机。此时，锁开闭机构30的第一连结部件37A、37B、第二连结部件39以及气缸33处于图13所示的状态。成为在上下方向对置的卡合部35A～35D与该箱体70中处于开锁状态的各锁机构74的凹部78a(参照图8的(b))卡合的状态。

在该状态下，若盖部72安装于容器主体71，则如图9所示，在锁开闭机构30中，相对于缸体部33a进行气体的导出导入从而使杆部33b向前侧滑动。由此，前侧的第二转动部件38向俯视顺时针方向转动，使前侧的第一连结部件37A向左侧移动。而且，前侧的一对第一转动部件34A、34B向俯视顺时针方向转动，使卡合部35A、35B向后侧移动。另一方面，后侧的第二转动部件38向俯视顺时针方向转动，使后侧的第一连结部件37B向右侧移动。而且，后侧的一对第一转动部件34C、34D向俯视顺时针方向转动，使卡合部35C、35D向前侧移动。即，如图5所示，在设置于顶板部3d的长孔状的各开口3e中卡合部35A～35D成为位于内侧(即，开口3b侧)的状态。由此，在箱体70的锁机构74中，卡合部78与切口部72a卡合，锁机构74成为上锁状态(参照图8的(a))。

使前侧的第一连结部件37A向左侧移动，第一转动部件34A向俯视顺时针方向转动，从而解除弹簧85A对手柄部81A的前端侧(安装有弹性辊82A一侧)的施力。而且，随着第一连结部件37A向左侧移动，凸轮从动件45A与容器固定部80A的凸轮面83A抵接，凸轮从动件45A将手柄部81A的前端侧向克服弹簧85A的作用力的方向(前侧)顶出。由此，解除弹性辊82A对容器主体71的固定。另一方面，使后侧的第一连结部件37B向右侧移动，第一转动部件34D向俯视顺时针方向转动，从而解除弹簧85B对手柄部81B的前端侧(安装有弹性辊82B一侧)的施力。而且，随着第一连结部件37B向右侧移动，凸轮从动件45B与容器固定部80B的凸轮面83B抵接，凸轮从动件45B将手柄部81B的前端侧向克服弹簧85B的作用力的方向(后侧)顶出。由此，解除弹性辊82B对容器主体71的固定。

如以上说明那样，在盖开闭装置1中，在使锁开闭机构30的第一连结部件37A、37B等移动而进行箱体70的锁机构74的开锁的情况下，与第一连结部件37A、37B联动，容器固定部80A、80B将容器主体71固定于装置主体2。这样，与锁机构74的开锁动作联动地将容器主体71固定于装置主体2，所以例如在锁机构74为开锁状态时安装盖部72的情况下，也能够抑制容器主体71抬起以及盖部72错位等的产生。因此，根据该盖开闭装置1，能够将盖部72准确地安装于容器主体71。

分别在第一转动部件34A～34D设置卡合部35A～35D，利用第一连结部件37A、37B、第二转动部件38以及第二连结部件39连结第一转动部件34A～34D。由此，能够使设置于第一转动部件34A～34D的卡合部35A～35D在同一时刻动作。因此，能够同时进行与多个卡合部35A～35D对应设置的多个锁机构74的开锁动作以及上锁动作。由此，能够抑制多个锁机构74的开锁动作以及上锁动作产生差别而引起例如容器主体71抬起以及盖部72错位等。因此，根据该盖开闭装置1，能够将盖部72更准确地安装于容器主体71。

在容器固定部80A、80B对容器主体71进行固定时，能够利用弹簧85A、85B的作用力将弹性辊82A、82B向容器主体71按压，所以不需要用于固定容器主体71的特别的致动器等，能够简化装置结构。

使容器固定部80A、80B的手柄部81A、81B能够转动，利用凸轮从动件45A、45B使手柄部81A，81B转动，从而能够使弹性辊82A、82B对容器主体71的按压动作以及按压的解除动作与第一连结部件37A、37B的移动联动。由此，不需要用于使手柄部81A、81B转动的专用的致动器等，能够简化装置结构，并能够实现节省电力。

以上，说明了本发明的一实施方式，但本发明不限定于上述实施方式。例如，本发明的盖开闭装置的对象不限定于收纳中间掩膜R的箱体70，也可以是收纳其它被收纳物的其它收纳容器。作为对锁开闭机构30施加驱动力的致动器，可以使用除气缸33以外的致动器。上述所有结构的形状或者材料不限定上述情况，能够采用各种形状或者材料。本发明的连结部件不限定于上述杆状的部件。连结部件是线等其它连结部件也能够实现与上述相同的动作机构。使转动部件34A～34D和38的转动方向以及连结部件37A、37B和39的移动方向是与上述的情况相反方向也能够实现锁开闭机构30的开锁动作以及上锁动作。

工业上利用的可能性

根据本发明的一个方面，可提供能够将盖部准确安装于容器主体的盖开闭装置。

附图标记的说明

1…盖开闭装置，2…装置主体，30…锁开闭机构(移动部)，33…气缸(致动器)，34A～34D…第一转动部件(转动部件)，35A～35D…卡合部，37A、37B…第一连结部件(连结部件)，38…第二转动部件，39…第二连结部件，45A、45B…凸轮从动件(联动部件)，70…箱体(收纳容器)，71…容器主体，72…盖部，74…锁机构，80A、80B…容器固定部，85A、85B…弹簧(施力部件)，R…中间掩膜(被收纳物)。

Claims (3)

1.一种盖开闭装置，对具备收纳被收纳物的容器主体、成为能够相对于所述容器主体开闭的底部且载置所述被收纳物的盖部、以及进行所述盖部相对于所述容器主体的开锁以及上锁的锁机构的收纳容器，进行所述盖部相对于所述容器主体的开闭，所述盖开闭装置的特征在于，

具备装置主体、移动部以及容器固定部，其中，

所述装置主体载置所述收纳容器，

所述移动部具有：

转动部件，该转动部件具有卡合部，并且该转动部件在所述装置主体支承为能够转动而使所述卡合部移动；

连结部件，该连结部件使所述转动部件转动；以及

致动器，该致动器安装于所述装置主体，对所述连结部件施加驱动力，

在所述收纳容器载置于所述装置主体时所述卡合部与所述锁机构卡合，所述移动部通过使所述卡合部移动而进行用于使所述锁机构实施所述开锁的开锁动作、以及用于使所述锁机构实施所述上锁的上锁动作；

所述容器固定部具有：

手柄部，该手柄部的基端侧在所述装置主体支承为能够转动且该手柄部的前端侧能够移动；

按压部件，该按压部件安装于所述手柄部的前端侧且能够相对于所述容器主体抵接或分离；

施力部件，该施力部件将所述按压部件向所述容器主体施力，

在使所述锁机构实施所述开锁的情况下，所述容器固定部与所述移动部联动而将所述容器主体固定于所述装置主体，

所述连结部件还具有联动部件，该联动部件以如下方式动作：在实施所述上锁动作时使所述按压部件朝克服所述施力部件的作用力的方向离开所述容器主体，在实施所述开锁动作时允许所述施力部件对所述按压部件的施力。

2.根据权利要求1所述的盖开闭装置，其特征在于，

所述移动部具有多个所述转动部件，

所述连结部件至少将一对所述转动部件连结并使所述转动部件转动所述容器固定部与所述连结部件的移动联动。

3.根据权利要求1所述的盖开闭装置，其特征在于，

所述按压部件是能够与所述容器主体弹性抵接的弹性辊，且能够转动地安装于所述手柄部的前端侧，

所述施力部件是对所述手柄部的前端侧施力的弹簧，

所述联动部件是凸轮从动件，该凸轮从动件固定于该连结部件上的能够伴随着所述连结部件的移动而与所述手柄部抵接以及分离的位置，并使所述手柄部转动。