TWM552477U - 運載裝置 - Google Patents

Description

運載裝置

本新型創作是有關於一種運載裝置，且特別是有關於一種用以運載片狀物的運載裝置。

一般易碎型片狀物，例如半導體或光電產業所使用的晶圓、光罩、玻璃基板等，若要由甲地運送至乙地，必須避免片狀物受到碰撞，否則容易產生碎裂。而且像是晶圓、光罩等容易因為微粒汙染而影響品質的物品，還需要避免在運送過程中附著灰塵，因此包裝該等物品通常不能使用紙類或泡棉類等容易產生細屑的緩衝材料。

以晶圓為例說明，目前業界常見用以裝載多片晶圓的前開式晶圓容器（Front Opening Unified Pod, FOUP）通常包含一盒體及一可重置地蓋合於盒體的蓋體，兩者共同形成一容置空間，並在盒體內設有承載組件用以承載多片晶圓，其中蓋體的內側設有固持組件，用以固持盒體內的晶圓。若晶圓為圓形，則固持組件可內嵌於蓋體內側的凹陷部內而不需凸露出凹陷部之外，只要使晶圓的凸弧狀邊緣伸入凹陷部內至固持組件處就可被固持組件固持。然而，若欲承裝的片狀物為方形，如方形之矽晶片等，則會因為方形片狀物不具有可伸至內嵌於蓋體內側凹陷部內的固持組件處的凸弧狀邊緣，導致固持組件無法對該方形片狀物進行固持。

本新型創作提供一種運載裝置，其蓋體的固持組件可有效對盒體內的片狀物進行固持。

本新型創作的運載裝置適於容納至少一片狀物且包括一盒體及一蓋體。盒體具有一開口，其中片狀物適於透過開口而進入盒體的內部，盒體的內部具有至少一頂推結構。蓋體具有相對的一外側及一內側，且適於覆蓋開口而使內側朝向盒體的內部，其中蓋體在內側具有一固持組件及一對應盒體之頂推結構之連動機構，連動機構連接於固持組件。當蓋體覆蓋開口時，頂推結構頂推連動機構，以藉由連動機構帶動固持組件從蓋體的內側往盒體的內部移動或凸伸而固持位於盒體內的片狀物。當蓋體分離於盒體時，頂推結構分離於連動機構，且連動機構復位並帶動固持組件往蓋體的內側移動或收縮而收合於蓋體。

在本新型創作的一實施例中，上述的頂推結構包括多個凸緣，這些凸緣設置或形成於盒體的內壁且鄰近開口。

在本新型創作的一實施例中，上述的盒體的內部具有一承載組件，承載組件適於承載片狀物，頂推結構位於承載組件與 開口之間且不干涉片狀物進出盒體處。

在本新型創作的一實施例中，上述的連動機構包括至少一連動桿，連動桿具有一第一端、一第二端及一樞接部，樞接部位於第一端與第二端之間且樞接於蓋體的內側，第一端連接於固持組件，頂推結構適於頂推第二端以帶動連動桿樞轉。

在本新型創作的一實施例中，上述的固持組件適於沿一移動方向從蓋體的內側往盒體的內部移動或凸伸，連動桿沿一樞轉軸線樞接於蓋體的內側，樞轉軸線垂直於移動方向。

在本新型創作的一實施例中，上述的至少一連動桿的數量為多個，且這些連動桿對稱設置於固持組件的相對兩側。

在本新型創作的一實施例中，上述的蓋體具有一閂鎖機構，閂鎖機構包括一操作部，操作部適於由蓋體的外側進行操作，當蓋體覆蓋開口時，操作部適於旋轉而使閂鎖機構成為干涉於盒體的一閂鎖狀態，且適於旋轉而使閂鎖機構成為分離於盒體的一解鎖狀態。

在本新型創作的一實施例中，上述的閂鎖機構包括至少一插銷，操作部連接插銷，當蓋體覆蓋開口時，操作部適於旋轉而帶動插銷從蓋體的外緣突伸出以干涉於盒體，且適於旋轉而帶動插銷移至蓋體內以分離於盒體。

在本新型創作的一實施例中，上述的閂鎖機構不連接於連動機構及固持組件。

基於上述，在本新型創作的運載結構中，盒體的內部具有頂推結構，用以頂推蓋體的內側的連動機構，使蓋體的內側的固持組件可被連動機構帶動而往盒體的內部移動或凸伸。藉此，固持組件可有效地對盒體內的片狀物進行固持。

為讓本新型創作的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

圖1是本新型創作一實施例的運載裝置的立體圖。圖2是圖1的盒體的立體圖。圖3是圖1的蓋體的立體圖。請參考圖1至圖3，本實施例的運載裝置100包括一盒體110及一蓋體120。盒體110具有一開口110a，片狀物(如晶圓)適於透過開口110a而進入盒體110的內部。盒體110的內部具有一承載組件114，承載組件114適於承載這些片狀物。

圖4是圖3的蓋體於另一視角的立體圖。請參考圖3及圖4，蓋體120具有相對的一外側120a及一內側120b，且適於覆蓋圖2所示的盒體110的開口110a而使內側120b朝向盒體110的內部。蓋體120在內側120b如圖4所示具有一固持組件124，用以藉其上的多個固持件124a分別固持盒體110內的多個片狀物。

請參考圖1及圖3，蓋體120具有至少一閂鎖機構122(繪示為兩個)，各閂鎖機構122包括一操作部122a及至少一插銷122b(繪示為兩個)，操作部122a適於由蓋體120的外側120a進行操作且連接插銷122b。當蓋體120覆蓋盒體110的開口110a時，操作部122a適於藉由製程系統中的機械手臂或其他驅動單元的驅動而旋轉，以帶動插銷122b從蓋體120的外緣突伸出(如圖3所示)而干涉於盒體110的插槽110b，使閂鎖機構122成為干涉於盒體110的閂鎖狀態。此外，當蓋體120覆蓋盒體110的開口110a時，操作部122a適於藉由製程系統中的機械手臂或其他驅動單元的驅動而反向旋轉，以帶動插銷122b移至蓋體120內而分離於盒體110，使閂鎖機構122成為分離於盒體110的解鎖狀態。

圖5是圖3的蓋體的部分結構立體圖。請參考圖5，在本實施例中，操作部122a例如可藉由設置於操作部122a與插銷122b之間的連動機構122c或其他適當種類的連動機構來將操作部122a的旋轉量轉化為插銷122b的平移量，本新型創作不對此加以限制。

請參考圖2，盒體110的內部具有至少一頂推結構112，頂推結構112位於承載組件114與開口110a之間且不干涉所述片狀物進出盒體110處，且包括多個凸緣112a，這些凸緣112a設置或形成於盒體110的內壁且鄰近開口110a。請參考圖4，蓋體120在內側120b具有一對應盒體110之頂推結構112之連動機構126，連動機構126包括至少一連動桿126a(繪示為四個)，這些連動桿126a對稱設置於固持組件124的相對兩側，各連動桿126a具有一第一端E1、一第二端E2及一樞接部P。樞接部P位於第一端E1與第二端E2之間且樞接於蓋體120的內側，第一端E1連接於固持組件124。

圖6A繪示圖4的固持組件收合於蓋體的內側。圖6B繪示圖4的固持組件移動。當蓋體120覆蓋盒體110的開口110a時，頂推結構112頂推連動機構126的各連動桿126a的第二端E2以帶動連動桿126a樞轉，以藉由連動機構126的各連動桿126a帶動固持組件124從蓋體120的內側120b往盒體110的內部移動或凸伸而固持位於盒體110內的片狀物，此時蓋體120及其固持組件124為圖6B所示狀態。當蓋體120分離於盒體110時，頂推結構112隨之分離於連動機構126的各連動桿126a，且連動機構126的各連動桿126a例如藉由配置於其樞接部P處的彈性件(如扭簧)之彈力復位並帶動固持組件124往蓋體120的內側120b移動或收縮而收合於蓋體120，此時蓋體120及其固持組件124為圖6A所示狀態。

藉由上述配置與作動方式，固持組件124可有效地對盒體110內的片狀物進行固持。另一方面，當蓋體120分離於盒體110時，固持組件124如上述般收合於蓋體120，如此可降低蓋體120的整體厚度，以減少蓋體120在製程系統中所佔據的空間，從而節省製程系統的空間成本。

詳細而言，本實施例的固持組件124適於沿移動方向D(標示於圖2)從蓋體120的內側120b往盒體110的內部移動或凸伸，而各連動桿126a沿垂直於移動方向D的樞轉軸線A(標示於圖4)樞接於蓋體120的內側120b。此外，第一端E1與樞接部P之間的距離如圖4所示大於第二端E2與樞接部P之間的距離，如此則頂推結構112推動第二端E2時可帶動第一端E1移動較大距離，以帶動固持組件124移動足夠距離來固持所述片狀物。

在本實施例中，連動機構126及固持組件124並非由閂鎖機構122來驅動。因此，位於蓋體120的外側120a的閂鎖機構122的操作部122a不需連接於位於蓋體120的內側120b的連動機構126及固持組件124。從而，不需使蓋體120的內側120a與外側120b連通，而可符合製程上的氣密需求。

圖7是圖4的蓋體的部分結構立體圖。圖8是圖7的連動桿的立體圖。請參考圖7及圖8，本實施例的連動桿126a在其第一端E1具有勾合部H，用以勾合於圖4所示的固持組件124。在其他實施例中，連動桿126a可藉由其他適當種類的結構來連接固持組件124，本新型創作不對此加以限制。

雖然本新型創作已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本新型創作，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本新型創作的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本新型創作的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

100‧‧‧運載裝置
110‧‧‧盒體
110a‧‧‧開口
110b‧‧‧插槽
112‧‧‧頂推結構
112a‧‧‧凸緣
114‧‧‧承載組件
120‧‧‧蓋體
120a‧‧‧外側
120b‧‧‧內側
122‧‧‧閂鎖機構
122a‧‧‧操作部
122b‧‧‧插銷
124‧‧‧固持組件
124a‧‧‧固持件
126‧‧‧連動機構
126a‧‧‧連動桿
A‧‧‧樞轉軸線
D‧‧‧移動方向
E1‧‧‧第一端
E2‧‧‧第二端
H‧‧‧勾合部
P‧‧‧樞接部

圖1是本新型創作一實施例的運載裝置的立體圖。 圖2是圖1的盒體的立體圖。 圖3是圖1的蓋體的立體圖。 圖4是圖3的蓋體於另一視角的立體圖。 圖5是圖3的蓋體的部分結構立體圖。 圖6A繪示圖4的固持組件收合於蓋體的內側。 圖6B繪示圖4的固持組件移動。 圖7是圖4的蓋體的部分結構立體圖。 圖8是圖7的連動桿的立體圖。

120‧‧‧蓋體

120b‧‧‧內側

122b‧‧‧插銷

124‧‧‧固持組件

124a‧‧‧固持件

126‧‧‧連動機構

126a‧‧‧連動桿

A‧‧‧樞轉軸線

E1‧‧‧第一端

E2‧‧‧第二端

P‧‧‧樞接部

Claims (9)

1. 一種運載裝置，適於容納至少一片狀物且包括： 一盒體，具有一開口，其中該片狀物適於透過該開口而進入該盒體的內部，該盒體的內部具有至少一頂推結構；以及 一蓋體，具有相對的一外側及一內側，且適於覆蓋該開口而使該內側朝向該盒體的內部，其中該蓋體在該內側具有一固持組件及一對應該盒體之該頂推結構之連動機構，該連動機構連接於該固持組件， 其中當該蓋體覆蓋該開口時，該頂推結構頂推該連動機構，以藉由該連動機構帶動該固持組件從該蓋體的該內側往該盒體的內部移動或凸伸而固持位於該盒體內的該片狀物， 當該蓋體分離於該盒體時，該頂推結構分離於該連動機構，且該連動機構復位並帶動該固持組件往該蓋體的該內側移動或收縮而收合於該蓋體。
2. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該頂推結構包括多個凸緣，該些凸緣設置或形成於該盒體的內壁且鄰近該開口。
3. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該盒體的內部具有一承載組件，該承載組件適於承載該片狀物，該頂推結構位於該承載組件與該開口之間且不干涉該片狀物進出該盒體處。
4. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該連動機構包括至少一連動桿，該連動桿具有一第一端、一第二端及一樞接部，該樞接部位於該第一端與該第二端之間且樞接於該蓋體的該內側，該第一端連接於該固持組件，該頂推結構適於頂推該第二端以帶動該連動桿樞轉。
5. 如申請專利範圍第4項所述的運載裝置，其中該固持組件適於沿一移動方向從該蓋體的該內側往該盒體的內部移動或凸伸，該連動桿沿一樞轉軸線樞接於該蓋體的該內側，該樞轉軸線垂直於該移動方向。
6. 如申請專利範圍第4項所述的運載裝置，其中該至少一連動桿的數量為多個，且該些連動桿對稱設置於該固持組件的相對兩側。
7. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該蓋體具有一閂鎖機構，該閂鎖機構包括一操作部，該操作部適於由該蓋體的該外側進行操作，當該蓋體覆蓋該開口時，該操作部適於旋轉而使該閂鎖機構成為干涉於該盒體的一閂鎖狀態，且適於旋轉而使該閂鎖機構成為分離於該盒體的一解鎖狀態。
8. 如申請專利範圍第7項所述的運載裝置，其中該閂鎖機構包括至少一插銷，該操作部連接該插銷，當該蓋體覆蓋該開口時，該操作部適於旋轉而帶動該插銷從該蓋體的外緣突伸出以干涉於該盒體，且適於旋轉而帶動該插銷移至該蓋體內以分離於該盒體。
9. 如申請專利範圍第7項所述的運載裝置，其中該閂鎖機構不連接於該連動機構及該固持組件。