KR19980703791A - 300 ㎜ 적재 컨테이너 - Google Patents

Abstract

실리콘 웨이퍼, 강성 메모리 디스크, 포토 디스크, 액정 디스플레이 및 납작한 패널 디스플레이 등을 적재하기 위한 컨테이너가 개시되어 있다. 이 컨테이너는 하체와 상체를 갖고 있다. 새 개의 쿠션이 컨테이너의 내측벽에 마련되어 있다. 덮개를 위치에 두면, 쿠션들은 서로 120°를 이루는 지지 중심선 상에 중심맞춤이 된다. 이와 같이 배치됨으로써, 쿠션들은 다수의 물품들을 서로 펑행하게 이격시킨 상태에서 확실히 홀딩할 수 있게 된다.

Description

300 ㎜ 적재 컨테이너

다양한 컨테이너가 전자 산업에서 마스크, 디스플레이 및 웨이퍼를 전달하는데 사용되고 있다. 이러한 물품들은 깨지기 쉬우므로, 컨테이너내의 이들 물품을 지지하기 위한 신뢰성 있는 수단이 필요하게 된다. 이러한 물품들은 진동이나 충격으로 부터 보호해야 한다. 이러한 물품들은 컨테이너의 표면 또는 그 안에 저장된 다른 물품의 표면을 긁거나 문지르고 또는 충격을 주지 않도록 고정되어야 한다.또한 이러한 물품들은 불순물 입자, 정전기 및 외부 가스로 부터 보호되어야 한다.

잔자 산업에서의 최근 동향에 따르면 마스크, 디스플레이, 웨이퍼 및 디스크의 크기가 증대하고 있다. 예컨데, 현재 사용되는 대부분의 웨이퍼는 200mm 이하의 직경을 갖지만, 직경이 약 300mm 인 표준 웨이퍼가 출현하고 있다. 앞으로는 레이어 웨이퍼도 널리 사용될 것이다. 웨이퍼의 크기, 중량 및 표면적이 증대하고 있으므로, 이러한 웨이퍼의 손상을 막기 위해서는 새로운 기술이 개발되어야 한다. 종래의 컨테이너에서 웨이퍼를 지지하기 위해 사용되는 강성 지지체는 이들 큰 웨이퍼를 보호하는데 충분한 효과를 발휘하지 못하는데, 특히 웨이퍼가 장거리 이동되는 경우에는 더욱 그러하다. 마찬가지로, 종래기술에서 사용되는 가요성 지지체도 웨이퍼에 대한 손상을 최소화하는데 적절한 기능을 하지 못하고 있다. 종래기술의 구성에 따르면 두 개의 지지체가 제공되는데, 하나는 컨테이너의 상체에 배치되고 다른 하나는 하체에 배치되며, 상체가 닫혔을 때 이들 두 지지체는 서로 180°를 이루면서 배치되게 된다.

본 발명은 한 위치로 부터 다른 위치로 물품을 전달할 때 사용되는 컨테이너에 관한 것이다. 구체적으로 말하면, 실리콘 웨이퍼, 강성 메모리 디스크, 포토 마스크, 액정 디스플레이 및 납작한 패널 디스플레이에 특히 적합한 컨테이너에 관한 것이다.

도 1 은 적재용 컨테이너의 외부를 보여주는 사시도.

도 2 는 컨테이너 외부의 상면도.

도 3 은 컨테이너 외부의 측면도.

도 4 는 컨텔이너 외부의 끝면도.

도 5 는 컨테이너 외부의 저면도.

도 6 은 도 3 의 선 A-A 을 따라 취한 단면도.

도 7 은 도 4 의 선 B-B 을 따라 취한 단면도.

도 8 은 종래기술의 지지 방법을 개략적으로 보여주는 도면.

도 9 는 본 발명의 지지 방법을 개략적으로 보여주는 도면.

따라서 본 발명의 목적은, 전달이 되는 동안 깨지지 쉽고 큰 물품들을 보호하면서 이들을 확실히 홀딩할 수 있는 적재용 컨테이너를 제공하는 것이다.

본 발명에 따르면, 하체, 분리가능한 상체, 한 쌍의 인간공학적 외부 핸들, 하체를 상체에 잠금하기 위한 일체식 랫치 (latch) 및 세 개의 내부 쿠션을 구비한 컨테이너가 제공된다. 이들 쿠션 중 두 개는 적재용 컨테이너의 하체에 배치되고, 나머지 하나는 상체에 배치된다. 상체가 닫히면 세 쿠션의 지지 중심선들은 120°의 등간격으로 놓이게 된다. 이와 같이 개선된 지지 방식으로, 종래의 두 쿠션을 이용한 것 보다 더욱 넓은 하중 지지면을 확보할 수 있게 된다.

서로 180°떨어져 위치하는 두 개의 쿠션을 이용한 종래의 구성은 가볍고 작은 물품에 더욱 적합하다. 그러나 이와 구성으로는, 컨테이너가 옆으로 흔들릴 때큰 웨이퍼는 확실하게 지지할 수 없다. 적재될 물품의 테두리를 따라 등각도의 간격으로 배치되는 세 개의 쿠션을 제공함으로써, 상하 방향 이외의 모든 방향으로 충분한 하중 지지면을 확보할 수 있다. 이와 같이 세 개의 쿠션을 사용하면 웨이퍼의 회전도 최대한 억제할 수 있는데, 웨이퍼의 회전 결과로 발생된 입자들이 웨이퍼에 손상을 끼칠 수 있으므로 이와 같은 효과는 특히 바람직한 것이다.

본 발명의 이점은 첨부된 도면을 참고로 한 이하의 상세한 설명으로 부터 더욱 구체적으로 알 수 있을 것이다.

도 1 ∼ 5 에는 컨테이너 (10) 의 외부가 도시되어 있다. 이 컨테이너 (10) 는 다수의 물품을 전달하기 위해 특별히 구성된 것이다. 컨테이너 (10) 는 물품들을 싣고 꺼내기 위한 구멍을 갖는 하체 (20) 와 상기 구멍을 덮기 위한 제거가 가능한 상체 (30) 를 구비하고 있다. 상기 상체 (30) 는 스커트 (32) 를 갖고 있는데, 이 스커트는 상체 (30) 가 하체 (20) 의 구멍위에서 폐쇄위치에 있을 때 이 하체의 외측 테두리와 겹치게 된다. 또한, 컨테이너 (10) 는 단부 (12, 14) 에서 한 쌍의 핸들 (40) 을 구비하고 있다. 사용자는 컨테이너 (10) 를 잡아 들 수 있다.

상기 하체 (20) 를 상체 (30) 에 장착하기 위해 몇몇 기술을 이용할 수 있다. 예컨데, 구멍 (34, 36) 을 상체의 스커트 (32) 에 마련할 수 있다. 상체 (30) 가 폐쇄위치에 있을 때, 상기 구멍 (34, 36) 은 하체 (20) 에 있는 돌기부 (38) 들과 결합하게 된다. 이러한 기술을 사용함에 있어, 하체 (20) 로 부터 상체 (30) 를 분리하고자 할 때는 스커트 (32) 를 잡아 휘어서 구멍 (34, 36) 을 돌기부 (38) 로부터 이탈시켜야 한다. 상체 (30) 와 하체 (20) 를 장착하기 위해 당 기술분야에 익숙한 자들이 쉽게 사용할 수 있는 다른 방식의 장착방법도 당 기술분야에서 잘 알려져 있다.

컨테이너 (10) 의 내부 구성은 매우 중요하다. 도 7 에서 보는 바와 같이, 세 개의 쿠션 (50, 51, 52) 이 컨테이너 (10) 의 내측벽에 구비되어 있다. 두 개의 쿠션 (51, 52) 은 하체 (20) 에 구비되어 있고, 나머지 쿠션 (50) 은 상체 (30) 에 구비되어 있다. 덮개 (30) 를 닫으면, 이들 세 개의 쿠션은 서로 120°의 각도를 이루면서 컨테이너 (10) 의 내부에 대해 중심맞춤이 된다.

상기 쿠션 (50, 51, 52) 은 바람직하게 컨테이너 (10) 로 부터 분리될 수 있도록 되어 있다. 이리하여, 다른 구성의 쿠션들이 다른 종류의 물품들을 홀딩하는데 사용할 수 있는 것이다. 예컨데, 미국특허 제 5,423,422 호에서 소개된 쿠션들은 납작한 패널 또는 액정 디스플레이를 홀딩하는데 컨테이너 (10) 에서 사용될 수 있다. 실리콘 웨이퍼 또는 메모리 디스크를 홀딩하는데 컨테이너 (10) 를 사용하고자 할 때는, 미국특허 제 5,273,159 호에서 소개된 쿠션들을 사용할 수 있다. 상기 특허에 대한 권리 소유는 엠팍 (Empak, Inc.) 에 있으며 본 발명에서 참고로 관련되어 있다. 마스크 또는 다른 물품을 홀딩하고자 할 때는 다른 종류의 쿠션들을 사용할 수 있다. 또한, 상기 쿠션 (50, 51, 52) 은 제거하여 교체할 수 있기 때문에, 컨테이너 (50) 의 유효 수명이 늘어난다.

도 8 은, 종래기술에서 이러한 종류의 쿠션 (50, 51, 52) 이 쌍을 이루어 어떻게 사용되고 있는가를 보여주고 있다. 도 8 에서 보는 바와 같이, 쿠션 (50, 51) 이 사용될 때, 이들 쿠션은 작고 가벼운 물품들을 홀딩하는데 적절히 사용될 수 있다. 그러나, 이러한 쿠션은 직경이 300mm 인 실리콘 웨이퍼와 같은 크고 무거운 물품을 완전하게 홀딩하는데는 적합하지 않다.

도 8 에 도시된 구성에 내재된 문제점은, 도 9 에서 보는 바와 같이 제 3 쿠션 (52) 을 추가하여 새개의 쿠션 (50, 51, 52) 을 사용함으로써 해결할 수 있다. 충격과 진동에 의한 힘은 이들 세 개의 쿠션 (50, 51, 52) 에 흡수되기 때문에, 홀딩된 물품들은 이탈이 되지 않는다.

도 9 를 참조하면, 웨이퍼 쿠션 (51, 52) 이 하체 (20) 에 부착되어 있다. 이들 쿠션 (51, 52) 은 웨이퍼 (53) 에 대한 지지 중심선 (60) 을 갖고 있는데, 각각의 지지 중심선은 서로 약 120°를 이루며 웨이퍼 (53) 의 바닥과는 약 60°를 이루게 된다. 상체 (30) 가 위치하면, 쿠션 (50) 은 웨이퍼 (53) 와 결합하여 이를 지지하게 되며, 이로써 쿠션 (50, 51, 52) 의 각 지지 중심선 (60) 은 약 120°를 이루게 된다.

쿠션 (50, 51, 52) 의 정확한 구성은 컨테이너 (10) 안에서 홀딩될 물품 (53) 에 따르게 된다. 그러나, 이러한 쿠션 (50, 51, 52) 은 어떤 공통적인 특징을 갖는 것이 바람직하다. 이들 쿠션은 가요성 일라스토믹시크 (elastomixic) 또는 열가소성 재료로 만드는 것이 바람직하다. 각 쿠션은 서로 평행한 두 개의 레일 (54, 55) 을 갖고 있는데, 이들 레일은 컨테이너에 있는 트랙과 결합함으로써 쿠션 (50, 51, 52) 을 위치고정시키게 된다. 상기 레일 (54, 55) 사이에는 변형이 가능한 다수의 부재 (57) 들이 뻗어 형성되어 있는데, 각 부재는 물품을 지지하는데 도움을 주게 된다. 변형이 가능한 각 부재 (57) 는 일반적으로 채널 (58) 을 형성하게 되는 한 쌍의 디바이더를 갖고 있는데, 지지될 물품 (53) 의 테두리가 상기 채널에 끼워지게 된다. 세 개의 쿠션 (50, 51, 52) 의 채널 (58) 들은, 이들 쿠션 (50, 51, 52) 이 서로 협력하여 다수의 물품 (53) 들을 서로 평행하게 이격된 상태로 정렬시켜 지지하도록 배치되어 있다. 일반적으로, 상기 쿠션 (50, 51, 52) 은 각각의 지지 중심선 (60) 상에 중심맞춤이 된다. 이것이 반드시 필요한 것은 아니지만, 각 쿠션의 일부가 그에 대한 지지 중심선 (60) 의 양 측에 있는 것이 바람직하다.

도 7, 9 에서 보는 바와 같이, 쿠션 (50, 51, 52) 을 배치함으써 얻게 되는 주된 이점은 컨테이너 (10) 에 저장되는 물품의 지지에 관한 것이다. 이러한 구성으로, 쿠션 (50, 51, 52) 은 크고 무거운 물품 (예컨데, 300mm 이상의 직경을 갖는 웨이퍼) 을 확실하게 지지할 수 있으며 또한 컨테이너 (10) 가 어느 방향으로 진동하든 이의 영향을 막을 수 있다. 도 8 에 도시된 구성으로는 상하 방향의 진동을 처리할 수 있다. 그러나, 크고 무거운 물품 (53) 들이 컨테이너에 저장되어 있고 도 8 에서 화살표 (100) 로 표시된 바와 같이 측방으로 부터 진동력이 가해지면, 상기 물품 (53) 들은 움직이게 되어 손상을 받게 된다. 따라서, 도 7, 9 에 도시된 구성은 도 8 의 구성보다 우수한 것이다.

당 기술분야에 익숙한 자들은 잘 아는 바와 같이, 컨테이너 (10) 가 닫힌 경우에도 컨테이너 (10) 의 내용물을 볼 수 있도록 하체 (20) 와 상체 (30) 를 투명 재료로 만들 수 있다. 마찬가지로, 식별, 트랙킹(tracking) 또는 통신을 목적으로 바코드, 트랜스폰더(transponder) 또는 마이크로 단자를 컨테이너 (10) 에 부착할 수 있다. 결국, 상기 쿠션 (50, 51, 52) 은 제거할 수 있는 것이기 때문에, 당 기술분야에 종사하는 사람들은 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 상태에서, 컨테이너 (10) 안에 삽입되었을 때 상기 쿠션들과 같은 기능을 하게 되는 카세트를 구성할 수 있다. 당 기술분야에 익숙한 자들은 첨부된 도면을 참고로 한 이상의 설명으로 부터 본 발명을 확실히 이해했을 것으로 본다.

Claims (3)

1. 다수의 물품을 내장하고 꺼내기 위한 구멍을 갖는 하체와,

   상기 하체의 구멍을 덮기 위한 분리가 가능한 상체와,

   상기 물품들을 서로에 대해 평행하게 이격시킨 상태에서 각 물품을 지지하기 위해 서로 협력하는 세 개의 쿠션으로서, 이들 쿠션 중 하나는 상체에 배치되고 다른 두 개는 하체에 배치되며, 각 쿠션은 지지 중심선을 따라 물품을 지지하게 되고, 상체가 하체의 구멍을 덮었을 때 각 쿠션의 지지 중심선은 다른 두 쿠션의 지지 중심선과 각각 약 120°를 이루게 되는 것을 특징으로 하는, 상기 다수의 물품을 홀딩하기 위한 컨테이너.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 각 쿠션은 한 쌍의 레일과 다수의 변형가능한 부재를 가지며, 이들 각 부재는 컨테이너에 전달될 물품의 테두리를 수용하기 위한 채널을 형성하게 되는 한 쌍의 디바이더를 갖는 것을 특징으로 하는 컨테이너.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 세 개의 쿠션에 마련된 채널과 디바이더는 서로 협하여 상기 물품들을 서로 평행하게 이격시켜 정렬시킨 상태에서 홀딩하는 것을 특징으로 하는 컨테이너.