JP6014982B2 - サイド用ロードポート、ｅｆｅｍ - Google Patents

Description

本発明は、クリーンルーム内においてウェーハ搬送室の側面に設置可能なサイド用ロードポートというこれまでに着想されていない斬新な装置に関するものであるとともに、このようなサイド用ロードポートを備えたＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）に関するものである。

半導体の製造工程においては、歩留まりや品質の向上のため、クリーンルーム内でのウェーハの処理がなされている。しかしながら、素子の高集積化や回路の微細化、ウェーハの大型化が進んでいる今日では、小さな塵をクリーンルーム内の全体で管理することは、コスト的にも技術的にも困難となってきている。このため、近年では、クリーンルーム内全体の清浄度向上に代わる方法として、ウェーハの周囲の局所的な空間についてのみ清浄度をより向上させる「ミニエンバイロメント方式」を取り入れ、ウェーハの搬送その他の処理を行う手段が採用されている。ミニエンバイロメント方式では、ウェーハを高清浄な環境で搬送・保管するためのＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる格納用容器が用いられ、ウェーハ搬送室とともにＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）を構成し、ＦＯＵＰ内のウェーハをウェーハ搬送室との間で出し入れする際や、ＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰの受け渡しを行う際のインターフェース部として機能するロードポート（Load Port）が重要な装置として利用されている。

そして、ロードポートに設けたドア部をＦＯＵＰの背面に設けた扉に密着させた状態でこれらドア部及び扉が同時に開けられ、ウェーハ搬送室内に設けたアームロボット等のウェーハ搬送ロボットによって、ＦＯＵＰ内のウェーハをウェーハ搬送室内に取り出したり、ウェーハをウェーハ搬送室内からロードポートを通じてＦＯＵＰ内に収納できるように構成されている。このようなウェーハ搬送ロボットを配置した空間であるウェーハ搬送室、及びロードポートとからなるモジュールは、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）と呼ばれている。

ここで、ロードポートはウェーハ搬送室の前面に配置され、ロードポーロを介してウェーハ搬送ロボットによってＦＯＵＰ内からウェーハ搬送室内に搬送されたウェーハは、ウェーハ搬送室の背面に配置された半導体処理装置で種々の処理または加工が施された後にウェーハ搬送室内からロードポートを通じてＦＯＵＰ内に再度収容される。

そして、ＥＦＥＭ全体のウェーハ処理能力の向上を図るべく、ウェーハ搬送室の前面に複数のロードポートを並列した構成が知られている（特許文献１及び特許文献２参照）。各ロードポートの載置テーブルには、ロードポートの並列方向に平行な直線状の搬送ラインに沿って作動するＦＯＵＰ搬送装置によって上方からＦＯＵＰが移載されるとともに、処理済みのウェーハを収容したＦＯＵＰは、載置テープル上からＦＯＵＰ搬送装置に移載されるように構成されている。このように、ＦＯＵＰ搬送装置の搬送ラインを各ロードポートの載置テーブルを連続して横切る単純な直線状に設定することによって、搬送ラインの単純化を実現することができるとともに、ＦＯＵＰ搬送装置と各ロードポートの載置テーブルとの間におけるＦＯＵＰの受け渡しをスムーズ且つ適切に搬送することができる。

特開２０１０−０９３２２７号公報 特開２００９−０１６６０４号公報

ところで、ウェーハ搬送室の側面にロードポートを配置するという構成はこれまで採用されることがなかった。これは、ウェーハ搬送室の側面に従来と同様のロードポートを配置した場合には、ＦＯＵＰ搬送装置の搬送ラインとして、ウェーハ搬送室の前面に沿った直線状のラインのみならず、ウェーハ搬送室の側面に配置したロードポートの載置テーブル上にＦＯＵＰを搬送するためのライン、すなわち、ウェーハ搬送室の側面に沿ったラインも必要となり、搬送ラインの複雑化ひいてはＦＯＵＰ搬送処理の煩雑化及び搬送処理能力の低下を招来するおそれがあるからである。

このような事情から、ウェーハ搬送室の側面にロードポートを配置する構成は採用されなかったが、本発明者は、ウェーハ搬送室の前面のみならず、ウェーハ搬送室の側面からもウェーハ搬送室内にウェーハが出し入れ可能な構成を実現すべく、鋭意熟慮した結果、ウェーハ搬送室内に搬送可能（アクセス可能）なウェーハの数を効果的に増大させることができ、ＥＦＥＭに用いた場合にはウェーハ搬送の処理能力を向上させることが可能なサイド用ロードポート、及びこのようなサイド用ロードポートを備えたＥＦＥＭを発明した。

すなわち、本発明は、前面にロードポートが配置されるウェーハ搬送室の少なくとも一方の側面に配置され、これらウェーハ搬送室及びロードポートとともにＥＦＥＭを構成するサイド用ロードポートに関するものである。ここで、ウェーハ搬送室の前面には１台のロードポートが配置されてもよく、複数のロードポートが並設されたものであってもよい。本発明のサイド用ロードポートは、ウェーハ搬送室の側面の一方又は両方に配置可能なものである。

そして、本発明のサイド用ロードポートは、内部にウェーハを収容可能なＦＯＵＰを載置可能な載置テーブルと、載置テーブルを、各ロードポートがＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡す位置と同一直線上に設定したＦＯＵＰ受渡位置と、ウェーハ搬送室の側面にＦＯＵＰを密着させ得る位置に設定したウェーハ出入位置との間で、ウェーハ搬送室の側面に平行な移動経路に沿ってＦＯＵＰ搬送装置の搬送ラインの延伸方向と略直交する方向に移動させる移動機構とを備え、載置テーブルをＦＯＵＰ受渡位置に配置した状態でＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡すことが可能であるとともに、載置テーブルをウェーハ出入位置に配置した状態でＦＯＵＰ内に格納されているウェーハをウェーハ搬送室内との間で出し入れ可能なものであり、さらに、ＦＯＵＰ受渡位置においてＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡す時点におけるＦＯＵＰの向きと、ウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う時点におけるＦＯＵＰの向きとを異ならせる旋回機構を備え、旋回機構が、前記移動経路内において載置テーブルを鉛直軸回りに旋回させ、当該載置テーブル上に載置したＦＯＵＰの向きを変更させるものであり、載置テーブルをウェーハ出入位置に配置した状態において、ＦＯＵＰのウェーハ搬出入用開口部がウェーハ搬送室の側面を向くように設定していることを特徴としている。

このようなサイド用ロードポートであれば、ＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡し可能なＦＯＵＰ受渡位置を、ウェーハ搬送室の前面に設置したロードポートがＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを受け渡す位置と同一直線上に設定しているため、ＦＯＵＰ搬送装置の搬送ラインがウェーハ搬送室の前面に沿って延びる単純な直線である既知のＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを好適に受け渡すことができる。さらに、本実施形態に係るサイド用ロードポートは、移動機構によって載置テーブルをＦＯＵＰ受渡位置からウェーハ出入位置に移動させることにより、載置テーブルに載置したＦＯＵＰ内のウェーハをウェーハ搬送室の側面からウェーハ搬送室内に出し入れすることが可能になり、ウェーハ搬送室に対するウェーハのアクセス経路が増加する。したがって、このようなサイド用ロードポートをＥＦＥＭに用いれば、ウェーハ搬送処理能力を大きく向上させることができる。

特に、本発明のサイド用ロードポートが、ＦＯＵＰ受渡位置においてＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡す時点におけるＦＯＵＰの向きと、ウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う時点におけるＦＯＵＰの向きとを異ならせる旋回機構を備えたものであれば、ＦＯＵＰ受渡位置におけるＦＯＵＰの向きをウェーハ搬送室の前面に配置したロードポート上に積載したＦＯＵＰの向きと一致させて、これらロードポートとＦＯＵＰ搬送装置との間でのＦＯＵＰの受け渡し処理と同様の手順でサイド用ロードポートとＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰの受け渡し処理を行うことができるように設定することが可能になるとともに、ウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う場合には、ＦＯＵＰのウェーハ搬出入用開口部がウェーハ搬送室の側面を向くようにＦＯＵＰの向きを設定することが可能になり、ウェーハの出し入れ処理をスムーズに行うことができる。

また、本発明に係るサイド用ロードポートでは、移動機構として、長手方向をウェーハ搬送室の側面と平行な方向に一致させたレールと、当該レールに沿って移動可能な台車とを備えたものを適用することができ、台車上に旋回機構及び載置テーブルを配置した構成にすることができる。
さらに、本発明のサイド用ロードポートが、旋回機構によってＦＯＵＰの向きを変える旋回処理時の載置テーブルの高さ位置を、ＦＯＵＰ受渡位置においてＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡す時点及びウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う時点の載置テーブルの高さ位置よりも高くする昇降機構を備えたものであれば、旋回処理時に載置テーブル及び載置テーブル上のＦＯＵＰが他の部材と不意に干渉することを防止することができ、スムーズな旋回処理を実現することができる。

また、本発明に係るＥＦＥＭは、１台以上のサイド用ロードポートと、サイド用ロードポートを側面に隣接して設けたウェーハ搬送室と、ウェーハ搬送室の前面に隣接して設けたロードポートとによって構成したことを特徴としている。ここで、本発明のＥＦＥＭは、ウェーハ搬送室の両側面にそれぞれサイド用ロードポートを設けたものであってもよいし、ウェーハ搬送室の何れか一方の側面にのみサイド用ロードポートを設けたものであってもよい。また、ウェーハ搬送室の前面に配置されるロードポートの台数も限定されるものではない。

このようなＥＦＥＭであれば、上述した作用効果を奏するサイド用ロードポートを備えているため、ＦＯＵＰ搬送装置の搬送ラインの複雑化を招来することなく、ＥＦＥＭ全体のウェーハ搬送処理能力が向上する。

本発明によれば、ＦＯＵＰ載置用の載置テーブルを移動機構によって上述した所定のＦＯＵＰ受渡位置と所定のウェーハ出入位置との間で移動させるという斬新な技術的思想を採用したことによって、ウェーハ搬送室内に搬送可能（アクセス可能）なウェーハの数を効果的に増大させることができ、ＥＦＥＭに用いた場合にはウェーハ搬送の処理能力を向上させることが可能なサイド用ロードポート、及びこのようなサイド用ロードポートを備えたＥＦＥＭを提供することができる。

本発明の一実施形態に係るサイド用ロードポートを備えたＥＦＥＭと半導体処理装置との相対位置関係を模式的に示す平面図。 図１のａ方向矢視図。 同実施形態においてＦＯＵＰ受渡処理時のサイド用ロードポートの全体概略図。 同実施形態に係るサイド用ロードポートの平面模式図。 図３の状態から載置テーブルを上昇させた時点（旋回処理直前）のサイド用ロードポートを示す図。 同実施形態において旋回処理直後のサイド用ロードポートを示す図。 図６の状態から載置テーブルをスライド移動させた状態のサイド用ロードポートを示す図。 同実施形態においてウェーハ出入処理時のサイド用ロードポートを示す図。

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

本実施形態に係るサイド用ロードポート１は、例えば半導体の製造工程において用いられ、図１に示すように、共通のクリーンルームＡ内においてウェーハ搬送室Ｂの側面に隣接して配置されるものである。このサイド用ロードポート１は、ウェーハ搬送室Ｂ、及びウェーハ搬送室Ｂの前面に並べて配置した複数のロードポートＣと共にＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）を構成する。また、ウェーハ搬送室Ｂの背面には例えばウェーハ処理装置Ｄが隣接して設けられ、クリーンルームＡにおいて、ウェーハ処理装置Ｄ内、ウェーハ搬送室Ｂ内、及びＦＯＵＰｘ内は高清浄度に維持される一方、ロードポートＣ及びサイド用ロードポート１を配置した空間、換言すればウェーハ処理装置Ｄ外、ウェーハ搬送室Ｂ外、及びＦＯＵＰｘ外は比較的低清浄度となる。

ここで、図１はサイド用ロードポート１とその周辺を上から見た平面図として、クリーンルームＡにおけるサイド用ロードポート１、ロードポートＣ、及びウェーハ搬送室Ｂの相対位置関係を模式的に示すとともに、これらサイド用ロードポート１、ロードポートＣ、及びウェーハ搬送室Ｂによって構成されるＥＦＥＭとウェーハ処理装置Ｄとの相対位置関係を模式的に示している。

以下では、先ずロードポートＣ、ウェーハ搬送室Ｂ及びウェーハ処理装置Ｄの構造を簡単に説明し、その後にサイド用ロードポート１について詳述する。

各ロードポートＣは、図１及び図２に示すように、ほぼ矩形板状をなし略鉛直姿勢で配置されるフレームＣ１と、このフレームＣ１の高さ方向中央部からやや上方寄りの位置に略水平姿勢で設けた載置テーブルＣ２とを備え、フレームＣ１のうち載置テーブルＣ２とほぼ同じ高さ位置に開口下縁を設定しウェーハ搬送室Ｂ内に連通し得る開口部を、ドア部によって開閉可能に構成したものである。このようなロードポートＣは、ウェーハ搬送室Ｂの前面に隣接して配置されるものであり、ＦＯＵＰｘの扉ｘ３（図３参照）を密着させて開閉し、ウェーハ搬送室Ｂの前面側からウェーハをＦＯＵＰｘ内とウェーハ搬送室Ｂ内との間で出し入れするために用いられるものである。本実施形態では、フレームＣ１の背面がウェーハ搬送室Ｂの前面に接した状態でロードポートＣをウェーハ搬送室Ｂの前面に複数並べて配置し、ウェーハ搬送室Ｂの前面に沿って延伸する直線上の搬送ラインＬ（動線）で作動するＦＯＵＰ搬送装置によって搬送されたＦＯＵＰｘを各ロードポートＣの上方から載置テーブルＣ２上に搬送して載置できるとともに、所定の処理（本実施形態では洗浄処理）を終えたウェーハを格納したＦＯＵＰｘを各ロードポートＣの載置テーブルＣ２上からＦＯＵＰ搬送装置に引き渡すことができるように設定している。なお、各ロードポートＣは、既知のものを適用することができるため、詳細な構造や使用方法については説明を省略する。

内部に複数のウェーハを高さ方向に多段状に収容可能なＦＯＵＰｘは、ＯＨＰ（Overhead Hoist
Transfer）などのＦＯＵＰ搬送装置によって把持可能なフランジ部ｘ１を上面に設け、両側面にはハンドルｘ２を設けた既知のものであり、詳細な説明は省略する。なお、後出の図５乃至図８ではＦＯＵＰｘの外観を模式的に示すとともに、ＦＯＵＰｘの向きを直感的に把握できるようにハンドルｘ２を簡略化して示している。

ウェーハ搬送室Ｂ内には、図１に示すように、ＦＯＵＰｘ内のウェーハをウェーハ処理装置Ｄ内に搬送したり、ウェーハ処理装置Ｄ内で適宜の処理が施されたウェーハをＦＯＵＰｘ内に搬送可能なウェーハ搬送ロボットＢ１を設けている。本実施形態では、ウェーハ搬送ロボットＢ１を、ウェーハ搬送室Ｂの幅方向に延伸するスライドレールＢ２に沿ってスライド可能に設定し、各ロードポートＣ及びサイド用ロードポート１にそれぞれ載置されたＦＯＵＰｘ内にアクセス可能に構成している。ここで、ウェーハ搬送ロボットＢ１は、ウェーハを１枚ずつ搬送可能なものであってもよいし、ウェーハを複数枚ずつ搬送可能なものや、或いはＦＯＵＰ内の全てのウェーハ部を一度に搬送可能なものであってもよい。また、ウェーハ搬送室Ｂ内に、ウェーハ搬送ロボットＢ１に代えて、又は加えて、ＦＯＵＰｘ内とウェーハ処理装置Ｄ内との間でウェーハを複数枚格納したカセットごと搬送可能なカセット搬送機構を設けることも可能である。

このようなウェーハ搬送室Ｂ及びウェーハ搬送室Ｂの前面に並べて配置した複数のロードポートＣと共にＥＦＥＭを構成するサイド用ロードポート１は、図１乃至図４（図３はサイド用ロードポート１を一部省略して示す全体概略図であり、図４はサイド用ロードポート１の平面図である）に示すように、ＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを受け渡すことが可能なＦＯＵＰ受渡ステージ２と、ＦＯＵＰｘ内に収容されたウェーハをウェーハ処理装置Ｄ内に払い出すとともに、ウェーハ処理装置Ｄで処理されたウェーハをＦＯＵＰｘ内に収容可能なウェーハ出入ステージ３（オープナステージ）と、これらＦＯＵＰ受渡ステージ２及びウェーハ出入ステージ３を支持する共通のベースフレーム４と、ＦＯＵＰｘを載置した状態でＦＯＵＰ受渡ステージ２とウェーハ出入ステージ３との間で移動可能な載置テーブル５と備えたものである。

ＦＯＵＰ受渡ステージ２は、ほぼ矩形板状をなし略鉛直姿勢で配置されるＦＯＵＰ受渡ステージ側フレーム２１と、このＦＯＵＰ受渡ステージ側フレーム２１の上端部に略水平姿勢で設けたＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２と備えたものである（図３参照）。本実施形態のサイド用ロードポート１は、このＦＯＵＰ受渡ステージ２を、ロードポートＣの載置テーブルＣ２と同様にＦＯＵＰ搬送装置の直線状の搬送ラインＬが横切る位置に配置している（図１参照）。

ＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２は、図４に示すように、載置テーブル５との干渉を避けるＦＯＵＰ受渡ステージ側切欠部２２ａを形成したものである。また、このＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２には、上向きに突出させた３つの突起２２ｂを形成しており、これらの突起２２ｂをＦＯＵＰｘの底面に形成された穴（図示省略）に係合させることで、ＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２上におけるＦＯＵＰｘの位置決めを図っている。

ウェーハ出入ステージ３は、ほぼ矩形板状をなし略鉛直姿勢で配置されるウェーハ出入ステージ側フレーム３１と、このウェーハ出入ステージ側フレーム３１の高さ方向中央部よりやや上方寄りの位置に略水平姿勢で設けたウェーハ出入ステージ側載置板３２と、ウェーハ出入ステージ側フレーム３１のうちウェーハ出入ステージ側載置板３２とほぼ同じ高さ位置に開口下縁を設定しウェーハ搬送室Ｂ内に連通し得る開口部３３と、この開口部３３を開閉するドア部３４とを備えたものである（図３参照）。

ここで、本実施形態のサイド用ロードポート１は、ウェーハ出入ステージ側フレーム３１の高さ寸法をロードポートＣのフレームＣ１とほぼ同じ高さ寸法に設定する一方で、ＦＯＵＰ受渡ステージ側フレーム２１の高さ寸法をウェーハ出入ステージ側フレーム３１よりも小さく設定し、ＦＯＵＰ搬送装置により搬送ラインＬに沿って搬送されるＦＯＵＰｘがＦＯＵＰ受渡ステージ側フレーム２１及びＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２に不意に干渉する事態を回避している。

ウェーハ出入ステージ側載置板３２は、図４に示すように、載置テーブル５との干渉を避けるウェーハ出入ステージ側切欠部３２ａを形成したものである。また、このウェーハ出入ステージ側載置板３２には、上向きに突出させた３つの突起３２ｂを形成している。これら３つの突起３２ｂは、ＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２に設けた３つの突起２２ｂと対応する箇所に設けたものであり、これら３つの突起３２ｂをＦＯＵＰｘの底面に形成された穴（図示省略）に係合させることで、ウェーハ出入ステージ側載置板３２上におけるＦＯＵＰｘの位置決めを図っている。本実施形態では、ウェーハ出入ステージ側載置板３２の高さ位置をＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２と同一又はほぼ同一高さ位置に設定している。また、これらウェーハ出入ステージ側載置板３２及びＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２の高さ位置は、ロードポートＣの載置テーブルＣ２とほぼ高さ位置である。

ウェーハ出入ステージ３のドア部３４は、ＦＯＵＰｘをウェーハ出入ステージ側載置板３２に載置した状態においてＦＯＵＰｘの背面に設けた扉ｘ３に密着した状態でその扉ｘ３を開ける開状態と、隣接するウェーハ搬送室Ｂの内部空間とＦＯＵＰｘの内部空間とを遮断する閉状態との間で作動可能なものであり、具体的な開閉構造は既知のものに準じたものである。

また、本実施形態に係るサイド用ロードポート１は、ウェーハ出入ステージ３に、ＦＯＵＰｘ内に格納されたウェーハの枚数や位置をマッピングするマッピング装置を設けたり、ＦＯＵＰ受渡ステージ２又はウェーハ出入ステージ３の何れか一方または両方にパージポートを設けることもできる。

本実施形態のサイド用ロードポート１では、図１に示すように、ＦＯＵＰ受渡ステージ２及びウェーハ出入ステージ３がウェーハ搬送室Ｂの側方においてウェーハ搬送室Ｂの前後方向に沿って並ぶとともに、これらＦＯＵＰ受渡ステージ２及びウェーハ出入ステージ３の並び方向を、ウェーハ搬送室Ｂの前面に並べた複数のロードポートＣの並び方向（搬送ラインＬの延伸方向と一致する方向）とほぼ直交する方向に設定している。このようなレイアウトを採用することにより、ＦＯＵＰ受渡ステージ２は搬送ラインＬを横切る位置に配置され、ウェーハ出入ステージ３は搬送ラインＬを横切らない位置に配置される。

ベースフレーム４は、ウェーハ出入ステージ側フレーム３１を重ね合わせた状態で固定する第１固定領域４１と、ＦＯＵＰ受渡ステージ側フレーム２１を重ね合わせた状態で固定する第２固定領域４２とを一体に有するものである（図３及び図４参照）。本実施形態のサイド用ロードポート１は、第１固定領域４１をウェーハ搬送室Ｂの側面に隣接させるとともに、第２固定領域４２をＦＯＵＰ搬送装置の搬送ラインＬが横切る位置に配置している。なお、第２固定領域４２の上端は、ＦＯＵＰ受渡ステージ２の上端とほぼ同じ高さ位置である。

ＦＯＵＰ受渡ステージ２とウェーハ出入ステージ３との間で移動可能な載置テーブル５は、図３及び図４に示すように、例えば平面視略三角形状をなす板状の部材であり、上向きに突出させた３つの突起５ａを形成しており、これらの突起５ａをＦＯＵＰｘの底面に形成された前述とは異なる穴（図示省略）に係合させることで、載置テーブル５上におけるＦＯＵＰｘの位置決めを図っている。すなわちＦＯＵＰｘの底面には、６つの位置決め用の穴が形成されており、そのうちの３つを載置テーブル５の突起５ａと、残りの３つをＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２の突起２２ｂ又はウェーハ出入ステージ側載置板３２の突起３２ｂと、それぞれ係合させ得るようにしている。

そして、本実施形態に係るサイド用ロードポート１は、載置テーブル５をＦＯＵＰ受渡ステージ２とウェーハ出入ステージ３との間で移動させる移動機構６と、水平面内におけるＦＯＵＰｘの向きを変更させる旋回機構７と、載置テーブル５を昇降させる昇降機構８とを備えている。

移動機構６は、ＦＯＵＰｘを上面に載せ置くことが可能な載置テーブル５をＦＯＵＰ受渡ステージ２とウェーハ出入ステージ３との間で水平移動させることによって、ＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡ステージ２とウェーハ出入ステージ３との間で移動させるものである。本実施形態の移動機構６は、載置テーブル５を、少なくとも平面視においてＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２のＦＯＵＰ受渡ステージ側切欠部２２ａ内に収まるＦＯＵＰ受渡位置（図１乃至図３中に実線で示す位置）と、少なくとも平面視においてウェーハ出入ステージ側載置板３２のウェーハ出入ステージ側切欠部３２ａ内に収まるウェーハ出入位置との間で水平移動させるものである。

この移動機構６による載置テーブル５の移動方向（言い換えれば移動機構６によるＦＯＵＰｘの移動方向）は、ＦＯＵＰ搬送装置の搬送ラインＬの延伸方向とほぼ直交する方向である。本実施形態では、図３及び図５（図５は図３の状態から載置テーブル５を上昇させた時点（旋回処理直前）のサイド用ロードポート１を示す図である）に示すように、ＦＯＵＰ受渡ステージ側フレーム２１及びウェーハ出入ステージ側フレーム３１に亘る領域に水平姿勢に設けられ、且つ長手方向をＦＯＵＰ受渡ステージ２及びウェーハ出入ステージ３の並び方向に一致させたレール６１（図示例では２本のレール６１）と、レール６１に沿って移動可能な台車６２とを備えた移動機構６を適用している。本実施形態のサイド用ロードポート１では、台車６２上に旋回機構７、昇降機構８及び載置テーブル５を配設している。

旋回機構７は、ＦＯＵＰ受渡位置においてＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを受け渡す時点におけるＦＯＵＰｘの向き及びウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う時点におけるＦＯＵＰｘの向きを相互に異ならせるものである。本実施形態の旋回機構７は、載置テーブル５を水平面内で回転させることによって、載置テーブル５上のＦＯＵＰｘの向きを変更するものである。具体的には、図３、図５及び図６（図６は旋回処理直後のサイド用ロードポート１を示す図である）に示すように、台車６２上に設けた回転ステージ７１を用いて旋回機構７を構成し、回転ステージ７１を鉛直軸回りに回転させることによって載置テーブル５を旋回させ、載置テーブル５上に載置したＦＯＵＰｘの向きを変更可能に設定している。

昇降機構８は、載置テーブル５を、ＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２及びウェーハ出入ステージ側載置板３２よりも低位置に設定可能な通常位置（図３参照）と、ＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２及びウェーハ出入ステージ側載置板３２よりも高位置に設定可能な上昇位置（図５参照）との間で昇降動作させるものである。昇降機構８は、上端部を載置テーブル５に固定した複数の伸縮可能な複数の例えば液圧式又はガス圧式のシリンダ８１を用いて構成することができる。各シリンダ８１の下端部側領域はカバー体９によって被覆され、このカバー体９の上部に、各シリンダ８１を伸縮動作可能に支持するシリンダ支持部９１を設けている。本実施形態では、このカバー体９を回転ステージ７１上に取り付けている。また、本実施形態では、載置テーブル５を通常位置に位置付けた状態で、ＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２又はウェーハ出入ステージ側載置板３２上に載置した場合に、載置テーブル５がＦＯＵＰｘに接触しないように設定している（図３参照）。

これら移動機構６、旋回機構７及び昇降機構８の各動作は図示しない制御部によって制御されている。なお、メンテナンスや部品交換時などを除いた通常使用時は、移動機構６、旋回機構７及び昇降機構８を共通のカバーで覆っているが、図３及び図４では説明の便宜上、この共通のカバーを取り外した状態を示している。また、サイド用ロードポート１が、載置テーブル５に載置しているＦＯＵＰｘをドア部３４に接離するように載置テーブル５を移動させる機能を有するものであってもよい。

次に、このような本実施形態に係るサイド用ロードポート１の使用方法及びＥＦＥＭの使用方法について、サイド用ロードポート１を用いてＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰ受け渡す際のサイド用ロードポート１の動作手順、及びサイド用ロードポート１を介してＦＯＵＰｘ内のウェーハをウェーハ搬送室Ｂひいてはウェーハ処理装置Ｄに出し入れする際のサイド用ロードポート１の動作手順を中心に説明する。

先ず、搬送ラインＬに沿ってＦＯＵＰ搬送装置により搬送されたＦＯＵＰｘを受け取る場合には、予めサイド用ロードポート１の載置テーブル５をＦＯＵＰ受渡位置に配置しておく。このＦＯＵＰ受渡位置は、ウェーハ搬送室Ｂの前面に配置した各ロードポートＣによるＦＯＵＰｘの受渡位置と同一直線上にあり、ＦＯＵＰ搬送装置の搬送ラインＬと一致する。つまり、本実施形態のサイド用ロードポート１は、ＦＯＵＰ搬送装置の搬送ラインＬと一致する各ロードポートＣの載置テーブルＣ２を結ぶ受渡ライン上にＦＯＵＰ受渡位置を設定している。また、ＦＯＵＰ搬送装置により搬送されたＦＯＵＰｘを受け取る場合には、予め載置テーブル５の高さ位置を通常位置に設定しておく。

載置テーブル５の位置をこのような位置（ＦＯＵＰ受渡位置であって且つ通常位置）に設定した状態で、ＦＯＵＰ搬送装置によってサイド用ロードポート１のうちＦＯＵＰ受渡ステージ２上に搬送されたＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２上に受け取る（図３参照）。この際、ＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２上に設けた突起２２ｂがＦＯＵＰｘの底部に形成した穴に係合する。なお、通常位置にある載置テーブル５は、ＦＯＵＰｘの底面よりも下方に位置付けられているため、ＦＯＵＰｘに接触することはない。

この時点では、図１に示すようにサイド用ロードポート１の載置テーブル５上に載置されたＦＯＵＰｘは、ウェーハ搬送室Ｂの前面に配置したロードポートＣの載置テーブルＣ２上に載置されるＦＯＵＰｘと同じ向きであり、ＦＯＵＰｘの背面に設けた扉ｘ３がウェーハ搬送室Ｂの後方を向く姿勢である。

次いで、本実施形態のサイド用ロードポート１は、昇降機構８によって載置テーブル５を通常位置から上昇位置へ上昇移動させる。具体的には昇降機構８を構成するシリンダ８１を伸長させる。これにより、載置テーブル５は、載置テーブル５上に設けた突起５ａをＦＯＵＰｘの底部に形成した穴に係合させた状態でＦＯＵＰｘを保持し、ＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２よりも高い位置に位置付けられる（図５参照）。ＦＯＵＰ受渡位置において通常位置と上昇位置との間で昇降移動する載置テーブル５は、ＦＯＵＰ受渡ステージ側切欠部２２ａを通過することにより、ＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２と干渉することはない。

このようにしてＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２から載置テーブル５上に移載したサイド用ロードポート１は、続いて旋回機構７によって載置テーブル５を旋回させてＦＯＵＰｘの向きを変更する。具体的には、回転ステージ７１を例えば所定方向に９０度回転させることによって、回転ステージ７１の上方に配置している載置テーブル５を同じ角度分だけ回転させて、ＦＯＵＰｘの背面に設けた扉ｘ３がウェーハ搬送室Ｂの側面に対面し得る姿勢（言い換えれば載置テーブル５上のＦＯＵＰｘの扉ｘ３がウェーハ搬送室Ｂの前面に設けたロードポートＣ上に載置されるＦＯＵＰｘの側方を向く姿勢）にＦＯＵＰｘの向きを変更する（図６参照）。本実施形態では、回転ステージ７１上に昇降機構８を設けているため、旋回機構７による載置テーブル５の旋回処理に伴って昇降機構８（具体的には伸縮シリンダ８１）全体も旋回することになる。

このようにして上昇位置にある載置テーブル５を９０度旋回させた後に、本実施形態のサイド用ロードポート１は、移動機構６によって載置テーブル５をＦＯＵＰ受渡位置からウェーハ出入位置へスライド移動させる。その結果、ＦＯＵＰｘの扉ｘ４をウェーハ搬送室Ｂの側面に向けた姿勢に保持した状態で載置テーブル５はウェーハ出入位置に到達する（図７参照）。

引き続いて、本実施形態のサイド用ロードポート１は、昇降機構８によって載置テーブル５を上昇位置から通常位置へ下降移動させる。具体的には昇降機構８を構成するシリンダ８１の長さを縮小させる。これにより、ウェーハ出入ステージ側載置板３２上に設けた突起３２ｂがＦＯＵＰｘの底部に形成した穴に係合した状態でＦＯＵＰｘをウェーハ出入ステージ側載置板３２上に載置する（図８参照）。このようにして、ＦＯＵＰｘを載置テーブル５からウェーハ出入ステージ側載置板３２上に移載した状態では、載置テーブル５の突起５ａとＦＯＵＰｘの底部に形成した穴との係合状態は解除され、ＦＯＵＰｘの扉ｘ３がウェーハ出入ステージ３のドア部Ｃ４と真正面に向き合う。なお、ウェーハ出入位置において上昇位置と通常位置との間で昇降移動する載置テーブル５は、ウェーハ出入ステージ側切欠部３２ａを通過することにより、ウェーハ出入ステージ側載置板３２と干渉することはない。

次に、本実施形態のサイド用ロードポート１は、ＦＯＵＰｘ内のウェーハをサイド用ロードポート１の開口部３３を経由してウェーハ搬送室Ｂ内に順次払い出す処理を行う。この払い出し処理は、サイド用ロードポート１のドア部３４をＦＯＵＰｘの扉ｘ３に密着させた状態で閉状態から開状態とし、開口部３３を開放した状態で、マッピング処理工程において異常が検出されなかったウェーハをウェーハ搬送ロボットＢ１のアーム部上に載置した状態でＦＯＵＰｘ外へ払い出す処理である。本実施形態では、ウェーハ搬送室Ｂの前面に配置した各ロードポートＣ上に載置されたＦＯＵＰｘ内へアクセス可能なウェーハ搬送ロボットＢ１が、サイド用ロードポート１上においてＦＯＵＰ受渡位置からウェーハ出入位置へスライド移動させ且つ上昇位置から通常位置へ下降移動させた載置テーブル５上からウェーハ出入ステージ側載置板３２上に移載したＦＯＵＰｘ内へもアクセス可能に構成している。なお、サイド用ロードポート１にマッピング装置を設けている場合には、マッピング処理後に、マッピング処理工程において異常が検出されなかったウェーハをウェーハ搬送ロボットＢ１のアーム部上に載置した状態でＦＯＵＰｘ外へ払い出すようにすればよい。

引き続いて、ウェーハ搬送室Ｂ内のウェーハ搬送ロボットＢ１によって、ウェーハ搬送室Ｂを経由してウェーハをウェーハ処理装置Ｄ内に搬送する。ウェーハ処理装置Ｄ内で適宜の処理を施したウェーハを、ウェーハ搬送ロボットＢ１によりウェーハ搬送室Ｂ内及びサイド用ロードポート１の開口部３３を経由してＦＯＵＰｘ内に移送して収納する。次いで、サイド用ロードポート１のドア部３４をＦＯＵＰｘの扉ｘ３に密着させた状態で開状態から閉状態にする。この後のサイド用ロードポート１の動作手順は上述した手順と逆になる。

詳述すると、本実施形態のサイド用ロードポート１は、昇降機構８によって載置テーブル５を通常位置から上方位置へ上昇移動させる。具体的には昇降機構８を構成するシリンダ８１を伸長させる。これにより、載置テーブル５は、載置テーブル５上に設けた突起５ａをＦＯＵＰｘの底部に形成した穴に係合させた状態でＦＯＵＰｘを保持し、ウェーハ出入ステージ側載置板３２よりも高い位置に位置付けられる（図７参照）。引き続いて、本実施形態のサイド用ロードポート１は、移動機構６によって載置テーブル５をウェーハ出入位置からＦＯＵＰ受渡位置へスライド移動させる（図６参照）。

次いで、本実施形態のサイド用ロードポート１は、旋回機構７によって載置テーブル５を旋回させてＦＯＵＰｘの向きを変更する。具体的には、回転ステージ７１を例えばウェーハ処理前における回転方向（正方向）とは逆方向に９０度回転させることにより、回転ステージ７１の上方に配置している載置テーブル５を同じ角度分だけ回転させて、ウェーハ搬送室Ｂの前面に設けたロードポートＣ上に載置されるＦＯＵＰｘと同じ方向を向く姿勢にＦＯＵＰｘの向きを変更する（図５参照）。

続いて、本実施形態のサイド用ロードポート１は、昇降機構８によって載置テーブル５を上昇位置から通常位置へ下降移動させる。具体的には昇降機構８を構成するシリンダ８１の長さを縮小させる。これにより、ＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２上に設けた突起２２ｂがＦＯＵＰｘの底部に形成した穴に係合した状態でＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２上に載置する（図３参照）。なお、通常位置にある載置テーブル５の突起５ａとＦＯＵＰｘの底部に形成した穴との係合状態は解除される。

以上の工程を経て、本実施形態のサイド用ロードポート１は、密閉された内部空間に処理済みのウェーハを収納しているＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡位置に位置付け、さらに、ＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板２２上においてＦＯＵＰｘをウェーハ搬送室Ｂの前面に配置した各ロードポートＣ上のＦＯＵＰｘと同じ高さ位置及び同じ向きに保持することができる。その結果、本実施形態のサイド用ロードポート１は、直線上の搬送ラインＬに従ってＦＯＵＰｘを搬送するＦＯＵＰ搬送装置に、ＦＯＵＰ受渡ステージ２上のＦＯＵＰｘを引き渡すことが可能である。

このように、本実施形態に係るサイド用ロードポート１は、ＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを受け渡し可能なＦＯＵＰ受渡位置を、ロードポートＣがＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを受け渡す位置と同一直線上に設定しているため、搬送ラインＬが単純な直線に設定されている既存のＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを好適に受け渡すことができる。また、本実施形態に係るサイド用ロードポート１は、ＦＯＵＰｘ内に格納されているウェーハをウェーハ搬送室Ｂ内との間で出し入れ可能なウェーハ出入位置をウェーハ搬送室Ｂの側面にＦＯＵＰｘを密着させ得る位置に設定し、ＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡位置とウェーハ出入位置との間で移動させる移動機構６を備えているため、移動機構６によってＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡位置からウェーハ出入位置に移動させることにより、ウェーハ出入位置にあるＦＯＵＰｘ内のウェーハをウェーハ搬送室Ｂ内に搬送可能（アクセス可能）な状態にすることができる。このようなサイド用ロードポート１をウェーハ搬送室Ｂの側面に隣接する位置に配置することにより、ウェーハ搬送室Ｂの前面に配置したロードポートＣに加えて、ウェーハ搬送室Ｂの側面からもこのサイド用ロードポート１を経由してＦＯＵＰｘ内のウェーハがウェーハ搬送室Ｂ内ひいてはウェーハ処理装置Ｄ内にアクセス可能な状態になり、大量のウェーハを処理することができる。

特に、本実施形態に係るサイド用ロードポート１は、ウェーハ搬送室Ｂの側面に直接隣接する位置に配置可能なウェーハ出入ステージ３と、ウェーハ搬送室Ｂの前面に配置した複数のロードポートＣの載置テーブル５を結ぶ直線と同一直線上でＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ搬送装置との間で受け渡し可能なＦＯＵＰ受渡ステージ２と、ＦＯＵＰｘを保持した状態でＦＯＵＰ受渡ステージ２とウェーハ出入ステージ３との間で移動可能な載置テーブル５とを備えているため、載置テーブル５のみを移動させることによってＦＯＵＰｘをＦＯＵＰ受渡位置とウェーハ出入位置との間で移動させることができる。したがって、移動機構６がサイド用ロードポート全体を移動させるものである場合と比較して、大掛かりな移動機構が不要となり、移動機構６の簡素化及び小型化を図ることができ、大幅なコストアップも回避することができる。

また、本実施形態に係るサイド用ロードポート１は、ＦＯＵＰ受渡位置においてＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを受け渡す時点におけるＦＯＵＰｘの向きと、ウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う時点におけるＦＯＵＰｘの向きとを異ならせる旋回機構７を備えているため、ＦＯＵＰ受渡位置におけるＦＯＵＰｘの向きをウェーハ搬送室Ｂの前面に配置したロードポートＣ上に積載したＦＯＵＰｘの向きと一致させて、これらロードポートＣとＦＯＵＰ搬送装置との間でのＦＯＵＰｘの受け渡し処理と同様の手順・要領でサイド用ロードポート１とＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘの受け渡し処理を行うことができるように設定することが可能になるとともに、ウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う場合には、ＦＯＵＰｘの扉がウェーハ搬送室Ｂの側面を向くようにＦＯＵＰｘの向き（姿勢）を設定することが可能になる。

さらに、本実施形態に係るサイド用ロードポート１は、旋回機構７によってＦＯＵＰｘの向きを変える旋回処理時の載置テーブル５の高さ位置を、ＦＯＵＰ受渡位置においてＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを受け渡す時点及びウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う時点のＦＯＵＰｘの高さ位置よりも高くする昇降機構８を備えているため、旋回処理時に載置テーブル５及びＦＯＵＰｘが他の部材と不意に干渉することを防止することができ、スムーズな旋回処理を実現することができる。加えて、本実施形態に係るサイド用ロードポート１では、この昇降機構８によって、ＦＯＵＰ受渡位置とウェーハ出入位置との間の移動時におけるＦＯＵＰｘの高さ位置を、ＦＯＵＰ受渡位置においてＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰｘを受け渡す時点及びウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う時点のＦＯＵＰｘの高さ位置よりも高く設定しているため、ＦＯＵＰ受渡位置とウェーハ出入位置との間の移動時に載置テーブル５及びＦＯＵＰｘが他の部材と不意に干渉することも防止することができ、載置テーブル５及びＦＯＵＰｘのスムーズな移動を実現している。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、サイド用ロードポートをウェーハ搬送室の一方の側面にのみ配置しても構わない。特に、ウェーハ搬送室内においてウェーハ搬送ロボットと干渉しない領域、具体的には少なくとも何れか一方のサイド領域にウェーハのアライメントを行うアライナを設置している場合には、アライナを設置したサイドからウェーハをウェーハ搬送室内に出し入れすることは困難または不可能であるため、アライナを設置していないサイドからウェーハをウェーハ搬送室内に出し入れできるようにすべく、ウェーハ搬送室の一方の側面にのみサイド用ロードポートを設けることが好ましい。

また、移動機構が、載置テーブルを含むサイド用ロードポート全体を移動させることで載置テーブルをＦＯＵＰ受渡位置とウェーハ出入位置との間で移動させるものであってもよい。

また、移動機構、旋回機構、昇降機構の具体的な構成は、上述した構成に限られることはない。また、これら各機構（移動機構、旋回機構、昇降機構）の駆動源は共通のものであってもよく、それぞれ個別の駆動源であっても構わない。

上述した実施形態では、サイド用ロードポートとＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡す時点では、載置テーブルを、ＦＯＵＰ受渡ステージのＦＯＵＰ受渡ステージ側載置板よりも下方に配置して、載置テーブル上にはＦＯＵＰを直接載置しない態様を例示したが、サイド用ロードポートとＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡す時点で載置テーブル上にＦＯＵＰを直接載置できるように構成しても構わない。これと同様に、サイド用ロードポートを介してＦＯＵＰ内のウェーハをウェーハ搬送室内に出し入れする時点でも、載置テーブル上にＦＯＵＰを直接載置できるように構成することができる。

また、載置テーブルを旋回させるタイミングを、載置テーブルを一旦上昇させた状態で行う態様を例示したが、載置テーブルやＦＯＵＰが他の部材と干渉することなくスムーズに旋回可能な環境であれば、ＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡した処理の直後、或いはＦＯＵＰ内とウェーハ搬送室内との間でウェーハを出し入れした処理の直後に、載置テーブルを上昇させることなく旋回させるようにしても構わない。

さらに、ウェーハ搬送装置自体がＦＯＵＰの向きを調整する機能を有するものであれば、旋回機構を備えていないサイド用ロードポートであってもよい。

また、ウェーハ搬送室の前面に１台のロードポートを配置した態様など、その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

１…サイド用ロードポート
６…移動機構
７…旋回機構
８…昇降機構
Ｂ…ウェーハ搬送室
Ｃ…ロードポート
Ｄ…ウェーハ処理装置
Ｌ…搬送ライン
ｘ…ＦＯＵＰ

Claims (4)

1. 前面にロードポートが配置されるウェーハ搬送室の少なくとも一方の側面に配置され、これらウェーハ搬送室及びロードポートとともにＥＦＥＭを構成するサイド用ロードポートであり、
   内部にウェーハを収容可能なＦＯＵＰを載置可能な載置テーブルと、
   前記載置テーブルを、前記各ロードポートがＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡す位置と同一直線上に設定したＦＯＵＰ受渡位置と、前記ウェーハ搬送室の側面に前記ＦＯＵＰを密着させ得る位置に設定したウェーハ出入位置との間で、前記ウェーハ搬送室の側面に平行な移動経路に沿って前記ＦＯＵＰ搬送装置の搬送ラインの延伸方向と略直交する方向に移動させる移動機構とを備え、
   前記載置テーブルを前記ＦＯＵＰ受渡位置に配置した状態で前記ＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡すことが可能であるとともに、前記載置テーブルを前記ウェーハ出入位置に配置した状態でＦＯＵＰ内に格納されているウェーハを前記ウェーハ搬送室内との間で出し入れ可能なものであり、
   さらに、前記ＦＯＵＰ受渡位置において前記ＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡す時点におけるＦＯＵＰの向きと、前記ウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う時点におけるＦＯＵＰの向きとを異ならせる旋回機構を備え、
   当該旋回機構は、前記移動経路内において前記載置テーブルを鉛直軸回りに旋回させ、当該載置テーブル上に載置したＦＯＵＰの向きを変更させるものであり、
   前記載置テーブルを前記ウェーハ出入位置に配置した状態において、ＦＯＵＰのウェーハ搬出入用開口部が前記ウェーハ搬送室の側面を向くように設定していることを特徴とするサイド用ロードポート。
2. 前記移動機構は、長手方向を前記ウェーハ搬送室の側面と平行な方向に一致させたレールと、当該レールに沿って移動可能な台車とを備えたものであり、
   前記台車上に前記旋回機構及び前記載置テーブルを配置している請求項１に記載のサイド用ロードポート。
3. 前記旋回機構によって前記ＦＯＵＰの向きを変える旋回処理時の前記載置テーブルの高さ位置を、前記ＦＯＵＰ受渡位置において前記ＦＯＵＰ搬送装置との間でＦＯＵＰを受け渡す時点及び前記ウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う時点の前記載置テーブルの高さ位置よりも高くする昇降機構を備えている請求項１又は２に記載のサイド用ロードポート。
4. 請求項１乃至３の何れかに記載の１台以上のサイド用ロードポートと、当該サイド用ロードポートを側面に隣接して設けたウェーハ搬送室と、当該ウェーハ搬送室の前面に隣接して設けたロードポートとによって構成したことを特徴とするＥＦＥＭ。

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