JP7195841B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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- H01L21/67781—Batch transfer of wafers
Description
・第1アクセス動作:載置部(PASS1)へのアクセス
・第2アクセス動作:載置部(PASS2)へのアクセス
・第3アクセス動作:塗布処理ユニット(31)へのアクセス
・第4アクセス動作:熱処理ユニット(41)へのアクセス
・第5アクセス動作:載置部(PASS2)へのアクセス
・第6アクセス動作:載置部(PASS5)へのアクセス
・第7アクセス動作:エッジ露光ユニット(EEW)へのアクセス
・第8アクセス動作:現像処理ユニット(DEV)へのアクセス
・第9アクセス動作:熱処理ユニット(42)へのアクセス
すなわち、本発明は、基板処理装置であって、キャリアから基板を搬出するインデクサ部と、基板に処理を行う第1処理部と、前記第1処理部に基板を搬送する第1搬送機構と、前記第1処理部とは異なる処理を基板に行う第2処理部と、前記第2処理部に基板を搬送する第2搬送機構と、前記インデクサ部と前記第1搬送機構との間で搬送される基板を載置する第1載置部と、前記第1搬送機構と前記第2搬送機構との間で搬送される基板を載置する第2載置部と、前記インデクサ部と前記第1処理部と前記第1搬送機構と前記第2処理部と前記第2搬送機構とを制御する制御部と、を備え、前記制御部の制御に従って、前記第1搬送機構は3つのアクセス動作からなる第1サイクル動作を繰り返し、前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第1載置部にアクセスする第1アクセス動作であり、前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第1処理部にアクセスする第2アクセス動作であり、前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の残りの1つは、前記第2載置部にアクセスする第3アクセス動作であり、前記制御部の制御に従って、前記第2搬送機構は2つまたは3つのアクセス動作からなる第2サイクル動作を繰り返し、前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第2載置部にアクセスする第4アクセス動作であり、前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第2処理部にアクセスする第5アクセス動作である基板処理装置
である。
第1搬送機構および第2搬送機構はそれぞれ、第2載置部に一層容易にアクセスできる。
<基板処理装置の概要>
図1は、第1実施形態の基板処理装置の概念図である。第1実施形態の基板処理装置1は、一連の処理を基板(例えば、半導体ウエハ)Wに行う。
・第1載置部21にアクセスする第1アクセス動作
・第1処理部34にアクセスする第2アクセス動作
・第2載置部41にアクセスする第3アクセス動作
・第2載置部41にアクセスする第4アクセス動作
・第2処理部37にアクセスする第5アクセス動作
・第3載置部51にアクセスする第6アクセス動作
・第3載置部51にアクセスする第7アクセス動作
・第3処理部64にアクセスする第8アクセス動作
上述の基板処理装置1によれば、以下の効果を奏する。
図4は、第1実施形態の基板処理装置1の平面図である。基板処理装置1は、インデクサ部11と第1ブロック31と第2ブロック61を備える。第1ブロック31は、インデクサ部11に接続される。第2ブロック61は、第1ブロック31に接続される。第1ブロック31は、第1処理部34と第2処理部37と第2載置部41と第1搬送機構46と第2搬送機構48を収容する。第2ブロック61は、第3処理部64と第3搬送機構68を収容する。第1載置部21は、インデクサ部11と第1ブロック31にまたがって設置される。第3載置部51は、第1ブロック31と第2ブロック61にまたがって設置される。
図4-7を参照する。図5は、基板処理装置1の左部の構成を示す左側面図である。図6は、幅方向Yにおける基板処理装置1の中央部の構成を示す左側面図である。図7は、基板処理装置1の右部の構成を示す右側面図である。
インデクサ用搬送機構14A、14Bは、幅方向Yに並ぶように配置される。インデクサ用搬送機構14Bは、インデクサ用搬送機構14Aの左方に配置される。インデクサ用搬送機構14Aは、キャリア載置部12Aの後方に配置される。インデクサ用搬送機構14Bは、キャリア載置部12Bの後方に配置される。
インデクサ用搬送機構14Aは、キャリアCAから基板Wを搬出可能であり、キャリアCAに基板Wを搬入可能である。インデクサ用搬送機構14Aは、第1載置部21に基板Wを載置可能であり、第1載置部21上の基板Wを取ることができる。インデクサ用搬送機構14Aは、キャリアCBにアクセス不能である。
インデクサ用搬送機構14Bは、キャリアCBから基板Wを搬出可能であり、キャリアCBに基板Wを搬入可能である。インデクサ用搬送機構14Bは、第1載置部21に基板Wを載置可能であり、第1載置部21上の基板Wを取ることができる。インデクサ用搬送機構14Bは、キャリアCAにアクセス不能である。
図4-8を参照する。図8は、第1ブロック31の構成(具体的には、第2処理部37と第2搬送機構48)を示す正面図である。第1ブロック31は、略箱形状を有する。第1ブロック31は、平面視、側面視および正面視において、略矩形である。
第1左処理部34Lに属する第1処理ユニット35は、第1スロット43f-43hにわたって設置される。第1スロット43f、43gを隔てる水平な壁部、および、第1スロット43g、43hを隔てる水平な壁部は、省略されている。
軸線A2と重なる。
図4-7、10を参照する。図10は、第2ブロック61の構成を示す背面図である。第2ブロック61は、略箱形状を有する。第2ブロック61は、平面視、側面視および正面視において、略矩形である。
第1載置部21は、インデクサ部11と第1ブロック31にわたって配置される。第1載置部21は、インデクサ部11の搬送スペース13と第1ブロック31の搬送スペース45にまたがって配置される。第1載置部21の一部は、インデクサ部11の搬送スペース13に配置される。第1載置部21の残りの部分は、第1ブロック31の搬送スペース45に配置される。
図4を参照する。第1、第2、第3搬送機構46、48、68がアクセス可能な載置部および処理部を以下にまとめる。さらに、各第1、第2、第3搬送機構46、48、68がアクセス不能な載置部および処理部を以下にまとめる。
第1実施形態の主たる効果は、上述した通りである。以下、第1実施形態のその他の効果を説明する。
図面を参照して、第2実施形態の基板処理装置1を説明する。なお、第1実施形態と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明を省略する。
図11(a)、(b)はそれぞれ、第2実施形態の基板処理装置1の平面図である。第2実施形態の基板処理装置1は、階層構造を有する。基板処理装置1は、上階層90Tと下階層90Bを備える。下階層90Bは上階層90Tの下方に配置される。下階層90Bは、平面視において上階層90Tと重なる。
図11(a)、11(b)、12、13、14を参照する。図12は、基板処理装置1の左部の構成を示す左側面図である。図13は、幅方向Yにおける基板処理装置1の中央部の構成を示す左側面図である。図14は、基板処理装置1の右部の構成を示す右側面図である。インデクサ部11は、キャリア載置部12A、12Bに加えて、キャリア載置部12C、12Dを備える。キャリア載置部12Cは、キャリア載置部12Aの上方に配置される。キャリア載置部12Dは、キャリア載置部12Bの上方に配置される。キャリア載置部12C、12Dはそれぞれ、1つのキャリアCを載置する。
図11(a)、11(b)、12、13、14、15を参照する。図15は、第1ブロック31の構成(具体的には、第2処理部37と第2搬送機構48)を示す正面図である。基板処理装置1は、2基の第1搬送機構46を備える。2基の第1搬送機構46は、上下方向Zに並ぶように配置される。上方の第1搬送機構46を、「第1上搬送機構46T」と記載し、下方の第1搬送機構46を、「第1下搬送機構46B」と記載する。
第2上載置部41Tは、第1上搬送機構46Tと第2上搬送機構48Tとの間で搬送される基板Wを載置する。第1下搬送機構46Bと第2下搬送機構48Bは、第2下載置部41Bにアクセスする。第2下載置部41Bは、第1下搬送機構46Bと第2下搬送機構48Bとの間で搬送される基板Wを載置する。
図11(a)、11(b)、12、13、14、16を参照する。図16は、第2ブロック61の構成を示す背面図である。基板処理装置1は、2基の第3搬送機構68を備える。2基の第3搬送機構68は、上下方向Zに並ぶように配置される。上方の第3搬送機構68を、「第3上搬送機構68T」と記載し、下方の第3搬送機構68を、「第3下搬送機構68B」と記載する。
図11(a)、11(b)を参照する。第1載置部21は、インデクサ部11と第1上搬送機構46Tの間、および、インデクサ部11と第1下搬送機構46Bの間に配置される。インデクサ部11と第1上搬送機構46Tの間に配置される第1載置部21を、「第1上載置部21T」と呼ぶ。インデクサ部11と第1下搬送機構46Bの間に配置される第1載置部21を、「第1下載置部21B」と呼ぶ。
第3載置部51は、第2上搬送機構48Tと第3上搬送機構68Tの間、および、第2下搬送機構48Bと第3下搬送機構68Bの間に配置される。第2上搬送機構48Tと第3上搬送機構68Tの間に配置される第3載置部51を、「第3上載置部51T」と呼ぶ。第2下搬送機構48Bと第3下搬送機構68Bの間に配置される第3載置部51を、「第3下載置部51B」と呼ぶ。第3上載置部51Tは、第1ブロック31の上搬送スペース45Tと第2ブロック61の上搬送スペース67Tにまたがって配置される。第3下載置部51Bは、第1ブロック31の下搬送スペース45Bと第2ブロック61の下搬送スペース67Bにまたがって配置される。第2上搬送機構48Tと第3上搬送機構68Tは、第3上載置部51Tにアクセスする。第2下搬送機構48Bと第3下搬送機構68Bは、第3下載置部51Bにアクセスする。第3上載置部51Tは、第2上搬送機構48Tと第3上搬送機構68Tとの間で搬送される基板Wを載置する。第3下載置部51Bは、第2下搬送機構48Bと第3下搬送機構68Bとの間で搬送される基板Wを載置する。
制御部81(例えば図1参照)は、インデクサ部11と第1処理部34と第1搬送機構46と第2処理部37と第2搬送機構48と第3処理部64と第3搬送機構68を制御する。
図17は、搬送機構のサイクル動作を模式的に示す図である。
・キャリアCA、CCへのアクセス動作
・第1載置部21(第1上載置部21Tおよび第1下載置部21B)へのアクセス動作
・キャリアCB、CDへのアクセス動作
・第1載置部21(第1上載置部21Tおよび第1下載置部21B)へのアクセス動作
・第1上載置部21Tにアクセスする第1アクセス動作
・第1上処理部34Tにアクセスする第2アクセス動作
・第2上載置部41Tにアクセスする第3アクセス動作
・第1下載置部21Bにアクセスする第1アクセス動作
・第1下処理部34Bにアクセスする第2アクセス動作
・第2下載置部41Bにアクセスする第3アクセス動作
・第2上載置部41Tにアクセスする第4アクセス動作
・第2上処理部37Tにアクセスする第5アクセス動作
・第3上載置部51Tにアクセスする第6アクセス動作
・第2下載置部41Bにアクセスする第4アクセス動作
・第2下処理部37Bにアクセスする第5アクセス動作
・第3下載置部51Bにアクセスする第6アクセス動作
・第3上載置部51Tにアクセスする第7アクセス動作
・第3上処理部64Tにアクセスする第8アクセス動作
・第3下載置部51Bにアクセスする第7アクセス動作
・第3下処理部64Bにアクセスする第8アクセス動作
図18は、基板の搬送経路を模式的に示す図である。
基板処理装置1は、例えば、次のように動作する。
インデクサ部11は、第1上載置部21Tと第1下載置部21Bに交互に基板Wを搬送する。
上階層90Tにおける動作は、下階層90Bにおける動作と類似する。このため、上階層90Tにおける動作を以下に説明し、下階層90Bにおける動作の説明を省略する。下階層90Bにおける動作は、以下の説明において、第1、第2、第3上搬送機構46T、48T、68Tをそれぞれ、第1、第2、第3下搬送機構46B、48B、68Bに読み替え、第1、第2、第3上載置部21T、41T、51Tをそれぞれ、第1、第2、第3下載置部21B、41B、51Bに読み替え、第1、第2、第3上処理部34T、37T、64Tをそれぞれ、第1、第2、第3下処理部34B、37B、64Bに読み替えたものに相当する。
インデクサ部11は、第1上載置部21Tと第1下載置部21Bから交互に基板Wを取る。
第2実施形態によっても、第1実施形態と同様の効果を奏する。例えば、第1搬送機構46(46T、46B)の各第1サイクル動作は3つのアクセス動作からなる。第2搬送機構48(48T、48B)の各第2サイクル動作は3つのアクセス動作からなる。第3搬送機構68(68T、68B)の各第3サイクル動作は2つのアクセス動作からなる。このため、基板処理装置1のスループットを好適に向上できる。
・第2載置部41にアクセスする第4アクセス動作
・第2処理部37にアクセスする第5アクセス動作
・第3載置部51にアクセスする第7アクセス動作
・第3処理部64にアクセスする第8アクセス動作
・第4載置部にアクセスする第9アクセス動作
したがって、第3搬送機構68の搬送効率は、依然として、高い。よって、基板処理装置1のスループットを向上できる。
・第3載置部51にアクセスする第7アクセス動作
・第3処理部64にアクセスする第8アクセス動作
・露光機にアクセスする第9アクセス動作
したがって、第3搬送機構68の搬送効率は、依然として、高い。よって、基板処理装置1のスループットを向上できる。
・第3載置部51にアクセスする第7アクセス動作
・第3処理部64にアクセスする第8アクセス動作
・第4載置部にアクセスする第9アクセス動作
したがって、第3搬送機構68の搬送効率は、依然として、高い。よって、基板処理装置1のスループットを向上できる。
11 … インデクサ部
12A、12B、12C、12D… キャリア載置部
13 … 搬送スペース
14A、14B … インデクサ用搬送機構
21 … 第1載置部
22a、22b … プレート
21T … 第1上載置部
21B … 第1下載置部
31 … 第1ブロック
32 … 第1フレーム
34R … 第1右処理部
34L … 第1左処理部
34T … 第1上処理部
34B … 第1下処理部
35 … 第1処理ユニット
36a … 回転保持部
36b … 光照射部
37R … 第2右処理部
37L … 第2左処理部
37T … 第2上処理部
37B … 第2下処理部
38 … 第2処理ユニット
39a … 第1プレート
39b … 第2プレート
41 … 第2載置部
41T … 第2上載置部
41B … 第2下載置部
41a … 第1部分
41b … 第2部分
41c … 第3部分
42a、42b … プレート
43、43a-43j … 第1スロット
43a-43c、43f-43h …処理用第1スロット
43i … 載置用第1スロット
44、44a-44j … 第2スロット
44a-44h、44j … 処理用第2スロット
44i … 載置用第2スロット
45 … 搬送スペース
45T … 上搬送スペース
45B … 下搬送スペース
46 … 第1搬送機構
46T … 第1上搬送機構
46B … 第1下搬送機構
47a、47b … 第1支柱
47c … 第1昇降部
47d … 第1回転部
47e、47f … 第1保持部
48 … 第2搬送機構
48T … 第2上搬送機構
48B … 第2下搬送機構
49a、49b … 第2支柱
49c … 第2昇降部
49d … 第2回転部
49e、49f … 第2保持部
51 … 第3載置部
51T … 第3上載置部
51B … 第3下載置部
52a、52b … プレート
61 … 第2ブロック
62 … 第2フレーム
64R … 第3右処理部(第3短処理部)
64L … 第3左処理部(第3長処理部)
64T … 第3上処理部
64B … 第3下処理部
65 … 第3処理ユニット
66a … 回転保持部
66b … ノズル
66c … カップ
67 … 搬送スペース
67T … 上搬送スペース
67B … 下搬送スペース
68 … 第3搬送機構
68T … 第3上搬送機構
68B … 第3下搬送機構
69a、69b … 第3支柱
69c … 第3昇降部
69d … 第3前後動部
69e … 第3回転部
69f、69g … 第3保持部
71 … 点検口
72 … 蓋部
81 … 制御部
90T … 上階層
90B … 下階層
91 … 隔壁
92 … 隔壁
A1 … 第1軸線
A2 … 第2軸線
B1 … 第1領域
B2 … 第2領域
B3 … 第3領域
C、CA、CB、CC、CD … キャリア
D1 … 第1軸線A1と第2軸線A2との間の距離
D2 … 平面視における第1軸線A1と点P1との間の距離
D3 … 平面視における第2軸線A2と点P1との間の距離
D4 … 平面視における第1軸線A1と点P2との間の距離
D5 … 平面視における第2軸線A2と点P3との距離
E、E1、E2 … 空間(遮熱空間)
F … 空間(遮熱空間、メンテナンス空間)
G1 … 前後方向における第3右処理部の長さ
G2 … 前後方向における第3左処理部の長さ
L … 仮想直線
P1 … 第2載置部に載置される基板の中心点
P2 … 回転保持部36aに載置される基板の中心点
P3 … 第1プレート39aに載置される基板の中心点
r … 基板の半径
W … 基板
X … 前後方向
Y … 幅方向
Z … 上下方向
Claims (29)
- 基板処理装置であって、
キャリアから基板を搬出するインデクサ部と、
基板に処理を行う第1処理部と、
前記第1処理部に基板を搬送する第1搬送機構と、
前記第1処理部とは異なる処理を基板に行う第2処理部と、
前記第2処理部に基板を搬送する第2搬送機構と、
前記インデクサ部と前記第1搬送機構との間で搬送される基板を載置する第1載置部と、
前記第1搬送機構と前記第2搬送機構との間で搬送される基板を載置する第2載置部と、
前記インデクサ部と前記第1処理部と前記第1搬送機構と前記第2処理部と前記第2搬送機構とを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部の制御に従って、前記第1搬送機構は3つのアクセス動作からなる第1サイクル動作を繰り返し、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第1載置部にアクセスする第1アクセス動作であり、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第1処理部にアクセスする第2アクセス動作であり、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の残りの1つは、前記第2載置部にアクセスする第3アクセス動作であり、
前記制御部の制御に従って、前記第2搬送機構は2つまたは3つのアクセス動作からなる第2サイクル動作を繰り返し、
前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第2載置部にアクセスする第4アクセス動作であり、
前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第2処理部にアクセスする第5アクセス動作であり、
前記第1処理部および前記第2処理部の一方は、基板の周縁部を露光するエッジ露光処理部であり、
前記第1処理部および前記第2処理部の他方は、基板に熱処理を行う熱処理部である
基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記第1アクセス動作は、前記第1載置部上の基板を取り、かつ、前記第1載置部に基板を載置する前記第1搬送機構の動作を含み、
前記第2アクセス動作は、前記第1処理部に基板を搬入し、かつ、前記第1処理部から基板を搬出する前記第1搬送機構の動作を含み、
前記第3アクセス動作では、前記第2載置部上の基板を取り、かつ、前記第2載置部に基板を載置する前記第1搬送機構の動作を含み、
前記第4アクセス動作では、前記第2載置部上の基板を取り、かつ、前記第2載置部に基板を載置する前記第2搬送機構の動作を含み、
前記第5アクセス動作では、前記第2処理部に基板を搬入し、かつ、前記第2処理部から基板を搬出する前記第2搬送機構の動作を含む
基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置において、
前記第1処理部は、前記第2搬送機構が基板を搬送可能な第2領域の外に配置され、
前記第2処理部は、前記第1搬送機構が基板を搬送可能な第1領域の外に配置される
基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置において、
前記第1搬送機構の前記第1領域は、平面視において、略円形であり、
前記第2搬送機構の前記第2領域は、平面視において、略円形である
基板処理装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第1搬送機構は、前記インデクサ部の後方に配置され、
前記第2搬送機構は、前記第1搬送機構の後方に配置され、
前記第1載置部は、前記インデクサ部と前記第1搬送機構との間に配置され、
前記第2載置部は、前記第1搬送機構と前記第2搬送機構との間に配置され、
前記第1処理部は、前記第1搬送機構の側方に配置され、
前記第2処理部は、前記第2搬送機構の側方に配置される
基板処理装置。 - 請求項5に記載の基板処理装置において、
前記第2載置部は、前記第1搬送機構の側方かつ後方に配置され、かつ、前記第2搬送機構の側方かつ前方に配置される
基板処理装置。 - 請求項5または6に記載の基板処理装置において、
前記第1搬送機構は、
固定的に設けられ、上下方向に延びる第1支柱と、
前記第1支柱に支持され、上下方向に移動可能な第1昇降部と、
前記第1昇降部に支持され、上下方向と平行な第1軸線回りに回転可能な第1回転部と、
前記第1回転部に支持され、基板を保持する第1保持部と、
を備え、
前記第1回転部は、水平方向に移動不能に設けられ、
前記第1処理部は、基板を1枚ずつ処理する複数の第1処理ユニットを備え、
前記第1処理ユニットのそれぞれは、側面視において、前記第1軸線と重なる位置に配置され、
前記第2搬送機構は、
固定的に設けられ、上下方向に延びる第2支柱と、
前記第2支柱に支持され、上下方向に移動可能な第2昇降部と、
前記第2昇降部に支持され、上下方向と平行な第2軸線回りに回転可能な第2回転部と、
前記第2回転部に支持され、基板を保持する第2保持部と、
を備え、
前記第2回転部は、水平方向に移動不能に設けられ、
前記第2処理部は、基板を1枚ずつ処理する複数の第2処理ユニットを備え、
前記第2処理ユニットのそれぞれは、側面視において、前記第2軸線と重なる位置に配置される
基板処理装置。 - 請求項7に記載の基板処理装置において、
前記第1処理ユニットおよび前記第2処理ユニットの一方は、基板に熱処理を行う熱処理ユニットであり、
前記熱処理ユニットは、前記第1搬送機構および前記第2搬送機構のいずれか1つの右方の位置および左方の位置において、上下方向に1列に並ぶように配置される
基板処理装置。 - 請求項7または8に記載の基板処理装置において、
平面視において、前記第1軸線と前記第2軸線との間の距離は、基板の半径の5倍以下である基板処理装置。 - 請求項7から9のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第2載置部は、平面視において、前記第1軸線と前記第2軸線を結ぶ仮想直線と重ならない位置に配置される基板処理装置。 - 請求項10に記載の基板処理装置において、
平面視において、前記第1軸線と前記第2載置部との間の距離は、前記第2軸線と前記第2載置部との間の距離と略等しい基板処理装置。 - 請求項1から11のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第2載置部は、
平面視において、前記第1処理部と重なる第1部分と、
平面視において、前記第2処理部と重なる第2部分と、
を有する基板処理装置。 - 請求項12に記載の基板処理装置において、
前記第2載置部は、さらに、平面視において、前記第1処理部および前記第2処理部と重ならない第3部分を有する基板処理装置。 - 請求項13に記載の基板処理装置において、
前記第2載置部の前記第3部分は、平面視において、前記第1搬送機構および前記第2搬送機構が設置される搬送スペースと重なる基板処理装置。 - 請求項1から14のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記基板処理装置は、
前記第1搬送機構の側方に配置され、上下方向に1列に並ぶ複数の第1スロットと、
前記第2搬送機構の側方、かつ、前記第1スロットの後方に配置され、上下方向に1列に並ぶ複数の第2スロットと、
を備え、
前記第1スロットの少なくとも1つは、前記第1処理部を設置するための処理用第1スロットであり、
前記第1スロットの他の1つは、前記第2載置部を設置するための載置用第1スロットであり、
前記第2スロットの少なくとも1つは、前記第2処理部を設置するための処理用第2スロットであり、
前記第2スロットの他の1つは、前記第2載置部を設置するための載置用第2スロットであり、
前記載置用第2スロットは、前記載置用第1スロットと同じ高さ位置に配置され、
前記第2載置部は、前記載置用第1スロットと前記載置用第2スロットとにわたって、設置される基板処理装置。 - 請求項1から15のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記基板処理装置は、
前記第1処理部および前記第2処理部とは異なる処理を基板に行う第3処理部と、
前記第3処理部に基板を搬送する第3搬送機構と、
前記第2搬送機構と前記第3搬送機構との間で搬送される基板を載置する第3載置部と、
を備え、
前記制御部は、さらに、前記第3処理部と前記第3搬送機構とを制御し、
前記第2サイクル動作は3つの前記アクセス動作からなり、
前記第4アクセス動作および前記第5アクセス動作以外の、前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の残りの1つは、前記第3載置部にアクセスする第6アクセス動作であり、
前記制御部の制御に従って、前記第3搬送機構は2つまたは3つのアクセス動作からなる第3サイクル動作を繰り返し、
前記第3サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第3載置部にアクセスする第7アクセス動作であり、
前記第3サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第3処理部にアクセスする第8アクセス動作である
基板処理装置。 - 請求項16に記載の基板処理装置において、
前記第6アクセス動作は、前記第3載置部上の基板を取り、かつ、前記第3載置部に基板を載置する前記第2搬送機構の動作を含み、
前記第7アクセス動作は、前記第3載置部上の基板を取り、かつ、前記第3載置部に基板を載置する前記第3搬送機構の動作を含み、
前記第8アクセス動作では、前記第3処理部に基板を搬入し、かつ、前記第3処理部から基板を搬出する前記第3搬送機構の動作を含む
基板処理装置。 - 請求項16または17に記載の基板処理装置において、
前記第3処理部は、基板に液処理を行う液処理部である
基板処理装置。 - 請求項18に記載の基板処理装置において、
前記制御部による制御にしたがって、前記第1搬送機構と前記第2搬送機構と前記第3搬送機構は、前記インデクサ部から供給された基板を、前記エッジ露光処理部と前記液処理部と前記熱処理部に、この順番で搬送し、
前記制御部による制御にしたがって、前記第1搬送機構と前記第2搬送機構は、前記熱処理部から搬出した基板を、前記第3搬送機構に渡すことなく、前記インデクサ部に戻す
基板処理装置。 - 請求項18または19に記載の基板処理装置において、
前記第3処理部を前記第2処理部から隔てる遮熱空間を備える基板処理装置。 - 請求項16から19のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記第3処理部は、
前記第3搬送機構の右方の位置および左方の位置の一方に配置される第3長処理部と、
前記第3搬送機構の右方の位置および左方の位置の他方に配置される第3短処理部と、
を備え、
前後方向における前記第3短処理部の長さは、前後方向における第3長処理部の長さよりも小さく、
前記基板処理装置は、前記第3短処理部の前方の位置、および、前記第3短処理部の後方の位置の少なくともいずれかに形成されるメンテナンス空間を備える
基板処理装置。 - 請求項16から21のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記基板処理装置は、
前記第1処理部と前記第1搬送機構と前記第2処理部と前記第2搬送機構と前記第2載置部を収容する第1ブロックと、
前記第1ブロックに接続され、前記第3処理部と前記第3搬送機構とを収容する第2ブロックと、
を備え、
前記第1ブロックは、正面視、平面視および側面視において略矩形であり、
前記第2ブロックは、正面視、平面視および側面視において略矩形である基板処理装置。 - 請求項22に記載の基板処理装置において、
前記基板処理装置は、
前記第1ブロックの骨組みとして設けられ、前記第1搬送機構と前記第2搬送機構と前記第1処理部と前記第2処理部と前記第2載置部を支持する第1フレームと、
前記第2ブロックの骨組みとして設けられ、前記第3搬送機構と前記第3処理部を支持する第2フレームと、
を備え、
前記第2フレームは、前記第1フレームに連結される基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
基板に処理を行う第1処理部と、
前記第1処理部の後方に配置され、基板に処理を行う第2処理部と、
前記第1処理部および前記第2処理部の側方に形成される搬送スペースと、
前記搬送スペースに設置され、前記第1処理部に基板を搬送する第1搬送機構と、
前記搬送スペースに設置され、前記第1搬送機構の後方に配置され、前記第2処理部に基板を搬送する第2搬送機構と、
前記第1搬送機構と前記第2搬送機構との間で搬送される基板を載置する載置部と、
を備え、
前記載置部は、平面視において、
前記第1処理部と重なる第1部分と、
前記第2処理部と重なる第2部分と、
を有する基板処理装置。 - 請求項24に記載の基板処理装置において、
前記載置部は、平面視において、前記搬送スペースと重なる第3部分を有する基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
キャリアから基板を搬出するインデクサ部と、
基板に処理を行う第1処理部と、
前記第1処理部に基板を搬送する第1搬送機構と、
前記第1処理部とは異なる処理を基板に行う第2処理部と、
前記第2処理部に基板を搬送する第2搬送機構と、
前記インデクサ部と前記第1搬送機構との間で搬送される基板を載置する第1載置部と、
前記第1搬送機構と前記第2搬送機構との間で搬送される基板を載置する第2載置部と、
前記インデクサ部と前記第1処理部と前記第1搬送機構と前記第2処理部と前記第2搬送機構とを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部の制御に従って、前記第1搬送機構は3つのアクセス動作からなる第1サイクル動作を繰り返し、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第1載置部にアクセスする第1アクセス動作であり、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第1処理部にアクセスする第2アクセス動作であり、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の残りの1つは、前記第2載置部にアクセスする第3アクセス動作であり、
前記制御部の制御に従って、前記第2搬送機構は2つまたは3つのアクセス動作からなる第2サイクル動作を繰り返し、
前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第2載置部にアクセスする第4アクセス動作であり、
前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第2処理部にアクセスする第5アクセス動作であり、
前記第2載置部は、
平面視において、前記第1処理部と重なる第1部分と、
平面視において、前記第2処理部と重なる第2部分と、
を有する
基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
キャリアから基板を搬出するインデクサ部と、
基板に処理を行う第1処理部と、
前記第1処理部に基板を搬送する第1搬送機構と、
前記第1処理部とは異なる処理を基板に行う第2処理部と、
前記第2処理部に基板を搬送する第2搬送機構と、
前記インデクサ部と前記第1搬送機構との間で搬送される基板を載置する第1載置部と、
前記第1搬送機構と前記第2搬送機構との間で搬送される基板を載置する第2載置部と、
前記インデクサ部と前記第1処理部と前記第1搬送機構と前記第2処理部と前記第2搬送機構とを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部の制御に従って、前記第1搬送機構は3つのアクセス動作からなる第1サイクル動作を繰り返し、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第1載置部にアクセスする第1アクセス動作であり、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第1処理部にアクセスする第2アクセス動作であり、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の残りの1つは、前記第2載置部にアクセスする第3アクセス動作であり、
前記制御部の制御に従って、前記第2搬送機構は2つまたは3つのアクセス動作からなる第2サイクル動作を繰り返し、
前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第2載置部にアクセスする第4アクセス動作であり、
前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第2処理部にアクセスする第5アクセス動作であり
前記基板処理装置は、
前記第1搬送機構の側方に配置され、上下方向に1列に並ぶ複数の第1スロットと、
前記第2搬送機構の側方、かつ、前記第1スロットの後方に配置され、上下方向に1列に並ぶ複数の第2スロットと、
を備え、
前記第1スロットの少なくとも1つは、前記第1処理部を設置するための処理用第1スロットであり、
前記第1スロットの他の1つは、前記第2載置部を設置するための載置用第1スロットであり、
前記第2スロットの少なくとも1つは、前記第2処理部を設置するための処理用第2スロットであり、
前記第2スロットの他の1つは、前記第2載置部を設置するための載置用第2スロットであり、
前記載置用第2スロットは、前記載置用第1スロットと同じ高さ位置に配置され、
前記第2載置部は、前記載置用第1スロットと前記載置用第2スロットとにわたって、設置される
基板処理装置。 - 基板処理装置であって、
キャリアから基板を搬出するインデクサ部と、
基板に処理を行う第1処理部と、
前記第1処理部に基板を搬送する第1搬送機構と、
前記第1処理部とは異なる処理を基板に行う第2処理部と、
前記第2処理部に基板を搬送する第2搬送機構と、
前記インデクサ部と前記第1搬送機構との間で搬送される基板を載置する第1載置部と、
前記第1搬送機構と前記第2搬送機構との間で搬送される基板を載置する第2載置部と、
前記インデクサ部と前記第1処理部と前記第1搬送機構と前記第2処理部と前記第2搬送機構とを制御する制御部と、
を備え、
前記制御部の制御に従って、前記第1搬送機構は3つのアクセス動作からなる第1サイクル動作を繰り返し、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第1載置部にアクセスする第1アクセス動作であり、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第1処理部にアクセスする第2アクセス動作であり、
前記第1サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の残りの1つは、前記第2載置部にアクセスする第3アクセス動作であり、
前記制御部の制御に従って、前記第2搬送機構は2つまたは3つのアクセス動作からなる第2サイクル動作を繰り返し、
前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第2載置部にアクセスする第4アクセス動作であり、
前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第2処理部にアクセスする第5アクセス動作であり、
前記基板処理装置は、
前記第1処理部および前記第2処理部とは異なる処理を基板に行う第3処理部と、
前記第3処理部に基板を搬送する第3搬送機構と、
前記第2搬送機構と前記第3搬送機構との間で搬送される基板を載置する第3載置部と、
を備え、
前記制御部は、さらに、前記第3処理部と前記第3搬送機構とを制御し、
前記第2サイクル動作は3つの前記アクセス動作からなり、
前記第4アクセス動作および前記第5アクセス動作以外の、前記第2サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の残りの1つは、前記第3載置部にアクセスする第6アクセス動作であり、
前記制御部の制御に従って、前記第3搬送機構は2つまたは3つのアクセス動作からなる第3サイクル動作を繰り返し、
前記第3サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の1つは、前記第3載置部にアクセスする第7アクセス動作であり、
前記第3サイクル動作に含まれる前記アクセス動作の他の1つは、前記第3処理部にアクセスする第8アクセス動作であり、
前記第3処理部は、
前記第3搬送機構の右方の位置および左方の位置の一方に配置される第3長処理部と、
前記第3搬送機構の右方の位置および左方の位置の他方に配置される第3短処理部と、
を備え、
前後方向における前記第3短処理部の長さは、前後方向における第3長処理部の長さよりも小さく、
前記基板処理装置は、前記第3短処理部の前方の位置、および、前記第3短処理部の後方の位置の少なくともいずれかに形成されるメンテナンス空間を備える
基板処理装置。 - 請求項28に記載の基板処理装置において、
前記第3処理部は、基板に液処理を行う第3処理ユニットを含み、
前記第3長処理部において前後方向に並ぶ第3処理ユニットの数は、前記第3短処理部において前後方向に並ぶ第3処理ユニットの数よりも、多い
基板処理装置。
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