TWI685711B - 光罩盒及其作動方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供了一種光罩盒，主要包含一上蓋、一定位模組以及一下蓋。其中，該定位模組主要包含一本體、一槓桿部、一致動部以及一推動部。本發明透過該本體、槓桿部、致動部以及推動部的連動原理，配合第一止擋部的限制，可輕易的達到在光罩盒中定位光罩的功效。

Description

光罩盒及其作動方法

一種光罩盒及其作動方法，尤指一種具有特殊致動結構而達到推動定位光罩的光罩盒及其作動方法。

在半導體傳載產業中，各種半導體元件或半導體半成品的儲存或傳送已經成為相當重要的問題。在自動化機台已經普遍被使用的情況下，如何將所需的材料或是半導體元件運送到所需之地，考驗的將會是載具的各項性質，例如減少微小粒子產生、抗靜電或是氣密性等性質。

常見需要儲存或是運送的半導體元件包含晶圓、基板或光罩等。特別是光罩，在不同的半導體製程所需使用的光罩尺寸各有不同，因此也衍生出大大小小各種不同尺寸的載具。

其中，光罩盒(Reticle Pod)是常用的單片光罩儲存或傳送載具。有鑑於光罩是在半導體製程中涉及微影蝕刻等極為精密製程所採用的元件。因此，用以傳送或儲存光罩的載具往往被要求要具有抗靜電、抗微小粒子產生以及穩固、定位儲放於其中的光罩，避免因為碰撞而致使光罩損害的功效。

特別是對於光罩定位的部分，由於光罩盒的操作大多採用自動化機械手臂的方式運作。為避免外部的設備直接碰觸到精密的光罩，因此光罩盒內大多設計有因盒蓋開閉而自動定位光罩的機構設計。

傳統而言，該些定位光罩機構分為主動式與被動式的定位方式。被動式的技術通常利用簡單的斜角幾何機構設計來達到推抵光罩的功效。而主動式的機構則需要透過複雜的連桿、彈簧或彈片等機構來達到。其中，主動式機構往往有結構設計複雜、容易因摩擦產生微小粒子致使成本高攀等缺點。

對此，目前傳統的光罩盒及需要一種結構有效且簡單的設計，來改變目前所面臨的缺點。

為解決先前技術中所提到的問題，本發明提供了一種光罩盒及其作動方法。其中，該光罩盒包含一上蓋、一定位模組以及一下蓋。其中，該定位模組主要包含一本體、一槓桿部、一致動部以及一推動部。

該上蓋具有一內表面，而該定位模組設置於該內表面上。該本體包含一第一止擋部，該槓桿部可旋轉地與該本體連接。該致動部與該槓桿部連接，該推動部與該槓桿部連接。而該下蓋則與該上蓋蓋合。其中，該致動部設於靠近該下蓋的一側，且可分離地與該下蓋碰觸，該第一止擋部限制該致動部的轉動。

本發明另外提供了一種光罩盒的作動方法，主要包含三個步驟。首先執行步驟(a)，提供前述的光罩盒。接著執行步驟(b)，將該下蓋蓋合該上蓋，使該下蓋推動該致動部，最後執行步驟(c)，該致動部帶動該槓桿部轉動，使該推動部推動一光罩並定位。

以上對本發明的簡述，目的在於對本發明之數種面向和技術特徵作一基本說明。發明簡述並非對本發明的詳細表述，因此其目的不在特別列舉 本發明的關鍵性或重要元件，也不是用來界定本發明的範圍，僅為以簡明的方式呈現本發明的數種概念而已。

10‧‧‧光罩盒

101‧‧‧上蓋

1011‧‧‧內表面

102‧‧‧抗靜電元件

103‧‧‧下蓋

200‧‧‧定位模組

201‧‧‧本體

2011‧‧‧第一止擋部

202‧‧‧槓桿部

203‧‧‧致動部

2031‧‧‧彎溝結構

204‧‧‧推動部

205‧‧‧延伸部

206‧‧‧固定元件

207‧‧‧V字狀凹陷部

208‧‧‧孔洞

209‧‧‧第二止擋部

R‧‧‧光罩

圖1係本發明實施例之上蓋結構剖面圖。

圖2係本發明實施例定位模組啟動前結構示意圖。

圖3係本發明實施例定位模組啟動後結構示意圖。

圖4係本發明實施例定位模組啟動後光罩盒之剖面圖。

圖5係本發明實施之作動方法流程圖。

為能瞭解本發明的技術特徵及實用功效，並可依照說明書的內容來實施，茲進一步以如圖式所示的較佳實施例，詳細說明如後：首先，請先參照圖4，圖4係本發明實施例定位模組啟動後光罩盒之剖面圖。在圖4的實施例中，明確的展示出本實施例光罩盒100包含上蓋101、定位模組200以及下蓋103。其中，定位模組200主要包含本體201、槓桿部202、致動部203以及推動部204。

由圖4的實施例可以見得，上蓋101具有內表面1011。在本實施例中，內表面1011不僅可以是單純的內部結構，其上更可以設置金屬罩或金屬內襯等抗靜電元件102，可適配地裝設於上蓋101之內，本發明並不加以限制。而定位模組200設置於內表面1011上。

在本實例中，實際上定位模組200亦可以是穿過抗靜電元件102(金屬內襯)後設置於上蓋101上。然而，在其他可能的實施例中，定位模組200的 本體201亦可以和上蓋101一體成型並穿過內表面1011的抗靜電元件102設置，本發明並不加以限制。

請同時參照圖1及圖2，圖1係本發明實施例之上蓋結構剖面圖；圖2係本發明實施例定位模組啟動前結構示意圖。如圖1及圖2所示，對比於圖4本實施例的上蓋101蓋合下蓋103之狀態，圖1及圖2中展示了上蓋101分離於下蓋103時的情況。

在圖2中，可以明顯見得本實施例之定位模組200中，本體201還包含第一止擋部2011。且槓桿部202可旋轉地與該本體201連接。而致動部203與槓桿部202連接，推動部204則與槓桿部202連接。進一步而言，本實施例中之槓桿部202、致動部203以及推動部204為一體成型，且共構為一S型片狀結構。透過此S型片狀結構的設計，可以大幅地的減少零件的使用，又能達到推動光罩R定位之效果。

換言之，透過圖1、2及4的揭示，應可理解到由於下蓋103需與上蓋101蓋合，因此致動部203必須設於靠近下蓋103的一側，且可分離地與下蓋103碰觸，並由第一止擋部2011限制致動部203的轉動，來達到有效主動推動光罩R到特定位置的功效。

在本實施例中，致動部203上更設有彎溝結構2031。彎溝結構2031設置的主要目的在於將片狀的致動部203和下蓋103之間的接觸面積減少，以有效的防止或減少當上蓋101蓋合時，因致動部203與下蓋103有過多的接觸面積，進而使微小粒子產生的風險。

請同時參照圖2及圖3，圖3係本發明實施例定位模組啟動後結構示意圖；圖4係本發明實施例定位模組啟動後光罩盒之剖面圖。

如圖2及圖3所示，再參照圖1及圖4的剖面圖，得知在本實施例中，推動部204為弧狀彈片。特別是在圖1及圖4的剖面圖，可看到推動部204微微地向靠近上蓋101的一側彎曲，形成前述的弧狀彈片。透過此弧狀彈片的形狀設計，可以有效吸收上蓋101往下壓時產生的槓桿作用力。避免在作用力突然被加劇的情況下，因推動部204無法吸收部份過多的力道而導致光罩R受損。

至於由圖2及圖3可得知，在本實施例中，本體201更與至少一延伸部205連接。正確來說為雙邊各有一延伸部205。延伸部205在本實施例中呈現水滴狀，其作用在於讓本體201得以調整其裝設於上蓋101時，需固定位置的間距。此外，其形狀亦有能夠穩固本體201受到來自左右兩側晃動的功效，能進一步剪少本實施例光罩盒10在作動時產生的各種晃動、碰撞或摩擦的問題。

在本實施例中，延伸部205更透過固定元件206設置於上蓋101之內表面1011上。在可能的實施例中，固定元件可以將延伸部205固定於內表面1011(或是其上的抗靜電元件102)，抑或是穿過抗靜電元件102後直接固設於上蓋101上，本發明並不加以限制。

如圖2-3所示，本實施例之槓桿部202上更設有兩孔洞208，使槓桿部202可以穿過兩孔洞208設置，讓槓桿部202可旋轉地與本體201連接。進一步來說，在本實施例中，槓桿部202的左右兩端各設有V字狀凹陷部207，該V字狀凹陷部207穿過兩孔洞208，將槓桿部202可旋轉地固定於本體201之上。

不可避免地，當本實施例之第一止擋部2011損壞時，將會導致定位模組200中的S型片狀結構不斷翻轉。因此本實施例如圖1及圖3-4所示，本體201靠近上蓋101內表面1011處更設有第二止擋部209，可以限制推動部204的轉動。進一步而言，當上蓋101遠離下蓋103的時候，一般情況下實質上推動部204並不 會受到第二止擋部209的限制，以減少額外的摩擦，進而避免微小粒子產生的風險。

在本實施例中，第二止擋部209唯有在第一止擋部2011損壞，而導致定位模組200中的S型片狀結構會不斷翻轉時，可以發揮其身為保險的功用。換言之，當第一止擋部2011損壞時，限制S型片狀結構翻轉的責任就會由第一止擋部2011與致動部203變為第二止擋部209與推動部204，進一步保證本實施例的運作，直至使用者發現問題，進行維修或替換。

請參照圖5，圖5係本發明實施之作動方法流程圖。如圖5所示，圖5中展示了本實施例光罩盒10的作動流程。進一步來說，本實施例的光罩盒10作動包含了五個步驟。首先，執行步驟(a)，提供圖1-4中所示的光罩盒10。

接著執行步驟(b)，將下蓋103蓋合上蓋101，使該下蓋103推動致動部203。接著執行步驟(c)，透過致動部203帶動槓桿部202轉動，使推動部204推動光罩R定位。更進一步地，當光罩盒10欲進行開蓋時，執行步驟(d)，將上蓋101與下蓋103分離，接著執行步驟(e)，致動部203的轉動被第一止擋部2011限制並歸位。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即依本發明申請專利範圍及說明內容所作之簡單變化與修飾，皆仍屬本發明涵蓋之範圍內。

10‧‧‧光罩盒

101‧‧‧上蓋

1011‧‧‧內表面

102‧‧‧抗靜電元件

103‧‧‧下蓋

200‧‧‧定位模組

201‧‧‧本體

202‧‧‧槓桿部

203‧‧‧致動部

204‧‧‧推動部

209‧‧‧第二止擋部

R‧‧‧光罩

Claims (14)

1. 一種光罩盒，包含： 一上蓋，具有一內表面； 一定位模組，設置於該內表面上，該定位模組包含： 　　一本體，包含一第一止擋部；         一槓桿部，可旋轉地與該本體連接； 　　一致動部，與該槓桿部連接；         一推動部，與該槓桿部連接；以及 一下蓋，與該上蓋蓋合； 其中，該致動部設於靠近該下蓋的一側，且可分離地與該下蓋碰觸，該第一止擋部限制該致動部的轉動。
2. 如請求項1所述之光罩盒，其中該槓桿部、該致動部以及該推動部為一體成型。
3. 如請求項2所述之光罩盒，該槓桿部、該致動部以及該推動部共構為一S型片狀結構。
4. 如請求項1所述之光罩盒，其中該致動部上更設有一彎溝結構。
5. 如請求項1所述之光罩盒，其中該本體更與至少一延伸部連接。
6. 如請求項5所述之光罩盒，其中每個該至少一延伸部更透過一固定元件設置於該上蓋之該內表面。
7. 如請求項1所述之光罩盒，其中該本體上更設有兩孔洞，該槓桿部穿過該兩孔洞使該槓桿部可旋轉地與該本體連接。
8. 如請求項7所述之光罩盒，其中該槓桿部的左右兩端各設有一V字狀凹陷部，該V字狀凹陷部穿過該兩孔洞。
9. 如請求項1所述之光罩盒，其中該本體更包含一第二止擋部，該第二止擋部限制該推動部的轉動。
10. 如請求項1所述之光罩盒，其中該推動部為一弧狀彈片。
11. 如請求項1所述之光罩盒，其中該內表面更設有一抗靜電元件。
12. 如請求項11所述之光罩盒，其中該本體與該上蓋為一體成型，且該本體穿過該金屬內襯設置。
13. 一種光罩盒的作動方法，包含： (a)   提供如請求項1所述的該光罩盒； (b)  該下蓋蓋合該上蓋，使該下蓋推動該致動部；以及 (c)   該致動部帶動該槓桿部轉動，使該推動部推動一光罩並定位。
14. 如請求項13所述之光罩盒的作動方法，更包含步驟： (d)  將該上蓋與該下蓋分離；以及 (e)   該致動部的轉動被該第一止擋部限制歸位。

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