JPH10310191A - 基板収納容器 - Google Patents
基板収納容器Info
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- JPH10310191A JPH10310191A JP9131659A JP13165997A JPH10310191A JP H10310191 A JPH10310191 A JP H10310191A JP 9131659 A JP9131659 A JP 9131659A JP 13165997 A JP13165997 A JP 13165997A JP H10310191 A JPH10310191 A JP H10310191A
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 蓋体を嵌着する際にも精密基板に無用な力が
作用することを防止でき、また、輸送時等において収納
した精密基板のガタツキを確実に防止できる基板収納容
器を提供する。 【解決手段】 半導体ウェハ等の複数の精密基板Ｐを周
縁が収納溝１１ａに遊合した状態でカセット１０に収容
し、このカセット１０を容器本体２０内に傾斜状態で収
容して精密基板Ｐを片寄せし、蓋体３０をカセット１０
内の精密基板Ｐが延びる方向から容器本体２０の開口２
３に嵌着させ、蓋体３０の押さえ部材３９の押さえ溝３
９ａを精密基板Ｐの上縁に遊合させて精密基板Ｐを押さ
え、蓋体３０の装着時や蓋体３０を装着した輸送時等に
おいて精密基板Ｐが破損することを防止する。
作用することを防止でき、また、輸送時等において収納
した精密基板のガタツキを確実に防止できる基板収納容
器を提供する。 【解決手段】 半導体ウェハ等の複数の精密基板Ｐを周
縁が収納溝１１ａに遊合した状態でカセット１０に収容
し、このカセット１０を容器本体２０内に傾斜状態で収
容して精密基板Ｐを片寄せし、蓋体３０をカセット１０
内の精密基板Ｐが延びる方向から容器本体２０の開口２
３に嵌着させ、蓋体３０の押さえ部材３９の押さえ溝３
９ａを精密基板Ｐの上縁に遊合させて精密基板Ｐを押さ
え、蓋体３０の装着時や蓋体３０を装着した輸送時等に
おいて精密基板Ｐが破損することを防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウェハ、
磁気ハードディスク基板、フォトマスク用石英ガラス等
の精密基板を収容する基板収納容器に関する。
磁気ハードディスク基板、フォトマスク用石英ガラス等
の精密基板を収容する基板収納容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】上述した半導体ウェハ等の精密基板は脆
弱であり、輸送時の衝撃や振動で破損しやすく、また、
塵埃等の付着を防止することが不可欠である。このた
め、このような精密基板は、図２に示すような基板収納
容器に収容して輸送等を行い、その破損や汚染の防止が
図られる。図２において、１０はカセット、２０は容器
本体、３０は蓋体であり、これらはポリエチレンやポリ
プロピレン等の樹脂の射出成形により成形される。
弱であり、輸送時の衝撃や振動で破損しやすく、また、
塵埃等の付着を防止することが不可欠である。このた
め、このような精密基板は、図２に示すような基板収納
容器に収容して輸送等を行い、その破損や汚染の防止が
図られる。図２において、１０はカセット、２０は容器
本体、３０は蓋体であり、これらはポリエチレンやポリ
プロピレン等の樹脂の射出成形により成形される。
【０００３】カセット１０は、上部および下部が開口し
た略直方体形状を有し、水平方向に対向する一対の側壁
１１にそれぞれ水平方向に一定間隔で離間して複数の収
納溝１１ａが上下に形成される（図２ｃ参照）。このカ
セット１０には、複数の精密基板Ｐが周縁を収納溝１１
ａに遊合させて、すなわち、相当のクリアランスをもっ
て嵌合させ、整列状態で収納される。なお、このカセッ
ト１０については、本出願人が先に提出した特願平８−
１９５６５６号や特願平８−２５３９８３号の明細書等
に記載されているため、図示と詳細な説明を割愛する。
た略直方体形状を有し、水平方向に対向する一対の側壁
１１にそれぞれ水平方向に一定間隔で離間して複数の収
納溝１１ａが上下に形成される（図２ｃ参照）。このカ
セット１０には、複数の精密基板Ｐが周縁を収納溝１１
ａに遊合させて、すなわち、相当のクリアランスをもっ
て嵌合させ、整列状態で収納される。なお、このカセッ
ト１０については、本出願人が先に提出した特願平８−
１９５６５６号や特願平８−２５３９８３号の明細書等
に記載されているため、図示と詳細な説明を割愛する。
【０００４】容器本体２０は、略一定の肉厚の底壁部２
１の周縁全周に側壁部２２が一体に起立する有底略直方
体形状を有し、上部が底壁部２１と平行（水平）に開口
（開口２３）する。この容器本体２０には、側壁部２２
の外周面に開口２３と近接して受けフランジ２４が全周
にわたって形成され、また、蓋体３０のロック片部（図
示せず）等が形成される。この容器本体２０には、底壁
部２１上、すなわち、内底面に上記カセット１０が載置
され、開口２３に蓋体３０が嵌合してカセット１０を気
密的に封止して収納する。
１の周縁全周に側壁部２２が一体に起立する有底略直方
体形状を有し、上部が底壁部２１と平行（水平）に開口
（開口２３）する。この容器本体２０には、側壁部２２
の外周面に開口２３と近接して受けフランジ２４が全周
にわたって形成され、また、蓋体３０のロック片部（図
示せず）等が形成される。この容器本体２０には、底壁
部２１上、すなわち、内底面に上記カセット１０が載置
され、開口２３に蓋体３０が嵌合してカセット１０を気
密的に封止して収納する。
【０００５】蓋体３０は、略平板状の被蓋部３１と、こ
の被蓋部３１の周縁全周から一体に垂下して下端が被蓋
部３１と平行に開口する筒状の嵌合部３２とを有し、被
蓋部３１の内面に押さえ部材３９が固着される。押さえ
部材３９は、エラストマ等から成形され、その下部に上
述したカセット１０の収納溝と対応した複数の押さえ溝
３９ａが精密基板Ｐの周縁と遊合可能に形成される。こ
の蓋体３０は、上述したように嵌合部３２が容器本体２
０の開口２３に嵌合して開口２３を閉止し、開口２３を
閉止した状態で嵌合部３２の下端が受けフランジ２４に
当接し、また、押さえ部材３９が押さえ溝３９ａにカセ
ット１０内の精密基板Ｐの周縁上部を遊合させて精密基
板Ｐのガタツキを押さえる。
の被蓋部３１の周縁全周から一体に垂下して下端が被蓋
部３１と平行に開口する筒状の嵌合部３２とを有し、被
蓋部３１の内面に押さえ部材３９が固着される。押さえ
部材３９は、エラストマ等から成形され、その下部に上
述したカセット１０の収納溝と対応した複数の押さえ溝
３９ａが精密基板Ｐの周縁と遊合可能に形成される。こ
の蓋体３０は、上述したように嵌合部３２が容器本体２
０の開口２３に嵌合して開口２３を閉止し、開口２３を
閉止した状態で嵌合部３２の下端が受けフランジ２４に
当接し、また、押さえ部材３９が押さえ溝３９ａにカセ
ット１０内の精密基板Ｐの周縁上部を遊合させて精密基
板Ｐのガタツキを押さえる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た基板収納容器にあっては、精密基板Ｐが周縁を収納溝
１１ａに遊合させてカセット１０内に収容され、収納溝
１１ａと精密基板Ｐとの間に相当のクリアランスが形成
されるため、その反射的な効果として精密基板Ｐがカセ
ット１０内で傾きを生じることがあった。そして、図２
ａ，ｂに示すように、これら精密基板Ｐの傾き方向が個
々に異なると、容器本体２０の開口２３に蓋体３０を嵌
着させて押さえ部材３９の押さえ溝３９ａに精密基板Ｐ
の周縁を遊合させる際に押さえ溝３９ａと精密基板Ｐの
周縁との位置が定まらず、押さえ溝３９ａ間の山部が精
密基板Ｐの周縁に押し当てられ、基板Ｐの損傷を招くこ
とがあるという問題があった。
た基板収納容器にあっては、精密基板Ｐが周縁を収納溝
１１ａに遊合させてカセット１０内に収容され、収納溝
１１ａと精密基板Ｐとの間に相当のクリアランスが形成
されるため、その反射的な効果として精密基板Ｐがカセ
ット１０内で傾きを生じることがあった。そして、図２
ａ，ｂに示すように、これら精密基板Ｐの傾き方向が個
々に異なると、容器本体２０の開口２３に蓋体３０を嵌
着させて押さえ部材３９の押さえ溝３９ａに精密基板Ｐ
の周縁を遊合させる際に押さえ溝３９ａと精密基板Ｐの
周縁との位置が定まらず、押さえ溝３９ａ間の山部が精
密基板Ｐの周縁に押し当てられ、基板Ｐの損傷を招くこ
とがあるという問題があった。
【０００７】そこで、上述した問題の解決を目的に、図
３に示す基板収納容器が提案されている（便宜上、先行
技術と称する）。この基板収納容器は、容器本体２０の
底壁部２１に三角板状の脚２１ａを形成し、底壁部２１
を脚２１ａの下面で規定される面（据付面）に対して所
定の角度θだけ傾斜させ、また、蓋体３０に押さえ部材
３９を底壁部２１と同一の角度θ傾斜させて固着する。
この基板収納容器は、カセット１０が底壁部２１上に載
置されると傾斜し、カセット１０内の精密基板Ｐが全て
同一方向に傾斜、すなわち、全ての精密基板Ｐが一方向
に片寄るため、押さえ部材３９の山部が精密基板Ｐに押
し付けられることがなく、山部の押し当てに起因した基
板Ｐの破損が防止される。
３に示す基板収納容器が提案されている（便宜上、先行
技術と称する）。この基板収納容器は、容器本体２０の
底壁部２１に三角板状の脚２１ａを形成し、底壁部２１
を脚２１ａの下面で規定される面（据付面）に対して所
定の角度θだけ傾斜させ、また、蓋体３０に押さえ部材
３９を底壁部２１と同一の角度θ傾斜させて固着する。
この基板収納容器は、カセット１０が底壁部２１上に載
置されると傾斜し、カセット１０内の精密基板Ｐが全て
同一方向に傾斜、すなわち、全ての精密基板Ｐが一方向
に片寄るため、押さえ部材３９の山部が精密基板Ｐに押
し付けられることがなく、山部の押し当てに起因した基
板Ｐの破損が防止される。
【０００８】ところが、上述した先行技術にかかる基板
収納容器にあっては、図３ｂに示すように、容器本体２
０の開口２３に蓋体３０を嵌着させる際に、基板Ｐの周
縁上部が押さえ部材３９の押さえ溝３９ａと完全に遊合
する前に基板Ｐの周縁が押さえ溝３９ａの側面と当接す
るため、続いて、蓋体３０を嵌合部３２の下端が受けフ
ランジ２４と当接するまで押し込むと、精密基板Ｐには
押さえ溝３９ａの側面によって斜め方向の力が作用し、
精密基板Ｐが歪みや破損を引き起こすという欠点があっ
た。この発明は、上記問題および欠点に鑑みなされたも
ので、蓋体を嵌着する際にも精密基板に無用な力が作用
することを防止でき、また、輸送時等において収納した
精密基板のガタツキを確実に防止できる基板収納容器を
提供することを目的とする。
収納容器にあっては、図３ｂに示すように、容器本体２
０の開口２３に蓋体３０を嵌着させる際に、基板Ｐの周
縁上部が押さえ部材３９の押さえ溝３９ａと完全に遊合
する前に基板Ｐの周縁が押さえ溝３９ａの側面と当接す
るため、続いて、蓋体３０を嵌合部３２の下端が受けフ
ランジ２４と当接するまで押し込むと、精密基板Ｐには
押さえ溝３９ａの側面によって斜め方向の力が作用し、
精密基板Ｐが歪みや破損を引き起こすという欠点があっ
た。この発明は、上記問題および欠点に鑑みなされたも
ので、蓋体を嵌着する際にも精密基板に無用な力が作用
することを防止でき、また、輸送時等において収納した
精密基板のガタツキを確実に防止できる基板収納容器を
提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、上部が開口した側壁部に収納溝を水平
方向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合さ
せて複数の基板を起立状態で整列収容するカセットと、
上部に開口を、下部に据付脚部を有し、内部に前記カセ
ットを保持する保持部が形成された略有底筒状の容器本
体と、該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、該蓋
体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の基板の周
縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部材
と、を備えた基板収納容器において、前記保持部を、前
記カセットを前記据付脚部により規定される据付面に対
して所定角度θ、望ましくは、所定角度θを３°〜３０
°として傾斜させた状態で保持可能に形成するととも
に、前記蓋体の前記開口への嵌合方向を前記カセットの
傾斜方向と直角な方向に一致させた。
め、この発明は、上部が開口した側壁部に収納溝を水平
方向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合さ
せて複数の基板を起立状態で整列収容するカセットと、
上部に開口を、下部に据付脚部を有し、内部に前記カセ
ットを保持する保持部が形成された略有底筒状の容器本
体と、該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、該蓋
体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の基板の周
縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部材
と、を備えた基板収納容器において、前記保持部を、前
記カセットを前記据付脚部により規定される据付面に対
して所定角度θ、望ましくは、所定角度θを３°〜３０
°として傾斜させた状態で保持可能に形成するととも
に、前記蓋体の前記開口への嵌合方向を前記カセットの
傾斜方向と直角な方向に一致させた。
【００１０】そして、この発明は、請求項２に記載され
るように具体化される。すなわち、上部が開口した側壁
部に収納溝を水平方向に対向して上下に形成し、該収納
溝に周縁を遊合させて複数の基板を起立状態で整列収容
するカセットと、上部が開口し、内底面上に前記カセッ
トを載置して収容する略有底筒状の容器本体と、該容器
本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、該蓋体の内面に設
けられ、下部に前記カセット内の基板の周縁上部が遊合
可能な押さえ溝を形成された押さえ部材と、を備えた基
板収納容器において、前記容器本体の下部に脚を設け、
該脚により規定される据付面に対して容器本体の内底面
を所定角度傾斜させるとともに、該内底面と直交する方
向を指向させて前記開口を開口させ、該開口に内底面と
直交する方向から前記蓋体を嵌着、取外可能に構成され
る。
るように具体化される。すなわち、上部が開口した側壁
部に収納溝を水平方向に対向して上下に形成し、該収納
溝に周縁を遊合させて複数の基板を起立状態で整列収容
するカセットと、上部が開口し、内底面上に前記カセッ
トを載置して収容する略有底筒状の容器本体と、該容器
本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、該蓋体の内面に設
けられ、下部に前記カセット内の基板の周縁上部が遊合
可能な押さえ溝を形成された押さえ部材と、を備えた基
板収納容器において、前記容器本体の下部に脚を設け、
該脚により規定される据付面に対して容器本体の内底面
を所定角度傾斜させるとともに、該内底面と直交する方
向を指向させて前記開口を開口させ、該開口に内底面と
直交する方向から前記蓋体を嵌着、取外可能に構成され
る。
【００１１】カセットは、前述した特願平８−１９５６
５８号等で提案されるもの等、例えば、上部、下部およ
び一側が開口したフレーム状の部材を有し、この部材の
対向する内側面に上下に延びる複数の収納溝を一定の間
隔で形成したもの等が用いられる。このカセットは、通
常、収納溝が形成された対向する壁部分をそれぞれ下方
の開口側で接近するように精密基板の周縁とほぼ等しい
曲率で湾曲させ、湾曲部分の収納溝で精密基板を受け止
め保持する。
５８号等で提案されるもの等、例えば、上部、下部およ
び一側が開口したフレーム状の部材を有し、この部材の
対向する内側面に上下に延びる複数の収納溝を一定の間
隔で形成したもの等が用いられる。このカセットは、通
常、収納溝が形成された対向する壁部分をそれぞれ下方
の開口側で接近するように精密基板の周縁とほぼ等しい
曲率で湾曲させ、湾曲部分の収納溝で精密基板を受け止
め保持する。
【００１２】容器本体は、載置台等の水平な載置面に据
付脚部により載置され、上部の開口によりカセットの収
納や取出が行われる。この容器本体は、内底面を保持部
として該内底面上に載せてカセットを収納し、あるい
は、内側面等に段差状若しくはフランジ状等に形成され
た保持部でカセットを保持して収納する。保持部は、据
付脚部により規定される据付面、すなわち、載置状態を
基準とすれば載置台の載置面に対して所定角度傾斜し、
カセットを基板が一方向に片寄った傾斜状態で保持す
る。開口は、蓋体により開閉され、この蓋体の装着、取
外方向が保持部と直交する角度で傾斜する。
付脚部により載置され、上部の開口によりカセットの収
納や取出が行われる。この容器本体は、内底面を保持部
として該内底面上に載せてカセットを収納し、あるい
は、内側面等に段差状若しくはフランジ状等に形成され
た保持部でカセットを保持して収納する。保持部は、据
付脚部により規定される据付面、すなわち、載置状態を
基準とすれば載置台の載置面に対して所定角度傾斜し、
カセットを基板が一方向に片寄った傾斜状態で保持す
る。開口は、蓋体により開閉され、この蓋体の装着、取
外方向が保持部と直交する角度で傾斜する。
【００１３】蓋体は、前述した特願平８−２５３９８３
号の明細書等に記載されたものが用いられ、内面に押さ
え部材が押さえ溝の形成部分を保持部と平行に位置させ
て（蓋体が容器本体の開口に嵌着した状態で）設けられ
る。この蓋体は容器本体の開口に保持部と直交する方向
から嵌着され、蓋体が容器本体の開口に嵌着した状態で
押さえ部材は押さえ溝に基板の周縁を遊合させて基板を
押さえ、基板のガタツキ等を防止する。
号の明細書等に記載されたものが用いられ、内面に押さ
え部材が押さえ溝の形成部分を保持部と平行に位置させ
て（蓋体が容器本体の開口に嵌着した状態で）設けられ
る。この蓋体は容器本体の開口に保持部と直交する方向
から嵌着され、蓋体が容器本体の開口に嵌着した状態で
押さえ部材は押さえ溝に基板の周縁を遊合させて基板を
押さえ、基板のガタツキ等を防止する。
【００１４】
【作用】この発明にかかる基板収納容器は、複数の基板
を周縁が収納溝に遊合した状態でカセットに整列保持
し、このカセットを容器本体内に保持部により傾斜させ
て収容し、容器本体の開口に蓋体を嵌着させ、蓋体内面
の押さえ部材の押さえ溝に基板の周縁を遊合させて基板
を押さえる。このため、輸送時等において衝撃や振動が
加わっても、基板がガタツキを生じることがなく、基板
の破損等が防止される。そして、蓋体を容器本体の開口
に嵌着させる際には、カセットが傾斜状態で容器本体内
に収容されて全ての基板が一方向に片寄り、また、蓋体
を基板の収納方向と同一方向から嵌合させるため、基板
の周縁上部が押さえ部材の押さえ溝側面に当接すること
がなく、基板に力が作用せず、基板に歪みが生じるこ
と、また、基板の破損を防止できる。
を周縁が収納溝に遊合した状態でカセットに整列保持
し、このカセットを容器本体内に保持部により傾斜させ
て収容し、容器本体の開口に蓋体を嵌着させ、蓋体内面
の押さえ部材の押さえ溝に基板の周縁を遊合させて基板
を押さえる。このため、輸送時等において衝撃や振動が
加わっても、基板がガタツキを生じることがなく、基板
の破損等が防止される。そして、蓋体を容器本体の開口
に嵌着させる際には、カセットが傾斜状態で容器本体内
に収容されて全ての基板が一方向に片寄り、また、蓋体
を基板の収納方向と同一方向から嵌合させるため、基板
の周縁上部が押さえ部材の押さえ溝側面に当接すること
がなく、基板に力が作用せず、基板に歪みが生じるこ
と、また、基板の破損を防止できる。
【００１５】
【実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図面を参
照して説明する。図１はこの発明の一の実施の形態にか
かる基板収納容器を示し、図１ａが分解状態の模式断面
図、図１ｂが容器本体に蓋体を嵌着させた状態の模式断
面図である。なお、上述した図２および図３と同一の部
分には同一の符号を付して、一部の説明を割愛する。
照して説明する。図１はこの発明の一の実施の形態にか
かる基板収納容器を示し、図１ａが分解状態の模式断面
図、図１ｂが容器本体に蓋体を嵌着させた状態の模式断
面図である。なお、上述した図２および図３と同一の部
分には同一の符号を付して、一部の説明を割愛する。
【００１６】この実施の形態は、容器本体２０の下部
（下面）に略三角形板状の脚２１ａを一体成形あるいは
接着等で固定して設け、容器本体２０の底壁部２１を脚
２１ａの下面で規定される据付面Ｌに対して３°〜３０
°の角度（所定角度θ）傾斜させるとともに、開口２３
を底壁部２１と直交する方向に指向させて開口させる。
すなわち、容器本体２０は、底壁部２１と側壁部２２か
らなる部分（便宜上、収納部分と称する）が脚２１ａに
より全体として所定角度θ傾斜する。
（下面）に略三角形板状の脚２１ａを一体成形あるいは
接着等で固定して設け、容器本体２０の底壁部２１を脚
２１ａの下面で規定される据付面Ｌに対して３°〜３０
°の角度（所定角度θ）傾斜させるとともに、開口２３
を底壁部２１と直交する方向に指向させて開口させる。
すなわち、容器本体２０は、底壁部２１と側壁部２２か
らなる部分（便宜上、収納部分と称する）が脚２１ａに
より全体として所定角度θ傾斜する。
【００１７】また、蓋体３０は、前述した図２に示した
ものと同一のもの、すなわち、被蓋部３１の内面に押さ
え部材３９が押さえ溝３９ａを被蓋部３１の内面と平行
に位置させて固着されたものが用いられる。同様に、カ
セット１０も、前述した図１，２に示したものと同一の
もの、すなわち、特願平７−３２９４３６号、特願平８
−１９５６５６号あるいは特願平８−２５３９８３号等
の明細書および図面に記載されたものが用いられる。
ものと同一のもの、すなわち、被蓋部３１の内面に押さ
え部材３９が押さえ溝３９ａを被蓋部３１の内面と平行
に位置させて固着されたものが用いられる。同様に、カ
セット１０も、前述した図１，２に示したものと同一の
もの、すなわち、特願平７−３２９４３６号、特願平８
−１９５６５６号あるいは特願平８−２５３９８３号等
の明細書および図面に記載されたものが用いられる。
【００１８】なお、図示と説明は省略するが、容器本体
２０と蓋体３０には蓋体３０を容器本体２０に固定する
ロック機構と、容器本体２０と蓋体３０の周方向の位置
決めを行う位置決め機構とが設けられ、また、容器本体
２０にはカセット１０の位置決めを行う位置決め部等が
形成され、この位置決め部や位置決め機構によりカセッ
ト１０の精密基板Ｐ配列方向と押さえ部材３９の押さえ
溝３９ａの延在方向とが整合される。
２０と蓋体３０には蓋体３０を容器本体２０に固定する
ロック機構と、容器本体２０と蓋体３０の周方向の位置
決めを行う位置決め機構とが設けられ、また、容器本体
２０にはカセット１０の位置決めを行う位置決め部等が
形成され、この位置決め部や位置決め機構によりカセッ
ト１０の精密基板Ｐ配列方向と押さえ部材３９の押さえ
溝３９ａの延在方向とが整合される。
【００１９】この実施の形態にかかる基板収納容器は、
半導体ウェハ等の精密基板Ｐを輸送や保管する際等に用
いる。そして、精密基板Ｐの輸送等に際しては、先ず、
カセット１０内に複数の精密基板Ｐを整列させて収納す
る。すなわち、カセット１０内に複数の精密基板Ｐを周
縁が収納溝１１ａと遊合した状態で整列して収容する。
ここで、カセット１０内の精密基板Ｐは、周縁と収納溝
１１ａとの間にクリアランスが存在するため、傾き等の
変位が許容される。
半導体ウェハ等の精密基板Ｐを輸送や保管する際等に用
いる。そして、精密基板Ｐの輸送等に際しては、先ず、
カセット１０内に複数の精密基板Ｐを整列させて収納す
る。すなわち、カセット１０内に複数の精密基板Ｐを周
縁が収納溝１１ａと遊合した状態で整列して収容する。
ここで、カセット１０内の精密基板Ｐは、周縁と収納溝
１１ａとの間にクリアランスが存在するため、傾き等の
変位が許容される。
【００２０】次に、精密基板Ｐが収納されたカセット１
０を容器本体２０内に収容する。すなわち、容器本体２
０内の底壁部２１上にカセット１０を載置する。ここ
で、底壁部２１は３°〜３０°の角度で傾斜しているた
め、カセット１０も傾斜し、カセット１０内の精密基板
Ｐも傾斜方向下側に片寄せられる。すなわち、カセット
１０内の精密基板Ｐは、収納溝１１ａのピッチに等しい
間隔で、底壁部２１と直交する方向に延びた状態で整列
される。なお、底壁部２１の傾斜角度が３°未満の場
合、カセット１０内の精密基板Ｐが傾斜方向に片寄せら
れない可能性がある。
０を容器本体２０内に収容する。すなわち、容器本体２
０内の底壁部２１上にカセット１０を載置する。ここ
で、底壁部２１は３°〜３０°の角度で傾斜しているた
め、カセット１０も傾斜し、カセット１０内の精密基板
Ｐも傾斜方向下側に片寄せられる。すなわち、カセット
１０内の精密基板Ｐは、収納溝１１ａのピッチに等しい
間隔で、底壁部２１と直交する方向に延びた状態で整列
される。なお、底壁部２１の傾斜角度が３°未満の場
合、カセット１０内の精密基板Ｐが傾斜方向に片寄せら
れない可能性がある。
【００２１】この後、容器本体２０の開口２３に蓋体３
０を嵌着し、容器本体２０内の精密基板Ｐを気密的に封
止する。ここで、蓋体３０は開口２３の開口方向から開
口２３に嵌着され、また、上述したようにカセット１０
内の精密基板Ｐは所定のピッチで整列されて蓋体３０の
嵌着方向と平行に延びる。このため、押さえ部材３９の
押さえ溝３９ａの側面等が精密基板Ｐの上縁に当接して
精密基板Ｐを押圧することがなく、蓋体３０を嵌着する
際の精密基板Ｐの破損や歪みの発生が防止される。な
お、底壁部２１が３０°を超える角度で傾斜している
と、蓋体３０を嵌着する際に容器本体３０が横にずれる
ため作業が煩わしくなる可能性がある。
０を嵌着し、容器本体２０内の精密基板Ｐを気密的に封
止する。ここで、蓋体３０は開口２３の開口方向から開
口２３に嵌着され、また、上述したようにカセット１０
内の精密基板Ｐは所定のピッチで整列されて蓋体３０の
嵌着方向と平行に延びる。このため、押さえ部材３９の
押さえ溝３９ａの側面等が精密基板Ｐの上縁に当接して
精密基板Ｐを押圧することがなく、蓋体３０を嵌着する
際の精密基板Ｐの破損や歪みの発生が防止される。な
お、底壁部２１が３０°を超える角度で傾斜している
と、蓋体３０を嵌着する際に容器本体３０が横にずれる
ため作業が煩わしくなる可能性がある。
【００２２】また、蓋体３０を容器本体２０の開口２３
に嵌着した被蓋状態においては、押さえ部材３９が押さ
え溝３９ａに精密基板Ｐの上縁を遊合させて押さえるた
め、輸送等に際してのガタツキも防止できる。すなわ
ち、カセット１０に精密基板Ｐを収納した状態では収納
溝１１ａと精密基板Ｐ周縁との間にクリアランスがある
ため、精密基板Ｐのガタツキが生じやすいが、精密基板
Ｐは押さえ部材３９により上方から押さえられるためガ
タツキが防止される。
に嵌着した被蓋状態においては、押さえ部材３９が押さ
え溝３９ａに精密基板Ｐの上縁を遊合させて押さえるた
め、輸送等に際してのガタツキも防止できる。すなわ
ち、カセット１０に精密基板Ｐを収納した状態では収納
溝１１ａと精密基板Ｐ周縁との間にクリアランスがある
ため、精密基板Ｐのガタツキが生じやすいが、精密基板
Ｐは押さえ部材３９により上方から押さえられるためガ
タツキが防止される。
【００２３】なお、上述した実施の形態では、容器本体
２０の底壁部２１の上面、すなわち、内底面にカセット
１０を載置し、内底面を保持部として用いるが、容器本
体２０の側壁部２２等に突起やフランジ等の保持部を、
また、この保持部に掛止可能な掛止部をカセット１０に
形成し、カセット１０は掛止部を容器本体２０の保持部
に掛止させて傾斜状態で容器本体２０内に収容すること
も可能である。
２０の底壁部２１の上面、すなわち、内底面にカセット
１０を載置し、内底面を保持部として用いるが、容器本
体２０の側壁部２２等に突起やフランジ等の保持部を、
また、この保持部に掛止可能な掛止部をカセット１０に
形成し、カセット１０は掛止部を容器本体２０の保持部
に掛止させて傾斜状態で容器本体２０内に収容すること
も可能である。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明にかかる
基板収納容器によれば、複数の精密基板を周縁が収納溝
に遊合した状態でカセットに収容し、このカセットを容
器本体内に傾斜状態で収容して精密基板を片寄せし、蓋
体をカセット内の精密基板が延びる方向から容器本体の
開口に嵌着させ、蓋体の押さえ部材の押さえ溝を精密基
板の上縁に遊合させて精密基板を押さえるため、蓋体の
被蓋時に精密基板に押さえ部材によって力が加わること
がなく精密基板の破損や歪みの発生が防止でき、また、
被蓋した状態では精密基板が押さえ部材により押さえら
れてガタツキも防止される。
基板収納容器によれば、複数の精密基板を周縁が収納溝
に遊合した状態でカセットに収容し、このカセットを容
器本体内に傾斜状態で収容して精密基板を片寄せし、蓋
体をカセット内の精密基板が延びる方向から容器本体の
開口に嵌着させ、蓋体の押さえ部材の押さえ溝を精密基
板の上縁に遊合させて精密基板を押さえるため、蓋体の
被蓋時に精密基板に押さえ部材によって力が加わること
がなく精密基板の破損や歪みの発生が防止でき、また、
被蓋した状態では精密基板が押さえ部材により押さえら
れてガタツキも防止される。
【図１】この発明の一の実施の形態にかかる基板収納容
器を示し、ａが開き状態の模式断面図、ｂが閉じ状態の
模式断面図である。
器を示し、ａが開き状態の模式断面図、ｂが閉じ状態の
模式断面図である。
【図２】従来の基板収納容器を示し、ａが開き状態の模
式断面図、ｂが閉じ状態の模式断面図、ｃがカセットの
模式平面図である。
式断面図、ｂが閉じ状態の模式断面図、ｃがカセットの
模式平面図である。
【図３】先行技術にかかる基板収納容器を示し、ａが開
き状態の模式断面図、ｂが閉じ状態の模式断面図であ
る。
き状態の模式断面図、ｂが閉じ状態の模式断面図であ
る。
１０ カセット １１ａ 収納溝 ２０ 容器本体 ２１ 底壁部（保持部） ２１ａ 脚 ２２ 側壁部 ２３ 開口 ３０ 蓋体 ３９ 押さえ部材 ３９ａ 押さえ溝 Ｐ 精密基板 Ｌ 載置面（据付面） θ 傾斜角度
Claims (2)
- 【請求項１】 上部が開口した側壁部に収納溝を水平方
向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合させ
て複数の基板を起立状態で整列収容するカセットと、 上部に開口を、下部に据付脚部を有し、内部に前記カセ
ットを保持する保持部が形成された略有底筒状の容器本
体と、 該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、 該蓋体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の基板
の周縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部
材と、を備えた基板収納容器において、前記保持部を、
前記カセットを前記据付脚部により規定される据付面に
対して所定角度θ傾斜した傾斜状態で保持可能に形成す
るとともに、前記蓋体の前記開口への嵌合方向を前記カ
セットの傾斜方向と直角な方向に一致させたことを特徴
とする基板収納容器。 - 【請求項２】 上部が開口した側壁部に収納溝を水平方
向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合させ
て複数の基板を起立状態で整列収容するカセットと、 上部が開口し、内底面上に前記カセットを載置して収容
する略有底筒状の容器本体と、 該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、 該蓋体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の基板
の周縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部
材と、を備えた基板収納容器において、 前記容器本体の下部に脚を設け、該脚により規定される
据付面に対して容器本体の内底面を所定角度傾斜させる
とともに、該内底面と直交する方向に前記開口を開口さ
せ、該開口に開口方向から前記蓋体を嵌着可能としたこ
とを特徴とする基板収納容器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13165997A JP3880131B2 (ja) | 1997-05-07 | 1997-05-07 | 基板収納容器 |
| US09/069,106 US5887721A (en) | 1997-05-07 | 1998-04-29 | Wafer carrier box |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13165997A JP3880131B2 (ja) | 1997-05-07 | 1997-05-07 | 基板収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10310191A true JPH10310191A (ja) | 1998-11-24 |
| JP3880131B2 JP3880131B2 (ja) | 2007-02-14 |
Family
ID=15063232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13165997A Expired - Fee Related JP3880131B2 (ja) | 1997-05-07 | 1997-05-07 | 基板収納容器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5887721A (ja) |
| JP (1) | JP3880131B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008241103A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 換気装置 |
| JP5641050B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2014-12-17 | 富士電機株式会社 | ウェハ収納具、及びウェハカセットの収納ケース |
| JP2015173171A (ja) * | 2014-03-11 | 2015-10-01 | セイコーインスツル株式会社 | ウェハキャリア及びウェハキャリアからウェハを取り出す方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060066333A1 (en) * | 2004-09-30 | 2006-03-30 | Jian-Huei Feng | System and method for aligning wafers |
| KR101695434B1 (ko) * | 2009-03-30 | 2017-01-23 | 에이티에스 오토메이션 툴링 시스템즈 인코포레이티드 | 웨이퍼를 다루기 위한 시스템 및 방법 |
| DE102012106087B4 (de) * | 2011-07-29 | 2015-10-22 | Rogers Germany Gmbh | Verpackungseinheit für Substrate |
| CN105518529A (zh) * | 2013-09-11 | 2016-04-20 | 信越聚合物株式会社 | 光罩基底衬底收纳容器 |
| WO2015056317A1 (ja) * | 2013-10-16 | 2015-04-23 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器を梱包するための梱包構造体 |
| CN108364894A (zh) * | 2018-02-08 | 2018-08-03 | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 | 一种便于晶圆盒合盖的晶圆盒存放运输装置 |
| CN113496930A (zh) * | 2020-04-03 | 2021-10-12 | 重庆超硅半导体有限公司 | 一种集成电路用硅片无损伤转移方法 |
| CN115274516B (zh) * | 2022-06-23 | 2023-12-01 | 江苏亚电科技有限公司 | 一种无篮晶圆水平传输方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US335178A (en) * | 1886-02-02 | Paper box | ||
| US1549645A (en) * | 1924-10-28 | 1925-08-11 | Heppe Paper Box Company | Foldable structure |
| US3168192A (en) * | 1962-02-02 | 1965-02-02 | Union Carbide Canada Ltd | Pilfer proof display box |
| US4049114A (en) * | 1976-07-26 | 1977-09-20 | Immco Industries, Inc. | Convertible carton |
| US4842136A (en) * | 1987-02-13 | 1989-06-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Dust-proof container having improved construction for holding a reticle therein |
| US4962849A (en) * | 1989-10-06 | 1990-10-16 | General Mills, Inc. | Food container with lid closure having a stand feature |
| US5248033A (en) * | 1991-05-14 | 1993-09-28 | Fluoroware, Inc. | Hinged tilt box with inclined portion |
-
1997
- 1997-05-07 JP JP13165997A patent/JP3880131B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-04-29 US US09/069,106 patent/US5887721A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5887721A (en) | 1999-03-30 |
| JP3880131B2 (ja) | 2007-02-14 |
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