KR200159981Y1 - 매스크 보관케이스의 유동억제용 패드구조 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 소자(IC회로)의 제조공정에 이용되는 감광원판(MASK)(이하 매스크라고 함)의 보관케이스에 적용되는 유동방지용 패드의 구성에 관한 것으로 특히 신축과 완충성이 우수한 합성수지나 천연고무 등의 소재를 이용하여 베이스판과 이에 일체로 매스크가 얹혀지는 소정열의 받침돌부를 구비시켜 케이스의 바닥에 재치시켜 매스크가 보관 케이스내에서 유동되지 않는 상태에서 보관되도록 함으로써 매스크를 손상없이 보다 안전하게 보관할 수 있음과 동시에 매스크와 보관 케이스간의 마찰,마모에 의해 발생될 수 있는 미세한 오염칩의 생성을 억제시켜 매스크의 오손방지와 이로인한 막대한 경제적 손실을 차단할 수 있도록 한 것이다.

Description

매스크 보관케이스의 유동억제용 패드구조.

본 고안은 반도체 소자(IC회로)의 제조공정에 이용되는 감광원판(MASK)(이하 매스크라고 함)의 보관케이스에 적용되는 유동방지용 패드의 구성에 관한 것으로 특히 신축과 완충성이 우수한 합성수지나 천연고무 등의 소재를 이용하여 베이스판과 이에 일체로 매스크가 얹혀지는 소정열의 받침돌부를 구비시켜 케이스의 바닥에 재치시켜 매스크가 보관 케이스내에서 유동되지 않는 상태에서 보관되도록 함으로써 매스크를 손상없이 보다 안전하게 보관할 수 있음과 동시에 매스크와 보관 케이스간의 마찰,마모에 의해 발생될 수 있는 미세한 오염칩의 생성을 억제시켜 매스크의 오손방지와 이로인한 막대한 경제적 손실을 차단할 수 있도록 한 것이다.

일반적으로 미세화된 IC회로의 제조원리는 반도체의 박막표면에 복잡한 형상의 회로패턴을 마치 사진을 현상하는 것과 같은 방법으로 얻어지는 것인 바 즉 피사체의 형상을 렌즈를 통하여 축소,감광시킨 음화(NAGATIVE FILM)가 매스크에 해당하는 것이며,

음화를 노출시켜 현상함으로써 양화를 얻는 작업에 감광막이 매스크의 상(像 : 회로패턴)을 재현하는 것이다.

이와같은 매스크는 인쇄된 회로기판이 오염되면 매스크로서의 제기능을 발휘하지 못하고 많은 불량품을 초래하여 폐기해야 하는 것이므로 경제적 손실이 매우 크게 되는 것으로 보관 및 운반취급에 극도의 주의를 요하는 것이며, 이를 보관하는 케이스의 내부 또한 극도의 청결상태를 유지해야함은 물론이다.

하지만 기존에 알려지고 있는 매스크의 보관케이스는 정전기의 발생이 없고 먼지가 잘 흡착되지 않도록 특수소재를 이용하여 내벽에 다수의 격리판(11)이 구성되는 함체상의 본체(10)와 이 본체(10)에 씌워지는 뚜껑체(12)를 구비한 뒤 클린룸에서 본체(10)내의 격리판(11)사이에 매스크(M)를 끼워 수납한 다음 밀봉 테이프를 이용하여 본체(10)와 뚜껑(12)을 고정시키주는 보관방식을 적용하고 있으나 이는 다음과 같은 문제점이 노출되는 것이다.

⊙ 매스크(M)와 격리판(11)의 마모를 방지하기 위해서 격리판(11)의 간격을 매스크()의 두께보다 상대적으로 크게 구성하게 되는 것이므로 보관된 상태에서 운반 취급시 매스크(M)의 전,후,좌,우로의 유동이 심하게 초래되어 매스크(M)와 격리판(11)의 충돌로 인한 매스크(M)의 손상이 초래될 가능성이 있으며,

⊙ 매스크(M)의 유동에 따른 마찰발생으로 인해 케이스의 마모가 초래되며 이로인해 케이스에서 떨어져 나온 극히 미세한 오염칩이 매스크(M)에 흡착되는 오염시키게 되는 것으로 제조공정에 투입되어 많은 불량의 주요인이 되는 것이며,

⊙ 매스크(M)와 뚜껑(12)의 마모를 방지하기 위해서 케이스의 바닥에서 뚜껑(12)내면까지의 길이를 매스크(M)의 길이보다 상대적으로 크게 구성하게 되는 것이므로 보관된 상태에서 운반 취급시 매스크(M)의 상하 유동이 초래되어 매스크(M)와 케이스의 바닥 및 뚜껑(12)의 내면과의 마찰로 인한 마모가 초래되어 케이스에서 떨어져 나온 극히 미세한 오염칩이 매스크(M)에 흡착되는 오염시키게 되는 것으로 매스크로서의 제기능을 발휘하지 못하고 경제적 손실이 매우 크게 되는 것으로 사용효과가 저조한 문제점이 노출되는 것이다.

본 고안은 상기와 같은 종래의 구조에서 기인되는 제반 문제점을 해결 보완하기 위한 것으로 신축과 완충성이 우수한 합성수지나 천연고무 등의 소재를 이용하여 베이스판과 이에 일체로 매스크가 얹혀지는 소정열의 받침돌부를 구비시켜 케이스의 바닥에 재치시켜 매스크가 보관 케이스내에서 유동되지 않는 상태에서 보관되도록 함으로써 매스크를 손상없이 보다 안전하게 보관할 수 있음과 동시에 매스크와 보관 케이스간의 마찰,마모에 의해 발생될 수 있는 미세한 오염칩의 생성을 억제시켜 매스크의 오손방지와 이로인한 막대한 경제적 손실을 차단할 수 있도록 함을 목적으로 하는 것이다

도 1은 본 고안 패드의 일 구성예와 매스크 보관케이스를 보이는 사시도.

도 2은 본 고안 패드의 사용상태를 보이는 종단면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10: 케이스 본체 11:격리판 12:뚜껑

20: 패드 21:베이스판 22: 받침돌부

M : 매스크

케이스 본체(10)의 바닥과 일치하는 형상으로 신축과 완충성이 우수한 합성수지나 천연고무 등의 소재를 이용하여 구성되는 베이스판(21)과;

매스크(M)가 얹혀지도록 매스크(M)의 두께방향으로 상기 베이스판(20)의 상면에 일정간격을 두고 일체로 돌출 구성되는 다수개의 받침돌부(22)를 각각 결합하여 패드(20)를 구성하여서 된 것이다.

이와같이 구성되는 본 고안의 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 고안의 패드(20)는 도 2에서와 같이 케이스 본체(10)의 바닥에 재치되며 매스크(M)는 받침돌부(22)위에 얹혀지는 상태로 기존과 같이 격리판(11)사이에 끼워져 수납되는 것이다.

한편 매스크(M)가 수납된 상태에서 뚜껑(12)을 덮었을 때 도 2에서와 같이 뚜껑(12)이 완전히 닫혀지지 않고 소정간격만큼 상승되는 상태가 되도록 패드(20)의 두께를 설정하는 것으로 그 범위는 받침돌부(22)의 두께이내에서 설정되도록 한다.

도 2의 상태에서와 같이 매스크(M)를 수납시킨 다음 마무리 작업으로서 밀봉 테이핑을 하기 위해서는 소정간격만큼 상승된 뚜껑(12)을 눌러 주면 매스크(M)가 일점쇄선과 같이 매스크(M)가 받침돌부(22)의 접면부위를 수축,몰입시키면서 하강되도록 하면서 뚜껑(12)이 완전히 닫히도록 한 뒤 밀봉 테이프를 이용하여 케이스 본체(10)와 뚜껑(12)을 고정시키게 되는 것이다.

이와같이 완전하게 포장된 후에는 각 매스크(M)들이 패드(20)의 자체 탄발력에 의해서 뚜껑(12)의 내면에 강하게 밀착되는 상태가 되는 것이므로 운반 취급시에 전혀 유동되지 않게 되는 것이므로 매스크(M)를 손상없이 보다 안전하게 보관할 수 있음과 동시에 매스크(M)와 보관 케이스간의 마찰,마모가 완벽하게 차단되어 매스크를 오염시키는 미세한 오염칩의 생성을 억제시킬 수 있는 것이다.

이상과 같은 본 고안은 신축과 완충성이 우수한 합성수지나 천연고무 등의 소재를 이용한 패드를 보관 케이스의 바닥에 깔아주도록 함으로써 매스크가 패드의 탄발력에 의해 보관 케이스내에서 유동되지 않는 상태에서 보관되도록 하여 매스크가 보관 케이스와 충돌되지 않게 되는 것이므로 손상없이 보다 안전하게 보관할 수 있음과 동시에 매스크와 보관 케이스간의 마찰,마모에 의해 발생될 수 있는 미세한 오염칩의 생성을 억제시켜 매스크의 오염의 방지는 물론 이로인한 막대한 경제적 손실을 차단할 수 있는 효과가 있는 것이다.

Claims (1)

1. 케이스 본체(10)의 바닥과 일치하는 형상으로 신축과 완충성이 우수한 합성수지나 천연고무 등의 소재를 이용하여 구성되는 베이스판(21)과;

   매스크(M)가 얹혀지도록 매스크(M)의 두께방향으로 상기 베이스판(20)의 상면에 일정간격을 두고 일체로 돌출 구성되는 다수개의 받침돌부(22)를 각각 결합하여 패드(20)를 구성함을 특징으로 하는 매스크 보관케이스의 유동억제용 패드구조.