JP5583058B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
このような基板収納容器は、半導体ウェーハに各種の加工や処理が施される度に、容器本体から蓋体が取り外された後、容器本体から半導体ウェーハが取り出されたり、容器本体に半導体ウェーハが収納された後に蓋体が圧入して嵌合され、容器本体の正面内周に蓋体の周壁が接触する。
容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスに形成し、この容器本体の正面内周と蓋体の周壁の少なくともいずれか一方に、容器本体の正面と蓋体の周壁との擦れに伴う微粒子の発生を抑制する回避部を形成するとともに、この回避部を断面視で半紡錘形に細長く凹み形成し、
回避部を容器本体の正面内周に凹み形成する場合には、容器本体の正面内周の上部中央、下部中央、及び側部中央のうち、少なくとも下部中央に位置させ、回避部を蓋体の周壁に凹み形成する場合には、蓋体の周壁の上部中央、下部中央、及び側部中央のうち、少なくとも下部中央に位置させるようにしたことを特徴としている。
また、蓋体の周壁の上部中央と下部中央とに回避部をそれぞれ凹み形成することができる。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、構成の簡素化や多様化が期待できるのは明らかである。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、構成の多様化が期待できるのは明らかである。
2 正面(開口部)
3 支持片
5 フィルタバルブ
10 蓋体
11 蓋本体
17 表面プレート
20 施錠機構
30 回避部
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (3)
- 基板を収納可能な容器本体の開口部に蓋体を着脱自在に嵌め合わせ、容器本体の開口部内周に蓋体の周壁を接触させる基板収納容器であって、
容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスに形成し、この容器本体の正面内周と蓋体の周壁の少なくともいずれか一方に、容器本体の正面と蓋体の周壁との擦れに伴う微粒子の発生を抑制する回避部を形成するとともに、この回避部を断面視で半紡錘形に細長く凹み形成し、
回避部を容器本体の正面内周に凹み形成する場合には、容器本体の正面内周の上部中央、下部中央、及び側部中央のうち、少なくとも下部中央に位置させ、回避部を蓋体の周壁に凹み形成する場合には、蓋体の周壁の上部中央、下部中央、及び側部中央のうち、少なくとも下部中央に位置させるようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体の正面内周の上部中央、下部中央、及び側部中央に回避部をそれぞれ凹み形成した請求項1記載の基板収納容器。
- 蓋体の周壁の上部中央と下部中央とに回避部をそれぞれ凹み形成した請求項1又は2記載の基板収納容器。
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---|---|---|---|
JP2011051414A JP5583058B2 (ja) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011051414A JP5583058B2 (ja) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2012190898A JP2012190898A (ja) | 2012-10-04 |
JP5583058B2 true JP5583058B2 (ja) | 2014-09-03 |
Family
ID=47083771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011051414A Active JP5583058B2 (ja) | 2011-03-09 | 2011-03-09 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
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JP4647417B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2011-03-09 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器の蓋体開閉方法 |
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-
2011
- 2011-03-09 JP JP2011051414A patent/JP5583058B2/ja active Active
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