KR102045631B1 - 레티클 포드 - Google Patents

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Abstract

레티클을 수납하기 위한 레티클 포드가 제공되고, 레티클 포드는 레티클 포드의 기재의 적어도 하나의 정점부들에 배치된 다수의 포지셔닝 모듈들을 포함한다. 포지셔닝 모듈은 탄성 부재, 및 포지셔닝 모듈 위에 배치된 인접 부재를 포함하고, 레티클이 레티클 포드 내에 수납되고 레티클 포드의 커버가 기재에 결합될 때, 커버는 인접 부재에 접촉되어 인접 부재에 하향 압력을 제공하고, 인접 부재가 탄성 부재를 압축하도록 힘을 가한다. 압축된 탄성 부재는 횡 방향을 따라 광범위하게 변형되어 인접 부재가 레티클에 접촉한다.

Description

레티클 포드{RETICLE POD}
본 출원은 인용에 의해 그 전체 내용이 본 명세서에 통합되는, 2017. 1. 26.자로 출원된 미국 가출원 번호 62/450,871의 출원일의 이익을 주장한다.
본 발명은 레티클 포드(reticle pod)에 관한 것으로서, 구체적으로 레티클을 고정시키기 위한 다수의 포지셔닝 모듈을 구비하는 레티클 포드에 관한 것이다.
광 리소그래피(Optical lithography)는 반도체 산업에서 중요한 역할을 한다. 패터닝(patterning)을 위해 사용되는 레티클은 무결성(spotless)이어야 하고, 레티클에 부착하는 임의 종류의 분진들 또는 스크래치들은 투영된 패턴의 품질 저하를 초래할 수 있고, 따라서, 레티클은 제조, 공정, 운송, 이송, 및 저장 과정 동안 절대적으로 방진이 필요하고, 레티클의 순도에 영향을 미칠 수 있는 임의의 충돌 또는 마찰이 방지되어야만 한다.
전형적으로, 레티클은 오염을 피하기 위해 이송 과정 동안 레티클 포드(pod) 내에 저장되어야 한다. 레티클은 마찰 또는 이동에 의해 야기되는 임의의 손상들을 방지하기 위해 레티클 포드 내에 단단히 고정되어야 한다. 또한, 레티클과 레티클 포드 사이의 접촉 또는 마찰에 의해 야기되는 손상들을 방지하기 위하여 레티클 포드와 레티클 사이의 접촉 면적은 더 작아야만 한다.
따라서, 대부분의 상용화된 레티클 포드들은 레티클을 고정 또는 지지하기 위한 컴포넌트들을 포함한다. 그러나, 이들 컴포넌트들은 레티클 포드 주위에 일체로 형성되고 진동을 흡수할 수 없어서 레티클이 쉽게 손상되거나 오염될 수 있다. 또한, 통상의 레티클 포드들 안에는 배치 가이드들이 개재되지 않기 때문에 레티클 포드 안에서 레티클의 배치는 그 포지셔닝이 어렵고, 레티클의 전위(dislocation)가 쉽게 발생되어 레티클의 손상을 초래할 수 있다.
전술한 위치 문제들을 해결하기 위하여, 대만 특허 공개 번호 201420462는 레티클을 위한 배치 가이드들로서 기능하는 다수의 레티클 접촉 부재들을 가진 내부 포드를 구비하는 레티클 캐리어를 개시하였다. 그러나, 레티클이 레티클 캐리어 내에 수납될 때, 레티클 접촉 부재들과 레티클 사이의 충돌은 레티클을 오염시키는 분진들을 생성할 수 있다.
따라서, 레티클 포드 내의 레티클의 위치를 정확하게 위치 결정할 수 있고, 레티클의 순도에 영향을 미칠 수 있는 레티클과 레티클 포드 사이의 임의의 충돌 또는 마찰을 방지하기 위해 이송 과정 동안 진동을 흡수할 수 있는 새로운 포지셔닝 디바이스를 포함하는, 새로운 레티클 포드를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 4개의 정점(vertex)부들을 가진 베이스; 베이스에 상응하고 베이스에 대해 결합되는 커버; 및 적어도 하나의 정점부에 각각 배치된 다수의 포지셔닝 모듈들을 포함하고, 포지셔닝 모듈은: 소프트 부재; 및 소프트 부재 위에 배치된 인접(abutting) 부재를 포함하는, 레티클을 수납하기 위한 레티클 포드를 제공한다. 레티클이 레티클 포드 내에 수납되고 커버가 베이스에 결합될 때, 커버는 인접 부재에 접촉하여 인접 부재에 맞대어 하향 압력을 제공하고, 인접 부재는 길이 방향으로 소프트 부재를 압착하도록 구동됨으로써, 소프트 부재에 힘이 인가되고 소프트 부재가 수평 방향으로 변형되어 레티클에 접촉한다.
포지셔닝 모듈들의 수는 2개 내재 8개일 수 있거나, 짝수 일 수 있다. 또한, 포지셔닝 모듈들은 베이스의 중앙에 대하여 베이스의 코너들 또는 사이드들에서 대칭적으로 쌍으로 개재되는 것이 바람직하다. 가장 바람직하게, 4개의 포지셔닝 모듈은 4개의 정점부에 각각 개재될 수 있고 레티클을 대각선으로 효과적으로 고정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 소프트 부재에 힘이 인가될 때, 소프트 부재의 변형 신장(elongation)은 수평 방향으로 0.1mm 내지 3.0mm이다.
일 실시예에서, 소프트 부재는 단단한 구조 또는 속이 빈 구조를 가질 수 있고, 그 수평 방향의 변형 신장이 전술한 조건을 만족할 수 있는 한, 소프트 부재의 재질은 특별히 한정되지 않는다.
바람직한 실시예에서, 소프트 부재는 속이 빈 구조를 가지고, 포지셔닝 모듈은 속이 빈 구조 내에 배치되어 있는 탄성 컴포넌트를 더 포함한다. 레티클이 레티클 포드 내에 수납되고 커버가 베이스와 결합될 때, 커버에 의해 제공되는 하향 힘은 탄성 컴포넌트와 소프트 부재를 압축하고; 커버가 제거될 때, 탄성 컴포넌트는 상향 탄성력을 제공하여 소프트 부재의 모양을 복귀시킨다. 탄성 컴포넌트는 바람직하게 스프링이다.
일 실시예에서, 소프트 부재의 쇼어(Shore) 경도는 A20 내지 A70이다. 소프트 부재는 실리콘 재질로 제조되고, 쇼어 경도 A50의 실리콘이 바람직하다.
일 실시예에서, 포지셔닝 모듈은 레티클에 면하는 제1 개구 및 그 꼭대기 상에 형성된 제2 개구를 구비하는 쉘(shell)을 더 포함하고, 쉘은 위로부터 소프트 부재의 일부분을 덮고 인접 부재의 일부분은 제2 개구를 통해 쉘 밖으로 돌출한다.
일 실시예에서, 레티클 포드는 베이스 상에 배치되고 베이스 밖으로 부분적으로 돌출하는 서포팅 모듈을 더 포함한다. 레티클이 레티클 포드 내에 수납될 때, 서포팅 모듈은 정점부를 통해 레티클에 맞대어 접촉하므로, 레티클은 레티클 포드 내에 수납될 때 베이스와 접촉하지 않는다.
전술한 서포팅 모듈은, 개구를 가진 박스; 돌출부와 메인 바디를 구비하고 돌출부의 일부분이 개구를 통해 박스 밖으로 돌출한 상태에서 박스 내에 배치된 서포트 부재; 박스와 메인 바디 사이에 배치되어 있는 다수의 쉬프팅(shifting) 부재들을 포함하고, 서포팅 부재는 쉬프팅 부재들을 통해 수평 방향으로 박스에 상응하게 이동한다.
일 실시예에서, 그들이 서로 접촉할 때 서포팅 부재와 레티클 사이의 마찰을 방지하기 위하여, 서포팅 부재를 준비하기 위해 사용되는 물질은 더 큰 마찰 계수를 가져야만 한다. 따라서, 서포팅 부재는 폴리비닐클로라이드(PVC), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA), 폴리스티렌(PS), 폴리아미드(PA), 폴리에틸렌(PE), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 폴리프로필렌(PP), 아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌 코폴리머(ABS), 페놀포름알데히드레진(PF), 우레아레진(UF), 멜라민레진(MF), 불포화폴리에스테르(UP), 에폭시레진(EP), 폴리우레탄(PU), 폴리카보네이트(PC), 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 나일론-66(PA-66), 나일론-6(PA-6), 폴리옥시메틸렌(POM), 폴리페닐렌설파이드(PPS), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리아미드-이미드(PAI), 폴리에테르이미드(PEI), 폴리이미드(PI), 및 그들의 혼합물로 구성된 그룹으로부터 선택될 수 있는 플라스틱 물질로 제조된다. 서포팅 부재와 레티클 사이에 마찰 또는 변위가 없는 한, 플라스틱 물질은 본 발명의 범위에 속할 수 있다.
일 실시예에서, 쉬프팅 부재는 제1 자성 요소와 제2 자성 요소를 이용하여 구성될 수 있고, 쉬프팅 부재의 각각에 있어서 제1 자성 요소와 제2 자성 요소는 서포팅 부재와 박스를 분리하기 위해 인력 또는 척력이 작용한다. 제1 자성 요소와 제2 자성 요소의 극성은 N 극성 또는 S 극성일 수 있다. 예를 들어, 제1 자성 요소와 제2 자성 요소가 척력이 작용하면, 서포팅 부재와 박스가 분리될 수 있도록 제1 자성 요소들과 제2 자성 요소들의 각각의 쌍의 척력은 동일해야 한다.
본 발명의 다른 실시예에서, 쉬프팅 부재는 볼(ball)이고, 그들 볼들에 상응하는 볼 슬롯들은 그 속으로 내장될 볼들을 위해 서포팅 부재 또는 메인 바디 상에 형성되고, 볼들은 상응하는 볼 슬롯들 내에서 롤링할 수 있다.
그러나, 본 발명의 다른 실시예들에서, 쉬프팅 부재가 박스에 대해 이동할 수 있도록 쉬프팅 부재들은 실린더, 휠, 또는 액체일 수 있다.
일 실시예에서, 박스는 다수의 먼지 추출 채널들을 포함할 수 있고, 먼지 추출 채널들은 박스의 바닥을 통해 연장하고 박스의 바닥에 형성된 볼 슬롯들에 상호 연결됨으로써, 볼 슬롯들 내의 볼들의 롤링에 의해 생성되는 먼지는 먼지 추출 채널들을 통해 배출될 수 있다. 또한, 박스는 박스의 바닥에 배치되고 레티클 포드로 오염물질이 들어가는 것을 방지하기 위해 먼지 추출 채널들을 덮는 필터를 더 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 서포팅 부재는 메인 바디의 측면 상에 형성되고 메인 바디와 박스를 분리하기 위해 박스와 접촉하는 적어도 하나의 스페이서를 더 포함할 수 있다. 스페이서는 탄성 물질에 의해 형성될 수 있고, 메인 바디와 박스가 분리되고 박스에 대해 메인 바디의 변위를 제한하는 한, 그 모양과 양은 특히 제한되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예의 레티클 포드의 분리 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예의 포지셔닝 모듈과 서포팅 모듈의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예의 포지셔닝 모듈과 서포팅 모듈의 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예의 포지셔닝 모듈과 서포팅 모듈의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예의 포지셔닝 모듈과 서포팅 모듈의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예의 서포팅 모듈의 개략도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예의 서포팅 모듈의 개략도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예의 서포팅 모듈의 개략도이다.
이하, 본 발명의 실시예들을 예시하기 위해 예들이 제공될 것이다. 본 발명의 장점들과 효과들은 본 발명의 개시로부터 더 명백해질 것이다. 이들 첨부된 도면들은 간략화되었고 예시적임을 유의해야 한다. 도면들에 도시된 컴포넌트들의 양, 모양 및 사이즈는 실제적 조건들에 따라 변형될 수 있고, 컴포넌트들의 배치는 더 복잡할 수 있다. 또한, 다른 다양한 측면들이 본 발명에서 실행되거나 적용될 수 있고, 다양한 개념들과 적용들에 기반하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 한, 다양한 변형들과 변경들이 이루어질 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예의 레티클 포드(1000)는 도 1에 도시된다. 레티클 포드(1000)는 베이스(1), 커버(2), 4개의 포지셔닝 모듈들(3), 레티클(4), 4개의 서포팅 모듈들(5), 및 8개의 로케이터(locator)들(6)을 포함한다. 레티클(4)은 베이스(1) 위에 놓여지고 베이스(1)의 4개의 정점(vertex)부들(11) 상에 각각 배치된 4개의 포지셔닝 모듈들(3)과 8개의 로케이터들(6)에 의해 위치결정된다. 또한, 커버(2)는 베이스(1)에 상응하고 레티클(4)을 수용하기 위해 베이스(1)와 결합될 수 있다.
특히, 도 2에 도시된 포지셔닝 모듈(3)과 서포팅 모듈(5)의 사시도, 도 3에 도시된 포지셔닝 모듈(5)과 서포팅 모듈(5)의 분해도, 및 도 4에 도시된 포지셔닝 모듈(3)과 서포팅 모듈(5)의 단면도를 참조한다.
포지셔닝 모듈(3)은 서포팅 모듈(5)의 커버 바디(511) 상에 배치되고, 소프트 부재(31), 인접(abutting) 부재(32), 탄성 컴포넌트(33), 및 쉘(34)을 포함한다. 쉘(34)은 레티클(4)을 향해 면하는 제1 개구(341)와 제2 개구(342)를 포함한다. 소프트 부재(31)는 쉘(34) 내부에 배치되고, 소프트 부재(31)의 일부분은 제1 개구(341)로부터 노출되고 소프트 부재(31)의 일부분은 위로부터 쉘에 의해 덮인다.
또한, 인접 부재(32)는 소프트 부재(31) 위에 배치되고 소프트 부재(31)와 접촉하고, 인접 부재(32)의 일부분은 쉘(34)로부터 제2 개구(342)를 통해 밖으로 돌출된다. 나아가서, 소프트 부재(31)는 속이 빈 구조를 가질 수 있고 거기에 힘이 인가될 때 변형될 수 있다. 탄성 컴포넌트(33)는 소프트 부재(31) 내부에 배치되고 길이 방향으로 압축될 수 있다.
또한, 서포팅 모듈(5)은 박스(51), 서포팅 부재(52), 및 다수의 쉬프팅(shifting) 부재들(53)을 포함한다. 박스(51)는 커버 바디(511), 메인 바디(512), 및 커버 바디(511) 상에 형성된 개구(513)를 포함한다.
서포팅 부재(52)는 돌출부(521), 바디부(522), 및 6개의 스페이서들(523)을 포함한다. 돌출부(521)는 바디부(522)의 일 표면 상에 형성되고 스페이서들(523)은 메인 바디(522)의 측면 상에 형성된다. 서포팅 부재(52)는 돌출부(521)의 일부분이 박스(51)의 개구(513)로부터 돌출된 상태로 박스(51) 안에 수용되고 커버 바디(511)를 지나서 연장한다.
쉬프팅 부재들(53)은 서포팅 부재(52)의 바디부(522)와 박스(51) 사이에 배치된다. 보다 구체적으로, 쉬프팅 부재들(53)로서 기능하는 다수의 볼(ball)들은 서포팅 부재(52)의 바디부(522)와 박스(51)의 메인 바디(512) 사이, 및 서포팅 부재(52)의 바디부(522)와 박스의 커버 바디(511) 사이에 배치된다. 볼들을 수용하기 위하여, 다수의 제1 볼 슬롯들(5221)은 서포팅 부재(52)의 바디부(522)에 형성되고, 다수의 제2 볼 슬롯들(5121)은 박스(51)의 메인 바디(512)의 바닥에 형성된다. 또한, 도 6에 도시된 바와 같이, 다수의 먼지 추출 채널들(514)은 제2 볼 슬롯들(512`)에 상호 연통되도록 제2 볼 슬롯들(5121) 각각의 하부에 형성되고, 메인 바디(512)의 바닥을 관통 연장한다. 또한, 바디부(522)로부터 떨어진 스페이서들(523)의 일단은 바디부(522)와 박스(51) 사이의 갭을 수평으로 유지하기 위해 박스(51)의 내면에 맞대어 인접한다. 나아가서, 로케이터들(6)은 박스(51)의 커버 바디(511) 상에 쌍으로 배치된다.
소프트 부재(31)는 힘이 그 위에 인가될 때 소프트 부재(31)가 변형할 수 있도록 탄성을 가진 소프트 물질들로 제조되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서, 소프트 부재(31)는 그 쇼어 경도가 A20 내지 A70인 플라스틱 물질로 제조된다. 그러나, 본 발명은 거기에 한정되는 것은 아니다.
또한, 서포팅 부재(52)가 레티클(4)과 접촉하고 있는 동안 서포팅 부재(52)와 레티클(4) 사이의 변이에 의한 입자들의 발생을 방지하기 위하여, 서포팅 부재와 레티클(4) 사이의 정적 마찰이 서포팅 부재(52)에 의해 지지되는 레티클의 중량보다 일정하게 더 클 수 있도록, 서포팅 부재(52)는 더 높은 정적 마찰 계수를 가진 물질로 제조되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서, 서포팅 부재(52)는 플라스틱 물질로 제조된다.
전술한 구조적 설명에 따르면, 레티클(4)이 베이스(1) 상에 배치될 때, 레티클(4)이 미리결정된 위치에 확실하게 배치되도록 하기 위해, 정점부(11)의 각각에서 쌍으로 배치된 로케이터들(6)은 레티클(4)의 2개의 측면들과 접촉할 수 있다. 나아가서, 도 5를 참조하면, 커버(2)는 인접 부재(32)에 맞대어 접촉하고 인접 부재(32)에 하방 압력을 제공한다. 하방 압력의 방향은 도 5에서 화살표에 의해 도시된다. 인접 부재(32)는 길이 방향으로 압력을 인가하여 소프트 부재(31) 및 소프트 부재(31) 내부의 탄성 컴포넌트(33)를 압축한다. 압축되고 변형된 소프트 부재(31)는 수평 방향으로 레티클(4)과 접촉하고, 소프트 부재의 변형 신장은 수평 방향으로 대략 0.1mm 내지 3.0mm이다. 따라서, 4개의 정점부들에 각각 배치된 4개의 소프트 부재들(31)은 레티클(4)의 4개의 코너들과 접촉하고 레티클(4)을 고정하기 위해 레티클(4)에 맞대어 미는 힘을 제공한다. 소프트 부재들(31)의 연성 때문에, 소프트 부재들(31)은 레티클 포드(1000)의 재위치 공정들 동안 레티클(4)의 이동 또는 충돌을 피하기 위해 레티클(4)을 위한 충격 흡수장치(shock absorber)로서 기능할 수 있다.
레티클(4)이 베이스(1) 상에 위치될 때 레티클(4)은 베이스(1)에 직접적으로 접촉하지 않는다. 레티클(4)은 4개의 정점부들(11)에 배치된 4개의 서포팅 모듈들(5)에 접촉되고 그것들에 의해 지지된다. 도 6에 도시된 서포팅 모듈(5)의 확대도를 참조하면, 서포팅 모듈(5)은 그 돌출부(521)가 레티클(4)과 접촉하고 레티클(4)과 베이스(1) 사이의 갭(L)을 유지하여 그들 사이의 직접 접촉을 방지한다.
또한, 쉬프팅 부재들(53)로서 다수의 볼들은 서포팅 부재(52)의 바디부(522)와 박스(51) 사이에 배치됨으로써 서포팅 부재(52)가 박스(51)에 대해 수평으로 이동할 수 있다. 또한, 스페이서들(523)은 서포팅 부재(52)와 박스(51) 사이의 갭을 유지함으로써 그들 사이의 충돌을 피할 수 있다. 따라서, 레티클(4)이 레티클 포드(1000) 내에 수용될 때 충돌 때문에 레티클(4)의 변위가 발생하면, 레티클(4)과 접촉하는 서포팅 부재(52)는 레티클(4)에 대하여 수평 방향으로 약간 이동할 수 있으므로, 서포팅 부재(52)의 돌출부(521)와 레티클 사이의 마찰에 의해 야기되는 손상 또는 분진의 발생을 방지할 수 있다.
부가적으로, 제1 볼 슬롯들(5121) 또는 제2 볼 슬롯들(5221) 내에서 볼들이 롤링할 때, 볼들과 볼 슬롯들 사이의 마찰에 의해 분진들이 발생될 수 있고, 그 동안, 도 6을 참조하여 전술한 바와 같이, 레티클(4)의 오염을 방지하기 위해 분진들은 먼지 추출 채널들(514)을 통해 레티클 포드(1000) 밖으로 배출될 수 있다.
나아가서, 도 7에 도시된 바와 같이, 필터(515)는 레티클(4) 속으로 오염물질이 들어가는 것을 방지하기 위해 먼지 추출 채널들에 의해 상호 연결된 레티클 포드(10000)의 외부와 내부를 분리하기 위해 먼지 추출 채널들(514)의 출구에 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에서, 도 8에 도시된 바와 같이, 서포팅 부재(52)의 바디부(522)와 박스(51)의 2개의 마주하는 표면들은 각각 쉬프팅 부재들(53)로서 제1 자성 요소(531)와 제2 자성 요소(532)에 상응하게 배치된다. 예를 들어, 3개의 제1 자성 요소들(531)은 바디부(522)의 표면 상에 배치되고, 3개의 제2 자성 요소들(532)은 제1 자성 요소들(531)에 대하여 박스(51)의 표면 상에 배치된다. 제1 자성 요소들(531)과 제2 자성 요소들(532)은 서로 자기적으로 척력이 작용한다. 대안적으로, 다른 실시예에서, 제1 자성 요소(531)에 대응하는 제2 자성 요소(532)는 자기적으로 인력이 작용할 수 있다. 그러나, 본 발명은 전술한 내용에 특히 한정되는 것은 아니다. 서포팅 부재(52)는 제1 자성 요소(531)와 제2 자성 요소(532) 사이의 척력 때문에 박스(51)에 접촉하지 않을 수 있고, 서포팅 부재(52)는 박스(51)에 대하여 수평으로 양간 이동될 수 있다.
그러나, 다른 실시예에서, 서포팅 부재가 박스에 대해 이동할 수 있도록, 쉬프팅 부재들은 실린더, 휠, 액체일 수 있다.
따라서, 본 발명에 의해 제공된 레티클 포드는 레티클 포드 내의 레티클의 위치를 정확하게 포지셔닝할 수 있고 진동에 의해 야기되는 레티클의 수평 또는 길이 방향 변위를 방지할 수 있다. 또한, 레티클의 순도와 품질을 보장하기 위해 레티클과 레티클 포드 사이의 마찰에 의해 생성되는 분진들이 효과적으로 감소된다.
본 발명은 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 아래에 첨부된 청구범위로서 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않는 한 많은 기타 가능한 변형들과 변경들이 만들어질 수 있음을 이해할 것이다.
1...베이스 2...커버
3...포지셔닝 모듈 4...레티클
5...서포팅 모듈 6...로케이터
11...정점(vertex)부 31...소프트 부재
32...인접(abutting) 부재 33...탄성 컴포넌트
34...쉘 51...박스
52...서포팅 부재 53...쉬프팅(shifting) 부재
514...먼지 추출 채널 515...필터
341...제1 개구 342...제2 개구
511...커버 바디 512...메인 바디
513...개구 521...돌출부
522...바디부 523...스페이서
531...제1 자성 요소 532...제2 자성 요소
5121...제2 볼 슬롯 5221...제1 볼 슬롯
1000...레티클 포드

Claims (11)

  1. 레티클(reticle)을 수납하기 위한 레티클 포드(pod)에서,
    4개의 정점(vertex)부들을 가진 베이스;
    상기 베이스에 상응하고 상기 베이스에 대해 결합하는 커버; 및
    상기 정점부들의 적어도 하나 상에 각각 배치된 적어도 하나의 포지셔닝 모듈들을 포함하고,
    포지셔닝 모듈은 소프트 부재와 상기 소프트 부재 위에 배치된 인접(abutting) 부재를 포함하고;
    상기 레티클이 상기 레티클 포드 내에 수납되고 상기 커버가 상기 베이스와 결합될 때, 상기 커버는 상기 인접 부재에 접촉하여 상기 인접 부재에 대항하여 하향 압력을 제공하고;
    상기 소프트 부재에 힘이 인가되고 상기 소프트 부재가 수평 방향으로 변형되도록, 상기 인접 부재가 상기 소프트 부재를 길이 방향으로 압축하도록 구동될 수 있는, 레티클 포드.
  2. 청구항 1에서,
    상기 소프트 부재에 힘이 인가될 때, 상기 소프트 부재의 변형 신장은 수평 방향으로 0.1mm 내지 3.0mm인, 레티클 포드.
  3. 청구항 1에서,
    상기 소프트 부재의 쇼어(Shore) 경도는 A20 내지 A70인, 레티클 포드.
  4. 청구항 1에서,
    상기 소프트 부재는 속이 빈 구조를 구비하는, 레티클 포드.
  5. 청구항 1에서,
    상기 포지셔닝 모듈은 상기 소프트 부재의 속이 빈 구조의 내부에 배치된 탄성 컴포넌트를 더 구비하고,
    상기 레티클이 상기 레티클 포드 내에 수납될 때, 상기 커버에 의해 제공되는 하향 힘이 상기 탄성 컴포넌트와 상기 소프트 부재를 압축시키고;
    상기 커버가 제거될 때, 상기 탄성 컴포넌트는 상향의 탄성력을 제공하여 상기 소프트 부재의 형상을 복귀시키는, 레티클 포드.
  6. 청구항 1에서,
    상기 소프트 부재는 실리콘 물질로 제조된, 레티클 포드.
  7. 청구항 1에서,
    상기 포지셔닝 모듈은 쉘을 더 구비하고,
    상기 쉘은 상기 레티클에 면하는 제1 개구 및 상기 쉘의 꼭대기 상에 형성된 제2 개구를 구비하고;
    상기 쉘은 상기 소프트 부재의 일부분을 위로부터 덮고, 상기 인접 부재의 일부분은 상기 제2 개구를 관통하여 상기 쉘 밖으로 돌출하는, 레티클 포드.
  8. 청구항 1에서,
    상기 베이스 상에 배치되고 상기 베이스 밖으로 적어도 돌출하는 서포팅 모듈을 더 구비하고,
    상기 레티클이 상기 레티클 포드 내에 수납될 때, 상기 서포팅 모듈은 돌출부를 통해 레티클에 맞대어 접촉하는, 레티클 포드.
  9. 청구항 8에서,
    상기 서포팅 모듈은:
    개구를 가진 박스;
    상기 돌출부와 메인 바디를 구비하고 상기 돌출부의 일부분이 상기 개구를 통해 상기 박스 밖으로 돌출한 상태에서 상기 박스 내에 배치된 서포팅 부재; 및
    상기 박스와 상기 메인 바디 사이에 배치된 다수의 쉬프팅 부재들을 포함하고,
    상기 서포팅 부재는 상기 쉬프팅 부재들을 통해 수평 방향으로 상기 박스에 상응하게 이동하는, 레티클 포드.
  10. 청구항 9에서,
    상기 서포팅 부재는 플라스틱 물질로 제조된, 레티클 포드.
  11. 청구항 9에서,
    상기 쉬프팅 부재는 볼, 실린더, 휠, 액체, 또는 자성 요소인, 레티클 포드.
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