JPH10310191A - 基板収納容器 - Google Patents
基板収納容器Info
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- JPH10310191A JPH10310191A JP9131659A JP13165997A JPH10310191A JP H10310191 A JPH10310191 A JP H10310191A JP 9131659 A JP9131659 A JP 9131659A JP 13165997 A JP13165997 A JP 13165997A JP H10310191 A JPH10310191 A JP H10310191A
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Abstract
作用することを防止でき、また、輸送時等において収納
した精密基板のガタツキを確実に防止できる基板収納容
器を提供する。 【解決手段】 半導体ウェハ等の複数の精密基板Pを周
縁が収納溝11aに遊合した状態でカセット10に収容
し、このカセット10を容器本体20内に傾斜状態で収
容して精密基板Pを片寄せし、蓋体30をカセット10
内の精密基板Pが延びる方向から容器本体20の開口2
3に嵌着させ、蓋体30の押さえ部材39の押さえ溝3
9aを精密基板Pの上縁に遊合させて精密基板Pを押さ
え、蓋体30の装着時や蓋体30を装着した輸送時等に
おいて精密基板Pが破損することを防止する。
Description
磁気ハードディスク基板、フォトマスク用石英ガラス等
の精密基板を収容する基板収納容器に関する。
弱であり、輸送時の衝撃や振動で破損しやすく、また、
塵埃等の付着を防止することが不可欠である。このた
め、このような精密基板は、図2に示すような基板収納
容器に収容して輸送等を行い、その破損や汚染の防止が
図られる。図2において、10はカセット、20は容器
本体、30は蓋体であり、これらはポリエチレンやポリ
プロピレン等の樹脂の射出成形により成形される。
た略直方体形状を有し、水平方向に対向する一対の側壁
11にそれぞれ水平方向に一定間隔で離間して複数の収
納溝11aが上下に形成される(図2c参照)。このカ
セット10には、複数の精密基板Pが周縁を収納溝11
aに遊合させて、すなわち、相当のクリアランスをもっ
て嵌合させ、整列状態で収納される。なお、このカセッ
ト10については、本出願人が先に提出した特願平8−
195656号や特願平8−253983号の明細書等
に記載されているため、図示と詳細な説明を割愛する。
1の周縁全周に側壁部22が一体に起立する有底略直方
体形状を有し、上部が底壁部21と平行(水平)に開口
(開口23)する。この容器本体20には、側壁部22
の外周面に開口23と近接して受けフランジ24が全周
にわたって形成され、また、蓋体30のロック片部(図
示せず)等が形成される。この容器本体20には、底壁
部21上、すなわち、内底面に上記カセット10が載置
され、開口23に蓋体30が嵌合してカセット10を気
密的に封止して収納する。
の被蓋部31の周縁全周から一体に垂下して下端が被蓋
部31と平行に開口する筒状の嵌合部32とを有し、被
蓋部31の内面に押さえ部材39が固着される。押さえ
部材39は、エラストマ等から成形され、その下部に上
述したカセット10の収納溝と対応した複数の押さえ溝
39aが精密基板Pの周縁と遊合可能に形成される。こ
の蓋体30は、上述したように嵌合部32が容器本体2
0の開口23に嵌合して開口23を閉止し、開口23を
閉止した状態で嵌合部32の下端が受けフランジ24に
当接し、また、押さえ部材39が押さえ溝39aにカセ
ット10内の精密基板Pの周縁上部を遊合させて精密基
板Pのガタツキを押さえる。
た基板収納容器にあっては、精密基板Pが周縁を収納溝
11aに遊合させてカセット10内に収容され、収納溝
11aと精密基板Pとの間に相当のクリアランスが形成
されるため、その反射的な効果として精密基板Pがカセ
ット10内で傾きを生じることがあった。そして、図2
a,bに示すように、これら精密基板Pの傾き方向が個
々に異なると、容器本体20の開口23に蓋体30を嵌
着させて押さえ部材39の押さえ溝39aに精密基板P
の周縁を遊合させる際に押さえ溝39aと精密基板Pの
周縁との位置が定まらず、押さえ溝39a間の山部が精
密基板Pの周縁に押し当てられ、基板Pの損傷を招くこ
とがあるという問題があった。
3に示す基板収納容器が提案されている(便宜上、先行
技術と称する)。この基板収納容器は、容器本体20の
底壁部21に三角板状の脚21aを形成し、底壁部21
を脚21aの下面で規定される面(据付面)に対して所
定の角度θだけ傾斜させ、また、蓋体30に押さえ部材
39を底壁部21と同一の角度θ傾斜させて固着する。
この基板収納容器は、カセット10が底壁部21上に載
置されると傾斜し、カセット10内の精密基板Pが全て
同一方向に傾斜、すなわち、全ての精密基板Pが一方向
に片寄るため、押さえ部材39の山部が精密基板Pに押
し付けられることがなく、山部の押し当てに起因した基
板Pの破損が防止される。
収納容器にあっては、図3bに示すように、容器本体2
0の開口23に蓋体30を嵌着させる際に、基板Pの周
縁上部が押さえ部材39の押さえ溝39aと完全に遊合
する前に基板Pの周縁が押さえ溝39aの側面と当接す
るため、続いて、蓋体30を嵌合部32の下端が受けフ
ランジ24と当接するまで押し込むと、精密基板Pには
押さえ溝39aの側面によって斜め方向の力が作用し、
精密基板Pが歪みや破損を引き起こすという欠点があっ
た。この発明は、上記問題および欠点に鑑みなされたも
ので、蓋体を嵌着する際にも精密基板に無用な力が作用
することを防止でき、また、輸送時等において収納した
精密基板のガタツキを確実に防止できる基板収納容器を
提供することを目的とする。
め、この発明は、上部が開口した側壁部に収納溝を水平
方向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合さ
せて複数の基板を起立状態で整列収容するカセットと、
上部に開口を、下部に据付脚部を有し、内部に前記カセ
ットを保持する保持部が形成された略有底筒状の容器本
体と、該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、該蓋
体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の基板の周
縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部材
と、を備えた基板収納容器において、前記保持部を、前
記カセットを前記据付脚部により規定される据付面に対
して所定角度θ、望ましくは、所定角度θを3°〜30
°として傾斜させた状態で保持可能に形成するととも
に、前記蓋体の前記開口への嵌合方向を前記カセットの
傾斜方向と直角な方向に一致させた。
るように具体化される。すなわち、上部が開口した側壁
部に収納溝を水平方向に対向して上下に形成し、該収納
溝に周縁を遊合させて複数の基板を起立状態で整列収容
するカセットと、上部が開口し、内底面上に前記カセッ
トを載置して収容する略有底筒状の容器本体と、該容器
本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、該蓋体の内面に設
けられ、下部に前記カセット内の基板の周縁上部が遊合
可能な押さえ溝を形成された押さえ部材と、を備えた基
板収納容器において、前記容器本体の下部に脚を設け、
該脚により規定される据付面に対して容器本体の内底面
を所定角度傾斜させるとともに、該内底面と直交する方
向を指向させて前記開口を開口させ、該開口に内底面と
直交する方向から前記蓋体を嵌着、取外可能に構成され
る。
58号等で提案されるもの等、例えば、上部、下部およ
び一側が開口したフレーム状の部材を有し、この部材の
対向する内側面に上下に延びる複数の収納溝を一定の間
隔で形成したもの等が用いられる。このカセットは、通
常、収納溝が形成された対向する壁部分をそれぞれ下方
の開口側で接近するように精密基板の周縁とほぼ等しい
曲率で湾曲させ、湾曲部分の収納溝で精密基板を受け止
め保持する。
付脚部により載置され、上部の開口によりカセットの収
納や取出が行われる。この容器本体は、内底面を保持部
として該内底面上に載せてカセットを収納し、あるい
は、内側面等に段差状若しくはフランジ状等に形成され
た保持部でカセットを保持して収納する。保持部は、据
付脚部により規定される据付面、すなわち、載置状態を
基準とすれば載置台の載置面に対して所定角度傾斜し、
カセットを基板が一方向に片寄った傾斜状態で保持す
る。開口は、蓋体により開閉され、この蓋体の装着、取
外方向が保持部と直交する角度で傾斜する。
号の明細書等に記載されたものが用いられ、内面に押さ
え部材が押さえ溝の形成部分を保持部と平行に位置させ
て(蓋体が容器本体の開口に嵌着した状態で)設けられ
る。この蓋体は容器本体の開口に保持部と直交する方向
から嵌着され、蓋体が容器本体の開口に嵌着した状態で
押さえ部材は押さえ溝に基板の周縁を遊合させて基板を
押さえ、基板のガタツキ等を防止する。
を周縁が収納溝に遊合した状態でカセットに整列保持
し、このカセットを容器本体内に保持部により傾斜させ
て収容し、容器本体の開口に蓋体を嵌着させ、蓋体内面
の押さえ部材の押さえ溝に基板の周縁を遊合させて基板
を押さえる。このため、輸送時等において衝撃や振動が
加わっても、基板がガタツキを生じることがなく、基板
の破損等が防止される。そして、蓋体を容器本体の開口
に嵌着させる際には、カセットが傾斜状態で容器本体内
に収容されて全ての基板が一方向に片寄り、また、蓋体
を基板の収納方向と同一方向から嵌合させるため、基板
の周縁上部が押さえ部材の押さえ溝側面に当接すること
がなく、基板に力が作用せず、基板に歪みが生じるこ
と、また、基板の破損を防止できる。
照して説明する。図1はこの発明の一の実施の形態にか
かる基板収納容器を示し、図1aが分解状態の模式断面
図、図1bが容器本体に蓋体を嵌着させた状態の模式断
面図である。なお、上述した図2および図3と同一の部
分には同一の符号を付して、一部の説明を割愛する。
(下面)に略三角形板状の脚21aを一体成形あるいは
接着等で固定して設け、容器本体20の底壁部21を脚
21aの下面で規定される据付面Lに対して3°〜30
°の角度(所定角度θ)傾斜させるとともに、開口23
を底壁部21と直交する方向に指向させて開口させる。
すなわち、容器本体20は、底壁部21と側壁部22か
らなる部分(便宜上、収納部分と称する)が脚21aに
より全体として所定角度θ傾斜する。
ものと同一のもの、すなわち、被蓋部31の内面に押さ
え部材39が押さえ溝39aを被蓋部31の内面と平行
に位置させて固着されたものが用いられる。同様に、カ
セット10も、前述した図1,2に示したものと同一の
もの、すなわち、特願平7−329436号、特願平8
−195656号あるいは特願平8−253983号等
の明細書および図面に記載されたものが用いられる。
20と蓋体30には蓋体30を容器本体20に固定する
ロック機構と、容器本体20と蓋体30の周方向の位置
決めを行う位置決め機構とが設けられ、また、容器本体
20にはカセット10の位置決めを行う位置決め部等が
形成され、この位置決め部や位置決め機構によりカセッ
ト10の精密基板P配列方向と押さえ部材39の押さえ
溝39aの延在方向とが整合される。
半導体ウェハ等の精密基板Pを輸送や保管する際等に用
いる。そして、精密基板Pの輸送等に際しては、先ず、
カセット10内に複数の精密基板Pを整列させて収納す
る。すなわち、カセット10内に複数の精密基板Pを周
縁が収納溝11aと遊合した状態で整列して収容する。
ここで、カセット10内の精密基板Pは、周縁と収納溝
11aとの間にクリアランスが存在するため、傾き等の
変位が許容される。
0を容器本体20内に収容する。すなわち、容器本体2
0内の底壁部21上にカセット10を載置する。ここ
で、底壁部21は3°〜30°の角度で傾斜しているた
め、カセット10も傾斜し、カセット10内の精密基板
Pも傾斜方向下側に片寄せられる。すなわち、カセット
10内の精密基板Pは、収納溝11aのピッチに等しい
間隔で、底壁部21と直交する方向に延びた状態で整列
される。なお、底壁部21の傾斜角度が3°未満の場
合、カセット10内の精密基板Pが傾斜方向に片寄せら
れない可能性がある。
0を嵌着し、容器本体20内の精密基板Pを気密的に封
止する。ここで、蓋体30は開口23の開口方向から開
口23に嵌着され、また、上述したようにカセット10
内の精密基板Pは所定のピッチで整列されて蓋体30の
嵌着方向と平行に延びる。このため、押さえ部材39の
押さえ溝39aの側面等が精密基板Pの上縁に当接して
精密基板Pを押圧することがなく、蓋体30を嵌着する
際の精密基板Pの破損や歪みの発生が防止される。な
お、底壁部21が30°を超える角度で傾斜している
と、蓋体30を嵌着する際に容器本体30が横にずれる
ため作業が煩わしくなる可能性がある。
に嵌着した被蓋状態においては、押さえ部材39が押さ
え溝39aに精密基板Pの上縁を遊合させて押さえるた
め、輸送等に際してのガタツキも防止できる。すなわ
ち、カセット10に精密基板Pを収納した状態では収納
溝11aと精密基板P周縁との間にクリアランスがある
ため、精密基板Pのガタツキが生じやすいが、精密基板
Pは押さえ部材39により上方から押さえられるためガ
タツキが防止される。
20の底壁部21の上面、すなわち、内底面にカセット
10を載置し、内底面を保持部として用いるが、容器本
体20の側壁部22等に突起やフランジ等の保持部を、
また、この保持部に掛止可能な掛止部をカセット10に
形成し、カセット10は掛止部を容器本体20の保持部
に掛止させて傾斜状態で容器本体20内に収容すること
も可能である。
基板収納容器によれば、複数の精密基板を周縁が収納溝
に遊合した状態でカセットに収容し、このカセットを容
器本体内に傾斜状態で収容して精密基板を片寄せし、蓋
体をカセット内の精密基板が延びる方向から容器本体の
開口に嵌着させ、蓋体の押さえ部材の押さえ溝を精密基
板の上縁に遊合させて精密基板を押さえるため、蓋体の
被蓋時に精密基板に押さえ部材によって力が加わること
がなく精密基板の破損や歪みの発生が防止でき、また、
被蓋した状態では精密基板が押さえ部材により押さえら
れてガタツキも防止される。
器を示し、aが開き状態の模式断面図、bが閉じ状態の
模式断面図である。
式断面図、bが閉じ状態の模式断面図、cがカセットの
模式平面図である。
き状態の模式断面図、bが閉じ状態の模式断面図であ
る。
Claims (2)
- 【請求項1】 上部が開口した側壁部に収納溝を水平方
向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合させ
て複数の基板を起立状態で整列収容するカセットと、 上部に開口を、下部に据付脚部を有し、内部に前記カセ
ットを保持する保持部が形成された略有底筒状の容器本
体と、 該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、 該蓋体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の基板
の周縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部
材と、を備えた基板収納容器において、前記保持部を、
前記カセットを前記据付脚部により規定される据付面に
対して所定角度θ傾斜した傾斜状態で保持可能に形成す
るとともに、前記蓋体の前記開口への嵌合方向を前記カ
セットの傾斜方向と直角な方向に一致させたことを特徴
とする基板収納容器。 - 【請求項2】 上部が開口した側壁部に収納溝を水平方
向に対向して上下に形成し、該収納溝に周縁を遊合させ
て複数の基板を起立状態で整列収容するカセットと、 上部が開口し、内底面上に前記カセットを載置して収容
する略有底筒状の容器本体と、 該容器本体の上部開口に嵌着可能な蓋体と、 該蓋体の内面に設けられ、下部に前記カセット内の基板
の周縁上部が遊合可能な押さえ溝を形成された押さえ部
材と、を備えた基板収納容器において、 前記容器本体の下部に脚を設け、該脚により規定される
据付面に対して容器本体の内底面を所定角度傾斜させる
とともに、該内底面と直交する方向に前記開口を開口さ
せ、該開口に開口方向から前記蓋体を嵌着可能としたこ
とを特徴とする基板収納容器。
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