TWM564028U - 運載裝置及其承載組件 - Google Patents

Abstract

一種運載裝置，適於容納至少一片狀物且包括一盒體、一蓋體及一承載組件。盒體具有一開口，並界定一垂直於該開口而朝向該盒體內部的移動方向。蓋體適於沿移動方向移動而覆蓋開口。承載組件配置於盒體內且包括一承載結構及至少一彈性緩衝件。承載結構界定一垂直於該移動方向之承載方向，且承載結構具有相對的一前端及一後端，前端鄰近於開口。彈性緩衝件配置於承載結構上並界定一垂直於承載方向的緩衝方向，且緩衝方向與移動方向之夾角係大於90度、小於等於180度。

Description

運載裝置及其承載組件

本新型創作是有關於一種運載裝置及其承載組件，且特別是有關於一種用以運載片狀物的運載裝置及其用以承載片狀物的承載組件。

一般易碎型片狀物，例如半導體或光電產業所使用的晶圓、光罩、玻璃基板等，若要由甲地運送至乙地，必須避免片狀物受到碰撞，否則容易產生碎裂。而且像是晶圓、光罩等容易因為微粒汙染而影響品質的物品，還需要避免在運送過程中附著灰塵，因此包裝該等物品通常不能使用紙類或泡棉類等容易產生細屑的緩衝材料。

以晶圓為例說明，目前業界常見用以裝載多片晶圓的前開式晶圓容器(Front Opening Unified Pod,FOUP)通常包含一盒體及一可重置地蓋合於盒體的蓋體，兩者共同形成一容置空間，並在盒體內設有承載組件用以承載多片晶圓，其中蓋體的內側設有固持組件，用以固持盒體內的晶圓並提供緩衝。若晶圓為圓形， 則固持組件可內嵌於蓋體內側的凹陷部內而不需凸露出凹陷部之外，只要使晶圓的凸弧狀邊緣伸入凹陷部內至固持組件處就可被固持組件固持。如此可以減低蓋體厚度以及整個容器的體積。然而，若欲承裝的片狀物為方形，如方形之矽晶片等，則會因為方形片狀物不具有可伸至內嵌於蓋體內側凹陷部內的固持組件處的凸弧狀邊緣，導致蓋體上的固持組件若不凸出於蓋體之內表面就無法對該方形片狀物進行固持。然而，若使固持組件凸出於蓋體內表面，則又增加蓋體存放所需的空間，提高製程系統的空間成本。

本新型創作提供一種運載裝置及承載組件，可有效地對片狀物進行固持及緩衝。

本新型創作的運載裝置適於容納至少一片狀物且包括一盒體、一蓋體及一承載組件。盒體具有一開口，並界定一垂直於開口而朝向盒體內部的移動方向。蓋體適於沿移動方向移動而覆蓋開口。承載組件配置於盒體內且包括一承載結構及至少一彈性緩衝件。承載結構界定一垂直於移動方向之承載方向，且承載結構具有相對的一前端及一後端，前端鄰近於開口。彈性緩衝件配置於承載結構上並界定一垂直於承載方向的緩衝方向，且緩衝方向與移動方向之夾角係大於90度、小於等於180度。

在本新型創作的一實施例中，上述的彈性緩衝件位於後 端。

在本新型創作的一實施例中，上述的彈性緩衝件包括一彈性部及一抵靠部，彈性部連接於承載結構與抵靠部之間。

在本新型創作的一實施例中，上述的彈性部為蜿蜒狀結構。

在本新型創作的一實施例中，上述的抵靠部沿承載方向的厚度大於彈性部沿承載方向的厚度。

在本新型創作的一實施例中，上述的彈性緩衝件在承載方向上與承載結構重疊。

在本新型創作的一實施例中，上述的彈性緩衝件一體成形地連接於承載結構。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載結構具有至少一開槽，開槽對位於彈性緩衝件，彈性緩衝件部分位於開槽內。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載結構包括至少一支撐件，支撐件包括兩第一支撐肋，兩第一支撐肋分別對應設置或形成於盒體的相對的兩側壁的內側。

在本新型創作的一實施例中，上述的支撐件更包括一鄰近於後端的第二支撐肋，第二支撐肋的相對兩端分別連接於兩第一支撐肋。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載組件包括兩彈性緩衝件，兩彈性緩衝件分別位於第二支撐肋上鄰近相對兩端處。

在本新型創作的一實施例中，上述的支撐件更包括一支 撐舌片，支撐舌片連接於第二支撐肋且往開口延伸。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載結構具有多個支撐件，這些支撐件沿承載方向依序配置以使這些第一支撐肋沿承載方向間隔排列。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載組件更包括至少一組接件，組接件沿承載方向延伸，這些支撐件組接於組接件。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載結構包括兩板體，兩板體分別位於盒體的相對的兩側壁的內側，各板體具有至少一支撐肋，這些支撐肋係相互對應地設置或形成於兩板體上。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載組件包括至少兩彈性緩衝件，兩彈性緩衝件分別配置於兩板體上鄰近後端並與各支撐肋對應處。

在本新型創作的一實施例中，上述的各板體具有多個支撐肋，這些支撐肋沿承載方向間隔配置。

在本新型創作的一實施例中，上述的蓋體更包括有一與彈性緩衝件對應之前緩衝件。

本新型創作的承載組件適於在一運載裝置中承載至少一片狀物且包括一承載結構及至少一彈性緩衝件。承載結構界定一承載方向。彈性緩衝件配置於承載結構上並界定一垂直於該承載方向的一緩衝方向。

在本新型創作的一實施例中，上述的彈性緩衝件包括一彈性部及一抵靠部，彈性部連接於承載結構與抵靠部之間。

在本新型創作的一實施例中，上述的彈性部為蜿蜒狀結構。

在本新型創作的一實施例中，上述的抵靠部沿承載方向的厚度大於彈性部沿承載方向的厚度。

在本新型創作的一實施例中，上述的彈性緩衝件在承載方向上與承載結構重疊。

在本新型創作的一實施例中，上述的彈性緩衝件一體成形地連接於承載結構。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載結構具有至少一開槽，開槽對位於彈性緩衝件，彈性緩衝件部分位於開槽內。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載結構包括至少一支撐件，支撐件包括兩第一支撐肋，兩第一支撐肋係對應設置或形成於承載結構的兩相對側。

在本新型創作的一實施例中，上述的支撐件更包括一鄰近於彈性緩衝件的第二支撐肋，第二支撐肋的相對兩端分別連接於兩第一支撐肋。

如在本新型創作的一實施例中，上述的承載組件包括兩彈性緩衝件，兩彈性緩衝件分別位於第二支撐肋上鄰近相對兩端處。

在本新型創作的一實施例中，上述的支撐件更包括一支撐舌片，支撐舌片連接於第二支撐肋並與兩第一支撐肋朝相同方向延伸。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載結構具有多個支撐件，這些支撐件沿承載方向依序配置以使這些第一支撐肋沿承載方向間隔排列。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載組件更包括至少一組接件，組接件沿承載方向延伸，這些支撐件組接於組接件。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載結構包括兩板體，各板體具有至少一支撐肋，這些支撐肋係相互對應地設置或形成於兩板體上。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載組件包括至少兩彈性緩衝件，兩彈性緩衝件分別配置於兩板體。

在本新型創作的一實施例中，上述的各板體具有多個支撐肋，這些支撐肋沿承載方向依序間隔配置。

基於上述，本新型創作的運載裝置的承載組件增設了彈性緩衝件，用以對片狀物進行緩衝。藉此，不論運載裝置的蓋體處的空間是否足以設置固持組件，或所設置之固持組件是否能提供足夠的緩衝，均仍能藉由設於承載組件另一端的彈性緩衝件有效地對片狀物進行固持或緩衝。

為讓本新型創作的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

50‧‧‧片狀物

100‧‧‧運載裝置

110‧‧‧盒體

110a‧‧‧開口

120‧‧‧蓋體

121‧‧‧前緩衝件

130、130’‧‧‧承載組件

130a‧‧‧前端

130b‧‧‧後端

132、132’‧‧‧承載結構

132a‧‧‧支撐件

132a1‧‧‧開槽

132c‧‧‧板體

134、134’‧‧‧彈性緩衝件

134a‧‧‧彈性部

134b‧‧‧抵靠部

136‧‧‧組接件

D1‧‧‧移動方向

D2‧‧‧承載方向

D3‧‧‧緩衝方向

R1‧‧‧第一支撐肋

R2‧‧‧第二支撐肋

R’‧‧‧支撐肋

T‧‧‧支撐舌片

圖1是本新型創作一實施例的運載裝置的立體圖。

圖2是圖1的運載裝置的部分構件立體圖。

圖3是圖2的承載組件的立體圖。

圖4是圖3的承載組件於另一視角的立體圖。

圖5是圖3的承載組件的局部立體圖。

圖6是圖5的承載組件的俯視圖。

圖7是圖1的蓋體於另一視角的立體圖。

圖8是本新型創作另一實施例的運載裝置的部分構件立體圖。

圖9是圖8的承載組件的立體圖。

圖10是圖9的承載組件的俯視圖。

圖1是本新型創作一實施例的運載裝置的立體圖。圖2是圖1的運載裝置的部分構件立體圖。請參考圖1及圖2，本實施例的運載裝置100包括一盒體110、一蓋體120及一承載組件130。

盒體110具有一開口110a並界定一垂直於開口110a而朝向盒體110內部的移動方向D1，片狀物50適於透過開口110a沿移動方向D1進入盒體110的內部。承載組件130配置於盒體110內且適於承載片狀物50。蓋體120適於沿移動方向D1移動而覆蓋盒體110的開口110a，以保護盒體110內的片狀物50。

在本實施例中，是以方形片狀物50，例如方形矽基板， 來作為範例說明的。但在變化的實施態樣中，運載裝置100亦可用以承載其他不同形狀的片狀物，例如圓形的矽晶圓等，本實施例並不對此加以限制。

圖3是圖2的承載組件的立體圖。圖4是圖3的承載組件於另一視角的立體圖。請參考圖3及圖4，本實施例的承載組件130包括一承載結構132及至少一彈性緩衝件134(繪示為多個)。

承載結構132界定一垂直於移動方向D1之承載方向D2，並適於沿承載方向D2承載片狀物50。承載結構132可以是一體成形的結構，或是如本實施例所示範的包含多個沿承載方向D2依序配置的支撐件132a。片狀物50係水平放置於承載結構132的支撐件132a上，因此承載方向D2就是相反於重力的方向。

此外，承載結構132具有相對的一前端130a及一後端130b，承載結構132的前端130a鄰近於盒體110的開口110a且位於盒體110的開口110a與承載結構132的後端130b之間。

彈性緩衝件134配置於承載結構132的支撐件132a上位於承載結構132的後端130b處。而界定一垂直於承載方向D2的緩衝方向D3，且適於抵靠於被支撐件132a承載的片狀物50，並沿緩衝方向D3提供片狀物50緩衝。

緩衝方向D3通常是與片狀物50抵靠在彈性緩衝件134處之邊緣正交且朝向片狀物50內部。以本實施例所用範例的方形片狀物50而言，緩衝方向D3就是與移動方向D1相反的方向。

而在變化的實施態樣中，若片狀物50為圓形矽晶圓，則 就是由矽晶圓邊緣受彈性緩衝件抵靠處指向矽晶圓的內部。也就是說：緩衝方向D3與移動方向D1間之夾角係大於90度、小於等於180度。

由於本實施例的承載組件130在承載結構132的後端130b處增設了用以對片狀物50進行緩衝的彈性緩衝件134，因此即使運載裝置100的蓋體120處能設置固持組件的空間有限，仍能藉由承載組件130的彈性緩衝件134有效地對片狀物50進行固持或緩衝。

以下詳細說明本實施例的彈性緩衝件134的具體結構。圖5是圖3的承載組件的局部立體圖。圖6是圖5的承載組件的俯視圖。

請參考圖5及圖6，本實施例的彈性緩衝件134包括一彈性部134a及一抵靠部134b。彈性部134a一體成形地連接於承載結構132的支撐件132a與抵靠部134b之間；抵靠部134b適於與片狀物50(繪示於圖2及圖3)相抵靠。

彈性部134a通常採用具有彈性變形能力的造型結構，例如為蜿蜒狀結構，以使其能對片狀物50提供緩衝。藉此，彈性部134a可具有較大的延伸長度，以具有足夠的彈性變形能力。

在本實施例中，彈性緩衝件134的抵靠部134b沿承載方向D2的厚度大於彈性緩衝件134的彈性部134a沿承載方向D2的厚度。藉此，彈性緩衝件134的抵靠部134b具有足夠的厚度來供片狀物50抵靠，且又不致因為彈性部134a厚度太高而使其過 硬，造成緩衝能力不足。

此外，在本實施例中，在沿著承載方向D2觀察時，彈性緩衝件134是與承載結構132的支撐件132a重疊的。亦即，彈性緩衝件134是位於支撐件132a範圍內的上方而非位於支撐件132a範圍以外，如此可節省盒體110內的配置空間。

在本實施例中，承載結構132的支撐件132a具有一開槽132a1，開槽132a1對位於彈性緩衝件134，且彈性緩衝件134的抵靠部134b的下端位於開槽132a1內，如此可使得彈性緩衝件134的抵靠部134b與支撐件132a間在沿著承載方向D2上不具有間隙，以避免厚度較薄的片狀物50意外插入其間。

請再參考圖3及圖4，本實施例的各支撐件132a包括兩第一支撐肋R1、一第二支撐肋R2及一支撐舌片T。支撐件132a沿承載方向D2依序配置以使這些第一支撐肋R1沿承載方向D2間隔排列，因而可將多片片狀物50分別容置於對應的兩第一支撐肋R1上並受其支撐。

各支撐件132a的兩第一支撐肋R1分別對應地設置或形成於盒體110(繪示於圖2)的相對的兩側壁的內側且適於分別支撐一片狀物50的相對的兩邊緣。

第二支撐肋R2鄰近於後端130b及彈性緩衝件134且其相對兩端分別連接於兩第一支撐肋R1，兩彈性緩衝件134分別位於第二支撐肋R2上鄰近所述相對兩端處。支撐舌片T連接於第二支撐肋R2並與兩第一支撐肋R1朝相同方向往盒體110的開口 110a(繪示於圖2)延伸。

第二支撐肋R2適於支撐片狀物50靠近承載結構132後端130b側的邊緣，而支撐舌片T用以支撐片狀物50中央的部位，以避免片狀物50的中央部位因缺乏支撐而受重力影響，導致其下垂、變形。

在本實施例中，承載組件130更包括多個組接件136，組接件136沿承載方向D2延伸，且這些支撐件132a組接於組接件136。亦即，在組裝時，可藉由組接件136將彼此分離的支撐件132a先組裝成一承載組件130模組，再將組合好的承載組件130與盒體110結合。如此可以簡化製造及組裝的流程。

圖7是圖1的蓋體於另一視角的立體圖。請參考圖7，本實施例的蓋體120更包括有一與彈性緩衝件134(繪示於圖3)對應之前緩衝件121，以由前方對片狀物50(繪示於圖3)提供更多的緩衝。

圖8是本新型創作另一實施例的運載裝置的部分構件立體圖。圖9是圖8的承載組件的立體圖。圖10是圖9的承載組件的俯視圖。

圖8至圖10所示實施例的不同處在於，承載組件130’的承載結構132’包括兩板體132c，兩板體132c分別位於盒體110的相對的兩側壁的內側，各板體132c具有沿承載方向D2依序間隔配置的多個支撐肋R’。

這些支撐肋R’係相互對應地設置或形成於兩板體132c 上，兩板體132c上相對的兩支撐肋R’適於分別支撐片狀物50分別鄰近於盒體110兩側壁的相對兩側邊緣。

兩彈性緩衝件134’分別配置於兩板體132c上鄰近承載結構132後端130b並與各支撐肋R’對應處。雖然本實施例的彈性緩衝件134’是以弧狀彈片作為範例，而非如同前述實施例中採用的蜿蜒狀，但其作用方式皆為藉由彈性變形能力來提供緩衝，故於此不再贅述。而在其他實施例中，彈性緩衝件也可為其他適當形狀，本新型創作不對此加以限制。

綜上所述，本新型創作的運載裝置的承載組件增設了彈性緩衝件，用以對片狀物進行緩衝。藉此，即使運載裝置的蓋體處能設置固持組件的空間有限，仍能藉由承載組件的彈性緩衝件有效地對片狀物進行固持及緩衝。

雖然本新型創作已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本新型創作，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本新型創作的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本新型創作的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

Claims (34)

1. 一種運載裝置，適於容納至少一片狀物且包括： 一盒體，具有一開口，並界定一垂直於該開口而朝向該盒體內部的移動方向； 一蓋體，該蓋體適於沿該移動方向移動而覆蓋該開口；以及 一承載組件，配置於該盒體內且包括一承載結構及至少一彈性緩衝件，其中該承載結構界定一垂直於該移動方向之承載方向，且該承載結構具有相對的一前端及一後端，該前端鄰近於該開口，該彈性緩衝件配置於該承載結構上並界定一垂直於該承載方向的緩衝方向，且該緩衝方向與該移動方向之夾角係大於90度、小於等於180度。
2. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該彈性緩衝件位於該後端。
3. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該彈性緩衝件包括一彈性部及一抵靠部，該彈性部連接於該承載結構與該抵靠部之間。
4. 如申請專利範圍第3項所述的運載裝置，其中該彈性部為蜿蜒狀結構。
5. 如申請專利範圍第3項所述的運載裝置，其中該抵靠部沿該承載方向的厚度大於該彈性部沿該承載方向的厚度。
6. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該彈性緩衝件在該承載方向上與該承載結構重疊。
7. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該彈性緩衝件一體成形地連接於該承載結構。
8. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該承載結構具有至少一開槽，該開槽對位於該彈性緩衝件，該彈性緩衝件部分位於該開槽內。
9. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該承載結構包括至少一支撐件，該支撐件包括兩第一支撐肋，該兩第一支撐肋分別對應設置或形成於該盒體的相對的兩側壁的內側。
10. 如申請專利範圍第9項所述的運載裝置，其中該支撐件更包括一鄰近於該後端的第二支撐肋，該第二支撐肋的相對兩端分別連接於該兩第一支撐肋。
11. 如申請專利範圍第10項所述的運載裝置，其中該承載組件包括兩該彈性緩衝件，該兩彈性緩衝件分別位於該第二支撐肋上鄰近該相對兩端處。
12. 如申請專利範圍第10項所述的運載裝置，其中該支撐件更包括一支撐舌片，該支撐舌片連接於該第二支撐肋且往該開口延伸。
13. 如申請專利範圍第9項所述的運載裝置，其中該承載結構具有多個該支撐件，該些支撐件沿該承載方向依序配置以使該些第一支撐肋沿該承載方向間隔排列。
14. 如申請專利範圍第13項所述的運載裝置，其中該承載組件更包括至少一組接件，該組接件沿該承載方向延伸，該些支撐件組接於該組接件。
15. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該承載結構包括兩板體，該兩板體分別位於該盒體的相對的兩側壁的內側，各該板體具有至少一支撐肋，該些支撐肋係相互對應地設置或形成於該兩板體上。
16. 如申請專利範圍第15項所述的運載裝置，其中該承載組件包括至少兩該彈性緩衝件，該兩彈性緩衝件分別配置於該兩板體上鄰近該後端並與各該支撐肋對應處。
17. 如申請專利範圍第15項所述的運載裝置，其中各該板體具有多個該支撐肋，該些支撐肋沿該承載方向依序間隔配置。
18. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該蓋體更包括有一與該彈性緩衝件對應之前緩衝件。
19. 一種承載組件，適於在一運載裝置中承載至少一片狀物且包括： 一承載結構，界定一承載方向；以及 至少一彈性緩衝件，配置於該承載結構上並界定一垂直於該承載方向的一緩衝方向。
20. 如申請專利範圍第19項所述的承載組件，其中該彈性緩衝件包括一彈性部及一抵靠部，該彈性部連接於該承載結構與該抵靠部之間。
21. 如申請專利範圍第20項所述的承載組件，其中該彈性部為蜿蜒狀結構。
22. 如申請專利範圍第20項所述的承載組件，其中該抵靠部沿該承載方向的厚度大於該彈性部沿該承載方向的厚度。
23. 如申請專利範圍第19項所述的承載組件，其中該彈性緩衝件在該承載方向上與該承載結構重疊。
24. 如申請專利範圍第19項所述的承載組件，其中該彈性緩衝件一體成形地連接於該承載結構。
25. 如申請專利範圍第19項所述的承載組件，其中該承載結構具有至少一開槽，該開槽對位於該彈性緩衝件，該彈性緩衝件部分位於該開槽內。
26. 如申請專利範圍第19項所述的承載組件，其中該承載結構包括至少一支撐件，該支撐件包括兩第一支撐肋，該兩第一支撐肋係對應設置或形成於該承載結構的兩相對側。
27. 如申請專利範圍第26項所述的承載組件，其中該支撐件更包括一鄰近於該彈性緩衝件的第二支撐肋，該第二支撐肋的相對兩端分別連接於該兩第一支撐肋。
28. 如申請專利範圍第27項所述的承載組件，其中該承載組件包括兩該彈性緩衝件，該兩彈性緩衝件分別位於該第二支撐肋上鄰近該相對兩端處。
29. 如申請專利範圍第27項所述的承載組件，其中該支撐件更包括一支撐舌片，該支撐舌片連接於該第二支撐肋並與該兩第一支撐肋朝相同方向延伸。
30. 如申請專利範圍第26項所述的承載組件，其中該承載結構具有多個該支撐件，該些支撐件沿該承載方向依序配置以使該些第一支撐肋沿該承載方向間隔排列。
31. 如申請專利範圍第30項所述的承載組件，更包括至少一組接件，該組接件沿該承載方向延伸，該些支撐件組接於該組接件。
32. 如申請專利範圍第19項所述的承載組件，其中該承載結構包括兩板體，各該板體具有至少一支撐肋，該些支撐肋係相互對應地設置或形成於該兩板體上。
33. 如申請專利範圍第32項所述的承載組件，其中該承載組件包括至少兩該彈性緩衝件，該兩彈性緩衝件分別配置於該兩板體。
34. 如申請專利範圍第32項所述的承載組件，其中各該板體具有多個該支撐肋，該些支撐肋沿該承載方向依序間隔配置。