JPH11513537A - ３００ｍｍ搬送用容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 シリコンウエハ、剛性の記憶ディスク、フォトマスク、液晶ディスプレイ、およびフラットパネルディスプレイのような対象物を搬送するための容器（１０）を開示する。この容器は、底部（２０）と、取外し可能な頂部（３０）とを有する。３つのクッション（５０、５１、５２）が、容器の内側に取り付けられている。カバー（３０）が所定の場所に載置された場合、クッションは、互いに１２０°をなす支持線（６０）を中心に配置される。このように配置された場合、クッションにより、複数の対象物が平行で離間した設定において固定的に保持される。

Description

【発明の詳細な説明】 ３００ｍｍ搬送用容器 発明の背景 Ｉ．発明の分野 本発明は、１つの位置から他の位置へと対象物を輸送するために使用される容 器に関する。さらに詳しくは、本発明は、シリコンウエハ、剛性の記憶ディスク 、フォトマスク、液晶ディスプレイ、およびフラットパネルディスプレイの輸送 のために特に良好に適合する容器に関する。 ＩＩ．従来技術の説明 マスク、ディスプレイ、ディスク、およびウエハを輸送するために、電子工業 において種々の容器が使用されてきた。この種の対象物は脆い性状を有している ことから、容器内にこの種の対象物を支持するためには極めて信頼性の高い手段 が必要である。この種の対象物は、振動および衝撃から保護されなければならな い。この種の対象物は、容器またはその内部に保存された他の対象物の表面に対 して擦れ、掠れ、または衝撃を起こさないように保持しなければならない。また 、この種の対象物は、微粒子の生成、静電気、およびガス放出からも保護されな ければならない。 電子工業における最近の潮流の展開においては、その結果として、マスク、デ ィスプレイ、ウエハ、およびディスクの寸法が増大してしまっている。例えば、 現在使用されているウエハの大部分は、２００ｍｍ以下の直径を有するものであ るが、３００ｍｍ前後のウエハを中心とする新しい基準が現れつつある。将来は 、層状のウエハさえも広く使用されるに至る可能性がある。ウエハの寸法、重量 、および表面積が増加するにつれて、これらを損傷から保護するための新しい技 術を見出さなければならない。ウエハを保持するための従来技術における容器で 主流となっている剛性の支持体は、特にウエハが長い距離を輸送される場合には 、このような比較的大きいウエハを保護するには十分に有効ではない。同様に、 従来技術において使用されている可撓性の支持方式は、ウエハに対する損傷を最 小とする適切な支持を与えるものではない。従来の方式においては、２つの支持 体が設けられており、１つは容器の頂部、１つは底部に置かれ、これらは頂部が 閉止される際に互いに１８０°の位置に配置されるものであった。よって、輸送 の際にこの種の対象物を保護するような様式で、より大きく脆い対象物を固定的 に保持することのできる搬送用容器に対する必要性が現実に存在する。 発明の要旨 本発明によれば、底部と、取外し可能な頂部と、一対の外側の人間工学的に設 計された（ergonomic）ハンドルと、頂部に対して底部をロックするための一体 的なラッチと、３つの内側クッションとを有する容器が提供される。クッション のうちの２つは、搬送用容器の底部に固定されており、１つは頂部に固定されて いる。頂部が閉止された場合、３つのクッションによって与えられる支持体の中 心線は、１２０°に等しく離間されている。この改良された支持体の幾何学的構 成により、従来の２つのクッションによる設計と比較して、遥かに大きい負荷耐 久領域が可能となる。 互いに１８０°に配置されたクッションを有する従来の２つのクッションによ る設計は、軽くて小さい目的物については比較的適切であった。しかしながら、 このような設計においては、容器が側部から側部へと接合されるか、または衝撃 を受ける場合は、比較的大きいウエハ等に対して与えられる支持が不十分である 。３つのクッションを設けるとともに、搬送される対象物の縁部の周囲において これらを等しく離間させることにより、単に上下方向におけるものとしてではな く、すべての方向におけるものとして十分な負荷耐久領域が与えられる。また、 この様式で３つのクッションを使用することにより、ウエハの回転が最小となる 。これは、ウエハの回転の結果として生成される粒子がウエハに損傷を与え得る ことから、望ましいものである。 本発明の利点は、この明細書の一部を成す図面と併せて以下に記載する好適な 態様の詳細な説明を読むことにより一層明らかとなろう。 図面の簡単な説明 図１は、搬送用容器の外側の斜視図である。 図２は、容器の外側の頂部平面図である。 図３は、容器の外側の側部立面図である。 図４は、容器の外側の端部立面図である。 図５は、容器の外側の底部平面図である。 図６は、図３における線Ａ−Ａによる断面図である。 図７は、図４における線Ｂ−Ｂによる断面図である。 図８は、従来技術による支持方式の概略図である。 図９は、本発明の支持方式の概略図である。 好適な態様の説明 図１乃至５は、容器１０の外側を示す。容器１０は、複数の対象物を輸送する ために特に設計されている。容器１０は、対象物を積み込み積み出すための開口 部を有する底部２０と、開口部を覆うための取り外し可能な頂部３０とを備えて いる。頂部３０はスカート３２を備え、これは、頂部３０が底部の開口部の上方 で閉止した位置にある場合に、底部２０の外側縁部と重なるように設計されてい る。また、容器１０は、端部１２、１４に一対のハンドル４０を有する。種々の 場所において容器１０を把持して保持することができる。 頂部３０に対して底部２０を締結するために、幾つかの手法を使用することが できる。例えば、３４、３６のような孔部を頂部のスカート３２に形成すること ができる。孔部３４、３６は、頂部３０が閉止した位置にある場合に、底部２０ の突起３８と対合するような寸法として配置する。この手法を使用する場合、ス カート３２を把持して撓ませて、孔部３４、３６を突起３８から離間させ、頂部 ３０を底部２０から締結解除する必要がある。頂部３０と底部２０とを互いに締 結するために、当業者によって容易に使用され得る他の種類のラッチが当業界で 周知である。 一層有意義であるのは、容器１０の内側の構成である。図７に示すように、３ つのクッション５０、５１、５２が容器１０の内側壁部に固定されている。クッ ションの中、５１、５２の２つは底部２０に取り付けられており、他のクッショ ン５０は頂部３０に取り付けられている。カバー３０を閉止すると、３つのクッ ションは、容器１０の内部において互いに１２０°の角度で中心に配置される。 クッション５０、５１、５２は、好ましくは容器１０から取り外し可能とする 。これにより、異なる種類の対象物を保持するために、異なる設計のクッション を使用することが可能となる。例えば、フラットパネルまたは液晶ディスプレイ を容器１０内に保持するために、米国特許第5,423,422 号に示されるようなもの を使用することができる。容器１０を使用してシリコンウエハまたは記憶ディス クを保持する場合は、米国特許第5,273,159 号に開示されているようなクッショ ンを使用することができる。これらの両者の特許はエムパック社（Empak，Inc． ）が所有するものであり、参照のためにここに組み入れることとする。保持され るマスクまたは他の対象物のために、他の種類のクッションを使用することがで きる。また、クッション５０、５１、５２は、除去して取り換えることができる ものであるため、容器１０の有用な寿命が延長される。 図８は、この種のクッション５０、５１が、従来技術において、対として如何 に使用されたかを示すものである。この種のクッション５０、５１が図８に示さ れるように使用される場合、この種のクッションは、比較的小さくて軽い対象物 を適切に支持することができる。しかしながら、２つのクッションによる構成は 、３００ｍｍの直径のシリコンウエハのような比較的大きくて重い目的物を十分 に支持するには適切ではない。 図８に示される設計に固有の問題は、図９に示される第３のクッション５２を 加えかつ３つのクッション５０、５１、５２を位置決めすることによって克服さ れる。衝撃または振動によって生じる力は、３つのクッション５０、５１、５２ によって吸収され、これにより対象物が移動することはない。 図９においては、ウエハクッション５１、５２が底部２０に取り付けられてい る。クッション５１、５２は、ウエハ５３に対して互いに約１２０°で、ウエハ ５３の底部から約６０°の、支持体６０の中心線を有する。頂部３０が所定の場 所に載置されると、クッション５０も係合してウエハ５３を支持し、これにより 、クッション５０、５１に随伴する支持体６０の中心線は、約１２０°に離間さ れる。 クッション５０、５１、５２の精密な構成は、容器１０内に保持される対象物 ５３に依存し得る。しかしながら、この種のクッション５０、５１、５２は、好 ましくは共通して所定の特徴を有するものとし得る。この種のクッションは、好 ましくは可撓性のエラストマー性（elastomixic）または熱可塑性材料により作 製される。それぞれのクッションは、クッション５０、５１、５２を所定の場所 に保持するために、係合して容器内のトラックによって保持されるように設計さ れた２つの平行なレール５４、５５を有するものとし得る。複数の変形可能な部 材５７がレール５４、５５の間に延在し、そのそれぞれは複数の対象物の１つに 対する支持を助成するように意図されている。それぞれの変形可能な部材５７は 、一般に、溝部５８を形成する一対の仕切り板を有するものとすることができ、 支持される対象物５３の縁部がこれに受容される。３つのクッション５０、５１ 、５２の溝部５８は、クッション５０、５１、５２が共働して、複数の対象物５ ３を離間した平行な設定で支持するように整列配置されている。最も典型的には 、クッション５０、５１、５２は、支持体６０のそれぞれの中心線上に中心的に 配置されるものとし得る。必ずしも該当する訳ではないが、それぞれのクッショ ンの一部分が、支持体６０の随伴する中心線のいずれかの側にあるようにするの が有利である。 図７および図９に示されるように３つのクッション５０、５１、５２を位置決 めすることから導かれる主要な利点は、容器１０内に保存される対象物５３に与 えられる支持に関するものである。この構成により、クッション５０、５１、５ ２が、比較的大きい寸法および重量の対象物（例えば、３００ｍｍ以上の直径を 有するウエハ）を固定的に保持すると共に、あらゆる方向における容器１０の衝 撃に耐えることが可能となる。図８に示す構成では、上下方向の衝撃には対処す ることができる。しかしながら、衝撃力が側部から加えられた場合（図８の矢印 １００により示す）や、比較的大きく重い対象物５３が容器内に保存された場合 は、対象物５３が失われるに至るか、または損傷を受けることとなる。よって、 図７および図９に示す構成が、図８に示すものよりも優れている。 当業者であれば、底部２０および頂部３０は、透き通った材料により作製する ことができ、これにより、容器１０が閉止された場合であっても、容器１０の内 容物を見ることができることが理解されよう。同様に、バーコード、トランスポ ンダ、またはマイクロターミナルを、同定、追跡、または通信の目的のために、 容器１０に付与することができる。また、頂部と底部との間の緊密な封止を確実 にするために、ガスケットまたはＯリングを設けることができる。最後に、クッ ション５０、５１、５２は取外し可能であることから、当業者であれば、本発明 から逸脱することなく、容器１０内に挿入された際に、１または複数のクッショ ンと同一の機能を営み得るカセットを構成することができよう。 添付図面と組み合わせた以上の説明により、当業者に対して本発明の明確な理 解が与えられようが、その範囲は添付する特許請求の範囲によって特定されるも のである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．複数の対象物を保持するための容器であって、 ａ．前記対象物を積み込み積み出すための開口部を有する底部と、 ｂ．底部の開口部を覆うための取外し可能な頂部と、 ｃ．互いに共働して、他の対象物のそれぞれに対して平行で離間した位置にお いて前記複数の対象物のそれぞれを保持するための３つのクッションであって、 前記クッションの１つは頂部に取り付けられ、前記クッションの他の２つは底部 に取り付けられ、前記クッションのそれぞれは支持体の中心線に沿って前記対象 物を支持し、それぞれのクッションに随伴する支持体の中心線が、頂部が底部の 開口部を覆う際に、他の２つのクッションのそれぞれに随伴する支持体の中心線 に対して約１２０°に配置されている３つのクッションと を備えることを特徴とする容器。 ２．請求項１記載の容器において、前記クッションのそれぞれが、一対のレー ルと、複数の変形可能な部材とを有し、それぞれの変形可能な部材が、容器内に おいて輸送される対象物の縁部を受容するための溝部を形成する一対の仕切り板 を有することを特徴とする容器。 ３．請求項２記載の容器において、３つのクッションの溝部および仕切り板が 、複数の対象物を平行な離間した設定において共働して保持することを特徴とす る容器。