KR20160054525A - 기판 수납 용기를 곤포하기 위한 곤포 구조체 - Google Patents

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Abstract

반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여 수송하기 위한 기판 수납 용기(2)를 곤포하기 위한 곤포 구조체(1)는, 곤포 상자(10); 및 곤포 상자(10) 내에서 기판 수납 용기(2)가 재치되는 하부 완충재(4)를 구비한다. 하부 완충재(4)는 제1 완충부(4f) 및 제2 완충부(4s)를 갖는다. 제1 완충부(4f)는 완충재로 구성되며 기판 수납 용기(2)에 직접 맞닿아 기판 수납 용기(2)를 지지하는 완충 지지부(40), 및 완충재로 구성되며 완충 지지부(40)에 접속되어 완충 지지부(40)로부터 아래쪽으로 연장되는 완충부 연결부(70)를 갖는다. 제2 완충부(4s)는 관통공(53)이 형성된 완충판형상부(50), 및 제1 완충부(4f)의 완충부 연결부(70)보다 부드러운 완충재로 구성되며 완충판형상부(50)로부터 아래쪽으로 연장되는 완충다리부(60)를 갖는다. 완충판형상부(50)의 관통공(53)에 완충부 연결부(70)가 관통된 상태에서, 완충판형상부(50)가 제1 완충부(4f)를 지지한다.

Description

기판 수납 용기를 곤포하기 위한 곤포 구조체{PACKAGING STRUCTURE FOR PACKAGING SUBSTRATE HOUSING CONTAINER}
본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 기판 수납 용기를 곤포(梱包)하기 위한 곤포 구조체에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 용기로서, 용기 본체와 뚜껑체를 구비한 기판 수납 용기가 종래부터 알려져 있다. 이러한 기판 수납 용기가 곤포 상자 내에 곤포되어 수송될 때에는 곤포 상자 내에 수지 재질의 완충재 등이 배치된다. 이러한 완충재는 곤포 상자 내에서 기판 수납 용기를 유지시켜 곤포 상자 외부로부터 기판 수납 용기로 충격이나 진동이 전달되는 것을 저감시킨다. 이러한 용도로 둘 이상의 다른 재질로 구성된 완충재가 이용되는 경우가 있다(특허 문헌 1 참조).
일본 특개평7－291280호공보
예를 들어, 2가지 다른 재질로 구성된 완충재가 이용되는 경우, 한쪽 재질로 구성된 완충재 부분과 다른 쪽 재질로 구성된 완충재 부분은 접착을 통해 고정하는 것이 간편하다. 그러나, 이 경우, 사용하는 접착제에 따라서는 아웃가스(outgas)가 발생한다. 그리고, 발생한 아웃가스가 기판 수납 용기의 포장백에 부착되어, 기판 수납 용기를 클린룸 내에 도입할 때 함께 들여오게 될 위험성이 있다.
본 발명은 기판 수납 용기의 수송 시에 기판 수납 용기의 곤포 상자 내에 배치되는 완충재로 둘 이상의 다른 재질로 구성된 완충재를 이용하는 경우, 접착제를 이용하지 않고 상기 완충재를 고정할 수 있는, 기판 수납 용기를 곤포하기 위한 곤포 구조체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여 수송하기 위한 기판 수납 용기를 곤포하기 위한 곤포 구조체에 있어서, 곤포 상자; 및 상기 곤포 상자 내에서 상기 기판 수납 용기가 재치(載置)되는 하부 완충재;를 구비하고, 상기 하부 완충재는 제1 완충부 및 제2 완충부를 가지며, 상기 제1 완충부는 완충재로 구성되며 상기 기판 수납 용기에 직접 맞닿아 상기 기판 수납 용기를 지지하는 완충 지지부, 및 완충재로 구성되며 상기 완충 지지부에 접속되어 상기 완충 지지부로부터 아래쪽으로 연장되는 완충부 연결부를 가지며, 상기 제2 완충부는 관통공이 형성된 완충판형상부, 및 상기 제1 완충부의 상기 완충부 연결부보다 부드러운 완충재로 구성되며 상기 완충판형상부로부터 아래쪽으로 연장되는 완충다리부를 가지며, 상기 완충판형상부의 상기 관통공에 상기 완충부 연결부가 관통된 상태에서, 상기 완충판형상부가 상기 제1 완충부를 지지하는 곤포 구조체에 관한 것이다.
또한, 상기 제2 완충부의 상기 완충다리부의 하단부는 상기 곤포 상자에 지지되며, 상기 제1 완충부의 상기 완충부 연결부의 하단부는 상기 곤포 상자에 지지되지 않고 상기 완충다리부의 하단부보다 위쪽에 위치하여 상기 곤포 상자로부터 이격되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1 완충부의 상기 완충 지지부와 상기 완충부 연결부는 동일한 완충재로 일체로 성형되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제2 완충부의 상기 완충다리부를 구성하는 완충재는 코일 스프링, 공기 스프링, 겔, 스펀지, 고무, 탄성을 갖는 고분자 발포체 중 어느 하나로 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제2 완충부의 상기 완충판형상부는 각각 평탄한 상면 및 하면을 갖는 판 형상을 가지며 상기 제1 완충부의 상기 완충 지지부에 맞닿을 수 있는 강성체로서, 상기 제1 완충부의 상기 완충 지지부에 상기 기판 수납 용기가 재치되었을 때 상기 완충 지지부의 변형을 억제하여 상기 완충 지지부를 지지할 수 있을 정도의 경도를 갖는 강성체로 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제2 완충부의 상기 완충다리부를 구성하는 완충재는 스펀지로 구성되며, 상기 제2 완충부의 상기 완충판형상부는 상기 완충다리부를 구성하는 스펀지와 동일한 스펀지로 구성되어, 상기 완충판형상부와 상기 완충다리부가 일체로 성형되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1 완충부의 상기 완충부 연결부는 상기 제2 완충부의 상기 완충판형상부에 접착되지 않고 상기 완충판형상부의 상기 관통공에 끼움 결합됨으로써 상기 완충판형상부에 고정되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 기판 수납 용기의 수송 시에 기판 수납 용기의 곤포 상자 내에 배치되는 완충재로 둘 이상의 다른 재질로 구성된 완충재를 이용하는 경우, 접착제를 이용하지 않고 상기 완충재를 고정할 수 있는, 기판 수납 용기를 곤포하기 위한 곤포 구조체를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 수납 용기(2)를 곤포하기 위한 곤포 구조체(1)를 나타내는 전개 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 수납 용기(2)를 곤포하기 위한 곤포 구조체(1)를 나타내는 전개 정면도이다.
도 3a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 수납 용기(2)를 곤포하기 위한 곤포 구조체(1)를 나타내는 비스듬히 위쪽에서 본 사시도이다.
도 3b는 도 3a의 곤포 구조체(1)에서 곤포 상자(10)의 앞판(123)을 생략하여 나타낸 정면도이다.
도 4a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재(4)의 제1 완충부(4f)를 나타내는 정면도이다.
도 4b는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재(4)의 제2 완충부(4s)를 나타내는 정면도이다.
도 5a는 도 4a의 제1 완충부(4f)를 비스듬히 위쪽에서 본 사시도이다.
도 5b는 도 4b의 제2 완충부(4s)를 비스듬히 위쪽에서 본 사시도이다.
도 6a는 도 4a의 제1 완충부(4f)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
도 6b는 도 4b의 제2 완충부(4s)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
도 7a는 도 3b의 A－A선에 따른 종단 측면도이다.
도 7b는 도 7a의 B부분의 확대도이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에 의해 곤포되는 기판 수납 용기(2)를 나타내는 전개 사시도이다.
도 9는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)가 낙하하여, 제2 완충부(4s)의 완충다리부(60)가 줄어들어 제1 완충부(4f)의 완충부 연결부(70)가 곤포 상자(10)의 바닥판(13)에 도달한 상태를 나타내는, 도 3b와 같은 정면도이다.
도 10a는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재(4A)의 제1 완충부(4fA)를 나타내는 저면도이다.
도 10b는 도 10a의 제1 완충부(4fA)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
도 11a는 본 발명의 제3 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재(4B)의 제1 완충부(4fB)를 나타내는 저면도이다.
도 11b는 도 11a의 제1 완충부(4fB)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
도 12a는 본 발명의 제4 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재(4C)의 제1 완충부(4fC)를 나타내는 저면도이다.
도 12b는 도 12a의 제1 완충부(4fC)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
도 13a는 본 발명의 제5 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재(4D)의 제1 완충부(4fD)를 나타내는 저면도이다.
도 13b는 도 13a의 제1 완충부(4fD)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
도 14a는 본 발명의 제5 실시형태에 따른 곤포 구조체(1D)에서 제1 완충부(4fD)와 제2 완충부(4sD)의 고정 상태를 나타내는, 도 7a와 같은 종단 측면도이다.
도 14b는 도 14a의 C부분의 확대도이다.
도 15a는 본 발명의 제6 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재(4E)의 제2 완충부(4sE)를 나타내는 저면도이다.
도 15b는 도 15a의 제2 완충부(4sE)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
도 16a는 본 발명의 제7 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재(4F)의 제2 완충부(4sF)를 나타내는 저면도이다.
도 16b는 도 15a의 제2 완충부(4sF)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
도 17a는 본 발명의 제8 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재(4G)의 제1 완충부(4fG)와 제2 완충부(4sG)의 고정 상태를 나타내는, 도 7a와 같은 종단 측면도이다.
도 17b는 도 17a의 D부분의 확대도이다.
도 18a는 본 발명의 제9 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재(4H)의 제1 완충부(4fH)와 제2 완충부(4sH)의 고정 상태를 나타내는, 도 7a와 같은 종단 측면도이다.
도 18b는 도 18a의 E부분의 확대도이다.
도 19는 제10 실시형태에 따른 곤포 구조체(1I)에서 하부 완충재(4I)를 나타내는 도 3b와 같은 정면도이다.
이하, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 수납 용기를 곤포하기 위한 곤포 구조체(1)에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 수납 용기(2)를 곤포하기 위한 곤포 구조체(1)를 나타내는 전개 사시도이다. 도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 수납 용기(2)를 곤포하기 위한 곤포 구조체(1)를 나타내는 전개 정면도이다. 도 3a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 수납 용기(2)를 곤포하기 위한 곤포 구조체(1)를 나타내는 비스듬히 위쪽에서 본 사시도이다. 도 3b는 도 3a의 곤포 구조체(1)에서 곤포 상자의 앞판을 생략하여 나타낸 정면도이다. 도 4a는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재의 제1 완충부를 나타내는 정면도이다. 도 4b는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서 하부 완충재의 제2 완충부를 나타내는 정면도이다. 도 5a는 도 4a의 하부 완충재의 제1 완충부를 비스듬히 위쪽에서 본 사시도이다. 도 5b는 도 4b의 하부 완충재의 제2 완충부를 비스듬히 위쪽에서 본 사시도이다. 도 6a는 도 4a의 하부 완충재의 제1 완충부를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다. 도 6b는 도 4b의 하부 완충재의 제2 완충부를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다. 도 7a는 도 3b의 A－A선에 따른 종단 측면도이다. 도 7b는 도 7a의 B부분의 확대도이다. 도 8은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에 의해 곤포되는 기판 수납 용기(2)를 나타내는 전개 사시도이다. 도 9는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)가 낙하하여, 제2 완충부의 완충다리부가 줄어들어 제1 완충부의 완충부 연결부가 곤포 상자의 저면에 도달한 상태를 나타내는, 도 3b와 같은 정면도이다.
여기서, 설명의 편의상, 후술하는 곤포 상자(10)의 뒤판(124)으로부터 앞판(123)을 향하는 방향(도 1에서 좌하 방향)을 전 방향(D11)으로 정의하고, 그 반대 방향을 후 방향(D12)으로 정의하고, 이들을 전후 방향(D1)으로 정의한다. 또한, 후술하는 바닥판(13)으로부터 천장판(11)을 향하는 방향(도 1에서 상 방향)을 상 방향(D21)으로 정의하고, 그 반대 방향을 하 방향(D22)으로 정의하고, 이들을 상하 방향(D2)으로 정의한다. 또한, 후술하는 우판(122)으로부터 좌판(121)을 향하는 방향(도 1에서 좌상 방향)을 좌 방향(D31)으로 정의하고, 그 반대 방향을 우 방향(D32)으로 정의하고, 이들을 좌우 방향(D3)으로 정의한다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 곤포 구조체(1)에 의해 곤포되는 기판 수납 용기(2)는 반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여 수송하기 위한 것으로, 용기 본체(202) 및 뚜껑체(203)를 갖는다. 아울러, 도 7a에서는 편의상 기판 수납 용기(2) 내부의 도시를 생략했다.
용기 본체(202)는 일단부에 용기 본체 개구부(221)가 형성되고 타단부가 폐색(閉塞)된 통 형상의 벽부(220)를 갖는다. 용기 본체(202) 내에는 기판 수납 공간(227)이 형성되어 있다. 기판 수납 공간(227)은 벽부(220)에 의해 둘러싸여 형성된다. 벽부(220)의 부분이며 기판 수납 공간(227)을 형성하는 부분에는 기판 지지 판형상부(205) 및 후방 리테이너(rear retainer)(미도시)가 배치되어 있다. 기판 수납 공간(227)에는 복수의 기판(W)을 수납할 수 있다.
기판 지지 판형상부(205)는 기판 수납 공간(227)내에서 쌍을 이루도록 벽부(220)에 설치되어 있다. 기판 지지 판형상부(205)는, 뚜껑체(203)에 의해 용기 본체 개구부(221)가 폐색되어 있지 않을 때, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지할 수 있다. 후방 리테이너(미도시)는, 뚜껑체(203)에 의해 용기 본체 개구부(221)가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 가장자리부의 뒷부분을 지지할 수 있다.
뚜껑체(203)는 용기 본체 개구부(221)에 대해 착탈 가능하며, 용기 본체 개구부(221)를 폐색할 수 있다. 뚜껑체(203)에는 전방 리테이너(front retainer)(미도시)가 설치되어 있다. 전방 리테이너(미도시)는, 뚜껑체(203)의 부분이면서 뚜껑체(203)에 의해 용기 본체 개구부(221)가 폐색되어 있을 때 기판 수납 공간(227)과 마주보는 부분에 설치되어 있다. 전방 리테이너(미도시)는 후방 리테이너(미도시)와 쌍을 이루도록 배치된다.
전방 리테이너(미도시)는, 뚜껑체(203)에 의해 용기 본체 개구부(221)가 폐색되어 있을 때, 복수의 기판(W)의 가장자리부의 앞부분을 지지할 수 있다. 전방 리테이너(미도시)는, 뚜껑체(203)에 의해 용기 본체 개구부(221)가 폐색되어 있을 때, 후방 리테이너(미도시)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)끼리를 소정 간격으로 이격시켜 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)을 유지시킨다.
기판 수납 용기(2)에 수납되는 기판(W)(도 8 참조)은 원반 형상의 실리콘 웨이퍼, 유리 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등이며, 산업에 이용되는 얇은 것이다. 본 실시형태에서의 기판(W)은 직경 300mm~450mm의 실리콘 웨이퍼이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 수납 용기(2)를 곤포하기 위한 곤포 구조체(1)는 곤포 상자(10), 상부 완충재(30) 및 하부 완충재(4)를 구비한다. 하부 완충재(4)는 제1 완충부(4f) 및 제2 완충부(4s)를 조합하여 구성된다. 곤포 구조체(1)는 반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여 수송하기 위해 기판 수납 용기(2)를 곤포한다.
도 1, 도 2, 도 3a 등에 나타내는 바와 같이, 곤포 상자(10)는 이른바 플라스틱 골판지 상자로 구성된 소위 귤 상자 타입이며, 측판(12), 천장판(11) 및 바닥판(13)을 구비하여 전체적으로 직육면체 형상을 갖는다.
측판(12)은 각각 직사각형의 판 형상을 갖는 좌판(121), 우판(122), 앞판(123) 및 뒤판(124)으로 구성되어 있으며, 상하 방향으로 연장되는 축심을 가지고 양단에서 개구되는 사각 통 형상을 갖는다. 측판(12)의 좌판(121), 우판(122)에는 각각 전후 방향으로 긴 타원 형상의 관통공(125)이 형성되어 있다. 작업자는 관통공(125)에 손을 삽입하여 곤포 상자(10)을 들어 올릴 수 있다.
천장판(11)은, 측판(12)의 좌판(121), 우판(122), 앞판(123) 및 뒤판(124) 각각의 상측 가장자리로 이어지며, 서로 독립적으로 상 방향으로 연출(延出)되는 직사각형 형상의 4장의 연출판(111, 112, 113, 114)을 갖는다. 이들 4장의 연출판(111, 112, 113, 114) 각각은, 이들이 이어지는 측판(12)의 좌판(121), 우판(122), 앞판(123) 및 뒤판(124) 각각에 대해 그 상측 가장자리로부터 실질적으로 90°의 각도로 내측으로 접혀 서로 겹쳐진다. 이렇게 서로 겹쳐진 상태의 4장의 연출판(111, 112, 113, 114)에 의해 천장판(11)이 구성된다.
바닥판(13)은, 측판(12)의 좌판(121), 우판(122), 앞판(123) 및 뒤판(124) 각각의 하측 가장자리로 이어지며, 서로 독립적으로 하 방향으로 연출되는 직사각형 형상의 4장의 연출판(131, 132, 133, 134, 단 모두 도시 생략)을 갖는다. 이들 4장의 연출판 각각은, 이들이 이어지는 측판(12)의 좌판(121), 우판(122), 앞판(123) 및 뒤판(124) 각각에 대해 그 하측 가장자리로부터 실질적으로 90°의 각도로 내측으로 접혀 서로 겹쳐진다. 이렇게 서로 겹쳐진 상태의 4장의 연출판에 의해 바닥판(13)이 구성된다.
상부 완충재(30)는 기판(W)이 수납된 기판 수납 용기(2)를 상부 완충재(30)에 직접 재치하더라도 소성 변형되지 않고 상부 완충재(30) 자체의 형상을 유지할 수 있는 경도를 갖는다. 또한, 상부 완충재(30)는, 곤포 상자(10)에 작용하여 상부 완충재(30)를 통해 기판 수납 용기(2)로 전달되는 충격의 적어도 일부를 흡수할 수 있는 유연성을 갖는 재질로 구성된다. 따라서, 상부 완충재(30)는 소정의 충격보다 강한 충격을 받으면 소성 변형되어 형상이 원래대로 돌아가지 않게 되지만, 소정의 충격보다 약한 충격에 대해서는 흡수 가능하고, 이러한 충격으로는 거의 변형되지 않는다. 본 실시형태에서 상부 완충재(30)는 발포 스티롤로 구성된다.
도 1, 도 2 등에 나타내는 바와 같이, 상부 완충재(30)는 대략 직육면체 형상을 갖는다. 상부 완충재(30)의 상면(31)에는 상방 돌출 볼록부(311)가 존재한다. 상방 돌출 볼록부(311)는 대략 직사각형 형상의 상부 완충재(30)의 상면(31)의 네 귀퉁이 근방에 각각 형성되어 있으며, 각각 위쪽으로 돌출되는 동일 형상의 대략 직육면체 형상을 갖는다. 이로써, 도 3b, 도 7a에 나타내는 바와 같이, 상방 돌출 볼록부(311)는 곤포 상자(10)의 천장판(11)에 접한다.
상부 완충재(30)의 앞측의 측면(32)에는 전 방향(D11)으로 대략 직육면체 형상의 볼록부(321)가 4개 돌출되어 있다. 마찬가지로, 상부 완충재(30)의 뒤측의 측면(33)에도 후 방향(D12)으로 대략 직육면체 형상의 볼록부(331)가 4개 돌출되어 있다. 이로써, 도 7a에 나타내는 바와 같이, 전 방향(D11)으로의 볼록부(321)는 곤포 상자(10)의 앞판(123)에 접하고, 후 방향(D12)으로의 볼록부(331)는 곤포 상자(10)의 뒤판(124)에 접한다.
상부 완충재(30)의 좌측 측면(34)에는 좌 방향(D31)으로 대략 직육면체 형상의 볼록부(341)가 3개 돌출되어 있다. 마찬가지로, 상부 완충재(30)의 우측 측면(35)에도 우 방향(D32)으로 대략 직육면체 형상의 볼록부(351)가 3개 돌출되어 있다. 이로써, 도 3b에 나타내는 바와 같이, 좌 방향(D31)으로의 볼록부(341)는 곤포 상자(10)의 좌판(121)에 접하고, 우 방향(D32)으로의 볼록부(351)는 곤포 상자(10)의 우판(122)에 접한다.
상부 완충재(30)의 하면에는 하 방향(D22)으로 돌출되는 볼록 형상 부분(361)이 설치되어 있다. 따라서, 상부 완충재(30)의 하부는 볼록 형상 부분(361)에 대해 상대적으로 위쪽으로 함몰된 오목부(371)(도 7a 등 참조)를 갖는다. 오목부(371)는 기판 수납 용기(2)의 뚜껑체(203)의 상부 및 용기 본체(202)의 상부와 대략 동일한 형상을 갖는다. 기판 수납 용기(2)의 상부에 상부 완충재(30)가 재치됨으로써, 오목부(371)에는 뚜껑체(203)의 상부 및 용기 본체(202)의 상부가 계합된다.
하부 완충재(4)의 제1 완충부(4f)는, 완충재로 구성되며 기판 수납 용기(2)에 직접 맞닿아 기판 수납 용기(2)를 지지하는 완충 지지부(40), 및 완충재로 구성되며 완충 지지부(40)에 접속되어 완충 지지부(40)로부터 아래쪽으로 연장되는 완충부 연결부(70)를 갖는다.
완충 지지부(40)는 기판(W)이 수납된 기판 수납 용기(2)를 완충 지지부(40)에 직접 재치하더라도 소성 변형되지 않고 완충 지지부(40) 자체의 형상을 유지할 수 있는 경도를 갖는다. 또한, 완충 지지부(40)는, 곤포 상자(10)에 작용하여 완충 지지부(40)를 통해 기판 수납 용기(2)로 전달되는 충격의 적어도 일부를 흡수할 수 있는 유연성을 갖는 재질로 구성된다. 본 실시형태에서 완충 지지부(40)는 상부 완충재(30)와 동일한 발포 스티롤로 구성된다.
완충 지지부(40)는 대략 직육면체 형상을 갖는다. 완충 지지부(40)의 하면(41)(도 6a 등 참조)은 평탄면로 구성되는데, 완충부 연결부(70)가 2개 돌출되어 있다. 완충부 연결부(70)는 완충 지지부(40)의 하면(41) 중앙으로부터 길이 방향으로 소정 간격을 두고 배치된다. 완충부 연결부(70)는 완충 지지부(40)와는 다른 재질로 구성될 수도 있다. 본 실시형태에서 완충부 연결부(70)는, 완충 지지부(40)와 동일한 발포 스티롤로 완충 지지부(40)와 일체로 구성된다.
2개의 완충부 연결부(70)의 형상, 크기는 동일하다. 완충부 연결부(70)는 완충 지지부(40)로 이어지는 상단부에서 하단부를 향해 점점 가늘어지는 테이퍼진 원통형, 다시 말해 끝이 잘린 원추형의 형상을 갖는다. 완충부 연결부(70)의 하단부에서 상단부 앞까지의 직경은, 제2 완충부(4s)의 후술하는 완충판형상부(50)의 관통공(53)의 직경보다 작은 직경이다. 완충부 연결부(70)의 상단부 앞에서 상단부까지의 직경은, 완충판형상부(50)의 관통공(53)의 직경보다 큰 직경이다. 때문에, 완충부 연결부(70)가 하단부부터 완충판형상부(50)의 관통공(53)에 삽입되면, 완충부 연결부(70)의 상단부 부근이 관통공(53)에 의해 반경 방향 내측으로 짓눌리듯이 끼움 결합되고, 이로써 제1 완충부(4f)와 제2 완충부(4s)가 일체로 고정된다.
완충 지지부(40)의 상면에는 상 방향(D21)으로 돌출되는 볼록 형상 부분(461)이 설치되어 있다. 따라서, 완충 지지부(40)의 상부는 볼록 형상 부분(461)에 대해 상대적으로 아래쪽으로 함몰된 오목부(471)(도 7a 등 참조)를 갖는다. 오목부(471)는 기판 수납 용기(2)의 용기 본체(202)의 하부와 대략 동일한 형상을 가지며, 오목부(471)에는 용기 본체(202)의 하부가 계합된다.
완충 지지부(40)의 앞측의 측면(42)에는 전 방향(D11)으로 대략 직육면체 형상의 볼록부(421)가 4개 돌출되어 있다. 마찬가지로, 완충 지지부(40)의 뒤측의 측면(43)에도 후 방향(D12)으로 대략 직육면체 형상의 볼록부(431)가 4개 돌출되어 있다. 때문에, 도 7a에 나타내는 바와 같이, 전 방향(D11)으로의 볼록부(421)는 곤포 상자(10)의 앞판(123)에 접하고, 후 방향(D12)으로의 볼록부(431)는 곤포 상자(10)의 뒤판(124)에 접한다.
완충 지지부(40)의 좌측 측면(44)에는 좌 방향(D31)으로 대략 직육면체 형상의 볼록부(441)(도 6a 등 참조)가 3개 돌출되어 있다. 마찬가지로, 완충 지지부(40)의 우측 측면(45)에도 우 방향(D32)으로 대략 직육면체 형상의 볼록부(451)가 3개 돌출되어 있다. 때문에, 도 3b에 나타내는 바와 같이, 좌 방향(D31)으로의 볼록부(441)는 곤포 상자(10)의 좌판(121)에 접하고, 우 방향(D32)으로의 볼록부(451)는 곤포 상자(10)의 우판(122)에 접한다.
하부 완충재(4)의 제2 완충부(4s)는, 관통공(53)이 형성된 완충판형상부(50), 및 제1 완충부(4f)의 완충부 연결부(70)보다 부드러운 완충재로 구성되며 완충판형상부(50)로부터 아래쪽으로 연장되는 완충다리부(60)를 갖는다.
완충판형상부(50)는 제1 완충부(4f)의 완충 지지부(40)에 기판 수납 용기(2)가 재치되었을 때 완충 지지부(40)의 변형을 억제하여 완충 지지부(40)를 지지할 수 있을 정도의 경도를 갖는다. 본 실시형태에서 완충판형상부(50)는 골판지 판 또는 플라스틱 판으로 구성된다. 즉, 완충판형상부(50)는 그 자체에서 진동이나 충격을 흡수하지 않아도 되며, 그 자체의 형상을 유지할 수 있는 비교적 단단한 재질로 구성된다. 따라서, 완충판형상부(50)는 상부 완충재(30), 제1 완충부(4f) 어느 것 보다도 단단하다.
완충판형상부(50)는 직사각형 형상의 판 형상을 가지며, 이 직사각형 형상은, 좌우 방향(D3) 및 전후 방향(D1)에 평행한 면에서 절단한 곤포 상자(10)의 단면에서, 곤포 상자(10)의 내면에 의해 둘러싸이는 직사각형 형상과 유사하다. 따라서, 완충판형상부(50)는 곤포 상자(10)의 좌판(121), 우판(122), 앞판(123) 및 뒤판(124) 중 어느 것과도 실질적으로 접할 수 있다(도 3b, 도 7a 등 참조).
완충판형상부(50)는 각각 평탄한 상면(51) 및 하면(52)을 가지며, 상면(51)과 하면(52) 사이를 관통하는 관통공(53)이 2개 형성되어 있다. 관통공(53)은 완충판형상부(50)의 중앙으로부터 길이 방향으로 소정 간격을 두고 배치된다. 2개의 관통공(53)의 위치는, 제1 완충부(4f)의 완충 지지부(40)의 하면(41)에서 돌출된 2개의 완충부 연결부(70)의 위치와 대응한다.
완충다리부(60)는 완충판형상부(50)의 하면(52)의 네 귀퉁이에 고정된다. 완충다리부(60)의 재질은 발포 스티롤로 이루어진 완충부 연결부(70)보다 부드러운 완충재일 수 있다. 본 실시형태에서 완충다리부(60)는, 완충부 연결부(70)의 발포 스티롤보다 부드러운 탄성 계수를 갖는 코일 스프링으로 구성된다. 아울러, 도면에서 코일 스프링(60)에 대해서는 간략화하여 도시했다.
완충다리부로서의 코일 스프링(60)의 길이는, 제1 완충부(4f)의 완충부 연결부(70)가 완충판형상부(50)의 관통공(53)에 삽입되어 끼움 결합되어, 완충 지지부(40)의 하면(41)과 완충판형상부(50)의 상면(51)이 접촉된 위치에서 고정되었을 때, 완충부 연결부(70)의 하단부가 코일 스프링(60)의 하단부 높이보다 위쪽에 위치하도록 결정된다. 때문에, 제1 완충부(4f)와 제2 완충부(4s)는, 완충 지지부(40)의 하면(41)과 완충판형상부(50)의 상면(51)이 접촉되는 위치까지 완충부 연결부(70)가 완충판형상부(50)의 관통공(53)에 삽입되어 끼움 결합되어 고정되고, 이 때, 코일 스프링(60)의 하단부 높이보다 완충부 연결부(70)의 하단부가 위쪽에 위치하도록 하여 일체로 조합된다. 이로써, 제1 완충부(4f) 및 제2 완충부(4s)가 일체화된 하부 완충재(4)가 구성된다.
제1 완충부(4f) 및 제2 완충부(4s)가 일체화되어 구성된 하부 완충재(4)에 있어서, 하부 완충재(4)는 완충다리부로서의 코일 스프링(60)에 의해 전체가 지지된다. 구체적으로는, 코일 스프링(60)은 완충판형상부(50)를 지지한다. 완충판형상부(50)는, 완충부 연결부(70)가 완충판형상부(50)의 관통공(53)에 삽입되어 끼움 결합되어, 완충 지지부(40)의 하면(41)과 완충판형상부(50)의 상면(51)이 접촉된 상태에서 완충 지지부(40)를 지지한다.
따라서, 천장판(11)을 개방한 상태의 곤포 상자(10)에 제1 완충부(4f) 및 제2 완충부(4s)를 일체화한 하부 완충재(4)를 배치하면, 코일 스프링(60)의 하단부는 곤포 상자(10)의 바닥판(13) 상에 놓이고, 완충부 연결부(70)의 하단부는 바닥판(13)에서 위쪽으로 이격되어 위치한다. 이 하부 완충재(4)의 완충 지지부(40)의 오목부(471) 내에 기판 수납 용기(2)를 재치한다. 이 기판 수납 용기(2)의 상부에 상부 완충재(30)의 오목부(371)를 덮듯이 하여 상부 완충재(30)를 재치한다. 그리고, 천장판(11)을 닫는다. 그러면, 도 3a, 도 3b, 도 7a에 나타내는 바와 같이 기판 수납 용기(2)를 곤포한 곤포 구조체(1)가 구성된다.
다음으로, 상기와 같이 구성된 제1 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)의 작용에 대해 설명한다.
도 3b, 도 7a에 나타내는 바와 같이, 기판 수납 용기(2)를 곤포한 곤포 구조체(1)에서 상부 완충재(30)의 상방 돌출 볼록부(311)는 곤포 상자(10)의 천장판(11)에 접하고 있다. 상부 완충재(30)의 전 방향(D11)으로의 볼록부(321)는 곤포 상자(10)의 앞판(123)에 접하고, 후 방향(D12)으로의 블록부(331)는 곤포 상자(10)의 뒤판(124)에 접하고 있다. 상부 완충재(30)의 좌 방향(D31)으로의 블록부(341)는 곤포 상자(10)의 좌판(121)에 접하고, 우 방향(D32)으로의 블록부(351)는 곤포 상자(10)의 우판(122)에 접하고 있다. 제1 완충부(4f) 및 제2 완충부(4s)가 일체화되어 구성된 하부 완충재(4)의 완충 지지부(40)의 전 방향(D11)으로의 블록부(421)는 곤포 상자(10)의 앞판(123)에 접하고, 후 방향(D12)으로의 블록부(431)는 곤포 상자(10)의 뒤판(124)에 접하고 있다. 완충 지지부(40)의 좌 방향(D31)으로의 블록부(441)는 곤포 상자(10)의 좌판(121)에 접하고, 우 방향(D32)으로의 블록부(451)는 곤포 상자(10)의 우판(122)에 접하고 있다. 그리고, 곤포 상자(10)내의 모든 구성 요소는 하부 완충재(4)의 완충다리부인 코일 스프링(60)에 의해 지지되어 있다.
곤포 상자(10)의 바깥쪽에서 곤포 상자(10)로 진동이 가해지는 경우, 그 진동은, 발포 스티롤 재질의 상부 완충재(30) 및 하부 완충재(4)의 완충 지지부(40)에 의해 보호된 기판 수납 용기(2)에 대해, 실질적으로 코일 스프링(60)을 통해 전파된다. 코일 스프링(60)은 그 탄성 계수에 따라 진동을 흡수하여 감쇠시키는 작용을 갖는다. 때문에, 곤포 상자(10)에 가해지는 진동은 그대로 기판 수납 용기(2)에 전파되지 않고, 코일 스프링(60)에 의해 적절히 감쇠된 다음 기판 수납 용기(2)에 전파된다. 따라서, 기판 수납 용기(2)가 받는 진동은 곤포 상자(10)에 가해지는 진동에 비해 미약해진 진동이며, 기판 수납 용기(2)에 수납된 반도체 웨이퍼로 이루어진 기판(W)에 손상을 미칠 위험을 피할 수 있다.
만에 하나라도, 곤포 상자(10)가 어떤 높이에서 낙하하는 경우도 있을 수 있다. 이때, 하부 완충재(4)가 만일 완충판형상부(50) 아래쪽에 코일 스프링(60) 밖에 가지고 있지 않을 경우, 코일 스프링(60)은 그 진동 흡수 능력을 큰 폭으로 넘는 낙하 충격을 받아 파손되고, 그 결과, 발포 스티롤보다 단단한 재질(즉 강성체)의 완충판형상부(50)가 실질적으로 낙하 충격을 직접 받게 된다. 때문에, 낙하 충격을 실질적으로 직접 받은 강성체의 완충판형상부(50)로부터 기판 수납 용기(2)로 전해지는 충격의 크기는, 양자 사이에 개재된 발포 스티롤 완충 지지부(40)에 의해 약간 저감될 뿐이다. 따라서, 기판 수납 용기(2)가 받는 충격의 크기는, 기판 수납 용기(2)에 수납된 반도체 웨이퍼로 이루어진 기판(W)에 중대한 손상을 미치기에 충분한 크기이며, 결과적으로 기판(W)이 중대한 손상을 입게 된다.
이에 반해, 제1 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에서는, 도 3b, 도 7a에 나타내는 바와 같이, 완충 지지부(40)의 하면(41)에서 돌출되는 발포 스티롤 재질의 완충부 연결부(70)가 완충판형상부(50)의 관통공(53)을 지나 아래쪽으로 연장되어 존재한다. 게다가, 정상 상태에서는, 완충부 연결부(70)의 하단부가 곤포 상자(10)의 바닥판(13)으로부터 위쪽으로 이격되어 위치하고 있다. 곤포 상자(10)가 어떤 높이에서 낙하하는 경우, 도 9에 나타내는 바와 같이, 코일 스프링(60)이 낙하 충격을 흡수하지 못하고 줄어들면, 발포 스티롤 재질의 완충부 연결부(70)의 하단부가 곤포 상자(10)의 바닥판(13)에 맞닿아 완충부 연결부(70)가 낙하 충격을 흡수한다. 이 때, 완충 지지부(40)도 마찬가지로 낙하 충격을 흡수한다. 때문에, 낙하 충격은 강성체의 완충판형상부(50)를 직접 통하지 않고 발포 스티롤 재질의 완충부 연결부(70) 및 완충 지지부(40)를 통해 기판 수납 용기(2)로 전해진다. 따라서, 기판 수납 용기(2)가 받는 충격의 크기는, 기판 수납 용기(2)에 수납된 반도체 웨이퍼로 이루어진 기판(W)에 중대한 손상을 미치지 않을 것으로 기대할 수 있는 크기이며, 결과적으로 기판(W)이 중대한 손상을 피하는 것이 가능하다.
상기 구성의 제1 실시형태에 따른 곤포 구조체(1)에 따르면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
곤포 구조체(1)는 반도체 웨이퍼로 이루어진 기판(W)을 수납하여 수송하기 위한 기판 수납 용기(2)를 곤포하기 위한 것이며, 곤포 상자(10), 및 곤포 상자(10) 내에서 기판 수납 용기(2)가 재치되는 하부 완충재(4)를 구비하고, 하부 완충재(4)는 제1 완충부(4f) 및 제2 완충부(4s)를 갖는다. 제1 완충부(4f)는, 완충재로 구성되며 기판 수납 용기(2)에 직접 맞닿아 기판 수납 용기(2)를 지지하는 완충 지지부(40), 및 완충재로 구성되며 완충 지지부(40)에 접속되어 완충 지지부(40)로부터 아래쪽으로 연장되는 완충부 연결부(70)를 갖는다. 제2 완충부(4s)는, 관통공(53)이 형성된 완충판형상부(50), 및 제1 완충부(4f)의 완충부 연결부(70)보다 부드러운 완충재로 구성되며 완충판형상부(50)로부터 아래쪽으로 연장되는 완충다리부(코일 스프링)(60)를 갖는다. 그리고, 완충판형상부(50)의 관통공(53)에 완충부 연결부(70)가 관통된 상태에서 완충판형상부(50)가 제1 완충부(4f)를 지지한다.
이러한 구성에 의해, 기판 수납 용기(2)의 수송 시에 기판 수납 용기(2)의 곤포 상자(10) 내에 배치되는 하부 완충재(4)로서 둘 이상의 다른 재질로 구성된 제1 완충부(4f)와 제2 완충부(4s)를 이용하는 경우, 접착제를 이용하지 않고 제1 완충부(4f)와 제2 완충부(4s)를 고정할 수 있는, 기판 수납 용기(2)를 곤포하기 위한 곤포 구조체(1)를 제공할 수 있다. 이로써, 접착제를 이용하는 경우 아웃가스가 발생하고, 그 아웃가스가 기판 수납 용기(2)의 포장백에 부착되어 기판 수납 용기(2)를 클린룸 내에 도입할 때 함께 들여오게 되는 위험성을 미연에 피할 수 있다.
또한, 제2 완충부(4s)의 완충다리부(60)의 하단부는 곤포 상자(10)에 지지되며, 제1 완충부(4f)의 완충부 연결부(70)의 하단부는 곤포 상자(10)에 지지되지 않고 완충다리부(60)의 하단부보다 위쪽에 위치하여 곤포 상자(10)로부터 이격되어 있다.
이러한 구성에 의해, 곤포 상자(10)의 바깥쪽에서 곤포 상자(10)로 진동이 가해지는 경우, 그 진동은, 제1 완충부(4f)의 완충부 연결부(70)보다 부드러운 완충재로 구성된 제2 완충부(4s)의 완충다리부(60)를 통해 기판 수납 용기(2)에 전파된다. 완충다리부(60)가 진동을 흡수하여 감쇠시키기 때문에, 기판 수납 용기(2)가 받는 진동은 곤포 상자(10)에 가해지는 진동에 비해 미약한 진동이다. 따라서, 기판 수납 용기(2)에 수납된 반도체 웨이퍼로 이루어진 기판(W)에 손상을 미칠 위험을 피할 수 있다. 만일, 곤포 상자(10)가 어떤 높이에서 낙하하는 경우에는, 제1 완충부(4f)의 완충부 연결부(70) 및 완충 지지부(40)가 낙하 충격을 흡수할 수 있다. 때문에, 기판(W)은 중대한 손상을 피할 수 있다.
또한, 제1 완충부(4f)의 완충 지지부(40)와 완충부 연결부(70)는 동일한 완충재(발포 스티롤)로 일체로 성형된다. 이러한 구성에 의해, 제1 완충부(4f)를 저렴한 가격으로 얻을 수 있다.
또한, 제2 완충부(4s)의 완충다리부(60)를 구성하는 완충재는 코일 스프링으로 한정되지 않으며, 공기 스프링, 겔, 스펀지, 고무, 탄성을 갖는 고분자 발포체 중 어느 하나로 구성될 수 있다. 이러한 구성에 따르면, 기판 수납 용기(2)를 곤포하기 위한 곤포 구조체(1)에 요구되는 사양에 따라 제2 완충부(4s)를 임의의 완충재를 이용하여 구성할 수 있다.
또한, 제2 완충부(4s)의 완충판형상부(50)는 각각 평탄한 상면(51) 및 하면(52)을 갖는 판 형상을 가지며 제1 완충부(4f)의 완충 지지부(40)에 맞닿을 수 있는 강성체로서, 제1 완충부(4f)의 완충 지지부(40)에 기판 수납 용기(2)가 재치되었을 때 완충 지지부(40)의 변형을 억제하여 완충 지지부(40)를 지지할 수 있을 정도의 경도를 갖는 강성체로 구성된다. 이러한 구성에 의해, 기판 수납 용기(2)에 직접 맞닿아 기판 수납 용기(2)를 지지하는 완충 지지부(40)의 변형을 방지할 수 있으며, 따라서 기판 수납 용기(2)에 무리한 외력이 가해지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 제2 완충부(4s)의 완충다리부(60)를 구성하는 완충재는 코일 스프링 대신 스펀지로 구성될 수 있다. 그리고, 제2 완충부(4s)의 완충판형상부(50)는 완충다리부(60)를 구성하는 스펀지와 동일한 스펀지로 구성되어, 완충판형상부(50)와 완충다리부(60)가 일체로 성형될 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 제2 완충부(4s)를 저렴한 가격으로 얻을 수 있다.
또한, 제1 완충부(4f)의 완충부 연결부(70)는 제2 완충부(4s)의 완충판형상부(50)에 접착되지 않고, 완충판형상부(50)의 관통공(53)에 끼움 결합됨으로써 완충판형상부(50)에 고정되어 있다. 이러한 구성에 의해, 접착제를 이용하지 않고 제1 완충부(4f)와 제2 완충부(4s)를 고정할 수 있다.
이하, 하부 완충재(4)의 제1 완충부(4f)와 제2 완충부(4s)의 다양한 조합에 대해 설명한다.
상기 제1 실시형태에서는, 제1 완충부(4f)의 완충 지지부(40) 및 완충부 연결부(70)가 모두 동일한 발포 스티롤로 이루어지며, 일체로 성형되어 있다. 완충부 연결부(70)의 형상은 상단부에서 하단부를 향해 점점 가늘어지는 테이퍼진 원통형(끝이 잘린 원추형)이다. 제2 완충부(4s)의 완충판형상부(50)는 제1 완충부(4f)의 발포 스티롤보다 단단한 강성체로 만들어지며, 완충판형상부(50)의 관통공(53)의 형상은 원통 형상의 둥근 구멍이다. 제2 완충부(4s)의 완충다리부(60)는 완충부 연결부(70)의 발포 스티롤보다 부드러운 탄성 계수를 갖는 코일 스프링으로 구성된다. 이것이 하부 완충재(4)의 제1 완충부(4f)와 제2 완충부(4s)의 기본적인 조합이다.
도 10a는 제2 실시형태의 하부 완충재(4A)에서, 기본적인 둥근 구멍의 관통공(53)을 갖는 완충판형상부(50)와 조합되는 제1 완충부(4fA)를 나타내는 저면도이다. 도 10b는 도 10a의 제1 완충부(4fA)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
제2 실시형태의 제1 완충부(4fA)에서, 완충부 연결부(70A)의 형상은 십자 형상으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 실시형태의 완충부 연결부(70)의 형상(끝이 잘린 원추형)을 베이스로 하여, 완충 지지부(40)로 이어지는 상단부에서는 십자를 형성하기 위한 제거 영역이 크고, 명확하게 십자 형상을 띈다. 상단부에서 하단부를 향해 수평 단면적이 점점 감소해감에 따라 십자를 형성하기 위한 제거 영역이 감소되어, 하단부에서는 아주 약간의 제거 영역밖에 남지 않는다. 제1 완충부(4fA)의 완충부 연결부(70A)는 이러한 형상으로 형성되어 있다. 그 외 구성에 대해서는, 제1 실시형태와 동일하므로 동일한 부재에 대해 동일한 부호로 도시하고 설명을 생략한다.
제2 실시형태의 제1 완충부(4fA)의 경우도, 완충부 연결부(70A)의 하단부에서 상단부 앞까지의 십자 형상의 외경은, 제2 완충부(4s)의 완충판형상부(50)의 둥근 구멍의 관통공(53)의 직경보다 작은 직경이다. 완충부 연결부(70A)의 상단부 앞에서 상단부까지의 십자 형상의 외경은, 완충판형상부(50)의 둥근 구멍의 관통공(53)의 직경보다 큰 직경이다. 때문에, 완충부 연결부(70A)가 하단부부터 완충판형상부(50)의 관통공(53)에 삽입되면, 완충부 연결부(70A)의 상단부 부근이 관통공(53)에 의해 반경 방향 내측으로 짓눌리듯이 끼움 결합되고, 이로써 제1 완충부(4fA)와 제2 완충부(4s)가 일체로 고정된다.
그리고, 제2 실시형태의 제1 완충부(4fA)의 경우도, 완충부 연결부(70A)의 상단부 부근과 완충판형상부(50)의 둥근 구멍의 관통공(53)의 끼움 결합에 의해 제2 완충부(4s)와 일체로 고정됨으로써, 제1 실시형태의 경우의 하부 완충재(4)와 동일하게 작용하여 동일한 효과를 얻을 수 있다.
도 11a는 제3 실시형태의 하부 완충재(4B)에서, 기본적인 둥근 구멍의 관통공(53)을 갖는 완충판형상부(50)와 조합되는 제1 완충부(4fB)를 나타내는 저면도이다. 도 11b는 도 11a의 제1 완충부(4fB)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
제3 실시형태의 제1 완충부(4fB)에서, 완충부 연결부(70B)의 형상은 삼각형 형상으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 실시형태의 완충부 연결부(70)의 형상(끝이 잘린 원추형)을 베이스로 하여, 완충 지지부(40)로 이어지는 상단부에서는 큰 삼각형을 띄고, 상단부에서 하단부를 향해 수평 단면적이 점점 감소해감에 따라 삼각형의 크기도 점점 작아져 하단부에서는 최소의 삼각형을 띈다. 제1 완충부(4fB)의 완충부 연결부(70B)는 이러한 형상, 즉, 끝이 잘린 삼각뿔 형상으로 형성되어 있다. 그 외 구성에 대해서는, 제1 실시형태와 동일하므로 동일한 부재에 대해 동일한 부호로 도시하고 설명을 생략한다.
제3 실시형태의 제1 완충부(4fB)의 경우도, 완충부 연결부(70B)의 하단부에서 상단부 앞까지의 삼각형의 외경은, 제2 완충부(4s)의 완충판형상부(50)의 둥근 구멍의 관통공(53)의 직경보다 작은 직경이다. 완충부 연결부(70B)의 상단부 앞에서 상단부까지의 삼각형의 외경은, 완충판형상부(50)의 둥근 구멍의 관통공(53)의 직경보다 큰 직경이다. 때문에, 완충부 연결부(70B)가 하단부부터 완충판형상부(50)의 관통공(53)에 삽입되면, 완충부 연결부(70B)의 상단부 부근이 관통공(53)에 의해 반경 방향 내측으로 짓눌리듯이 끼움 결합되고, 이로써 제1 완충부(4fB)와 제2 완충부(4s)가 일체로 고정된다.
그리고, 제3 실시형태의 제1 완충부(4fB)의 경우도, 완충부 연결부(70B)의 상단부 부근과 완충판형상부(50)의 둥근 구멍의 관통공(53)의 끼움 결합에 의해 제2 완충부(4s)와 일체로 고정됨으로써, 제1 실시형태의 경우의 하부 완충재(4)와 동일하게 작용하여 동일한 효과를 얻을 수 있다.
도 12a는 제4 실시형태의 하부 완충재(4C)에서, 기본적인 둥근 구멍의 관통공(53)을 갖는 완충판형상부(50)와 조합되는 제1 완충부(4fC)를 나타내는 저면도이다. 도 12b는 도 12a의 제1 완충부(4fC)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
제4 실시형태의 제1 완충부(4fC)에서, 완충부 연결부(70C)의 형상은 별 형상으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 실시형태의 완충부 연결부(70)의 형상(끝이 잘린 원추형)을 베이스로 하여, 완충 지지부(40)로 이어지는 상단부에서는 큰 별 형상을 띄고, 상단부에서 하단부를 향해 수평 단면적이 점점 감소해감에 따라 별 형상의 크기도 점점 작아져 하단부에서는 최소의 별 형상을 나타낸다. 제1 완충부(4fC)의 완충부 연결부(70C)는 이러한 형상으로 형성되어 있다. 그 외 구성에 대해서는, 제1 실시형태와 동일하므로 동일한 부재에 대해 동일한 부호로 도시하고 설명을 생략한다.
제4 실시형태의 제1 완충부(4fC)의 경우도, 완충부 연결부(70C)의 하단부에서 상단부 앞까지의 별 형상의 외경은, 제2 완충부(4s)의 완충판형상부(50)의 둥근 구멍의 관통공(53)의 직경보다 작은 직경이다. 완충부 연결부(70C)의 상단부 앞에서 상단부까지의 별 형상의 외경은, 완충판형상부(50)의 둥근 구멍의 관통공(53)의 직경보다 큰 직경이다. 때문에, 완충부 연결부(70C)가 하단부부터 완충판형상부(50)의 관통공(53)에 삽입되면, 완충부 연결부(70C)의 상단부 부근이 관통공(53)에 의해 반경 방향 내측으로 짓눌리듯이 끼움 결합되고, 이로써 제1 완충부(4fC)와 제2 완충부(4s)가 일체로 고정된다.
그리고, 제4 실시형태의 제1 완충부(4fC)의 경우도, 완충부 연결부(70C)의 상단부 부근과 완충판형상부(50)의 둥근 구멍의 관통공(53)의 끼움 결합에 의해 제2 완충부(4s)와 일체로 고정됨으로써, 제1 실시형태의 경우의 하부 완충재(4)와 동일하게 작용하여 동일한 효과를 얻을 수 있다.
도 13a는 제5 실시형태의 하부 완충재(4D)에서, 기본적인 둥근 구멍의 관통공(53)을 갖는 완충판형상부(50)와 조합되는 제1 완충부(4fD)를 나타내는 저면도이다. 도 13b는 도 13a의 제1 완충부(4fD)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다. 도 14a는 제5 실시형태의 하부 완충재(4D)에서 제1 완충부(4fD)와 제2 완충부(4sD)의 고정 상태를 나타내는, 도 7a와 같은 종단 측면도이다. 도 14b는 도 14a의 C부분의 확대도이다.
제5 실시형태의 제1 완충부(4fD)에서, 완충부 연결부(70D)의 형상은 걸림부가 구비된 끝이 잘린 원추형으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 제1 실시형태의 완충부 연결부(70)의 형상(끝이 잘린 원추형)을 베이스로 하여, 완충 지지부(40)로 이어지는 상단부에 원통 형상의 소경부(小徑部, 71)가 형성되고, 이에 따라 소경부(71)의 하단부로 이어지는 부분에 소경부(71)보다 큰 직경의 걸림부(72)가 형성되어 있다. 아울러, 소경부(71)의 외경은 완충부 연결부(70D)의 하단부의 외경보다 크고, 소경부(71)의 길이는 후술하는 완충판형상부(50)의 관통공(53D)의 길이와 대응하는 길이로 형성된다. 또한, 제5 실시형태의 경우, 완충판형상부(50)의 관통공(53D)의 직경은 완충부 연결부(70D)의 소경부(71)의 외경에 대응하는 크기로 형성된다. 그 외 구성에 대해서는, 제1 실시형태와 동일하므로 동일한 부재에 대해 동일한 부호로 도시하고 설명을 생략한다.
제5 실시형태의 제1 완충부(4fD)의 경우, 완충부 연결부(70D)가 하단부부터 완충판형상부(50)의 관통공(53D)에 삽입되면, 완충부 연결부(70D)의 걸림부(72)의 약간 아래쪽부터 걸림부(72)에 걸쳐 발포 스티롤이 짓눌리면서 관통공(53D)을 통과한다. 소경부(71)가 관통공(53D) 내에 들어가면, 걸림부(72)의 발포 스티롤이 관통공(53D)보다 큰 직경으로 확장되어 소경부(71)와 관통공(53D)이 끼움 결합되고, 이로써 제1 완충부(4fD)와 제2 완충부(4sD)가 일체로 고정된다.
그리고, 제5 실시형태의 제1 완충부(4fD)의 경우도, 완충부 연결부(70D)의 소경부(71)와 완충판형상부(50)의 둥근 구멍의 관통공(53D)의 끼움 결합에 의해 제2 완충부(4sD)와 일체로 고정됨으로써, 제1 실시형태의 경우의 하부 완충재(4)와 동일하게 작용하여 동일한 효과를 얻을 수 있다.
도 15a는 제6 실시형태의 하부 완충재(4E)에서, 기본적인 끝이 잘린 원추형의 완충부 연결부(70)와 조합되는 제2 완충부(4sE)를 나타내는 저면도이다. 도 15b는 도 15a의 제2 완충부(4sE)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
제6 실시형태의 제2 완충부(4sE)에서, 완충판형상부(50)의 관통공(53E)의 형상은 사각형 형상으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 네 변의 길이 및 이루는 각이 동일한 사각 통 형상으로 형성되어 있다. 그 외 구성에 대해서는, 제1 실시형태와 동일하므로 동일한 부재에 대해 동일한 부호로 도시하고 설명을 생략한다.
제6 실시형태의 제2 완충부(4sE)의 경우도, 완충판형상부(50)의 관통공(53E)에 내접하는 원의 직경은, 완충부 연결부(70)의 하단부에서 상단부 앞까지의 끝이 잘린 원추형의 외경보다 큰 직경이며, 완충부 연결부(70)의 상단부 앞에서 상단부까지의 끝이 잘린 원추형의 외경보다 작은 직경이다. 때문에, 완충부 연결부(70)가 하단부부터 완충판형상부(50)의 관통공(53E)에 삽입되면, 완충부 연결부(70)의 상단부 부근이 관통공(53E)에 의해 반경 방향 내측으로 짓눌리듯이 끼움 결합되고, 이로써 제1 완충부(4f)와 제2 완충부(4sE)가 일체로 고정된다.
그리고, 제6 실시형태의 제2 완충부(4sE)의 경우도, 끝이 잘린 원추형의 완충부 연결부(70)의 상단부 부근과 완충판형상부(50)의 관통공(53E)의 끼움 결합에 의해 제1 완충부(4f)와 일체로 고정됨으로써, 제1 실시형태의 경우의 하부 완충재(4)와 동일하게 작용하여 동일한 효과를 얻을 수 있다.
도 16a는 제7 실시형태의 하부 완충재(4F)에서, 기본적인 끝이 잘린 원추형의 완충부 연결부(70)와 조합되는 제2 완충부(4sF)를 나타내는 저면도이다. 도 16b는 도 16a의 제2 완충부(4sF)를 비스듬히 아래쪽에서 본 사시도이다.
제7 실시형태의 제2 완충부(4sF)에서, 완충판형상부(50)의 관통공(53F)의 형상은 삼각형 형상으로 형성되어 있다. 구체적으로는, 세 변의 길이 및 이루는 각이 동일한 삼각 통 형상으로 형성되어 있다. 그 외 구성에 대해서는, 제1 실시형태와 동일하므로 동일한 부재에 대해 동일한 부호로 도시하고 설명을 생략한다.
제7 실시형태의 제2 완충부(4sF)의 경우도, 완충판형상부(50)의 관통공(53F)에 내접하는 원의 직경은, 완충부 연결부(70)의 하단부에서 상단부 앞까지의 끝이 잘린 원추형의 외경보다 큰 직경이며, 완충부 연결부(70)의 상단부 앞에서 상단부까지의 끝이 잘린 원추형의 외경보다 작은 직경이다. 때문에, 완충부 연결부(70)가 하단부부터 완충판형상부(50)의 관통공(53F)에 삽입되면, 완충부 연결부(70)의 상단부 부근이 관통공(53F)에 의해 반경 방향 내측으로 짓눌리듯이 끼움 결합되고, 이로써 제1 완충부(4f)와 제2 완충부(4sF)가 일체로 고정된다.
그리고, 제7 실시형태의 제2 완충부(4sF)의 경우도, 끝이 잘린 원추형의 완충부 연결부(70)의 상단부 부근과 완충판형상부(50)의 관통공(53F)의 끼움 결합에 의해 제1 완충부(4f)와 일체로 고정됨으로써, 제1 실시형태의 경우의 하부 완충재(4)와 동일하게 작용하여 동일한 효과를 얻을 수 있다.
도 17a는 제8 실시형태의 하부 완충재(4G)에서 제1 완충부(4fG)와 제2 완충부(4sG)의 고정 상태를 나타내는, 도 7a와 같은 종단 측면도이다. 도 17b는 도 17a의 D부분의 확대도이다.
제8 실시형태의 제1 완충부(4fG)에서, 완충부 연결부(70G)는 기본적인 끝이 잘린 원추형의 형상을 갖는다. 제8 실시형태의 제2 완충부(4sG)에서, 완충판형상부(50G)는 기본적인 둥근 구멍의 관통공(53G)을 갖는다. 단, 제8 실시형태에서는, 완충부 연결부(70G)의 재질이 완충판형상부(50G)의 재질에 비해 더 단단하다. 예를 들어, 완충부 연결부(70G)가 기본적인 발포 스티롤 재질인 경우, 완충판형상부(50G)는 발포 스티롤보다 부드러운 재료로 만들어진다.
제8 실시형태의 제1 완충부(4fG)의 경우도, 완충부 연결부(70G)의 하단부에서 상단부 앞까지의 끝이 잘린 원추형의 외경은, 제2 완충부(4sG)의 완충판형상부(50G)의 둥근 구멍의 관통공(53G)의 직경보다 작은 직경이다. 완충부 연결부(70G)의 상단부 앞에서 상단부까지의 끝이 잘린 원추형의 외경은, 완충판형상부(50G)의 둥근 구멍의 관통공(53G)의 직경보다 큰 직경이다. 때문에, 완충부 연결부(70G)가 하단부부터 완충판형상부(50G)의 관통공(53G)에 삽입되면, 완충부 연결부(70G)의 상단부 부근에 의해 관통공(53G)이 반경 방향 외측으로 눌려 벌려지도록 하여 끼움 결합되고, 이로써 제1 완충부(4fG)와 제2 완충부(4sG)가 일체로 고정된다.
그리고, 제8 실시형태의 제1 완충부(4fG)의 경우도, 완충부 연결부(70G)의 상단부 부근과 완충판형상부(50G)의 둥근 구멍의 관통공(53G)의 끼움 결합에 의해 제2 완충부(4sG)와 일체로 고정됨으로써, 제1 실시형태의 경우의 하부 완충재(4)와 동일하게 작용하여 동일한 효과를 얻을 수 있다.
도 18a는 제9 실시형태의 하부 완충재(4H)에서 제1 완충부(4fH)와 제2 완충부(4sH)의 고정 상태를 나타내는, 도 7a와 같은 종단 측면도이다. 도 18b는 도 18a의 E부분의 확대도이다.
제9 실시형태의 제1 완충부(4fH)에서, 완충부 연결부(70H)는 도 10a, 도 10b에 나타내는 바와 같은 십자 형상, 또는 도 11a, 도 11b에 나타내는 바와 같은 삼각형 형상, 또는 도 12a, 도 12b에 나타내는 바와 같은 별 형상의 형상을 갖는다. 제9 실시형태의 제2 완충부(4sH)에서 완충판형상부(50H)는 기본적인 둥근 구멍의 관통공(53H)을 갖는다. 단, 제9 실시형태에서는, 완충부 연결부(70H)의 재질이 완충판형상부(50H)의 재질에 비해 더 단단하다. 예를 들어, 완충부 연결부(70H)가 기본적인 발포 스티롤 재질인 경우, 완충판형상부(50H)는 발포 스티롤보다 부드러운 재료로 만들어진다.
제9 실시형태의 제1 완충부(4fH)의 경우도, 완충부 연결부(70H)의 하단부에서 상단부 앞까지의 단면 형상의 외접원의 직경은, 제2 완충부(4sH)의 완충판형상부(50H)의 둥근 구멍의 관통공(53H)의 직경보다 작은 직경이다. 완충부 연결부(70H)의 상단부 앞에서 상단부까지의 단면 형상의 외접원의 직경은, 완충판형상부(50H)의 둥근 구멍의 관통공(53H)의 직경보다 큰 직경이다. 때문에, 완충부 연결부(70H)가 하단부부터 완충판형상부(50H)의 관통공(53H)에 삽입되면, 완충부 연결부(70H)의 상단부 부근에 의해 관통공(53H)이 반경 방향 외측으로 눌려 벌려지도록 하여 끼움 결합되고, 이로써 제1 완충부(4fH)와 제2 완충부(4sH)가 일체로 고정된다.
그리고, 제9 실시형태의 제1 완충부(4fH)의 경우도, 완충부 연결부(70H)의 상단부 부근과 완충판형상부(50H)의 둥근 구멍의 관통공(53H)의 끼움 결합에 의해 제2 완충부(4sH)와 일체로 고정됨으로써, 제1 실시형태의 경우의 하부 완충재(4)와 동일하게 작용하여 동일한 효과를 얻을 수 있다.
도 19는 제10 실시형태의 곤포 구조체(1J)에서, 하부 완충재(4J)의 제2 완충부(4sJ)를 나타내는 도 3b와 같은 정면도이다.
제10 실시형태의 제2 완충부(4sJ)에서, 완충다리부(60J)는 제1 실시형태의 경우의 코일 스프링(60) 대신 스펀지로 구성된다. 스펀지(60J)는 완충부 연결부(70)의 발포 스티롤보다 부드러운 재료로서, 코일 스프링(60)과 동일한 정도의 높이를 갖는다. 스펀지(60J)는 코일 스프링(60)과 마찬가지로 완충판형상부(50J)의 네 귀퉁이에 배치될 수도 있고, 완충부 연결부(70)를 둘러싸듯이 네 변에 배치될 수도 있다. 아울러, 도면에서 스펀지(60J)는 개략적으로 도시했다.
제10 실시형태의 하부 완충재(4J)의 경우도 제1 실시형태의 경우의 하부 완충재(4)와 마찬가지로, 곤포 상자(10)의 바깥쪽에서 곤포 상자(10)로 진동이 가해지는 경우, 그 진동은, 발포 스티롤 재질의 상부 완충재(30) 및 하부 완충재(4)의 완충 지지부(40)에 의해 보호된 기판 수납 용기(2)에 대해, 실질적으로 스펀지(60J)를 통해 전파된다. 스펀지(60J)는 진동을 흡수하여 감쇠시킨다. 때문에, 곤포 상자(10)에 가해지는 진동은 그대로 기판 수납 용기(2)로 전파되지 않고, 스펀지(60J)에 의해 적절히 감쇠된 다음 기판 수납 용기(2)로 전파된다. 따라서, 기판 수납 용기(2)가 받는 진동은 곤포 상자(10)에 가해지는 진동에 비해 미약해진 진동이며, 기판 수납 용기(2)에 수납된 반도체 웨이퍼로 이루어진 기판(W)에 손상을 미칠 위험을 피할 수 있다.
만일, 곤포 상자(10)가 어떤 높이에서 낙하하는 경우, 스펀지(60J)가 낙하 충격을 흡수하지 못하고 줄어들면, 발포 스티롤 재질의 완충부 연결부(70)의 하단부가 곤포 상자(10)의 바닥판(13)에 맞닿아, 완충부 연결부(70)가 낙하 충격을 흡수한다. 이 때, 완충 지지부(40)도 마찬가지로 낙하 충격을 흡수한다. 때문에, 낙하 충격은 강성체인 완충판형상부(50)를 직접 통하지 않고, 발포 스티롤 재질의 완충부 연결부(70) 및 완충 지지부(40)를 통해 기판 수납 용기(2)에 전달된다. 따라서, 기판 수납 용기(2)가 받는 충격의 크기는, 기판 수납 용기(2)에 수납된 반도체 웨이퍼로 이루어진 기판(W)에 중대한 손상을 미치지 않을 것으로 기대할 수 있는 크기이며, 결과적으로 기판(W)은 중대한 손상을 피하는 것이 가능하다.
그리고, 제10 실시형태의 하부 완충재(4J)의 경우도, 제1 실시형태의 경우의 하부 완충재(4)와 동일하게 작용하여 동일한 효과를 얻을 수 있다.
아울러, 제10 실시형태에 있어서, 예를 들어 완충부 연결부(70)를 둘러싸도록 네 변에 스펀지(60J)를 배치하는 경우, 제2 완충부(4sJ)의 완충판형상부(50J)도 완충다리부의 스펀지(60J)와 동종의 스펀지로 일체로 성형될 수 있다. 이러한 구성에 따르면, 제2 완충부(4sJ)를 저렴한 가격으로 얻을 수 있다.
본 발명은 상술한 실시형태로 한정되는 것은 아니며, 특허 청구의 범위에 기재된 기술적 범위에서 변형이 가능하다. 예를 들어, 완충다리부는 코일 스프링(60)이나 스펀지(60J)로 구성되어 있지만, 이들로 한정되지 않는다. 예를 들어 완충다리부는 공기 스프링, 겔, 고무, 탄성을 갖는 고분자 발포체 중 어느 하나로 구성될 수 있다. 여기서, 탄성을 갖는 고분자 발포체란, 경석(輕石) 등의 탄성을 가지지 않는 고분자 발포체를 포함하지 않는 것을 의미한다.
완충다리부(60)가 공기 스프링, 겔, 고무, 탄성을 갖는 고분자 발포체 중 어느 하나로 구성되는 경우, 요구되는 탄성에 따라 완충다리부를 구성하는 재료를 적절히 선택할 수 있다.
또한, 완충판형상부(50)를 강성체로 구성하는 경우, 베니어판이나 알루미늄판(금속 박판)으로 구성될 수 있다.
또한, 곤포 상자(10)는 이른바 플라스틱 골판지 상자로 구성되었으나, 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 곤포 상자는 종이 재질의 골판지나 알루미늄 프레임으로 구성될 수 있다.
또한, 기판 수납 용기는 본 실시형태의 형상, 치수의 것으로 한정되지 않는다.
1: 곤포 구조체
10: 곤포 상자
2: 기판 수납 용기
4: 하부 완충재
4f: 제1 완충부
4s: 제2 완충부
40: 완충 지지부
50: 완충판형상부
51: 상면
52: 하면
53: 관통공
60: 코일 스프링(완충다리부)
60J: 스펀지(완충다리부)
70: 완충부 연결부

Claims (7)

  1. 반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여 수송하기 위한 기판 수납 용기를 곤포하기 위한 곤포 구조체에 있어서,
    곤포 상자; 및
    상기 곤포 상자 내에서 상기 기판 수납 용기가 재치(載置)되는 하부 완충재;를 구비하고,
    상기 하부 완충재는 제1 완충부 및 제2 완충부를 가지며,
    상기 제1 완충부는 완충재로 구성되며 상기 기판 수납 용기에 직접 맞닿아 상기 기판 수납 용기를 지지하는 완충 지지부, 및 완충재로 구성되며 상기 완충 지지부에 접속되어 상기 완충 지지부로부터 아래쪽으로 연장되는 완충부 연결부를 가지며,
    상기 제2 완충부는 관통공이 형성된 완충판형상부, 및 상기 제1 완충부의 상기 완충부 연결부보다 부드러운 완충재로 구성되며 상기 완충판형상부로부터 아래쪽으로 연장되는 완충다리부를 가지며,
    상기 완충판형상부의 상기 관통공에 상기 완충부 연결부가 관통된 상태에서, 상기 완충판형상부가 상기 제1 완충부를 지지하는 곤포 구조체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2 완충부의 상기 완충다리부의 하단부는 상기 곤포 상자에 지지되며,
    상기 제1 완충부의 상기 완충부 연결부의 하단부는 상기 곤포 상자에 지지되지 않고 상기 완충다리부의 하단부보다 위쪽에 위치하여 상기 곤포 상자로부터 이격되어 있는 곤포 구조체.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 완충부의 상기 완충 지지부와 상기 완충부 연결부는 동일한 완충재로 일체로 성형되어 있는 곤포 구조체.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 완충부의 상기 완충다리부를 구성하는 완충재는 코일 스프링, 공기 스프링, 겔, 스펀지, 고무, 탄성을 갖는 고분자 발포체 중 어느 하나로 구성되는 곤포 구조체.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 완충부의 상기 완충판형상부는 각각 평탄한 상면 및 하면을 갖는 판 형상을 가지며 상기 제1 완충부의 상기 완충 지지부에 맞닿을 수 있는 강성체로서, 상기 제1 완충부의 상기 완충 지지부에 상기 기판 수납 용기가 재치되었을 때 상기 완충 지지부의 변형을 억제하여 상기 완충 지지부를 지지할 수 있을 정도의 경도를 갖는 강성체로 구성되는 곤포 구조체.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 완충부의 상기 완충다리부를 구성하는 완충재는 스펀지로 구성되며, 상기 제2 완충부의 상기 완충판형상부는 상기 완충다리부를 구성하는 스펀지와 동일한 스펀지로 구성되어, 상기 완충판형상부와 상기 완충다리부가 일체로 성형되어 있는 곤포 구조체.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 완충부의 상기 완충부 연결부는 상기 제2 완충부의 상기 완충판형상부에 접착되지 않고, 상기 완충판형상부의 상기 관통공에 끼움 결합됨으로써 상기 완충판형상부에 고정되는 곤포 구조체.
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