JP2007057624A

JP2007057624A - レチクル収納ケース

Info

Publication number: JP2007057624A
Application number: JP2005240517A
Authority: JP
Inventors: Morio Kuromasa; 盛夫黒政
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2005-08-23
Filing date: 2005-08-23
Publication date: 2007-03-08

Abstract

【課題】ケース内でのパーティクルの発生を抑制することができ、製品の品質および歩留の低下を抑えることができるレチクル収納ケースを提供する。
【解決手段】レチクル１を水平に保持するレチクル保持体２ｂを有する下皿２ａと、レチクル１を上部から弾性的に押さえつける押圧体３ｂを有する上蓋３ａとで構成し、レチクル保持体２ｂは金属のようなプラスチック樹脂よりも堅い材料で形成されており、その形状は丸みを帯びた上部凸型とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体集積回路などの製造工程でのフォトリソ工程においてフォトマスクとして用いるレチクルを、その運搬の際に収納するためのレチクル収納ケースに関するものである。

従来から、半導体集積回路などの製造工程において、ウエハ上にＩＣパターンのような微細パターンを形成するフォトリソ工程では、ＩＣパターンを露光装置によりウエハ上に投影露光するが、その際のフォトマスクとして広くレチクルが用いられている。

このようなレチクル上には、微細パターンとしてＩＣパターンの原寸法に対して１〜１０倍のパターンが形成され、そのレチクルをフォトマスクとしてステッパー等によりウエハ上に投影露光する。

そして、このようなレチクルを露光装置へ運搬してセットするためには、その運搬の際にレチクルを収納するためのレチクル収納ケースが用いられており、従来、レチクル等を収納する半導体装置用のレチクル収納ケースは、主にプラスチック樹脂によって形成されている。

しかし、上記のようなレチクル収納ケースに保管されているレチクルに対して、その表面にパーティクルが付着することが問題となっており、近年、さらに半導体集積回路装置の高集積化に伴って、レチクル表面に付着するパーティクルが原因で、製品の品質および歩留の低下等の問題が懸念されているが、これは、レチクル表面にパーティクルが付着すると、そのパーティクルパターンが集積回路を形成しようとする半導体ウエハ上へ転写され、ウエハ上のＩＣパターンに欠陥が形成されてしまう危険性がある。

レチクルに付着するパーティクルの発生源の一つとして、レチクルを収納・搬送するためのレチクル収納ケースであることが判明しつつあり、パーティクル発生の推定原因としては、レチクル搬送時に、レチクルとレチクル収納ケース間で摩擦が生じ、その摩擦によりレチクル収納ケースからパーティクルを発生させていることが考えられる。

すなわち、レチクルは複数の露光装置にわたって使用されるため、人間やレチクル搬送用のロボットが装置間の繰り返し搬送を行っており、そのためレチクルとレチクル収納ケースの接触部分で摩擦が生じ、その摩擦により、レチクル収納ケースのレチクルとの接触部分からパーティクルを発生させていることが分かっている。

以上のような従来のレチクル収納ケースについて、図面を用いて以下に説明する。
図２は従来のレチクル収納ケースの構造を示す断面図である。図２において、１はレチクル、２ａはレチクル１をガラス面が上に、パターン面が下向きになるように積載している下皿、３ａは上蓋であり、下皿２ａと組み合わせることにより、ケース内を密閉状態にして外部からのレチクル１への異物付着を防止している。

また、他の従来技術（例えば、特許文献１を参照）によると、レチクルへの異物付着防止のため、下皿のプラスチック樹脂にカーボン等を添加し導電性を持たせ、上蓋と静電気の帯電量に差を作り、発生したパーティクルは上蓋に静電吸着させることで、レチクルへの異物付着等の問題を解決している。
特開２００１−２５３４９１号公報。

しかしながら上記のような従来のレチクル収納ケースでは、レチクルの収納および運搬時に、レチクルがケース内で動くため、レチクルとケースが直接接している下皿の保持部との摩擦は避けられず、レチクル収納ケースの材質が樹脂であるために、どうしても、レチクルと下皿の保持部との摩擦により、下皿の保持部からの削れが発生する。

このため、ケース内では、下皿の保持部からの削れによるパーティクルが発生し、製品の品質および歩留が著しく低下するという問題点を有していた。
本発明は、上記従来の問題点を解決するもので、ケース内でのパーティクルの発生を抑制することができ、製品の品質および歩留の低下を抑えることができるレチクル収納ケースを提供する。

上記の課題を解決するために、本発明の請求項１に記載のレチクル収納ケースは、ガラス材料からなるレチクルを収納するレチクル収納ケースであって、前記レチクルを水平に保持するレチクル保持体を有する下皿と、前記レチクルを上部から弾性的に押え付ける押圧体を有する上蓋とで構成したことを特徴とする。

また、本発明の請求項２に記載のレチクル収納ケースは、請求項１に記載のレチクル収納ケースであって、前記下皿と前記上蓋との接点にパッキンを有することを特徴とする。
また、本発明の請求項３に記載のレチクル収納ケースは、請求項１または請求項２に記載のレチクル収納ケースであって、前記レチクル保持体は、樹脂よりも硬度の大きい材料で形成したことを特徴とする。

また、本発明の請求項４に記載のレチクル収納ケースは、請求項３に記載のレチクル収納ケースであって、前記レチクル保持体は、形状が丸みを帯びた上部凸型であり、先端部のカーブは１ｍｍＲ〜１０ｍｍＲで形成したことを特徴とする。

また、本発明の請求項５に記載のレチクル収納ケースは、請求項２から請求項４のいずれかに記載のレチクル収納ケースであって、前記パッキンは、前記樹脂よりも硬度の小さい材料で形成したことを特徴とする。

以上により、ケース内でのレチクルの動きを無くし、レチクルとケースが直接接している下皿の保持部との摩擦を低減し、その摩擦による下皿の保持部からの削れの発生を抑えることができる。

以上のように本発明によれば、ケース内でのレチクルの動きを無くし、レチクルとケースが直接接している下皿の保持部との摩擦を低減し、その摩擦による下皿の保持部からの削れの発生を抑えることができる。

そのため、ケース内でのパーティクルの発生を抑制することができ、製品の品質および歩留の低下を抑えることができる。

以下、本発明の実施の形態を示すレチクル収納ケースについて、図面を参照しながら具体的に説明する。なおここでは、レチクル収納ケースに収納するレチクルとして、フォトマスク・レチクルを収納する場合を例に挙げて説明する。

図１は本実施の形態のレチクル収納ケースの構造を示す断面図である。図１において、１はレチクルまたはペリクル付レチクルである。レチクル１の材質は一般的に石英ガラスである。２ａはレチクル１をガラス面が上に、パターン面が下向きになるように積載している下皿であり、２ｂはレチクル１を水平に保持するレチクル保持体である。３ａは上蓋であり、下皿２ａと組み合わせることにより、ケース内を密閉状態にしてレチクル１への外部からの異物付着を防止している。３ｂは上蓋３ａとレチクル１を弾性的に押え付けるための押圧体であり、３ｃは上蓋３ａと下皿２ａの接点部の干渉を防止するためのパッキンである。

レチクル１と直接接しているレチクル保持体２ｂの材質は、例えば金属のようなプラスチック樹脂よりも硬度が大きく硬い材料、例えば、金属、合金、カーバイド、セラミック、石英ガラス等で形成されており、その形状は丸みの帯びた上部凸型とし、その先端部の曲率半径については、レチクル上パターンの領域に応じて、その面積が最大になった場合にレチクル保持体の接触部の面積が限られるが、それを考慮して、１ｍｍ〜１０ｍｍにしている。

このように、レチクル保持体２ｂの先端部に曲率を有するため、レチクル１とレチクル保持体２ｂとがある程度の圧力で接触してもレチクル１への損傷が無く、また、レチクル保持体２ｂの材質の硬度がプラスチック樹脂の硬度に比べて大きいので、レチクル１とレチクル保持体２ｂとの摩擦によるレチクル保持体２ｂの摩耗を抑え、ケース内でのパーティクルの発生を抑制することができる。

また、上蓋３ａには、例えばシリコンゴム製の押圧体３ｂが備えられており、レチクル１が上蓋３ａにより上部から押え付けられているにも係わらず、押圧体３ｂが緩衝材となってレチクル１と下皿２ａの摩擦による摩耗を低減している。

さらに、上蓋３ａと下皿２ａの接点部には、その材質がプラスチック樹脂よりも硬度が小さく柔らかい材料、例えばシリコンゴムのような材料を、パッキン３ｃとして使用しているため、下皿２ａと上蓋３ａにおいて、それらの摩擦による摩耗が低減され、ケース内でのパーティクルの発生を抑制することができる。

以上により、製品の品質および歩留の低下を抑えることができる。

本発明のレチクル収納ケースは、ケース内でのパーティクルの発生を抑制することができ、製品の品質および歩留の低下を抑えることができるもので、レチクルへのパーティクル付着低減等に有用である。

本発明の実施の形態のレチクル収納ケースの構造を示す断面図従来のレチクル収納ケースの構造を示す断面図

符号の説明

１レチクル
２ａ下皿
２ｂレチクル保持体
３ａ上蓋
３ｂ押圧体
３ｃパッキン
４上部支持体

Claims

ガラス材料からなるレチクルを収納するレチクル収納ケースであって、
前記レチクルを水平に保持するレチクル保持体を有する下皿と、
前記レチクルを上部から弾性的に押え付ける押圧体を有する上蓋とで構成した
ことを特徴とするレチクル収納ケース。
請求項１に記載のレチクル収納ケースであって、
前記下皿と前記上蓋との接点にパッキンを有する
ことを特徴とするレチクル収納ケース。
請求項１または請求項２に記載のレチクル収納ケースであって、
前記レチクル保持体は、
樹脂よりも硬度の大きい材料で形成した
ことを特徴とするレチクル収納ケース。
請求項３に記載のレチクル収納ケースであって、
前記レチクル保持体は、
形状が丸みを帯びた上部凸型であり、先端部のカーブは１ｍｍＲ〜１０ｍｍＲで形成した
ことを特徴とするレチクル収納ケース。
請求項２から請求項４のいずれかに記載のレチクル収納ケースであって、
前記パッキンは、
前記樹脂よりも硬度の小さい材料で形成した
ことを特徴とするレチクル収納ケース。