JP2013239643A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハWを整列収納可能な容器本体1と、容器本体1の開口した正面を開閉する蓋体10と、容器本体1に収納されるレチクル収容容器30搭載用のアダプタ60とを備え、容器本体1の天井にロボティックフランジ4を装着した基板収納容器であり、容器本体1の内部両側に、半導体ウェーハWを水平に支持する一対の支持片2を対設し、各支持片2の表面前部に、半導体ウェーハW用のストッパ3を形成する。また、アダプタ60を円板に形成してその上面にレチクル収容容器30用の複数の位置決めバー61を設け、一対の支持片2にアダプタ60の両側部を支持させ、各支持片2のストッパ3でアダプタ60が正面方向に位置ずれするのを防止する。
【選択図】図2
Description
容器本体の内部両側に、半導体ウェーハを略水平に支持する一対の支持片を対向させて設け、この一対の支持片を上下方向に所定の間隔で複数配列し、支持片の表面の少なくとも前部にストッパを形成し、
アダプタを板形に形成してその上面にはレチクル収容容器用の複数の位置決め部材を設け、
容器本体の一対の支持片にアダプタの両側部を支持させ、支持片のストッパにより、アダプタが前後方向にずれるのを防止するようにしたことを特徴としている。
また、アダプタの後部に、容器本体の内面とレチクル収容容器の少なくともいずれか一方に接触する規制保護部材を設けることができる。
また、レチクル収容容器は、レチクルを収容してアダプタの上面に搭載される底板と、この底板の開口した上面を開閉する上蓋とを含むことが可能である。
上蓋と前蓋との間にバネを架設し、上蓋の底板に対向する対向面に、レチクル用の押さえ部材を軸受を介し回転可能に支持させるとともに、この押さえ部材と軸受のいずれかにバネの一部を連結し、前蓋が底板の前面を閉じた場合に押さえ部材を連動させ、この押さえ部材によりレチクルを押さえることが可能である。
本実施形態においても上記実施形態と同様、設備投資の削減や省スペース化を図ることができ、生産効率の向上も期待できる。
2 支持片
3 ストッパ
4 ロボティックフランジ(搬送具)
10 蓋体
17 施錠機構
30 レチクル収容容器
30A レチクル収容容器
31 底板
31A 底板
33 支持部材
34 シールガスケット(ガスケット部材)
39 上蓋
39A 上蓋
40 保持部材
44 側壁
45 支持レール
50 対向面
51 押さえ部材
52 軸受
53 コイルバネ(バネ)
54 前蓋
60 アダプタ
60A アダプタ
61 位置決めバー(位置決め部材)
61A 位置決めバー(位置決め部材)
62 切り欠き
63 規制保護片(規制保護部材)
64 張出片
R レチクル
W 半導体ウェーハ
Claims (5)
- 複数枚の半導体ウェーハを上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の開口した正面を着脱自在に開閉する蓋体と、容器本体に収納されるレチクル収容容器搭載用のアダプタとを備え、容器本体に自動搬送用の搬送具を取り付けた基板収納容器であって、
容器本体の内部両側に、半導体ウェーハを略水平に支持する一対の支持片を対向させて設け、この一対の支持片を上下方向に所定の間隔で複数配列し、支持片の表面の少なくとも前部にストッパを形成し、
アダプタを板形に形成してその上面にはレチクル収容容器用の複数の位置決め部材を設け、
容器本体の一対の支持片にアダプタの両側部を支持させ、支持片のストッパにより、アダプタが前後方向にずれるのを防止するようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - アダプタの下面両側部に、支持片のストッパに接触する切り欠きをそれぞれ形成した請求項1記載の基板収納容器。
- アダプタの後部に、容器本体の内面とレチクル収容容器の少なくともいずれか一方に接触する規制保護部材を設けた請求項1又は2記載の基板収納容器。
- レチクル収容容器は、レチクルを収容してアダプタの上面に搭載される底板と、この底板にガスケット部材を介し着脱自在に嵌合される上蓋とを含み、底板の上面に、レチクルを略水平に支持する支持部材を設け、上蓋の内部には、レチクルに接触して保持する保持部材を設けた請求項1、2、又は3記載の基板収納容器。
- レチクル収容容器は、レチクルを収容してアダプタの上面に搭載される底板と、この底板の開口した上面を開閉する上蓋とを含んでなる請求項1、2、又は3記載の基板収納容器。
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