KR20190019986A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20190019986A
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료 무라모토
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

기판을 처리하는 처리부의 측방을 통해 연장되는 반송로가 설치되어 있다. 유지 유닛에 유지된 수용기와 처리부 사이에서 반송되는 기판이 반송로를 통과한다. 제 1 반송 로봇은, 유지 유닛에 유지된 수용기에 대해 기판의 반입 및 반출을 실시하고, 또한 반송로 내에 배치된 수수 영역에 액세스한다. 제 2 반송 로봇은, 수수 영역에서 제 1 반송 로봇과의 사이에서 기판 (W) 의 수수를 실시하고, 또한 처리부에 대해 기판의 반입 및 반출을 실시한다. 제 2 반송 로봇을 승강시키는 제 2 반송 로봇 승강 유닛이, 반송로 내에 배치되어 있다. 수수 영역과 제 2 반송 로봇 승강 유닛이, 제 1 반송 로봇과 제 2 반송 로봇 사이에 위치하고 있다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은, 기판을 처리하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 처리 대상이 되는 기판에는, 예를 들어 반도체 웨이퍼, 액정 표시 장치용 기판, 플라즈마 디스플레이용 기판, FED (Field Emission Display) 용 기판, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광 자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판, 태양전지용 기판 등의 기판이 포함된다.
반도체 장치의 제조 공정에 있어서 사용되는 매엽형의 기판 처리 장치의 일례는, 일본 공개특허공보 2006-332543호에 나타나 있다. 이 장치는, 기판을 복수 장 적층한 상태에서 수용 가능한 캐리어를 유지하는 캐리어 유지부와, 기판에 대해 처리를 실시하기 위한 처리부와, 이 처리부에 대해 기판의 반입 및 반출을 실시하는 주반송 로봇과, 캐리어 유지부에 유지된 캐리어와 주반송 로봇 사이에서 기판을 반송하는 인덱서 로봇을 구비하고 있다. 캐리어와 처리 유닛 사이에서 기판을 반송하기 위해서, 인덱서 로봇와 주반송 로봇 사이에서 기판의 수수가 실시된다.
인덱서 로봇와 주반송 로봇 사이의 기판의 수수는, 셔틀 반송 기구를 통하여 실시된다. 셔틀 반송 기구는, 인덱서 로봇이 배치된 에리어로부터 연장되는 반송로를 따라, 인덱서 로봇 액세스 위치와, 주반송 로봇 액세스 위치 사이에서 왕복한다. 인덱서 로봇은, 인덱서 로봇 액세스 위치에 액세스하고, 셔틀 반송 기구와의 사이에서 기판을 수수한다. 주반송 로봇은, 주반송 로봇 액세스 위치에 액세스하여 셔틀 반송 기구와의 사이에서 기판을 수수한다.
주반송 로봇은, 승강 구동 기구에 의해 승강된다. 승강 구동 기구는, 처리부에 구비된 처리 유닛에 대해 기판의 반입 및 반출을 실시할 수 있는 높이 위치로 주반송 로봇을 이동시키거나, 셔틀 반송 기구와의 사이에서 기판의 수수를 실시할 수 있는 높이 위치로 주반송 로봇을 이동시키거나 한다.
일본 공개특허공보 2006-332543호의 기판 처리 장치에서는, 일본 공개특허공보 2006-332543호의 도 1 에 나타내는 바와 같이, 승강 구동 기구가, 주반송 로봇에 대해 인덱서 로봇과는 반대측에 배치되어 있다. 그 때문에, 셔틀 반송 기구, 주반송 로봇 및 승강 구동 기구가, 이 순서로 인덱서 로봇으로부터 멀어지도록 반송로 내에 나란히 배치되어 있다. 그 때문에, 반송로가 연장되는 방향으로 기판 처리 장치가 대형화하고, 그것에 따라 기판 처리 장치의 풋프린트 (점유 면적) 가 커질 우려가 있다.
그래서, 본 발명의 하나의 목적은, 점유 면적이 저감된 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명은, 기판을 수용하는 수용기를 유지하는 유지 유닛과, 기판을 처리하는 처리부와, 상기 처리부의 측방을 통해서 연장되고, 상기 유지 유닛에 유지된 수용기와 상기 처리부 사이에서 반송되는 기판이 통과하는 반송로와, 상기 유지 유닛에 유지된 수용기에 대해 기판의 반입 및 반출을 실시하고, 또한 상기 반송로 내에 배치된 수수 영역에 액세스하는 제 1 반송 로봇과, 상기 수수 영역에서 상기 제 1 반송 로봇과의 사이에서 기판의 수수를 실시하고, 또한 상기 처리부에 대해 기판의 반입 및 반출을 실시하는 제 2 반송 로봇과, 상기 반송로 내에 배치되고, 상기 제 2 반송 로봇을 승강시키는 제 2 반송 로봇 승강 유닛을 포함하고, 상기 수수 영역과 상기 제 2 반송 로봇 승강 유닛이, 상기 제 1 반송 로봇과 상기 제 2 반송 로봇 사이에 위치하고 있는, 기판 처리 장치를 제공한다.
이 구성에 의하면, 유지 유닛에 유지된 수용기와 처리부 사이에서, 제 1 반송 로봇 및 제 2 반송 로봇에 의해 기판이 반송된다. 그 때, 기판은, 처리부의 측방을 통해서 연장되는 반송로를 통과한다. 이 반송로 내에는 제 1 반송 로봇 및 제 2 반송 로봇 사이에서 기판이 수수되는 수수 영역이 설정되어 있다. 또한, 반송로 내에는, 제 2 반송 로봇 승강 유닛이 배치되고, 제 2 반송 로봇 승강 유닛이 제 1 반송 로봇과 제 2 반송로 로봇 사이에 위치하고 있다. 이로써, 제 2 반송 로봇 승강 유닛이 제 2 반송 로봇에 대해 제 1 반송 로봇의 반대측에 위치하는 경우와 비교해 필요한 반송로 길이를 짧게 할 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치를 소형화할 수 있고, 그것에 따라 기판 처리 장치의 점유 면적을 작게 할 수 있다.
처리부는, 기판을 1 장씩 처리하는 매엽형의 처리 유닛을 적어도 1 개 포함한다. 처리부는, 상하 방향으로 적층된 복수의 매엽형 처리 유닛을 포함하고 있어도 된다.
본 발명의 일 실시형태에서는, 상기 반송로가, 상기 유지 유닛으로부터 상기 제 2 반송 로봇을 향해 직선상으로 연장되어 있다. 또, 상기 수수 영역과 상기 제 2 반송 로봇 승강 유닛이, 상기 반송로가 연장되는 방향에 대해 교차하는 방향으로 배열되어 있다.
이 구성에 의하면, 수수 영역과 제 2 반송 로봇 승강 유닛이, 직선상의 반송로가 연장되는 방향에 대해 교차하는 방향으로 배열되어 있다. 그 때문에, 필요한 반송로 길이를 한층 짧게 할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서는, 기판이 상기 제 1 반송 로봇으로부터 상기 제 2 반송 로봇으로 수수될 때에 당해 기판이 이동하는 방향이, 상기 반송로가 연장되는 방향에 대해 경사져 있다.
이 구성에 의하면, 제 1 반송 로봇과 제 2 반송 로봇 사이에서 기판이 수수될 때에 기판이 이동하는 방향이, 반송로가 연장되는 방향에 대해 경사져 있다. 그 때문에, 수수 영역과 제 2 반송 로봇 승강 유닛을 반송로가 연장되는 방향에 대해 교차하는 방향으로 배열하기 쉽다. 따라서, 필요한 반송로 길이를 한층 더 짧게 하는 설계가 용이해진다.
본 발명의 일 실시형태에서는, 상기 기판 처리 장치가, 상기 수수 영역에 배치되고, 상기 제 1 반송 로봇과 상기 제 2 반송 로봇 사이에서 기판을 수수하기 때문에 기판이 재치 (載置) 되는 재치 유닛을 추가로 포함한다.
이 구성에 의하면, 수수 영역에 배치된 재치 유닛에는, 제 1 반송 로봇과 제 2 반송 로봇 사이에서 기판을 수수할 때에 기판이 재치된다. 그 때문에, 기판의 수수를 실시하기 위해서 제 1 반송 로봇과 제 2 반송 로봇이 수수 영역에 액세스하는 타이밍을 맞출 필요가 없어, 제 1 반송 로봇 및 제 2 반송 로봇의 동작의 자유도가 증가한다. 따라서, 제 1 반송 로봇 및 제 2 반송 로봇에 의한 기판의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서는, 상기 재치 유닛이, 상하 방향에 있어서, 상기 유지 유닛에 유지된 수용기와, 상기 상하 방향에 있어서의 상기 처리부의 중심 사이에 위치하고 있다.
제 1 반송 로봇에 의한 기판의 반송 효율은, 상하 방향에 있어서의 수용기의 위치 (높이) 와 상하 방향에 있어서의 재치 유닛의 위치 (높이) 가 가까울수록 높아진다. 한편, 제 2 반송 로봇에 의한 기판의 반송 효율은, 상하 방향에 있어서의 처리부의 중심 (높이) 과 상하 방향에 있어서의 재치 유닛의 위치 (높이) 가 가까울수록 높아진다. 재치 유닛이, 상하 방향에 있어서, 유지 유닛에 유지된 수용기와, 상하 방향에 있어서의 처리부의 중심 사이에 위치하고 있는 구성으로 하면, 재치 유닛은, 제 1 반송 로봇 및 제 2 반송 로봇의 어느 것으로부터도 효율적으로 액세스되기 쉽다. 따라서, 기판의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서는, 상기 기판 처리 장치가, 상기 유지 유닛에 대향하는 하 위치와 상기 재치 유닛에 대향하는 상 위치 사이에서 상기 제 1 반송 로봇을 상하 방향으로 승강시키는 제 1 반송 로봇 승강 유닛을 추가로 포함한다. 또, 상기 재치 유닛이, 상기 상하 방향에 있어서, 상기 제 1 반송 로봇의 하 위치와, 상기 상하 방향에 있어서의 상기 처리부의 중심 (높이) 사이의 중앙 위치에 위치하고 있다.
이 구성에 의하면, 재치 유닛이, 상하 방향에 있어서, 제 1 반송 로봇의 하 위치와 상하 방향에 있어서의 처리부의 중심 사이의 중앙 위치에 위치하고 있다. 그 때문에, 제 1 반송 로봇에 의한 기판의 반송 효율과 제 2 반송 로봇에 의한 기판의 반송 효율의 밸런스를 잡을 수 있어, 전체적인 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서는, 상기 처리부가, 상기 반송로를 사이에 두고 대향하도록 1 쌍 설치되어 있다. 이 구성에 의하면, 1 쌍의 처리부가 반송로를 사이에 두고 대향하고 있으므로, 반송로를 길게 하는 일 없이 처리부의 수를 늘릴 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서는, 상기 처리부가, 상기 처리부 내에 기판을 출납하기 위한 출입구를, 상기 반송로가 연장되는 방향에 있어서의 상기 처리부의 중앙보다 상기 유지 유닛측과는 반대측에 갖는다. 또, 상기 제 2 반송 로봇이, 상기 처리부의 출입구에 대향하여 배치되어 있다.
이 구성에 의하면, 반송로가 연장되는 방향에 있어서의 처리부의 중앙보다 유지 유닛측과는 반대측에 있는 출입구에 제 2 반송 로봇이 대향한다. 그 때문에, 당해 처리부에 대해 유지 유닛측과는 반대측에 처리부를 증설한 경우에, 당해 증설한 처리부에도 제 2 반송 로봇을 액세스시키기 쉽다. 따라서, 기판을 반송하기 위한 로봇의 수를 늘리는 일 없이, 반송로가 연장되는 방향으로 처리부의 수를 늘릴 수 있다. 예를 들어, 반송로가 연장되는 방향으로 2 개 배치된 처리부의 전부에 대해 제 2 반송 로봇이 기판의 반입 및 반출을 실시하는 구성을 취할 수 있다. 따라서, 반송 로봇의 수를 늘리는 경우와 비교해, 기판 처리 장치의 소형화 및 저비용화를 도모할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서는, 상기 처리부가, 상기 반송로가 연장되는 방향으로 3 개 이상 배치되어 있다. 또, 상기 유지 유닛에 가장 가까운 위치에 배치된 근접 처리부가, 상기 근접 처리부 내에 기판을 출납하기 위한 출입구를, 상기 반송로가 연장되는 방향에 있어서의 상기 근접 처리부의 중앙보다 상기 유지 유닛측과는 반대측에 갖는다. 또, 상기 유지 유닛으로부터 가장 먼 위치에 배치된 원격 처리부가, 상기 원격 처리부 내에 기판을 출납하기 위한 출입구를, 상기 반송로가 연장되는 방향에 있어서의 상기 원격 처리부의 중앙보다 상기 유지 유닛측에 갖는다.
이 구성에 의하면, 근접 처리부는, 반송로가 연장되는 방향에 있어서의 근접 처리부의 중앙보다 유지 유닛측과는 반대측에 출입구를 갖는다. 원격 처리부는, 반송로가 연장되는 방향에 있어서의 원격 처리부의 중앙보다 유지 유닛측에 출입구를 갖는다. 그 때문에, 반송로가 연장되는 방향으로 인접 배치된 각 쌍의 처리부끼리의 사이에 반송 로봇을 배치하면, 모든 처리부에 대해 어느 반송 로봇이 액세스할 수 있다. 따라서, 원격 처리부보다 유지 유닛으로부터 멀어진 위치에 반송 로봇을 설치할 필요가 없기 때문에, 기판 처리 장치의 소형화 및 저비용화를 도모할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서는, 상기 기판 처리 장치가, 상기 수수 영역 주위의 분위기와 상기 처리부 주위의 분위기를 차단하는 커버를 추가로 포함한다. 또, 상기 커버는, 상기 제 2 반송 로봇 승강 유닛에 장착되어 있다.
이 구성에 의하면, 제 2 반송 로봇 승강 유닛에 장착된 커버에 의해 수수 영역 주위의 분위기와 처리부 주위의 분위기가 차단된다. 그 때문에, 예를 들어 처리부 내에서 기판을 처리하기 위해서 사용되는 처리 유체의 분위기가 처리부 주위의 분위기 내에 존재하고 있는 경우라도, 수수 영역에 액세스한 제 1 반송 로봇이 그 분위기에 의해 오염되는 것을 억제 또는 방지할 수 있다.
또한, 제 2 반송 로봇 승강 유닛은, 수수 영역과 함께 제 1 반송 로봇과 제 2 반송 로봇 사이에 위치하고 있으므로 수수 영역의 비교적 근처에 위치하고 있다. 따라서, 커버를 제 2 반송 로봇 승강 유닛에 장착할 수 있다. 또한, 제 2 반송 로봇 승강 유닛에 의해 반송로의 일부가 차폐되어 있기 때문에, 제 2 반송 로봇 승강 유닛에 커버를 장착하는 것에 의해 커버의 소형화를 도모할 수도 있다.
본 발명에 있어서의 상기 서술한, 또는 또 다른 목적, 특징 및 효과는, 첨부 도면을 참조하여 다음으로 서술하는 실시형태의 설명에 의해 명확하게 된다.
도 1 은, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 내부의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이다.
도 2 는, 도 1 의 II-II 선을 따른 도해적인 종단면도이다.
도 3a ∼ 도 3f 는, 상기 기판 처리 장치에 구비된 반송 로봇에 의한 기판의 반송 동작을 설명하기 위한 도해적인 평면도이다.
도 4 는, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 기판 처리 장치의 내부의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이다.
도 5 는, 제 2 실시형태에 관련된 기판 처리 장치에 처리부를 증설했을 때의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이다.
＜제 1 실시형태＞
도 1 은, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 의 내부의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이다. 또, 도 2 는, 도 1 의 II-II 선을 따른 도해적인 종단면도이다.
기판 처리 장치 (1) 는, 반도체 웨이퍼 등의 기판 (W) 한 장씩에 대해, 세정 처리나 에칭 처리 등의 각종 처리를 실시하는 매엽식 장치이다. 기판 처리 장치 (1) 는, 미처리의 기판 (W) 및 처리 후의 기판 (W) 을 유지하는 인덱서 섹션 (2) 과, 기판 (W) 을 처리하는 처리 섹션 (3) 과, 인덱서 섹션 (2) 및 처리 섹션 (3) 에 전력을 공급하는 급전 섹션 (7) 을 구비하고 있다. 인덱서 섹션 (2), 처리 섹션 (3) 및 급전 섹션 (7) 은, 수평 방향을 따라 배열되어 있다. 인덱서 섹션 (2) 은, 처리 섹션 (3) 에 인접하고 있다. 급전 섹션 (7) 은, 인덱서 섹션 (2) 과는 반대측으로부터 처리 섹션 (3) 에 인접하고 있다.
인덱서 섹션 (2) 은, 기판 (W) 을 수용하는 수용기 (4) 를 재치하고 유지하는 유지 유닛 (5) 과, 유지 유닛 (5) 상의 수용기 (4) 에 대해 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시하는 인덱서 로봇 (IR) 을 포함한다. 수용기 (4) 는, 캐리어라고도 불린다. 수용기 (4) 는, 예를 들어 수평 자세의 복수 장의 기판 (W) 을 상하 방향으로 간격을 두고 적층 상태로 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 유지 유닛 (5) 은, 예를 들어 복수 개 병렬로 설치되어 있고, 각각의 유지 유닛 (5) 에 하나씩의 수용기 (4) 를 유지시킬 수 있다. 인덱서 로봇 (IR) 은, 복수개의 유지 유닛 (5) 의 배열 방향에 관해서, 인덱서 섹션 (2) 의 대략 중앙에 배치되어 있다. 인덱서 로봇 (IR) 은, 후술하는 인덱서 핸드 (41) 를 회전 및 신축시킴으로써, 인덱서 섹션 (2) 의 모든 유지 유닛 (5) 에 액세스할 수 있다. 인덱서 로봇 (IR) 은, 제 1 반송 로봇의 일례이다.
처리 섹션 (3) 은, 제 1 처리 블록 (21), 제 2 처리 블록 (22) 및 제 3 처리 블록 (23) 을 포함한다. 제 2 처리 블록 (22) 은, 인덱서 섹션 (2) 과는 반대측으로부터 제 1 처리 블록 (21) 에 인접하고 있다. 제 3 처리 블록 (23) 은, 제 1 처리 블록 (21) 과는 반대측으로부터 제 2 처리 블록 (22) 에 인접하고 있다.
제 1 처리 블록 (21) 은, 기판 (W) 에 세정 처리나 에칭 처리 등의 각종 처리를 각각 실시하기 위한 한 쌍의 제 1 처리부 (11) 를 포함하고 있다. 제 2 처리 블록 (22) 은, 기판 (W) 에 세정 처리나 에칭 처리 등의 각종 처리를 각각 실시하기 위한 한 쌍의 제 2 처리부 (12) 를 포함하고 있다. 제 3 처리 블록 (23) 은, 기판 (W) 에 세정 처리나 에칭 처리 등의 각종 처리를 각각 실시하기 위한 한 쌍의 제 3 처리부 (13) 를 포함하고 있다.
각 제 1 처리부 (11) 는, 상하 방향으로 적층된 복수 (예를 들어 4 개) 의 제 1 처리 유닛 (15) 을 포함한다. 각 제 2 처리부 (12) 는, 상하 방향으로 적층된 복수 (예를 들어 4 개) 의 제 2 처리 유닛 (16) 을 포함한다. 각 제 3 처리부 (13) 는, 상하 방향으로 적층된 복수 (예를 들어 4 개) 의 제 3 처리 유닛 (17) 을 포함한다. 처리 유닛 (15 ∼ 17) 은, 기판 (W) 을 1 장씩 처리하는 매엽형의 처리 유닛이다.
처리 섹션 (3) 은, 인덱서 로봇 (IR) 과의 사이에서 기판 (W) 의 수수를 실시하고, 또한 제 1 처리부 (11) 에 대해 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시하는 제 1 주반송 로봇 (CR1) 을 추가로 포함한다. 처리 섹션 (3) 은, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 과의 사이에서 기판 (W) 의 수수를 실시하고, 또한 제 2 처리부 (12) 및 제 3 처리부 (13) 에 대해 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시하는 제 2 주반송 로봇 (CR2) 을 추가로 포함한다.
제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 2 반송 로봇의 일례이고, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 3 반송 로봇의 일례이다. 인덱서 로봇 (IR), 제 1 주반송 로봇 (CR1) 및 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 평면으로 볼 때 대략 일직선상으로 배열되어 있다.
기판 처리 장치 (1) 는, 수평 방향으로 연장되는 반송로 (6) 를 또한 포함한다. 반송로 (6) 는, 인덱서 섹션 (2) 으로부터 제 1 주반송 로봇 (CR1) 을 향해 예를 들어 직선상으로 연장되어 있다. 이하에서는, 반송로 (6) 가 연장되는 방향을 「X 방향」이라고 한다. X 방향은 복수의 유지 유닛 (5) 의 배열 방향과 직교하는 방향이기도 하다. 또, X 방향에 직교하는 수평 방향을 「Y 방향」이라고 하고, X 방향 및 Y 방향에 직교하는 상하 방향을 「Z 방향」이라고 한다.
제 2 처리부 (12) 는, X 방향에 있어서 제 1 처리부 (11) 에 대해 유지 유닛 (5) 과는 반대측에 배치되어 있다. 제 3 처리부 (13) 는, X 방향에 있어서 제 2 처리부 (12) 에 대해 유지 유닛 (5) 과는 반대측에 배치되어 있다. 요컨대, 제 1 처리부 (11) 는, 유지 유닛 (5) 에 가장 가까운 위치에 배치된 근접 처리부이고, 제 3 처리부 (13) 는, 유지 유닛 (5) 으로부터 가장 먼 위치에 배치된 원격 처리부이다. 제 1 처리부 (11), 제 2 처리부 (12) 및 제 3 처리부 (13) 는, 이 순서로 유지 유닛 (5) 으로부터 멀어지는 방향으로 배열되어 있다. 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, X 방향에 있어서 제 1 처리부 (11) 와 제 2 처리부 (12) 의 경계 부근에 위치하고 있다. 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, X 방향에 있어서 제 2 처리부 (12) 와 제 3 처리부 (13) 의 경계 부근에 위치하고 있다. 반송로 (6) 는, 평면으로 볼 때에 있어서, 유지 유닛 (5) 으로부터 제 1 처리부 (11), 제 2 처리부 (12) 및 제 3 처리부 (13) 의 동일측의 측방을 통해 연장되어 있다.
1 쌍의 제 1 처리부 (11) 는, 반송로 (6) 를 사이에 두고 대칭으로 설치되어 있다. 제 1 처리부 (11) 의 각 제 1 처리 유닛 (15) 은, X 방향으로 긴 형상을 가지고 있다. 각 제 1 처리 유닛 (15) 은, 처리액으로 기판 (W) 을 처리하기 위해서 기판 (W) 을 수용하는 제 1 처리 챔버 (15a) 와, 기판 (W) 을 처리하기 위해서 제 1 처리 챔버 (15a) 내에서 사용되는 처리액 등의 유체를 공급하는 배관류를 수용하는 유체 박스 (15b) 를 포함한다. 제 1 처리 챔버 (15a) 는, X 방향에 있어서, 유체 박스 (15b) 에 대해 유지 유닛 (5) 과는 반대측에 배치되어 있다. 제 1 처리 챔버 (15a) 는, 유체 박스 (15b) 에 대해 인접하고 있어도 된다.
제 1 처리부 (11) 는, 기판 (W) 을 출납하기 위한 제 1 출입구 (11A) 를 유지 유닛 (5) 측과는 반대측이고 반송로 (6) 와 면하는 측의 부분에 갖고 있다. 상세하게는, 제 1 출입구 (11A) 는, 제 1 처리부 (11) 의 제 1 처리 챔버 (15a) 내에서 기판 (W) 을 출납하기 위한 개구이고, 각 제 1 처리 유닛 (15) 에 형성되어 있다. 또, 제 1 출입구 (11A) 는, X 방향에 있어서의 제 1 처리부 (11) 의 중앙보다 유지 유닛 (5) 측과는 반대측의 부분에 형성되어 있다. 제 1 출입구 (11A) 는, X 방향에 있어서의 제 1 처리부 (11) 의 유지 유닛 (5) 측과는 반대측의 단부 (端部) 에 형성되어 있어도 된다. 제 1 출입구 (11A) 에는, 개폐 가능한 셔터 (도시 생략) 가 설치되어 있어도 된다.
1 쌍의 제 2 처리부 (12) 는, 반송로 (6) 를 사이에 두고 대칭으로 설치되어 있다. 제 2 처리부 (12) 의 각 제 2 처리 유닛 (16) 은, X 방향으로 긴 형상을 가지고 있다. 각 제 2 처리 유닛 (16) 은, 처리액으로 기판 (W) 을 처리하기 위해서 기판 (W) 을 수용하는 제 2 처리 챔버 (16a) 와, 기판 (W) 을 처리하기 위해서 제 2 처리 챔버 (16a) 내에서 사용되는 처리액 등의 유체를 공급하는 배관류를 수용하는 유체 박스 (16b) 를 포함한다. 제 2 처리 챔버 (16a) 는, X 방향에 있어서, 유체 박스 (16b) 에 대해 유지 유닛 (5) 과는 반대측에 배치되어 있다.
제 2 처리부 (12) 는, 기판 (W) 을 출납하기 위한 제 2 출입구 (12A) 를 유지 유닛 (5) 측과는 반대측이고 반송로 (6) 와 면하는 측의 부분에 갖는다. 상세하게는, 제 2 출입구 (12A) 는, 제 2 처리부 (12) 의 제 2 처리 챔버 (16a) 내에 기판 (W) 을 출납하기 위한 개구이고, 각 제 2 처리 유닛 (16) 에 형성되어 있다. 또, 제 2 출입구 (12A) 는, X 방향에 있어서의 제 2 처리부 (12) 의 중앙보다 유지 유닛 (5) 측과는 반대측의 부분에 형성되어 있다. 제 2 출입구 (12A) 는, X 방향에 있어서의 제 2 처리부 (12) 의 유지 유닛 (5) 측과는 반대측의 단부에 형성되어 있어도 된다. 제 2 출입구 (12A) 에는, 개폐 가능한 셔터 (도시 생략) 가 설치되어 있어도 된다.
1 쌍의 제 3 처리부 (13) 는, 반송로 (6) 를 사이에 두고 대칭으로 설치되어 있다. 제 3 처리부 (13) 의 각 제 3 처리 유닛 (17) 은, X 방향으로 긴 형상을 갖고 있다. 각 제 3 처리 유닛 (17) 은, 처리액으로 기판 (W) 을 처리하기 위해서 기판 (W) 을 수용하는 제 3 처리 챔버 (17a) 와, 기판 (W) 을 처리하기 위해서 제 3 처리 챔버 (17a) 내에서 사용되는 처리액 등의 유체를 공급하는 배관류를 수용하는 유체 박스 (17b) 를 포함한다. 제 3 처리 챔버 (17a) 는, X 방향에 있어서, 유체 박스 (17b) 에 대해 유지 유닛 (5) 측에 배치되어 있다.
제 3 처리부 (13) 는, 기판 (W) 을 출납하기 위한 제 3 출입구 (13A) 를 유지 유닛 (5) 측이고 반송로 (6) 와 면하는 측의 부분에 갖는다. 상세하게는, 제 3 출입구 (13A) 는, 제 3 처리부 (13) 의 제 3 처리 챔버 (17a) 내에 기판 (W) 을 출납하기 위한 개구이고, 각 제 3 처리 유닛 (17) 에 형성되어 있다. 또, 제 3 출입구 (13A) 는, X 방향에 있어서의 제 3 처리부 (13) 의 중앙보다 유지 유닛 (5) 측의 부분에 형성되어 있다. 제 3 출입구 (13A) 는, X 방향에 있어서의 제 3 처리부 (13) 의 유지 유닛 (5) 측의 단부에 형성되어 있어도 된다. 제 3 출입구 (13A) 에는, 개폐 가능한 셔터 (도시 생략) 가 설치되어 있어도 된다.
급전 섹션 (7) 은, 1 쌍의 브레이커 유닛 (7A) 을 구비한다. 각 브레이커 유닛 (7A) 은, 각 제 3 처리부 (13) 를 사이에 두고 유지 유닛 (5) 과는 반대측에 배치되어 있다. 이 실시형태와는 달리, 1 쌍의 브레이커 유닛 (7A) 중 일방만이 설치된 구성이어도 된다.
기판 처리 장치 (1) 는, 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에서 기판 (W) 을 수수하기 위해서 당해 기판 (W) 이 재치되는 제 1 재치 유닛 (31) 과, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 과 제 2 주반송 로봇 (CR2) 사이에서 기판 (W) 을 수수하기 위해서 당해 기판 (W) 이 재치되는 제 2 재치 유닛 (32) 을 또한 포함한다.
제 1 재치 유닛 (31) 은, 수수 영역 A1 에 배치되어 있다. 수수 영역 A1 이란, 반송로 (6) 내에 미리 설정된 영역이고, 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에 위치하고 있다. 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에서의 기판 (W) 의 수수는, 수수 영역 A1 에서 실시된다.
제 2 재치 유닛 (32) 은, 수수 영역 A2 에 배치되어 있다. 수수 영역 A2 란, 반송로 (6) 내에 미리 설정된 영역이고, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 과 제 2 주반송 로봇 (CR2) 사이에 위치하고 있다. 제 1 주반송 로봇 (CR1) 과 제 2 주반송 로봇 (CR2) 사이에서의 기판 (W) 의 수수는, 수수 영역 A2 에서 실시된다.
인덱서 로봇 (IR) 은, 수평 다관절형 로봇이다. 인덱서 로봇 (IR) 은, 기판 (W) 을 유지할 수 있는 인덱서 핸드 (41) 와, 인덱서 핸드 (41) 가 선단 (先端) 에 장착된 인덱서 아암 (42) 을 포함한다. 인덱서 핸드 (41) 는, 예를 들어 선단이 포크상으로 형성되어 있다. 인덱서 아암 (42) 은, 복수 (예를 들어 2 개) 의 링크 (42A) 를 포함한다. 인덱서 아암 (42) 에 있어서 가장 선단측의 링크 (42A) 와 인덱서 핸드 (41) 는, 관절 (42B) 에 의해 접속되어 있고, 링크 (42A) 끼리는, 관절 (42B) 에 의해 접속되어 있다. 인덱서 핸드 (41) 및 복수의 링크 (42A) 의 각각은, 각 관절 (42B) 을 중심으로 독립적으로 회전된다.
인덱서 섹션 (2) 은, 인덱서 로봇 (IR) 을 지지하는 지지 부재 (51) 와, 각 관절 (42B) 을 중심으로 인덱서 핸드 (41) 및 복수의 링크 (42A) 를 독립적으로 회전시킴으로써 인덱서 핸드 (41) 를 이동시키는 이동 유닛 (52) 과, 인덱서 로봇 (IR) 을 승강시키는 인덱서 로봇 승강 유닛 (53) 을 또한 포함한다. 이동 유닛 (52) 및 인덱서 로봇 승강 유닛 (53) 은, 예를 들어 지지 부재 (51) 에 내장되어 있다. 인덱서 로봇 승강 유닛 (53) 은, 제 1 반송 로봇으로서의 인덱서 로봇 (IR) 을 승강시키는 제 1 반송 로봇 승강 유닛의 일례이다.
인덱서 로봇 승강 유닛 (53) 은, Z 방향에 있어서, 유지 유닛 (5) 에 유지된 수용기 (4) 의 하단에 인덱서 로봇 (IR) 의 인덱서 핸드 (41) 가 수평 방향으로부터 대향하는 하 위치 (도 2 에 실선으로 나타내는 위치) 와, 인덱서 핸드 (41) 가 제 1 재치 유닛 (31) 에 수평 방향으로부터 대향하는 상 위치 (도 2 에 2 점 쇄선으로 나타내는 위치) 사이에서 인덱서 로봇 (IR) 을 승강시킨다.
제 1 재치 유닛 (31) 은, Z 방향에 있어서, 유지 유닛 (5) 에 유지된 수용기 (4) 와, Z 방향에 있어서의 제 1 처리부 (11) 의 중심 C 사이에 위치하고 있다. 상세하게는, 제 1 재치 유닛 (31) 은, Z 방향에 있어서, 인덱서 로봇 (IR) 의 하 위치와, 중심 C 사이의 중앙 위치에 위치하고 있다. 보다 상세하게는, 제 1 재치 유닛 (31) 에 있어서 기판 (W) 이 재치되는 부분 (예를 들어, Z 방향에 있어서의 제 1 재치 유닛 (31) 의 중앙) 은, Z 방향에 있어서, 유지 유닛 (5) 에 유지된 수용기 (4) 와, Z 방향에 있어서의 제 1 처리부 (11) 의 중심 C 사이에 적어도 위치하고 있다. 또, 제 1 재치 유닛 (31) 에 있어서 기판 (W) 이 재치되는 부분은, 인덱서 로봇 (IR) 의 하 위치와, 중심 C 사이의 중앙 위치에 위치하고 있다.
제 1 처리부 (11) 의 중심 C 는, 적층된 복수의 제 1 처리 유닛 (15) 의 출입구 (11A) 의 Z 방향에 있어서의 위치에 기초하여 정해진다. 상세하게는, 중심 C 는, 가장 상방의 제 1 출입구 (11A) 의 Z 방향에 있어서의 위치와, 가장 하방의 제 1 출입구 (11A) 의 Z 방향에 있어서의 위치의 중앙의 위치이다. 중심 C 는, Z 방향에 있어서의 제 2 처리부 (12) 및 제 3 처리부 (13) 의 중심이기도 하다. 제 2 재치 유닛 (32) 은, 제 2 재치 유닛 (32) 에 있어서 기판 (W) 이 재치되는 부분 (예를 들어, Z 방향에 있어서의 제 2 재치 유닛 (32) 의 중앙) 이 중심 C 와 일치하도록 배치되어 있다.
인덱서 로봇 (IR) 은, 유지 유닛 (5) 에 유지된 수용기 (4) 에 인덱서 핸드 (41) 를 수평 방향으로부터 대향시킬 수 있다. 이 상태에서, 인덱서 로봇 (IR) 은, 수용기 (4) 에 액세스하여, 수용기 (4) 에 대한 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시할 수 있다.
인덱서 로봇 (IR) 은, 인덱서 핸드 (41) 를 제 1 재치 유닛 (31) 에 수평 방향으로부터 대향시킬 수 있다. 이 상태에서, 인덱서 로봇 (IR) 은, 수수 영역 A1 에 액세스하고, 제 1 재치 유닛 (31) 에 기판 (W) 을 재치하거나, 제 1 재치 유닛 (31) 에 재치된 기판 (W) 을 수취하거나 할 수 있다.
처리 섹션 (3) 은, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 과, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 을 Z 방향으로 승강시키는 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 을 갖고 있다. 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 은, 제 2 반송 로봇으로서의 제 1 주반송 로봇 (CR1) 을 승강시키는 제 2 반송 로봇 승강 유닛의 일례이다. 도 2 에서는, 설명의 편의상 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 을 2 점 쇄선으로 나타내고 있다.
제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 기판 (W) 을 유지하는 할 수 있는 제 1 주반송 핸드 (61) 와, 제 1 주반송 핸드 (61) 를 직선적으로 진퇴 가능하게 유지하는 유지부 (62) 와, 유지부 (62) 를 자유롭게 회전할 수 있게 지지하는 지지 부재 (71) 를 포함한다. 제 1 주반송 핸드 (61) 는, 예를 들어 선단이 포크상으로 형성되어 있다. 유지부 (62) 에는, 제 1 주반송 핸드 (61) 를 수평 방향으로 진퇴시키는 제 1 주반송 핸드 진퇴 유닛 (74) 이 내장되어 있다. 또, 지지 부재 (71) 에는, 유지부 (62) 를 연직 축선 C2 둘레로 회전시키는 제 1 주반송 로봇 선회 유닛 (72) 이 내장되어 있다.
제 1 주반송 핸드 (61) 는, 제 1 주반송 핸드 진퇴 유닛 (74) 에 의해, 평면으로 볼 때 그 전체가 유지부 (62) 상에 위치하는 퇴피 위치와, 그 선단이 유지부 (62) 로부터 멀어지도록 유지부 (62) 의 외부로 직선적으로 가장 진출한 진출 위치 사이에서 이동 가능하다.
유지부 (62) 는, 제 1 주반송 로봇 선회 유닛 (72) 에 의해, 지지 부재 (71) 상에서 연직 축선 C2 둘레로 회전하는 것이 가능하다.
제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 은, 반송로 (6) 내에 배치되어 있다. 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 은, 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에 위치하고 있다. 수수 영역 A1 과 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 은, 평면으로 볼 때에 있어서, X 방향에 대해 교차하는 방향으로 배열되어 있다. 상세하게는, 수수 영역 A1 과 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 은, Y 방향으로 인접하여 있다. 평면으로 볼 때에 있어서의 수수 영역 A1 의 중심과, 평면으로 볼 때에 있어서의 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 의 중심이 Y 방향으로 배열되어 있어도 된다. 이 실시형태와는 달리, 평면으로 볼 때에 있어서의 수수 영역 A1 의 중심과, 평면으로 볼 때에 있어서의 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 의 중심은, X 방향 및 Y 방향 이외의 수평 방향으로 배열되어 있어도 된다. X 방향 및 Y 방향 이외의 수평 방향이란, X 방향에 교차하는 방향이고, 예를 들어 X 방향 및 Y 방향 양방에 대해 경사지는 방향이다.
제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 은, 지지 부재 (71) 에 있어서 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 연결되어 있다. 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 은, 지지 부재 (71) 를 Z 방향으로 승강시키는 것에 의해 제 1 주반송 로봇 (CR1) 을 Z 방향으로 승강시킨다. 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 은, 지지 부재 (71) 의 승강을 구동하는 구동 모터 (도시 생략) 와, 지지 부재 (71) 의 승강을 가이드하는 레일 (도시 생략) 을 포함한다.
제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 이 제 1 주반송 로봇 (CR1) 의 승강을 구동함으로써, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 가장 하방에 배치된 제 1 처리 유닛 (15) 의 제 1 출입구 (11A) 에 수평 방향으로부터 대향하는 하 위치와, 가장 상방에 배치된 제 1 처리 유닛 (15) 의 제 1 출입구 (11A) 에 수평 방향으로부터 대향하는 상 위치 사이에서 승강한다. 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 하 위치와 상 위치 사이의 소정 위치에서, 가장 상방의 제 1 처리 유닛 (15) 과 가장 하방의 제 1 처리 유닛 (15) 사이에 배치된 제 1 처리 유닛 (15) 의 제 1 출입구 (11A) 에 대향한다. 이와 같이, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 출입구 (11A) 에 대향하여 배치되어 있다.
제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 주반송 핸드 (61) 를 제 1 처리 유닛 (15) 의 제 1 출입구 (11A) 에 수평 방향으로부터 대향시킬 수 있다. 이 상태에서, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 출입구 (11A) 를 통하여 제 1 처리 유닛 (15) 에 액세스하고, 제 1 처리 유닛 (15) 에 대한 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시할 수 있다.
또, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 주반송 핸드 (61) 를 제 1 재치 유닛 (31) 에 수평 방향으로부터 대향시킬 수 있다. 이 상태에서, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 재치 유닛 (31) 에 액세스하고, 제 1 재치 유닛 (31) 에 기판 (W) 을 재치하거나, 제 1 재치 유닛 (31) 에 재치된 기판 (W) 을 수취하거나 할 수 있다.
제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 처리 유닛 (15) 의 제 1 처리 챔버 (15a) 내에 있어서 기판 (W) 이 재치되는 위치와 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이의 거리, 제 1 재치 유닛 (31) 에 있어서 기판 (W) 이 재치되는 위치와 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이의 거리, 및 제 2 재치 유닛 (32) 에 있어서 기판 (W) 이 재치되는 위치와 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이의 거리가 평면으로 볼 때 동일해지도록 배치되어 있는 것이 바람직하다.
처리 섹션 (3) 은, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 과, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 을 Z 방향으로 승강시키는 제 2 주반송 로봇 승강 유닛 (93) 을 가지고 있다. 제 2 주반송 로봇 승강 유닛 (93) 은, 제 3 반송 로봇으로서의 제 2 주반송 로봇 (CR2) 을 승강시키는 제 3 반송 로봇 승강 유닛의 일례이다.
제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 기판 (W) 을 유지할 수 있는 제 2 주반송 핸드 (81) 와, 제 2 주반송 핸드 (81) 를 직선적으로 진퇴 가능하게 유지하는 유지부 (82) 와, 유지부 (82) 를 자유롭게 회전할 수 있게 지지하는 지지 부재 (91) 를 포함한다. 제 2 주반송 핸드 (81) 는, 예를 들어 선단이 포크상으로 형성되어 있다. 유지부 (82) 에는, 제 2 주반송 핸드 (81) 를 수평 방향으로 진퇴시키는 제 2 주반송 핸드 진퇴 유닛 (94) 이 내장되어 있다. 또, 지지 부재 (91) 에는, 유지부 (82) 를 연직 축선 C3 둘레로 회전시키는 제 2 주반송 로봇 선회 유닛 (92) 이 내장되어 있다.
제 2 주반송 핸드 (81) 는, 제 2 주반송 핸드 진퇴 유닛 (94) 에 의해, 평면으로 볼 때 그 전체가 유지부 (82) 상에 위치하는 퇴피 위치와, 그 선단이 유지부 (82) 로부터 멀어지도록 유지부 (82) 의 외부로 직선적으로 가장 진출한 진출 위치 사이에서 이동 가능하다.
유지부 (82) 는, 제 2 주반송 로봇 선회 유닛 (92) 에 의해, 지지 부재 (91) 상에서 연직 축선 C3 둘레로 회전하는 것이 가능하다.
제 2 주반송 로봇 승강 유닛 (93) 은, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 에 대해 유지 유닛 (5) 과는 반대측에 위치하고 있다. 제 2 주반송 로봇 승강 유닛 (93) 은, 지지 부재 (91) 에 있어서 제 2 주반송 로봇 (CR2) 에 연결되어 있다. 제 2 주반송 로봇 승강 유닛 (93) 은, 지지 부재 (91) 를 승강시킴으로써 제 2 주반송 로봇 (CR2) 을 Z 방향으로 승강시킨다. 제 2 주반송 로봇 승강 유닛 (93) 은, 지지 부재 (91) 의 승강을 구동하는 구동 모터 (도시 생략) 와, 지지 부재 (91) 의 승강을 가이드하는 레일 (도시 생략) 을 포함한다.
제 2 주반송 로봇 승강 유닛 (93) 이 제 2 주반송 로봇 (CR2) 의 승강을 구동함으로써, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 가장 하방에 배치된 제 2 처리 유닛 (16) 의 제 2 출입구 (12A) 에 수평 방향으로부터 대향하는 하 위치와, 가장 상방에 배치된 제 2 처리 유닛 (16) 의 제 2 출입구 (12A) 에 수평 방향으로부터 대향하는 상 위치 사이에서 승강한다. 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 하 위치와 상 위치 사이의 소정 위치에서, 가장 상방의 제 2 처리 유닛 (16) 과 가장 하방의 제 2 처리 유닛 (16) 사이의 제 2 처리 유닛 (16) 의 제 2 출입구 (12A) 에 대향한다.
제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 하 위치에 있을 때에, 가장 하방에 배치된 제 3 처리 유닛 (17) 의 제 3 출입구 (13A) 에도 수평 방향으로부터 대향한다. 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 상 위치에 있을 때에, 가장 상 위치에 배치된 제 3 처리 유닛 (17) 의 제 3 출입구 (13A) 에도 수평 방향으로부터 대향한다. 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 하 위치와 상 위치 사이의 소정 위치에서, 가장 상방의 제 3 처리 유닛 (17) 과 가장 하방의 제 3 처리 유닛 (17) 사이의 제 3 처리 유닛 (17) 의 제 3 출입구 (13A) 에 대향한다. 이와 같이, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 2 출입구 (12A) 및 제 3 출입구 (13A) 에 대향하여 배치되어 있다.
제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 2 주반송 핸드 (81) 를 제 2 처리 유닛 (16) 의 제 2 출입구 (12A) 에 수평 방향으로부터 대향시킬 수 있다. 이 상태에서, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 2 출입구 (12A) 를 통하여 제 2 처리 유닛 (16) 에 액세스하고, 제 2 처리 유닛 (16) 에 대한 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시할 수 있다.
또, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 2 주반송 핸드 (81) 를 제 3 처리 유닛 (17) 의 제 3 출입구 (13A) 에 수평 방향으로부터 대향시킬 수 있다. 이 상태에서, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 3 출입구 (13A) 를 통하여 제 3 처리 유닛 (17) 에 액세스하고, 제 3 처리 유닛 (17) 에 대한 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시할 수 있다.
또, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 2 주반송 로봇 선회 유닛 (92) 에 의해 선회되고 제 2 주반송 로봇 승강 유닛 (93) 에 의해 승강됨으로써, 제 2 주반송 핸드 (81) 를 제 2 재치 유닛 (32) 에 X 방향으로부터 대향시킬 수 있다. 이 상태에서, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 2 재치 유닛 (32) 에 액세스하고, 제 2 재치 유닛 (32) 에 기판 (W) 를 재치하거나, 제 2 재치 유닛 (32) 에 재치된 기판 (W) 을 수취하거나 할 수 있다.
제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 2 처리 유닛 (16) 의 제 2 처리 챔버 (16a) 내에 있어서 기판 (W) 이 재치되는 위치와 제 2 주반송 로봇 (CR2) 사이의 거리, 제 3 처리 유닛 (17) 의 제 3 처리 챔버 (17a) 내에 있어서 기판 (W) 이 재치되는 위치와 제 2 주반송 로봇 (CR2) 사이의 거리, 및 제 2 재치 유닛 (32) 에 있어서 기판 (W) 이 재치되는 위치와 제 2 주반송 로봇 (CR2) 사이의 거리가 평면으로 볼 때 동일해지도록 배치되어 있는 것이 바람직하다.
기판 처리 장치 (1) 는, 수수 영역 A1 의 주위의 분위기와 제 1 처리부 (11) 의 주위의 분위기를 차단하는 제 1 커버 (101) 와, 제 1 처리부 (11) 의 주위의 분위기와 제 2 처리부 (12) 의 주위의 분위기를 차단하는 제 2 커버 (102) 와, 제 3 처리부 (13) 의 주위의 분위기와 기판 처리 장치 (1) 의 외부의 분위기를 차단하는 제 3 커버 (103) 를 추가로 포함한다. 제 1 커버 (101) 는, 일방 측면이 제 1 처리 유닛 (15) 에 장착되어 있고, 타방 측면이 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 에 장착되어 있다. 제 1 커버 (101) 는, 상 부분과 하 부분으로 분할되어 있다. 제 1 커버 (101) 의 상 부분은, 제 1 재치 유닛 (31) 의 상방에 위치하고 있다. 제 1 커버 (101) 의 하 부분은, 제 1 재치 유닛 (31) 의 하방에 위치하고 있다. 그 때문에, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 커버 (101) 에 방해받지 않고 제 1 재치 유닛 (31) 과의 사이에서 기판 (W) 의 수수를 할 수 있다.
제 2 커버 (102) 는, 일방 측면이 제 2 처리 유닛 (16) 에 장착되어 있고, 타방 측면이 반송로 (6) 를 사이에 두고 반대측의 제 2 처리 유닛 (16) 에 장착되어 있다. 제 2 커버 (102) 는, 상 부분과 하 부분으로 분할되어 있다. 제 2 커버 (102) 의 상 부분은, 제 2 재치 유닛 (32) 의 상방에 위치하고 있다. 제 2 커버 (102) 의 하 부분은, 제 2 재치 유닛 (32) 의 하방에 위치하고 있다. 그 때문에, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 2 커버 (102) 에 방해받지 않고 제 2 재치 유닛 (32) 과의 사이에서 기판 (W) 의 수수를 할 수 있다.
다음으로, 인덱서 로봇 (IR), 제 1 주반송 로봇 (CR1) 및 제 2 주반송 로봇 (CR2) 에 의한 기판 (W) 의 반송 동작에 대해 설명한다.
도 3a ∼ 도 3f 는, 인덱서 로봇 (IR), 제 1 주반송 로봇 (CR1) 및 제 2 주반송 로봇 (CR2) 에 의한 기판 (W) 의 반송 동작을 설명하기 위한 도해적인 평면도이다. 도 3a 에 나타내는 상태에서는, 처리 유닛 (15 ∼ 17) 중 반송로 (6) 보다 지면의 상측에 배치되어 있는 것에는, 기판 (W) 이 수용되어 있지 않다.
명료화를 위하여, 도 3a ∼ 도 3f 에 있어서 제 1 재치 유닛 (31) 이나 제 2 재치 유닛 (32) 에 재치된 기판 (W) 을 실선으로 나타내고 있다. 또, 명료화를 위하여, 도 3a ∼ 도 3f 에 있어서 제 1 재치 유닛 (31) 이나 제 2 재치 유닛 (32) 에 액세스하고 있는 인덱서 핸드 (41), 제 1 주반송 핸드 (61) 및 제 2 주반송 핸드 (81) 를 실선으로 도시하고 있다. 단, 인덱서 핸드 (41), 제 1 주반송 핸드 (61) 및 제 2 주반송 핸드 (81) 에 있어서 기판 (W) 의 하방에 위치하고 있는 부분에 대해서는 파선으로 도시하고 있다.
먼저, 인덱서 로봇 (IR) 은, 인덱서 로봇 승강 유닛 (53) 에 의해 하 위치로 이동된다. 도 3a 에 나타내는 바와 같이, 인덱서 핸드 (41) 는 어느 유지 유닛 (5)(예를 들어 도 3a 의 지면의 상방으로부터 2 번째의 유지 유닛 (5)) 의 수용기 (4) 에 액세스할 수 있도록 이동 유닛 (52) 에 의해 이동된다. 이로써, 도 3a 에 2 점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 인덱서 로봇 (IR) 이 당해 수용기 (4) 로부터 미처리의 기판 (W) 을 수취한다. 그리고, 인덱서 핸드 (41) 는, 이동 유닛 (52) 에 의해 이동되어 당해 수용기 (4) 로부터 퇴피한다.
그 후, 인덱서 로봇 (IR) 은, 인덱서 로봇 승강 유닛 (53) 에 의해 상 위치로 이동된다. 도 3b 에 나타내는 바와 같이, 인덱서 로봇 (IR) 의 인덱서 핸드 (41) 는, X 방향에 대해 경사진 방향 B 로 이동 유닛 (52) 에 의해 이동되고, 수수 영역 A1 에 배치된 제 1 재치 유닛 (31) 에 액세스한다. 이로써, 미처리의 기판 (W) 이 제 1 재치 유닛 (31) 에 재치된다. 이때, 인덱서 핸드 (41) 에 의해 유지된 기판 (W) 도 X 방향에 대해 경사진 방향 B 로 이동한다. 방향 B 는, 수평 방향이고, 평면으로 볼 때 X 방향에 대해 경사져 있다.
그리고, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 주반송 로봇 선회 유닛 (72) 및 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 에 의해, 제 1 주반송 핸드 (61) 가 제 1 재치 유닛 (31) 과 대향하는 위치 (도 3c 에 2 점 쇄선으로 나타내는 위치) 로 이동된다. 제 1 주반송 핸드 (61) 는, 제 1 재치 유닛 (31) 에 대향한 상태에서, 제 1 주반송 핸드 진퇴 유닛 (74) 에 의해, 진출 위치를 향하여 방향 B 로 직선적으로 이동된다. 도 3c 에 나타내는 바와 같이, 제 1 주반송 핸드 (61) 는, 퇴피 위치와 진출 위치 사이의 위치에서 제 1 재치 유닛 (31) 에 액세스하고, 제 1 재치 유닛 (31) 으로부터 미처리의 기판 (W) 을 수취한다.
그 후, 제 1 주반송 핸드 (61) 는, 제 1 주반송 핸드 진퇴 유닛 (74) 에 의해, 퇴피 위치에 위치하도록 방향 B 로 직선적으로 이동되고, 도 3c 에 2 점 쇄선으로 나타내는 위치로 돌아간다. 이때, 제 1 주반송 핸드 (61) 에 의해 유지된 기판 (W) 도 방향 B 로 이동한다. 이와 같이, 미처리의 기판 (W) 은, 제 1 재치 유닛 (31) 을 통하여 인덱서 로봇 (IR) 으로부터 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 수수된다. 미처리의 기판 (W) 을 수취한 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 주반송 로봇 선회 유닛 (72) 및 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 에 의해, 제 1 주반송 핸드 (61) 가 제 1 처리 유닛 (15) 의 제 1 출입구 (11A) 에 대향하는 위치 (도 3d 참조) 또는 제 2 재치 유닛 (32) 에 대향하는 위치 (도 3e 참조) 로 이동된다.
도 3d 를 참조하고, 미처리의 기판 (W) 을 제 1 처리 유닛 (15) 에서 처리하는 경우, 제 1 주반송 핸드 (61) 는 제 1 처리 유닛 (15) 의 제 1 출입구 (11A) 에 대향한 상태에서, 제 1 주반송 핸드 진퇴 유닛 (74) 에 의해, 진출 위치에 위치하도록 직선적으로 이동된다. 이로써, 제 1 주반송 핸드 (61) 는, 퇴피 위치와 진출 위치 사이의 위치에서 제 1 처리 유닛 (15) 에 액세스하고, 기판 (W) 을 제 1 처리 챔버 (15a) 내에 재치한다. 그 후, 제 1 주반송 핸드 (61) 는, 제 1 주반송 핸드 진퇴 유닛 (74) 에 의해, 퇴피 위치에 위치하도록 직선적으로 이동된다. 이와 같이, 미처리의 기판 (W) 은, 유지 유닛 (5) 에 유지된 수용기 (4) 와 제 1 처리 유닛 (15) 사이에서 반송된다. 그 후, 기판 (W) 은, 제 1 처리 유닛 (15) 에 의해 소정 시간 처리된 후, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 의해 수취된다.
미처리의 기판 (W) 을 제 2 처리 유닛 (16) 또는 제 3 처리 유닛 (17) 에서 처리하는 경우, 도 3e 를 참조하고, 제 1 주반송 핸드 (61) 는, 제 2 재치 유닛 (32) 에 대향한 상태에서, 제 1 주반송 핸드 진퇴 유닛 (74) 에 의해, 진출 위치에 위치하도록 직선적으로 이동된다. 이로써, 제 1 주반송 핸드 (61) 는, 퇴피 위치와 진출 위치 사이의 위치에서 제 2 재치 유닛 (32) 에 액세스하고, 미처리의 기판 (W) 을 제 2 재치 유닛 (32) 에 재치한다.
그리고, 도 3f 를 참조하고, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 2 주반송 로봇 선회 유닛 (92) 및 제 2 주반송 로봇 승강 유닛 (93) 에 의해, 제 2 주반송 핸드 (81) 가 제 2 재치 유닛 (32) 과 대향하는 위치로 이동된다. 제 2 주반송 핸드 (81) 는, 제 2 재치 유닛 (32) 에 대향한 상태에서, 제 2 주반송 핸드 진퇴 유닛 (94) 에 의해, 진출 위치에 위치하도록 X 방향으로 직선적으로 이동된다. 제 2 주반송 핸드 (81) 는, 퇴피 위치와 진출 위치 사이의 위치에서 제 2 재치 유닛 (32) 에 액세스하고, 제 2 재치 유닛 (32) 으로부터 미처리의 기판 (W) 을 수취한다. 이로써, 미처리의 기판 (W) 은, 제 2 재치 유닛 (32) 을 통하여 제 1 주반송 로봇 (CR1) 으로부터 제 2 주반송 로봇 (CR2) 에 수수된다.
그 후, 제 2 주반송 핸드 (81) 는, 제 2 주반송 핸드 진퇴 유닛 (94) 에 의해, 퇴피 위치에 위치하도록 X 방향으로 직선적으로 이동된다. 미처리의 기판 (W) 을 수취한 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 2 주반송 로봇 선회 유닛 (92) 및 제 2 주반송 로봇 승강 유닛 (93) 에 의해, 제 2 주반송 핸드 (81) 가 제 2 처리 유닛 (16) 의 제 2 출입구 (12A) 또는 제 3 처리 유닛 (17) 의 제 3 출입구 (13A) 에 대향하는 위치로 이동된다.
제 2 주반송 핸드 (81) 는, 제 2 처리 유닛 (16) 의 제 2 출입구 (12A) 또는 제 3 처리 유닛 (17) 의 제 3 출입구 (13A) 에 대향한 상태에서, 제 2 주반송 핸드 진퇴 유닛 (94) 에 의해, 진출 위치에 위치하도록 직선적으로 이동된다. 이로써, 제 2 주반송 핸드 (81) 는, 퇴피 위치와 진출 위치 사이의 위치에서 제 2 처리 유닛 (16) 또는 제 3 처리 유닛 (17) 에 액세스하고, 제 2 처리 챔버 (16a) 내 또는 제 3 처리 챔버 (17a) 내에 기판 (W) 을 재치한다 (도 3f 의 1 점 쇄선 참조). 그 후, 제 2 주반송 핸드 (81) 는, 제 2 주반송 핸드 진퇴 유닛 (94) 에 의해, 퇴피 위치에 위치하도록 직선적으로 이동된다. 이와 같이, 미처리의 기판 (W) 은, 유지 유닛 (5) 에 유지된 수용기 (4) 와 제 2 처리 유닛 (16) 또는 제 3 처리 유닛 (17) 사이에서 반송된다.
제 2 처리 유닛 (16) 또는 제 3 처리 유닛 (17) 에서 소정 시간 처리된 기판 (W) 은, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 에 의해 수취되고, 제 2 재치 유닛 (32) 을 통하여 제 2 주반송 로봇 (CR2) 으로부터 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 수수된다.
처리부 (11 ∼ 13) 에 의해 처리된 기판 (W) 은, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 의해 제 1 재치 유닛 (31) 에 재치된다. 상세하게는, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 주반송 로봇 선회 유닛 (72) 및 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 에 의해, 제 1 주반송 핸드 (61) 가 제 1 재치 유닛 (31) 과 대향하는 위치로 이동된다. 제 1 주반송 핸드 (61) 는, 제 1 재치 유닛 (31) 에 대향한 상태에서, 제 1 주반송 핸드 진퇴 유닛 (74) 에 의해, 진출 위치에 위치하도록 X 방향에 대해 경사진 방향 B 로 직선적으로 이동된다. 이때, 제 1 주반송 핸드 (61) 에 의해 유지된 기판 (W) 도 방향 B 로 이동한다. 퇴피 위치와 진출 위치 사이의 위치에서, 제 1 주반송 핸드 (61) 는, 제 1 재치 유닛 (31) 에 액세스하고, 처리 후의 기판 (W) 을 제 1 재치 유닛 (31) 에 재치한다.
그리고, 인덱서 로봇 (IR) 은, 인덱서 로봇 승강 유닛 (53) 에 의해 상 위치로 이동된다. 인덱서 핸드 (41) 는, 제 1 재치 유닛 (31) 에 액세스할 수 있도록, 이동 유닛 (52) 에 의해 이동된다. 이로써, 인덱서 핸드 (41) 는, 처리 후의 기판 (W) 을 수취한다. 인덱서 핸드 (41) 는, 이동 유닛 (52) 에 의해 방향 B 로 이동되고 제 1 재치 유닛 (31) 으로부터 퇴피한다. 이때, 제 1 주반송 핸드 (61) 에 의해 유지된 기판 (W) 도 방향 B 로 이동한다. 이로써, 처리 후의 기판 (W) 이 제 1 재치 유닛 (31) 을 통하여 제 1 주반송 로봇 (CR1) 으로부터 인덱서 로봇 (IR) 에 수수된다. 그리고, 처리 후의 기판 (W) 은, 인덱서 로봇 (IR) 에 의해 유지 유닛 (5) 에 유지된 수용기 (4) 에 수용된다. 이와 같이, 처리 후의 기판 (W) 은, 제 1 처리 유닛 (15), 제 2 처리 유닛 (16) 또는 제 3 처리 유닛 (17) 과 유지 유닛 (5) 에 유지된 수용기 (4) 사이에서 반송된다.
이 실시형태에 의하면, 유지 유닛 (5) 에 유지된 수용기 (4) 와 처리부 (11 ∼ 13) 사이에서, 인덱서 로봇 (IR) 및 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 의해 기판 (W) 이 반송된다. 그 때, 기판 (W) 은, 제 1 처리부 (11) 의 측방을 통해 연장되는 반송로 (6) 를 통과한다. 이 반송로 (6) 내에는, 인덱서 로봇 (IR) 및 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에서 기판 (W) 이 수수되는 수수 영역 A1 이 설정되어 있다. 또한, 반송로 (6) 내에는, 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 이 배치되고, 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 이 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에 위치하고 있다. 이로써, 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 이 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 대해 인덱서 로봇 (IR) 의 반대측에 위치하는 경우와 비교해, 제 1 처리부 (11) 의 제 1 처리 유닛 (15) 에 기판 (W) 을 반송하는 데에 필요한 반송로 길이를 짧게 할 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치 (1) 를 소형화하고, 그것에 의해 기판 처리 장치 (1) 의 점유 면적을 저감할 수 있다.
또, 수수 영역 A1 과 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 이, X 방향 (직선상의 반송로 (6) 가 연장되는 방향) 에 대해 교차하는 방향 (예를 들어 Y 방향) 으로 배열되어 있기 때문에, 제 1 처리부 (11) 의 제 1 처리 유닛 (15) 에 기판 (W) 을 반송하는 데에 필요한 반송로 길이를 한층 짧게 할 수 있다.
또, 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에서 기판 (W) 이 수수될 때에 기판 (W) 이 이동하는 방향 B 가, 평면으로 볼 때 X 방향에 대해 경사져 있으므로, 수수 영역 A1 과 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 을 X 방향에 대해 교차하는 방향으로 배열하기 쉽다. 따라서, 제 1 처리부 (11) 의 제 1 처리 유닛 (15) 에 기판 (W) 을 반송하는 데에 필요한 반송로 길이를 한층 더 짧게 하는 설계가 용이해진다.
또, 제 1 재치 유닛 (31) 과 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 이, X 방향에 대해 교차하는 방향 (예를 들어 Y 방향) 으로 배열되어 있기 때문에, 인덱서 로봇 (IR) 으로부터 제 1 주반송 로봇 (CR1) 까지의 반송로 (6) 를 길게 하는 일 없이, 제 1 재치 유닛 (31) 및 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 을 반송로 (6) 내에 배치할 수 있다. 그것에 의해, 기판 처리 장치 (1) 의 소형화를 도모하거나, 기판 (W) 의 반송 효율을 향상시키거나 할 수 있다.
또, 수수 영역 A1 에 배치된 제 1 재치 유닛 (31) 에는, 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에서 기판 (W) 을 수수하기 위해서 기판 (W) 이 재치된다. 그 때문에, 기판 (W) 의 수수를 실시하기 위해서 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 이 수수 영역 A1 에 액세스하는 타이밍을 맞출 필요가 없다. 그 때문에, 인덱서 로봇 (IR) 및 제 1 주반송 로봇 (CR1) 의 동작의 자유도가 증가한다. 따라서, 인덱서 로봇 (IR) 및 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 의한 기판 (W) 의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
또, 인덱서 로봇 (IR) 에 의한 기판 (W) 의 반송 효율은, Z 방향에 있어서의 수용기 (4) 의 위치와 Z 방향에 있어서의 제 1 재치 유닛 (31) 의 위치가 가까울수록 높아진다. 한편, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 의한 기판 (W) 의 반송 효율은, Z 방향에 있어서의 제 1 처리부 (11) 의 중심 C 의 위치와 Z 방향에 있어서의 제 1 재치 유닛 (31) 의 위치가 가까울수록 높아진다. 제 1 재치 유닛 (31) 이, Z 방향에 있어서, 유지 유닛 (5) 에 유지된 수용기 (4) 와, Z 방향에 있어서의 제 1 처리부 (11) 의 중심 C 사이에 위치하고 있으므로, 제 1 재치 유닛 (31) 은, 인덱서 로봇 (IR) 및 제 1 주반송 로봇 (CR1) 의 어느 것으로부터도 효율적으로 액세스되기 쉽다. 따라서, 기판 (W) 의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
또, 제 1 재치 유닛 (31) 이, Z 방향에 있어서, 인덱서 로봇 (IR) 의 하 위치와 Z 방향에 있어서의 제 1 처리부 (11) 의 중심 C 사이의 중앙 위치에 위치하고 있다. 그 때문에, 인덱서 로봇 (IR) 에 의한 기판 (W) 의 반송 효율과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 의한 기판 (W) 의 반송 효율의 밸런스를 잡을 수 있어, 전체적인 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
또, 1 쌍의 처리부 (11 ∼ 13) 가 반송로 (6) 를 사이에 두고 대향하고 있으므로, 반송로 (6) 를 길게 하는 일 없이 처리부 (11 ∼ 13) 의 수를 늘릴 수 있다.
또, 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 에 장착된 제 1 커버 (101) 에 의해 수수 영역 A1 주위의 분위기와 제 1 처리부 (11) 주위의 분위기가 차단된다. 그 때문에, 예를 들어 제 1 처리부 (11) 내에서 기판 (W) 을 처리하기 위해서 사용되는 처리 유체의 분위기가 제 1 처리부 (11) 주위의 분위기 내에 존재하고 있는 경우라도, 수수 영역 A1 에 액세스한 인덱서 로봇 (IR)(특히 인덱서 핸드 (41)) 이 처리액의 증기에 의해 오염되는 것을 억제 또는 방지할 수 있다.
또한, 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 은, 수수 영역 A1 과 함께 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에 위치하고 있으므로, 수수 영역 A1 의 비교적 근처에 위치하고 있다. 따라서, 제 1 커버 (101) 를 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 에 장착할 수 있다. 또한, 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 에 의해 반송로 (6) 의 일부가 차폐되고 있기 때문에, 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 에 제 1 커버 (101) 를 장착함으로써 제 1 커버 (101) 의 소형화를 도모할 수도 있다.
또, 근접 처리부인 제 1 처리부 (11) 는, X 방향에 있어서의 제 1 처리부 (11) 의 중앙보다 유지 유닛 (5) 측과는 반대측에 제 1 출입구 (11A) 를 갖는다. 그리고, 원격 처리부인 제 3 처리부 (13) 는, X 방향에 있어서의 제 3 처리부 (13) 의 중앙보다 유지 유닛 (5) 측에 제 3 출입구 (13A) 를 갖는다.
그 때문에, 제 1 처리부 (11) 와 제 2 처리부 (12) 사이에 제 1 주반송 로봇 (CR1) 을 배치하고, 제 2 처리부 (12) 와 제 3 처리부 (13) 사이에 제 2 주반송 로봇 (CR2) 을 배치하면, 모든 처리부 (11 ∼ 13) 에 대해 어느 반송 로봇 (CR1, CR2) 이 액세스할 수 있다. 그 때문에, 제 3 처리부 (13)(원격 처리부) 보다 유지 유닛 (5) 으로부터 멀어진 위치에 반송 로봇을 설치할 필요가 없다. 따라서, 처리부 (11 ∼ 13) 가 X 방향으로 나란히 3 개 배치되어 있는 구성에 있어서, 제 3 처리부 (13) 보다 유지 유닛 (5) 으로부터 멀어진 위치에 반송 로봇을 설치할 필요가 없다. 따라서, 기판 처리 장치 (1) 의 소형화 및 저비용화를 도모할 수 있다.
제 1 실시형태와는 달리, 처리부가 X 방향으로 4 개 이상 배치되어 있어도 된다. 이 경우라도, 근접 처리부가, X 방향에 있어서의 근접 처리부의 중앙보다 유지 유닛 (5) 측과는 반대측에 출입구를 갖고, 원격 처리부가, X 방향에 있어서의 원격 처리부의 중앙보다 유지 유닛 (5) 측에 출입구를 갖는 구성이면, 원격 처리부보다 유지 유닛 (5) 으로부터 멀어진 위치에 반송 로봇을 설치할 필요가 없다. 따라서, 기판 처리 장치 (1) 의 소형화를 도모할 수 있다.
다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 대해 설명한다.
＜제 2 실시형태＞
도 4 는, 제 2 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1P) 의 내부의 레이아웃을 설명하기 위한 도해적인 평면도이다. 도 4 및 후술하는 도 5 에서는, 지금까지 설명한 부재와 동일한 부재에는 동일한 참조 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.
제 2 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1P) 가 제 1 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 와 주로 상이한 점은, 기판 처리 장치 (1) 가 제 2 재치 유닛 (32) 을 포함하고 있지 않은 점과, 기판 처리 장치 (1P) 의 처리 섹션 (3) 이 제 2 처리부 (12), 제 3 처리부 (13) 및 제 2 주반송 로봇 (CR2) 을 포함하고 있지 않은 점이다. 그 때문에, 기판 처리 장치 (1P) 의 제 1 처리부 (11) 에는, 급전 섹션 (7) 이 인덱서 섹션 (2) 과는 반대측으로부터 인접하고 있다. 또, 기판 처리 장치 (1P) 는, 제 1 처리부 (11) 주위의 분위기와 기판 처리 장치 (1P) 외부의 분위기를 차단하는 커버 (104) 를 또한 포함한다.
제 2 실시형태의 기판 처리 장치 (1P) 에서는, 제 1 실시형태의 기판 처리 장치 (1) 와 마찬가지로, 제 1 처리부 (11) 가 제 1 출입구 (11A) 를 X 방향에 있어서의 제 1 처리부 (11) 의 중앙보다 유지 유닛 (5) 측과는 반대측에 갖고, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 이, 제 1 출입구 (11A) 에 대향하여 배치되어 있다. 그 때문에, 제 1 처리부 (11) 에 대해 유지 유닛 (5) 측과는 반대측에 처리부를 증설한 경우에, 당해 증설한 처리부에도 제 1 주반송 로봇 (CR1) 을 액세스시키기 쉽다. 따라서, 기판 (W) 을 반송하기 위한 반송 로봇의 수를 늘리는 일 없이, X 방향으로 처리부의 수를 늘릴 수 있다. 따라서, 반송 로봇의 수를 늘리는 경우와 비교하여, 기판 처리 장치 (1) 의 소형화 및 저비용화를 도모할 수 있다.
기판 처리 장치 (1P) 에 처리부를 증설했을 때의 레이아웃을 설명하기 위한 도 5 를 참조하고, 제 1 처리부 (11) 와 급전 섹션 (7) 사이에 제 2 처리부 (12P) 를 배치하고, 처리부 (11, 12P) 가 X 방향으로 2 개 배열되도록 하고, 모든 처리부 (11, 12P) 에 대해 제 1 주반송 로봇 (CR1) 이 기판 (W) 을 반입 및 반출하도록 할 수 있다. 제 2 처리부 (12P) 의 제 2 출입구 (12PA) 는, 제 2 처리부 (12P) 의 중앙보다 유지 유닛 (5) 측에 위치하고 있는 것이 바람직하다. 제 2 처리부 (12P) 의 제 2 처리 유닛 (16) 의 제 2 처리 챔버 (16a) 는, 유체 박스 (16b) 보다 유지 유닛 (5) 측에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 제 1 실시형태의 제 2 처리부 (12) 를 증설하는 경우와 비교해, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 이 제 2 처리부 (12P) 에 액세스하기 쉽다.
당연, 기판 처리 장치 (1P) 에 나중에 제 2 처리부 (12P) 를 증설하는 것이 아니라, 기판 처리 장치 (1P) 가, 처음부터 처리부 (11, 12P) 를 구비한 구성이어도 된다.
또, 기판 처리 장치 (1P) 의 제 1 처리부 (11) 와 급전 섹션 (7) 사이에 제 2 처리부 (12) 및 제 3 처리부 (13) 를 증설하고, 제 2 처리부 (12) 및 제 3 처리부 (13) 에 대향하는 제 2 주반송 로봇 (CR2) 을 증설함으로써, 제 1 실시형태에 관련된 기판 처리 장치 (1) 로 할 수도 있다.
또, 제 2 실시형태에서는, 제 1 실시형태와 동일한 효과를 발휘한다.
본 발명은, 이상에서 설명한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 또 다른 형태로 실시할 수 있다.
예를 들어, 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 기판 (W) 을 직접 수수하도록 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 기판 (W) 의 수수는, 수수 영역 A1 에서 실시된다. 또, 이 경우, 기판 처리 장치 (1, 1P) 는, 제 1 재치 유닛 (31) 을 포함하고 있지 않아도 된다.
인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에서 기판 (W) 을 직접 수수하는 경우, 인덱서 핸드 (41) 와 제 1 주반송 핸드 (61) 는, 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에서 기판 (W) 을 수수할 때의 간섭을 방지하기 위해 평면으로 볼 때에 있어서 서로 겹치지 않도록 서로 맞물리는 형상을 가지고 있어도 된다.
동일하게, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 과 제 2 주반송 로봇 (CR2) 사이에서 기판 (W) 을 직접 수수하도록 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 기판 (W) 의 수수는, 수수 영역 A2 에서 실시된다.
또, 각 처리부 (11 ∼ 13) 는, 반드시 1 쌍 설치되어 있을 필요는 없고, 처리부 (11 ∼ 13) 중 적어도 어느 것이 반송로 (6) 의 편측에만 배치되어 있어도 된다.
또, 인덱서 로봇 (IR) 은, 인덱서 핸드 (41) 를 복수 포함하고 있어도 된다. 또, 각 인덱서 핸드 (41) 는, Z 방향으로 간격을 두고 배치되어 있고, 서로 독립적으로 이동할 수 있도록 되어 있어도 된다. 이 경우, 인덱서 로봇 (IR) 은, 수용기 (4) 로부터 미처리의 기판 (W) 을 반출하면서, 별도의 수용기 (4) 에 처리 후의 기판 (W) 의 반입할 수 있도록 구성되어 있어도 된다. 또, 인덱서 로봇 (IR) 은, 제 1 재치 유닛 (31) 으로부터 처리 후의 기판 (W) 을 수취하면서, 제 1 재치 유닛 (31) 에 미처리의 기판 (W) 을 재치할 수 있도록 구성되어 있어도 된다.
동일하게, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 주반송 핸드 (61) 를 복수 포함하고 있어도 된다. 또, 각 제 1 주반송 핸드 (61) 는, Z 방향으로 간격을 두고 배치되어 있어도 된다. 이 경우, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 2 재치 유닛 (32) 또는 제 1 처리부 (11) 로부터 처리 후의 기판 (W) 을 수취하면서, 제 2 재치 유닛 (32) 또는 제 1 처리부 (11) 에 미처리의 기판 (W) 을 재치할 수 있도록 구성되어 있어도 된다. 또, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 재치 유닛 (31) 으로부터 미처리의 기판 (W) 을 수취하면서, 제 1 재치 유닛 (31) 에 처리 후의 기판 (W) 을 재치할 수 있도록 구성되어 있어도 된다.
동일하게, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 이, 제 2 주반송 핸드 (81) 를 복수 포함하고 있고, 제 2 처리부 (12) 및 제 3 처리부 (13) 에 대해 기판 (W) 의 반입 및 반출을 한번에 실시할 수 있도록 구성되어 있어도 되며, 제 2 재치 유닛 (32) 에 대해 기판 (W) 의 수취 및 재치를 한번에 실시할 수 있도록 구성되어 있어도 된다.
그 외, 특허 청구 범위에 기재한 범위에서 여러 가지 변경을 실시할 수 있다.
또, 제 1 실시형태와 같이 유지 유닛 (5) 으로부터 멀어지는 방향 (X 방향) 으로 처리부 (11 ∼ 13) 가 나란히 배치된 구성에서는, 이하의 효과도 발휘된다.
제 1 주반송 로봇 (CR1) 이, 제 1 출입구 (11A) 를 통하여 제 1 처리부 (11) 에 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시한다. 또, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 이, 제 2 출입구 (12A) 를 통하여 제 2 처리부 (12) 에 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시하고, 또한 제 3 출입구 (13A) 를 통하여 제 3 처리부 (13) 에 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시한다. 그 때문에, 처리부 (11 ∼ 13) 의 각각에 대해 기판 (W) 을 반입 및 반출하는 반송 로봇이 1 개씩 설치되어 있는 구성과 비교하여, 반송 로봇의 수를 저감할 수 있다. 인덱서 로봇 (IR), 제 1 주반송 로봇 (CR1) 및 제 2 주반송 로봇 (CR2) 사이에서의 기판 (W) 의 수수 횟수가 줄어들므로, 반송 효율이 상승한다.
이와 같이, 처리부 (11 ∼ 13) 가 X 방향으로 3 개 나란히 배치된 구성에 있어서, 기판 (W) 을 효율적으로 반송하면서 반송 로봇의 수를 저감할 수 있다.
또, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 및 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 1 처리부 (11) 와 제 3 처리부 (13) 사이에 배치되어 있다. 따라서, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 이 제 1 처리부 (11) 에 액세스하기 쉽다. 또, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 이 제 2 처리부 (12) 및 제 3 처리부 (13) 에 액세스하기 쉽다. 또, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 과 제 2 주반송 로봇 (CR2) 이 서로 기판 (W) 의 수수를 실시하기 쉬운 레이아웃으로 할 수 있다.
또, 제 2 출입구 (12A) 는, X 방향에 있어서의 제 2 처리부 (12) 의 중앙보다 유지 유닛 (5) 측과는 반대측에 위치하고 있다. 그 때문에, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 이 제 2 출입구 (12A) 에 액세스하기 쉽다. 따라서, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 에 의한 제 2 처리부 (12) 에의 기판 (W) 의 반입 및 반출을 효율적으로 실시할 수 있다.
또, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 은, 제 1 출입구 (11A) 에 대향하여 배치되어 있기 때문에, 제 1 처리부 (11) 에 대한 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시하기 쉽다. 그 때문에, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 의한 제 1 처리부 (11) 에의 기판 (W) 의 반입 및 반출을 효율적으로 실시할 수 있다. 또, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 은, 제 2 출입구 (12A) 및 제 3 출입구 (13A) 에 대향하여 배치되어 있다. 그 때문에, 제 2 처리부 (12) 및 제 3 처리부 (13) 에 대한 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시하기 쉽다. 그 때문에, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 에 의한 제 2 처리부 (12) 및 제 3 처리부 (13) 에의 기판 (W) 의 반입 및 반출을 효율적으로 실시할 수 있다.
또, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 과 제 2 주반송 로봇 (CR2) 사이에서 기판 (W) 을 수수하기 때문에 제 2 재치 유닛 (32) 에 기판 (W) 을 재치할 수 있으므로, 기판 (W) 의 수수를 실시하기 위해서 제 1 주반송 로봇 (CR1) 과 제 2 주반송 로봇 (CR2) 이 제 2 재치 유닛 (32) 에 액세스하는 타이밍을 맞출 필요가 없다. 그 때문에, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 및 제 2 주반송 로봇 (CR2) 의 동작의 자유도가 증가한다. 그 때문에, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 및 제 2 주반송 로봇 (CR2) 에 의한 기판 (W) 의 반송 효율을 향상시킬 수 있다. 따라서, 기판 처리 장치 (1) 에 있어서의 기판 (W) 의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
또, 제 1 재치 유닛 (31) 이 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에 위치하고 있다. 그 때문에, 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 이 기판 (W) 의 수수를 실시할 때에 인덱서 로봇 (IR) 및 제 1 주반송 로봇 (CR1) 이 이동하는 거리를 짧게 할 수 있다. 따라서, 기판 (W) 의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
또, 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 이 인덱서 로봇 (IR) 과 제 1 주반송 로봇 (CR1) 사이에 위치하고 있다. 그 때문에, 제 1 주반송 로봇 승강 유닛 (73) 이 제 1 주반송 로봇 (CR1) 에 대해 인덱서 로봇 (IR) 의 반대측에 위치하는 경우와 비교하여, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 의 배치에 영향을 주는 일 없이, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 을 승강시키는 기능을 구비할 수 있다. 이로써, 제 2 주반송 로봇 (CR2) 의 배치의 자유도가 증가한다. 따라서, 기판 처리 장치 (1) 의 소형화를 도모하거나, 기판 (W) 의 반송 효율을 최대화하거나 하기 위한 설계가 용이해진다.
제 2 재치 유닛 (32) 이 제 1 주반송 로봇 (CR1) 과 제 2 주반송 로봇 (CR2) 사이에 위치하고 있다. 그 때문에, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 과 제 2 주반송 로봇 (CR2) 사이에서 기판 (W) 을 수수하기 위해서 제 1 주반송 로봇 (CR1) 및 제 2 주반송 로봇 (CR2) 이 이동하는 거리를 짧게 할 수 있다. 따라서, 기판 (W) 의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
각 처리 블록 (21 ∼ 23) 에서는, 1 쌍의 처리부 (11 ∼ 13) 가 반송로 (6) 를 사이에 두고 대향하고 있다. 그 때문에, 제 1 주반송 로봇 (CR1) 및 제 2 주반송 로봇 (CR2) 이 기판 (W) 의 반입 및 반출을 실시하는 처리부 (11 ∼ 13) 의 수를 늘릴 수 있다.
본 발명의 실시형태에 대해 상세하게 설명해 왔지만, 이들은 본 발명의 기술적 내용을 분명히 하기 위해서 이용된 구체예에 지나지 않고, 본 발명은 이들 구체예에 한정하여 해석되어야 하는 것이 아니고, 본 발명의 범위는 첨부의 청구 범위에 의해서만 한정된다.
본 출원은, 2016년 3월 9일에 일본 특허청에 제출된 일본 특허출원 2016-45827호에 대응하고 있고, 본 출원의 전체 개시는 여기에 인용에 의해 받아들여지는 것으로 한다.

Claims (11)

  1. 기판을 수용하는 수용기를 유지하는 유지 유닛과,
    기판을 처리하는 복수의 처리부와,
    상기 처리부의 측방을 통해 연장되고, 상기 유지 유닛에 유지된 수용기와 상기 처리부 사이에서 반송되는 기판이 통과하고, 또한 상기 복수의 처리부에 개재된 반송로와,
    상기 유지 유닛에 유지된 수용기에 대해 기판의 반입 및 반출을 실시하고, 또한 상기 반송로 내에 배치된 수수 영역에 액세스하는 제 1 반송 로봇과,
    상기 수수 영역에서 상기 제 1 반송 로봇과의 사이에서 기판의 수수를 실시하고, 또한 상기 처리부에 대해 기판의 반입 및 반출을 실시하는 제 2 반송 로봇과,
    상기 반송로 내에 배치되고, 상기 제 2 반송 로봇을 승강시키는 제 2 반송 로봇 승강 유닛을 포함하고,
    상기 수수 영역과 상기 제 2 반송 로봇 승강 유닛이, 상기 제 1 반송 로봇과 상기 제 2 반송 로봇 사이에 위치하고, 또한 상기 복수의 처리부에 개재된 상기 반송로 내에 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송로가, 상기 유지 유닛으로부터 상기 제 2 반송 로봇을 향하여 직선상으로 연장되어 있고, 상기 수수 영역과 상기 제 2 반송 로봇 승강 유닛이, 상기 반송로가 연장되는 방향에 대해 교차하는 방향으로 배열되어 있는, 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    기판이 상기 제 1 반송 로봇으로부터 상기 제 2 반송 로봇에 수수될 때에 당해 기판이 이동하는 방향이, 상기 반송로가 연장되는 방향에 대해 경사져 있는, 기판 처리 장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수수 영역에 배치되고, 상기 제 1 반송 로봇과 상기 제 2 반송 로봇 사이에서 기판을 수수하기 위해서 기판이 재치되는 재치 유닛을 추가로 포함하는, 기판 처리 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 재치 유닛이, 상하 방향에 있어서, 상기 유지 유닛에 유지된 수용기와, 상기 상하 방향에 있어서의 상기 처리부의 중심 사이에 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 유지 유닛에 대향하는 하 위치와 상기 재치 유닛에 대향하는 상 위치 사이에서 상기 제 1 반송 로봇을 상하 방향으로 승강시키는 제 1 반송 로봇 승강 유닛을 추가로 포함하고,
    상기 재치 유닛이, 상기 상하 방향에 있어서, 상기 제 1 반송 로봇의 하 위치와, 상기 상하 방향에 있어서의 상기 처리부의 중심 사이의 중앙 위치에 위치하고 있는, 기판 처리 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 처리부가, 상기 반송로를 사이에 두고 대향하도록 설치된 1 쌍의 처리부를 포함하는, 기판 처리 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리부가, 상기 처리부 내에 기판을 출납하기 위한 출입구를, 상기 반송로가 연장되는 방향에 있어서의 상기 처리부의 중앙보다 상기 유지 유닛측과는 반대측에 갖고, 상기 제 2 반송 로봇이, 상기 처리부의 출입구에 대향하여 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 처리부가, 상기 반송로가 연장되는 방향으로 배치된 적어도 2 개의 처리부를 포함하고,
    상기 제 2 반송 로봇이, 상기 적어도 2 개의 처리부에 대해 기판의 반입 및 반출을 실시하는, 기판 처리 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수의 처리부가, 상기 반송로가 연장되는 방향으로 배치된 3 개 이상의 처리부를 포함하고,
    상기 유지 유닛에 가장 가까운 위치에 배치된 근접 처리부가, 상기 근접 처리부 내에 기판을 출납하기 위한 출입구를, 상기 반송로가 연장되는 방향에 있어서의 상기 근접 처리부의 중앙보다 상기 유지 유닛측과는 반대측에 갖고,
    상기 유지 유닛으로부터 가장 먼 위치에 배치된 원격 처리부가, 상기 원격 처리부 내에 기판을 출납하기 위한 출입구를, 상기 반송로가 연장되는 방향에 있어서의 상기 원격 처리부의 중앙보다 상기 유지 유닛측에 갖는, 기판 처리 장치.
  11. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수수 영역 주위의 분위기와 상기 처리부 주위의 분위기를 차단하는 커버를 추가로 포함하고,
    상기 커버는, 상기 제 2 반송 로봇 승강 유닛에 장착되어 있는, 기판 처리 장치.
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