KR102154304B1 - 기판수납용기를 포장하기 위한 포장구조체 - Google Patents

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Abstract

반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여 수송하기 위한 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체는, 하측뚜껑(13)과, 슬리브 부재와, 상측뚜껑을 구비하는 포장상자를 구비한다. 하측뚜껑(13)은, 기판수납용기(2)를 지지하는 저판과, 저판의 주위로부터 상방으로 연장되는 하측뚜껑 둘레벽을 구비한다. 슬리브 부재는, 상하방향으로 연장되는 축심을 구비하는 통모양을 구비한다. 상측뚜껑은, 상판과, 상판의 주위로부터 하방으로 연장하는 상측뚜껑 둘레벽을 구비한다. 하측뚜껑(13)은 장치위치결정부(14, 16)를 구비한다. 장치위치결정부(14, 16)는, 상측뚜껑이 떼어내어진 상태의 포장상자의 하측뚜껑(13)에 지지된 기판수납용기(2)를 하측뚜껑(13)으로부터 들어올리는 리프팅 장치(4)의 피위치결정부에 결합시킬 수 있다.

Description

기판수납용기를 포장하기 위한 포장구조체{PACKAGING STRUCTURE FOR PACKAGING SUBSTRATE-HOUSING CONTAINER}
본 발명은, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer) 등의 기판(基板)을 수납하는 기판수납용기(基板收納容器)를 포장하기 위한 포장구조체(包裝構造體)에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 용기로서는, 용기본체와 뚜껑을 구비하는 기판수납용기가 종래부터 알려져 있다(특허문헌1을 참조). 이러한 기판수납용기는, 포장상자 내에 포장되어 수송되고, 포장상자로부터 꺼내어지고, 기판수납용기로부터 기판이 꺼내어진다.
: 일본국 공개특허 특개평7-307378호 공보
최근에는, 기판의 대경화(大徑化)에 따라 기판을 수납한 기판수납용기는 매우 무거워지는 경향이 있다. 이 때문에 포장상자에서 기판수납용기를 꺼낼 때에, 기판수납용기를 들어올리는 리프팅 장치(lifting 裝置)를 사용할 수 있으면, 포장상자에서 기판수납용기를 용이하게 꺼낼 수 있다.
본 발명은, 기판수납용기를 들어올리는 리프팅 장치를 사용하여 포장상자로부터 용이하게 기판수납용기를 꺼낼 수 있는 포장구조체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여 수송하기 위한 기판수납용기를 포장하기 위한 포장구조체로서, 상기 기판수납용기를 지지하는 저판과 상기 저판의 주위로부터 상방으로 연장되는 하측뚜껑 둘레벽을 갖는 하측뚜껑과, 상하방향으로 연장되는 축심을 갖는 통모양의 슬리브 부재와, 상판과 상기 상판의 주위로부터 하방으로 연장되는 상측뚜껑 둘레벽을 갖는 상측뚜껑을 갖는 포장상자를 구비하고, 상기 슬리브 부재의 하단부는 상기 하측뚜껑의 저판의 위에 재치되고, 상기 슬리브 부재의 상단부에는 상기 상측뚜껑의 상판이 재치되고, 상기 하측뚜껑은 장치위치결정부를 구비하고, 상기 장치위치결정부는, 상기 상측뚜껑이 떼어내어진 상태의 포장상자의 상기 하측뚜껑에 지지된 상기 기판수납용기를 상기 하측뚜껑으로부터 들어올리는 리프팅 장치의 피위치결정부에 결합시킬 수 있는 포장구조체에 관한 것이다.
또한 상기 장치위치결정부는, 상기 상측뚜껑과 상기 하측뚜껑을 연결하는 방향과 직교하는 방향으로서 상기 하측뚜껑에 대하여 접근 또는 이간하는 방향인 접근이간방향에 있어서의 접근이간방향 끝부와, 상기 상측뚜껑과 상기 하측뚜껑을 연결하는 방향 및 상기 접근이간방향에 대하여 직교하는 방향인 제한방향에 있어서의 제한방향 일단부와 제한방향 타단부를 갖는 것이 바람직하다.
또한 상기 장치위치결정부는, 상기 접근이간방향 끝부와 상기 제한방향 일단부와 상기 제한방향 타단부를 갖는 적어도 1개의 제1장치위치결정부와, 상기 제1장치위치결정부와는 다른 형상을 갖고 상기 접근이간방향 끝부를 갖는 적어도 1개의 제2장치위치결정부를 구비하는 것이 바람직하다.
또한 상기 장치위치결정부는, 상기 접근이간방향 끝부와 상기 제한방향 일단부와 상기 제한방향 타단부를 갖는 동일한 형상의 적어도 3개의 제1장치위치결정부를 구비하고, 인접하는 상기 제1장치위치결정부는, 모두 동일한 간격으로 이간되어 있는 것이 아니라 서로 다른 간격으로 이간되어 배치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 리프팅 장치의 상기 피위치결정부는, 상기 접근이간방향에 있어서의 끝부를 구성하는 접근이간방향 끝부 접촉부와 상기 제한방향에 있어서의 일단부를 구성하는 일단부 접촉부를 갖는 제1피위치결정부와, 상기 접근이간방향 끝부 접촉부와 상기 제한방향에 있어서의 타단부를 구성하는 타단부 접촉부를 갖는 제2피위치결정부를 구비하고, 상기 장치위치결정부는, 상기 제1피위치결정부의 상기 접근이간방향 끝부 접촉부 및 상기 제2피위치결정부의 상기 접근이간방향 끝부 접촉부가 접촉될 수 있는 상기 접근이간방향 끝부와, 상기 제1피위치결정부의 상기 일단부 접촉부가 접촉될 수 있는 상기 제한방향 일단부와, 상기 제2피위치결정부의 상기 타단부 접촉부가 접촉될 수 있는 상기 제한방향 타단부를 갖는 공통장치위치결정부를 구비하는 것이 바람직하다.
또한 상기 장치위치결정부는 상기 하측뚜껑 둘레벽에 존재하는 것이 바람직하다. 또한 상기 하측뚜껑은, 상기 저판의 하면으로부터 하방으로 연장되는 하측뚜껑 다리부를 구비하고, 상기 장치위치결정부는, 상기 하측뚜껑 다리부에 존재하는 것이 바람직하다. 또한 상기 포장상자 내에 있어서 상기 기판수납용기가 재치되는 하부 완충재를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 기판수납용기를 들어올리는 리프팅 장치를 사용하여 포장상자로부터 용이하게 기판수납용기를 꺼낼 수 있는 포장구조체를 제공할 수 있다.
도1은, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)를 나타내는 사시도이다.
도2는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)로부터, 상측뚜껑(11) 및 슬리브 부재(12)를 떼어낸 모양을 나타내는 사시도이다.
도3은, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)로부터, 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(4)에 의하여 기판수납용기(2)를 들어올리는 모양을 나타내는 사시도이다.
도4는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)의 하측뚜껑(13)의 제1장치위치결정부(14)와 제2장치위치결정부(16)를 나타내는 개략도이다.
도5는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)에 의하여 포장되는 기판수납용기(2)를 나타내는 분해사시도이다.
도6은, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)에 의하여 포장되는 기판수납용기(2)를 수용하는 기판수납용기 수용자루(3)를 나타내는 사시도이다.
도7은, 본 발명의 제2실시형태에 관한 포장구조체(1A)를 나타내는 사시도이다.
도8은, 본 발명의 제2실시형태에 관한 포장구조체(1A)로부터, 상측뚜껑(11) 및 슬리브 부재(12)를 떼어낸 모양을 나타내는 사시도이다.
도9는, 본 발명의 제2실시형태에 관한 포장구조체(1A)로부터 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(4)에 의하여 기판수납용기(2)를 들어올리는 모양을 나타내는 사시도이다.
도10은, 본 발명의 제2실시형태에 관한 포장구조체(1A)의 하측뚜껑(13)의 제1장치위치결정부(14)와 제2장치위치결정부(16A)를 나타내는 개략도이다.
도11은, 본 발명의 제3실시형태에 관한 포장구조체(1A)로부터, 상측뚜껑(11)을 떼어낸 모양을 나타내는 사시도이다.
도12는, 본 발명의 제3실시형태에 관한 포장구조체(1A)로부터, 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(4B)에 의하여 기판수납용기(2)를 들어올리는 모양을 나타내는 사시도이다.
도13은, 본 발명의 제4실시형태에 관한 포장구조체(1C)를 나타내는 사시도이다.
도14는, 본 발명의 제4실시형태에 관한 포장구조체(1C)로부터, 상측뚜껑(11) 및 슬리브 부재(12)를 떼어낸 모양을 나타내는 사시도이다.
도15는, 본 발명의 제4실시형태에 관한 포장구조체(1C)로부터, 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(4)에 의하여 기판수납용기(2)를 들어올리는 모양을 나타내는 사시도이다.
도16은, 본 발명의 제5실시형태에 관한 포장구조체(1)의 하측뚜껑(13)의 제1장치위치결정부(14)를 나타내는 개략도이다.
도17은, 본 발명의 제6실시형태에 관한 포장구조체(1)의 하측뚜껑(13)의 제1장치위치결정부(14E)와 제2장치위치결정부(16A)를 나타내는 개략도이다.
도18은, 본 발명의 제7실시형태에 관한 포장구조체(1)의 하측뚜껑(13)의 제1장치위치결정부(14F)를 나타내는 개략도이다.
이하, 본 발명의 제1실시형태에 관한, 기판수납용기(基板收納容器)(2)를 포장하기 위한 포장구조체(包裝構造體)(1)에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도1은, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)를 나타내는 사시도이다. 도2는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)로부터, 상측뚜껑(11) 및 슬리브 부재(sleeve 部材)(12)를 떼어낸 모양을 나타내는 사시도이다. 도3은, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)로부터, 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(lifting 裝置)(4)에 의하여 기판수납용기(2)를 들어올리는 모양을 나타내는 사시도이다. 도4는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)의 하측뚜껑(13)의 제1장치위치결정부(第1裝置位置決定部)(14)와 제2장치위치결정부(16)를 나타내는 개략도이다. 도5는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)에 의하여 포장되는 기판수납용기(2)를 나타내는 분해사시도이다. 도6은, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)에 의하여 포장되는 기판수납용기(2)를 수용하는 기판수납용기 수용자루(3)를 나타내는 사시도이다.
여기에서 설명의 편의상, 후술하는 포장상자(10)의 배판(背板)(124)으로부터 전판(前板)(123)을 향하는 방향(도1에 있어서의 우하측방향)을 전방향(前方向)(D11)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 후방향(後方向)(D12)이라고 정의하고, 이들을 전후방향(D1)이라고 정의한다. 또한 후술하는 저판(底板)(131)으로부터 상판(上板)(111)을 향하는 방향(도1에 있어서의 상측방향)을 상측방향(D21)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 하측방향(D22)이라고 정의하고, 이들을 상하방향(D2)이라고 정의한다. 또한 후술하는 제2측판(第2側板)(122)으로부터 제1측판(121)을 향하는 방향(도1에 있어서의 좌하측방향)을 좌측방향(D31)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 우측방향(D32)이라고 정의하고, 이들을 좌우방향(D3)이라고 정의한다.
도5에 나타내는 바와 같이 포장구조체(1)에 의하여 포장되는 기판수납용기(2)는, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer)로 이루어지는 기판(基板)(W)을 수납하여 수송하기 위한 것으로서, 용기본체(容器本體)(202)와, 뚜껑(203)을 구비하고 있다.
용기본체(202)는, 일단부(一端部)에 용기본체 개구부(容器本體 開口部)(221)가 형성되고, 타단부(他端部)가 폐쇄된 통모양의 벽부(壁部)(220)를 구비한다. 용기본체(202) 내에는 기판수납공간(227)이 형성되어 있다. 기판수납공간(227)은 벽부(220)에 의하여 둘러싸여서 형성되어 있다. 벽부(220)의 부분으로서 기판수납공간(227)을 형성하고 있는 부분에는, 기판지지 판상부(基板支持 板狀部)(205) 및 리어 리테이너(rear retainer)(도면에는 나타내지 않는다)가 배치되어 있다. 기판수납공간(227)에는 복수의 기판(W)을 수납할 수 있다.
기판지지 판상부(205)는, 기판수납공간(227) 내에서 좌우방향(D3)에 있어서 쌍을 이루도록 벽부(220)에 설치되어 있다. 기판지지 판상부(205)는, 뚜껑(203)에 의하여 용기본체 개구부(221)가 폐쇄되어 있지 않을 때에 인접하는 기판(W) 상호간을 소정의 간격으로 이간(離間)시켜서 병렬시킨 상태에서, 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지할 수 있다. 리어 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)는, 뚜껑(203)에 의하여 용기본체 개구부(221)가 폐쇄되어 있을 때에 복수의 기판(W)의 가장자리부의 후부(後部)를 지지할 수 있다.
뚜껑(203)은, 용기본체 개구부(221)에 대하여 착탈(着脫)할 수 있으며 용기본체 개구부(221)를 폐쇄할 수 있다. 뚜껑(203)에는 프론트 리테이너(front retainer)(도면에는 나타내지 않는다)가 설치되어 있다. 프론트 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)는, 뚜껑(203)의 부분으로서 뚜껑(203)에 의하여 용기본체 개구부(221)가 폐쇄되어 있을 때에 기판수납공간(227)과 대향(對向)하는 부분에 설치되어 있다. 프론트 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)는, 리어 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
프론트 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)는, 뚜껑(203)에 의하여 용기본체 개구부(221)가 폐쇄되어 있을 때에 복수의 기판(W)의 가장자리부의 전부(前部)를 지지할 수 있다. 프론트 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)는, 뚜껑(203)에 의하여 용기본체 개구부(221)가 폐쇄되어 있을 때에 리어 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W) 상호간을 소정의 간격으로 이간시켜서 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)을 지지한다.
기판수납용기(2)에 수납되는 기판(W)(도5를 참조)은, 원반모양의 실리콘 웨이퍼(silicon wafer), 글라스 웨이퍼(glass wafer), 사파이어 웨이퍼(sapphire wafer) 등으로서 산업에 사용되는 얇은 것이다. 본 실시형태에 있어서의 기판(W)은, 지름이 300mm∼450mm인 실리콘 웨이퍼이다. 이러한 기판(W)을 수납하는 기판수납용기(2)는, 그 전체가 도6에 나타내는 바와 같이 불투명한 기판수납용기 수용자루(3)에 의하여 밀폐상태에서 수용된다. 그리고 이 상태에서 기판수납용기(2)는 포장상자(10)에 포장된다. 또 도2, 도3, 도8, 도9, 도11, 도12, 도14, 도15에 있어서는, 리프팅 장치(4)에 의하여 기판수납용기(2)가 협지(挾持)되는 모양을 용이하게 이해하도록 하기 위하여 기판수납용기 수용자루(3)를 도면에 나타내는 것을 생략하고 있다.
도1에 나타내는 바와 같이 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1)는, 포장상자(10)와, 상부 완충재(上部 緩衝材)(도면에는 나타내지 않는다)와, 하부 완충재(下部 緩衝材)(도면에는 나타내지 않는다)와, 강성체(剛性體)(도면에는 나타내지 않는다)와, 탄성지지부재(彈性支持部材)로서의 코일스프링(coil spring)(도면에는 나타내지 않는다)을 구비하고 있다. 포장구조체(1)는, 반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여 수송하기 위하여 기판수납용기(2)를 포장한다.
도1에 나타내는 바와 같이 포장상자(10)는, 각각 소위 플라스틱 골판지 상자(플라스틱 박스)에 의하여 구성된 상측뚜껑(11)과, 슬리브 부재(12)와, 하측뚜껑(13)을 구비하고 있고, 전체로서 직육면체 형상을 구비하고 있다.
상측뚜껑(11)은, 상판(111)과 상측뚜껑 둘레벽(112)을 구비한다. 상판(111)은 직4각형 모양을 구비하고 있다. 상측뚜껑 둘레벽(112)은, 상판(111)의 주위로부터 하측방향(D22)으로 연장되는 4매의 직4각형 모양의 판모양을 구비하고 있고, 일단(一端)이 상판(111)에 의하여 폐쇄되고 타단(他端)이 개구되는 4각통(4角筒) 모양을 구비하고 있다.
슬리브 부재(12)는, 각각 직4각형 모양의 판모양을 구비하는 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)에 의하여 구성되어 있고, 상하방향으로 연장되는 축심(軸心)을 구비하고 양단에서 개구되는 4각통 모양을 구비하고 있다. 슬리브 부재(12)의 제1측판(121), 제2측판(122)에는, 각각 전후방향으로 길이가 긴 타원형상의 관통구멍(125)이 형성되어 있다. 작업자는 관통구멍(125)에 손을 삽입하여 슬리브 부재(12)를 들어올릴 수 있다.
하측뚜껑(13)은, 저판(131)과, 하측뚜껑 둘레벽(132)과, 하측뚜껑 다리부(133)를 구비한다. 저판(131)은 직4각형 모양을 구비하고 있다. 하측뚜껑 둘레벽(132)은, 저판(131)의 주위로부터 상방으로 연장되는 4매의 직4각형 모양의 판모양을 구비하고 있고, 일단이 저판(131)에 의하여 폐쇄되고 타단이 개구되는 4각통 모양을 구비하고 있다. 하측뚜껑 다리부(133)는, 저판(131)의 네 모퉁이와, 좌우방향(D3)에 있어서의 전방향(D11)의 가장자리의 중앙 및 후방향(D12)의 가장자리의 중앙에 합계 6개 설치되어 있고, 하측방향(D22)으로 연장되어 있다.
슬리브 부재(12)의 상단부(上端部)의 주위가 상측뚜껑 둘레벽(112)에 의하여 둘러싸이는 위치관계가 되어, 슬리브 부재(12)의 상단부에는 상측뚜껑(11)의 상판(111)이 재치(載置)된다. 또한 슬리브 부재(12)의 하단부(下端部)의 주위가 하측뚜껑 둘레벽(132)에 의하여 둘러싸이는 위치관계가 되어, 슬리브 부재(12)의 하단부는 하측뚜껑(13)의 저판(131)의 위에 재치된다. 이에 따라 상측뚜껑(11), 슬리브 부재(12) 및 하측뚜껑(13)으로 구성되는 포장상자(10)를 조립할 수 있다.
이러한 구성의 포장상자(10) 내에, 발포스티롤(發泡styrole)에 의하여 구성된 상부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)와, 기판수납용기(2)와, 발포스티롤에 의하여 구성된 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)가 포장된다. 구체적으로는 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)에 기판수납용기(2)가 재치되고, 기판수납용기(2)에 상부 완충재가 재치된다. 즉 상부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)와 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)에 의하여, 상하방향(D2)에서 기판수납용기(2)를 협지하도록 하여 상부 완충재(도면에는 나타내지 않는다), 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다) 및 기판수납용기(2)는 포장상자(10) 내에 배치된다.
하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)는, 항상 하측뚜껑(13)에 대하여 기판수납용기(2)가 일정한 자세가 되도록 기판수납용기(2)를 지지한다. 즉 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)에는, 항상 기판수납용기(2)의 하부가 하측방향(D22)의 측에 위치하고, 기판수납용기(2)의 좌측의 측벽(225)이 좌측방향(D31)의 측에 위치하고, 기판수납용기(2)의 우측의 측벽(226)이 우측방향(D32)의 측에 위치하도록 기판수납용기(2)는 재치된다.
강성체(도면에는 나타내지 않는다)는 골판지의 판 또는 플라스틱의 판에 의하여 구성되어 있다. 강성체(도면에는 나타내지 않는다)는 직4각형 모양의 판모양을 구비하고 있다. 강성체(도면에는 나타내지 않는다)는 각각 평탄한 상면 및 하면을 구비하고 있고, 강성체(도면에는 나타내지 않는다)의 상면은 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)의 하단면(下端面)으로서의 하면에 접촉되어 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)를 지지한다. 또한 강성체(도면에는 나타내지 않는다)의 하면은, 탄성지지부재로서의 후술하는 코일스프링(도면에는 나타내지 않는다)의 상단부에 접촉되고, 코일스프링(도면에는 나타내지 않는다)에 의하여 지지된다.
코일스프링(도면에는 나타내지 않는다)은, 포장상자(10) 내로서 강성체(도면에는 나타내지 않는다)의 네 모퉁이에 배치되어 있다. 코일스프링(도면에는 나타내지 않는다)은 강성체(도면에는 나타내지 않는다)를 상측방향(D21)으로 가압하고 있고, 코일스프링(도면에는 나타내지 않는다)의 상단부는, 강성체(도면에는 나타내지 않는다)의 하면에 접촉된 상태에서 강성체(도면에는 나타내지 않는다)에 고정되어 있다. 코일스프링(도면에는 나타내지 않는다)의 하단부는 하측뚜껑(13)의 저판(131)에 접촉된 상태에서 고정되어 있다. 이에 따라 탄성변형이 가능한 코일스프링(도면에는 나타내지 않는다)은 포장상자(10)의 저판(131)에 지지됨과 아울러, 코일스프링(도면에는 나타내지 않는다)의 상단부는 강성체(도면에는 나타내지 않는다)를 사이에 두고 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)를 간접적으로 지지한다. 이하, 하측뚜껑(13)의 장치위치결정부(14, 16)의 구성 및 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(4)의 피위치결정부(被位置決定部)(43, 45)에 대하여 상세하게 설명한다.
도2, 도3에 나타내는 바와 같이 기판수납용기를 들어올리는 리프팅 장치(4)는, 대차부(臺車部)(41)와, 피위치결정부로서의 제1피위치결정부(43)(도4를 참조) 및 제2피위치결정부(45)(도4를 참조)와, 용기지지부(46)를 구비하고 있다. 대차부(41)는 4개의 타이어(tire)(411)를 구비하고 있고, 타이어(411)가 구동함으로써 이동할 수 있다. 또 도2, 도3에는 타이어는 3개만 나타나 있다. 대차부(41)의 끝부에는 벽부(412)가 설치되어 있다. 벽부(412)는, 상하방향으로 연장되는 직4각형 형상의 판모양을 구비하고 있다.
용기지지부(46)는, 후방으로 평행하게 연장되는 2개의 암(arm)(461)에 의하여 구성되어 있다. 2개의 암(461)은, 벽부(412)에 설치된 가이드부(guide部)(도면에는 나타내지 않는다)에 결합되어 있고, 벽부(412)를 따라 상하방향으로 이동할 수 있다. 또한 2개의 암(461)은, 좌우방향(D3)에 있어서 서로 접근 또는 이간할 수 있다. 이 구성에 의하여 리프팅 장치(4)는, 2개의 암(461) 사이에 기판수납용기(2)를 협지한 상태에서 기판수납용기(2)를 들어올릴 수 있다.
제1피위치결정부(43) 및 제2피위치결정부(45)는 벽부(412)에 설치되어 있다. 더 상세하게는 벽부(412)의 하부에는, 도4에 나타내는 바와 같이 반구(半球)모양의 선단부를 구비하는 제1피위치결정부(43)로서의 반구돌출부(半球突出部)(431)와, 선단이 평탄면에 의하여 구성된 제2피위치결정부(45)로서의 평탄돌출부(平坦突出部)(451)가 설치되어 있다.
포장상자(10)를 구성하는 하측뚜껑 둘레벽(132)에는, 장치위치결정부로서의 제1장치위치결정부(14)와 제2장치위치결정부(16)가 존재한다. 제1장치위치결정부(14)는, 도4에 나타내는 바와 같이 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향과 직교하는 단면(斷面)(전후방향(D1) 및 좌우방향(D3)과 평행한 단면)에 있어서, 삼각형상의 삼각오목부(141)를 구비하고 있다. 또한 제2장치위치결정부(16)는 평탄한 접촉면(161)을 구비하고 있다.
삼각오목부(141)에는 반구돌출부(431)가 결합될 수 있다. 삼각오목부(141)에 있어서 반구돌출부(431)의 반구모양의 부분이 접촉되는 부분은, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향(상하방향(D2))과 직교하는 방향으로서 하측뚜껑(13)에 대하여 접근 또는 이간하는 방향인 접근이간방향(전후방향(D1))에 있어서의 접근이간방향 끝부(144)를 구성한다. 이와 동시에, 삼각오목부(141)에 있어서 반구돌출부(431)의 반구모양의 선단부가 접촉되는 부분은, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향(상하방향(D2)) 및 접근이간방향(전후방향(D1))에 대하여 직교하는 방향인 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서의 제한방향 일단부(制限方向 一端部)(142)와 제한방향 타단부(制限方向 他端部)(143)를 구성한다.
또한 접촉면(161)에는, 평탄돌출부(451)의 선단의 평탄면이 접촉될 수 있다. 접촉면(161)에 있어서 평탄돌출부(451)의 선단의 평탄면이 접촉되는 부분은, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향(상하방향(D2))과 직교하는 방향으로서 하측뚜껑(13)에 대하여 접근 또는 이간하는 방향인 접근이간방향(전후방향(D1))에 있어서의 접근이간방향 끝부(164)를 구성한다.
따라서 리프팅 장치(4)의 제1피위치결정부(43)는, 접근이간방향(전후방향(D1))에 있어서 삼각오목부(141)의 접근이간방향 끝부(144)에 접촉 가능한 접근이간방향 끝부 접촉부(434)와, 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서 제한방향 일단부(142)와 제한방향 타단부(143)에 각각 접촉 가능한 일단부 접촉부(432)와 타단부 접촉부(433)를 구비한다. 삼각오목부(141)에 대한 반구돌출부(431)의 결합 및 접촉면(161)에 대한 평탄돌출부(451)의 선단의 평탄면의 접촉에 의하여 제1장치위치결정부(14), 제2장치위치결정부(16)는, 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(4)의 제1피위치결정부(43), 제2피위치결정부(45)에 결합될 수 있다.
상기와 같은 포장구조체에 포장된 기판수납용기(2)를 리프팅 장치(4)에 의하여 들어올릴 때의 동작은 이하와 같다. 우선 도1에 나타내는 포장상자(10)에 있어서, 하측뚜껑(13)으로부터 상측뚜껑(11)(도1을 참조) 및 슬리브 부재(12)(도1을 참조)를 떼어내어 도2에 나타내는 상태로 한다. 다음에 도2, 도4에 나타내는 바와 같이 리프팅 장치(4)를, 제1장치위치결정부(14), 제2장치위치결정부(16)에 제1피위치결정부(43), 제2피위치결정부(45)를 각각 대향시킨 위치관계로 하여, 리프팅 장치(4)를 후방향(D12)으로 이동시킨다.
그리고 제2장치위치결정부(16)의 평탄한 접촉면(161)에, 제2피위치결정부(45)의 평탄돌출부(451)의 접근이간방향 끝부 접촉부(454)를 접촉시킨다. 이와 동시에, 삼각오목부(141)의 접근이간방향 끝부(144)에 반구돌출부(431)의 접근이간방향 끝부 접촉부(434)를 접촉시키고 또한 삼각오목부(141)의 제한방향 일단부(142), 제한방향 타단부(143)에 각각 일단부 접촉부(432), 타단부 접촉부(433)를 접촉시킨다.
이에 따라 접근이간방향(전후방향(D1))에 있어서 하측뚜껑(13)에 대한 리프팅 장치(4)의 위치결정이 이루어짐과 동시에, 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서 하측뚜껑(13)에 대한 리프팅 장치(4)의 위치결정이 이루어진다. 이 상태에서 도3에 나타내는 바와 같이 리프팅 장치(4)의 2개의 암(461)은, 상측뚜껑(11) 및 슬리브 부재(12)가 떼어내어진 상태의 포장상자(10)의 하측뚜껑(13)에 지지된 기판수납용기(2)의 좌측의 측벽(225)과, 우측의 측벽(226)에 각각 접촉되어 기판수납용기(2)를 들어올린다. 이 상태에서 대차부(41)는, 4개의 타이어(411)를 구동시켜서 이동하여 기판수납용기(2)를 소정의 장소로 반송한다.
상기 구성의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다. 반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여 수송하기 위한 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1)는, 하측뚜껑(13)과, 슬리브 부재(12)와, 상측뚜껑(11)을 구비하는 포장상자(10)를 구비한다. 하측뚜껑(13)은, 기판수납용기(2)를 지지하는 저판(131)과, 저판(131)의 주위로부터 상방으로 연장되는 하측뚜껑 둘레벽(132)을 구비한다. 슬리브 부재(12)는 상하방향으로 연장되는 축심을 구비하는 통모양을 구비한다. 상측뚜껑(11)은, 상판(111)과, 상판(111)의 주위로부터 하방으로 연장되는 상측뚜껑 둘레벽(112)을 구비한다. 슬리브 부재(12)의 하단부는 하측뚜껑(13)의 저판(131)의 위에 재치되고, 슬리브 부재(12)의 상단부에는 상측뚜껑(11)의 상판(111)이 재치된다. 하측뚜껑(13)은 장치위치결정부(14, 16)를 구비하고, 장치위치결정부(14, 16)는, 상측뚜껑(11), 슬리브 부재(12)가 떼어내어진 상태의 포장상자(10)의 하측뚜껑(13)에 지지된 기판수납용기(2)를 하측뚜껑(13)으로부터 들어올리는 리프팅 장치(4)의 피위치결정부(43, 45)에 결합될 수 있다.
이 구성에 의하여, 리프팅 장치(4)를 포장상자(10)에 대하여 정확하고 또한 확실하게 위치결정할 수 있다. 이 때문에 포장상자(10)에 대하여 기판수납용기(2)를 항상 일정한 자세가 되도록 포장함으로써, 소정의 자세의 기판수납용기(2)에 대하여 리프팅 장치(4)를 정확하고 또한 확실하게 위치결정할 수 있다.
또한 장치위치결정부(14, 16)는, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향(상하방향(D2))과 직교하는 방향으로서 하측뚜껑(13)에 대하여 접근 또는 이간하는 방향인 접근이간방향(전후방향(D1))에 있어서의 접근이간방향 끝부(144)와, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향 및 접근이간방향에 대하여 직교하는 방향인 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서의 제한방향 일단부(142)와 제한방향 타단부(143)를 구비한다. 또한 피위치결정부(43, 45)는, 접근이간방향에 있어서 접근이간방향 끝부(144)에 접촉 가능한 접근이간방향 끝부 접촉부(434)와, 제한방향에 있어서 제한방향 일단부(142)와 제한방향 타단부(143)에 각각 접촉 가능한 일단부 접촉부(432)와 타단부 접촉부(433)를 구비한다.
이 구성에 의하여, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향과 직교하는 방향으로서 하측뚜껑(13)에 대하여 접근 또는 이간하는 방향인 접근이간방향(전후방향(D1))과, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향 및 접근이간방향에 대하여 직교하는 방향인 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서, 리프팅 장치(4)를 포장상자(10)에 대하여 정확하고 또한 확실하게 위치결정할 수 있다.
또한 장치위치결정부는, 접근이간방향 끝부(144)와 제한방향 일단부(142)와 제한방향 타단부(143)를 구비하는 적어도 1개의 제1장치위치결정부(14)와, 제1장치위치결정부(14)와는 다른 형상을 구비하고 접근이간방향 끝부(164)를 구비하는 적어도 1개의 제2장치위치결정부(16)를 구비한다. 피위치결정부는, 접근이간방향 끝부 접촉부(434)와 일단부 접촉부(432)와 타단부 접촉부(433)를 구비하는 제1피위치결정부(43)와, 접근이간방향 끝부 접촉부(454)를 구비하는 제2피위치결정부(45)를 구비한다.
이 구성에 의하여, 제1장치위치결정부(14)와 제2장치위치결정부(16)를 서로 다른 구성으로 하고 또한 제1피위치결정부(43)와 제2피위치결정부(45)를 서로 다른 구성으로 함으로써 잘못된 작업을 방지하여, 올바르게 리프팅 장치(4)를 위치결정할 수 있다.
또한 장치위치결정부(14, 16)는 하측뚜껑 둘레벽(132)에 존재한다. 이 구성에 의하여, 상측뚜껑(11) 및 슬리브 부재(12)를 떼어낸 상태에서도 리프팅 장치(4)를 위치결정하는 기능을 유지할 수 있다.
또한 포장상자(10) 내에 있어서 기판수납용기(2)가 재치되는 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)를 구비한다. 이 구성에 의하여, 하측뚜껑(13) 등으로부터 기판수납용기(2)로 전달되는 진동이나 충격을 하부 완충재에서 흡수할 수 있다.
또한 포장상자(10) 내에 배치되고, 탄성변형이 가능하고, 포장상자(10)의 저판(131)에 지지되고, 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)를 지지하는 탄성지지부재로서의 코일스프링(도면에는 나타내지 않는다)을 구비한다. 이 구성에 의하여, 하측뚜껑(13) 등으로부터 기판수납용기(2)로 전달되는 진동이나 충격을 탄성지지부재로서의 코일스프링(도면에는 나타내지 않는다)에 의하여 효과적으로 흡수할 수 있다.
또한 기판수납용기(2)는, 기판수납용기(2)의 전체가 용기수용자루로서의 기판수납용기 수용자루(3)에 덮여서 수용된 상태에서 하측뚜껑(13)에 의하여 지지된다. 이렇게 기판수납용기(2)의 전체가 기판수납용기 수용자루(3)에 덮여 있더라도, 소정의 자세를 갖는 기판수납용기(2)에 대하여 확실하게 리프팅 장치(4)를 위치결정할 수 있다.
다음에 본 발명의 제2실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1A)에 대하여 설명한다. 도7은, 본 발명의 제2실시형태에 관한 포장구조체(1A)를 나타내는 사시도이다. 도8은, 본 발명의 제2실시형태에 관한 포장구조체(1A)로부터, 상측뚜껑(11) 및 슬리브 부재(12)를 떼어낸 모양을 나타내는 사시도이다. 도9는, 본 발명의 제2실시형태에 관한 포장구조체(1A)로부터 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(4)에 의하여 기판수납용기(2)를 들어올리는 모양을 나타내는 사시도이다. 도10은, 본 발명의 제2실시형태에 관한 포장구조체(1A)의 하측뚜껑(13)의 제1장치위치결정부(14)와 제2장치위치결정부(16A)를 나타내는 개략도이다.
제2실시형태는, 제2장치위치결정부(16A), 제2피위치결정부(45A)의 구성이 제1실시형태에 있어서의 제2장치위치결정부(16), 제2피위치결정부(45)의 구성과는 다른 점에 있어, 제1실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는, 제1실시형태와 동일하기 때문에 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고, 설명을 생략한다.
도10에 나타내는 바와 같이 제2장치위치결정부(16A)는, 평탄한 접촉면(161)(도4를 참조)을 대신하여 사각형 오목부(161A)를 구비하고 있다. 사각형 오목부(161A)는, 후방향(D12)으로 우묵하게 들어가도록 형성되어 있고, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향과 직교하는 단면(전후방향(D1) 및 좌우방향(D3)과 평행한 단면)에서는 직사각형을 구비하고 있다. 제2피위치결정부(45A)는 사각형 볼록부(451A)를 구비하고 있다. 사각형 볼록부(451A)는, 평면에서 볼 때에 좌우방향에 있어서의 사각형 오목부(161A)의 길이보다 짧은 사각형을 구비하고 있고, 후방향(D12)으로 돌출되어 있다.
상기와 같은 포장구조체(1A)에 포장된 기판수납용기(2)를 리프팅 장치(4)에 의하여 들어올릴 때의 동작은 이하와 같다. 우선 도7에 나타내는 포장상자(10)에 있어서, 하측뚜껑(13)으로부터 상측뚜껑(11) 및 슬리브 부재(12)를 떼어내어 도8에 나타내는 상태로 한다. 다음에 도8, 도10에 나타내는 바와 같이 리프팅 장치(4)를, 제1장치위치결정부(14), 제2장치위치결정부(16A)에 제1피위치결정부(43), 제2피위치결정부(45A)를 각각 대향시킨 위치관계로 하여 후방향(D12)으로 이동시킨다.
그리고 제2장치위치결정부(16A)의 사각형 오목부(161A)에 제2피위치결정부(45A)의 사각형 볼록부(451A)를 결합시킨다. 이에 따라 후방향(D12)에 있어서의 사각형 오목부(161A)의 끝면에 의하여 구성되는 접근이간방향 끝부(164A)에, 후방향(D12)에 있어서의 사각형 볼록부(451A)의 끝면에 의하여 구성되는 접근이간방향 끝부 접촉부(454A)가 접촉된다. 이와 동시에, 제1장치위치결정부(14)의 삼각오목부(141)의 접근이간방향 끝부(144)에 제1피위치결정부(43)의 반구돌출부(431)의 접근이간방향 끝부 접촉부(434)가 접촉되고, 또한 제1장치위치결정부(14)의 삼각오목부(141)의 제한방향 일단부(142), 제한방향 타단부(143)에 각각 제1피위치결정부(43)의 반구돌출부(431)의 일단부 접촉부(432), 타단부 접촉부(433)가 접촉된다.
이에 따라 접근이간방향(전후방향(D1))에 있어서 하측뚜껑(13)에 대한 리프팅 장치(4)의 위치결정이 이루어짐과 동시에, 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서 하측뚜껑(13)에 대한 리프팅 장치(4)의 위치결정이 이루어진다. 이 상태에서, 리프팅 장치(4)의 2개의 암(461)이 기판수납용기(2)의 좌측의 측벽(225)과, 우측의 측벽(226)에 접촉되고, 기판수납용기(2)를 들어올려서 기판수납용기(2)를 소정의 장소로 반송한다.
다음에 본 발명의 제3실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1A)에 대하여 설명한다. 도11은, 본 발명의 제3실시형태에 관한 포장구조체(1A)로부터 상측뚜껑(11)을 떼어낸 모양을 나타내는 사시도이다. 도12는, 본 발명의 제3실시형태에 관한 포장구조체(1A)로부터, 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(4B)에 의하여 기판수납용기(2)를 들어올리는 모양을 나타내는 사시도이다.
제3실시형태는, 리프팅 장치(4B)의 구성이 제2실시형태에 있어서의 리프팅 장치(4)의 구성과는 다른 점에 있어서, 제2실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는, 제2실시형태와 동일하기 때문에 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고, 설명을 생략한다.
도11, 도12에 나타내는 바와 같이 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(4B)에 있어서는, 벽부(412B)에는 암지지부(arm支持部)(413B)가 설치되어 있다. 암지지부(413B)는, 벽부(412B)에 설치된 가이드부(도면에는 나타내지 않는다)에 결합되어 있고, 벽부(412B)를 따라 상하방향으로 이동할 수 있다. 2개의 암(461B)은, 암지지부(413B)로부터 하방으로 평행하게 연장되어 있고, 서로 접근 또는 이간할 수 있다. 또 도11, 도12에 있어서는, 암(461B)은 1개만 나타나 있다.
상기와 같은 포장구조체에 포장된 기판수납용기(2)를 리프팅 장치(4B)에 의하여 들어올릴 때의 동작은 이하와 같다. 우선 포장상자(10)에 있어서, 하측뚜껑(13) 및 슬리브 부재(12)로부터 상측뚜껑(11)을 떼어내어 도11에 나타내는 상태로 한다. 다음에 리프팅 장치(4B)의 제1장치위치결정부(14), 제2장치위치결정부(16A)에 제1피위치결정부(43)(도10을 참조), 제2피위치결정부(45A)를 각각 결합시켜서, 하측뚜껑(13)에 대한 리프팅 장치(4B)의 위치결정을 한다.
다음에 도12에 나타내는 바와 같이 상측뚜껑(11)이 떼어내어진 상태의 포장상자(10)의 하측뚜껑(13)에 지지된 기판수납용기(2)의 상방으로부터 하측방향(D22)으로 2개의 암(461B)을 내려가게 하여, 슬리브 부재(12)와 기판수납용기(2)의 사이에 삽입한다. 그리고 리프팅 장치(4B)의 2개의 암(461B)이 기판수납용기(2)의 좌측의 측벽(225)(도2 등을 참조)과, 우측의 측벽(226)에 접촉되고, 기판수납용기(2)를 들어올려서 기판수납용기(2)를 소정의 장소로 반송한다.
다음에 본 발명의 제4실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1C)에 대하여 설명한다. 도13은, 본 발명의 제4실시형태에 관한 포장구조체(1C)를 나타내는 사시도이다. 도14는, 본 발명의 제4실시형태에 관한 포장구조체(1C)로부터, 상측뚜껑(11) 및 슬리브 부재(12)를 떼어낸 모양을 나타내는 사시도이다. 도15는, 본 발명의 제4실시형태에 관한 포장구조체(1C)로부터, 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(4)에 의하여 기판수납용기(2)를 들어올리는 모양을 나타내는 사시도이다.
제4실시형태는, 제1장치위치결정부(14), 제2장치위치결정부(16A)의 위치가 제2실시형태에 있어서의 제1장치위치결정부(14), 제2장치위치결정부(16A)의 위치와는 다른 점, 이에 따라 제1피위치결정부(43), 제2피위치결정부(45A)의 위치가 제2실시형태에 있어서의 제1피위치결정부(43), 제2피위치결정부(45A)의 위치와는 다른 점에 있어서, 제2실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는, 제2실시형태와 동일하기 때문에 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고, 설명을 생략한다.
도13에 나타내는 바와 같이 제1장치위치결정부(14)는, 저판(131)의 전방향(D11)의 가장자리 또한 좌측방향(D31)의 가장자리에 설치된 하측뚜껑 다리부(133C)의 전방향(D11)측의 끝면에 존재하고 있다. 또한 제2장치위치결정부(16A)는, 저판(131)의 전방향(D11)의 가장자리 또한 좌우방향(D3)의 중앙에 설치된 하측뚜껑 다리부(133C)의 전방향(D11)측의 끝면에 존재하고 있다. 이에 따라 제2실시형태의 제1피위치결정부(43), 제2피위치결정부(45A)와 각각 동일한 형상의 제1피위치결정부(도면에는 나타내지 않는다), 제2피위치결정부(도면에는 나타내지 않는다)는, 리프팅 장치(4)에 있어서 제1장치위치결정부(14), 제2장치위치결정부(16A)와 대향하는 위치에 존재하고 있다.
상기한 바와 같이 제1장치위치결정부(14), 제2장치위치결정부(16A)는 하측뚜껑 다리부(133C)에 존재한다. 이 구성에 의하여, 하측뚜껑(13)에 위치결정부의 오목한 곳을 설치하는 스페이스가 하측뚜껑(13)의 내측에 없어, 하측뚜껑(13)에 있어서 위치결정부의 설치가 곤란한 경우이더라도 위치결정부를 설치할 수 있다.
다음에 본 발명의 제5실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체에 대하여 설명한다. 도16은, 본 발명의 제5실시형태에 관한 포장구조체(1)의 하측뚜껑(13)의 제1장치위치결정부(14)를 나타내는 개략도이다.
제5실시형태는, 동일한 형상의 3개의 제1장치위치결정부(14)를 구비하고, 제2장치위치결정부(16)를 구비하지 않고 있는 점, 그리고 이에 따라 동일한 형상의 3개의 제1피위치결정부(43)를 구비하고, 제2피위치결정부(45)를 구비하지 않고 있는 점에 있어서, 제1실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는, 제1실시형태와 동일하기 때문에 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고, 설명을 생략한다.
제1장치위치결정부(14)는, 도16에 나타내는 바와 같이 제1삼각오목부(141-1)와, 제2삼각오목부(141-2)와, 제3삼각오목부(141-3)를 구비하고 있다. 제1삼각오목부(141-1), 제2삼각오목부(141-2) 및 제3삼각오목부(141-3)는, 제1실시형태의 제1장치위치결정부(14)를 구성하는 삼각오목부(141)와 동일한 형상을 구비하고 있다. 이 때문에 제1삼각오목부(141-1), 제2삼각오목부(141-2), 제3삼각오목부(141-3)는, 각각 제1실시형태의 제1장치위치결정부(14)와 마찬가지로 접근이간방향 끝부(144), 제한방향 일단부(142), 제한방향 타단부(143)와 각각 동일한 접근이간방향 끝부(144-1, 144-2, 144-3), 제한방향 일단부(142-1, 142-2, 142-3), 제한방향 타단부(143-1, 143-2, 143-3)를 구비한다.
도16에 나타내는 바와 같이 제1삼각오목부(141-1)와, 제2삼각오목부(141-2)와, 제3삼각오목부(141-3)에 있어서, 인접하는 것끼리는 서로 다른 간격으로 이간하여 배치되어 있다. 즉 제1삼각오목부(141-1)와 제2삼각오목부(141-2)의 간격은, 제2삼각오목부(141-2)와 제3삼각오목부(141-3)의 간격보다 작다.
또한 제1피위치결정부(43)는, 도16에 나타내는 바와 같이 제1반구돌출부(431-1)와, 제2반구돌출부(431-2)와, 제3반구돌출부(431-3)를 구비하고 있다. 제1반구돌출부(431-1), 제2반구돌출부(431-2) 및 제3반구돌출부(431-3)는, 제1실시형태의 제1피위치결정부(43)를 구성하는 반구돌출부(431)와 동일한 형상을 구비하고 있다. 이 때문에 제1반구돌출부(431-1), 제2반구돌출부(431-2), 제3반구돌출부(431-3)는, 각각 제1실시형태의 제1피위치결정부(43)와 마찬가지로 접근이간방향 끝부 접촉부(434), 일단부 접촉부(432), 타단부 접촉부(433)와 각각 동일한 접근이간방향 끝부 접촉부(434-1, 434-2, 434-3), 일단부 접촉부(432-1, 432-2, 432-3), 타단부 접촉부(433-1, 433-2, 433-3)를 구비한다.
제1반구돌출부(431-1)와, 제2반구돌출부(431-2)와, 제3반구돌출부(431-3)에 있어서, 인접하는 것끼리는 서로 다른 간격으로 이간하여 배치되어 있다. 즉 제1반구돌출부(431-1)와 제2반구돌출부(431-2)의 간격은, 제2반구돌출부(431-2)와 제3반구돌출부(431-3)의 간격보다 작다.
상기 구성의 제5실시형태에 관한 포장구조체에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다. 3개의 제1장치위치결정부(14)는, 접근이간방향 끝부(144-1, 144-2, 144-3), 제한방향 일단부(142-1, 142-2, 142-3), 제한방향 타단부(143-1, 143-2, 143-3)를 구비하는 동일한 형상의 3개의 제1장치위치결정부(14)로서의 제1삼각오목부(141-1)와, 제2삼각오목부(141-2)와, 제3삼각오목부(141-3)를 구비하고 있다. 인접하는 제1장치위치결정부(14)로서의 제1삼각오목부(141-1)∼제3삼각오목부(141-3) 상호간은, 서로 다른 간격으로 이간하여 배치되어 있다.
또한 3개의 제1피위치결정부(43)는, 접근이간방향 끝부 접촉부(434-1, 434-2, 434-3), 일단부 접촉부(432-1, 432-2, 432-3), 타단부 접촉부(433-1, 433-2, 433-3)를 각각 구비하여, 제1장치위치결정부(14)로서의 제1삼각오목부(141-1)와, 제2삼각오목부(141-2)와, 제3삼각오목부(141-3)가 1개씩 접촉 가능한 제1피위치결정부(43)로서의 제1반구돌출부(431-1), 제2반구돌출부(431-2), 제3반구돌출부(431-3)를 구비한다.
이 구성에 의하여, 제1삼각오목부(141-1), 제2삼각오목부(141-2), 제3삼각오목부(141-3)는, 각각 제1반구돌출부(431-1), 제2반구돌출부(431-2), 제3반구돌출부(431-3)에 결합될 수 있어, 더 높은 정밀도로 리프팅 장치(4)를 하측뚜껑(13)에 대하여 위치결정할 수 있다.
다음에 본 발명의 제6실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체에 대하여 설명한다. 도17은, 본 발명의 제6실시형태에 관한 포장구조체(1A)의 하측뚜껑(13)의 제1장치위치결정부(14E)와 제2장치위치결정부(16A)를 나타내는 개략도이다.
제6실시형태는, 장치위치결정부에 있어서 1개의 제1장치위치결정부(14E)와, 2개의 제2장치위치결정부(16A)를 구비하고 있는 점 및 이에 따라 피위치결정부에 있어서 1개의 제1피위치결정부(43)와, 2개의 제2피위치결정부(45A)를 구비하고 있는 점에 있어서, 제2실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는, 제2실시형태와 동일하기 때문에 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고, 설명을 생략한다.
제1장치위치결정부(14E)는, 도17에 나타내는 바와 같이 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향과 직교하는 단면(전후방향(D1) 및 좌우방향(D3)과 평행한 단면)에서는, 후방향(D12)으로 감에 따라 좌우방향(D3)의 폭이 작아지는 테이퍼 모양부(141E)와, 또한 후방향(D12)에 있어서 사각형을 구비하는 사각형 속부(145E)를 구비하고 있다. 제2장치위치결정부(16A)는, 좌우방향(D3)에 있어서 제1장치위치결정부(14E)의 양측에 제1장치위치결정부(14E)로부터 이간하여 각각 존재하고 있다. 제2장치위치결정부(16A)는, 제2실시형태의 제2장치위치결정부(16A)를 구성하는 사각형 오목부(161A)와 동일한 형상의 사각형 오목부(161A)를 구비하고 있다.
제1피위치결정부(43)는, 제2실시형태의 반구돌출부(431)와 동일한 형상을 구비하는 반구돌출부(431)를 구비하고 있다. 또한 제2피위치결정부(45A)는, 제2실시형태의 사각형 볼록부(451A)와 동일한 형상을 구비하는 사각형 볼록부(451A)를 구비하고 있다. 따라서 테이퍼 모양부(141E)에 있어서 반구돌출부(431)의 반구모양의 부분이 접촉되는 부분은, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향(상하방향(D2))과 직교하는 방향으로서 하측뚜껑(13)에 대하여 접근 또는 이간하는 방향인 접근이간방향(전후방향(D1))에 있어서의 접근이간방향 끝부(144E)를 구성한다. 이와 동시에, 테이퍼 모양부(141E)에 있어서 반구돌출부(431)의 반구모양의 선단부가 접촉되는 부분은, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향(상하방향(D2)) 및 접근이간방향(전후방향(D1))에 대하여 직교하는 방향인 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서의 제한방향 일단부(142E)와 제한방향 타단부(143E)를 구성한다. 제1장치위치결정부(14E)는 제1피위치결정부(43)에 결합될 수 있다. 제2장치위치결정부(16A)는 제2피위치결정부(45A)에 결합될 수 있다. 이들의 결합에 의하여 리프팅 장치(4)를 하측뚜껑(13)에 대하여 위치결정할 수 있다.
다음에 본 발명의 제7실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1F)에 대하여 설명한다. 도18은, 본 발명의 제7실시형태에 관한 포장구조체(1F)의 하측뚜껑(13)의 제1장치위치결정부(14F)를 나타내는 개략도이다.
제7실시형태는, 1개의 제1장치위치결정부(14F)에 대하여 제1피위치결정부(43F) 및 제2피위치결정부(45F)가 결합되는 점에 있어서, 다른 실시형태와는 다르다.
공통장치위치결정부(共通裝置位置決定部)로서의 제1장치위치결정부(14F)는, 도18에 나타내는 바와 같이 좌우방향으로 길이가 긴 직사각형 오목부(141F)를 구비하고 있다. 직사각형 오목부(141F)의 좌측방향(D31)의 끝부는, 좌측방향(D31)으로 예각(銳角)을 이루도록 뾰족한 뾰족모양부(146F)를 구비하고 있다. 직사각형 오목부(141F)의 우측방향(D32)의 끝부는, 전후방향(D1)으로 평행하게 연장되는 전후연장부(147F)를 구비하고 있다. 직사각형 오목부(141F)의 후방향(D12)의 끝부는, 좌우방향으로 평행하게 연장되는 좌우연장부(148F)를 구비하고 있다.
도18에 나타내는 바와 같이 제1피위치결정부(43F)는, 후방향으로 연장되는 후방연장부(435F)와, 후방연장부(435F)의 후단부로부터 좌측방향(D31)으로 반구모양으로 돌출되는 좌측방향 반구돌출부(436F)를 구비하고 있다. 제2피위치결정부(45F)는, 후방향(D12)으로 연장되고 제1실시형태의 반구돌출부(431)보다 앞부분이 뾰족한 선단 타원모양 돌출부(455F)를 구비하고 있다.
뾰족모양부(146F)에는 좌측방향 반구돌출부(436F)가 결합될 수 있다. 좌측방향 반구돌출부(436F)에 있어서 좌측방향 반구돌출부(436F)의 반구모양의 선단부가 접촉되는 부분은, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향(상하방향(D2)) 및 접근이간방향(전후방향(D1))에 대하여 직교하는 방향인 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서의 제한방향 일단부(142F)를 구성한다. 좌우연장부(148F)에는 후방연장부(435F)의 후단부가 접촉될 수 있다. 좌우연장부(148F)에 있어서 후방연장부(435F)가 접촉되는 부분은, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향(상하방향(D2))과 직교하는 방향으로서 하측뚜껑(13)에 대하여 접근 또는 이간하는 방향인 접근이간방향(전후방향(D1))에 있어서의 접근이간방향 끝부(144F)를 구성한다.
또한 좌우연장부(148F)에 있어서 선단 타원모양 돌출부(455F)가 접촉되는 부분은, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향(상하방향(D2))과 직교하는 방향으로서 하측뚜껑(13)에 대하여 접근 또는 이간하는 방향인 접근이간방향(전후방향(D1))에 있어서의 끝부를 구성하는 접근이간방향 끝부(149F)를 구비한다. 전후연장부(147F)에는, 선단 타원모양 돌출부(455F)의 우단(右端)의 측면이 접촉될 수 있다. 전후연장부(147F)에 있어서 선단 타원모양 돌출부(455F)의 우단의 측면이 접촉되는 부분은, 상측뚜껑(11)과 하측뚜껑(13)을 연결하는 방향(상하방향(D2)) 및 접근이간방향(전후방향(D1))에 대하여 직교하는 방향인 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서의 제한방향 타단부(143F)를 구성한다.
따라서 리프팅 장치(4)의 제1피위치결정부(43F)의 좌측방향 반구돌출부(436F)는, 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서 제한방향 일단부(142F)에 접촉될 수 있으며 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서의 일단부를 구성하는 일단부 접촉부(432F)를 구비한다. 리프팅 장치(4)의 제1피위치결정부(43F)의 후방연장부(435F)는, 접근이간방향(전후방향(D1))에 있어서 접근이간방향 끝부(144F)에 접촉될 수 있는 접근이간방향 끝부 접촉부(434F)를 구비한다. 또한 리프팅 장치(4)의 선단 타원모양 돌출부(455F)의 후단은, 접근이간방향(전후방향(D1))에 있어서 접근이간방향 끝부(149F)에 접촉될 수 있는 접근이간방향 끝부 접촉부(437F)를 구비한다. 리프팅 장치(4)의 제2피위치결정부(45F)의 선단 타원모양 돌출부(455F)는, 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서 제한방향 타단부(143F)에 접촉될 수 있고 제한방향(좌우방향(D3))에 있어서의 타단부를 구성하는 타단부 접촉부(433F)를 구비한다.
좌우방향(D3)에 있어서 제한방향 일단부(142F)에서부터 제한방향 타단부(143F)까지의 거리는, 좌우방향(D3)에 있어서 일단부 접촉부(432F)에서부터 타단부 접촉부(433F)까지의 거리와 동일하다. 뾰족모양부(146F)에 대한 좌측방향 반구돌출부(436F)의 결합, 좌우연장부(148F)에 대한 후방연장부(435F)의 접촉 및 전후연장부(147F)에 대한 선단 타원모양 돌출부(455F)의 우단의 측면의 접촉에 의하여 제1장치위치결정부(14F)는, 기판수납용기(2)를 들어올리는 리프팅 장치(4)의 제1피위치결정부(43F), 제2피위치결정부(45F)에 결합될 수 있다.
상기와 같은 제1피위치결정부(43F), 제2피위치결정부(45F)를 제1장치위치결정부(14F)에 결합시킬 때의 동작은 이하와 같다. 우선 도18에 나타내는 바와 같이 제1피위치결정부(43F), 제2피위치결정부(45F)를 제1장치위치결정부(14F)와 대향하는 위치관계로 배치시킨다. 다음에 뾰족모양부(146F)에 좌측방향 반구돌출부(436F)를 결합시킨다. 이 때에는 아직 선단 타원모양 돌출부(455F)는, 직사각형 오목부(141F) 내에는 삽입되지 않는다. 다음에 뾰족모양부(146F)에 좌측방향 반구돌출부(436F)를 결합시킨 상태에서, 선단 타원모양 돌출부(455F)를 직사각형 오목부(141F) 내에 삽입하여 접근이간방향 끝부 접촉부(437F)를 접근이간방향 끝부(149F)에 접촉시킨다. 이에 따라 제1피위치결정부(43F) 및 제2피위치결정부(45F)를 제1장치위치결정부(14F)에 결합시킨다.
상기한 바와 같이 피위치결정부는, 접근이간방향 끝부 접촉부(434F)와 일단부 접촉부(432F)를 구비하는 제1피위치결정부(43F)와, 접근이간방향 끝부 접촉부(437F)와 타단부 접촉부(433F)를 구비하는 제2피위치결정부(45F)를 구비한다. 또한 장치위치결정부는, 제1피위치결정부(43F)의 접근이간방향 끝부 접촉부(434F) 및 제2피위치결정부(45F)의 접근이간방향 끝부 접촉부(437F)가 접촉될 수 있는 접근이간방향 끝부(144F, 149F)와, 제1피위치결정부(43F)의 일단부 접촉부(432F)가 접촉될 수 있는 제한방향 일단부(142F)와, 제2피위치결정부(45F)의 타단부 접촉부(433F)가 접촉될 수 있는 제한방향 타단부(143F)를 구비하는 공통장치위치결정부를 구비한다.
이 구성에 의하여, 장치위치결정부의 수가 적은 구성으로 정확하고 또한 확실하게 포장상자(10)의 하측뚜껑(13)에 대하여 위치결정할 수 있다.
본 발명은, 상기한 실시형태에 한정되는 것은 아니며 특허청구범위에 기재된 기술적 범위에서 변형이 가능하다. 예를 들면 탄성지지부재는 코일스프링(도면에는 나타내지 않는다)으로 구성되어 있었지만, 이들에 한정되지 않는다. 예를 들면 탄성지지부재는, 에어스프링(air spring), 겔(gel), 스펀지(sponge), 고무, 탄성을 구비하는 고분자 발포체(高分子 發泡體), 탄성을 구비하는 플라스틱 성형체(plastic 成形體) 중에서 어느 하나로 구성되더라도 좋다. 여기에서 탄성을 구비하는 고분자 발포체라는 것은, 속돌 등 탄성을 구비하지 않는 고분자 발포체를 포함하지 않는 것을 의미한다.
탄성지지부재가, 에어스프링, 겔, 스펀지, 고무, 탄성을 구비하는 고분자 발포체, 탄성을 구비하는 플라스틱 성형체 중에서 어느 하나로 구성되기 때문에, 요구되는 탄성에 따라 탄성지지부재를 구성하는 재료를 적절하게 선택할 수 있다.
또한 장치위치결정부(제1장치위치결정부, 제2장치위치결정부, 공통장치위치결정부), 피위치결정부(제1피위치결정부, 제2피위치결정부)의 개수나 형상은, 본 실시형태의 개수에 한정되지 않는다. 예를 들면 제5실시형태에서는, 동일한 형상의 3개의 제1장치위치결정부 즉 제1삼각오목부(141-1)와, 제2삼각오목부(141-2)와, 제3삼각오목부(141-3)를 구비하고 있었지만, 3개에 한정되지 않는다.
또한 본 실시형태의 구성을 대신하여, 장치위치결정부(제1장치위치결정부, 제2장치위치결정부)는 돌출되는 부재를 구비하고, 피위치결정부(제1피위치결정부, 제2피위치결정부)는 당해 돌출되는 부재가 결합되는 오목부를 구비하고 있더라도 좋다. 예를 들면 장치위치결정부가 제1실시형태의 반구돌출부를 구비하고, 제1피위치결정부가 제1실시형태의 삼각오목부를 구비하고 있더라도 좋다.
또한 제1실시형태에서는, 강성체(도면에는 나타내지 않는다)의 상면은, 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)의 하단면으로서의 하면에 접촉되어 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)를 지지하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면 강성체(도면에는 나타내지 않는다)의 상면과, 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)의 하면의 사이에는, 스펀지 등의 쿠션재가 배치되고, 쿠션재를 사이에 두고 강성체(도면에는 나타내지 않는다)의 상면은 하부 완충재(도면에는 나타내지 않는다)의 하면을 지지하더라도 좋다.
또한 상부 완충재, 하부 완충재, 강성체의 재질은, 본 실시형태의 각각의 재질에 한정되지 않는다. 예를 들면 강성체는, 베니어판(veneer板)이나 알루미늄의 판(금속박판(金屬箔板))에 의하여 구성되더라도 좋다.
또한 포장상자(10)는 소위 플라스틱 골판지 상자(플라스틱 박스)에 의하여 구성되었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면 포장상자는, 종이로 제작된 골판지나 알루미늄 프레임에 의하여 구성되더라도 좋다. 또한 기판수납용기는, 본 실시형태의 형상, 치수의 것에 한정되지 않는다. 마찬가지로 기판수납용기에 수납되는 기판의 치수는, 본 실시형태의 치수에 한정되지 않는다.
1, 1A, 1C : 포장구조체
2 : 기판수납용기
3 : 기판수납용기 수용자루(용기수용자루)
4 : 리프팅 장치
10 : 포장상자
11 : 상측뚜껑
12 : 슬리브 부재
13 : 하측뚜껑
14, 14E, 14F : 제1장치위치결정부
16, 16A : 제2장치위치결정부
43, 43F : 제1피위치결정부
45, 45A, 45F : 제2피위치결정부
111 : 상판
112 : 상측뚜껑 둘레벽
132 : 하측뚜껑 둘레벽
133, 133C : 하측뚜껑 다리부
142, 142-1, 142-2, 142-3, 142E, 142F : 제한방향 일단부
143, 143-1, 143-2, 143-3, 143E, 143F : 제한방향 타단부
144, 144-1, 144-2, 144-3, 144F, 149F, 164, 164A : 접근이간방향 끝부
432, 432-1, 432-2, 432-3, 432F : 일단부 접촉부
433, 433-1, 433-2, 433-3, 433F : 타단부 접촉부
434, 434-1, 434-2, 434-3, 434F : 접근이간방향 끝부 접촉부
W : 기판

Claims (8)

  1. 반도체 웨이퍼(半導體 wafer)로 이루어지는 기판을 수납하여 수송하기 위한 기판수납용기(基板收納容器)를 포장하기 위한 포장구조체(包裝構造體)로서,
    상기 기판수납용기를 지지하는 저판(底板)과 상기 저판의 주위로부터 상방으로 연장되는 하측뚜껑 둘레벽을 갖는 하측뚜껑과, 상하방향으로 연장되는 축심(軸心)을 갖는 통모양의 슬리브 부재(sleeve 部材)와, 상판(上板)과 상기 상판의 주위로부터 하방으로 연장되는 상측뚜껑 둘레벽을 갖는 상측뚜껑을 갖는 포장상자를 구비하고,
    상기 슬리브 부재의 하단부(下端部)는 상기 하측뚜껑의 저판의 위에 재치(載置)되고, 상기 슬리브 부재의 상단부(上端部)에는 상기 상측뚜껑의 상판이 재치되고,
    상기 하측뚜껑은 장치위치결정부(裝置位置決定部)를 구비하고,
    상기 장치위치결정부는, 상기 상측뚜껑이 떼어내어진 상태의 포장상자의 상기 하측뚜껑에 지지된 상기 기판수납용기를 상기 하측뚜껑으로부터 들어올리는 리프팅 장치(lifting 裝置)의 피위치결정부(被位置決定部)에 결합시킬 수 있는
    포장구조체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 장치위치결정부는, 상기 상측뚜껑과 상기 하측뚜껑을 연결하는 방향과 직교하는 방향으로서 상기 하측뚜껑에 대하여 접근(接近) 또는 이간(離間)하는 방향인 접근이간방향에 있어서의 접근이간방향 끝부와, 상기 상측뚜껑과 상기 하측뚜껑을 연결하는 방향 및 상기 접근이간방향에 대하여 직교하는 방향인 제한방향에 있어서의 제한방향 일단부(制限方向 一端部)와 제한방향 타단부(制限方向 他端部)를 갖는 포장구조체.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 장치위치결정부는, 상기 접근이간방향 끝부와 상기 제한방향 일단부와 상기 제한방향 타단부를 갖는 적어도 1개의 제1장치위치결정부와, 상기 제1장치위치결정부와는 다른 형상을 갖고 상기 접근이간방향 끝부를 갖는 적어도 1개의 제2장치위치결정부를 구비하는 포장구조체.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 장치위치결정부는, 상기 접근이간방향 끝부와 상기 제한방향 일단부와 상기 제한방향 타단부를 갖는 동일한 형상의 적어도 3개의 제1장치위치결정부를 구비하고, 인접하는 상기 제1장치위치결정부는, 모두 동일한 간격으로 이간되어 있는 것이 아니라 서로 다른 간격으로 이간되어 배치되는 포장구조체.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 리프팅 장치의 상기 피위치결정부는, 상기 접근이간방향에 있어서의 끝부를 구성하는 접근이간방향 끝부 접촉부와 상기 제한방향에 있어서의 일단부를 구성하는 일단부 접촉부를 갖는 제1피위치결정부와, 상기 접근이간방향 끝부 접촉부와 상기 제한방향에 있어서의 타단부를 구성하는 타단부 접촉부를 갖는 제2피위치결정부를 구비하고,
    상기 장치위치결정부는, 상기 제1피위치결정부의 상기 접근이간방향 끝부 접촉부 및 상기 제2피위치결정부의 상기 접근이간방향 끝부 접촉부가 접촉될 수 있는 상기 접근이간방향 끝부와, 상기 제1피위치결정부의 상기 일단부 접촉부가 접촉될 수 있는 상기 제한방향 일단부와, 상기 제2피위치결정부의 상기 타단부 접촉부가 접촉될 수 있는 상기 제한방향 타단부를 갖는 공통장치위치결정부(共通裝置位置決定部)를 구비하는 포장구조체.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 장치위치결정부는, 상기 하측뚜껑 둘레벽에 존재하는 포장구조체.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 하측뚜껑은, 상기 저판의 하면으로부터 하방으로 연장되는 하측뚜껑 다리부를 구비하고,
    상기 장치위치결정부는, 상기 하측뚜껑 다리부에 존재하는 포장구조체.
  8. 제1항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 포장상자 내에 있어서 상기 기판수납용기가 재치(載置)되는 하부 완충재(下部 緩衝材)를 구비하는 포장구조체.
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