JP6020562B2 - 蓋開閉装置 - Google Patents

Description

本発明は、被収納物を収納する収納容器について、容器本体に対する蓋部の開閉を行う蓋開閉装置に関する。

半導体装置又は液晶表示装置等の製造工場のクリーンルームにおいては、半導体ウェハ又はガラス基板等が収納容器に収納された状態で搬送される。そのため、収納容器と各種装置との間で被収納物を移載するに際しては、蓋開閉装置を用いて、容器本体に対する蓋部の開閉を行う必要がある。従来、容器本体に対する蓋部の開閉を迅速に行うために、収納容器の内外の圧力差を平衡にする圧力平衡機構を蓋開閉装置に設けるなど、様々な技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特許第３１８０６００号公報

上述した半導体装置又は液晶表示装置等の製造工場では、各種部品の搬送効率の向上がシビアに要求される。このため、搬送効率を向上させるためにも、蓋部を容器本体に取り付ける際に、容器本体の浮き上がり及び位置ずれを防止して、的確に蓋部を取り付けることが要求されている。

そこで、本発明は、容器本体に蓋部を的確に取り付けることができる蓋開閉装置を提供することを目的とする。

本発明の一側面の蓋開閉装置は、被収納物を収納する容器本体と、容器本体に対して開閉可能な底部を成し、被収納物が載置される蓋部と、容器本体に対する蓋部の開錠及び施錠を行う錠機構と、を備える収納容器について、容器本体に対する蓋部の開閉を行う蓋開閉装置であって、収納容器が載置される装置本体と、装置本体に収納容器が載置されたときに錠機構に係合する係合部を有し、係合部を移動させることで、錠機構に開錠を行わせるための開錠動作、及び錠機構に施錠を行わせるための施錠動作を行う移動部と、錠機構に開錠を行わせる場合には、移動部と連動して、容器本体を装置本体に固定させる容器固定部と、を備え、移動部は、係合部を有すると共に、装置本体に対して第１の中心軸まわりに回動可能に支持された回動部材と、回動部材に対して第１の中心軸に平行な第２の中心軸まわりに回動可能に連結され、移動により回動部材を回動させる連結部材と、装置本体に取り付けられ、連結部材に駆動力を付与するアクチュエータと、連結部材に設けられた連動部材と、を有し、容器固定部は、基端側が装置本体に対して第１の中心軸に平行な第３の中心軸まわりに回動可能に支持され先端側が移動可能とされると共に、カム面を有するレバー部と、レバー部の先端側に取り付けられ、容器本体に当接及び離間可能な押圧部材と、押圧部材が容器本体に向けて付勢されるように、レバー部を付勢する付勢部材と、を有し、連動部材は、施錠動作を行う方向に連結部材が移動させられた場合、カム面に当接して付勢部材の付勢に抗する方向に前記レバー部を回動させ、且つ、開錠動作を行う方向に連結部材が移動させられた場合、付勢部材によるレバー部の付勢を許容する、連結部材上の位置に設けられている。

この蓋開閉装置では、移動部を移動させて錠機構に開錠を行わせる場合、移動部と連動して容器固定部が容器本体を装置本体に固定する。このように、錠機構の開錠動作と連動して容器本体が装置本体に固定されるので、例えば、錠機構が開錠状態のときに蓋部を取り付ける場合であっても、容器本体の浮き上がり及び蓋部の位置ずれ等が発生するのを抑制することができる。よって、この蓋開閉装置によれば、容器本体に蓋部を的確に取り付けることができる。また、容器本体の固定時には、付勢部材の付勢力を利用して押圧部材を容器本体に押し付けることができるので、容器本体を固定するための特別なアクチュエータ等が不要となり、装置構成を簡易なものとすることができる。

ここで、回動部材は複数設けられ、連結部材は、少なくとも一対の前記回動部材を連結して当該回動部材を回動させる、ことが好ましい。この構成によれば、連結部材を用いて少なくとも一対の回動部材を連結することで、この一対の回動部材に設けられた係合部を同じタイミングで動作させることができる。これにより、複数の回動部材の係合部に対応して設けられた複数の錠機構の開錠動作及び施錠動作を一斉に行うことができる。従って、複数の錠機構の開錠動作及び施錠動作にばらつきが生じて、例えば、容器本体の浮き上がり及び蓋部の位置ずれ等が発生するのを抑制することができる。よって、この蓋開閉装置によれば、容器本体に蓋部をより的確に取り付けることができる。

押圧部材は、容器本体と弾性的に当接可能な弾性ローラであり、レバー部の先端側に回動可能に取り付けられ、付勢部材は、レバー部の先端側を付勢するバネであり、連動部材は、レバー部を回動させるカムフォロアである、ことが好ましい。この構成によれば、カムフォロアによってレバー部を回動させることで、容器本体への弾性ローラによる押圧動作及び押圧の解除動作を移動部の移動と連動させることができる。これにより、レバー部を回動させるための専用のアクチュエータ等が不要となり、装置構成を簡易なものとすることができ、省電力化を図ることができる。

本発明の一側面によれば、容器本体に蓋部を的確に取り付けることができる蓋開閉装置を提供することが可能となる。

本発明の一実施形態の蓋開閉装置を備えるストッカの正面図である。 図１のII−II線に沿ってのストッカの断面図である。 図１のIII−III線に沿ってのストッカの断面図である。 本発明の一実施形態の蓋開閉装置の縦断面図である。 図４の蓋開閉装置の平面図である。 別の状態での図４の蓋開閉装置の縦断面図である。 図４の蓋開閉装置によって蓋部が開閉されるポッドの底面図である。 図７のポッドの錠機構の拡大図である。 図４のIX−IX線に沿っての蓋開閉装置の断面図である。 容器固定部周りの拡大断面図である。 図９におけるXI−XI線に沿っての断面図である。 図９におけるXII−XII線に沿っての断面図である。 別の状態での図９の蓋開閉装置の断面図である。

以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［ストッカの構成］

図１は、本発明の一実施形態の蓋開閉装置を備えるストッカの正面図である。図２は、図１のII−II線に沿ってのストッカの断面図であり、図３は、図１のIII−III線に沿ってのストッカの断面図である。図１〜図３に示されるように、ストッカ５０は、レチクル用回転棚５１と、ポッド用回転棚５２と、を備えている。レチクル用回転棚５１は、半導体ウェハ又はガラス基板等の表面に所定のパターンを露光する際に使用される矩形板状のレチクルＲを複数保管する。ポッド用回転棚５２は、レチクルＲを収納して搬送するためのポッド７０を空の状態で複数保管する。なお、レチクルＲを保管するためのポッド７０は、典型的には、半導体等の国際規格であるＳＥＭＩ規格に従った構成を有している。このようなストッカ５０は、半導体装置又は液晶表示装置等の製造工場のクリーンルームに設置される。

レチクル用回転棚５１は、駆動部５３によって軸線ＣＬ周りを回転させられる。レチクル用回転棚５１は、その回転方向に沿って並設された複数のブロック５１ａを有している。各ブロック５１ａは、レチクルＲを上下複数段に保管することができるようになっている。ポッド用回転棚５２は、レチクル用回転棚５１の下側において、駆動部５４によって軸線ＣＬ周りを回転させられる。ポッド用回転棚５２は、その回転方向に沿って複数のポッド７０を保管することができるようになっている。

ストッカ５０は、更に、レチクル搬送装置５５と、ポッド搬送装置５６と、蓋開閉装置１と、を備えている。レチクル搬送装置５５は、昇降ガイド５７に沿って昇降するロボットアームであり、蓋開閉装置１とレチクル用回転棚５１との間でレチクルＲを搬送する。ポッド搬送装置５６は、昇降ガイド５８に沿って昇降するロボットアームであり、蓋開閉装置１とポッド用回転棚５２との間で空のポッド７０を搬送する。蓋開閉装置１は、ポッドオープナーと称される装置であり、ポッド７０の開閉を行う。蓋開閉装置１の近傍には、レチクルＲを収納したポッド７０及び空のポッド７０を一時保管するポッド用固定棚５９が設置されている。

上述した回転棚５１，５２、駆動部５３，５４、搬送装置５５，５６、固定棚５９及び蓋開閉装置１は、ケーシング６１内に配置されている。ケーシング６１には、例えば天井走行車がアクセスすることができるポート６２，６３が設置されている。レチクルＲを収納したポッド７０は、ポート６２を介してケーシング６１内に入庫される。一方、レチクルＲを収納したポッド７０は、ポート６３を介してケーシング６１外に出庫される。

ケーシング６１の上壁には、クリーンガス供給装置６４が設置されている。クリーンガス供給装置６４は、例えばクリーンエア又は窒素等のクリーンガスをダウンフローとしてケーシング６１内に供給する。ケーシング６１内に供給されたクリーンガスは、ケーシング６１の下部からケーシング６１外に排気される。

ここで、レチクルＲを収納したポッド７０が入庫される場合のストッカ５０の動作について説明する。例えば天井走行車によってポート６２にポッド７０が搬送されると、当該ポッド７０は、ポッド搬送装置５６によって蓋開閉装置１に搬送される。ポッド７０が蓋開閉装置１に搬送されると、当該ポッド７０に収納されていたレチクルＲは、レチクル搬送装置５５によってレチクル用回転棚５１に格納される。その一方で、蓋開閉装置１に残された空のポッド７０は、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２に格納される。なお、多数のポッド７０が連続してケーシング６１内に入庫されるような場合には、ポッド７０は、ポッド用固定棚５９に一時保管され、蓋開閉装置１に順次搬送される。

次に、レチクルＲを収納したポッド７０が出庫される場合のストッカ５０の動作について説明する。レチクル搬送装置５５によってレチクル用回転棚５１から蓋開閉装置１にレチクルＲが搬送されると、当該レチクルＲは、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２から蓋開閉装置１に搬送された空のポッド７０に収納される。レチクルＲが収納されたポッド７０は、ポッド搬送装置５６によって蓋開閉装置１からポート６３に搬送され、例えば天井走行車によってポート６３から所定の搬送先に搬送される。なお、多数のポッド７０が連続してケーシング６１外に出庫されるような場合には、ポッド７０は、ポッド用固定棚５９に一時保管され、ポート６３に順次搬送される。
［蓋開閉装置の構成］

図４は、本発明の一実施形態の蓋開閉装置の縦断面図であり、図５は、図４の蓋開閉装置の平面図である。なお、以下の説明においては、蓋開閉装置１に対してレチクルＲが導出入される側を「前側」といい、その反対側を「後側」という。正立状態にある蓋開閉装置１を前側から見た場合における左側を単に「左側」といい、正立状態にある蓋開閉装置１を前側から見た場合における右側を単に「右側」という。

図４及び５に示されるように、蓋開閉装置１は、直方体箱状の装置本体２を備えている。装置本体２は、上壁３、下壁４、側壁５及び隔壁６を有している。装置本体２の内部空間は、隔壁６によって、レチクル導出入領域２ａと機器設置領域２ｂとに上下に分離されている。ただし、レチクル導出入領域２ａと機器設置領域２ｂとは、隔壁６の左側の領域及び右側の領域において連通している。上壁３には、断面矩形状の凹部３ａが設けられており、凹部３ａの底面には、断面矩形状の開口３ｂが設けられている。凹部３ａの底面は、ポッド搬送装置５６によって搬送されたポッド（収納容器）７０が載置される載置面１０となっている。なお、ポッド７０は、レチクル（被収納物）Ｒを収納する直方体箱状の容器本体７１と、レチクルＲが載置される矩形板状の蓋部７２と、を備えている。蓋部７２は、容器本体７１に対して開閉可能な底部を成している。容器本体７１の頂部には、ポッド搬送装置５６によって把持される被把持部７３が設けられている。蓋開閉装置１は、レチクルＲを収納するポッド７０について、容器本体７１に対する蓋部７２の開閉を行う装置である。

装置本体２内には、レチクル導出入領域２ａにおいて昇降する昇降台７が配置されている。昇降台７は、矩形板状の本体部８と、本体部８の下端部に設けられた矩形板状のフランジ部９と、を有している。昇降台７の上昇時には、本体部８は開口３ｂ内に配置され、フランジ部９は上壁３の内面に当接する。このとき、上壁３の開口３ｂは、フランジ部９に設けられた矩形環状の封止部材１１によって気密に閉鎖され、本体部８の上面８ａは、載置面１０（すなわち、凹部３ａの底面）と面一となる。

装置本体２内には、昇降台７を昇降させるエアシリンダ１２が配置されている。エアシリンダ１２は、下壁４の内面に固定されたシリンダ部１２ａと、基端部がシリンダ部１２ａ内に挿入されたロッド部１２ｂと、を有している。ロッド部１２ｂの先端部は、隔壁６の中央部分に設けられた断面矩形状の開口６ａを介して、昇降台７の下面に固定されている。なお、装置本体２内の機器設置領域２ｂには、エアシリンダ１２に対するガスの導出入を調節するための電磁弁等、各種機器が設置されている。昇降台７を昇降させるために、複数のエアシリンダを用いてもよいし、エアシリンダに代えて他のアクチュエータを用いてもよい。

装置本体２の前側の側壁５には、外部と装置本体２内のレチクル導出入領域２ａとを連通する断面矩形状のレチクル導出入口５ａが設けられている。レチクル導出入口５ａは、エアシリンダ等のアクチュエータによって動作させられる閉鎖板１４によって内側から開閉される。閉鎖板１４によるレチクル導出入口５ａの閉鎖時には、レチクル導出入口５ａは、閉鎖板１４に設けられた矩形環状の封止部材１５によって気密に閉鎖される。

ここで、レチクルＲを収納したポッド７０が入庫される場合の蓋開閉装置１の動作について説明する。図４に示されるように、蓋開閉装置１は、上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖され、且つレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖された状態で、待機する。この状態において、ポッド搬送装置５６によってポート６２から蓋開閉装置１に搬送されたポッド７０が、蓋開閉装置１の載置面１０に載置されると、当該ポッド７０の錠機構は、蓋開閉装置１によって開錠状態にされる（詳細については後述する）。

続いて、図６に示されるように、レチクルＲが載置された蓋部７２と共に昇降台７が下降して、レチクル導出入領域２ａにレチクルＲが配置される。閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが開放されると、レチクル搬送装置５５がレチクル導出入口５ａを介してレチクル導出入領域２ａにアクセスし、レチクル導出入領域２ａに配置されたレチクルＲがレチクル用回転棚５１に格納される。

続いて、閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖されると共に、蓋部７２と共に昇降台７が上昇して上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖されると、蓋開閉装置１の載置面１０に載置された空のポッド７０の錠機構は、蓋開閉装置１によって施錠状態にされる（詳細については後述する）。錠機構が施錠状態にされた空のポッド７０は、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２に格納される。

次に、レチクルＲを収納したポッド７０が出庫される場合のストッカ５０の動作について説明する。図４に示されるように、蓋開閉装置１は、上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖され、且つレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖された状態で、待機する。この状態において、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２から蓋開閉装置１に搬送された空のポッド７０が、蓋開閉装置１の載置面１０に載置されると、当該ポッドの錠機構は、蓋開閉装置１によって開錠状態にされる（詳細については後述する）。

続いて、図６に示されるように、蓋部７２と共に昇降台７が下降して、レチクル導出入領域２ａに蓋部７２が配置される。閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが開放されると、レチクル用回転棚５１からレチクルＲを搬送してきたレチクル搬送装置５５がレチクル導出入口５ａを介してレチクル導出入領域２ａにアクセスし、レチクル導出入領域２ａに配置され蓋部７２にレチクルＲが載置される。

続いて、閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖されると共に、レチクルＲが載置された蓋部７２と共に昇降台７が上昇して上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖されると、蓋開閉装置１の載置面１０に載置されたポッド７０の錠機構は、蓋開閉装置１によって施錠状態にされる（詳細については後述する）。錠機構が施錠状態にされたポッド７０は、ポッド搬送装置５６によってポート６２に搬送される。
［蓋開閉装置の錠開閉機構の構成］

蓋開閉装置１の錠開閉機構の説明に先立って、ポッド７０の錠機構について説明する。図７は、図４の蓋開閉装置によって蓋部が開閉されるポッドの底面図であり、図８は、図７のポッドの錠機構の拡大図である。図７に示されるように、ポッド７０においては、容器本体７１の底部に複数の錠機構７４が設けられている。より具体的には、錠機構７４は、容器本体７１の前側の側壁の底部に一対位置し、且つ容器本体７１の後側の側壁の底部に一対位置するように、容器本体７１の底部に複数設けられている。錠機構７４は、容器本体７１に対する蓋部７２の施錠及び開錠を行う。

図８に示されるように、各錠機構７４は、アーム７５と、圧縮バネ等の付勢部材７６と、を有している。アーム７５の基端部は、軸７７によって容器本体７１の底部に回動可能に軸支されている。一方、アーム７５の先端部には、係合部７８が設けられている。係合部７８は、蓋部７２に設けられた切欠き部７２ａに係合する。切欠き部７２ａは、各錠機構７４の係合部７８に対応するように蓋部７２に複数設けられており、対応する係合部７８側及び下側に開口している。なお、係合部７８には、下側に開口する長穴状の凹部７８ａが設けられている。この凹部７８ａには、後述する蓋開閉装置１の係合部３５Ａ〜３５Ｄが係合する。

付勢部材７６は、容器本体７１とアーム７５との間に配置されており、係合部７８が切欠き部７２ａに係合するようにアーム７５を付勢する。これにより、蓋開閉装置１に対してポッド７０が搬送される場合には、係合部７８が切欠き部７２ａに係合させられて、錠機構７４が施錠状態となる（図８の（ａ）を参照）。一方、容器本体７１に対して蓋部７２が着脱される場合には、係合部７８が切欠き部７２ａから外されて、錠機構７４が開錠状態となる（図８の（ｂ）を参照）。このようにして、錠機構７４は、容器本体７１に対する蓋部７２の施錠及び開錠を行う。なお、以上の錠機構７４の構成は、一例であり、ＳＥＭＩ規格等に従った構成を有しているポッドにおいて、容器本体７１に対する蓋部７２の施錠及び開錠を行うことができるものであれば、他の構成であってもよい。

次に、蓋開閉装置１の錠開閉機構について説明する。図９は、図４のIX−IX線に沿っての蓋開閉装置の断面図である。図９に示されるように、錠開閉機構（移動部）３０は、上壁３に設けられた凹部３ｃ内に配置されている。凹部３ｃは、開口３ｂの周囲部分において、前側部分から右側部分を介して後側部分に渡るように、延在している。

錠開閉機構３０は、板状の第１回動部材３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｃ，３４Ｄと、ラッチピン等の係合部３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃ，３５Ｄと、板状の第１連結部材３７Ａ，３７Ｂと、板状に形成された一対の第２回動部材３８と、板状の第２連結部材３９と、エアシリンダ（アクチュエータ）３３と、を有している。第１回動部材３４Ａ〜３４Ｄは、それぞれベアリング３６によって凹部３ｃの底面に回動可能に支持されている。第１回動部材３４Ａ〜３４Ｄは、蓋開閉装置１の載置面１０にポッド７０が載置されたときに、当該ポッド７０の各錠機構７４と上下方向において対向するように配置されている。

前側の（すなわち、載置面１０にポッド７０が載置されたときに蓋部７２に対して前側に位置する）第１回動部材３４Ａ，３４Ｂにおいて、係合部３５Ａ，３５Ｂは、ベアリング３６に対して左側の位置で第１回動部材３４Ａ，３４Ｂのそれぞれの上面に立設されている。前側の第１回動部材３４Ａの下面には、ベアリング３６に対して右側の位置にバネ係合部４２Ａが立設されている。一方、後側の（すなわち、載置面１０にポッド７０が載置されたときに蓋部７２に対して後側に位置する）第１回動部材３４Ｃ，３４Ｄにおいて、係合部３５Ｃ，３５Ｄは、ベアリング３６に対して右側の位置で第１回動部材３４Ｃ，３４Ｄのそれぞれの上面に立設されている。後側の第１回動部材３４Ｄの下面には、ベアリング３６に対して左側の位置にバネ係合部４２Ｄが立設されている。

前側の第１連結部材３７Ａは、凹部３ｃの前側部分において左右方向に延在するロッド状の部材であり、ベアリング３６に対して前側の位置で、前側の一対の第１回動部材３４Ａ，３４Ｂのそれぞれに回動可能に取り付けられている。このようにして、前側の第１連結部材３７Ａは、前側の一対の第１回動部材３４Ａ，３４Ｂを連結し、当該第１回動部材３４Ａ，３４Ｂを回動させる。一方、後側の第１連結部材３７Ｂは、凹部３ｃの後側部分において左右方向に延在するロッド状の部材であり、ベアリング３６に対して後側の位置で、後側の一対の第１回動部材３４Ｃ，３４Ｄのそれぞれに回動可能に取り付けられている。このようにして、後側の第１連結部材３７Ｂは、後側の一対の第１回動部材３４Ｃ，３４Ｄを連結し、当該第１回動部材３４Ｃ，３４Ｄを回動させる。

一対の第２回動部材３８のそれぞれは、ベアリング４１によって凹部３ｃの底面に回動可能に支持されている。前側の第２回動部材３８には、ベアリング４１に対して前側の位置で、前側の第１連結部材３７Ａの右側端部が回動可能に取り付けられている。このようにして、前側の第１連結部材３７Ａは、前側の第２回動部材３８に接続されている。一方、後側の第２回動部材３８には、ベアリング４１に対して後側の位置で、後側の第１連結部材３７Ｂの右側端部が回動可能に取り付けられている。このようにして、後側の第１連結部材３７Ｂは、後側の第２回動部材３８に接続されている。

第２連結部材３９は、凹部３ｃの右側部分において前後方向に延在するロッド状の部材であり、ベアリング４１に対して右側の位置で、一対の第２回動部材３８のそれぞれに回動可能に取り付けられている。このようにして、第２連結部材３９は、一対の第２回動部材３８を連結し、当該第２回動部材３８を回動させる。

エアシリンダ３３は、第１連結部材３７Ａ，３７Ｂに駆動力を付与するアクチュエータであり、第２連結部材３９の下側に配置されている。エアシリンダ３３は、装置本体２に回動可能に取り付けられたシリンダ部３３ａと、基端部がシリンダ部３３ａ内に挿入されたロッド部３３ｂと、を有している。ロッド部３３ｂの先端部は、第２連結部材３９の中間部に回動可能に取り付けられている。

図９に示すように、上壁３における前側の縁部近傍には、容器固定部８０Ａが設けられている。同様に、上壁３における後側の縁部近傍には、容器固定部８０Ｂが設けられている。以下、容器固定部８０Ａ，８０Ｂの詳細について説明する。図１０は、容器固定部周りの拡大断面図であり、図１０（ａ）は前側に設けられた容器固定部、図１０（ｂ）は後側に設けられた容器固定部を示している。図１１は、図９におけるXI−XI線に沿っての断面図であり、図１２は、図９におけるXII−XII線に沿っての断面図である。

図１０（ａ）、図１１及び図１２に示すように、容器固定部８０Ａは、レバー部８１Ａ、弾性ローラ（押圧部材）８２Ａ、バネ係合部８４Ａ、バネ（付勢部材）８５Ａを備えている。レバー部８１Ａは、基端側がスペーサ８６Ａを介して上壁３に連結されている。なお、スペーサ８６Ａは、上壁３における前側の縁部近傍から第１連結部材３７Ａ上に延び、第１連結部材３７Ａ上においてレバー部８１Ａの基端側と回動可能に連結されている。なお、レバー部８１Ａとスペーサ８６Ａとの連結部分は、開口３ｂにおける左右方向の略中間位置となっている。レバー部８１Ａの先端は左側に向かって延びている。

弾性ローラ８２Ａは、レバー部８１Ａの先端側の上面に回動可能に取り付けられると共に、容器本体７１の外周面と弾性的に当接可能となっている。バネ係合部８４Ａは、レバー部８１Ａの先端の下面に立設されている。バネ８５Ａは、一端が第１回動部材３４Ａの下面に立設されたバネ係合部４２Ａに係合し、他端がバネ係合部８４Ａに係合する。バネ８５Ａは、バネ係合部４２Ａとバネ係合部８４Ａとを互いに近づける方向に両者を付勢する。

ここで、第１連結部材３７Ａの上面には、第１連結部材３７Ａの移動に伴ってレバー部８１Ａと当接及び離間可能なカムフォロア（連動部材）４５Ａが設けられている。レバー部８１Ａには、カムフォロア４５Ａと当接する部位にカム面８３Ａが設けられている。カムフォロア４５Ａとカム面８３Ａとが当接することで、レバー部８１Ａの先端側（弾性ローラ８２Ａ側）が開口３ｂから遠ざかるように、レバー部８１Ａが回動する。具体的には、第１連結部材３７Ａが、左側へスライドしたときに、カムフォロア４５Ａとカム面８３Ａとが当接し、カムフォロア４５Ａがカム面８３Ａを前側へ押し出すことにより、レバー部８１Ａが回動する。反対に、第１連結部材３７Ａが、右側へスライドしたときに、カムフォロア４５Ａとカム面８３Ａとが離間し、バネ８５Ａの付勢力によってレバー部８１Ａの先端側が開口３ｂ側へ移動するようにレバー部８１Ａが回動する。

一方、容器固定部８０Ｂは、図１０（ｂ）に示すように、容器固定部８０Ａと同様に、レバー部８１Ｂ、弾性ローラ（押圧部材）８２Ｂ、バネ係合部８４Ｂ、バネ（付勢部材）８５Ｂを備えている。レバー部８１Ｂは、基端側がスペーサ８６Ｂを介して上壁３に連結されている。なお、スペーサ８６Ｂは、上壁３における後側の縁部近傍から第１連結部材３７Ｂ上に延び、第１連結部材３７Ｂ上においてレバー部８１Ｂの基端側と回動可能に連結されている。なお、レバー部８１Ｂとスペーサ８６Ｂとの連結部分は、開口３ｂにおける左右方向の略中間位置となっている。レバー部８１Ｂの先端は右側に向かって延びている。

弾性ローラ８２Ｂは、レバー部８１Ｂの先端側の上面に回動可能に取り付けられると共に、容器本体７１の外周面と弾性的に当接可能となっている。バネ係合部８４Ｂは、レバー部８１Ｂの先端の下面に立設されている。バネ８５Ｂは、一端が第１回動部材３４Ｄの下面に立設されたバネ係合部４２Ｄに係合し、他端がバネ係合部８４Ｂに係合する。バネ８５Ｂは、バネ係合部４２Ｄとバネ係合部８４Ｂとを互いに近づける方向に両者を付勢する。

ここで、第１連結部材３７Ｂの上面には、第１連結部材３７Ｂの移動に伴ってレバー部８１Ｂと当接及び離間可能なカムフォロア（連動部材）４５Ｂが設けられている。レバー部８１Ｂには、カムフォロア４５Ｂと当接する部位にカム面８３Ｂが設けられている。カムフォロア４５Ｂとカム面８３Ｂとが当接することで、レバー部８１Ｂの先端側（弾性ローラ８２Ｂ側）が開口３ｂから遠ざかるように、レバー部８１Ｂが回動する。具体的には、第１連結部材３７Ｂが、右側へスライドしたときに、カムフォロア４５Ｂとカム面８３Ｂとが当接し、カムフォロア４５Ｂがカム面８３Ｂを後側へ押し出すことにより、レバー部８１Ｂが回動する。反対に、第１連結部材３７Ｂが、左側へスライドしたときに、カムフォロア４５Ｂとカム面８３Ｂとが離間し、バネ８５Ｂの付勢力によってレバー部８１Ｂの先端側が開口３ｂ側へ移動するようにレバー部８１Ｂが回動する。

図５に示されるように、各係合部３５Ａ〜３５Ｄは、上壁３の一部を成し且つ凹部３ｃを覆う天板部３ｄに複数設けられた長穴状の開口３ｅのそれぞれを介して上側に突出している。容器固定部８０Ａ，８０Ｂは、天板部３ｄに設けられた開口３ｆ，３ｇのそれぞれを介して上側に突出している。これにより、蓋開閉装置１の載置面１０にポッド７０が載置されると、当該ポッド７０の各錠機構７４の凹部７８ａに、上下方向において対向する係合部３５Ａ〜３５Ｄが係合することになる。容器固定部８０Ａ，８０Ｂの弾性ローラ８２Ａ，８２Ｂが、それぞれ容器本体７１の外周面に対向する。

ここで、ポッド７０の錠機構７４に開錠を行わせるための錠開閉機構３０の開錠動作について説明する。図５に示されるように、錠開閉機構３０は、天板部３ｄに設けられた長穴状の各開口３ｅにおいて係合部３５Ａ〜３５Ｄが内側（すなわち、開口３ｂ側）に位置し、容器固定部８０Ａの弾性ローラ８２Ａ及び容器固定部８０Ｂの弾性ローラ８２Ｂが外側（すなわち、開口３ｂから離間する側）に位置した状態で、待機する。このとき、錠開閉機構３０の第１連結部材３７Ａ，３７Ｂ、第２連結部材３９、及びエアシリンダ３３は、図９に示される状態にある。この状態で、蓋開閉装置１の載置面１０にポッド７０が載置されると、当該ポッド７０において施錠状態にある各錠機構７４の凹部７８ａに（図８の（ａ）を参照）、上下方向において対向する係合部３５Ａ〜３５Ｄが係合することになる。

続いて、図１３に示されるように、錠開閉機構３０では、シリンダ部３３ａに対するガスの導出入によってロッド部３３ｂが後側にスライドさせられる。これにより、前側の第２回動部材３８が平面視反時計回りに回動させられ、前側の第１連結部材３７Ａが右側に移動させられる。更に、前側の第１回動部材３４Ａ，３４Ｂが平面視反時計回りに回動させられ、係合部３５Ａ，３５Ｂが前側に移動させられる。その一方では、後側の第２回動部材３８が平面視反時計回りに回動させられ、後側の第１連結部材３７Ｂが左側に移動させられる。更に、後側の一対の第１回動部材３４Ｃ，３４Ｄが平面視反時計回りに回動させられ、係合部３５Ａ〜３５Ｄが後側に移動させられる。つまり、天板部３ｄに設けられた長穴状の各開口３ｅにおいて係合部３５Ａ〜３５Ｄが外側（すなわち、開口３ｂと反対側）に位置した状態となる。これより、ポッド７０の錠機構７４では、係合部７８が切欠き部７２ａから外されて、錠機構７４が開錠状態となり（図８の（ｂ）を参照）、容器本体７１から蓋部７２を取り外すことができるようになる。

前側の第１連結部材３７Ａが右側に移動させられ、第１回動部材３４Ａが平面視反時計回りに回動させられることで、バネ係合部４２Ａに係合するバネ８５Ａの付勢力によってレバー部８１Ａの先端側（弾性ローラ８２Ａが取り付けられた側）が開口３ｂ側に移動させられる。このとき、カムフォロア４５Ａはカム面８３Ａから離間するので、レバー部８１Ａの先端側の開口３ｂ側への移動が許容される。その一方では、後側の第１連結部材３７Ｂが左側に移動させられ、第１回動部材３４Ｄが平面視反時計回りに回動させられることで、バネ係合部４２Ｄに係合するバネ８５Ｂの付勢力によってレバー部８１Ｂの先端側（弾性ローラ８２Ｂが取り付けられた側）が開口３ｂ側に移動させられる。このとき、カムフォロア４５Ｂはカム面８３Ｂから離間するので、レバー部８１Ｂの先端側の開口３ｂ側への移動が許容される。

つまり、錠開閉機構３０の開錠動作に連動して弾性ローラ８２Ａ，８２Ｂが開口３ｂ側に移動することで、容器本体７１の外周面が弾性ローラ８２Ａ，８２Ｂによって挟み込まれ、装置本体２に対して容器本体７１が固定される。なお、弾性ローラ８２Ａ，８２Ｂによる容器本体７１の固定は、バネ８５Ａ，８５Ｂの付勢力によって行われている。従って、容器本体７１の大きさにばらつきが生じていたとしても、容器本体７１を適切に固定することができる。

次に、ポッド７０の錠機構７４に施錠を行わせるための錠開閉機構３０の施錠動作について説明する。錠開閉機構３０は、天板部３ｄに設けられた長穴状の各開口３ｅにおいて係合部３５Ａ〜３５Ｄが外側（すなわち、開口３ｂと反対側）に位置した状態で、待機する。このとき、錠開閉機構３０の第１連結部材３７Ａ，３７Ｂ、第２連結部材３９、及びエアシリンダ３３は、図１３に示される状態にある。当該ポッド７０において開錠状態にある各錠機構７４の凹部７８ａに（図８の（ｂ）を参照）、上下方向において対向する係合部３５Ａ〜３５Ｄが係合した状態にある。

この状態で、容器本体７１に蓋部７２が取り付けられると、図９に示されるように、錠開閉機構３０では、シリンダ部３３ａに対するガスの導出入によってロッド部３３ｂが前側にスライドさせられる。これにより、前側の第２回動部材３８が平面視時計回りに回動させられ、前側の第１連結部材３７Ａが左側に移動させられる。更に、前側の一対の第１回動部材３４Ａ，３４Ｂが平面視時計回りに回動させられ、係合部３５Ａ，３５Ｂが後側に移動させられる。その一方では、後側の第２回動部材３８が平面視時計回りに回動させられ、後側の第１連結部材３７Ｂが右側に移動させられる。更に、後側の一対の第１回動部材３４Ｃ，３４Ｄが平面視時計回りに回動させられ、係合部３５Ｃ，３５Ｄが前側に移動させられる。つまり、図５に示されるように、天板部３ｄに設けられた長穴状の各開口３ｅにおいて係合部３５Ａ〜３５Ｄが内側（すなわち、開口３ｂ側）に位置した状態となる。これより、ポッド７０の錠機構７４では、係合部７８が切欠き部７２ａに係合して、錠機構７４が施錠状態となる（図８の（ａ）を参照）。

前側の第１連結部材３７Ａが左側に移動させられ、第１回動部材３４Ａが平面視時計回りに回動させられることで、バネ８５Ａによるレバー部８１Ａの先端側（弾性ローラ８２Ａが取り付けられた側）の付勢が解除される。これと共に、第１連結部材３７Ａの左側への移動に伴い、カムフォロア４５Ａが容器固定部８０Ａのカム面８３Ａに当接し、カムフォロア４５Ａがレバー部８１Ａの先端側をバネ８５Ａの付勢力に抗する方向（前側）に押し出す。これにより、弾性ローラ８２Ａによる容器本体７１の固定が解除される。その一方では、後側の第１連結部材３７Ｂが右側に移動させられ、第１回動部材３４Ｄが平面視時計回りに回動させられることで、バネ８５Ｂによるレバー部８１Ｂの先端側（弾性ローラ８２Ｂが取り付けられた側）の付勢が解除される。これと共に、第１連結部材３７Ｂの右側への移動に伴い、カムフォロア４５Ｂが容器固定部８０Ｂのカム面８３Ｂに当接し、カムフォロア４５Ｂがレバー部８１Ｂの先端側をバネ８５Ｂの付勢力に抗する方向（後側）に押し出す。これにより、弾性ローラ８２Ｂによる容器本体７１の固定が解除される。

以上説明したように、蓋開閉装置１では、錠開閉機構３０の第１連結部材３７Ａ，３７Ｂ等を移動させてポッド７０の錠機構７４の開錠を行う場合、第１連結部材３７Ａ，３７Ｂと連動して容器固定部８０Ａ，８０Ｂが、容器本体７１を装置本体２に固定する。このように、錠機構７４の開錠動作と連動して容器本体７１が装置本体２に固定されるので、例えば、錠機構７４が開錠状態のときに蓋部７２を取り付ける場合であっても、容器本体７１の浮き上がり及び蓋部７２の位置ずれ等が発生するのを抑制することができる。よって、この蓋開閉装置１によれば、容器本体７１に蓋部７２を的確に取り付けることができる。

第１回動部材３４Ａ〜３４Ｄにそれぞれ係合部３５Ａ〜３５Ｄを設け、第１回動部材３４Ａ〜３４Ｄを第１連結部材３７Ａ，３７Ｂ、第２回動部材３８、及び第２連結部材３９によって連結する。これにより、第１回動部材３４Ａ〜３４Ｄに設けられた係合部３５Ａ〜３５Ｄを同じタイミングで動作させることができる。従って、複数の係合部３５Ａ〜３５Ｄに対応して設けられた複数の錠機構７４の開錠動作及び施錠動作を一斉に行うことができる。これにより、複数の錠機構７４の開錠動作及び施錠動作にばらつきが生じて、例えば、容器本体７１の浮き上がり及び蓋部７２の位置ずれ等が発生するのを抑制することができる。よって、この蓋開閉装置１によれば、容器本体７１に蓋部７２をより的確に取り付けることができる。

容器固定部８０Ａ，８０Ｂによる容器本体７１の固定時には、バネ８５Ａ，８５Ｂの付勢力を利用して弾性ローラ８２Ａ，８２Ｂを容器本体７１に押し付けることができるので、容器本体７１を固定するための特別なアクチュエータ等が不要となり、装置構成を簡易なものとすることができる。

容器固定部８０Ａ，８０Ｂのレバー部８１Ａ，８１Ｂを回動可能とし、カムフォロア４５Ａ，４５Ｂによってレバー部８１Ａ，８１Ｂを回動させることで、容器本体７１への弾性ローラ８２Ａ，８２Ｂによる押圧動作及び押圧の解除動作を第１連結部材３７Ａ，３７Ｂの移動と連動させることができる。これにより、レバー部８１Ａ，８１Ｂを回動させるための専用のアクチュエータ等が不要となり、装置構成を簡易なものとすることができ、省電力化を図ることができる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明の蓋開閉装置の対象は、レチクルＲを収納するポッド７０に限定されず、他の被収納物を収納する他の収納容器であってもよい。錠開閉機構３０に駆動力を付与するアクチュエータとして、エアシリンダ３３以外のアクチュエータを用いてもよい。上述した全ての構成の形状又は材料としては、上述したもの限定されず、様々な形状又は材料を適用することができる。本発明の連結部材は、上述したロッド状の部材に限定されない。連結部材がワイヤ等の他の連結部材であっても、上述したものと同様の動作機構を実現することができる。錠開閉機構３０の開錠動作及び施錠動作は、回動部材３４Ａ〜３４Ｄ及び３８の回動方向及び連結部材３７Ａ，３７Ｂ及び３９の移動方向を上述した場合と逆方向にしても実現することができる。

本発明の一側面によれば、容器本体に蓋部を的確に取り付けることができる蓋開閉装置を提供することが可能となる。

１…蓋開閉装置、２…装置本体、３０…錠開閉機構（移動部）、３３…エアシリンダ（アクチュエータ）、３４Ａ〜３４Ｄ…第１回動部材（回動部材）、３５Ａ〜３５Ｄ…係合部、３７Ａ，３７Ｂ…第１連結部材（連結部材）、３８…第２回動部材、３９…第２連結部材、４５Ａ，４５Ｂ…カムフォロア（連動部材）、７０…ポッド（収納容器）、７１…容器本体、７２…蓋部、７４…錠機構、８０Ａ，８０Ｂ…容器固定部、８５Ａ，８５Ｂ…バネ（付勢部材）、Ｒ…レチクル（被収納物）。

Claims (3)

1. 被収納物を収納する容器本体と、前記容器本体に対して開閉可能な底部を成し、前記被収納物が載置される蓋部と、前記容器本体に対する前記蓋部の開錠及び施錠を行う錠機構と、を備える収納容器について、前記容器本体に対する前記蓋部の開閉を行う蓋開閉装置であって、
   前記収納容器が載置される装置本体と、
   前記装置本体に前記収納容器が載置されたときに前記錠機構に係合する係合部を有し、前記係合部を移動させることで、前記錠機構に前記開錠を行わせるための開錠動作、及び前記錠機構に前記施錠を行わせるための施錠動作を行う移動部と、
   前記錠機構に前記開錠を行わせる場合には、前記移動部と連動して、前記容器本体を前記装置本体に固定させる容器固定部と、
   を備え、
   前記移動部は、
   前記係合部を有すると共に、前記装置本体に対して第１の中心軸まわりに回動可能に支持された回動部材と、
   前記回動部材に対して前記第１の中心軸に平行な第２の中心軸まわりに回動可能に連結され、移動により前記回動部材を回動させる連結部材と、
   前記装置本体に取り付けられ、前記連結部材に駆動力を付与するアクチュエータと、
   前記連結部材に設けられた連動部材と、を有し、
   前記容器固定部は、
   基端側が前記装置本体に対して前記第１の中心軸に平行な第３の中心軸まわりに回動可能に支持され先端側が移動可能とされると共に、カム面を有するレバー部と、
   前記レバー部の先端側に取り付けられ、前記容器本体に当接及び離間可能な押圧部材と、
   前記押圧部材が前記容器本体に向けて付勢されるように、前記レバー部を付勢する付勢部材と、を有し、
   前記連動部材は、前記施錠動作を行う方向に前記連結部材が移動させられた場合、前記カム面に当接して前記付勢部材の付勢に抗する方向に前記レバー部を回動させ、且つ、前記開錠動作を行う方向に前記連結部材が移動させられた場合、前記付勢部材によるレバー部の付勢を許容する、前記連結部材上の位置に設けられている、蓋開閉装置。
2. 前記回動部材は複数設けられ、
   前記連結部材は、少なくとも一対の前記回動部材を連結して当該回動部材を回動させる、
   請求項１記載の蓋開閉装置。
3. 前記押圧部材は、前記容器本体と弾性的に当接可能な弾性ローラであり、前記レバー部の先端側に回動可能に取り付けられ、
   前記付勢部材は、前記レバー部の先端側を付勢するバネであり、
   前記連動部材は、前記レバー部を回動させるカムフォロアである、
   請求項１又は２に記載の蓋開閉装置。

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