JP2013074183A - サイド用ロードポート、efem - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハ搬送室B及びロードポートCとともにEFEMを構成し、載置テーブルを、ロードポートCがFOUP搬送装置との間でFOUPxを受け渡す位置と同一直線L上に設定したFOUP受渡位置と、ウェーハ搬送室Bの側面にFOUPxを密着させ得る位置に設定したウェーハ出入位置との間で移動させる移動機構を備えたサイド用ロードポート1を案出した。
【選択図】図1
Description
Transfer)などのFOUP搬送装置によって把持可能なフランジ部x1を上面に設け、両側面にはハンドルx2を設けた既知のものであり、詳細な説明は省略する。なお、後出の図5乃至図8ではFOUPxの外観を模式的に示すとともに、FOUPxの向きを直感的に把握できるようにハンドルx2を簡略化して示している。
6…移動機構
7…旋回機構
8…昇降機構
B…ウェーハ搬送室
C…ロードポート
D…ウェーハ処理装置
L…搬送ライン
x…FOUP
Claims (4)
- 前面にロードポートが配置されるウェーハ搬送室の少なくとも一方の側面に配置され、これらウェーハ搬送室及びロードポートとともにEFEMを構成するサイド用ロードポートであり、
内部にウェーハを収容可能なFOUPを載置可能な載置テーブルと、
前記載置テーブルを、前記各ロードポートがFOUP搬送装置との間でFOUPを受け渡す位置と同一直線上に設定したFOUP受渡位置と、前記ウェーハ搬送室の側面に前記FOUPを密着させ得る位置に設定したウェーハ出入位置との間で移動させる移動機構とを備え、
前記載置テーブルを前記FOUP受渡位置に配置した状態で前記FOUP搬送装置との間でFOUPを受け渡すことが可能であるとともに、前記載置テーブルを前記ウェーハ出入位置に配置した状態でFOUP内に格納されているウェーハを前記ウェーハ搬送室内との間で出し入れ可能なものであることを特徴とするサイド用ロードポート。 - 前記FOUP受渡位置において前記FOUP搬送装置との間でFOUPを受け渡す時点におけるFOUPの向きと、前記ウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う時点におけるFOUPの向きとを異ならせる旋回機構を備えている請求項1に記載のサイド用ロードポート。
- 前記旋回機構によって前記FOUPの向きを変える旋回処理時の前記載置テーブルの高さ位置を、前記FOUP受渡位置において前記FOUP搬送装置との間でFOUPを受け渡す時点及び前記ウェーハ出入位置においてウェーハの出し入れ処理を行う時点の前記載置テーブルの高さ位置よりも高くする昇降機構を備えている請求項1又は2に記載のサイド用ロードポート。
- 請求項1乃至3の何れかに記載の1台以上のサイド用ロードポートと、当該サイド用ロードポートを側面に隣接して設けたウェーハ搬送室と、当該ウェーハ搬送室の前面に隣接して設けたロードポートとによって構成したことを特徴とするEFEM。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011213025A JP6014982B2 (ja) | 2011-09-28 | 2011-09-28 | サイド用ロードポート、efem |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011213025A JP6014982B2 (ja) | 2011-09-28 | 2011-09-28 | サイド用ロードポート、efem |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013074183A true JP2013074183A (ja) | 2013-04-22 |
JP6014982B2 JP6014982B2 (ja) | 2016-10-26 |
Family
ID=48478405
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011213025A Active JP6014982B2 (ja) | 2011-09-28 | 2011-09-28 | サイド用ロードポート、efem |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6014982B2 (ja) |
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