TWI674930B - 用於清潔容器的設備 - Google Patents
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Abstract
一種容器清潔系統，包含：一傳送裝置，其被配置以傳送待清潔的一容器；一清潔腔室，其被配置以清潔該容器，並包括：一第一臂與一第二臂，其被配置以抓住該容器的一側與另一側並開啟該容器的一蓋體以便打開該容器，及一內部清潔噴嘴，其被配置以將一清潔材料噴灑至該容器的內部；一機械手臂，其被配置以將該容器運送於該清潔腔室與該傳送裝置之間；以及一控制器，其被配置以控制該機械手臂將該容器從該傳送裝置移動至該清潔腔室。在該容器被清潔時，該第一臂與該第二臂被旋轉。
Description
本發明係關於一種容器清潔系統。
隨著工業社會的進步，製造高精度和超小型元件的條件數量正在增加。其中一個條件是超潔淨的環境。當在一般環境中進行製造高精度和超小型裝置的製程時，錯誤率由於例如灰塵之類的雜質而增加，這與在通常環境中製造的產品不同。因此，製造過程中的生產率降低並且製造成本增加。為了解決這個問題，對用於轉移製造成品和製造環境的密閉容器及其製程數量的需求正在增加，因此迫切需要發展密閉容器清潔系統和與其相關的技術。
本申請要求於2017年4月18日向韓國智慧財產權局提交的申請號為10-2017-0050023的韓國專利申請的優先權，其全部內容透過引用合併於此。
在根據先前技術的一容器清潔設備中，一密閉容器的一本體與一蓋體在一備用區域中被分開，被傳送至一清潔腔室，接著被清潔。在該本體與該蓋體被清潔後，將該密閉容器取出到該備用區域並進行一組裝程序。然而，該已清潔的密閉容器在其傳送的過程中可能被汙染。
根據本揭露的一態樣，一種容器清潔系統，包含：一傳送裝置，其被配置以傳送待清潔的一容器；一清潔腔室，其被配置以清潔該容器，該清潔腔室並包括：一第一臂與一第二臂，其被配置以抓住該容器的一側與另一側並開啟該容器的一蓋體以便打開該容器，及一內部清潔噴嘴，其被配置以將一清潔材料噴灑至該容器的內部；一機械手臂，其被配置以將該容器運送於該清潔腔室與該傳送裝置之間；以及一控制器，其被配置以控制該機械手臂將該容器從該傳送裝置移動至該清潔腔室。在該容器被清潔時，該第一臂與該第二臂被旋轉。
根據本揭露的另一態樣，一種容器清潔腔室，包含：一殼體，其被配置以容納一容器；一第一臂與一第二臂，其被配置為透過分別抓住該容器的一側與另一側而將該容器的一本體與一蓋體分開；以及一內部清潔噴嘴，其被配置以將一清潔材料噴灑至該容器的內部，該容器的本體與蓋體被分開。
在從該內部清潔噴嘴噴灑該清潔材料時，該第一臂與該第二臂被旋轉。
10‧‧‧容器清潔系統
100‧‧‧清潔腔室
110‧‧‧腔室
120‧‧‧腔蓋
130‧‧‧第一臂
140‧‧‧第二臂
150‧‧‧噴嘴
152‧‧‧軸
160‧‧‧洩口
170‧‧‧噴嘴儲存單元
180‧‧‧外部清潔噴嘴
200‧‧‧傳送裝置
300‧‧‧機械手臂
c‧‧‧容器
c1‧‧‧本體
c2‧‧‧蓋體
透過參考所附圖式詳細描述本發明的示例性實施例，本揭露的上述和其他目的、特徵和優點對於本技術領域中具有通常知識者將變得更加明顯，其中：〔圖1〕為根據一實施例的容器清潔系統的示意性透視圖。
〔圖2〕為示意性地示出將容器引入清潔腔室的圖。
〔圖3〕為示出第一臂和第二臂拆卸容器並接著清潔容器的狀態的圖。
〔圖4〕為示出容器已被引入清潔腔室的狀態的平面圖。
提供本揭露的以下描述僅為了給予用於解釋本揭露的結構和功能的實施例。因此，本揭露的範圍不應被解釋為限於這些實施例。亦即，可以在這些實施例中進行各種改變，並且實施例可以許多不同的形式實施。因此，本揭露的範圍應被理解為涵蓋落入本揭露範圍內的所有均等物。
在本文使用的術語應被理解如下。
如本文所使用的，術語「第一」、「第二」等僅用於將一個元件與另一個元件區分開，因此本揭露的範圍不應被理解為受這些術語的限制。例如，在不脫離本揭露的範圍的情況下，以下討論的第一元件可以被稱為第二元件。類似地，第二元件可以稱為第一元件。
除非上下文另有明確說明，如本文所使用的單數形式「一」和「該」旨在也包括複數形式。將進一步理解的是，當在本說明書中使用時，術語「包括」及/或「包含」指定所述特徵、整體、步驟、操作、元件、組成及/或其組合的存在，但不排除存在或添加一個或多個其他特徵、整體、步驟、操作、元件、組成及/或其組合。
本文用於描述本揭露的實施例的術語「及/或」包括一個或多個相關所列項目的任何和所有組合。例如，表述「A及/或B」應被理解為表示「A」、「B」或「A及B兩者」。
當描述本揭露的實施例時，如果確定需要將元件彼此區分，則將利用分配給其的符號(例如a、b和c或1、2和3)來描述執行相同功能或類似
功能的元件，但是如果不需要將元件彼此區分開或者如果所有元件被一起描述，則可以這些元件可以被描述而沒有分配給其的符號。
除非另外定義，否則本文使用的所有術語(包括技術和科學術語)具有與本揭露所屬領域具有通常知識者通常理解的含義相同的含義。應當理解的是，例如在常用字典中定義的那些術語，應該被解釋為具有與其在相關領域的背景中的含義一致的含義，並且除非在本文中明確地如此定義，否則將不被理解為理想化或過於正式的含義。
圖1為根據一實施例的容器清潔系統10的示意性透視圖。參照圖1，根據一實施例的容器清潔系統10，包含：一傳送裝置200，其被配置以傳送待清潔的一容器c；一清潔腔室100，其被配置以清潔該容器c，並包括：一第一夾頭與一第二夾頭，其被配置以抓住該容器的一側與另一側並開啟該容器的一蓋體，以便打開該容器；及一噴嘴，其被配置以將一清潔材料噴灑至該容器c的內部；一機械手臂300，其被配置以將該容器運送於該清潔腔室100與該傳送裝置200之間；以及一控制器(未繪示)，其被配置以控制該機械手臂300將該容器從該傳送裝置200移動至該清潔腔室100。
該容器c被配置為在其中容納例如半導體晶片或半導體裝置的一目標物，以傳送該目標物。因此，不僅該容器c的內部而且該容器c的外側都需要保持非常乾淨。在傳送該目標物之後，將該容器c從一載體卸載，接著透過該傳送裝置200將其引入該容器清潔系統10中。該機械手臂300抓住並將沿著該傳送裝置200被傳送的容器c運送到該清潔腔室100中。在一實施例中，該傳送裝置200可以是一傳送帶。
圖2為示意性地示出將該容器c引入該清潔腔室100的圖。在該清潔腔室100中，當該容器c被引入其中時，關閉一腔蓋120並清潔和乾燥該容器c。然而，為了便於解釋，以下將參照所附圖式描述本發明，其中該腔蓋120被示出為開啟，並且一腔室110之一側壁的圖示被省略。
該清潔腔室100包括：被配置以容納一容器的腔室110；被配置以封閉該腔室110的腔蓋120；被配置以分別抓住經由該開啟的腔室110裝載的該容器之蓋體與本體的一第一臂(第一夾頭)130與一第二臂(第二夾頭)140；以及被配置為插入該容器的蓋體與本體(該容器的本體與蓋體已彼此分開)之間的一噴嘴150，以將一清潔材料及/或乾燥材料噴灑至該容器的蓋體與本體。
在一實施例中，該清潔腔室100可進一步包括一儲槽(未繪示)，其被配置以儲存該清潔材料及/或該乾燥材料。該清潔腔室100可包括一噴嘴儲存單元170，當該容器c被引入該清潔腔室100內時，該噴嘴儲存單元170用以儲存該噴嘴150。該清潔腔室100可包括一洩口160，其被配置以將從該噴嘴150噴灑的該清潔材料或該乾燥材料排放至該清潔腔室100的外部。
參照圖3，當該容器c被卸載時，該容器c的本體c1與蓋體c2透過分別被該第一臂130與該第二臂140抓住而彼此分開。在該清潔腔室100中，該本體c1被該第一臂130抓住並移動至一側，而該蓋體c2被該第二臂140抓住並移動至另一側。當該本體c1與該蓋體c2分別移動至一側與另一側，位於較低位置的該噴嘴150向上移動。
該噴嘴150從該噴嘴儲存單元170向上移動，並且該第一臂130和該第二臂140被旋轉。該噴嘴150透過在該第一臂130和該第二臂140被旋轉的同
時噴灑該清潔材料至該容器的蓋體c2和本體c1來清潔已經彼此分離的該容器的蓋體c2和本體c1。在一實施例中，該噴嘴150的一軸152可在清潔該容器的蓋體c2和本體c1期間被垂直地移動，並且該噴嘴150可以繞該軸152左右樞轉。因此，該容器的每個部分可被清潔。
在一實施例中，該第一臂130和該第二臂140具有以一特定角度傾斜的功能或控制旋轉數的功能。
圖4為示出清潔該容器的本體c1和蓋體c2的程序的平面圖。當清潔該容器時，外部清潔噴嘴180可以噴灑清潔材料以清潔該容器本體c1和該容器蓋體c2的外側。在清潔程序完成之後，該噴嘴150和該外部清潔噴嘴180可以噴灑乾燥材料以執行乾燥程序。
在一實施例中，清潔材料可為液體，例如含有表面活性劑的水。乾燥材料可以是溫度大於或等於室溫的氣體。氣體可以是空氣或氮氣。在一實施例中，該第一臂130和該第二臂140可在該清潔程序和該乾燥程序期間圍繞共同的旋轉軸旋轉。
當透過該噴嘴150噴灑清潔材料時，該第一臂130和該第二臂140被旋轉，因此，可以很大程度地清潔該容器c之內部和外部的汙染物。
在另一實施例中，當透過該噴嘴150噴灑乾燥材料時，該第一臂130與該第二臂140可被旋轉，因此，當在該容器c的內部進行乾燥程序時，可以很大程度地去除殘留在該容器c內的清潔材料。
在乾燥程序完成後，該容器c的蓋體c2和本體c1由該第一臂130與第二臂140組合。當其中蓋體c2和本體c1已被組合的該容器c的腔蓋120被開啟時，該容器c透過該機械手臂300被取出到該清潔腔室100外部的傳送裝置200。
根據本實施例，由於該容器c的本體c1和蓋體c2在被旋轉的同時於該清潔腔室100中被清潔，因此該容器c可被更大程度地清潔。
在根據一實施例的容器清潔設備中，一容器在一腔室中被清潔和乾燥，同時該腔室被關閉，因此防止其被額外污染。此外，根據一實施例的容器清潔系統可包括一個或多個腔室，並且能夠整合拆卸容器的程序、組裝容器的程序和清潔容器的程序。因此，可以同時清潔一個或多個容器。
此外，由於容器裝載系統和容器卸載系統是分開的，所以不存在每個腔室獨立操作的問題，從而提高了生產率。
雖然以上已描述圖式中示出的實施例以幫助理解本揭露，提供這些實施例僅用於給出用於實現本揭露的示例，並且對於本技術領域中具有通常知識者顯而易見的是，可以從中衍生出各種修改的和均等的實施例。因此，本揭露的範圍應由所附申請專利範圍所限定。
Claims (7)
- 一種容器清潔系統，包含：一傳送裝置，其被配置以傳送待清潔的一容器；一清潔腔室，其被配置以清潔該容器，其中該清潔腔室包括：一第一臂與一第二臂，其被配置以抓住該容器的一側與另一側並開啟該容器的一蓋體，以便打開該容器；及一內部清潔噴嘴，其被配置以將一清潔材料噴灑至該容器的內部；一機械手臂，其被配置以將該容器運送於該清潔腔室與該傳送裝置之間；以及一控制器，其被配置以控制該機械手臂將該容器從該傳送裝置移動至該清潔腔室，其中該第一臂與該第二臂抓取該容器以使得該容器之開口面向水平，其中當該容器被清潔時，該第一臂與該第二臂係沿一水平軸轉動，其中該內部清潔噴嘴係連結於一垂直軸且沿該垂直軸垂直移動，並且該垂直軸樞轉至該水平軸。
- 如請求項1所述之容器清潔系統，其中該清潔腔室進一步包括一蓋體，該蓋體被配置為被打開以容納該容器，並在該容器被清潔時，該蓋體被配置為被封閉。
- 如請求項1所述之容器清潔系統，進一步包含以下至少其中之一： 一外部清潔噴嘴，其被配置為噴灑該清潔材料以清潔該容器的外側；及一乾燥噴嘴，其被配置為噴灑一乾燥材料以乾燥該容器的外側。
- 如請求項1所述之容器清潔系統，其中該內部清潔噴嘴進一步被配置以噴灑一乾燥材料。
- 一種容器清潔腔室，包含：一殼體，其被配置以容納一容器；一第一臂與一第二臂，其被配置為透過分別抓住該容器的一側與另一側而將該容器的一本體與一蓋體分開；以及一內部清潔噴嘴，其被配置以將一清潔材料噴灑至該容器的內部，該容器的本體與蓋體被分開，其中在從該內部清潔噴嘴噴灑該清潔材料時，該第一臂與該第二臂被旋轉，其中該第一臂與該第二臂抓取該容器以使得該容器之開口面向水平，其中當該容器被清潔時，該第一臂與該第二臂係沿一水平軸轉動，其中該內部清潔噴嘴係連結於一垂直軸且沿該垂直軸垂直移動，並且該垂直軸樞轉至該水平軸。
- 如請求項5所述之容器清潔腔室，其中該內部清潔噴嘴進一步被配置以將一乾燥材料噴灑至該容器內部，且在從該內部清潔噴嘴噴灑該乾燥材料時，該第一臂與該第二臂被旋轉。
- 如請求項5所述之容器清潔腔室，進一步包含以下至少其中之一：一外部清潔噴嘴，其被配置為將該清潔材料噴灑至該容器的外側；及一乾燥噴嘴，其被配置為將一乾燥材料噴灑至該容器的外側。
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