JP2015076497A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】半導体ウェハが収容されたカセットの誤搬送を確実に防ぐ安全機構を備えた搬送システムを提供する。【解決手段】搬送システムは、ウェハ収容カセットが載置されるロードポートを備えた搬送室と、搬送室の外部の可動ユニット２２内に設置されたプランジャー本体３２と、プランジャー本体３２に挿入されたプランジャーシャフト３３と、可動ユニット２２の外部に設置され、プランジャー本体３２と連動して上下動する可動安全バー２３と、プランジャーシャフト３３の一端側に取り付けられたローラーベアリング３４が挿入される下部窪み３８ａを備えたガイドレール３９と、ローラーベアリング３４が下部窪み３８ａに挿入されているときに可動安全バー２３と接触し、ローラーベアリング３４が下部窪み３８ａから外れたときに可動安全バー２３と非接触になる下部ストッパー４０ａとを備えている。【選択図】図５

Description

本発明は、搬送システムに関し、例えば半導体製造工場のウェハ搬送システムに適用して有効な技術に関するものである。

近年、半導体製造工場では、工場内全体をクリーン化する、いわゆるボールルーム方式から、半導体ウェハ（以下、ウェハと略称する）の近傍のみをクリーン化する局所クリーン化方式への転換が進められている。

局所クリーン化技術を導入した半導体製造工場では、フープ（ＦＯＵＰ：Front Opening Unified Pod）あるいはＳＭＩＦ（Standard Mechanical Interface）と呼ばれる密閉型のカセットを使用してウェハを半導体製造装置から他の半導体製造装置へ移送する。また、各半導体製造装置には、ロードポートと呼ばれるカセット置き台を備えた局所クリーン化搬送室が併設される。局所クリーン化搬送室は、カセットと半導体製造装置との間でウェハの受け渡しを行う役割をする小型のクリーンルームである。

ロードポート上に載置されたカセット内のウェハは、局所クリーン化搬送室内のロボット機構によって一枚ずつ取り出され、局所クリーン化搬送室を経由して半導体製造装置に収容される。また、半導体製造装置内での処理が完了したウェハは、再び局所クリーン化搬送室を経由してカセットに収容され、次の工程に搬送される。なお、局所クリーン化搬送室については、例えば特許文献１に記載されたものが公知である。

特開２００４−１６５３３１号公報

従来、半導体製造装置間でのカセットの移動は、人の手を介して行われていたが、近年は、工場内の天井に設置した軌道を走行し、ベルト駆動でカセットを昇降させる機構を備えたＯＨＴ(Overhead Hoist Transfer)と呼ばれる無人搬送機が使用されることも多い。

局所クリーン化技術を導入した半導体製造工場の場合、ＯＨＴは、局所クリーン化搬送室のロードポートに直接アクセスしてカセットを自動搬送する。しかし、例えばＯＨＴと人の手を併用してカセットを搬送するような場合は、安全確保のためにＯＨＴを停止させてから手動でカセットをロードポート上に載置する必要がある。

すなわち、ＯＨＴの動作中に誤ってロードポート上に手動でカセットを載置しようとすると、人の手またはカセットがＯＨＴが運んできた別のカセットと接触する可能性があり、危険である。また、カセット同士が接触すると、カセットに収容されたウェハが破損してしまう可能性もある。

その対策として、例えばロードポートの近傍に監視用の光センサーを設置し、ＯＨＴの動作中に人の手またはカセットがロードポートに近づいて光センサーの光軸を遮ったときにＯＨＴを停止させる、といった安全機構を設けることが有効である。

しかしながら、この対策は、光センサーの光軸の視認が困難であり、ＯＨＴが実際に動いているかどうかを一目で確認することも困難であることから、ＯＨＴの動作中に作業者が誤って光センサーの光軸を遮り、ＯＨＴを停止させてしまう恐れがある。そして、ＯＨＴが一旦停止すると、半導体製造装置間でのカセットの移動ができなくなるため、工場の稼働率が低下し、ひいては半導体製品のコストが上昇してしまうことになる。

また、光センサーよりも視認性の高い安全機構として、ロードポートを安全バーで遮蔽して物理的に安全を確保することも考えられるが、この場合は、安全解除時に安全バーを外す手間が掛かり、また、安全バーを外す作業中に誤って安全バーがカセットなどに接触してしまう恐れもある。

本発明の目的は、ウェハなどのワークが収容されたカセットの誤搬送を防ぐ安全機構を備えた搬送システムを提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。

本発明の好ましい一態様である搬送システムは、
ワークが収容されたカセットが載置されるロードポートを備えた搬送室と、
前記搬送室の外部に設けられた可動ユニット内のプランジャー本体と連動して上下動する可動バーと、
前記プランジャー本体に挿入されたプランジャーシャフトの一端側が挿入される窪みを備えたガイドレールと、
前記プランジャーシャフトの一端側が前記窪みに挿入されているときに前記可動バーと接触し、前記プランジャーシャフトの一端側が前記窪みから外れたときに前記可動バーと非接触になるストッパーとを備え、
前記可動バーを所定位置に停止させるときは、前記プランジャーシャフトに挿入された付勢部材の付勢力によって、前記プランジャーシャフトの一端側を前記窪みに挿入し、
前記所定位置に停止している前記可動バーを上下動させるときは、前記可動バーを前記付勢部材の付勢力に抗する方向に移動させることによって、前記プランジャーシャフトの一端側を前記窪みから外した後、前記可動バーを上下動させるようにしたものである。

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下の通りである。

ワークが収容されたカセットの誤搬送を確実に防ぐことのできる安全機構を備えた搬送システムを実現することができる。

（ａ）は、実施の形態１の搬送システムの一部を構成する局所クリーン化搬送室の概略正面図であり、（ｂ）は、この局所クリーン化搬送室の概略側面図である。 フープの一部破断側面図である。 フープを自動搬送するＯＨＴの概略図である。 （ａ）は、可動安全バーの下降高さを示す概略正面図であり、（ｂ）は、可動安全バーの上昇高さを示す概略正面図である。 （ａ）は、可動ユニットの部分正面図であり、（ｂ）は、可動ユニットの内部構造を示す概略側面図である。 プランジャー本体の内部構造を示す概略図である。 （ａ）は、可動安全バーが上昇位置にあるときの可動ユニットの部分正面図であり、（ｂ）は、可動ユニットの内部構造を示す概略側面図である。 下降高さで停止している可動安全バーを上昇させて上昇高さに位置決めする工程を説明するフロー図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図８に示す各工程における可動ユニットの概略側面図である。 上昇高さで停止している可動安全バーを下降させて下降高さに位置決めする工程を説明するフロー図である。 （ａ）〜（ｃ）は、図１０に示す各工程における可動ユニットの概略側面図である。 （ａ）は、実施の形態２の搬送システムの一部を構成する可動ユニットの内部構造を示す概略側面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線に沿った部分を上方から見た概略平面図である。 （ａ）は、下降高さで停止している可動安全バーを上昇させる工程を説明する概略側面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った部分を上方から見た概略平面図である。 （ａ）は、可動安全バーが上昇位置にあるときの可動ユニットの概略側面図であり、（ｂ）は、（ａ）の一部を上方から見た概略平面図である。 （ａ）は、上昇高さで停止している可動安全バーを下降させる工程を説明する概略側面図であり、（ｂ）は、（ａ）の一部を上方から見た概略平面図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、実施の形態では、特に必要なときを除き、同一または同様な部分の説明を原則として繰り返さない。

（実施の形態１）
図１（ａ）は、本実施の形態１の搬送システムの一部を構成する局所クリーン化搬送室の概略正面図であり、同図（ｂ）は、この局所クリーン化搬送室の概略側面図である。図２は、フープの一部破断側面図である。図３は、フープを自動搬送するＯＨＴの概略図である。

本実施の形態１は、半導体製造工場のウェハ搬送システムに適用したものである。図１に示すように、ウェハ搬送システムの一部を構成する局所クリーン化搬送室１０は、半導体製造装置１１に隣接して設置されており、その内部は、クリーンエアのダウンフローを発生させるファンフィルタユニット１２によって清浄な雰囲気に保たれている。

局所クリーン化搬送室１０の正面側外壁には、フープ１４が載置されるロードポート１５が設置されている。フープ１４は、ウェハ搬送用密閉型カセットの一種であり、図２に示すように、その内部には、直径３００ｍｍのシリコンウェハ（ワーク）１８が所定の間隔を置いて複数枚収容されている。図３に示すように、フープ１４は、半導体製造工場内の天井に設置された軌道レール１６を走行し、ベルト駆動で昇降するＯＨＴ（自動搬送機構）１７によって自動搬送され、ロードポート１５上に載置される。また、フープ１４は、半導体製造工場内の作業者によって手動で搬送され、ロードポート１５上に手動で載置される場合もある。

ＯＨＴ１７または手動によってロードポート１５上に載置されたフープ１４内のシリコンウェハ１８は、図１に示す局所クリーン化搬送室１０内のロボット機構１９によってフープ１４から一枚ずつ取り出された後、半導体製造装置１１に収容され、所定の処理に付される。また、処理が完了したシリコンウェハ１８は、ロボット機構１９によって半導体製造装置１１から取り出された後、再びロードポート１５上のフープ１４に収容され、ＯＨＴ１７または手動によって次の工程に搬送される。

半導体製造装置１１は、具体的には、ＣＶＤ装置、ドライエッチング装置、洗浄装置、スパッタリング装置、露光装置など、シリコンウェハ１８に集積回路を形成するための製造装置や、シリコンウェハ１８に形成された集積回路の特性を評価するための検査装置である。すなわち、半導体製造工場内には、ロードポート１５を備えた局所クリーン化搬送室１０および半導体製造装置１１を一組とする複数組の半導体処理装置が並設されている。そして、シリコンウェハ１８が収容されたフープ１４をこれら複数組の半導体処理装置に順次搬送することにより、シリコンウェハ１８に集積回路が形成される。

図１に示すように、局所クリーン化搬送室１０の正面両側には、固定安全バー２１および可動ユニット２２を支持、固定するための遮蔽板２０が取り付けられている。遮蔽板２０は、例えばアルミニウム、ステンレスなどの金属板からなる。

固定安全バー２１は、アルミニウム、ステンレスなどの金属板からなり、その一端が一方の遮蔽板２０に固定され、他端がもう一方の遮蔽板２０に固定されている。固定安全バー２１は、ロードポート１５上に載置されるフープ１４よりも高い位置に配置され、その位置は不変である。

可動ユニット２２は、２枚の遮蔽板２０のそれぞれに固定されており、固定安全バー２１よりも低い位置に配置されている。これら一対の可動ユニット２２には、可動安全バー２３が上下動可能に取り付けられている。可動安全バー２３は、その一端が一方の可動ユニット２２によって支持され、他端がもう一方の可動ユニット２２によって支持されている。可動安全バー２３は、固定安全バー２１と同じくアルミニウム、ステンレスなどの金属板からなり、その形状および寸法は固定安全バー２１とほぼ同一である。可動安全バー２３の一部には、作業者が可動安全バー２３を手動で昇降させる際に使用する一対の取っ手２４が設けられている。

可動安全バー２３の上下方向の可動範囲は、図４（ａ）に示す下降高さ（Ｈ１）と図４（ｂ）に示す上昇高さ（Ｈ２）との間である。図４（ａ）に示すように、可動安全バー２３が下降高さ（Ｈ１）にあるときは、ロードポート１５上に載置されたフープ１４が可動安全バー２３によって遮られるので、作業者が誤ってフープ１４に触れることを防止することができる。また、ロードポート１５上にフープ１４が載置されていないときに、可動安全バー２３が下降高さ（Ｈ１）にあれば、ＯＨＴ１７の作動中に作業者が誤ってロードポート１５上にフープ１４を載置することを防ぐことができる。

図５（ａ）は、可動ユニット２２の部分正面図であり、同図（ｂ）は、可動ユニット２２の内部構造を示す概略側面図である。

可動ユニット２２の内部には、直動ガイド３０に沿って可動ユニット２２内を昇降するスライダー３１と、スライダー３１に固定され、スライダー３１と共に昇降するプランジャー本体３２とが取り付けられている。また、プランジャー本体３２には、図５（ｂ）の左右方向に移動するプランジャーシャフト３３が挿入されている。

プランジャーシャフト３３の一端には、ローラーベアリング３４が固定されている。また、プランジャーシャフト３３の他端は、可動ユニット２２の外部に露出し、この露出した部分に可動安全バー２３が固定されている。従って、作業者が取っ手２４を掴んで可動安全バー２３を図５（ｂ）の左方向、すなわち作業者から見て手前方向に引っ張ると、プランジャーシャフト３３およびローラーベアリング３４が可動安全バー２３と連動して同一方向に移動する。

図６に示すように、プランジャー本体３２の内部には、コイル状の圧縮バネ（第１付勢部材）３５が入っている。そのため、可動安全バー２３、プランジャーシャフト３３およびローラーベアリング３４は、常に同図の右方向に付勢されている。従って、作業者が取っ手２４を掴んで可動安全バー２３を手前方向（同図の左方向）に引っ張った後、取っ手２４から手を離すと、可動安全バー２３、プランジャーシャフト３３およびローラーベアリング３４は、圧縮バネ３５の付勢力によって右方向に移動する。なお、上記付勢部材は、プランジャー本体３２に挿入された圧縮バネ３５に限定されない。すなわち、可動安全バー２３、プランジャーシャフト３３およびローラーベアリング３４を同図の右方向に弾性的に付勢し得るものであれば、任意の付勢部材が使用可能である。

また、図５（ｂ）に示すように、プランジャー本体３２には、可動ユニット２２の最上部に設置されたゼンマイユニット３６に巻かれたワイヤ３７の一端が接続されている。そのため、プランジャー本体３２およびこれと連動する可動安全バー２３、プランジャーシャフト３３およびローラーベアリング３４は、ゼンマイユニット３６に巻かれたワイヤ３７によって常に上方向に付勢されている。従って、作業者は、可動安全バー２３を軽い力で上昇させることができる。また、作業者が可動安全バー２３を下降させる際、不用意に取っ手２４から手を離しても、可動安全バー２３が急激に落下することはない。なお、プランジャー本体３２を上方向に付勢する部材は、ゼンマイユニット３６に巻かれたワイヤ３７に限定されるものではない。

図５（ｂ）に示すように、可動ユニット２２の内壁には、可動安全バー２３の位置を規制するための一対の窪み（下部窪み３８ａ、上部窪み３８ｂ）が設けられたガイドレール３９が取り付けられている。下部窪み３８ａは、図４に示した可動安全バー２３の下降高さ（Ｈ１）に対応し、上部窪み３８ｂは、上昇高さ（Ｈ２）に対応している。

また、可動ユニット２２の外壁には、可動安全バー２３を下降高さ（Ｈ１）で停止させるための下部ストッパー４０ａと、可動安全バー２３を上昇高さ（Ｈ２）で停止させるための上部ストッパー４０ｂとが取り付けられている。図５（ａ）に示すように、下部ストッパー４０ａおよび上部ストッパー４０ｂは、直動ガイド３０に沿って上下動するプランジャーシャフト３３の動きを邪魔しない位置に取り付けられている。

図５（ｂ）に示すように、下部ストッパー４０ａは、プランジャーシャフト３３の一端に固定されたローラーベアリング３４が下部窪み３８ａに挿入されているときに可動安全バー２３と接触するようになっている。このとき、可動安全バー２３は、下降高さ（Ｈ１）よりも上方に移動することができない。作業者が可動安全バー２３を上昇させるためには、可動安全バー２３を手前（同図の左方向）に引いてローラーベアリング３４を下部窪み３８ａから外し、可動安全バー２３と下部ストッパー４０ａとを非接触にする必要がある。

また、図７（ａ）、（ｂ）に示すように、上部ストッパー４０ｂは、ローラーベアリング３４が上部窪み３８ｂに挿入されているときに可動安全バー２３と接触するようになっている。このとき、可動安全バー２３は、上昇高さ（Ｈ２）よりも下方に移動することができない。作業者が可動安全バー２３を下降させるためには、可動安全バー２３を手前に引いてローラーベアリング３４を上部窪み３８ｂから外し、可動安全バー２３と上部ストッパー４０ｂとを非接触にする必要がある。

図５（ｂ）に示すように、プランジャーシャフト３３には、センサー板４１を介して可動近接センサー４２が取り付けられている。すなわち、可動近接センサー４２は、プランジャーシャフト３３に固定された可動安全バー２３と連動して移動するようになっている。一方、ガイドレール３９の下端部には、固定近接センサー４３が取り付けられている。固定近接センサー４３は、可動安全バー２３が下降高さ（Ｈ１）にあるとき、可動近接センサー４２と同じ高さになるように配置されている。

可動近接センサー４２は、ローラーベアリング３４が下部窪み３８ａに挿入されているときに固定近接センサー４３に最接近し、ＯＨＴ１７に対してＯＮ信号を発信する。また、可動近接センサー４２は、ローラーベアリング３４が下部窪み３８ａから外れ、固定近接センサー４３との距離が遠くなると、ＯＨＴ１７に対してＯＦＦ信号を発信する。ＯＨＴ１７は、これらの信号を感知し、フープ１４の移動、停止の可否を判断する。

次に、可動安全バー２３の位置決め工程について詳細に説明する。図８は、下降高さ（Ｈ１）で停止している可動安全バー２３を上昇させて上昇高さ（Ｈ２）に位置決めする工程を説明するフロー図である。図９（ａ）〜（ｃ）は、図８に示す各工程における可動ユニット２２の概略側面図である。

まず、図９（ａ）に示すように、下降高さ（Ｈ１）で停止している可動安全バー２３の取っ手２４を手前に引き（Ｓ０１ａ）、ローラーベアリング３４をガイドレール３９の下部窪み３８ａから外す（Ｓ０１ｂ）。これにより、可動安全バー２３と下部ストッパー４０ａとが非接触になるので、可動安全バー２３を上昇させることが可能になる。また、このとき、可動近接センサー４２と固定近接センサー４３との距離が遠くなり（Ｓ０１ｃ）、可動近接センサー４２がＯＨＴ１７に対してＯＦＦ信号を発信する結果、ＯＨＴ１７が停止する（Ｓ０１ｄ）。

次に、図９（ｂ）に示すように、可動安全バー２３の取っ手２４を引き上げる（Ｓ０２ａ）。これにより、ローラーベアリング３４が圧縮バネ３５の付勢力によってガイドレール３９の表面に押し付けられながら上昇するので、可動安全バー２３は、下部ストッパー４０ａおよび上部ストッパー４０ｂと接触することなく、円滑に上昇する（Ｓ０２ｂ）。

図９（ｃ）に示すように、可動安全バー２３がさらに上昇し、ローラーベアリング３４が上部窪み３８ｂの位置に達すると、ローラーベアリング３４は、圧縮バネ３５（図６参照）の付勢力によって上部窪み３８ｂに挿入される（Ｓ０３ａ）。これにより、可動安全バー２３の下面が上部ストッパー４０ｂの上面と接触するので、可動安全バー２３が上昇高さ（Ｈ２）に位置決めされる（Ｓ０３ｂ）。

なお、可動安全バー２３の取っ手２４を必要以上に強い力で引き上げると、ローラーベアリング３４が上部窪み３８ｂの高さを超え、可動安全バー２３が上昇高さ（Ｈ２）よりも上方に移動することがある。この場合は、可動安全バー２３が前述した固定安全バー２１（図１参照）に当って停止するので、可動安全バー２３を上昇高さ（Ｈ２）まで下げてやればよい。

図１０は、上昇高さ（Ｈ２）で停止している可動安全バー２３を下降させて下降高さ（Ｈ１）に位置決めする工程を説明するフロー図である。図１１（ａ）〜（ｃ）は、図１０に示す各工程における可動ユニット２２の概略側面図である。

まず、図１１（ａ）に示すように、上昇高さ（Ｈ２）で停止している可動安全バー２３の取っ手２４を手前に引き（Ｓ０４ａ）、ローラーベアリング３４をガイドレール３９の上部窪み３８ｂから外す（Ｓ０４ｂ）。これにより、可動安全バー２３と上部ストッパー４０ａとが非接触になるので、可動安全バー２３を下降させることが可能になる。

次に、図１１（ｂ）に示すように、可動安全バー２３の取っ手２４を引き下げる（Ｓ０５ａ）。これにより、ローラーベアリング３４が圧縮バネ３５の付勢力によってガイドレール３９の表面に押し付けられながら下降するので、可動安全バー２３は、上部ストッパー４０ｂおよび下部ストッパー４０ａと接触することなく、円滑に下降する（Ｓ０５ｂ）。

図１１（ｃ）に示すように、可動安全バー２３がさらに下降し、ローラーベアリング３４が下部窪み３８ａの位置に達すると、ローラーベアリング３４は、圧縮バネ３５の付勢力によって下部窪み３８ａに挿入される（Ｓ０６ａ）。これにより、可動安全バー２３の上面が下部ストッパー４０ａの下面と接触するので、可動安全バー２３が下降高さ（Ｈ１）に位置決めされる（Ｓ０６ｂ）。このとき、可動近接センサー４２と固定近接センサー４３との距離が接近し（Ｓ０６ｃ）、可動近接センサー４２がＯＮ信号を発信する結果、ＯＨＴ１７の停止状態が解除される（Ｓ０６ｄ）。

このように、本実施の形態１のウェハ搬送システムによれば、ロードポート１５上に載置されたフープ１４を視認性の高い可動安全バー２３で遮ることにより、作業者が誤ってロードポート１５上のフープ１４に触れたり、ＯＨＴ１７の作動中に作業者が誤ってロードポート１５上にフープ１４を載置したりする誤搬送を確実に防ぐことができる。

また、可動安全バー２３を下降高さ（Ｈ１）や上昇高さ（Ｈ２）に位置決めする際は、圧縮バネ３５の付勢力によってローラーベアリング３４をレールガイド３９の下部窪み３８ａ（または上部窪み３８ｂ）に挿入するだけでよいので、可動安全バー２３の位置決め操作を簡単に行うことができる。

また、可動安全バー２３を昇降させる際は、あらかじめ可動安全バー２３を手前に引いてローラーベアリング３４をレールガイド３９の下部窪み３８ａ（または上部窪み３８ｂ）から外す必要があるので、可動安全バー２３の誤操作を確実に防止することができる。

（実施の形態２）
図１２（ａ）は、本実施の形態２の搬送システムの一部を構成する可動ユニット２２の内部構造を示す概略側面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）の一部（Ａ−Ａ線に沿った部分）を上方から見た概略平面図である。

本実施の形態２の搬送システムと前記実施の形態１の搬送システムは、局所クリーン化搬送室１０の遮蔽板２０に固定された可動ユニット２２の構造が異なっている。すなわち、前記実施の形態１の可動ユニット２２は、作業者が可動安全バー２３の取っ手２４を手前に引くことによって、ローラーベアリング３４をガイドレール３９の窪み（下部窪み３８ａ、上部窪み３８ｂ）から外す構造になっている。これに対し、本実施の形態２の可動ユニット２２は、作業者が取っ手２４を奥（手前と反対の方向）に押すことによって、ローラーベアリング３４をガイドレール３９の窪み（下部窪み３８ａ、上部窪み３８ｂ）から外す構造になっている。

図１２（ａ）に示すように、可動ユニット２２の内部には、直動ガイド３０に沿って可動ユニット２２内を昇降するスライダー３１と、スライダー３１に固定され、スライダー３１と共に昇降するプランジャー本体３２とが取り付けられている。また、プランジャー本体３２には、同図の左右方向に移動するプランジャーシャフト３３が挿入されている。

プランジャーシャフト３３には、ローラーベアリング３４とジョイント４４の一端とが固定されている。ジョイント４４の他端は、可動ユニット２２の外部に露出し、この露出した部分に可動安全バー２３が固定されている。従って、プランジャーシャフト３３、ジョイント４４およびローラーベアリング３４は、可動安全バー２３と連動して図１２（ａ）の左右方向に移動する。

図示は省略するが、プランジャー本体３２の内部には、押しバネなどの付勢部材が入っている。そのため、プランジャーシャフト３３、ジョイント４４、ローラーベアリング３４および可動安全バー２３は、常に図１２（ａ）の左方向に付勢されている。従って、作業者が取っ手２４を掴んで可動安全バー２３を奥（同図の右方向）に押した後、取っ手２４から手を離すと、可動安全バー２３、プランジャーシャフト３３、ジョイント４４およびローラーベアリング３４は、押しバネの付勢力によって左方向に移動する。

プランジャー本体３２には、可動ユニット２２の最上部に設置されたゼンマイユニット３６から延びるワイヤ３７の一端が接続されている。そのため、プランジャー本体３２およびこれと連動する可動安全バー２３、ジョイント４４、プランジャーシャフト３３およびローラーベアリング３４は、常に上方向に引っ張られている。従って、作業者は、可動安全バー２３を軽い力で上昇させることができる。また、作業者が可動安全バー２３を下降させる際、不用意に取っ手２４から手を離しても、可動安全バー２３が急激に落下することはない。

可動ユニット２２の内壁には、可動安全バー２３の位置を規制するための一対の窪み（下部窪み３８ａ、上部窪み３８ｂ）が設けられたガイドレール３９が取り付けられている。下部窪み３８ａは、可動安全バー２３の下降高さ（Ｈ１）に対応し、上部窪み３８ｂは、上昇高さ（Ｈ２）に対応している。すなわち、図１２（ａ）に示すように、可動安全バー２３と連動するプランジャーシャフト３３に固定されたローラーベアリング３４が下部窪み３８ａに挿入されると、可動安全バー２３が下降高さ（Ｈ１）となる。一方、図示は省略するが、ローラーベアリング３４が上部窪み３８ｂに挿入されると、可動安全バー２３が上昇高さ（Ｈ２）となる。

可動ユニット２２の外壁には、可動安全バー２３を下降高さ（Ｈ１）で停止させるための下部ストッパー４０ａと、可動安全バー２３を上昇高さ（Ｈ２）で停止させるための上部ストッパー４０ｂとが取り付けられている。図１２（ｂ）に示すように、下部ストッパー４０ａの下面の一部は、プランジャーシャフト３３に固定されたローラーベアリング３４が下部窪み３８ａに挿入されているときに可動安全バー２３の上面と接触するようになっている。このとき、作業者は、可動安全バー２３を下降高さ（Ｈ１）よりも上方に移動させることができない。

プランジャーシャフト３３には、センサー板４１を介して可動近接センサー４２が取り付けられている。すなわち、可動近接センサー４２は、プランジャーシャフト３３に固定された可動安全バー２３と連動して移動するようになっている。一方、ガイドレール３９の下端部には、固定近接センサー４３が取り付けられている。固定近接センサー４３は、可動安全バー２３が下降高さ（Ｈ１）にあるとき、可動近接センサー４２と同じ高さになるように配置されている。

可動近接センサー４２は、ローラーベアリング３４が下部窪み３８ａに挿入されているときに固定近接センサー４３に最接近し、ＯＨＴ１７に対してＯＮ信号を発信する。また、可動近接センサー４２は、ローラーベアリング３４が下部窪み３８ａから外れ、固定近接センサー４３との距離が遠くなると、ＯＨＴ１７に対してＯＦＦ信号を発信する。

図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、下降高さ（Ｈ１）で停止している可動安全バー２３を作業者が奥（同図の右方向）に押すと、ローラーベアリング３４が下部窪み３８ａから外れ、可動安全バー２３と下部ストッパー４０ａとが非接触になるので、可動安全バー２３を下降高さ（Ｈ１）よりも上方に移動させることが可能となる。また、可動安全バー２３を奥に押すと、可動近接センサー４２と固定近接センサー４３との距離が遠くなり、可動近接センサー４２がＯＨＴ１７に対してＯＦＦ信号を発信する結果、ＯＨＴ１７が停止する。

図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、可動安全バー２３が上昇高さ（Ｈ２）で停止しているときは、上部ストッパー４０ｂの上面の一部が可動安全バー２３の下面と接触するようになっている。このとき、作業者は、可動安全バー２３を上昇高さ（Ｈ２）よりも下方に移動させることができない。

図１５（ａ）、（ｂ）に示すように、上昇高さ（Ｈ２）で停止している可動安全バー２３を作業者が奥（同図の右方向）に押すと、ローラーベアリング３４が上部窪み３８ｂから外れ、可動安全バー２３と上部ストッパー４０ｂとが非接触になるので、可動安全バー２３を上昇高さ（Ｈ２）よりも下方に移動させることができる。

次に、可動安全バー２３の取っ手２４を引き下げると、ローラーベアリング３４が押しバネの付勢力によってガイドレール３９の表面に押し付けられながら下降するので、可動安全バー２３は、上部ストッパー４０ｂおよび下部ストッパー４０ａと接触することなく、円滑に下降する。

可動安全バー２３がさらに下降し、ローラーベアリング３４がガイドレール３９の下部窪み３８ａの位置に達すると、ローラーベアリング３４は、押しバネの付勢力によって下部窪み３８ａに挿入される。これにより、可動安全バー２３の上面が下部ストッパー４０ａの上面と接触するので、可動安全バー２３は、下降高さ（Ｈ１）に位置決めされる（図１２参照）。また、このとき、可動近接センサー４２と固定近接センサー４３との距離が接近し、可動近接センサー４２がＯＮ信号を発信する結果、ＯＨＴ１７の停止状態が解除される。

このように、本実施の形態２のウェハ搬送システムによれば、前記実施の形態１のウェハ搬送システムと同様の効果を得ることができる。

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

前記実施の形態では、半導体製造工場のウェハ搬送システムに適用した例を説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば液晶ディスプレイパネルを製造する工場の搬送システムに適用することもできる。

本発明は、半導体製造工場のウェハ搬送システムなどに利用することができる。

１０ 局所クリーン化搬送室
１１ 半導体製造装置
１２ ファンフィルタユニット
１４ フープ（カセット）
１５ ロードポート
１６ 軌道レール
１７ ＯＨＴ（自動搬送機構）
１８ ウェハ（ワーク）
１９ ロボット機構
２０ 遮蔽板
２１ 固定安全バー
２２ 可動ユニット
２３ 可動安全バー
２４ 取っ手
３０ 直動ガイド
３１ スライダー
３２ プランジャー本体
３３ プランジャーシャフト
３４ ローラーベアリング
３５ 圧縮バネ（第１付勢部材）
３６ ゼンマイユニット
３７ ワイヤ
３８ａ 下部窪み
３８ｂ 上部窪み
３９ ガイドレール
４０ａ 下部ストッパー
４０ｂ 上部ストッパー
４１ センサー板
４２ 可動近接センサー
４３ 固定近接センサー
４４ ジョイント

Claims (10)

1. ワークが収容されたカセットが載置されるロードポートを備えた搬送室と、
   前記搬送室の外部に設置され、前記カセットを前記ロードポートに自動で載置する自動搬送機構と、
   プランジャー本体と、前記プランジャー本体に収容された第１付勢部材と、前記プランジャー本体に挿入されたプランジャーシャフトと、前記プランジャーシャフトの一端側が挿入される窪みを備えたガイドレールとが内蔵された可動ユニットと、
   前記可動ユニットの外部に設置され、前記プランジャー本体と連動して上下動する可動バーと、
   前記可動ユニットの外部に設置され、前記プランジャーシャフトの一端側が前記窪みに挿入されているときに前記可動バーと接触し、前記プランジャーシャフトの一端側が前記窪みから外れたときに前記可動バーと非接触になるストッパーと、
   を有し、
   前記可動バーを所定位置に停止させるときは、前記第１付勢部材の付勢力によって、前記プランジャーシャフトの一端側を前記窪みに挿入し、
   前記所定位置に停止している前記可動バーを上下動させるときは、前記可動バーを前記第１付勢部材の付勢力に抗する方向に移動させることによって、前記プランジャーシャフトの一端側を前記窪みから外した後、前記可動バーを上下動させる、搬送システム。
2. 請求項１記載の搬送システムにおいて、
   前記搬送室は、前記ロードポートに載置された前記カセットから前記ワークを取り出して所定箇所に搬送するロボット機構を備えた、搬送システム。
3. 請求項１記載の搬送システムにおいて、
   前記プランジャー本体は、第２付勢部材によって上方向に付勢されている、搬送システム。
4. 請求項１記載の搬送システムにおいて、
   前記可動ユニットは、前記プランジャーシャフトの一端側が前記窪みに挿入されているときに前記自動搬送機構を動作させ、前記プランジャーシャフトの一端側が前記窪みから外れたときに前記自動搬送機構の動作を停止させるセンサーを備えた、搬送システム。
5. 請求項４記載の搬送システムにおいて、
   前記センサーは、前記可動バーと連動して移動する可動センサーと、前記プランジャーシャフトの一端側が前記窪みに挿入されているときに前記可動センサーに近接して配置される固定センサーとからなる、搬送システム。
6. 請求項１記載の搬送システムにおいて、
   前記ワークは半導体ウェハであり、前記搬送室は、半導体製造装置に隣接して設置された局所クリーン化搬送室である、搬送システム。
7. 請求項１記載の搬送システムにおいて、
   前記第１付勢部材は、圧縮バネである、搬送システム。
8. 請求項１記載の搬送システムにおいて、
   前記第１付勢部材は、押しバネである、搬送システム。
9. 請求項３記載の搬送システムにおいて、
   前記第２付勢部材は、前記可動ユニットの上部に設置されたゼンマイユニットと、前記ゼンマイユニットに巻かれ、一端が前記プランジャー本体に接続されたワイヤとからなる、搬送システム。
10. 請求項１記載の搬送システムにおいて、
    前記プランジャーシャフトの一端側には、前記可動バーが前記所定位置に停止しているときに前記窪みに挿入され、前記可動バーが上下動しているときに前記ガイドレールの表面に当接しながら上下動するローラーベアリングが取り付けられている、搬送システム。

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