KR20130005748U - 반도체 소자를 보관하는 용기 - Google Patents

반도체 소자를 보관하는 용기 Download PDF

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Abstract

반도체 소자를 보관하는 용기가 개시되어 있다. 용기는 수용 본체 및 커버를 포함한다. 수용 본체에는 그 내에 적어도 1개의 체결구 그리고 적어도 1개의 구동기가 배치된다. 체결구는 구동기와 접촉되는 롤링 요소를 포함한다. 구동기가 회전될 때에, 구동기는 체결구가 수용 본체 내에서 이동되게 구동시킨다. 체결구의 적어도 1개의 고정 부분이 커버의 적어도 1개의 체결 부분을 향해 이동된다. 커버는 체결 부분 내에 로킹된 고정 부분에 의해 수용 본체 상에 고정된다. 더욱이, 체결구와 구동기 사이의 마찰이 용기 내에서의 오염물의 생성을 방지하고 용기 내에 보관된 반도체 소자가 오염되는 것을 보호하도록 체결구와 구동기 사이의 접촉 면적을 감소시키는 롤링 요소에 의해 최소화된다. 이와 같이, 용기는 높은 청정도의 상태로 있다.

Description

반도체 소자를 보관하는 용기{CONTAINER FOR STORING SEMICONDUCTOR DEVICE}
본 고안은 용기에 특히 반도체 소자를 보관하는 용기에 관한 것이다.
선폭이 90 ㎚보다 작은 반도체 칩이 웨이퍼 가공 기술에서의 무수한 획기적인 발전 그리고 개발로 인해 웨이퍼 파운드리(foundry)에서 또는 반도체 가공 플랜트에서 제조되었다. 단위 웨이퍼당 더 많은 반도체 소자가 최소화된 선폭 그리고 증가된 집적 밀도에 따라 제조된다. 그러나, 높은 집적 밀도를 갖는 반도체 소자는 상당히 취약하다. 입자, 먼지, 유기 물질, 가스, 휘발물 등의 소량의 오염물이라도 반도체 소자 내의 결함, 또는 정전기 그리고 반도체 소자를 손상시키는 단락을 초래한다.
반도체 소자의 일반적인 제조 공정에서, 낮은 수준의 공기 오염물을 갖는 청정실이 반도체 소자의 보호를 위해 사용된다. 제조된 후에, 반도체 소자의 운반 중의 반도체 소자의 오염 억제를 위해 보호 용기가 요구된다.
운반 또는 보관 중에 일어나는 반도체 소자에 대한 손상을 방지하기 위해, 용기 구조 그리고 용기 내의 체결 부재의 개선에 집중하는 많은 기술이 제공되었다. 표준화 기계 인터페이스의 동작 시스템에서, 기계 핀이 용기를 개방 및 폐쇄하도록 용기 내의 체결 부재의 구동기 내로 삽입된다.
그러나, 마찰이 용기 내의 체결 부재의 구성 요소들 사이에서 일어난다. 이와 같이, 체결 부재의 동작이 불안정하고 또한 용기는 매끄럽게 개방 또는 폐쇄되지 않는다. 소량의 오염물이라도 마찰로 인해 생성되고, 용기 내에 보관된 반도체 소자는 오염된다.
위의 문제점을 해결하기 위해, 적어도 1개의 체결구 그리고 적어도 1개의 구동기를 갖는 적어도 1개의 체결 부재를 포함하는 반도체 소자를 보관하는 신규한 용기를 제공할 필요가 있다. 롤링 요소가 체결구와 구동기 사이의 접촉 면적을 감소시키고 체결구와 구동기 사이의 마찰을 최소화시키도록 체결구 상에 장착된다. 이와 같이, 어떠한 오염물도 용기 내에서 생성되지 않고, 용기 내의 반도체 소자는 오염되지 않을 것이다. 용기는 높은 청정도의 상태로 있다.
그러므로, 본 고안의 제1 목적은 적어도 1개의 체결구 그리고 적어도 1개의 구동기를 갖는 체결 부재를 포함하는 반도체 소자를 보관하는 용기를 제공하는 것이다. 체결구에는 구동기와 접촉되는 롤링 요소가 장착된다. 이와 같이, 체결구와 구동기 사이의 접촉 면적이 감소되고, 체결구와 구동기 사이의 마찰이 오염물의 생성을 방지하고 용기 내의 반도체 소자를 보호하도록 최소화된다. 용기의 높은 청정도가 성취된다. 더욱이, 롤링 요소는 구동기의 회전에 따라 이동되고, 체결구와 구동기 사이의 마찰이 효과적으로 감소된다. 이와 같이, 체결 부재는 양호하게 동작되고, 용기는 매끄럽게 개방 및 폐쇄된다.
위의 목적을 달성하기 위해, 본 고안의 반도체 소자를 보관하는 용기는 커버, 측벽 상에 적어도 1개의 삽입 구멍을 갖는 수용 본체 그리고 구동기를 포함한다. 수용 본체는 내부에 배치되는 적어도 1개의 체결구를 포함한다. 체결구는 체결 본체, 적어도 1개의 고정 부분, 구동 부분 그리고 롤링 요소를 포함한다. 고정 부분은 체결 본체의 하나의 측면에 그리고 수용 본체의 삽입 구멍에 대응하여 배열되고, 한편 구동 부분은 체결 본체의 다른 측면 상에 배치된다. 롤링 부분은 구동 부분 상에 장착된다. 구동기는 수용 본체 내에 배치되고, 구동 부분에 대해 위치되고, 체결구의 롤링 요소와 접촉된다. 커버는 그 측벽에 적어도 1개의 체결 부분을 포함하는 수용 본체 위에 덮인다. 체결 부분은 삽입 구멍에 대응한다. 구동기가 회전될 때에, 구동기는 체결구가 수용 본체 내에서 이동되게 구동시킨다. 체결구의 고정 부분은 커버의 체결 부분 상에 장착되도록 수용 본체의 삽입 구멍을 통해 삽입된다. 이와 같이, 커버는 수용 본체 상에 고정된다.
위의 그리고 다른 목적을 달성하도록 본 고안에 의해 채택되는 구조 및 기술 수단은 양호한 실시예의 다음의 상세한 설명 그리고 첨부된 도면을 참조함으로써 가장 양호하게 이해될 수 있다.
도1은 본 고안에 따른 실시예의 용기의 분해도이다.
도2는 본 고안에 따른 실시예의 용기의 부분 분해도이다.
도3은 본 고안에 따른 실시예의 용기의 또 다른 부분 분해도이다.
도4는 본 고안에 따른 실시예의 구동기의 사시도이다.
도5는 본 고안에 따른 실시예의 구동기와 조립된 체결구의 사시도이다.
도6은 본 고안에 따른 실시예의의 수용 본체의 사시도이다.
도7은 본 고안에 따른 실시예의 탄성 요소의 개략도이다.
도8은 본 고안에 따른 또 다른 실시예의 용기의 부분 분해도이다.
도9는 본 고안에 따른 또 다른 실시예의 구동기와 조립된 체결구의 사시도이다.
용기 내에 보관된 반도체의 오염을 유발하는 용기의 체결 부재의 각각의 구성 요소 사이에서 일어나는 마찰의 문제점을 해결하기 위해, 본 고안의 반도체 소자를 보관하는 용기가 제공된다.
도1, 도2 및 도3을 참조하면, 반도체 소자를 보관하는 용기(1)는 커버(10), 수용 본체 및 밀봉 판(112)을 포함한다. 적어도 1개의 반도체 소자가 수용 본체(111)의 외부 표면 상에 적재되고, 커버(10)는 수용 본체(111)의 외부 표면 위에 배치된다. 수용 본체(111)에는 내부에 체결 부재가 장착되고, 밀봉 판(112)은 수용 본체(111) 내에 체결 부재를 고정하도록 체결 부재에 대해 위치된다. 커버(10)는 체결 부재에 의해 수용 본체(111) 상에 고정된다. 이와 같이, 용기(1)는 기밀되고, 외부 오염물로부터 자유롭다. 그러므로, (포토마스크, 웨이퍼 등의) 반도체 소자는 오염되지 않을 것이다. 용기(1)의 공기-기밀성을 더욱 증가시키기 위해, 밀봉부(14)가 오염물이 용기(1) 내로 진입되는 것을 방지하도록 커버(10)와 수용 본체(111) 사이에 배치된다. 이와 같이, 높은 수준의 청정도가 용기(1) 내에서 성취된다.
수용 본체(111)는 내부 표면(1111) 그리고 내부 표면(1111)의 주연부 주위의 측벽(1112)을 포함한다. 이와 같이, 수용 공간이 수용 본체(111) 내에 형성된다. 이러한 실시예의 체결 부재는 수용 공간 내에 장착되고, 2개의 체결구(121) 그리고 구동기(122)를 갖는다. 2개의 체결구(121)는 수용 본체(111)의 내부 표면(1111)에 대칭으로 배열되고, 각각의 체결구(121)는 체결 본체(1211) 그리고 체결 본체(1211)의 하나의 측면에 배치되는 2개의 고정 부분(1212)을 포함한다. 수용 본체(111)의 측벽(1112)에는 2개의 체결구(121)의 4개의 고정 부분(1212)에 각각 대응하는 4개의 삽입 구멍(1110)이 배치된다. 커버(10)와 관련하여, 그 측벽에는 또한 수용 본체(111)의 4개의 삽입 구멍(1110)에 각각 대응하는 (도1에 도시된 것과 같은) 4개의 체결 부분(102)이 배열된다. 이와 같이, 2개의 체결구(121)의 4개의 고정 부분(1212)은 수용 본체(111) 상에 커버(10)를 고정하도록 수용 본체(111)의 4개의 삽입 구멍(1110)에 각각 통과된다. 이러한 실시예에서, 고정 부분(1212)은 볼록한 부분이고, 한편 고정 부분(1212)에 대응하는 체결 부분(102)은 슬롯이다. 고정 부분(1212) 및 체결 부분(102)은 또한 서로 로킹되는 다른 형태로 되어 있을 수 있다.
도4를 참조하면, 구동기(122)는 수용 본체(111)의 내부 표면 상에 배치되고, 2개의 체결구(121) 사이에 있다. 더욱이, 수용 본체(111)의 내부 표면에는 도3에 도시된 것과 같이 피벗 부분(1113)이 배열된다. 구동기(122)는 (도2에 도시된 것과 같이) 구동 본체(1221) 그리고 회전 샤프트(1222)를 포함한다. (도3에 도시된 것과 같이,) 구동 본체(1221)는 제1 표면(12211) 및 제2 표면(12212)을 포함하고, 한편 회전 샤프트(1222)는 구동 본체(1221)의 제1 표면(12211) 상에 배치되고, 피벗 부분(1113)에 피벗식으로 연결된다. 이와 같이, 구동기(122)는 수용 본체(111) 내에서 회전 가능하다. 더욱이, 베어링(1114)이 추가로 수용 본체(111)의 피벗 부분(1113) 상에 배치되고, 회전 샤프트(1222)는 피벗 부분(1113)에 피벗식으로 연결되도록 베어링(1114)에 피벗식으로 연결된다. 베어링(1114)은 피벗 부분(1113)과 회전 샤프트(1222) 사이의 마찰을 감소시키고 구동기(122)가 수용 본체(111) 내에서 매끄럽게 회전되게 하는 데 사용된다.
도2 및 도5를 참조하면, 구동기(122)는 각각 2개의 안내 부재(1223) 즉 돌출 로드를 추가로 포함한다. 2개의 안내 부재(1223)는 구동 본체(1221)의 제1 표면(12211)으로부터 돌출되고, 회전 샤프트(1222)로부터 구동 본체(1221)의 주연부까지 각각 연장된다. 각각의 체결구(121)의 체결 본체(1211)의 다른 측면에는 구동 부분(1213)이 배열된다. 2개의 체결구(121)의 구동 부분(1213)은 구동기의 2개의 안내 부재(1223) 사이에 각각 위치되고, 한편 2개의 안내 부재(1223)는 대응하는 구동 부분(1213)에 대해 각각 위치된다.
밀봉 판은 수용 본체(111) 아래에 고정되고, 수용 본체(111)의 내부 표면(1111)과 밀봉 판(112) 사이에 구동기(122)를 고정하도록 구동기(122)의 구동 본체(1221)의 제2 표면(12212)에 대해 위치된다. 이와 같이, 체결 부재는 수용 본체(111) 내에 고정된다. 이러한 실시예에서, 회전 샤프트(1222)는 회전 샤프트(1222)에 반대되는 힘이 구동기(122)의 주연부 주위에서 발생되지 않도록 수용 본체(111) 내의 구동기 상에 직접적으로 고정되지 않는다. 그래서, 구동기(122)는 힘에 의해 영향을 받아 회전 중에 불안정해지지 않을 것이다.
도3을 참조하면, 밀봉 판(112) 상에는 2개의 삽입 구멍(1121)이 존재한다. 이러한 실시예에서, 각각의 삽입 구멍(1121)은 곡선형이다. 구동기(122)의 구동 본체(1221)에는 2개의 구동 구멍(1224)이 배열된다. 각각의 구동 구멍(1224)은 안내 부재(1223)를 관통하지 않으면서 안내 부재(1223)까지 구동 본체(1221)를 관통한다. 이와 같이, 구동 구멍(1224)은 막힌 구멍이다. 밀봉 판(112)의 2개의 삽입 구멍(1121)은 구동기(122)의 2개의 구동 구멍(1224)에 대응한다. 사용자가 구동기(122)를 회전시키고자 할 때에, 핀(2)이 삽입 구멍(1121)을 통해 삽입되고, 구동 구멍(1224)을 통해 삽입되고, 그 다음에 구동기(122)가 회전되게 구동시키도록 삽입 구멍(1121) 내에서 이동된다.
구동기(122)가 회전될 때에, 구동기(122)의 2개의 안내 부재(1223)는 2개의 체결구(121)의 2개의 구동 부분(1213)을 압박하고, 2개의 체결구(121)는 수용 본체(111) 내에서 수평으로 이동된다. 구동기(122)가 반시계 방향으로 회전되는 동안에, 2개의 안내 부재(1223)는 2개의 체결구(121)의 2개의 구동 부분(1213)을 압박한다. 이와 같이, 2개의 체결구(121)는 수용 본체(111)의 2개의 측면을 향해 각각 이동되고, 각각의 체결구(121)의 고정 부분(1212)은 커버(10)의 체결 부분(102)에서 로킹되도록 이동된다. 그래서, 커버(10)는 수용 본체(111) 상에 체결된다. 구동기(122)가 시계 방향으로 회전되면, 2개의 안내 부재(1223)는 수용 본체(111)의 중심을 향해 이동되도록 2개의 체결구(121)의 2개의 구동 부분(1213)을 압박한다. 이와 같이, 각각의 체결구(121)의 고정 부분(1212)은 커버(10)의 체결 부분(102)으로부터 해제된다. 그러므로, 커버(10) 및 수용 본체(111)는 서로로부터 분리된다.
계속하여, 도3을 참조하면, 체결구(121)의 선형 이동을 위해, 수용 본체(111)에는 추가로 2개의 제1 정지 부분(1115)이 장착된다. 2개의 제1 정지 부분(1115)은 2개의 정지 부분(1115) 사이에서 수평으로 이동되도록 2개의 체결구(121)의 2개의 측면 상에 각각 위치된다. 바꿔 말하면, 정지 부분(1115)은 체결구(121)의 이동 방향에 평행하다. 나아가, 수용 본체(111)에는 추가로 구동기(122)의 2개의 측면 상에 각각 위치되는 2개의 제2 정지 부분(1116)이 배치된다. 2개의 정지 부재(1225)가 구동기(122)의 구동 본체(1221)의 주연부 상에 배치된다. 2개의 정지 부재(1225)는 2개의 제2 정지 부분(1116) 사이에 각각 위치된다. 또한, 도6을 참조하면, 구동기(122)가 회전될 때에, 구동기(122)의 2개의 정지 부재(1225)는 구동기(122)의 회전 각도를 제한하도록 2개의 제2 정지 부분(1116) 사이에서 각각 이동된다. 더욱이, 2개의 제3 정지 부분(1117)이 수용 본체(111)의 내부 표면(1111)에 배열되고, 각각의 체결구(121)의 체결 본체(1211)에는 위치 설정 구멍(1214)이 배치된다. 각각의 제3 정지 부분(1117)은 수용 본체(111) 내에서의 2개의 체결구(121)의 위치를 제한하도록 위치 설정 구멍(1214)에 대응한다.
수용 본체는 2개의 체결구(121)를 지지하도록 2개의 제1 정지 부분(1115) 사이에 그리고 2개의 체결구(121) 아래에 배열되는 복수개의 지지 부분(1118)을 추가로 포함한다. 지지 부분(1118)은 수용 본체(111)의 내부 표면(1111)으로부터 떨어지게 2개의 체결구(121)를 유지하는 데 그리고 2개의 체결구(121)와 수용 본체(111)의 내부 표면(1111) 사이의 접촉 영역을 감소시키는 데 사용된다. 이와 같이, 2개의 체결구(121)와 수용 본체(111)의 내부 표면(1111) 사이의 마찰력은 감소된다. 그러므로, 2개의 체결구(121)는 수용 본체(111)의 내부 표면(1111) 상에서 매끄럽게 이동된다.
도2, 도3, 도4 및 도5를 참조하면, 구동기(122)에는 추가로 각각이 구동 본체(1221)의 제1 표면(12211)으로부터 돌출되는 돌출 블록인 2개의 가압 부분(1226)이 배치된다. 2개의 가압 부분(1226)은 2개의 안내 부재(1223) 사이에 각각 위치된다. 가압 부분(1226)은 안내 표면(12261) 및 위치 설정 슬롯(12262)을 포함한다. 구동기(122)가 반시계 방향으로 회전되는 동안에, 구동 부분(1213)을 갖는 각각의 체결구(121)의 하나의 측면이 대응하는 가압 부분(1226)의 안내 표면(12261)에 대해 위치된다. 구동 부분(1213)의 표면에 대해 위치되는 안내 표면(12261)은 구동기(122)의 회전에 따라 구동 부분(1213)의 표면을 따라 이동된다. 이와 같이, 구동 부분(1213)을 갖는 체결구(121)의 하나의 측면이 안내 표면(12261)을 따라 하강되고, 한편 고정 부분(1212)을 갖는 체결구(121)의 하나의 측면이 상승된다. 이와 같이, 고정 부분(1212)은 커버(10)의 체결 부분(102)과 로킹되고, 용기(1)는 양호한 공기-기밀성을 갖는다. 램프(12111)가 가압 부분(1226)에 대해 위치되는 각각의 체결구(121)의 구동 부분(1213)의 하나의 측면 상에 배치된다. 가압 부분(1226)은 도5에 도시된 것과 같이 구동 부분(1213)의 표면까지 체결 본체(1211)의 램프(12111)를 따라 이동되고, 그 다음에 구동 부분(1213)의 표면을 따라 이동된다.
2개의 롤링 부분(1227)이 가압 부분(1226) 아래에서 구동기(122)의 구동 본체(1221) 상에 장착된다. 구동기(122)가 회전될 때에, 롤링 부분(1227)은 구동기가 밀봉 판(112)과 직접적으로 접촉되지 않게 한다. 이와 같이, 구동기(122)와 밀봉 판(112) 사이의 마찰이 감소된다. 더욱이, 2개의 롤링 부분(1227)은 구동기(122)가 안정되게 회전되도록 구동기(122)의 회전에 따라 롤링된다. 이와 같이, 구동기(122)와 밀봉 판(112) 사이의 마찰에 의해 생성되는 오염물이 오염물로부터 반도체 소자를 보호하도록 감소된다. 이러한 실시예의 롤링 부분(1227)은 베어링이고, 다른 구성 요소일 수 있다.
2개의 롤링 부분(1227)은 구동기(122)가 안정되게 회전될 수 있게 하지만, 롤링 부분(1227)과 밀봉 판(112) 사이에서는 여전히 마찰이 일어난다. 이와 같이, 몇몇 오염물이 반도체 소자를 오염시키도록 생성될 수 있다. 내마모성 부분(1122)이 밀봉 판(112)에 부착되고, 롤링 부분(1227)과 밀봉 판(112) 사이의 마찰을 감소시키고 롤링 부분(1227)에 의해 유발되는 밀봉 판(112)의 마모를 최소화시키도록 밀봉 판(112)과 2개의 롤링 부분(1227) 사이에 위치된다. 생성된 오염물의 양은 용기(1) 내의 반도체 소자의 오염을 방지하도록 더욱 최소화된다.
도6을 참조하면, 수용 본체(111)는 대응하는 체결구(121)의 하나의 측면 상에 각각 위치되는 2개의 연결 부분(1119)을 추가로 포함한다. 각각의 체결구(121)의 체결 본체(1211)에는 또한 연결 부재(1215)가 배치된다. 각각의 연결 부분(1119)은 탄성 부분(13)에 의해 체결구(121)의 대응하는 연결 부재(1215)에 연결된다. 수용 본체(111)의 각각의 제1 정지 부분(1115)은 대응하는 탄성 부분(13)에 의해 삽입되는 슬릿(11151)을 포함한다. 탄성 부분(13)의 길이는 수용 본체(111)가 용기(1)의 밀봉 판(112)에 의해 완전히 폐쇄되도록 수용 본체(111)의 두께보다 짧다. 커버(10)의 체결 부분(102)과 로킹된 각각의 체결구(121)의 위치는 체결구(121)의 최초 위치로서 정의된다. 2개의 체결구(121)가 수용 본체(111)의 중심을 향해 이동될 때에, 탄성 부분(13)이 또한 체결구(121)와 함께 수용 본체(111)의 중심을 향해 이동되고, 그 다음에 슬릿(11151)의 하나의 측면에 의해 정지된다. 복원력이 탄성 부분(13)이 슬릿(11151)의 측면과 접촉되고 그에 의해 정지될 때에 재료 탄성으로 인해 탄성 부분(13)에 의해 생성된다. 복원력은 체결구(121)가 최초 위치로 복귀될 수 있게 한다. 구동기(122)가 정상적으로 동작되지 않을 때에, 탄성 부분(13)은 여전히 체결구(121)가 그 최초 위치로 복귀되게 한다. 체결구(121)는 수용 본체(111) 및 커버(10)가 서로로부터 분리되는 것을 방지하도록 커버(10)의 체결 부분(102)에 체결된다.
도7을 참조하면, 탄성 부분(13)은 제1 부분(131) 그리고 제1 부분(131)에 연결되는 제2 부분(132)을 포함한다. 제2 부분(132)은 체결구(121)의 체결 본체(1211)에 대해 가압되도록 제1 부분(131)에 대해 하향으로 경사져 있다. 제1 부분(131)의 하나의 단부가 수용 본체(111)의 연결 부분(1119) 상에 배치되고, 제2 부분(132)의 하나의 단부가 체결구(121)의 연결 부재(1215) 상에 배치된다.
체결구(121)의 구동 부분(1213)이 가압 부분(1226)에 의해 가압될 때에, 체결구의 고정 부분(1212)은 상승되어 체결 부분(102)에 체결된다. 탄성 부분(13)의 제1 부분(131)에 대해 하향으로 경사져 있는 탄성 부분(13)의 제2 부분(132)은 체결구(121)의 고정 부분(1212)이 상승된 상태로 체류되고 커버(10)의 체결 부분(102)과 로킹되도록 체결 본체(1211)에 대해 가압된다. 이와 같이, 용기(1)는 높은 수준의 공기-기밀성을 갖는다.
도8 및 도9를 참조하면, 본 고안의 또 다른 실시예가 개시되어 있다. 도면에 도시된 것과 같이, 구동기(122)가 회전되어 각각의 구동 부분(1213)의 표면의 일부와 접촉될 때에, 마찰이 구동기(122)의 가압 부분(1226)과 구동 부분(1213) 사이에서 일어난다. 구동기(122)와 구동 부분(1213) 사이의 마찰을 최소화시키기 위해, 롤링 요소(12110)가 마찰이 일어나는 체결구(121)의 구동 부분(1213)에 배열된다. 이와 같이, 구동기(122)의 가압 부분(1226)의 안내 표면(12261)은 체결구(121)의 구동 부분(1213) 상의 롤링 요소(12110)와 접촉되고, 구동 부분(1213)과 가압 부분(1226) 사이의 접촉 면적은 감소된다. 그러므로, 구동 부분(1213)과 가압 부분(1226) 사이의 마찰이 오염물의 생성을 최소화시키고 용기 내의 반도체 소자를 보호하도록 더욱 감소된다.
구동기(122)가 회전되는 동안에, 구동기(122)의 가압 부분(1226)의 안내 표면(12261)이 체결구(121)의 구동 부분(1213) 상의 롤링 요소(12110)와 접촉되기 때문에 구동기(122)는 롤링 요소(12110)가 롤링되게 구동시킨다. 그러면, 롤링 요소(12110)는 안내 표면(12261)을 따라 롤링 및 이동된다. 위치 설정 슬롯(12262)은 안내 표면(12261)의 후방 단부에 배열된다. 롤링 요소(12110)가 안내 표면(12261)을 따라 롤링되고 위치 설정 슬롯(12262)까지 이동될 때에, 롤링 요소(12110)는 정지되고, 위치 설정 슬롯(12262)에 의해 위치 설정된다. 이와 같이, 체결구(121)의 고정 부분(1212)은 커버(10)의 체결 부분(102) 상에 고정된다. 이러한 실시예에서, 롤링 요소(12110)와 안내 표면(12261) 사이의 마찰은 안내 표면(12261)을 따른 롤링 요소(12110)의 회전에 의해 감소된다. 이와 같이, 구동기(122)는 체결구(121)가 수용 본체(111) 내에서 이동되게 매끄럽게 구동시키고, 체결 부재가 양호하게 동작될 수 있게 한다. 그러므로, 용기(1)는 매끄럽게 개방 및 폐쇄된다. 이러한 실시예의 롤링 요소(12110)는 베어링 또는 다른 구성 요소일 수 있다. 롤링 요소(12110)는 또한 구동기(122)가 수용 본체(111)에 체결되는 다른 구조에 적용될 수 있다.
요약하면, 본 고안은 커버가 용기를 밀봉하고 오염으로부터 용기를 보호하도록 수용 본체 내의 체결 부재에 의해 수용 본체 상에 고정되는 반도체 소자를 보관하는 용기를 제공한다. 체결 부재는 적어도 1개의 체결구 그리고 적어도 1개의 구동기를 포함한다. 체결구 및 구동기는 수용 본체 상에 배치된다. 구동기는 나사에 의해 체결되는 대신에 구동기에 대해 밀봉 판에 의해 수용 본체 내에 고정된다. 이와 같이, 구동기는 안정되게 회전된다. 구동기에는 구동기와 밀봉 판 사이의 마찰에 의해 생성되는 오염물을 방지하고 오염으로부터 용기 내에 보관된 반도체 소자를 보호하도록 구동기와 밀봉 판 사이의 접촉 면적을 감소시키는 2개의 롤링 부분이 배열된다. 더욱이, 내마모성 부분이 밀봉 판에 부착되고, 여기에서 밀봉 판은 롤링 부분과 밀봉 판 사이의 마찰에 의해 생성되는 오염물의 양을 감소시키고 용기 내의 반도체 소자를 보호하도록 2개의 롤링 부분과 접촉된다.
나아가, 체결 부재의 각각의 체결구에는 구동기와 접촉되는 롤링 요소가 배치된다. 롤링 요소는 구동기와 체결구 사이의 마찰에 의해 생성되는 오염물을 최소화시키도록 구동기와 체결구 사이의 접촉 면적을 감소시키는 데 사용된다. 이와 같이, 용기 내에 보관된 반도체 소자는 오염되지 않을 것이다. 롤링 요소는 그 사이의 마찰을 감소시키고 체결구가 수용 본체에서 이동하도록 구동시키는 구동기의 매끄러운 동작을 보장하도록 구동기의 회전에 따라 롤링된다. 이와 같이, 체결 부재는 매끄럽게 동작되고, 용기는 매끄럽게 개방 및 폐쇄된다.
추가의 장점 및 변형이 당업자에게 용이하게 떠오를 것이다. 그러므로, 본 고안은 그 더 넓은 측면에서 특정한 세부 사항 그리고 여기에서 예시 및 설명된 대표 장치에 제한되지 않는다. 따라서, 다양한 변형이 첨부된 특허청구범위 그리고 그 등가물에 의해 한정된 것과 같은 본 고안의 일반 개념의 사상 또는 범주로부터 벗어나지 않으면서 수행될 수 있다.

Claims (23)

  1. 반도체 소자를 보관하는 용기이며,
    측벽 상에 적어도 1개의 삽입 구멍을 갖는 수용 본체로서, 수용 본체는,
    수용 본체 내에 배치되는 적어도 1개의 체결구로서, 체결구는 체결 본체, 적어도 1개의 고정 부분, 구동 부분 그리고 롤링 요소를 갖고; 고정 부분은 수용 본체의 삽입 구멍에 대응하고 체결 본체의 하나의 측면에 배열되고, 한편 구동 부분은 체결 본체의 다른 측면 상에 배치되고, 롤링 요소는 구동 부분 상에 장착되는, 적어도 1개의 체결구와;
    수용 본체에 피벗식으로 연결되고 구동 부분에 대해 위치되고 체결구의 롤링 요소와 접촉되는 구동기와;
    수용 본체의 외부 측면에 배열되고 측벽 상에 적어도 1개의 체결 부분을 갖는 커버로서, 체결 부분은 삽입 구멍에 대응하는, 커버를 갖는, 수용 본체를 포함하고,
    구동기는 체결구가 수용 본체 내에서 이동되게 구동시키고, 체결구의 고정 부분은 구동기가 회전될 때에 수용 본체 상에 커버를 고정하기 위해 체결 부분 상에 장착되도록 수용 본체의 삽입 구멍을 통해 삽입되는,
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  2. 제1항에 있어서, 반도체 소자를 보관하는 용기는 커버와 수용 본체 사이에 배열되는 밀봉부를 추가로 포함하는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  3. 제1항에 있어서, 수용 본체는 내부에 배치되고 체결구를 지지하도록 체결구 아래에 위치되는 적어도 1개의 지지 부분을 추가로 포함하는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  4. 제1항에 있어서, 수용 본체는 수용 본체 내에 배치되는 2개의 제1 정지 부분을 추가로 포함하고; 제1 정지 부분은 체결구의 2개의 측면에 각각 배열되고, 체결구의 이동 방향에 평행한
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  5. 제1항에 있어서, 수용 본체는 수용 본체 내에 배치되는 2개의 제2 정지 부분 그리고 구동기에 배열되는 2개의 정지 부재를 추가로 포함하고; 제2 정지 부분은 구동기의 2개의 정지 부재들 사이에 각각 배치되고; 구동기의 정지 부재는 2개의 제2 정지 부분들 사이에서 각각 이동 가능한
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  6. 제1항에 있어서, 수용 본체는 수용 본체 내에 배치되고 체결 본체의 위치 설정 구멍 내로 장착되는 적어도 1개의 제3 정지 부분을 추가로 포함하는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  7. 제1항에 있어서, 반도체 소자를 보관하는 용기는 탄성 부분을 추가로 포함하고; 탄성 부분의 하나의 단부가 수용 본체의 연결 부분에 연결되고, 그 다른 단부는 체결구의 연결 부재에 연결되는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  8. 제7항에 있어서, 탄성 부분은 제1 부분 및 제2 부분을 포함하고; 제1 부분의 하나의 단부가 수용 본체의 연결 부분에 연결되고, 한편 제2 부분의 하나의 단부가 체결구의 연결 부재에 연결되고; 제2 부분은 제1 부분에 대해 경사져 있는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  9. 제1항에 있어서, 구동기는,
    제1 표면 그리고 제1 표면에 대응하는 제2 표면을 갖는 구동 본체로서, 제1 표면은 체결구와 접촉되는, 구동 본체와;
    구동 본체의 제1 표면 상에 배치되고 수용 본체의 피벗 부분에 배열되는 회전 샤프트를 포함하는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  10. 제9항에 있어서, 수용 본체는 피벗 부분 상에 배치되는 베어링을 추가로 포함하고, 회전 샤프트는 베어링에 배열되는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  11. 제9항에 있어서, 구동기는 구동 본체의 제1 표면으로부터 돌출되고 회전 샤프트로부터 구동 본체의 주연부까지 연장되고 체결 본체의 구동 부분에 대해 위치되는 적어도 1개의 안내 부재를 추가로 포함하는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  12. 제9항에 있어서, 반도체 소자를 보관하는 용기는 수용 본체 아래에 고정되고 체결구 및 구동기를 덮는 밀봉 판을 추가로 포함하는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  13. 제12항에 있어서, 밀봉 판은 구동기의 적어도 1개의 구동 구멍에 대응하고 적어도 1개의 핀이 삽입되게 하는 적어도 1개의 삽입 구멍을 포함하고; 핀은 삽입 구멍을 통해 삽입되고, 구동 구멍을 통해 삽입되고, 구동기를 회전시키도록 삽입 구멍 내에서 이동 가능한
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  14. 제9항에 있어서, 구동기는 구동 본체의 제1 표면으로부터 돌출되고 롤링 요소와 접촉되는 적어도 1개의 가압 부분을 추가로 포함하는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  15. 제14항에 있어서, 구동 부분에 대응하는 가압 부분의 표면이 안내 표면이고; 구동 부분에 근접한 체결구의 하나의 측면이 안내 표면과 함께 상승 및 하강되고; 롤링 요소는 가압 부분의 안내 표면에 대해 위치되는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  16. 제15항에 있어서, 위치 설정 슬롯이 안내 표면의 후방 단부 상에 배치되고, 롤링 요소는 위치 설정 슬롯 내에 장착되는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  17. 제1항에 있어서, 롤링 요소는 베어링인
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  18. 제1항에 있어서, 구동기는 수용 본체 내에 체결되는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  19. 제1항에 있어서, 구동기는 수용 본체 상에 피벗식으로 배치되는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  20. 제12항에 있어서, 구동기는 수용 본체 상에 피벗식으로 배치되고, 한편 밀봉 판은 수용 본체 아래에 체결되고, 수용 본체에 대해 구동기를 가압하는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  21. 제12항에 있어서, 반도체 소자를 보관하는 용기는 밀봉 판 상에 배치되고 구동기에 대응하는 내마모성 부분을 추가로 포함하는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  22. 제12항에 있어서, 구동기는 구동 본체 상에 장착되고 밀봉 판과 접촉되는 적어도 1개의 롤링 부분을 추가로 포함하는
    반도체 소자를 보관하는 용기.
  23. 제22항에 있어서, 롤링 부분은 베어링인
    반도체 소자를 보관하는 용기.
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