JP3623515B2 - ３００ｍｍ搬送用容器 - Google Patents

Description

発明の背景
I.発明の分野
本発明は、１つの位置から他の位置へと対象物を輸送するために使用される容器に関する。さらに詳しくは、本発明は、シリコンウエハ、剛性の記憶ディスク、フォトマスク、液晶ディスプレイ、およびフラットパネルディスプレイの輸送のために特に良好に適合する容器に関する。
II.従来技術の説明
マスク、ディスプレイ、ディスク、およびウエハを輸送するために、電子工業において種々の容器が使用されてきた。この種の対象物は脆い性状を有していることから、容器内にこの種の対象物を支持するためには極めて信頼性の高い手段が必要である。この種の対象物は、振動および衝撃から保護されなければならない。この種の対象物は、容器またはその内部に保存された他の対象物の表面に対して擦れ、掠れ、または衝撃を起こさないように保持しなければならない。また、この種の対象物は、微粒子の生成、静電気、およびガス放出からも保護されなければならない。
電子工業における最近の潮流の展開においては、その結果として、マスク、ディスプレイ、ウエハ、およびディスクの寸法が増大してしまっている。例えば、現在使用されているウエハの大部分は、200mm以下の直径を有するものであるが、300mm前後のウエハを中心とする新しい基準が現れつつある。将来は、層状のウエハさえも広く使用されるに至る可能性がある。ウエハの寸法、重量、および表面積が増加するにつれて、これらを損傷から保護するための新しい技術を見出さなければならない。ウエハを保持するための従来技術における容器で主流となっている剛性の支持体は、特にウエハが長い距離を輸送される場合には、このような比較的大きいウエハを保護するには十分に有効ではない。同様に、従来技術において使用されている可撓性の支持方式は、ウエハに対する損傷を最小とする適切な支持を与えるものではない。従来の方式においては、２つの支持体が設けられており、１つは容器の頂部、１つは底部に置かれ、これらは頂部が閉止される際に互いに180゜の位置に配置されるものであった。よって、輸送の際にこの種の対象物を保護するような様式で、より大きく脆い対象物を固定的に保持することのできる搬送用容器に対する必要性が現実に存在する。
発明の要旨
本発明によれば、底部と、取外し可能な頂部と、一対の外側の人間工学的に設計された（ergonomic）ハンドルと、頂部に対して底部をロックするための一体的なラッチと、３つの内側クッションとを有する容器が提供される。クッションのうちの２つは、搬送用容器の底部に固定されており、１つは頂部に固定されている。頂部が閉止された場合、３つのクッションによって与えられる支持体の中心線は、120゜に等しく離間されている。この改良された支持体の幾何学的構成により、従来の２つのクッションによる設計と比較して、遥かに大きい負荷耐久領域が可能となる。
互いに180゜に配置されたクッションを有する従来の２つのクッションによる設計は、軽くて小さい目的物については比較的適切であった。しかしながら、このような設計においては、容器が側部から側部へと接合されるか、または衝撃を受ける場合は、比較的大きいウエハ等に対して与えられる支持が不十分である。３つのクッションを設けるとともに、搬送される対象物の縁部の周囲においてこれらを等しく離間させることにより、単に上下方向におけるものとしてではなく、すべての方向におけるものとして十分な負荷耐久領域が与えられる。また、この様式で３つのクッションを使用することにより、ウエハの回転が最小となる。これは、ウエハの回転の結果として生成される粒子がウエハに損傷を与え得ることから、望ましいものである。
本発明の利点は、この明細書の一部を成す図面と併せて以下に記載する好適な態様の詳細な説明を読むことにより一層明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
図１は、搬送用容器の外側の斜視図である。
図２は、容器の外側の頂部平面図である。
図３は、容器の外側の側部立面図である。
図４は、容器の外側の端部立面図である。
図５は、容器の外側の底部平面図である。
図６は、図３における線Ａ−Ａによる断面図である。
図７は、図４における線Ｂ−Ｂによる断面図である。
図８は、従来技術による支持方式の概略図である。
図９は、本発明の支持方式の概略図である。
好適な態様の説明
図１乃至５は、容器10の外側を示す。容器10は、複数の対象物を輸送するために特に設計されている。容器10は、対象物を積み込み積み出すための開口部を有する底部20と、開口部を覆うための取り外し可能な頂部30とを備えている。頂部30はスカート32を備え、これは、頂部30が底部の開口部の上方で閉止した位置にある場合に、底部20の外側縁部と重なるように設計されている。また、容器10は、端部12、14に一対のハンドル40を有する。種々の場所において容器10を把持して保持することができる。
頂部30に対して底部20を締結するために、幾つかの手法を使用することができる。例えば、34、36のような孔部を頂部のスカート32に形成することができる。孔部34、36は、頂部30が閉止した位置にある場合に、底部20の突起38と対合するような寸法として配置する。この手法を使用する場合、スカート32を把持して撓ませて、孔部34、36を突起38から離間させ、頂部30を底部20から締結解除する必要がある。頂部30と底部20とを互いに締結するために、当業者によって容易に使用され得る他の種類のラッチが当業者で周知である。
一層有意義であるのは、容器10の内側の構成である。図７に示すように、３つのクッション50、51、52が容器10の内側壁部に固定されている。クッションの中、51、52の２つは底部20に取り付けられており、他のクッション50は頂部30に取り付けられている。カバー30を閉止すると、３つのクッションは、容器10の内部において互いに120゜の角度で中心に配置される。
クッション50、51、52は、好ましくは容器10から取り外し可能とする。これにより、異なる種類の対象物を保持するために、異なる設計のクッションを使用することが可能となる。例えば、フラットパネルまたは液晶ディスプレイを容器10内に保持するために、米国特許第5,423,422号に示されるようなものを使用することができる。容器10を使用してシリコンウエハまたは記憶ディスクを保持する場合は、米国特許第5,273,159号に開示されているようなクッションを使用することができる。これらの両者の特許はエムパック社（Empak,Inc.）が所有するものであり、参照のためにここに組み入れることとする。保持されるマスクまたは他の対象物のために、他の種類のクッションを使用することができる。また、クッション50、51、52は、除去して取り換えることができるものであるため、容器10の有用な寿命が延長される。
図８は、この種のクッション50、51が、従来技術において、対として如何に使用されたかを示すものである。この種のクッション50、51が図８に示されるように使用される場合、この種のクッションは、比較的小さくて軽い対象物を適切に支持することができる。しかしながら、２つのクッションによる構成は、300mmの直径のシリコンウエハのような比較的大きくて重い目的物を十分に支持するには適切ではない。
図８に示される設計に固有の問題は、図９に示される第３のクッション52を加えかつ３つのクッション50、51、52を位置決めすることによって克服される。衝撃または振動によって生じる力は、３つのクッション50、51、52によって吸収され、これにより対象物が移動することはない。
図９においては、ウエハクッション51、52が底部20に取り付けられている。クッション51、52は、ウエハ53に対して互いに約120゜で、ウエハ53の底部から約60゜の、支持体60の中心線を有する。頂部30が所定の場所に載置されると、クッション50も係合してウエハ53を支持し、これにより、クッション50、51に随伴する支持体60の中心線は、約120゜に離間される。
クッション50、51、52の精密な構成は、容器10内に保持される対象物53に依存し得る。しかしながら、この種のクッション50、51、52は、好ましくは共通して所定の特徴を有するものとし得る。この種のクッションは、好ましくは可撓性のエラストマー性（elastomixic）または熱可塑性材料により作製される。それぞれのクッションは、クッション50、51、52を所定の場所に保持するために、係合して容器内のトラックによって保持されるように設計された２つの平行なレール54、55を有するものとし得る。複数の変形可能な部材57がレール54、55の間に延在し、そのそれぞれは複数の対象物の１つに対する支持を助成するように意図されている。それぞれの変形可能な部材57は、一般に、溝部58を形成する一対の仕切り板を有するものとすることができ、支持される対象物53の縁部がこれに受容される。３つのクッション50、51、52の溝部58、クッション50、51、52が共働して、複数の対象物53を離間した平行な設定で支持するように整列配置されている。最も典型的には、クッション50、51、52は、支持体60のそれぞれの中心線上に中心的に配置されるものとし得る。必ずしも当該する訳ではないが、それぞれのクッションの一部分が、支持体60の随伴する中心線のいずれかの側にあるようにするのが有利である。
図７および図９に示されるように３つのクッション50、51、52を位置決めすることから導かれる主要な利点は、容器10内に保存される対象物53に与えられる支持に関するものである。この構成により、クッション50、51、52が、比較的大きい寸法および重量の対象物（例えば、300mm以上の直径を有するウエハ）を固定的に保持すると共に、あらゆる方向における容器10の衝撃に耐えることが可能となる。図８に示す構成では、上下方向の衝撃には対処することができる。しかしながら、衝撃力が側部から加えられた場合（図８の矢印100により示す）や、比較的大きく重い対象物53が容器内に保存された場合は、対象物53が失われるに至るか、または損傷を受けることとなる。よって、図７および図９に示す構成が、図８に示すものよりも優れている。
当業者であれば、底部20および頂部30は、透き通った材料により作製することができ、これにより、容器10が閉止された場合であっても、容器10の内容物を見ることができることが理解されよう。同様に、バーコード、トランスポンダ、またはマイクロターミナルを、同定、追跡、または通信の目的のために、容器10に付与することができる。また、頂部と底部との間の緊密な封止を確実にするために、ガスケットまたはＯリングを設けることができる。最後に、クッション50、51、52は取外し可能であることから、当業者であれば、本発明から逸脱することなく、容器10内に挿入された際に、１または複数のクッションと同一の機能を営み得るカセットを構成することができよう。
添付図面と組み合わせた以上の説明により、当業者に対して本発明の明確な理解が与えられようが、その範囲は添付する特許請求の範囲によって特定されるものである。

Claims (2)

1. 複数の対象物を保持するための容器であって、
   a.前記対象物を積み込み積み出すための開口部を有する底部と、
   b.底部の開口部を覆うための取外し可能な頂部と、
   c.互いに共働して、他の対象物のそれぞれに対して平行で離間した位置において前記複数の対象物のそれぞれを保持するための３つのクッションであって、前記クッションの１つは頂部に取り付けられ、前記クッションの他の２つは底部に取り付けられ、前記クッションのそれぞれは支持体の中心線に沿って前記対象物を支持し、それぞれのクッションに随伴する支持体の中心線が、頂部が底部の開口部を覆う際に、他の２つのクッションのそれぞれに随伴する支持体の中心線に対して約120゜に配置されている３つのクッションと、
   前記クッションのそれぞれが、一対のレールと、複数の 変形可能な部材とを有し、それぞれの変形可能な部材 が、容器内において輸送される対象物の縁部を受容する ための溝部を形成する一対の仕切り板
   を備えることを特徴とする容器。
2. 請求項１記載の容器において、３つのクッションの溝部および仕切り板が、複数の対象物を平行な離間した設定において共働して保持することを特徴とする容器。

Images