KR200319007Y1 - 웨이퍼 수납용기의 기밀구조 - Google Patents

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KR200319007Y1
KR200319007Y1 KR20-2003-0012556U KR20030012556U KR200319007Y1 KR 200319007 Y1 KR200319007 Y1 KR 200319007Y1 KR 20030012556 U KR20030012556 U KR 20030012556U KR 200319007 Y1 KR200319007 Y1 KR 200319007Y1
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조승열
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세양전자 주식회사
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Abstract

본 고안은 웨이퍼 수납용기의 기밀구조에 관한 것으로써, 특히 하부본체와 상부덮개의 결합시 종래와같이 상부패킹의 상측돌부가 상기 하부본체의 패킹안착부의 중앙돌부와 상기 상부덮개의 패킹커버부 사이에 끼여지는 것을 미연에 방지할 수 있도록 하고, 상기 상부패킹의 중간평부의 일측단을 상기 하부본체의 하부함체부 상단과 상부덮개의 상부함체부의 하단이 동일한 수직선상에서 상하로 대향되게 밀착되도록 하여 웨이퍼 수납용기의 기밀상태를 향상하도록 하는 웨이퍼 수납용기의 기밀구조를 제공하는 것이다.
이에, 본 고안은 하부본체와, 상기 하부본체를 커버하는 상부덮개와, 상기 하부본체와 상부덮개사이에 개재되는 상부패킹을 포함하여 이루어지는 웨이퍼수납용기의 기밀구조에 있어서; 상기 하부본체의 하부함체부의 상단과 상기 상부덮개의 하단은 상기 하부본체와 상기 상부덮개를 결합시 동일한 수직선상에서 상하로 대향되도록 형성하고, 상기 상부패킹은 중간평부의 일측단을 상기 하부본체의 하부함체부의 상단과 상기 상부덮개의 하단사이에 개재되도록 돌출성형하고, 상측돌부는 상단부가 일정량 눌려져도 일측방향으로 휘어지지 않도록 자체 수직중심선을 기준으로 내측면과 외측면을 대칭되게 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 기밀구조를 제공한다.
또한, 상기 상부패킹은 일정높이 이상의 상단부는 그 선단중심부가 뽀족하도록 내측면과 외측면을 동일한 경사면으로 형성하고, 상기 경사면 이하는 수직면으로 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 기밀구조를 제공한다.

Description

웨이퍼 수납용기의 기밀구조{AIRTIGHT STRUCTURE OF WAFER BOX}
본 고안은 웨이퍼 수납용기의 기밀구조에 관한 것으로써, 특히 하부본체와 상부덮개의 결합시 종래와같이 상부패킹의 상측돌부가 상기 하부본체의 패킹안착부의 중앙돌부와 상기 상부덮개의 패킹커버부 사이에 끼여지는 것을 미연에 방지할 수 있도록 하고, 상기 상부패킹의 중간평부의 일측단을 상기 하부본체의 하부함체부 상단과 상부덮개의 상부함체부의 하단이 동일한 수직선상에서 상하로 대향되게 밀착되도록 하여 웨이퍼 수납용기의 기밀상태를 향상하도록 하는 웨이퍼 수납용기의 기밀구조를 제공하는 것이다.
일반적으로 박판상의 웨이퍼를 경면연마하는 웨이퍼 가공공정, 상기 경면연마된 웨이퍼상에 여러가지 디바이스를 제조하는 디바이스 제조공정으로 대별되고, 상기 각 공정은 여러가지 배치처리로 분활화된다. 그리고 이러한 각 처리 고정은 배치적으로 또는 장소를 이동하여 그리고 시간을 두고 행하여 지고, 이때문에 상기 처리간 또는 공정간에 제조도중 웨이퍼를 웨이퍼 수납용기에 수납하여 출하한다.
따라서 상기 웨이퍼 수납용기는 내부에 수납된 웨이퍼가 오염되는 것을 방지하기 위하여 외부에서 그 내부로 미세한 공기 및 수분이 유입되지 않도록 기밀 및 수밀상태를 유지하도록 구성되었다.
종래의 웨이퍼 수납용기(1)는 도 1, 2에 도시한 바와같이 하부본체(10)의 좌,우측외부면 또는 전후측외부면에 돌설된 체결돌기(25)를 상부덮개(20)의 좌,우측외부면 또는 전,후측외부면에 하방향으로 돌설된 체결리브(15)에 형성된 체결공(16)에 삽입하므로써, 상기 하부본체(10)와 상부덮개(20)가 상호 분리되지 않도록 결합되었다.
이때, 상기 하부본체(10)의 하부함체부(12)에는 다수의 웨이퍼"W"가 입설된 상태로 일정간격을 두고 장입된 웨이퍼적재함(30)가 수납되어있고, 상기 상부덮개(20)의 상부함체부(23)에는 다수의 탄성편(41)이 돌설된 웨이퍼완충부재(40)가 장입되어 있다.
따라서, 상기 웨이퍼완충부재(40)의 탄성편(41)이 상기 웨이퍼"W"의 상연부를 탄성적으로 눌러주므로써, 웨이퍼 수납용기(1)의 운반시 발생하는 진동에 의하여 상기 웨이퍼"W"의 유동을 방지하였다. 또한, 상기 상부덮개(20)의 패킹커버부(21)의 요홈(22)과 하부본체(10)의 패킹안착부(11) 사이에 개재된 제 1 패킹(50a), 제 2 패킹(50b) 및 상기 제 2 패킹(50b)의 상측에 중첩된 상부패킹(50c)에 의하여, 상기 하부함체부(12)와 상부함체부(23)의 내부공간은 외부로 부터 기밀 및 수밀상태가 유지되며, 그 안에 수납된 다수의 웨이퍼"W"에 외부의 먼지 등이 부착되지않도록 안전하게 보호한 상태로 운반할 수 있는 것이었다.
그러나 상기 상부패킹(50c)은 도 3에 도시한 바와같이 중간의 중간평부(50c-1)와,그 하측으로 두개의 하측지지부(50c-2, 50c-3)가 돌설되었고, 그 상부면 일측에는 일정높이의 상측돌부(50c-4)가 일체형으로 돌설되었으며, 상기 상측돌부(50c-4)의 내측면은 일정각도의 경사면(50c-5)으로 형성되었다. 이때, 상기 경사면(50c-5)은 그 상단(12-1)부가 상기 상측돌부(50c-4)의 하측 중심을 기준으로 한 수직중심선Y-Y의 외측으로 치우쳐져 있는 형태이다.
따라서, 상기 상부패킹(50c)은 도 4에 도시한 바와같이 하부본체(10)의 하부함체부(12)의 상부 개구외연부에 형성된 패킹안착부(11)의 내측패킹안착홈(14)에 제 2 패킹(50b)과 같이 그 상측에 중첩된 상태로 장입된 상태에서 상기 하부본체(10)에 상부커버(20)를 결합한 경우, 상기 상부커버(20)의 패킹커버부(21)에 형성된 요홈(22)의 내측 상부면에 그 상단이 일정량 눌려지게되었다.
이때, 상측돌부(50c-4)는 경사면(50c-5)의 반대방향 즉 외측으로 휘어지면서 그 상단(12-1)부가 외측패킹안착홈(13)과 내측패킹안착홈(14)이 분리되도록 그 사이에 돌출된 중앙돌부(11-1)와 패킹커버부(21)의 요홈(22)의 우측내면 사이로 끼여들어가는 경우가 다수 발생되었으며, 그로인하여 상기 상부덮개(20)의 패킹커버부(21)와 하부본체(10)의 패킹안착부(11) 사이에 일정간격의 틈"C1"이 발생되는 문제점이 있었다.
한편, 상기 하부본체(10)의 하부함체부(12)의 상단(12-1)과 상부덮개(20)의 상부함체부(23)의 하단(23-1) 사이에는 상기 상부패킹(50c)의 중간평부(50c-1)의 일측부가 개재되어, 상기 하부함체부(12)의 상단(12-1)과 상부함체부(23)의 하단(23-1) 사이에 기밀상태를 형성하였다.
즉, 상기 중간평부(50c-1)의 일측단 상부면 소정부위에는 상기 상부함체부(23)의 하단(23-1)이 일정압력으로 밀착되고, 상기 중간평부(50c-1)의 일측단 하부면 소정부위에는 상기 하부함체부(12)의 상단(12-1)이 일정압력으로 밀착되여, 상기 하부함체부(12)와 상부하체부(20-1)의 내부공간으로 웨이퍼수납용기(1)의 외측에서 공기가 유입되지 않도록, 상기 중간평부(50c-1)를 사이에 두고 상부함체부(23)의 하단(23-1)과 하부함체부(12)의 상단(12-1) 사이에 기밀이 형성되었다.
그러나 상기 상부함체부(23)의 하단(23-1)과 하부함체부(12)의 상단(12-1)은 동일한 수직선상에 위치하지 않고 상호대향됨이 없이 상하로 어긋난 상태이다.
따라서, 상기 중간평부(50c-1)는 소정부위를 경계로 상하로 절곡성형되며, 또한, 상기 상부함체부(23)의 상단(12-1)과 하부함체부(12)의 상단(12-1)은 각각 상기 중간평부(50c-1)의 일측단 상부면과 하부면의 소정부위에 일정압력으로 강하게 밀착되지 못하게되며, 그로 인하여 상기 상부함체부(23)의 하단(23-1)과 하부함체부(12)의 상단(12-1)이 각각 대접되는 상기 중간평부(50c-1)의 일측단 상부면과 하부면 사이의 소정부위에는 미세한 틈새"C2"가 발생되었다.
이와같이 형성된 상부덮개(20)와 하부본체(10) 및 상부패킹 사이의 틈새 "C1", "C2"를 통하여 외부의 오염된 공기가 유입되어 웨이퍼 수납상자(1) 내에 수납된 웨이퍼"W"가 오염되는 문제점의 발생되었다.
이에 본 고안은 이와같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로써, 특히 하부본체와 상부덮개를 결합한 경우 상기 하부본체의 내측면 상단과 상부덮개의 내측면하단이 동일한 수직선상에 대향되도록 형성하여 그 사이에 개재되는 상부패킹의 중간평부의 상하부면에 상기 하부본체의 내측면 상단과 상부덮개의 내측면 하단이 각각 소정의 압력으로 밀착되여 틈이 발생되지 않도록하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 고안은 하부본체와 상부덮개를 결합한 경우 그 사이에 개재된 상기 상부패킹의 상측도루가 하부본체와 상부덮개 사이에 끼여서 상기 상부본체와 상부덮개 사이에 틈이 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
이와같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 본 고안은 하부본체와, 상기 하부본체를 커버하는 상부덮개와, 상기 하부본체와 상부덮개사이에 개재되는 상부패킹을 포함하여 이루어지는 웨이퍼수납용기의 기밀구조에 있어서; 상기 하부본체의 하부함체부의 상단과 상기 상부덮개의 하단은 상기 하부본체와 상기 상부덮개를 결합시 동일한 수직선상에서 상하로 대향되도록 형성하고, 상기 상부패킹은 중간평부의 일측단을 상기 하부본체의 하부함체부의 상단과 상기 상부덮개의 하단사이에 개재되도록 돌출성형하고, 상측돌부는 상단부가 일정량 눌려져도 일측방향으로 휘어지지 않도록 자체 수직중심선을 기준으로 내측면과 외측면을 대칭되게 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 기밀구조를 제공한다.
또한, 상기 상부패킹은 일정높이 이상의 상단부는 그 선단중심부가 뽀족하도록 내측면과 외측면을 동일한 경사면으로 형성하고, 상기 경사면 이하는 수직면으로 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 기밀구조를 제공한다.
도 1은 종래의 웨이퍼 수납용기의 외부사시도.
도 2는 종래의 웨이퍼 수납용기의 내부 구조를 나타낸 전단면도.
도 3은 종래의 기밀용 상부패킹의 단면도.
도 4는 종래의 웨이퍼 수납용기의 하부본체와 상부덮개 사이에 기밀상태가 훼손된 상태를 나타낸 전단면도.
도 5는 본 고안에 따른 웨이퍼 수납용기의 외부사시도.
도 6은 본 고안에 따른 웨이퍼 수납용기의 내부 구조를 나타내는 전단면도.
도 7은 본고안에 따른 패킹을 나타내는 사시도.
도 8은 도 7의 A-A 단면도.
*** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ***
100 : 웨이퍼 수납용기 110 : 하부본체
111 : 하부함체부 112 : 패킹안착부
113 : 내측패킹안착홈 114 : 외측패킹안착홈
115 : 중간 돌부 120 : 상부덮개
121 : 패킹커버부 122 : 요홈
123 : 상부함체부
150a : 제 1 패킹 150b : 제 2 패킹
150c : 상부패킹 150c-1 : 중간평부
150c-2 : 제 1 하측 지지부 150c-3 : 제 2 하측 지지부
150c-4 : 상측돌부
본 고안의 구성 및 실시예를 첨부되는 도 5, 6, 7, 8을 참조하여 자세하게설명하면 다음과 같다.
도 5는 본 고안에 따른 웨이퍼 수납용기의 외부사시도이고, 도 6은 본 고안에 따른 웨이퍼 수납용기의 내부 구조를 나타내는 전단면도이고, 도 7은 본고안에 따른 패킹을 나타내는 사시도이고, 도 8은 도 7의 A-A 단면도이다.
본 고안에 따른 웨이퍼 수납용기(100)는 도 5, 6 에 도시한 바와같이 상부가 개방되고 일정부피의 수납용적을 갖는 하부본체(110)와, 상기 하부본체(110)의 개방된 상측부를 덮는 상부덮개(120)과, 상기 하부본체(110)내에 수납되며 다수의 웨이퍼"W-1"가 입설된 상태로 앞뒤로 일정간격을 두고 수납되는 웨이퍼적재함(130)와, 상기 상부덮개(120)에 수납되며 상기 웨이퍼적재함(130)에 수납된 웨이퍼"W-1"의 상연부 좌우를 눌러서 고정하기 위한 웨이퍼완충부재(140)와, 상기 상부덮개(120)과 하부본체(110)사이에 개재되는 기밀·수밀용 제 1 패킹(150a) 및 제 2 패킹(150b)과 상기 제 2 패킹(150b)의 상측부에 중첩되게 설치되는 상부패킹(150c)으로 구성된다.
그리고 상기 하부본체(110)는 상부가 개방되고 일정수용공간은 갖는 하부하부함체부(111)와, 상기 하부함체부(111)의 상부 개구주연부의 외측으로 상기 제 1패킹(150a)이 장입되는 외측패킹안착홈(113)과 상기 제 2패킹(150b)과 상부패킹(150c)이 장입되는 내측패킹안착홈(114) 및 상기 외측패킹안착홈(113)과 내측패킹안착홈(114) 사이에 중앙돌부(115)가 돌설된 패킹안착부(112)와, 상기 패킹안착부(112)의 좌,우측면 또는 전,후측면에 대칭되게 돌설된 체결돌부(116)로 형성된다.
그리고 상기 상부덮개(120)는 하부가 개방되고 상기 하부본체(110)의 하부함체부(111)를 커버하는 상부함체부(123)와, 상기 상부함체부(123)의 개구외주연부에는 상기 패킹안착부(112)를 커버하되 상부패킹(150c)과 중앙돌부(115)의 상단부가 내삽되도록 하부면에 요홈(122)이 형성된 패킹커버부(121)와, 상기 패킹커버부(121)의 좌,우측면 또는 전,후측면에 상호 대칭되게 하측으로 돌설되며 상기 체결돌부(116)가 삽입되는 체결공(125)이 형성된 체결리브(124)로 형성된다.
상기 하부함체부(111)의 상단(111-1)과 상부함체부(123)의 하단(123-1)은 하부본체(110)와 상부덮개(120)을 결합한 상태에서 상하로 대향되게 동일한 수직선상에 위치하도록 형성한다.
또한, 상기 하부본체(110)와 상부덮개(120)은 일정한 자체 탄성을 갖는 플라스틱 및 합성수지 재질로 형성한다.
그리고 상기 제 1 패킹(150a) 및 제 2 패킹(150b)과 상부패킹(150c)은 도 7에 도시한 바와같이 환테형상이며 실리콘재질과 같이 일정한 자체 탄성을 갖는 재질의 합성수지로 형성된다.
또한, 상기 상부패킹(150c)은 도 7, 8에 도시한 바와같이 중간의 중간평부(150c-1)(150c-1)와, 상기 중간평부(150c-1)(150c-1)의 하부면에 돌설된 제 1 지지부(150c-2) 및 제 2 지지부(150c-3)와, 상기 중간평부(150c-1)(150c-1)의 상부면 일측부에 돌설된 상측돌부(150c-4)로 형성된다.
이때, 상기 상측돌부(150c-4)의 상단부(150c-5)는 패킹커버부(121)의 요홈(122)의 상부면에 일정량이 눌려서 밀착되며, 그로인하여 상기 상측돌부(150c-4)가 내측방향 및 외측방향 중 어느 한쪽으로 휘어지지않도록 상기 상측돌부(150c-4)는 자체 수직중심"Y1-Y1"을 기준으로 내측면과 외측면을 대칭되도록 형성하되, 일정높이 이상의 상단부(150c-5)는 그 선단 중심부가 뽀족하도록 내측면과 외측면을 동일한 경사면으로 형성하고 상기 경사면 이하는 수직면으로 형성한다.
또한, 상기 상부패킹(150c)의 중간평부(150c-1)의 일측단은 상기 하부본체(110)의 하부함체부(111)의 상단(111-1)과 상부덮개(120)의 상부함체부(123)의 하단(123-1) 사이에 개재되도록 돌출되어, 그 상,하부면에 상기 하부본체(110)의 하부함체부(111)의 상단(111-1)과 상부덮개(120)의 상부함체부(123)의 하단(123-1)에 상하로 대향되게 밀착되도록 돌출됨이 바람직하다.
이와같이 구성된 본 고안에 따른 웨이퍼 수납용기(100)의 올바른 실시예를 살펴보면 다음과 같다.
도 6에 도시한 바와같이 다수의 웨이퍼"W-1"가 입설된 상태로 일정간격을 두고 장입된 웨이퍼적재함(130)을 하부본체(110)의 하부함체부(111)내에 수납하고, 상부덮개(120)의 상부함체부(123)에 웨이퍼완충부재(140)를 장입한 상태에서, 상기 하부함체부(111)의 상측으로 상부함체부(123)가 대응되도록 하부본체(110)를 상부덮개(120)로 커버한다.
이때, 상기 상부덮개(120)의 체결리브(124)의 체결공(125)에 상기 하부본체(110)의 체결돌부(116)가 삽설되므로써, 하부본체(110)와 상부덮개(120)가 상호 분리됨이 없이 결합된다.
이와같은 상태에서 상기 상부덮개(120)의 상부함체부(123)에 장입된 웨이퍼완충부재(140)(140)의 각각의 탄성편(141)이 상기 웨이퍼 적재함에 장입된 각각의 웨이퍼"W-1"의 상연부를 탄성적으로 눌러주므로써, 웨이퍼 수납용기(100)의 운반시 발생하는 진동에 의하여 상기 웨이퍼"W-1"의 유동을 방지한다.
또한, 상기 하부본체(110)와 상기 상부덮개(120)가 결합된 상태에서, 하부본체(110)의 패킹안착부는 상부덮개(120)의 패킹커버부(121)에 의하여 커버되며, 이때, 상부덮개(120)의 패킹커버부(121)와 하부본체(110)의 패킹안착부(112)사이에 개재된 제 1 패킹(150a) 및 제 2 패킹(150b)과 상부패킹(150c)에 의하여 웨이퍼 수납용기(100) 안이 외부로 부터 기밀 및 수밀상태가 유지되여, 그 안에 수납된 다수의 웨이퍼"W-1"에 외부의 먼지 등이 부착되지않도록 안전하게 보호한 상태로 운반할 수 있는 것이다.
상기 하부본체(110)와 상부덮개(120)가 결합된 상태에 따른 기밀상태를 좀더 자세하게 살펴보면 다음과 같다.
체결리브(124)의 체결공(125)에 체결돌부(115)가 삽입되어 상기 체결돌부(115)의 하단이 상기 체결공(125)의 하단에 걸쳐지므로써, 상부함체부(123)는 하부함체부(111)에 대응되고 패킹커버부(121)는 패킹안착부에 대응된 상태로 상부덮개(120)와 하부본체(110)가 상하로 일정한 결합력으로 결합된다.
이때, 상기 패킹커버부(121)에는 중간돌부(115)를 사이에 두고 외측패킹안착홈(113)에 장입된 제 1 패킹(150a)의 상단이 상부덮개(120)의 패킹커버부(121)의하단에 일정량 눌린상태로 밀착되어 1차적으로 패킹커버부(121)와 패킹안착부(112) 사이의 기밀상태를 형성한다. 그리고 내측패킹안착홈(114)에 장입된 제 2 패킹(150b)과 함께 그 상측에 중첩된 상부패킹(150c)의 상단부(150c-5)가 상기 상부덮개(120)의 요홈(122)의 내측 상면에 일정량 눌린상태로 밀착되어 2차적으로 패킹커버부(121)와 패킹안착부(112) 사이에 기밀상태를 형성한다.
이때, 상기 요홈(122)의 내측상면에 일정량 눌려지는 상기 상부패킹(150c)의 상단부(150c-5)는 도 8에 도시한 바와같이 좌,우경사면이 동일하고 그 선단중앙부가 뽀족하게 돌출된 상태로, 비록 상기 상부패킹(150c)의 상단부(150c-5)가 요홈(122)의 내측상면에 일정량 눌려지더라도 상기 상단부(150c-5)를 포함하는 상측돌부(150c-4)는 일측방향 즉, 내측 및 외측으로 휘어지지않게된다.
또한, 상기 상부패킹(150c)을 형성하는 중간평부(150c-1)의 일측단은 상부함체부(123)의 하단(123-1)과 하부함체부(111)의 상단(111-1)사이에 개재되며, 그 상부면과 하부면에는 상하로 대향되여 상부함체부(123)의 하단(123-1)과 하부하체부의 상단(111-1)이 일정한 압력으로 밀착된다,
따라서, 상기 상부함체부(123)의 하단(123-1)과 하부함체부(111)의 상단(111-1) 사이는 상부패킹(150c)의 중간평부(150c-1)에 의하여 틈이 발생됨이 없이 기밀상태가 유지된다
이상에서 살펴본 바와같이 본 고안은 하부본체의 하부함체부의 상단과 상부덮개의 상부함체부의 하단을 상하로 대향되도록 형성하여 그 사이에 개재되는 패킹을 동일한 수직선상에서 상하로 밀착되도록 하여 종래와같이 그 사이에 개재된 패킹의 상하부면에 상하로 어긋나게 밀착된 하부함체부의 상단과 상부함체부의 하단 사이로 미세한 틈이 발생되어 공기가 유통되는 것을 미연에 방지하고, 또한, 본 고안은 상기 상부덮개의 패킹커버부의 요홈의 상단내측벽에 상단부가 밀착되는 패킹의 상측돌부를 자체 수직중심선을 기준으로 외측면과 내측면을 대칭되게 수직면으로 형성하고, 그 상단부는 중심부가 뽀족하게 를 내,외측면을 동일한 경사면으로 형성하므로써, 상기 상부덮개와 하부본체의 결합시 종래와같이 패킹의 상측돌부가 상기 하부본체의 패킹안착부의 중앙돌부와 상부덮개의 패킹커버부 사이에 끼여지는 것을 미연에 방지하여, 웨이퍼수납용기의 완벽한 기밀상태를 형성할 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 하부본체와, 상기 하부본체를 커버하는 상부덮개와, 상기 하부본체와 상부덮개사이에 개재되는 상부패킹을 포함하여 이루어지는 웨이퍼수납용기의 기밀구조에 있어서;
    상기 하부본체의 하부함체부의 상단과 상기 상부덮개의 하단은 상기 하부본체와 상기 상부덮개를 결합시 동일한 수직선상에서 상하로 대향되도록 형성하고,
    상기 상부패킹은 중간평부의 일측단을 상기 하부본체의 하부함체부의 상단과 상기 상부덮개의 하단사이에 개재되도록 돌출성형하고, 상측돌부는 상단부가 일정량 눌려져도 일측방향으로 휘어지지 않도록 자체 수직중심선을 기준으로 내측면과 외측면을 대칭되게 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 기밀구조.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부패킹은 일정높이 이상의 상단부는 그 선단중심부가 뽀족하도록 내측면과 외측면을 동일한 경사면으로 형성하고, 상기 경사면 이하는 수직면으로 형성하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납용기의 기밀구조.
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