KR102111947B1 - 기판수납용기를 포장하기 위한 포장구조 - Google Patents

기판수납용기를 포장하기 위한 포장구조 Download PDF

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Abstract

반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여 수송하기 위한 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1)는, 포장상자(10)와, 상부 완충재(30)와, 하부 완충재(40)와, 탄성지지부재(60)를 구비한다. 상부 완충재(30)는 포장상자(10) 내에 있어서 기판수납용기(2)의 상부에 재치된다. 하부 완충재(40)에는 기판수납용기(2)가 재치된다. 하부 완충재(40)는, 상부 완충재(30)와 하부 완충재(40)에 의하여 상하방향에 있어서 기판수납용기(2)를 협지하도록 포장상자(10) 내에 배치된다. 또한 하부 완충재(40)는, 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판 및 배판 중에서 어느 것과도 접하고 있지 않아, 하부 완충재(40)와, 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판 및 배판과의 사이에는, 하부공간(104)이 형성되어 있다.

Description

기판수납용기를 포장하기 위한 포장구조{PACKING STRUCTURE FOR PACKING SUBSTRATE STORING CONTAINER}
본 발명은, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer) 등의 기판을 수납하는 기판수납용기(基板收納容器)를 포장하기 위한 포장구조체(包裝構造體)에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 용기로서는, 용기본체와 뚜껑을 구비하는 기판수납용기가 종래부터 알려져 있다. 이러한 기판수납용기가 포장상자 내에 포장되어 수송될 때에는, 포장상자 내에 수지제(樹脂製)의 완충재(緩衝材) 등이 배치된다. 그리고 이들이 포장상자 내에서 기판수납용기를 지지하여, 포장상자 외부로부터의 기판수납용기에 대한 충격이나 진동의 전달을 감소시킨다(특허문헌1을 참조).
: 일본국 공개특허 특개평7-307378호 공보
수직방향에 있어서의 진동은, 포장상자의 저판(底板) 및 측판(側板)으로부터 완충재를 통하여 전달된다. 이 때문에 종래의 완충재를 사용한 포장구조보다 기판수납용기에 대한 진동의 전달을 더 감소시키는 포장구조가 요구되고 있다.
본 발명은, 기판수납용기를 운반할 때에, 기판수납용기에 수납된 복수의 기판으로 진동이 전달되는 것을 최대한 억제할 수 있는, 기판수납용기를 포장하기 위한 포장구조체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여 수송하기 위한 기판수납용기를 포장하기 위한 포장구조체로서, 제1측판과 제2측판과 전판과 배판과 상판과 저판을 구비하는 직육면체 형상의 포장상자와, 상기 포장상자 내에 있어서 상기 기판수납용기의 상부에 재치되는 상부 완충재와, 상기 기판수납용기가 재치되는 하부 완충재로서 상기 상부 완충재와 하부 완충재에 의하여 상하방향에 있어서 상기 기판수납용기를 협지하도록 상기 포장상자 내에 배치된 하부 완충재와, 상기 포장상자 내에 배치되고 탄성변형이 가능하고 상기 포장상자의 저판에 지지되고 상기 하부 완충재를 지지하는 탄성지지부재를 구비하고, 상기 하부 완충재는, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판 중에서 어느 것과도 접하고 있지 않아, 상기 하부 완충재와, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판과의 사이에는, 하부공간이 형성되어 있는 포장구조체에 관한 것이다.
또한 상기 상부 완충재는, 상기 포장상자의 상판에 접하고 있는 것이 바람직하다. 또는 상기 상부 완충재는, 상기 포장상자의 상판에 접하고 있지 않아, 상기 상부 완충재와 상기 포장상자의 상판과의 사이에는, 상방공간이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한 상기 상부 완충재는, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판에 접하고 있는 것이 바람직하다. 또는 상기 상부 완충재는, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판 중에서 어느 쪽에도 접하고 있지 않아, 상기 상부 완충재와, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판과의 사이에는, 상부공간이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한 상기 포장상자는, 상기 저판을 구비하는 하측뚜껑과, 상기 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판으로 구성되고 상하방향으로 연장되는 축심을 갖는 4각통 모양을 구비하는 슬리브 부재와, 상기 상판을 구비하는 상측뚜껑을 구비하고, 상기 슬리브 부재의 하단부는 상기 하측뚜껑의 저판 위에 재치되고, 상기 슬리브 부재의 상단부에는 상기 상측뚜껑의 상판이 재치되는 것이 바람직하다.
또한 상기 포장상자 내에 배치되고 각각 평탄한 상면 및 하면을 갖는 판자모양을 구비하는 강성체로서, 상기 강성체의 상면은 상기 하부 완충재를 지지하고, 상기 강성체의 하면은 상기 탄성지지부재의 상단부에 접촉되어 상기 탄성지지부재에 의하여 지지되는 강성체를 구비하고, 상기 강성체는, 상기 하부 완충재에 상기 기판수납용기가 재치되었을 때에 상기 하부 완충재의 변형을 억제하여 상기 하부 완충재를 유지할 수 있을 정도의 경도를 구비하고, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판 중에서 어느 쪽에도 접하고 있지 않아, 상기 강성체와, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판과의 사이에는, 공간이 형성되고, 상기 탄성지지부재의 상단부는, 상기 강성체를 통하여 상기 하부 완충재를 간접적으로 지지하는 것이 바람직하다.
또한 상기 탄성지지부재는, 코일 스프링, 공기 스프링, 겔, 스펀지, 고무, 탄성을 구비하는 고분자 발포체 중 어느 하나로 구성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 기판수납용기를 운반할 때에, 기판수납용기에 수납된 복수의 기판으로 충격이나 진동이 전달되는 것을 최대한 억제할 수 있는, 기판수납용기를 포장하기 위한 포장구조체를 제공할 수 있다.
도1은, 본 발명의 제1실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1)를 나타내는 분해 사시도이다.
도2a는, 본 발명의 제1실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1)를 나타내는 정면도이다.
도2b는, 본 발명의 제1실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1)를 나타내는 측면도이다.
도3a는, 도2a의 A-A선을 따르는 단면도이다.
도3b는, 도2b의 B-B선을 따르는 단면도이다.
도4는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)에 의하여 포장되는 기판수납용기(2)를 나타내는 분해 사시도이다.
도5는, 본 발명의 제2실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1A)의 상부 완충재(30A)를 나타내는 사시도이다.
도6은, 본 발명의 제2실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1A)를 나타내는 단면도이다.
도7은, 본 발명의 제3실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1B)의 상부 완충재(30B)를 나타내는 사시도이다.
도8은, 본 발명의 제3실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1B)를 나타내는 단면도이다.
도9는, 본 발명의 제4실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1C)의 상부 완충재(30C)를 나타내는 사시도이다.
도10은, 본 발명의 제4실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1C)를 나타내는 단면도이다.
도11은, 본 발명의 제5실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1D)를 나타내는 정면도이다.
도12는, 도11의 C-C선을 따르는 단면도이다.
도13은, 본 발명의 제6실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1E)를 나타내는 정면도이다.
도14는, 도13의 D-D선을 따르는 단면도이다.
도15는, 본 발명의 제7실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1F)를 나타내는 단면도이다.
도16은, 본 발명의 제8실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1G)를 나타내는 사시도이다.
이하, 본 발명의 제1실시형태에 관한, 기판수납용기(基板收納容器)를 포장하기 위한 포장구조체(包裝構造體)(1)에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도1은, 본 발명의 제1실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1)를 나타내는 분해 사시도이다. 도2a는, 본 발명의 제1실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1)를 나타내는 정면도이다. 도2b는, 본 발명의 제1실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1)를 나타내는 측면도이다. 도3a는, 도2a의 A-A선을 따르는 단면도이다. 도3b는, 도2b의 B-B선을 따르는 단면도이다. 도4는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 포장구조체(1)에 의하여 포장되는 기판수납용기(2)를 나타내는 분해 사시도이다.
여기에서 설명의 편의상, 후술하는 포장상자(10)의 배판(背板)(124)에서 전판(前板)(123)을 향하는 방향(도1에 있어서 좌하측방향)을 전방향(前方向)(D11)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 후방향(後方向)(D12)이라고 정의하고, 이들을 전후방향(D1)이라고 정의한다. 또한 후술하는 저판(底板)(131)에서 상판(上板)(111)을 향하는 방향(도1에 있어서 상측방향)을 상측방향(D21)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 하측방향(D22)이라고 정의하고, 이들을 상하방향(D2)이라고 정의한다. 또한 후술하는 제2측판(122)에서 제1측판(121)을 향하는 방향(도1에 있어서 좌상측방향)을 좌측방향(D31)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 우측방향(D32)이라고 정의하고, 이들을 좌우방향(D3)이라고 정의한다.
도4에 나타내는 바와 같이 포장구조체(1)에 의하여 포장되는 기판수납용기(2)는, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer)로 이루어지는 기판(基板)(W)을 수납하여 수송하기 위한 것으로서, 용기본체(202)와 뚜껑(203)을 구비하고 있다. 또 도3a, 도3b에 있어서는, 편의상 기판수납용기(2)의 내부를 도면에 나타내는 것은 생략한다.
용기본체(202)는, 일단부(一端部)에 용기본체 개구부(容器本體 開口部)(221)가 형성되고, 타단부(他端部)가 폐쇄된 통모양의 벽부(壁部)(220)를 구비한다. 용기본체(202) 내에는 기판수납공간(227)이 형성되어 있다. 기판수납공간(227)은 벽부(220)로 둘러싸여서 형성되어 있다. 벽부(220)의 부분으로서 기판수납공간(227)을 형성하고 있는 부분에는, 기판지지 판상부(基板支持 板狀部)(205) 및 리어 리테이너(rear retainer)(도면에는 나타내지 않는다)가 배치되어 있다. 기판수납공간(227)에는 복수의 기판(W)을 수납할 수 있다.
기판지지 판상부(205)는, 기판수납공간(227) 내에 있어서 쌍을 이루도록 벽부(220)에 설치되어 있다. 기판지지 판상부(205)는, 뚜껑(203)에 의하여 용기본체 개구부(221)가 폐쇄되어 있지 않을 때에 인접하는 기판(W) 상호간을 소정의 간격으로 이간(離間)시켜서 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)의 가장자리부를 지지할 수 있다. 리어 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)는, 뚜껑(203)에 의하여 용기본체 개구부(221)가 폐쇄되어 있을 때에 복수의 기판(W)의 가장자리부의 후부(後部)를 지지할 수 있다.
뚜껑(203)은, 용기본체 개구부(221)에 대하여 착탈(着脫) 가능하여 용기본체 개구부(221)를 폐쇄할 수 있다. 뚜껑(203)에는 프론트 리테이너(front retainer)(도면에는 나타내지 않는다)가 설치되어 있다. 프론트 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)는, 뚜껑(203)의 부분으로서 뚜껑(203)에 의하여 용기본체 개구부(221)가 폐쇄되어 있을 때에 기판수납공간(227)과 대향(對向)하는 부분에 설치되어 있다. 프론트 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)는 리어 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
프론트 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)는, 뚜껑(203)에 의하여 용기본체 개구부(221)가 폐쇄되어 있을 때에 복수의 기판(W)의 가장자리부의 전부(前部)를 지지할 수 있다. 프론트 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)는, 뚜껑(203)에 의하여 용기본체 개구부(221)가 폐쇄되어 있을 때에 리어 리테이너(도면에는 나타내지 않는다)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W) 상호간을 소정의 간격으로 이간시켜서 병렬시킨 상태에서 복수의 기판(W)을 지지한다.
기판수납용기(2)에 수납되는 기판(W)(도4를 참조)은, 원반모양의 실리콘 웨이퍼(silicon wafer), 글라스 웨이퍼(glass wafer), 사파이어 웨이퍼(sapphire wafer) 등이며, 산업에 사용되는 얇은 것이다. 본 실시형태에 있어서의 기판(W)은, 지름이 300mm∼450mm인 실리콘 웨이퍼이다.
도1에 나타내는 바와 같이 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1)는, 포장상자(10)와, 상부 완충재(上部 緩衝材)(30)와, 하부 완충재(下部 緩衝材)(40)와, 강성체(剛性體)(50)와, 탄성지지부재로서의 코일 스프링(coil spring)(60)을 구비하고 있다. 포장구조체(1)는, 반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여 수송하기 위하여 기판수납용기(2)를 포장한다.
도1, 도2a 등에 나타내는 바와 같이 포장상자(10)는, 각각 소위 플라스틱 골판지 상자(골이 진 플라스틱(corrugated plastic))로 구성된 상측뚜껑(11)과, 슬리브 부재(sleeve 部材)(12)와, 하측뚜껑(13)을 구비하고 있고, 전체로서 직육면체 형상을 구비하고 있다.
상측뚜껑(11)은 상판(111)과 상측뚜껑 둘레벽(112)을 구비한다. 상판(111)은 직4각형 모양을 구비하고 있다. 상측뚜껑 둘레벽(112)은, 상판(111)의 주위에서 하측방향(D22)으로 연장되는 4매의 직4각형 모양의 판자모양을 구비하고 있고, 일단(一端)이 상판(111)에 의하여 폐쇄되고 타단(他端)이 개구되는 4각통(4角筒) 모양을 구비하고 있다.
슬리브 부재(12)는, 각각 직4각형 모양의 판자모양을 구비하는 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)으로 구성되어 있고, 상하방향으로 연장되는 축심(軸心)을 구비하고 양단에서 개구되는 4각통 모양을 구비하고 있다. 슬리브 부재(12)의 제1측판(121), 제2측판(122)에는, 각각 전후방향으로 길이가 긴 타원형상의 관통구멍(125)이 형성되어 있다. 작업자는 관통구멍(125)에 손을 집어넣어 슬리브 부재(12)를 들어올릴 수 있다.
하측뚜껑(13)은 저판(131)과 하측뚜껑 둘레벽(132)을 구비한다. 저판(131)은 직4각형 모양을 구비하고 있다. 하측뚜껑 둘레벽(132)은, 저판(131)의 주위에서 상방으로 연장되는 4매의 직4각형 모양의 판자모양을 구비하고 있고, 일단이 저판(131)에 의하여 폐쇄되고 타단이 개구되는 4각통 모양을 구비하고 있다.
슬리브 부재(12)의 상단부(上端部)의 주위가 상측뚜껑 둘레벽(112)에 의하여 둘러싸이는 위치관계로 되어, 슬리브 부재(12)의 상단부에는 상측뚜껑(11)의 상판(111)이 재치(載置)된다. 또한 슬리브 부재(12)의 하단부(下端部)의 주위가 하측뚜껑 둘레벽(132)에 의하여 둘러싸이는 위치관계로 되어, 슬리브 부재(12)의 하단부는 하측뚜껑(13)의 저판(131) 위에 재치된다. 이에 따라 상측뚜껑(11), 슬리브 부재(12) 및 하측뚜껑(13)으로 구성되는 포장상자(10)를 조립할 수 있다.
상부 완충재(30)는, 기판(W)이 수납된 기판수납용기(2)를 상부 완충재(30)에 직접 재치하더라도 소성변형(塑性變形)되지 않아 상부 완충재(30) 자체의 형상을 유지할 수 있는 경도(硬度)를 구비하고 있다. 또한 상부 완충재(30)는, 포장상자(10)에 작용하여 상부 완충재(30)를 통하여 기판수납용기(2)에 전달되는 충격의 적어도 일부를 흡수할 수 있는 유연성을 구비하는 재질로 구성되어 있다. 따라서 상부 완충재(30)는 소정의 충격보다 강한 충격을 받으면 소성변형되어 형상이 원래로 돌아가지 않게 되지만, 소정의 충격보다 약한 충격에 대해서는 흡수할 수 있고, 이러한 충격에 의해서는 거의 변형되지 않는다. 상부 완충재(30)는 강성체(50)보다 부드럽다. 본 실시형태에서는 발포 스티롤(發泡 styrol)로 구성되어 있다.
상부 완충재(30)는 대략 직육면체 형상을 구비하고 있다. 상부 완충재(30)의 상면(31)은 평탄면으로 구성되어 있다. 상부 완충재(30)의 전측(前側)의 측면(32)에 있어서는, 전방향(D11)으로 볼록부(321)가 4개 돌출되어 있다. 마찬가지로 상부 완충재(30)의 후측(後側)의 측면(33)에도 후방향(D12)으로 볼록부(331)(도3a를 참조)가 4개 돌출되어 있다.
좌우방향(D3)에 있어서 중앙 부근의 볼록부(321, 331)는 직육면체 형상을 구비하고 있다. 또한 좌우방향(D3)에 있어서 양단의 볼록부(321, 331)는, 평면에서 볼 때에 대략 직4각형 모양의 상부 완충재(30)의 4개의 모서리부를 덮는 형상을 구비하고 있다. 따라서 좌우방향(D3)에 있어서 양단의 볼록부(321, 331)는, 좌우방향(D3)에 있어서도 상부 완충재(30)의 좌우의 측면(34, 35)으로부터 돌출되어 있다.
또한 상부 완충재(30)의 좌측의 측면(34)에 있어서는, 좌측방향(D31)으로 직육면체 형상의 볼록부(341)가 돌출되어 있다. 마찬가지로 상부 완충재(30)의 우측의 측면(35)에 있어서는, 우측방향(D32)으로 직육면체 형상의 볼록부(351)가 돌출되어 있다.
또한 상부 완충재(30)의 하면에는, 하측방향(D22)으로 돌출되는 볼록모양 부분(361)이 형성되어 있다. 따라서 상부 완충재(30)의 하부는, 볼록모양 부분(361)에 대하여 상대적으로 상방으로 우묵하게 들어간 오목부(371)(도3b 등을 참조)를 구비한다. 오목부(371)는, 기판수납용기(2)의 뚜껑(203)의 상부 및 용기본체(202)의 상부와 대략 동일한 형상을 구비하고 있다. 기판수납용기(2)의 상부에 상부 완충재(30)가 재치됨으로써, 오목부(371)에는 뚜껑(203)의 상부 및 용기본체(202)의 상부가 결합된다.
상부 완충재(30)의 상면(31)은, 포장상자(10)를 구성하는 상측뚜껑(11)의 상판(111)에는 접촉하지 않고 있다. 상부 완충재(30)의 상면(31)과 포장상자(10)의 상판(111)의 사이에는, 상방공간(101)(도3b 등을 참조)이 형성되어 있다.
상부 완충재(30)는 슬리브 부재(12)의 개구보다 작은 대략 직육면체 형상을 구비하고 있다. 이에 대하여 볼록부(321, 331, 341, 351)의 돌출량은 작기 때문에, 포장상자(10) 내에 상부 완충재(30)가 배치되어 있을 때에는 볼록부(321, 331, 341, 351)는, 슬리브 부재(12)를 구성하는 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)에는 접하지 않는다. 상부 완충재(30)와, 포장상자(10)를 구성하는 슬리브 부재(12)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)과의 사이에는, 상부공간(上部空間)(102)(도3b 등을 참조)이 형성되어 있다.
하부 완충재(40)는, 기판(W)이 수납된 기판수납용기(2)를 하부 완충재(40)에 직접 재치하더라도 소성변형되지 않아 하부 완충재(40) 자체의 형상을 유지할 수 있는 경도를 구비하고 있다. 또한 하부 완충재(40)는, 포장상자(10)에 작용하여 하부 완충재(40)를 통하여 기판수납용기(2)에 전달되는 충격의 적어도 일부를 흡수할 수 있는 유연성을 구비하는 재질로 구성되어 있다. 본 실시형태에서는 상부 완충재(30)와 동일한 발포 스티롤로 구성되어 있다.
하부 완충재(40)는 대략 직육면체 형상을 구비하고 있다. 하부 완충재(40)의 하면(41)(도3b 등을 참조)은 평탄면으로 구성되어 있다. 하부 완충재(40)의 상면에는, 상측방향(D21)으로 돌출되는 볼록모양 부분(461)이 형성되어 있다. 따라서 하부 완충재(40)의 상부는, 볼록모양 부분(461)에 대하여 상대적으로 하방으로 우묵하게 들어간 오목부(471)(도3b 등을 참조)를 구비한다. 오목부(471)는 기판수납용기(2)의 용기본체(202)의 하부와 대략 동일한 형상을 구비하고 있고, 오목부(471)에는 용기본체(202)의 하부가 결합된다.
즉 하부 완충재(40)에는 기판수납용기(2)가 재치되고, 상부 완충재(30)와 하부 완충재(40)에 의하여 상하방향(D2)에 있어서 기판수납용기(2)를 협지(挾持)하도록 하여, 상부 완충재(30), 하부 완충재(40) 및 기판수납용기(2)는 포장상자(10) 내에 배치된다.
하부 완충재(40)의 전측의 측면(42)에 있어서는, 전방향(D11)으로 볼록부(421)가 4개 돌출되어 있다. 마찬가지로 하부 완충재(40)의 후측의 측면(43)에도 후방향(D12)으로 볼록부(431)(도1을 참조)가 4개 돌출되어 있다.
좌우방향(D3)에 있어서 중앙 부근의 볼록부(421, 431)는 직육면체 형상을 구비하고 있다. 또한 좌우방향(D3)에 있어서 양단의 볼록부(421, 431)는, 평면에서 볼 때에 대략 직4각형 모양의 하부 완충재(40)의 4개의 모서리부를 덮는 형상을 구비하고 있다. 따라서 좌우방향(D3)에 있어서 양단의 볼록부(421, 431)는, 좌우방향(D3)에 있어서도 하부 완충재(40)의 좌우의 측면(44, 45)으로부터 돌출되어 있다.
또한 하부 완충재(40)의 좌측의 측면(44)에 있어서는, 좌측방향(D31)으로 직육면체 형상의 볼록부(441)(도3b 등을 참조)가 돌출되어 있다. 마찬가지로 하부 완충재(40)의 우측의 측면(45)에 있어서는, 우측방향(D32)으로 직육면체 형상의 볼록부(451)가 돌출되어 있다. 좌우방향(D3)에 있어서 측면(44, 45)으로부터의 볼록부(421, 431, 441, 451)의 돌출량은, 동일한 방향에 있어서 상부 완충재(30)의 측면(34, 35)으로부터의 볼록부(321, 331, 341, 351)의 돌출량보다 크다.
도3a 등에 나타내는 바와 같이 하부 완충재(40)는, 좌우방향(D3) 및 전후방향(D1)과 평행한 위치관계에서, 강성체(50)의 상면(51)에 대하여 하부 완충재(40)의 하면(41)이 면접촉(面接觸)되도록 포장상자(10) 내에서 기판수납용기(2)의 하방에 배치된다. 하부 완충재(40)의 하면(41)은, 강성체(50)의 상면(51)에 양면 테이프(도면에는 나타내지 않는다)에 의하여 고정되어 있다.
하부 완충재(40)는, 슬리브 부재(12)의 개구보다 작고 또한 상부 완충재(30)보다 작은 대략 직육면체 형상을 구비하고 있다. 이에 대하여 볼록부(421, 431, 441, 451)의 돌출량은 그 정도로 크지 않기 때문에, 포장상자(10) 내에 하부 완충재(40)가 배치되어 있을 때에는 볼록부(421, 431, 441, 451)는, 슬리브 부재(12)를 구성하는 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)에는 접하지 않는다. 하부 완충재(40)와, 포장상자(10)를 구성하는 슬리브 부재(12)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)과의 사이에는, 하부공간(下部空間)(104)(도3b 등을 참조)이 형성되어 있다.
강성체(50)는, 하부 완충재(40)에 기판수납용기(2)가 재치되었을 때에 하부 완충재(40)의 변형을 억제하여 하부 완충재(40)를 유지할 수 있을 정도의 경도를 구비한다. 본 실시형태에서는, 강성체(50)는 골판지의 판 또는 플라스틱의 판으로 구성되어 있다. 즉 강성체(50)는, 그 자체에서 진동이나 충격을 흡수하지 않더라도 좋고, 그 자체의 형상을 유지할 수 있는 비교적 딱딱한 재질로 구성된다. 따라서 강성체(50)는 상부 완충재(30), 하부 완충재(40)의 어느 것보다 딱딱하다.
강성체(50)는, 직4각형 모양의 판자모양을 구비하고 있고, 이 직4각형 모양은, 좌우방향(D3) 및 전후방향(D1)과 평행한 면으로 절단한 슬리브 부재(12)의 단면(斷面)에 있어서의, 슬리브 부재(12)의 내면에 의하여 둘러싸이는 직4각형 모양보다 작다. 따라서 강성체(50)는, 포장상자(10)를 구성하는 슬리브 부재(12)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124) 중에서 어느 쪽에도 접하지 않는다. 전후방향(D1) 및 좌우방향(D3)에 있어서, 강성체(50)와, 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)과의 사이에는, 공간(105)(도3b 등을 참조)이 형성되어 있다.
강성체(50)는, 각각 평탄한 상면(51) 및 하면(52)을 구비하고, 상면(51) 및 하면(52)이 좌우방향(D3) 및 전후방향(D1)과 평행한 위치관계에서, 포장상자(10) 내에서 하부 완충재(40)의 하방에 배치된다. 강성체(50)의 상면(51)은, 하부 완충재(40)의 하단면(下端面)으로서의 하면(41)에 접촉되어 하부 완충재(40)를 지지한다. 또한 강성체(50)의 하면(52)은, 탄성지지부재로서의 후술하는 코일 스프링(60)의 상단부(上端部)에 접촉되어 코일 스프링(60)에 의하여 지지된다.
도3b에 나타내는 바와 같이 포장상자(10) 내에 있어서, 상하방향에 있어서의 기판수납용기(2)의 중앙부분은, 상부 완충재(30), 하부 완충재(40)의 볼록모양 부분(361, 461)을 거치지 않고, 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)과 직접 대향하는 용기중앙부(222)를 구비한다. 따라서 용기중앙부(222)와, 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)과의 사이에는, 중부공간(中部空間)(103)이 형성되어 있다. 상기의 상부공간(102)의 용적과 중부공간(103)의 용적은 서로 다르며, 중부공간(103)의 용적쪽이 상부공간(102)의 용적보다 크다. 마찬가지로 상기의 하부공간(104)의 용적과 중부공간(103)의 용적은 서로 다르며, 중부공간(103)의 용적쪽이 하부공간(104)의 용적보다 크다.
코일 스프링(60)은, 포장상자(10) 내로서 강성체(50)의 네 모서리에 배치되어 있다. 코일 스프링(60)은 강성체(50)를 상측방향(D21)으로 가압하고 있고, 코일 스프링(60)의 상단부는 강성체(50)의 하면(52)에 접촉된 상태에서 강성체(50)에 고정되어 있다. 코일 스프링(60)의 하단부는 하측뚜껑(13)의 저판(131)에 접촉된 상태에서 고정되어 있다. 이에 따라 탄성변형할 수 있는 코일 스프링(60)은 포장상자(10)의 저판(131)에 지지됨과 아울러, 코일 스프링(60)의 상단부는 강성체(50)를 통하여 하부 완충재(40)를 간접적으로 지지한다. 또 도면에 있어서 코일 스프링(60)에 대해서는, 간략화하여 도면에 나타내고 있다.
상기 구성의 제1실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
포장구조체(1)는, 반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여 수송하기 위한 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 것으로서, 제1측판(121)과, 제2측판(122)과, 전판(123)과, 배판(124)과, 상판(111)과, 저판(131)을 구비하는 직육면체 형상의 포장상자(10)와, 포장상자(10) 내에서 기판수납용기(2)의 상부에 재치되는 상부 완충재(30)와, 기판수납용기(2)가 재치되는 하부 완충재(40)로서 상부 완충재(30)와 하부 완충재(40)에 의하여 상하방향에 있어서 기판수납용기(2)를 협지하도록 포장상자(10) 내에 배치된 하부 완충재(40)와, 포장상자(10) 내에 배치되고 탄성변형이 가능하고 포장상자(10)의 저판(131)에 지지되고 하부 완충재(40)를 지지하는 탄성지지부재로서의 코일 스프링(60)을 구비한다. 그리고 하부 완충재(40)는, 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124) 중에서 어느 것과도 접하고 있지 않아, 하부 완충재(40)와, 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)과의 사이에는, 하부공간(104)이 형성되어 있다.
이 구성에 의하여, 수직방향(상하방향(D2))에 있어서의 진동이 하부 완충재(40)를 통하여 전파될 때에 진동이 포장상자(10)로부터 하부 완충재(40)의 측면으로, 전후방향(D1) 또는 좌우방향(D3)의 진동으로서 전파되지 않도록 할 수 있다. 이 때문에 기판수납용기(2)에 수납되어 있는 기판(W)으로, 수직방향에 있어서의 진동이 전후방향(D1) 또는 좌우방향(D3)의 진동으로서 전파되는 것을 최대한 억제할 수 있어, 제품으로서의 기판(W)에 대한 진동에 의하여 손상이 가해지는 것을 억제할 수 있다. 특히 전후방향(D1) 또는 좌우방향(D3)의 진동에 약한 도체 웨이퍼(導體 wafer)로 이루어지는 기판(W)인 경우에, 기판(W)에 가해지는 손상을 최대한 억제할 수 있다.
또한 하부 완충재(40)가 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)에 접하고 있는 경우에는, 포장상자(10)가 크게 상하로 흔들리는 진동이 포장상자(10)에 작용하였을 때에 기판수납용기(2) 및 하부 완충재(40)가 상방으로 튀어 오른다. 이에 따라 하부 완충재(40)보다 하측의 공간 즉 공간(105)이나 하방공간(106)에 있어서는 부압(負壓)으로 되고, 하부 완충재(40)보다 상측의 공간 즉 중부공간(103), 상부공간(102), 상방공간(101)에 있어서는 정압(正壓)으로 된다. 이 압력차이의 발생에 의하여 진동을 점점 증가시키게 된다. 그러나 이러한 진동이 작용하는 경우이더라도 하부공간(104)에서 신속하게 공기를 흐르게 할 수 있어, 압력차이의 발생을 최대한 억제할 수 있다.
또한 상부 완충재(30)는 포장상자(10)의 상판(111)에 접하고 있지 않아, 상부 완충재(30)와 포장상자(10)의 상판(111)과의 사이에는, 상방공간(101)이 형성되어 있다. 이 구성에 의하여, 수직방향(상하방향(D2))에 있어서의 진동이 상판(111)으로부터 상부 완충재(30)를 통하여 전파되는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에 기판수납용기(2)에 수납되어 있는 기판(W)으로, 수직방향에 있어서의 진동이 전파되는 것을 최대한 억제할 수 있어, 제품으로서의 기판(W)에 대한 진동에 의하여 손상이 가해지는 것을 억제할 수 있다.
또한 상부 완충재(30)는 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124) 중에서 어느 쪽에도 접하고 있지 않아, 상부 완충재(30)와, 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)과의 사이에는, 상부공간(102)이 형성되어 있다.
이 구성에 의하여, 수직방향에 있어서의 진동이 상부 완충재(30)를 통하여 전파될 때에 진동이 포장상자(10)로부터 상부 완충재(30)의 측면으로, 전후방향(D1) 또는 좌우방향(D3)의 진동으로서 전파되지 않도록 할 수 있다. 이 때문에 수직방향(상하방향(D2))에 있어서의 진동이, 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)으로부터 상부 완충재(30)를 통하여 전파되는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에 기판수납용기(2)에 수납되어 있는 기판(W)으로, 수직방향에 있어서의 진동이 전파되는 것을 최대한 억제할 수 있어, 제품으로서의 기판(W)에 대한 진동에 의하여 손상이 가해지는 것을 억제할 수 있다.
또한 상부 완충재(30)가 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)에 접하고 있는 경우에는, 포장상자(10)가 크게 상하로 흔들리는 진동이 포장상자(10)에 작용하였을 때에 기판수납용기(2) 및 상부 완충재(30)가 하방으로 가라앉는다. 이에 따라 상부 완충재(30)보다 상측의 공간 즉 상방공간(101)에 있어서는 부압으로 되고, 상부 완충재(30)보다 하측의 공간 즉 중부공간(103), 공간(105), 하방공간(106)에 있어서는 정압으로 된다. 이 압력차이의 발생에 의하여 진동을 점점 증가시키게 된다. 그러나 이러한 진동이 작용하는 경우이더라도 상부공간(102)에서 신속하게 공기를 흐르게 할 수 있어, 압력차이의 발생을 최대한 억제할 수 있다.
또한 포장상자(10)는, 저판(131)을 구비하는 하측뚜껑(13)과, 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)으로 구성되고 상하방향으로 연장되는 축심을 구비하는 4각통 모양을 구비하는 슬리브 부재(12)와, 상판(111)을 구비하는 상측뚜껑(11)을 구비하고, 슬리브 부재(12)의 하단부는 하측뚜껑(13)의 저판(131) 위에 재치되고, 슬리브 부재(12)의 상단부에는 상측뚜껑(11)의 상판(111)이 재치된다.
이 구성에 의하여, 상측뚜껑(11) 및 슬리브 부재(12)를 하측뚜껑(13)으로부터 떼어냄으로써 포장상자(10)에 포장된 기판수납용기(2)를 용이하게 포장상자(10)의 하측뚜껑(13)으로부터 꺼낼 수 있다.
또한 포장구조체(1)는, 포장상자(10) 내에 배치되고 각각 평탄한 상면(51) 및 하면(52)을 갖는 판자모양을 구비하는 강성체(50)로서, 강성체(50)의 상면(51)은 하부 완충재(40)를 지지하고, 강성체(50)의 하면(52)은 탄성지지부재로서의 코일 스프링(60)의 상단부에 접촉되어 코일 스프링(60)에 의하여 지지되는 강성체(50)를 구비한다. 그리고 강성체(50)는, 하부 완충재(40)에 기판수납용기(2)가 재치되었을 때에 하부 완충재(40)의 변형을 억제하여 하부 완충재(40)를 유지할 수 있을 정도의 경도를 구비하고, 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124) 중에서 어느 쪽에도 접하고 있지 않아, 강성체(50)와, 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)과의 사이에는, 공간(105)이 형성된다. 그리고 코일 스프링(60)의 상단부는 강성체(50)를 통하여 하부 완충재(40)를 간접적으로 지지한다.
이 구성에 의하여, 하부 완충재(40)의 변형을 억제할 수 있기 때문에 안정하게 기판수납용기(2)를 지지할 수 있다. 또한 탄성지지부재로서의 코일 스프링(60)을 4개로 하고, 코일 스프링(60)을 포장상자(10) 내로서 강성체(50)의 네 모서리에 배치한 상태에서, 코일 스프링(60)에 의하여 강성체(50)를 상측방향(D21)으로 효과적으로 가압할 수 있다.
또한 수직방향에 있어서의 진동이 포장상자(10)로부터 강성체(50)의 측면으로, 전후방향(D1) 또는 좌우방향(D3)의 진동으로서 전파되지 않도록 할 수 있다. 이 때문에 수직방향(상하방향(D2))에 있어서의 진동이, 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)으로부터 강성체(50)를 통하여 전파되는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에 기판수납용기(2)에 수납되어 있는 기판(W)으로, 수직방향에 있어서의 진동이 전파되는 것을 최대한 억제할 수 있어, 제품으로서의 기판(W)에 대한 진동에 의하여 손상이 가해지는 것을 억제할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제2실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1A)에 대하여 설명한다. 도5는, 본 발명의 제2실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1A)의 상부 완충재(30A)를 나타내는 사시도이다. 도6은, 본 발명의 제2실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1A)를 나타내는 단면도이다.
제2실시형태에서는, 상부 완충재(30A)의 형상이 제1실시형태에 있어서의 상부 완충재(30)의 형상과는 다른 점이 있기 때문에, 제1실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는 제1실시형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고 그에 대한 설명을 생략한다.
상부 완충재(30A)의 좌측의 측면(34), 우측의 측면(35)에 있어서 각각 돌출되는 볼록부(321B, 331B, 341B, 351B)의 돌출량은, 동일한 방향에 있어서 돌출되는 제1실시형태에 있어서의 볼록부(321, 331, 341, 351)의 돌출량보다 크다. 이 때문에 도6에 나타내는 바와 같이 볼록부(321B, 331B, 341B)는 포장상자(10)의 제1측판(121)에 접하고 있고, 볼록부(321B, 331B, 351B)는 포장상자(10)의 제2측판(122)에 접하고 있다.
상기 구성의 제2실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1A)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다. 상기한 바와 같이 볼록부(321B, 331B, 341B, 351B)가 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122)에 접하고 있음으로써, 상부 완충재(30A)는 포장상자(10)의 제1측판(121), 제2측판(122)에 접하고 있다. 이 때문에 제1측판(121), 제2측판(122)에 의하여 좌우방향(D3)에 있어서 상부 완충재(30A)를 지지할 수 있어, 상부 완충재(30A)가 좌우방향(D3)으로 흔들리는 것을 억제할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제3실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1B)에 대하여 설명한다. 도7은, 본 발명의 제3실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1B)의 상부 완충재(30B)를 나타내는 사시도이다. 도8은, 본 발명의 제3실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1B)를 나타내는 단면도이다.
제3실시형태에서는, 상부 완충재(30B)의 형상이 제1실시형태에 있어서의 상부 완충재(30)의 형상과는 다른 점이 있기 때문에, 제1실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는 제1실시형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고 그에 대한 설명을 생략한다.
상부 완충재(30B)의 상면(31)에는 상방돌출 볼록부(311)가 존재하고 있다. 상방돌출 볼록부(311)는, 대략 직4각형 모양의 상부 완충재(30B)의 상면(31)의 네 모서리 근방에 각각 형성되어 있으며, 상방으로 돌출되는 각각 동일한 형상의 직육면체 형상을 구비하고 있다. 이 때문에 도8에 나타내는 바와 같이 상방돌출 볼록부(311)는 포장상자(10)의 상판(111)에 접하고 있다.
상기 구성의 제3실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1B)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다. 상기한 바와 같이 상부 완충재(30B)는 포장상자(10)의 상판(111)에 접하고 있다. 이 구성에 의하여, 상부 완충재(30B), 기판수납용기(2), 하부 완충재(40) 및 강성체(50)가, 수직방향(상하방향(D2))에 있어서의 진동에 의하여 상하로 흔들리는 것을 상판(111)에 의하여 억제할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제4실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1C)에 대하여 설명한다. 도9는, 본 발명의 제4실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1C)의 상부 완충재(30C)를 나타내는 사시도이다. 도10은, 본 발명의 제4실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1C)를 나타내는 단면도이다.
제4실시형태에서는, 상부 완충재(30C)의 형상이 제2실시형태에 있어서의 상부 완충재(30A)의 형상과는 다른 점이 있기 때문에, 제2실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는 제2실시형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고 그에 대한 설명을 생략한다.
상부 완충재(30C)의 상면(31)에는 상방돌출 볼록부(311)가 존재하고 있다. 상방돌출 볼록부(311)는, 대략 직4각형 모양의 상부 완충재(30C)의 상면(31)의 네 모서리 근방에 각각 형성되어 있으며, 상방으로 돌출되는 각각 동일한 형상의 직육면체 형상을 구비하고 있다. 이 때문에 도10에 나타내는 바와 같이 상방돌출 볼록부(311)는, 포장상자(10)의 상판(111)에 접하고 있고, 또한 제2실시형태와 마찬가지로 볼록부(321B, 331B, 341B)는 포장상자(10)의 제1측판(121)에 접하고 있고, 볼록부(321B, 331B, 351B)는 포장상자(10)의 제2측판(122)에 접하고 있다.
상기 구성의 제4실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1C)에 의하면, 제1측판(121), 제2측판(122)에 의하여 좌우방향(D3)에서 상부 완충재(30C)를 지지할 수 있어, 상부 완충재(30C)가 좌우방향(D3)으로 흔들리는 것을 억제할 수 있다. 또한 상부 완충재(30C), 기판수납용기(2), 하부 완충재(40) 및 강성체(50)가, 수직방향(상하방향(D2))에 있어서의 진동에 의하여 상하로 흔들리는 것을 상판(111)에 의하여 억제할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제5실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1D)에 대하여 설명한다. 도11은, 본 발명의 제5실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1D)를 나타내는 정면도이다. 도12는, 도11의 C-C선을 따르는 단면도이다.
제5실시형태에서는, 상부 완충재(30D)의 형상이 제1실시형태에 있어서의 상부 완충재(30)의 형상과는 다른 점이 있기 때문에, 제1실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는 제1실시형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고 그에 대한 설명을 생략한다. 또 도12에 있어서는, 편의상 기판수납용기(2)의 내부를 도면에 나타내는 것은 생략한다.
도12에 나타내는 바와 같이 상부 완충재(30D)의 전후의 측면(32, 33)에 있어서 돌출되는 볼록부(321E), 볼록부(331E)의 돌출량은, 동일한 방향에 있어서 돌출되는 제1실시형태에 있어서의 볼록부(321), 볼록부(331)의 돌출량보다 크다. 이 때문에 볼록부(321E), 볼록부(331E)는 포장상자(10)의 전판(123), 배판(124)에 접하고 있다.
상기 구성의 제5실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1D)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다. 상기한 바와 같이 볼록부(321E), 볼록부(331E)가 포장상자(10)의 전판(123), 배판(124)에 각각 접하고 있음으로써 상부 완충재(30D)는 포장상자(10)의 전판(123), 배판(124)에 접하고 있다. 이 때문에 전판(123), 배판(124)에 의하여 전후방향(D1)에서 상부 완충재(30D)를 지지할 수 있어, 상부 완충재(30D)가 전후방향(D1)으로 흔들리는 것을 억제할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제6실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1E)에 대하여 설명한다. 도13은, 본 발명의 제6실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1E)를 나타내는 정면도이다. 도14은, 도13의 D-D선을 따르는 단면도이다.
제6실시형태에서는, 상부 완충재(30E)의 형상이 제5실시형태에 있어서의 상부 완충재(30D)의 형상과는 다른 점이 있기 때문에, 제5실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는 제5실시형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고 그에 대한 설명을 생략한다. 또 도14에 있어서는, 편의상 기판수납용기(2)의 내부를 도면에 나타내는 것은 생략한다.
상부 완충재(30E)의 상면(31)에는 상방돌출 볼록부(311)가 존재하고 있다. 상방돌출 볼록부(311)는, 대략 직4각형 모양의 상부 완충재(30E)의 상면(31)의 네 모서리 근방에 각각 형성되어 있으며, 상방으로 돌출되는 각각 동일한 형상의 직육면체 형상을 구비하고 있다. 이 때문에 도14에 나타내는 바와 같이 상방돌출 볼록부(311)는 포장상자(10)의 상판(111)에 접하고 있다.
상기 구성의 제6실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1E)에 의하면, 전판(123), 배판(124)에 의하여 전후방향(D1)에서 상부 완충재(30E)를 지지할 수 있어, 상부 완충재(30E)가 전후방향(D1)으로 흔들리는 것을 억제할 수 있다. 또한 상부 완충재(30E), 기판수납용기(2), 하부 완충재(40) 및 강성체(50)가, 수직방향에 있어서의 진동에 의하여 상하로 흔들리는 것을 상판(111)에 의하여 억제할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제7실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1F)에 대하여 설명한다. 도15는, 본 발명의 제7실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1F)를 나타내는 단면도이다.
제7실시형태에서는, 코일 스프링(60)을 대신하여 탄성지지부재로서 스펀지(sponge)(60F)가 사용되고 있는 점에 있어서, 제1실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는 제1실시형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고 그에 대한 설명을 생략한다.
스펀지(60F)는 직육면체 형상을 구비하고 있다. 스펀지(60F)의 상면(61F) 전체는 강성체(50)의 하면(52)에 고정되어 있고, 스펀지(60F)의 하면(62F) 전체는 저판(131)의 상면에 고정되어 있다. 도15에 나타내는 바와 같이 스펀지(60F)의 양 측면, 앞면 및 배면은, 포장상자(10)를 구성하는 슬리브 부재(12)와는 접촉되어 있지 않아, 슬리브 부재(12)의 제1측판(121), 제2측판(122), 전판(123) 및 배판(124)으로부터 이간되어 있다.
상기 구성의 제7실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1F)에 의하면, 탄성지지부재로서 스펀지(60F)가 사용되고 있기 때문에 간단한 구성의 탄성지지부재에 의하여, 강성체(50)를 통하여 하부 완충재(40)를 탄성적으로 지지할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제8실시형태에 의한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1G)에 대하여 설명한다. 도16은, 본 발명의 제8실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1G)를 나타내는 사시도이다.
제8실시형태에서는, 상측뚜껑(11), 슬리브 부재(12) 및 하측뚜껑(13)으로 구성되는 포장상자(10)를 대신하여, 소위 귤 상자 타입의 포장상자(10G)가 사용되는 점에서 제1실시형태와는 다르다. 이외의 구성에 대해서는 제1실시형태와 동일하기 때문에, 동일한 부재에 대해서는 동일한 부호로 도면에 나타내고 그에 대한 설명을 생략한다.
포장상자(10G)는, 제1측판(21)과, 제2측판(22)과, 전판(23)과, 배판(24)과, 상판(25)과, 저판(26)을 구비한다. 제1측판(21)과 제2측판(22)은 평행한 위치관계를 구비한다. 전판(23)과 배판(24)은 평행한 위치관계를 구비한다. 상판(25)과 저판(26)은 평행한 위치관계를 구비한다. 제1측판(21), 제2측판(22), 전판(23) 및 배판(24)은 각각 직4각형 모양을 구비한다. 제1측판(21), 제2측판(22), 전판(23) 및 배판(24)에 의하여, 상단 및 하단에 개구가 형성된 4각 기둥 모양의 통상체(筒狀體)(12G)가 구성된다.
상판(25)은, 각각 직4각형 모양을 구비하는 전부판(前部板)(251)과, 후부판(後部板)(252)과, 좌부판(左部板)(253)과, 우부판(右部板)(254)을 구비한다. 전부판(251)은 전판(23)의 상변(上邊)에 일체로 접속되어 있다. 후부판(252)은 배판(24)의 상변에 일체로 접속되어 있다. 좌부판(253)은 제1측판(21)의 상변에 일체로 접속되어 있다. 우부판(254)은 제2측판(22)의 상변에 일체로 접속되어 있다.
좌부판(253) 및 우부판(254)이, 제1측판(21) 및 제2측판(22)과 직교하는 위치관계(수평의 위치관계)로 되어, 통상체(12G)의 상단 개구가 부분적으로 막힌다. 그리고 그 상측으로부터 전부판(251) 및 후부판(252)이, 전판(23) 및 배판(24)과 직교하는 위치관계(수평의 위치관계)로 되어, 통상체(12G)의 상단 개구의 전체가 막힌다. 저판(26)은, 상판(25)과 동일한 구성을 구비하기 때문에 설명을 생략한다.
상기 구성의 제8실시형태에 관한, 기판수납용기(2)를 포장하기 위한 포장구조체(1G)에 의하면, 포장상자로서 소위 귤 상자 타입의 포장상자(10G)가 사용되기 때문에, 간단한 구성의 포장상자(10G)로 기판수납용기(2)를 포장할 수 있다.
본 발명은, 상기한 실시형태에 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 기재된 기술적 범위에 있어서 변형이 가능하다. 예를 들면 탄성지지부재는 코일 스프링(60)이나 스펀지(60F)로 구성되어 있었지만, 이들에 한정되지 않는다. 예를 들면 탄성지지부재는 공기 스프링, 겔, 고무, 탄성을 구비하는 고분자 발포체(高分子 發泡體) 중에서 어느 하나로 구성되더라도 좋다. 여기에서 탄성을 구비하는 고분자 발포체라는 것은, 속돌 등 탄성을 구비하지 않고 있는 고분자 발포체를 포함하지 않는 것을 의미한다.
탄성지지부재가 공기 스프링, 겔, 고무, 탄성을 구비하는 고분자 발포체 중에서 어느 하나로 구성되기 때문에, 요구되는 탄성에 따라 탄성지지부재를 구성하는 재료를 적절하게 선택할 수 있다.
또한 제2실시형태에서는, 상부 완충재(30A)에 있어서 볼록부(321B, 331B, 341B)가 포장상자(10)의 제1측판(121)에 접하고 있고, 볼록부(321B, 331B, 351B)가 포장상자(10)의 제2측판(122)에 접하고 있었다. 또한 제5실시형태에서는, 상부 완충재(30D)에 있어서 볼록부(321E)는 포장상자(10)의 전판(123)에 접하고 있고, 볼록부(331E)는 포장상자(10)의 배판(124)에 접하고 있었다. 그러나 이들의 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면 상부 완충재에 있어서, 볼록부(321B, 331B, 341B)가 포장상자(10)의 제1측판(121)에 접하고 있고, 볼록부(321B, 331B, 351B)가 포장상자(10)의 제2측판(122)에 접하고 있고, 또한 볼록부(321E)가 포장상자(10)의 전판(123)에 접하고 있고, 볼록부(331E)가 포장상자(10)의 배판(124)에 접하고 있더라도 좋다.
이러한 구성으로 함으로써 상부 완충재가 전후방향 및 좌우방향으로 흔들리는 것을 억제할 수 있다.
또한 제1실시형태에서는, 강성체(50)의 상면(51)은 하부 완충재(40)의 하단면으로서의 하면(41)에 접촉되어 하부 완충재(40)를 지지하였지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면 강성체(50)의 상면(51)과 하부 완충재(40)의 하면(41) 사이에는, 스펀지 등의 쿠션재(cushion材)가 배치되고, 쿠션재를 통하여 강성체(50)의 상면(51)은 하부 완충재(40)의 하면(41)을 지지하더라도 좋다.
또한 상부 완충재, 하부 완충재, 강성체의 재질은 본 실시형태의 각각의 재질에 한정되지 않는다. 예를 들면 강성체는, 베니어판(veneer板)이나 알루미늄의 판(금속박판(金屬薄板))으로 구성되더라도 좋다.
또한 포장상자(10, 10G)는 소위 플라스틱 골판지 상자(골이 진 플라스틱)로 구성되었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면 포장상자는 종이로 제작된 골판지나 알루미늄 프레임으로 구성되더라도 좋다.
또한 기판수납용기는 본 실시형태의 형상, 치수의 것에 한정되지 않는다.
1, 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F, 1G : 포장구조체
2 : 기판수납용기
10, 10G : 포장상자
11 : 상측뚜껑
12 : 슬리브 부재
13 : 하측뚜껑
30, 30A, 30B, 30C, 30D, 30E : 상부 완충재
40 : 하부 완충재
50 : 강성체
51 : 상면
52 : 하면
60 : 코일 스프링
60F : 스펀지
101 : 상방공간
102 : 상부공간
103 : 중부공간
104 : 하부공간
105 : 공간
106 : 하방공간
111 : 상판
121 : 제1측판
122 : 제2측판
123 : 전판
124 : 배판
131 : 저판
W : 기판

Claims (8)

  1. 반도체 웨이퍼(半導體 wafer)로 이루어지는 기판(基板)을 수납하여 수송하기 위한 기판수납용기(基板收納容器)를 포장하기 위한 포장구조체(包裝構造體)로서,
    제1측판(第1側板)과, 제2측판과, 전판(前板)과, 배판(背板)과, 상판(上板)과, 저판(底板)을 구비하는 직육면체 형상의 포장상자와,
    상기 포장상자 내에 있어서 상기 기판수납용기의 상부에 재치(載置)되는 상부 완충재(上部 緩衝材)와,
    상기 기판수납용기가 재치되는 하부 완충재(下部 緩衝材)로서, 상기 상부 완충재와 하부 완충재에 의하여 상하방향에 있어서 상기 기판수납용기를 협지(挾持)하도록 상기 포장상자 내에 배치된 하부 완충재와,
    상기 포장상자 내에 배치되고, 탄성변형이 가능하고, 상기 포장상자의 저판에 지지되고, 상기 하부 완충재를 지지하는 탄성지지부재(彈性支持部材)를
    구비하고,
    상기 하부 완충재는, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판 중에서 어느 것과도 접하고 있지 않아, 상기 하부 완충재와, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판과의 사이에는, 상기 포장상자에 진동이 작용하였을 때에 상기 포장상자로부터 상기 하부 완충재의 측면으로, 상기 배판으로부터 상기 전판으로 향하는 방향 및 그 반대의 방향인 전후방향의 진동으로서 또는 상기 제2측판으로부터 상기 제1측판을 향하는 방향 및 그 반대의 방향인 좌우방향의 진동으로서 전파되지 않도록 하는 하부공간(下部空間)이 형성되어 있는 포장구조체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부 완충재는, 상기 포장상자의 상판에 접하고 있는 포장구조체.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 상부 완충재는, 상기 포장상자의 상판에 접하고 있지 않아, 상기 상부 완충재와 상기 포장상자의 상판과의 사이에는, 상방공간(上方空間)이 형성되어 있는 포장구조체.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 상부 완충재는, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판에 접하고 있는 포장구조체.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 상부 완충재는, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판 중에서 어느 것에도 접하고 있지 않아, 상기 상부 완충재와, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판과의 사이에는, 상부공간(上部空間)이 형성되어 있는 포장구조체.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 포장상자는,
    상기 저판을 구비하는 하측뚜껑과,
    상기 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판으로 구성되고 상하방향으로 연장되는 축심(軸心)을 갖는 4각통(4角筒) 모양을 구비하는 슬리브 부재와,
    상기 상판을 구비하는 상측뚜껑을
    구비하고,
    상기 슬리브 부재의 하단부(下端部)는 상기 하측뚜껑의 저판 위에 재치(載置)되고, 상기 슬리브 부재의 상단부(上端部)에는 상기 상측뚜껑의 상판이 재치되는 포장구조체.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 포장상자 내에 배치되고 각각 평탄한 상면 및 하면을 갖는 판자모양을 구비하는 강성체(剛性體)로서, 상기 강성체의 상면은 상기 하부 완충재를 지지하고, 상기 강성체의 하면은 상기 탄성지지부재의 상단부에 접촉되어 상기 탄성지지부재에 의하여 지지되는 강성체를 구비하고,
    상기 강성체는, 상기 하부 완충재에 상기 기판수납용기가 재치되었을 때에 상기 하부 완충재의 변형을 억제하여 상기 하부 완충재를 유지할 수 있을 정도의 경도(硬度)를 구비하고, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판 중에서 어느 것에도 접하고 있지 않아, 상기 강성체와, 상기 포장상자의 제1측판, 제2측판, 전판 및 배판과의 사이에는, 공간이 형성되고,
    상기 탄성지지부재의 상단부는, 상기 강성체를 통하여 상기 하부 완충재를 간접적으로 지지하는 포장구조체.
  8. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 탄성지지부재는, 코일 스프링(coil spring), 공기 스프링(空氣 spring), 겔(gel), 스펀지(sponge), 고무, 탄성을 구비하는 고분자 발포체(高分子 發泡體) 중에서 어느 하나로 구성되는 포장구조체.
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