KR200431604Y1 - 기판 랙용 운반 고정물 및 패키지 - Google Patents

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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

기판 랙을 홀딩하기 위한 운반 고정물은 다수의 포스트에 의해 부착되는 상부 및 바닥 단부판을 포함한다. 포스트는 포스트들 사이에 기판 랙을 구속하기에 충분한 거리로 이격된다. 각각의 포스트는 기판 랙에 쿠션을 제공하는 컴플라이언트 범퍼를 구비한 종방향 내부 에지를 가진다. 적어도 일 부분이 광 투과성인 운반 셀은 운반 고정물을 둘러싸서 운반 셀을 개방하지 않고 운반 고정물 및 랙을 보는 것을 허용한다. 외부의 하드 케이싱은 추가의 보호를 위해 운반 셀을 둘러싼다.

Description

기판 랙용 운반 고정물 및 패키지 {TRANSPORTATION FIXTURE AND PACKAGE FOR SUBSTRATE RACK}
도 1(종래 기술)은 기판 랙의 일 실시예를 도시한 사시도.
도 2는 도 1의 기판 랙용 운반 고정물의 일 실시예를 보여주는 사시도.
도 3은 도 1의 기판 랙을 둘러 싸는 도 2의 운반 고정물을 도시한 사시도.
도 4는 도 2의 운반 고정물의 분해 사시도.
도 5는 본 발명의 또 다른 예에 따른 운반 고정물의 일 실시예를 도시한 사시도,
도 6은 운반 고정물을 둘러싸고 운반 셀(shell)을 수용하도록 내부에 포옴을 가지는 하드 케이싱(hard casing)을 보여주는 운반 셀의 일 실시예를 도시한 사시도,
도 7은 운반 셀의 트레이를 연결하기 위해 이용되는 패스너를 상세하게 보여주고 운반 고정물을 둘러싸는 운반 셀의 또 다른 실시예를 도시한 사시도,
도 8은 운반 고정물을 둘러싸는 것을 보여주는 운반 셀의 또 다른 실시예를 도시한 사시도.
도 9는 배기 포트 및 퍼지 가스 포트를 가지는 운반 셀의 일 실시예를 보여주는 단면도.
도 10a는 도 9의 운반 셀의 배기 포트 커플링을 보여주는 단면도.
도 10b는 배기 포트 커플링의 또 다른 실시예를 보여주는 단면도.
도 11은 도 9의 운반 셀의 퍼지 가스 포트 커플링을 보여주는 단면도.
도 12a 및 도 12b는 운반 셀을 운반하기에 적절한 하드 케이싱을 보여주는 사시도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 기판 랙 200 : 운반 고정물
210a : 상부 단부판 210b : 바닥 단부판
220a 내지 220c : 포스트
228a 내지 228f : 종방향 내부 에지
234a 내지 234c : 컴플라이언트 범퍼
240 : 강화 구조물 244 : 핀
800a 내지 800d : 운반 셀 850 : 제 1 트레이
860 : 제 2 트레이 852a : 제 1 주변립
852b : 제 2 주변립 966 : 배기 포트 커플
980 : 퍼지 가스 커플링
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본 고안의 실시예들은 기판 랙을 운반하기 위한 운반 고정물 및 패키지에 관한 것이다.
기판 랙은 디스플레이 패널 및 반도체를 형성하도록 기판의 제조 동안 기판 묶음을 홀딩하기 위해 이용된다. 예를 들면, 웨이퍼 처리 보트와 같은 기판 랙은 각각 반도체 웨이퍼를 홀딩하는 일련의 수직으로 위치된 슬롯을 가진다. 증착 챔버에서 반도체 웨이퍼를 홀딩할 수 있는 예시적인 기판 랙(10)이 도 1에 도시되어 있다. 기판 랙(10)은 스페이서(30)에 의해 분리되고 금속 로드(40)에 의해 서로 홀딩되는 다수의 흑연 디스크(20)를 포함하며, 금속 로드(40)는 스페이서(30)를 통과하여 기판(30) 및 상부판(60)에 연결된다. 랙 부품(20, 30, 40 및 50)은 탄화규소와 같은 세라믹으로 코팅될 수 있어 랙 부품들을 증착 환경으로부터 보호하여 기판 랙(10)으로부터의 오염물이 기판 처리 챔버로 인입되는 것을 방지한다. 기판 랙(10)은 기판 적층부상의 폴리실리콘, 비결정성 실리콘 또는 이산화규소와 같은 증착재료용 화학 증착(CVD) 챔버와 같은 증착 챔버에 배치될 수 있다. 이러한 공정에서, 실리콘 함유 가스는 CVD 챔버로 도입되어 기판 랙(10)이 회전하여 가열되는 동안 플라즈마가 발생한다. 예시적인 기판 랙이 이 같은 랙들을 도시하기 위해 이용되지만, 예를 들면 물리 증착 챔버(PVD), 에칭 챔버, 및 임플란트 챔버와 같은 다른 기판 처리 장치 또는 방법에 이용되는 기판 랙도 이용될 수 있다.
이용중에, 여러 공정 사이클 후, 기판 랙(10)이 세정되거나 재조정(recondition)되어 축적된 공정 증착물을 제거한다. 예를 들면, 전형적인 CVD 공정에서, 기판에 증착된 CVD 재료가 또한 기판 랙(10)에 증착된다. 다수의 CVD 공정 사이클 후, CVD 재료 층이 기판 랙(10)에 증대된다. 증착물의 이러한 증대 층은 증착물이 기판 랙으로부터 파편으로 분리되는 경우 CVD 챔버 및 기판을 오염시킬 수 있다. 따라서, 증착 재료는 기판 랙(10)으로부터 주기적으로 제거되어 추가 공정 사이클에서의 이용을 위해 기판 랙을 재조정하고 세정한다.
통상적으로, 기판 랙은 기판 랙(10)의 세정 또는 재조정을 위해 포장되어 외부 세정 설비로 수송된다. 그러나, 기판 랙(10)의 운반 중에는 여러 문제점이 있다. 첫 번째는, 조립된 기판 랙이 무거워서 종종 약 50 내지 100 파운드 사이의 중량이 나가며 손상되기 쉬어서 파손되지 않고 수송하기가 어렵다. 또한, 기판 랙(10)은 대기 환경에 민감하여 공기에 노출되었을 때 부식 또는 침식될 수 있다. 또한, 기판 랙(10)에 형성된 증착물은 독성이 있어 조작자에게 유해할 수 있다. 따라서, 세정 장소로 수송되기 전에, 얇은 밀봉 층, 통상적으로 도핑되지 않은 실리콘(non-doped silicon)이 기판 랙(10)상에 증착되어 랙상의 증착물에 대한 노출로부터 조작자를 보호한다. 그리고나서, 기판 랙(10)은 공기 쿠션형 "버블-랩(bubble-wrap)"으로 둘러싸서 수송을 위한 목재 크레이트(crate)에 배치된다. 기판 랙(10)이 매우 약하기 때문에, 하나의 위치로, 즉 수직 방향에서 종방향 축선으로, 운반되어야 하며 그렇지 않은 경우 기판 랙의 깨지기 쉬운 부품이 깨지거나 손상될 수 있다. 운반 문제점에 대한 이러한 모든 해결책은 기판 랙(10)의 세정 및 재조정 비용에 추가된다.
세정 장소로의 운반 중에, 기판 랙(10)이 들어 있는 크레이트는 출입국 관리 또는 법 집행 관리에 의해 검사를 받을 수 있다. 검사를 수행하기 위해, 관리는 통상적으로 크레이트를 개봉하여 버블 랩을 제거하여 크레이트내에 밀수품이 들어 있지 않은 것을 확인한다. 검사 후, 기판 랙(10)은 재 포장되어 세정 장소로 운반된다. 세정 장소에서, 기판 랙이 몇 시간동안 산성 배쓰(acid bath)에 넣어져 증착 재료 층이 제거된다. 이때 까지, 기판 랙(10)은 증착 재료 층이 기판의 부품을 서로 접착하기 때문에 조립되고, 기판 랙은 부품을 손상시키지 않고는 분해할 수 없다. 제 1 산성 배쓰 후, 층이 제거되어 기판 랙의 부품이 "비접착 상태(unglued)"로 된다. 그리고나서 기판 랙(10)이 분해되어, 다시 세정되고 약 10 시간 동안 약 400 ℃에서 구워져 건조된다. 일단 건조되면, 분해된 재조정 부품이 포장되어 역으로 거래처로 수송되어, 기판 랙(10)이 재조립되어 이용할 준비가 된다.
상술된 운반 및 재조정 공정 동안, 큰 퍼센트의 기판 랙(10)이 회복불가능하게 손상된다. 예를 들면 거래처에서 검사 동안 및 세정 장소에서, 기판 랙(10)이 포장, 즉 버블 랩으로 둘러 싸이고 크레이트에 배치되어 패킹되지 않거나(unpack) 재포장되지 않을 때, 기판 랙(10)의 부품 상의 탄화규소 코트는 쉽게 깨지거나 파손되어 부품을 쓸모없이 만든다. 크레이트가 수송하는 동안 경사지거나 떨어지는 경우, 부서지기 쉬운 부품이 파손되거나 깨질 수 있다. 기판 랙(10)은 기판 랙을 재조립하는데 통상적인 경험자이거나 기술자가 아닌 실험 기사에 의해 분리될 때 거래처에서 손상될 수 있다. 기판 랙의 손상에 부가하여, 조작자 및/또는 검사 관리는 부품이 깨지거나 파손될 때 얇은 밀봉 층 아래 독성 물질에 노출될 수 있다.
따라서, 세정실로부터 세정 또는 재조정을 위한 외부 설비로 효율적으로 운반하는 것이 바람직하다. 또한 패킹, 언패킹, 및 운반 공정 동안 기판 랙(10)의 파손을 최소화하는 것이 바람직하다. 또한 부품을 손상시키지 않고 기판 랙(10)을 효율적으로 세정하는 것이 바람직하다. 또한 조작 및 운반 동안 랙상의 증착물에 대한 노출로부터 조작자를 보호하는 것이 바람직하다.
기판 랙을 홀딩하기 위한 운반 고정물은 상부 및 바닥 단부판을 포함한다. 다수의 포스트는 상부 단부판을 바닥 단부판에 부착하여 그 사이에 기판 랙을 구속하기에 충분한 거리로 이격되어 있다. 각각의 포스트는 종방향 내부 에지를 가지고 있다. 컴플라이언트 범퍼(compliant bumper)는 포스트의 각각의 종방향 내부 에지에 결합된다. 운반 고정물은 운반 동안 기판 랙에 쿠션을 제공하고 안전하게 보호한다.
또 다른 실시예에서, 운반 고정물은 삼각형이고 정점을 가진 상부 및 바닥 단부판을 포함한다. 3개의 포스트는 상부 단부판의 정점을 바닥 단부판의 정점에 부착한다. 컴플라이언트 범퍼는 각각의 포스트에 결합된다.
광 투과성인 적어도 일 부분을 가지는 운반 셀은 또한 운반 셀을 개방하지 않고 상기 운반 고정물 및 랙을 관찰하는 것을 허용하면서, 상기 운반 고정물을 둘러싸서 외부 환경으로부터 기판 랙을 보호한다. 일 실시예에서, 운반 셀은 제 1 주변 립을 구비하는 개방 단부 및 폐쇄 단부를 가지는 제 1 트레이를 포함하며, 제 1 트레이의 적어도 일 부분은 광 투과성 재료를 포함한다. 제 2 트레이는 제 2 주변 립을 구비하는 개방 단부 및 폐쇄 단부를 포함하며 제 2 트레이의 적어도 일 부분이 광 투과성 재료를 포함한다. 제 1 및 제 2 주변 립은 제 1 및 제 2 트레이의 개방 단부가 서로 직면하여 그 사이에 캐비티를 형성하도록 짝을 이룬다. 밀봉 캐스킷은 주변 립들 사이에 밀봉을 형성하기 위해 이용될 수 있다. 운반 셀은 또한 각각 운반 셀을 비우고 비반응성 가스로 운반 셀을 충전하기 위한 퍼지 가스 커플링 및 배기 포트를 포함한다. 운반 셀은 상기 운반 고정물 및 랙의 통관 수속 또는 다른 시각적 검사를 허용하는데, 그렇지 않은 경우 운반 셀의 내용물을 보기 위해 운반 셀을 개방하는 것이 요구된다.
운반 케이싱은 또한 수송을 위해 운반 셀을 둘러싸는데 이용된다. 운반 케이싱은 운반 셀의 형상을 맞추도록 형성되는 내부 포옴 블록을 가지는 하드 박스를 포함한다. 케이싱은 운반 동안 추가의 기계적인 보호를 제공한다.
본 고안의 이러한 특징, 양상 및 장점은 본 고안의 예들을 설명하는 다음의 상세한 설명, 첨부된 청구범위, 및 첨부된 도면과 관련하여 용이하게 이용하게 된다. 그러나, 각각의 특징은 단지 특별한 도면의 내용이 아닌 본 고안에서 일반적으로 이용될 수 있으며 본 고안은 이 특징들의 어떠한 조합도 포함한다.
운반 패키지는 하나의 챔버로부터 또 다른 챔버로 또는 하나의 설비로부터 또 다른 설비로, 도 1에 도시된 바와 같이 기판 랙(10)을 운반하기 위해 이용될 수 있는 운반 고정물을 포함한다. 예를 들면, 운반 패키지는 증착 챔버에서 랙의 이용후 적절한 설비에서의 세정 또는 재조정을 위해 기판 랙(10)을 운반하기 위해 이용될 수 있다. 운반 패키지는 수송 및 취급 동안 운반 고정물을 위한 보호 컨테이너로서 기능하며, 본 명세서에 도시된 것이 아닌 운반 고정물을 위해 이용될 수도 있다. 운반 고정물은 또한 재조정 처리 동안, 예를 들면 패킹 및 언패킹 동안 산성 또는 다른 세정 배쓰 및 건조 오븐 또는 노 내에 있는 동안 취약한 기판 랙(10)을 홀딩하기 위해 이용될 수도 있다. 운반 고정물은 운반 패키지 내에서 기판 랙(10)을 홀딩하기 위해 또는 동일한 빌딩내에서 또 다른 방으로 기판 랙(10)을 운반하기 위해 이용될 수 있다. 양 운반 패키지 및 운반 고정물은 또한 본 발명의 기술분야의 일반적인 기술자에게 명백한 바와 같이 적절하게 변형된, 본 명세서에서 설명되는 예시적인 기판 랙(10)이 아닌 기판 랙을 운반하기 위해 이용될 수 있다. 따라서, 본 발명의 범위는 본 명세서에서 설명되는 운반 패키지, 운반 고정물 및 랙의 실시예로 제한되지 않아야 한다.
기판 랙(10)을 홀딩하기 위한 예시적인 운반 고정물(200)이 도 2에 도시되어 있다. 일 예에서, 기판 랙(10)은 운반 고정물(200)에 의해 둘러싸여 보호된다. 운반 고정물(200)은 재사용가능하고 고객에게 완전히 재조립된 적절한 기판 랙(10)을 돌려주기 위해 이용될 수도 있다. 운반 고정물(200)은 다수의 포스트(220)에 의해 서로 부착되는 상부 단부판(210a) 및 바닥 단부판(210b)을 포함한다. 단부판(210a, 210b) 및 포스트(220)는 도 3에 도시된 바와 같이 기판 랙(10)을 구속하는 엔클러저(enclosure)를 형성한다. 단부판(210a, 210b) 및 포스트(220)는 예를 들면, 폴리테트라플루오르에틸렌 PTFE(테플론(Teflon)(등록상표)으로 상업적으로 알려짐)과 같은 화학적으로 비활성이고 비금속이며 내온성 재료(temperature-resistant material)로 제조될 수 있어, 운반 고정물(200)은 세정 또는 재조정 공정을 견딜 수 있고 재설정 및 재조립된 기판 랙(10)으로 복귀시키기 위해 이용될 수도 있다.
일 예에서, 바닥 단부판(210b)은 로딩 및 언로딩 공정 동안 기판 랙(10)이 운반 고정물(200)로부터 슬립(slip)되는 것을 방지하는 활재판(skid plate; 230)을 포함한다. 단부판(210a, 210b)은, 기판 랙(10)이 돌출 단부(도시안됨)를 가질 때, 또한 스택과 대면하는 표면(232)에 위치하는 리브, 아일랜드(islands), 메사(mesas) 또는 릿지로서 형성된 상승 범프(도시안됨)을 가질 수 있어 기판 랙(10)과 단부판(210a, 210b) 사이의 접촉을 방지한다. 상승 범프는 또한 기판 랙(10)이 로딩 및 언로딩하는 동안 기판 랙(10)을 수직 위치로 유지하는 것을 보조한다. 상승 범프는 단부판(210a, 210b)의 표면에 결합 또는 단부판에 일체로 형성될 수 있다.
각각의 단부판(210a, 210b)은 블록, 브래킷 또는 거싯(gusset)과 같은 강화 구조물(240)을 포함할 수 있어 단부판(210a, 210b)의 강성을 증가시키고 운반 고정물(200)을 상승 및 홀딩하기 위한 수단과 같은, 다른 기능을 제공한다. 예를 들면, 강화 구조물(240)은 그립 또는 다른 운반 스크랩을 부착하기 위한 수단 또는 핑거-홀드(finger-holds)로서 기능하는 구멍(243)을 포함할 수 있다. 상승부(230) 처럼, 강화 구조물(240)은 단부판(210a, 210b)에 결합되거나 단부판과 일체로 형성될 수 있다. 더욱이, 단부판(210a, 210b)은 개구(250)를 제공하여 기판 랙(10) 부품 상으로의 세정 용액, 즉 산의 유동을 용이하게 할 수 있다.
단부판(210a, 210b)을 결합하는 포스트(220a 내지 220c)는 기판 랙(10)이 도 3에 도시된 바와 같이 포스트들(220a 내지 220c) 사이에 다단히 고정되게 위치한다. 일 예에서, 단부판(210a, 210b)은 삼각형상이고 기판 랙(10)을 지지하기게 적절한 크기를 가진다. 삼각형은 동일한 지지를 제공하는데 적은 재료가 요구되고 적은 공간을 소모하여 더 많은 단부판(210a, 210b)이 하나의 컨테이너내에서 수송되는 것을 허용한다.
도 4를 참조하면, 단부판(210a, 210b)이 삼각형일 때, 단부판(210a, 210b)은 정점(212a 내지 212f)을 가지고 포스트(220a 내지 220c)가 삼각형 단부판(210a, 210b)의 정점(212a 내지 212f)에 연결될 수 있어 포스트들(220a 내지 220c) 사이의 공간을 최대화한다. 삼각형상의 상부 및 바닥 단부판(210a 내지 210b)은 포스트(220a 내지 220c)를 수용하기 위한 크기를 가진 정점(212a 내지 212f)에서 슬롯(214a 내지 214f)을 가질 수도 있다. 그러나, 단부판(210a, 210b)이 삼각형상이 아닌 예에서, 슬롯(214a 내지 214f)이 코너 및/또는 에지에 위치할 수 있다.
도시된 바와 같이, 이러한 예에서, 각각의 포스트(220a, 220b, 220c)는 각각 한 쌍의 연결 스트립(222a,b; 222c,d 및 222e,f)으로 제조된다. 스트립(222a,c,e)은 각각 다른 스트립(222b,d,f)의 내부면(224b,d,f)과 접촉하는 내부면(224a,c,e)을 가진다. 각각의 스트립(222a 내지 226f)은 또한 각각 종방향 내부 에지(228a 내지 228f)를 따라 종방향 그루브(226a 내지 226f)를 가진다. 종방향 그루브(226a 내지 226f)가 서로 정렬될 때, 종방향 그루브는 강화 로드(232)가 내부에 위치될 수 있는 내부 채널을 형성한다. 일 예에서, 강화 로드(232)는 포스트(220)를 강화하며 스테인레스 강 로드일 수 있다. 강화 로드(232)가 채널에 의해 적어도 부분적으로 둘러 싸일 수 있기 때문에, 제조정 공정 동안 이용되는 부식성 용액으로부터 보호된다. 이러한 보호를 보장하기 위해, 스트립(222)은 세라믹 또는 에폭시 실란트(selant)와 같은 보편적인 불활성, 내열 실란트에 의해 함께 연결될 수 있다.
도시된 바와 같이, 각각의 스트립(222)은 운반 고정물(200)의 내부, 즉 기판 랙(10)을 향하여 직면하는 종방향 내부 에지(228a 내지 228f)를 가진다. 종방향 내부 에지(228)는 (도시된 바와 같이)좁거나 (도시되지 않았지만)넓을 수 있다. 일 예에서, 종방향 내부 엣지(228a 내지 228f)는 연결된 종방향 에지(222b)를 따라 컴플라이언트 범퍼(234a 내지 234c)를 수용한다. 종방향 내부 에지(228)를 결합함으로써, 컴플라이언트 범퍼(234)가 단단히 고정된다. 일 예에서, 컴플라이언트 범퍼(234)는 고온 실리콘 실란트로 밀봉되는 스테인레스 강 나사로 부착될 수 있다. 따라서, 컴플라이언트 범퍼(234)의 제공(servicing) 및 대체가 간단하게 된다. 또 다른 예에서, 종방향 내부 에지(228)는 실질적으로 직선형일 수 있으며 컴플라이언트 범퍼(234)는 화학적으로 불활성인 내열 접착제에 의해 종방향 내부 에지(228)에 부착된다. 일 예에서, 컴플라이언트 범퍼(234)는 개방 단부에서 밀봉되는 낮은 경도의 고무와 같은 폴리머 튜브, 일래스토머 스트립 또는 또 다른 컴플라이언트 비 흡수성, 화학적으로 불활성 재료로 제조되는 스트립일 수 있다. 또 다른 예에서, 컴플라이언트 범퍼(234)는 디스크(20)를 고정하기 위해 리지 또는 다른 조직(texture)을 포함할 수 있다. 또 다른 예에서, 컴플라이언트 범퍼(234)는 기판 랙(10)을 홀딩하고 쿠션을 제공하는 공기 블래더(pneumatic bladders)일 수 있다. 컴플라이언트 범퍼(234) 및 포스트(220)를 구비한 운반 고정물(200)은 기판 랙(10), 특히 흑연 디스크(20)를 고정, 보호하고 쿠션을 제공한다. 기판 랙(10)이 운반 고정물(200)로 단단히 로딩될 때, 포스트(220a 내지 220c) 상의 컴플라이언트 범퍼(234a 내지 234c)는 기판 랙의 부품을 손상시키지 않고 기판 랙(10)이 어떠한 위치, 즉 수평방향으로 배치되는 것을 허용한다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 상부 단부판(210a) 및 바닥 단부판(210b)은 포스트(220)에 의해 서로 부착된다. 단부판(210a, 210b)들 중 적어도 하나는 슬롯(214)(도 2)들 중 적어도 하나 주위에 배치되는 힌지 블록(242) 쌍들을 포함한다. 힌지 블록(242)은 단부판(210a, 210b)에 결합되거나 단부판에 일체로 형성될 수 있다. 한 쌍의 힌지 블록(242)은 포스트(220)내의 구멍(221)과 정렬되는 개구(241)를 포함하는 직면 측벽을 가진다. 정렬될 때, 핀(244)은 개구(241) 및 구멍(221)을 통하여 삽입되어 도 4에 도시된 바와 같이 힌지 블록(242)을 경유하여 포스트(220)를 단부판(210a)에 홀딩한다. 일 예에서, 각각의 핀(244)은 또한 핀(244)이 용이하게 제거 또는 삽입되고 또한 핀(244)이 부주위하게 슬립되는 것을 방지하는 핸들(246)에 결합될 수 있다. 더욱이, 핸들(246)은 예를 들면 강화 구조물(240) 및 핸들(246)에 있는 구멍을 통하여 삽입되는 나일론 타이 랩(도시안됨)을 경유하여 강화 구조물(240)에 고정될 수 있다. 단부판(210a, 210b) 및 포스트(220)에 유사하게, 핀(244) 및 핸들(246)은 또한 PTFE(테플론)와 같은 화학적으로 불활성인 내열 재료로 제조될 수 있다. 바람직하게는, 핀(244)은, 후술되는 바와 같이 저마찰 저마모 한지 축도 제공되는, 테플론(등록상표)으로 제조된다.
일 예에서, 핀(244)은 힌지로서 기능하여 하나의 단부판, 예를 들면 바닥 단부판(210b)에 포스트(220) 중 일 단부를 연결하는 핀(244)이 제거되는 경우, 포스트(220)는 상부 단부판(210a)에 포스트(220)의 타단부가 연결되는 핀에 대해 회전할 수 있다. 이는 개방되어 운반 고정물(200)의 내부로 용이한 접근을 허용한다. 포스트(220)의 양 단부는 이러한 방식으로 힌지로서 기능할 수 있다. 또한, 하나 또는 그 이상의 포스트(220)는 힌지로서 기능할 수 있으며, 나머지는 폐쇄되어 단부판(210a, 210b)에 부착될 수 있다.
운반 고정물(200)이 바람직하게는 비금속, 화학적으로 불활성 및 세정 재료로 제조되기 때문에, 기판 랙(10)은 증착 챔버로부터 직접 운반 고정물(200)에 배치될 수 있다. 이를 용이하게 하기 위해, 단부판들 중 하나, 예를 들면 상부 단부판(210a)이 포스트(220)를 상부 단부판(210a)에 부착하는 핀(244)을 제거하고 포스트(220)를외측으로 회전시킴으로써 간단하고 완전하게 제거될 수 있어, 기판 랙(10)이 운반 고정물(200)의 바닥 단부판(210b)으로 낮아지게 한다. 그리고나서, 포스트(220)는 상부 단부판(210a)에 접근하여 재부착된다.
운반 고정물(200)의 또 다른 예에서, 단부판(210a, 210b)은 도 5에 도시된 바와 같이, 각각 기판 랙(10)의 상부에서 지지 프레임(710a) 및 기판 랙(10)의 바닥에서 바닥 지지 프레임(710b)으로서 형성된다. 각각의 지지 프레임(710a, 710b)은 편평한 중앙 허브(712) 및 허브(712)의 중앙으로부터 방사형으로 연장하는 다수의 편평한 아암(714)을 포함한다. 두 개의 인접한 아암들(714) 사이에 형성된 각도는 다수의 편평한 아암(714)에 종속된다. 일 예에서, 3개의 편평한 아암(714)은 수평 평면에서 서로로부터 120°로 균일하게 이격된다. 각각의 아암(714)은 강성 포스트(220)를 수용하여 고정하기 위한 슬롯(716)을 포함한다. 도 5에 도시되지는 않았지만, 각각의 아암(714)은 또한 포스트(220)를 지지 프레임(710a, 710b)에 부착하도록 상술된 힌지 블록(242)을 포함한다.
운반 고정물(200)에는 강성 지지부가 제공되어 스택이 재조정 설비로 그리고 재조정 설비로부터 운반될 때 기판 랙(10)이 파손을 일으킬 수 있는 비틀림 또는 수직력(torsional or normal forces)을 받지 않도록 한다. 더욱이, 운반 고정물(200)이 화학적으로 불활성인 비금속 및 내열 재료로 제조되기 때문에, 운반 고정물(200)은 기판 랙(10)을 따라 세정 용액내에 놓여질 수 있고 자체적으로 손상되지 않고 기판 랙(10), 산성 배쓰 또는 오븐을 고온으로 구울 수 있다. 따라서, 운반 고정물(200)은 기판 랙(10)이 분해될 준비가 될 때까지 재조정 공정 동안 기판 랙(10)을 보호하기 위해 이용될 수 있다. 또한, 기판 랙(10)의 부품이 기술자에 의해 완벽하게 세정 건조 그리고 재조립된 후, 운반 고정물(200)이 완전히 재조정 및 재조립된 기판 랙(10)이 역으로 고객에게 운반되기 위해 재이용될 수 있다. 기판 랙(10)이 복귀되어 재조립되기 때문에, 부품의 재조립을 시도하는 동안 기판 랙(10)을 파손시키는 실험 기사가 감소된다.
일 예에서, 운반 고정물(200)이 운반 셀(800)에 배치되어 운반 패키지(802)를 형성하여 운반 동안 기판 랙(10) 및 운반 고정물(200)을 추가로 보호한다. 일 실시예에서, 도 6에 도시된 바와 같이, 운반 셀(800a)은, 서로 조립될 때 그 사이에 캐비티를 형성하도록 서로 대향되거나 직면하는 실린더로서 형성된 제 1 및 제 2 트레이(850, 860)를 포함한다. 본 명세서에서 설명되는 운반 셀(800a)은 본 발명에 따른 오직 하나의 예시적인 실시예이며 본 발명의 범위를 제한하기 위해 이용되는 것은 아니다. 예를 들면, 트레이는 또한 직사각형 박스 또는 준 반구형 돔(semi-hemispherical dome)으로 형성될 수 있다. 트레이(850, 860)는 운반 동안 외부 쇼크를 견디기에 충분한 강성을 가지는 재료로 제조될 수 있다. 트레이(850, 860)는 또한 리브와 같은 강화 피쳐(reinforcing features)를 포함할 수 있어 그 구조를 보강한다. 트레이(850, 860)는 바람직하게는, 운반 고정물(200)의 표면에 대해 마모될 때 개별 그레인이 분리되지 않는, 부드럽고 탄성적인 비 과립형 표면을 가진다. 바람직하게는, 트레이(850, 860)의 표면은 연속적이고 파손되지 않고 구멍이 없으며 운반 고정물(200)을 패킹 또는 언패킹할 때 분리되지 않는 개별 그레인이 존재하지 않는다. 일 예에서, 예를 들면 트레이(850, 860)의 부드럽고 탄성적인 표면이 약 10 마이크로인치 보다 작은 rms 거칠기를 가진다. 트레이(850, 860)의 표면은 또한 세척가능하여 오염물이 입자 제어 환경으로 운반 셀을 도입하기 전에 제거된다.
조립된 쌍의 트레이(850, 860)는 운반 고정물(200) 및 기판 랙(10)을 둘러 싸는 자체 직립 리셉터클로서 기능하며 내재 핸들(도시안됨)을 가질 수 있어 운반 고정물(200)을 재조정 환경 또는 세정실로 직접 운반할 수 있다. 조립된 쌍의 트레이(850, 860)는 밀봉 및 안정화 환경의 세정 룸에서 일정 시간 주기 동안 저장될 수도 있으며 기판 랙(10)이 공정 챔버에서 중간 이용을 위해 필요할 때만 개방될 수 있어, 트레이(850, 860)내의 기판 랙(10)의 어떠한 오염물도 추가로 감소시킬 수 있다.
트레이(850, 860)는 트레이(850, 860)의 주변부 둘레에 형성되는 제 1 및 제 2 연속 주변 립(852a, 852b)을 포함할 수 있다. 밀봉 개스킷(도시안됨)은 트레이의 주변 립들(852a, 852b) 사이에 배치될 수 있어 조립된 트레이들(850, 860) 사이에 타이트한 밀봉을 제공하여 기판 랙(10) 및 운반 고정물(200)이 오염물로부터 보호된다. 주변 립(852a, 852b)은 두 개의 트레이(850, 860)를 밀봉시키기 위해 필요한 가스 타이트 밀봉부의 길이를 감소시킨다. 또한,주변 립(852a, 852b)은 운반 셀(800a)에서 운반 고정물(200) 및 기판 랙(10)에 접근을 제공하도록 상부 트레이(850)를 상승시킬 때 운반 셀이 수직으로 위치하는 것을 허용한다. 이러한 예는 운반 셀에 배치되거나 운반 셀로부터 제거될 때 운반 고정물(200) 및 기판 랙(10)이 수직 배향으로 유지될 때 유용한다.
바람직하게는, 운반 셀(800a)의 적어도 일 부분이 홀딩된 기판 랙(10)의 내부의 시각적 검사를 허용하도록 광 투과성인 강성 재료로 제조된다. 본 상세한 설명에서 이용되는 바와 같이, 광 투과성은 광의 파장의 적어도 일부가 재료를 통과하는 것을 허용하는 재료, 예를 들면 투명한, 반투명한, 흐릿한, 부분적으로 불투명한 재료를 지칭한다. 예를 들면, 적절한 광 투과성 재료는 적어도 약 20%의 시각적인 광 투과율을 가질 수 있다. 운반 셀(800a)은 또한 전달된 광 및 시계의 명료성을 강화하도록 폴리싱된 표면일 수 있다. 운반 셀(800a)은 또한 전체적으로 광 투과성 재료로 제조될 수 있으며 운반 셀의 일 부분만이 윈도우와 같은 광 투과성 재료로 제조될 수 있다. 검사자는 밀봉부를 파손하여 개방하지 않고 빈(bin)의 내용물을 시각적으로 검사할 수 있다. 예를 들면, 하나의 예에서, 하나 또는 그 이상의 트레이(850, 860)가 광 투과성 재료로 제조될 수 있지만, 양 트레이(850, 860) 전체가 광 투과성 재료로 제조될 수도 있다. 더욱이, 운반 셀(800a)은 내용물의 성질 및 운반 셀(800a)의 개방과 관련된 잠재적 위험을 표시하는 마크를 포함할 수 있다. 이러한 표시는 운반 셀(800a)의 광 투과성 재료의 내부 표면 상에 제공될 수 있다.
적절한 광 투과성 강성 재료는 고밀도 폴리에틸렌, 예를 들면 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 글리콜-변형 PET(PETG), 유향성 PET(O-PET), 또는 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN) 또는 서로간의 또는 다른 레진을 구비한 이들의 혼합물을 기재로 한 폴리머와 같은 열 설정 열가소성 폴리머이다. 바람직하게는, 투과성 강성 재료는, 이스라엘(Israel) 라매트 요하난(Ramat Yohanan) 팔램(Palram)에 의해 제조된 팔-지 시트(PAL-G sheet)와 같이, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 글리콜(PETG)과 같이, 가열될 때 연화되어 몰드 형상을 형성되는 몰딩가능한 열 가소성이다. 트레이(850, 860)는 열 가소성 재료의 단일 블랭크 시트로부터 보편적인 플라스틱 몰딩 기술을 이용하여 단일 통합 피스로서 몰딩될 수 있다. 블랭크 시트는 열성형되어 히트 세팅(heat-seting)되는 얇은 벽형 트레이가 되고 이 트레이는 진공 보조, 공기 보조, 기계적 플러그 보조 또는 정합 몰드와 같은 열성형 장비 및 방법을 이용한다. 단일 몰드는 또한 트레이를 이용할 수도 있으며 몰딩 트레이의 일 부분이 절단될 수 있어 절단된 트레이가 도 9에 도시된 바와 같이 3개 이상의 상이한 섹션을 가지는 운반 셀을 형성하도록 조립된다.
유용하게는, 운반 셀(800a)은 운반 셀을 개방하거나 밀봉을 파손하지 않고 내용물의 시각적 검사를 가능하게 된다. 기판 랙(10)이 파손되거나 깨지는 경우, 파손은 부분 분포 보세 창고와 같은, 중간 수송 지점에서 운반 셀(800a)의 개방없이 즉시 발견할 수 있다. 운반 셀의 내용물을 개방 및 오염시키지 않고 선적하기 전에 둘러싸여져 포장된 스택을 가지는 운반 패키지(802)의 상태에서 검사하는 것이 바람직하다. 운반 셀(800a)은 또한 밀봉부를 파손하여 스택이 항해 완료시 후속적으로 손상될 수 있는 잠재적으로 나쁜 환경이 되도록 하지 않고, 국경간 국제 운반 동안 새롭고 더 엄격한 통관 수속 검사에 따라 세관 직원이 내용물을 확인할 수 있도록 한다. 운반 셀(800a)은 또한 외부 환경으로부터 유용한 기밀 밀봉을 유지하면서 취약한 기판 랙(10)이 세정실로부터 재조정 설비 및 그 역으로 안전하게 수송되는 것이 허용된다.
운반 패키지(802)는 또한 예를 들면 도 6, 12a 및 12b에 도시된 바와 같이 운반을 위해 운반 셀(800a)(또는 본 명세서에서 설명되는 어떠한 다른 운반 셀 버젼)을 둘러 싸기 위해 이용되는 하드 케이싱(870)을 포함한다. 케이싱(870)은 도 6에 도시된 바와 같이 운반 셀(800a)의 외부 형상과 정합하는 내부 형상 또는 절단 형상을 가지는 내부 포옴 블록(876)을 가지는 박스(874)를 포함한다. 상기 형상의 내부 포옴 블록(876)은 필요한 절단 형상을 형성하도록 서로에 대해 본딩되는 세정실 포옴의 개별 블록으로 제조된다. 세정실 포옴은 예를 들면 조테포옴(Zotefoam)의 "플라스타조테 엘디-24(Plastazote LD-24)"와 같은, 매우 압축된 스폰지, 폴리에틸렌 포옴 재료이다. 세정실 포옴은 통상적으로 다공성인, 예를 들면 약 10 내지 100 마이크론 크기를 가지는 구멍을 구비하는, 개방 운반 셀형 구조물을 가진다.
통상적으로, 케이싱(870)은 세정실 외부로 개방되고 둘러싸여진 스택을 구비한 운반 고정물(200)을 포함하는 운반 셀(800a)이 케이싱(870)으로부터 제거되고 세정이 필요한 경우, 세정실로 운반된다. 포옴 블록(876)의 구멍내에 들어 있는 가스가 세정실 환경내로 배출될 수 있고 또한 3차원 매트릭스를 형성하기 위해 이용되는 포옴의 블록들 사이의 접착 층이 가스를 배출하거나 폴리메릭 오염물 입자를 형성할 수 있기 때문에, 운반 패키지가 세정실로 운반되지 않는다.
박스(874)는 통상적으로 플라스틱 또는 금속 시트와 같은 강성 재료로 모두 제조되는 상부벽(877), 측벽(878) 및 바닥벽(879)을 포함한다. 적절한 강성 플라스틱은 몰딩 폴리프로필렌, 예를 들면 미국 메사츄세츠 사우쓰 디어필드의 하디그 인더스.(Hardigg indus.)에 의해 제조되는 케이싱을 포함한다. 박스(874)의 벽(878, 879, 881)은 또한 금속 에징(metal edging; 883), 예를 들면 알루미늄 에징으로 강화될 수 있다. 박스(874)는 또한 핸들(880) 및 휠(882)을 가질 수 있어 도 12a 및 도 12b에 도시된 바와 같이, 선적 차량으로부터 웨이퍼 제조 설비 또는 개조 설비의 세정실로 패킹된 부품의 운반을 용이하게 한다.
운반 셀(800)의 다른 예가 지금부터 설명된다. 하나의 예에서, 운반 셀(800b)은 도 7에 도시된 바와 같이 종방향 및 횡방향 축선에 평행하게 연장하는 골(trough)을 가지는 립(852a, 852b)을 포함한다. 트레이(850, 860)의 횡방향 립(852a, 852b)은 트레이(850, 860)를 서로 고정하도록 나사 또는 다른 패스너(856)가 삽입될 수 있는 다수의 구멍(855)을 포함할 수 있다. 운반 셀(800b)의 길이 및 폭의 조합된 거리가 주변 거리 보다 더 크기 때문에 횡방향 립(852a, 852b)은 립 밀봉부의 접촉 면적을 증가시킨다. 또한, 횡방향 립(852a, 852b)은 운반 셀이 내부 운반 고정물(200) 및 기판 랙(10)으로의 측방향 접근을 제공하는 수평 위치에서 제거되는 것을 허용한다.
도 8을 참조하면, 운반 고정물(200) 및 기판 랙(10)을 홀딩하기 위한 운반 셀(800c)의 또 다른 실시예는 운반 고정물(200)을 둘러싸는 상부 트레이(901), 중앙 트레이(902), 및 바닥 트레이(903)를 포함하는 3개의 인터록킹 트레이를 포함한다. 각각의 트레이(901 내지 903)는 섹션(901 내지 903)을 패스너(도시안됨)를 경유하여 서로 연결하는 것을 허용하는 립(910)을 포함한다. 이러한 예에서, 주변 립(910)의 적어도 하나는 또한 내용물을 구비한 운반 셀(800c)을 상승 및 이동시키기 위한 핸들로서 기능한다. 이중 개방 운반 셀(800c)은 운반 셀의 내용물로의 용이한 접근만을 허용하는 상부를 개방하는 것을 허용하기 위해 제공된다. 또한, 상부는 운반 셀을 지지하기 위한 푸트(foot)로서 기능하는 상승된 강화 스트립(907)을 가질 수 있다.
도 9 내지 도 11에 도시된, 운반 셀(800d)의 또 다른 예는 또한 상이한 방식으로 서로 연결되는 3개의 트레이(952, 954 및 956)를 포함한다. 도 9를 참조하면, 상부 트레이(952)는 편평하고 제 2 트레이(954)의 내부 립(960)과 정합되는 외부 립(958)을 포함하며 상기 내부 립은 상기 외부 립(958) 내로 슬라이드되어 가스 타이트 밀봉부를 형성한다. 따라서, 운반 셀(800d)의 상부 조인트는 외향 연장 립이 존재하지 않는다. 제 2 트레이(954) 및 제 3 트레이(956)는 운반 셀로부터 외측 횡방향으로 연장하고 운반 셀을 홀딩하고 이동시키기 위한 그립을 제공하는 만곡단부(962a, 964a)를 각각 가지는 립(962 및 964)에 의해 연결된다. 외측으로 연장하는 립(962, 964)은, 75 파운드 이상 나가는 패키지에 대한 현재 OSHA 규정에 의해 요구된 바와 같이, 적어도 3명이 동시에 운반 셀을 들어올릴 수 있도록 한다. 밀봉부는 예를 들면 립을 따라 60도 간격으로 위치하는 6개의 1/4 회전 패스너(951)를 이용하여 립(962, 964) 각각의 편평한 내부(962b 및 964b)에 형성된다. 또한, 운반 셀(800d)과 동일한 재료로 제조되는 두 개의 강화 버켓(bucket; 953a,b)이 이러한 영역에서 특별한 강도를 제공하는 운반 셀(800d)의 상부 및 바닥 영역 둘레에 위치될 수 있다. 또한, 트레이(952, 954, 및 956)는 모두 동일한 몰드로 제조될 수 있어 제조 비용을 절감하고 립과 같은 부분이 절개되어 도시된 바와 같이 3개의 상이한 형상을 형성한다.
또 다른 예에서, 운반 셀은 또한 도 10b에 도시된 바와 같이 배기 포트 커플링(966)을 수용하도록 리세스형 컵(974)을 가질 수 있다. 이러한 예에서, 리세스형 컵(974)은 배기 포트 커플링(966)의 상부면(975)이 상부벽(967)의 상부면(976)과 동일 평면이 되도록 배기 포트 커플링(966)과 조립되는 크기이다. 리세스형 컵(974)은 배기 포트 커플링(966)을 보호하고 운반 셀의 운반동안 갑작스런 급정지 사고(accidental knock-off) 타입 손상을 방지한다. 리세스형 컵(974)은 보편적인 몰드 조립체에서 운반 셀과 동시에 컵을 몰딩함으로써 제조된다. 이러한 예에서, 클램핑형 플랜지(969)는 상부벽(967)의 바닥면(977)에 장착되는 제 1 강화판(972), 및 상부 트레이(952)의 상부벽(967)의 상부면(976)에 장착되는 제 2 강화판(973)과 결합한다.
배기 포트 커플링(966)은 상부 트레이(952)의 상부벽(967)에 위치한다. 배기 포트 커플링(966)은 충분히 커서, 예를 들면 독성 가스를 탐지하기 위해, 운반 셀에 있는 가스를 차단하기 위해 이용되는, 보편적인 드래저(Draeger) 가스 샘플링 튜브의 삽입을 허용한다. 그러나, 이는 또한 너무 크지 않아야 하며 그렇지 않은 경우 상부 벽(967)으로부터 너무 많이 돌출될 것이다. 도 10a는 (ⅰ) NW-25 어댑터와 같은 어댑터(968), (ⅱ) 스테인레스 강 링을 구비한 오링 밀봉부(969), (ⅲ) 블랭크 오프 플레이트(970), 및 (ⅳ) 클램셀(clamshell)이 조립체의 상부 둘레에 조립되는 클램프 셀(971)(이들 모두 미국 캘리포니아 유레카의 노-칼 프로덕트(Nor-Cal products)로부터 이용가능함)을 포함하는 배기 포트 커플링(966)의 예시적인 실시예를 보여준다. 배기 포트 커플링(966)은 플랜지를 웨이퍼 제조 또는 개장 설비의 통상적인 "하우스" 배출 스크러빙 시스템("house" exhaust scrubbing system)으로 연결함으로써 운반 셀에 존재하는 공기 또는 다른 가스의 펌핑을 허용한다. 클램핑된 플랜지(969)는 내부에 장착되고 상부 트레이(952)의 상부벽(967)에 본딩되는 하나 또는 그 이상의 강화판(972, 973)과 결합한다. 내부 장착판(972, 973)은 두껍고 강하여 조인트를 강하게 하고 예를 들면 약 2 내지 약 20 mm의 두께의 운반 셀과 같은 재료(폴리에틸렌 테레프탈레이트 글리콜과 같은)의 원형판일 수 있다. 배기 포트 커플링(966)의 다양한 부품은 서로 그리고 플랜지(969)에 본딩될 수 있어 엠씨마스터 카르 517에이2 피이티지(McMaster Carr 517A2 PETG) 접착제와 같은 접착제를 이용하여 가스 타이트 밀봉부를 형성한다.
퍼지 가스 커플링(980)은 바닥 트레이(956)의 측벽(982)에 위치한다. 퍼지 가스 커플링(980)은 퍼지 가스가 외부 퍼지 가스 소스(도시안됨)로부터 운반 셀로 유입되는 것을 허용한다. 통상적인 퍼지 가스는 질소 또는 아르곤과 같은 비 반응성 가스를 포함하며 운반 셀에 비활성 또는 비 반응성 환경을 제공하는 기능을 하여 기판 랙(10)이 외부 환경에 노출되는 것을 방지한다. 도 10은 (ⅰ) 정상 기능 중 용이하게 움직이지 않고 나사(983)에 의해 부착되는 안티(anti) 회전 브래킷(981), (ⅱ) 보편적인 VCR 타입 피팅(984), 페이스 밀봉판 및 개스킷(986), 및 (ⅳ) 및 조립체를 함께 홀딩하기 위한 너트(988)(모두 미국 오하이오 솔론 스와게로크(Swagelok)로부터 이용가능함)를 포함하는 퍼지 가스 커플링(980)의 예시적인 실시예를 보여준다. 내부 가스 편향판(992)은 화살표 "994"에 의해 도시된 바와 같이, 운반 셀(800d)의 내부의 바닥을 향하여 하방으로 퍼지 가스의 유입 흐름을 편향시키도록 형성되어 퍼지 가스가 운반 고정물(200) 또는 기판 랙(10)에 직접 충돌하는 것을 방지한다. 퍼지 가스를 이러한 부분에 직접 불어넣음으로써 입자가 움직여서 취약한 코팅을 느슨하게 한다. 내부에 장착된 보강판(994)은 조립체를 강화하기 위해 제공된다. 다양한 부품이 전술한 바와 같이 접착제로 밀봉될 수 있다.
본 발명이 소정의 바람직한 예를 참조하여 설명되었지만, 다른 예도 가능하다. 예를 들면, 운반 패키지(802) 및 운반 고정물(200)이 예를 들면 다른 취약한 공정 부품을 수송하는, 본 기술분야의 기술자에게 명백한 다른 타입의 분야에 이용될 수 있다. 운반 고정물(200)의 다른 구성이 처리 부품의 형상 및 크기를 수용하기 위해 이용될 수도 있다. 예를 들면, 단부판(210a, 210b)의 형상이 삼각형 또는 프레임이 아닌 형상, 예를 들면 사각형, 육각형 또는 원형 또는 프레임일 수 있다. 운반 셀(800)은 또한 다른 재료로 제조될 수 있거나 불투명 재료에 의해 둘러 싸이는 투명한 재료의 작은 윈도우를 가질 수 있다. 케이싱(870)은 또한 다른 형상, 예를 들면 원통형일 수 있으며 강철 또는 다른 금속으로 제조될 수 있다. 따라서, 첨부된 청구범위의 사상 및 범위는 본 명세서의 바람직한 예의 상세한 설명에 제한되는 것은 아니다.
따라서, 본 고안에 의해, 세정실로부터 세정 또는 재조정을 위한 외부 설비로 효율적으로 운반하고, 패킹, 언패킹, 및 운반 공정 동안 기판 랙(10)의 파손을 최소화하며, 부품을 손상시키지 않고 기판 랙(10)을 효율적으로 세정하고, 및 운반 동안 랙상의 증착물에 대한 노출로부터 조작자를 보호하게 된다.

Claims (13)

  1. (a) 상부 단부판(210a) 및 바닥 단부판(210b),
    (b) 상기 상부 단부판(210a)을 상기 바닥 단부판(210b)에 부착하기 위한 다수의 포스트(220a 내지 220c)로서, 그 사이에 기판 랙(10)을 구속하기에 충분한 거리로 이격되고 각각이 종방향 내부 에지(228a 내지 228f)를 가지는 포스트(220a 내지 220c), 및
    (c) 상기 포스트(220a 내지 220c)의 종방향 내부 에지(228a 내지 228f)에 각각 결합되는 다수의 컴플라이언트 범퍼(234a 내지 234c)를 포함하는,
    기판 랙을 홀딩하기 위한 운반 고정물.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 포스트(220a 내지 220c)는 힌지를 형성하는 핀(244)에 의해 상기 단부판(210a, 210b)에 연결되는,
    기판 랙을 홀딩하기 위한 운반 고정물.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 단부판(210a) 및 상기 바닥 단부판(210b)은 삼각형이고 정점을 가지며, 상기 포스트(220a 내지 220c)가 상기 정점에 연결되는,
    기판 랙을 홀딩하기 위한 운반 고정물.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 단부판(210a) 및 사기 바닥 단부판(210b)은 강화 구조물(240)을 포함하고 상기 운반 고정물(200)을 운반하기 위한 핑거-홀드를 포함하는,
    기판 랙을 홀딩하기 위한 운반 고정물.
  5. 제 1 항에 있어서,
    각각의 상기 컴플라이언트 범퍼(234a 내지 234c)는 폴리머 튜브를 포함하는,
    기판 랙을 홀딩하기 위한 운반 고정물.
  6. 제 5 항에 있어서,
    각각의 상기 폴리머 튜브는 조직화된 표면을 포함하는,
    기판 랙을 홀딩하기 위한 운반 고정물.
  7. (a) 폐쇄 단부 및 개방 단부를 가지고 제 1 주변 립(852a)을 가지며 적어도 일부가 광 투과성 재료를 포함하는, 제 1 트레이(850),
    (b) 폐쇄 단부 및 개방 단부를 가지고 제 2 주변 립(852b)을 가지며 적어도 일부가 광 투과성 재료를 포함하는, 제 2 트레이(860), 및
    (c) 그 사이에 밀봉을 형성하도록 상기 제 1 주변 립(852a) 및 상기 제 2 주변 립(852b)들 사이에 밀봉 개스킷을 포함하며,
    상기 제 2 주변 립(852b)은 상기 제 1 주변 립(852a)과 정합하여 상기 제 1 트레이(850) 및 상기 제 2 트레이(860)의 개방 단부들이 서로 직면하는,
    운반 셀.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 트레이(850) 및 상기 제 2 트레이(860)가 실린더를 포함하는,
    운반 셀.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 주변 립들(852a, 852b)이 상기 운반 셀(800a 내지 800d)로부터 외측으로 횡방향으로 연장되는,
    운반 셀.
  10. 제 7 항에 있어서,
    배기 포트 커플링(966) 및 퍼지 가스 커플링(980)을 포함하는,
    운반 셀.
  11. 제 7 항에 있어서,
    상기 광 투과성 재료는 약 20% 이상의 가시 광선 투과율을 포함하는,
    운반 셀.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 광 투과성 재료는 히트 세팅 열가소성 폴리머를 포함하는,
    운반 셀.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 광 투과성 재료는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 글리콜-변형 PET(PETG), 유향 PET(O-PET), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN), 또는 서로간의 혼합물 또는 다른 레진과의 혼합물을 포함하는,
    운반 셀.
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