JPWO2015015615A1 - 基板収納容器を梱包するための梱包構造 - Google Patents

Abstract

半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するための基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０と、上部緩衝材３０と、下部緩衝材４０と、弾性支持部材６０と、を備える。上部緩衝材３０は、梱包箱１０内において基板収納容器２の上部に載置される。下部緩衝材４０には、基板収納容器２が載置される。下部緩衝材４０は、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とで上下方向において基板収納容器２を挟むように梱包箱１０内に配置される。また、下部緩衝材４０は、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板、及び、背板のいずれとも接しておらず、下部緩衝材４０と、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板、及び、背板との間には、下部空間１０４が形成されている。

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器を梱包するための梱包構造体に関する。

半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と蓋体とを備える基板収納容器が、従来より知られている。このような基板収納容器が梱包箱内に梱包されて輸送される際には、梱包箱内に樹脂製の緩衝材等が配置される。そして、これらが梱包箱内において基板収納容器を保持し、梱包箱外部からの基板収納容器への衝撃や振動の伝達を低減する（特許文献１参照）。

特開平７−３０７３７８号公報

垂直方向における振動は、梱包箱の底板及び側板から緩衝材を介して伝達する。このため、従来の緩衝材を用いた梱包構造よりも、更に、基板収納容器への振動の伝達を低減する梱包構造が要求されている。

本発明は、基板収納容器の運搬時に、基板収納容器に収納された複数の基板に、振動が伝達されることを極力抑制できる、基板収納容器を梱包するための梱包構造体を提供することを目的とする。

本発明は、半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、第１側板と、第２側板と、前板と、背板と、天板と、底板とを有する直方体形状の梱包箱と、前記梱包箱内において前記基板収納容器の上部に載置される上部緩衝材と、前記基板収納容器が載置される下部緩衝材であって、前記上部緩衝材と下部緩衝材とで上下方向において前記基板収納容器を挟むように前記梱包箱内に配置された下部緩衝材と、前記梱包箱内に配置され、弾性変形可能であり、前記梱包箱の底板に支持され、前記下部緩衝材を支持する弾性支持部材と、を備え、前記下部緩衝材は、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板のいずれとも接しておらず、前記下部緩衝材と、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板との間には、下部空間が形成されている梱包構造体に関する。

また、前記上部緩衝材は、前記梱包箱の天板に接していることが好ましい。又は、前記上部緩衝材は、前記梱包箱の天板に接しておらず、前記上部緩衝材と前記梱包箱の天板との間には、上方空間が形成されていることが好ましい。

また、前記上部緩衝材は、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板に接していることが好ましい。又は、前記上部緩衝材は、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板のいずれにも接しておらず、前記上部緩衝材と、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板との間には、上部空間が形成されていることが好ましい。

また、前記梱包箱は、前記底板を有する下蓋と、前記第１側板、第２側板、前板、及び、背板により構成され、上下方向に延びる軸心を有する四角筒状を有するスリーブ部材と、前記天板を有する上蓋と、を備え、前記スリーブ部材の下端部は、前記下蓋の底板の上に載置され、前記スリーブ部材の上端部には、前記上蓋の天板が載置されることが好ましい。

また、前記梱包箱内に配置され、それぞれ平坦な上面及び下面を有する板状を有する剛性体であって、前記剛性体の上面は、前記下部緩衝材を支持し、前記剛性体の下面は、前記弾性支持部材の上端部に当接して前記弾性支持部材により支持される剛性体を備え、前記剛性体は、前記下部緩衝材に前記基板収納容器が載置されたときに前記下部緩衝材の変形を抑えて前記下部緩衝材を支持可能な程度の硬さを有し、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板のいずれにも接しておらず、前記剛性体と、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板との間には、空間が形成され、前記弾性支持部材の上端部は、前記剛性体を介して前記下部緩衝材を間接的に支持することが好ましい。

また、前記弾性支持部材は、コイルバネ、空気バネ、ゲル、スポンジ、ゴム、弾性を有する高分子発泡体のうちのいずれかにより構成されることが好ましい。

本発明によれば、基板収納容器の運搬時に、基板収納容器に収納された複数の基板に、衝撃や振動が伝達されることを極力抑制できる、基板収納容器を梱包するための梱包構造体を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す正面図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す側面図である。 図２ＡのＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図２ＢのＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１によって梱包される基板収納容器２を示す分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａの上部緩衝材３０Ａを示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａを示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｂの上部緩衝材３０Ｂを示す斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｂを示す断面図である。 本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｃの上部緩衝材３０Ｃを示す斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｃを示す断面図である。 本発明の第５実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｄを示す正面図である。 図１１のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。 本発明の第６実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｅを示す正面図である。 図１３のＤ−Ｄ線に沿った断面図である。 本発明の第７実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｆを示す断面図である。 本発明の第８実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｇを示す斜視図である。

以下、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す分解斜視図である。図２Ａは、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す正面図である。図２Ｂは、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す側面図である。図３Ａは、図２ＡのＡ−Ａ線に沿った断面図である。図３Ｂは、図２ＢのＢ−Ｂ線に沿った断面図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１によって梱包される基板収納容器２を示す分解斜視図である。

ここで、説明の便宜上、後述の梱包箱１０の背板１２４から前板１２３へ向かう方向（図１における左下方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の底板１３１から天板１１１へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側板１２２から第１側板１２１へと向かう方向（図１における左上方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。

図４に示すように、梱包構造体１により梱包される基板収納容器２は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するためのものであり、容器本体２０２と、蓋体２０３とを有している。なお、図３Ａ、図３Ｂにおいては、便宜上、基板収納容器２の内部の図示を省略する。

容器本体２０２は、一端部に容器本体開口部２２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２２０を有する。容器本体２０２内には基板収納空間２２７が形成されている。基板収納空間２２７は、壁部２２０により取り囲まれて形成されている。壁部２２０の部分であって基板収納空間２２７を形成している部分には、基板支持板状部２０５及びリアリテーナ（図示せず）が配置されている。基板収納空間２２７には、複数の基板Ｗを収納可能である。

基板支持板状部２０５は、基板収納空間２２７内において対をなすように壁部２２０に設けられている。基板支持板状部２０５は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。リアリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

蓋体２０３は、容器本体開口部２２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２２１を閉塞可能である。蓋体２０３には、フロントリテーナ（図示せず）が設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３の部分であって蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに基板収納空間２２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、リアリテーナ（図示せず）と対をなすように配置されている。

フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、リアリテーナ（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。

基板収納容器２に収納される基板Ｗ（図４参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ〜４５０ｍｍのシリコンウェーハである。

図１に示すように、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０と、上部緩衝材３０と、下部緩衝材４０と、剛性体５０と、弾性支持部材としてのコイルバネ６０と、を備えている。梱包構造体１は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するために、基板収納容器２を梱包する。

図１、図２Ａ等に示すように、梱包箱１０は、それぞれいわゆるプラスチック段ボール箱（プラダン）により構成された上蓋１１と、スリーブ部材１２と、下蓋１３と、を備えており、全体として直方体形状を有している。

上蓋１１は、天板１１１と上蓋周壁１１２とを有する。天板１１１は、長方形状を有している。上蓋周壁１１２は、天板１１１の周囲から下方向Ｄ２２へ延出する４枚の長方形状の板状を有しており、一端が天板１１１によって閉塞され他端が開口する四角筒状を有している。

スリーブ部材１２は、それぞれ長方形状の板状を有する第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４により構成されており、上下方向に延びる軸心を有して両端において開口する四角筒状を有している。スリーブ部材１２の第１側板１２１、第２側板１２２には、それぞれ前後方向に長い長円形状の貫通孔１２５が形成されている。作業者は、貫通孔１２５に手を挿入して、スリーブ部材１２を持ち上げることが可能である。

下蓋１３は、底板１３１と下蓋周壁１３２とを有する。底板１３１は、長方形状を有している。下蓋周壁１３２は、底板１３１の周囲から上方へ延出する４枚の長方形状の板状を有しており、一端が底板１３１によって閉塞され他端が開口する四角筒状を有している。

スリーブ部材１２の上端部の周囲が上蓋周壁１１２によって取り囲まれる位置関係とされて、スリーブ部材１２の上端部には、上蓋１１の天板１１１が載置される。また、スリーブ部材１２の下端部の周囲が下蓋周壁１３２によって取り囲まれる位置関係とされて、スリーブ部材１２の下端部は、下蓋１３の底板１３１の上に載置される。これにより、上蓋１１、スリーブ部材１２、及び、下蓋１３から構成される梱包箱１０が組み立てられる。

上部緩衝材３０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を上部緩衝材３０に直接載置しても塑性変形せずに上部緩衝材３０自体の形状を保持可能な硬さを有している。また、上部緩衝材３０は、梱包箱１０に作用して上部緩衝材３０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する材質により構成されている。従って、上部緩衝材３０は、所定の衝撃よりも強い衝撃を受けると塑性変形して形状が元に戻らなくなるが、所定の衝撃よりも弱い衝撃については吸収可能であり、このような衝撃では、ほとんど変形しない。上部緩衝材３０は、剛性体５０よりも柔らかい。本実施形態では、発泡スチロールにより構成されている。

上部緩衝材３０は、略直方体形状を有している。上部緩衝材３０の上面３１は、平坦面により構成されている。上部緩衝材３０の前側の側面３２においては、前方向Ｄ１１へ凸部３２１が４つ突出している。同様に、上部緩衝材３０の後側の側面３３にも、後方向Ｄ１２へ凸部３３１（図３Ａ参照）が４つ突出している。

左右方向Ｄ３における中央付近の凸部３２１、３３１は、直方体形状を有している。また、左右方向Ｄ３における両端の凸部３２１、３３１は、平面視で略長方形状の上部緩衝材３０の４つの角部を覆う形状を有している。従って、左右方向Ｄ３における両端の凸部３２１、３３１は、左右方向Ｄ３においても、上部緩衝材３０の左右の側面３４、３５から突出している。

また、上部緩衝材３０の左側の側面３４においては、左方向Ｄ３１へ直方体形状の凸部３４１が突出している。同様に、上部緩衝材３０の右側の側面３５においては、右方向Ｄ３２へ直方体形状の凸部３５１が突出している。

また、上部緩衝材３０の下面には、下方向Ｄ２２へ突出する凸状部分３６１が設けられている。従って、上部緩衝材３０の下部は、凸状部分３６１に対して相対的に上方へ窪んだ凹部３７１（図３Ｂ等参照）を有する。凹部３７１は、基板収納容器２の蓋体２０３の上部及び容器本体２０２の上部と略同一形状を有している。基板収納容器２の上部に上部緩衝材３０が載置されることにより、凹部３７１には、蓋体２０３の上部及び容器本体２０２の上部が係合する。

上部緩衝材３０の上面３１は、梱包箱１０を構成する上蓋１１の天板１１１には当接していない。上部緩衝材３０の上面３１と梱包箱１０の天板１１１との間には、上方空間１０１（図３Ｂ等参照）が形成されている。

上部緩衝材３０は、スリーブ部材１２の開口よりも小さい略直方体形状を有している。これに対して凸部３２１、３３１、３４１、３５１の突出量は小さいため、梱包箱１０内に上部緩衝材３０が配置されているときには、凸部３２１、３３１、３４１、３５１は、スリーブ部材１２を構成する第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４には接していない。上部緩衝材３０と、梱包箱１０を構成するスリーブ部材１２の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４との間には、上部空間１０２（図３Ｂ等参照）が形成されている。

下部緩衝材４０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を下部緩衝材４０に直接載置しても塑性変形せずに下部緩衝材４０自体の形状を保持可能な硬さを有している。また、下部緩衝材４０は、梱包箱１０に作用して下部緩衝材４０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する材質により構成されている。本実施形態では、上部緩衝材３０と同一の発泡スチロールにより構成されている。

下部緩衝材４０は、略直方体形状を有している。下部緩衝材４０の下面４１（図３Ｂ等参照）は、平坦面により構成されている。下部緩衝材４０の上面には、上方向Ｄ２１へ突出する凸状部分４６１が設けられている。従って、下部緩衝材４０の上部は、凸状部分４６１に対して相対的に下方へ窪んだ凹部４７１（図３Ｂ等参照）を有する。凹部４７１は、基板収納容器２の容器本体２０２の下部と略同一形状を有しており、凹部４７１には、容器本体２０２の下部が係合する。

即ち、下部緩衝材４０には基板収納容器２が載置され、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とで上下方向Ｄ２において基板収納容器２を挟むようにして、上部緩衝材３０、下部緩衝材４０、及び、基板収納容器２は、梱包箱１０内に配置される。

下部緩衝材４０の前側の側面４２においては、前方向Ｄ１１へ凸部４２１が４つ突出している。同様に、下部緩衝材４０の後側の側面４３にも、後方向Ｄ１２へ凸部４３１（図１参照）が４つ突出している。

左右方向Ｄ３における中央付近の凸部４２１、４３１は、直方体形状を有している。また、左右方向Ｄ３における両端の凸部４２１、４３１は、平面視で略長方形状の下部緩衝材４０の４つの角部を覆う形状を有している。従って、左右方向Ｄ３における両端の凸部４２１、４３１は、左右方向Ｄ３においても、下部緩衝材４０の左右の側面４４、４５から突出している。

また、下部緩衝材４０の左側の側面４４においては、左方向Ｄ３１へ直方体形状の凸部４４１（図３Ｂ等参照）が突出している。同様に、下部緩衝材４０の右側の側面４５においては、右方向Ｄ３２へ直方体形状の凸部４５１が突出している。左右方向Ｄ３における側面４４、４５からの凸部４２１、４３１、４４１、４５１の突出量は、同方向における上部緩衝材３０の側面３４、３５からの凸部３２１、３３１、３４１、３５１の突出量よりも大きい。

図３Ａ等に示すように、下部緩衝材４０は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、剛性体５０の上面５１に対して下部緩衝材４０の下面４１が面当接するように、梱包箱１０内において基板収納容器２の下方に配置される。下部緩衝材４０の下面４１は、剛性体５０の上面５１に、両面テープ（図示せず）によって固定されている。

下部緩衝材４０は、スリーブ部材１２の開口よりも小さく、更に上部緩衝材３０よりも小さい略直方体形状を有している。これに対して凸部４２１、４３１、４４１、４５１の突出量はそれほど大きくないため、梱包箱１０内に下部緩衝材４０が配置されているときには、凸部４２１、４３１、４４１、４５１は、スリーブ部材１２を構成する第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４には接していない。下部緩衝材４０と、梱包箱１０を構成するスリーブ部材１２の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４との間には、下部空間１０４（図３Ｂ等参照）が形成されている。

剛性体５０は、下部緩衝材４０に基板収納容器２が載置されたときに下部緩衝材４０の変形を抑えて下部緩衝材４０を支持可能な程度の硬さを有する。本実施形態では、剛性体５０は、ダンボールの板又はプラスチックの板により構成されている。即ち、剛性体５０は、それ自体で振動や衝撃を吸収しなくてもよく、それ自体の形状が維持できる比較的硬い材質により構成される。従って、剛性体５０は、上部緩衝材３０、下部緩衝材４０のいずれよりも硬い。

剛性体５０は、長方形状の板状を有しており、この長方形状は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な面で切ったスリーブ部材１２の断面における、スリーブ部材１２の内面により囲まれる長方形状よりも小さい。従って、剛性体５０は、梱包箱１０を構成するスリーブ部材１２の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４のいずれにも接していない。前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３において、剛性体５０と、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４との間には、空間１０５（図３Ｂ等参照）が形成されている。

剛性体５０は、それぞれ平坦な上面５１及び下面５２を有し、上面５１及び下面５２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において下部緩衝材４０の下方に配置される。剛性体５０の上面５１は、下部緩衝材４０の下端面としての下面４１に当接して下部緩衝材４０を支持する。また、剛性体５０の下面５２は、弾性支持部材としての後述のコイルバネ６０の上端部に当接して、コイルバネ６０により支持される。

図３Ｂに示すように、梱包箱１０内において、上下方向における基板収納容器２の中央部分は、上部緩衝材３０、下部緩衝材４０の凸状部分３６１、４６１を介さずに、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４と直接対向する容器中央部２２２を有する。従って、容器中央部２２２と梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４との間には、中部空間１０３が形成されている。前述の上部空間１０２の容積と中部空間１０３の容積とは異なっており、中部空間１０３の容積の方が上部空間１０２の容積よりも大きい。同様に、前述の下部空間１０４の容積と中部空間１０３の容積とは異なっており、中部空間１０３の容積の方が下部空間１０４の容積よりも大きい。

コイルバネ６０は、梱包箱１０内であって剛性体５０の四隅に配置されている。コイルバネ６０は剛性体５０を上方向Ｄ２１へ付勢しており、コイルバネ６０の上端部は、剛性体５０の下面５２に当接した状態で剛性体５０に固定されている。コイルバネ６０の下端部は、下蓋１３の底板１３１に当接した状態で固定されている。これにより、弾性変形可能なコイルバネ６０は、梱包箱１０の底板１３１に支持されると共に、コイルバネ６０の上端部は、剛性体５０を介して下部緩衝材４０を間接的に支持する。なお、図中においてコイルバネ６０については、簡略化して図示している。

上記構成の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。

梱包構造体１は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するための基板収納容器２を梱包するためのものであり、第１側板１２１と、第２側板１２２と、前板１２３と、背板１２４と、天板１１１と、底板１３１とを有する直方体形状の梱包箱１０と、梱包箱１０内において基板収納容器２の上部に載置される上部緩衝材３０と、基板収納容器２が載置される下部緩衝材４０であって、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とで上下方向において基板収納容器２を挟むように梱包箱１０内に配置された下部緩衝材４０と、梱包箱１０内に配置され、弾性変形可能であり、梱包箱１０の底板１３１に支持され、下部緩衝材４０を支持する弾性支持部材としてのコイルバネ６０と、を備える。そして、下部緩衝材４０は、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４のいずれとも接しておらず、下部緩衝材４０と、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４との間には、下部空間１０４が形成されている。

この構成により、垂直方向（上下方向Ｄ２）における振動が下部緩衝材４０を介して伝播する際に、振動が梱包箱１０から下部緩衝材４０の側面へ、前後方向Ｄ１又は左右方向Ｄ３の振動として伝播しないようにすることができる。このため、基板収納容器２に収納されている基板Ｗへ、極力垂直方向における振動が、前後方向Ｄ１又は左右方向Ｄ３の振動として伝播することを抑えることができ、製品としての基板Ｗへの振動によるダメージを与えることを、抑えることができる。特に、前後方向Ｄ１又は左右方向Ｄ３の振動に弱い導体ウェーハからなる基板Ｗの場合に、基板Ｗに与えるダメージを極力抑えることができる。

また、下部緩衝材４０が、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４に接している場合には、梱包箱１０が大きく上下に振られる振動が梱包箱１０に作用したときに、基板収納容器２及び下部緩衝材４０が上方へ跳ね上がる。これにより、下部緩衝材４０よりも下側の空間、即ち、空間１０５や下方空間１０６においては負圧となり、下部緩衝材４０よりも上側の空間、即ち、中部空間１０３、上部空間１０２、上方空間１０１においては、正圧となる。この圧力差の発生により、振動を増長させることになる。しかし、このような振動が作用する場合であっても、下部空間１０４において、素早く空気を流すことができ、圧力差の発生を極力抑えることができる。

また、上部緩衝材３０は、梱包箱１０の天板１１１に接しておらず、上部緩衝材３０と梱包箱１０の天板１１１との間には、上方空間１０１が形成されている。この構成により、垂直方向（上下方向Ｄ２）における振動が天板１１１から上部緩衝材３０を介して伝播することを抑えることができる。このため、基板収納容器２に収納されている基板Ｗへ、極力垂直方向における振動が伝播することを抑えることができ、製品としての基板Ｗへの振動によるダメージを与えることを、抑えることができる。

また、上部緩衝材３０は、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４のいずれにも接しておらず、上部緩衝材３０と、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４との間には、上部空間１０２が形成されている。

この構成により、垂直方向における振動が上部緩衝材３０を介して伝播する際に、振動が梱包箱１０から上部緩衝材３０の側面へ、前後方向Ｄ１又は左右方向Ｄ３の振動として伝播しないようにすることができる。このため、垂直方向（上下方向Ｄ２）における振動が、第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４から、上部緩衝材３０を介して伝播することを抑えることができる。このため、基板収納容器２に収納されている基板Ｗへ、極力垂直方向における振動が伝播することを抑えることができ、製品としての基板Ｗへ振動によるダメージを与えることを、抑えることができる。

また、上部緩衝材３０が、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４に接している場合には、梱包箱１０が大きく上下に振られる振動が梱包箱１０に作用したときに、基板収納容器２及び上部緩衝材３０が下方へ沈み込む。これにより、上部緩衝材３０よりも上側の空間、即ち、上方空間１０１においては負圧となり、上部緩衝材３０よりも下側の空間、即ち、中部空間１０３、空間１０５、下方空間１０６においては、正圧となる。この圧力差の発生により、振動を増長させることになる。しかし、このような振動が作用する場合であっても、上部空間１０２において、素早く空気を流すことができ、圧力差の発生を極力抑えることができる。

また、梱包箱１０は、底板１３１を有する下蓋１３と、第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４により構成され、上下方向に延びる軸心を有する四角筒状を有するスリーブ部材１２と、天板１１１を有する上蓋１１と、を備え、スリーブ部材１２の下端部は、下蓋１３の底板１３１の上に載置され、スリーブ部材１２の上端部には、上蓋１１の天板１１１が載置される。

この構成により、上蓋１１及びスリーブ部材１２を下蓋１３から取り外すことにより、梱包箱１０に梱包された基板収納容器２を容易に、梱包箱１０の下蓋１３から取り出すことができる。

また、梱包構造体１は、梱包箱１０内に配置され、それぞれ平坦な上面５１及び下面５２を有する板状を有する剛性体５０であって、剛性体５０の上面５１は、下部緩衝材４０を支持し、剛性体５０の下面５２は、弾性支持部材としてのコイルバネ６０の上端部に当接してコイルバネ６０により支持される剛性体５０を備える。そして剛性体５０は、下部緩衝材４０に基板収納容器２が載置されたときに下部緩衝材４０の変形を抑えて下部緩衝材４０を支持可能な程度の硬さを有し、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４のいずれにも接しておらず、剛性体５０と、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４との間には、空間１０５が形成される。そして、コイルバネ６０の上端部は、剛性体５０を介して下部緩衝材４０を間接的に支持する。

この構成により、下部緩衝材４０の変形が抑えられるため、安定して基板収納容器２を支持することができる。また、弾性支持部材としてのコイルバネ６０を４本として、コイルバネ６０を、梱包箱１０内であって剛性体５０の四隅に配置した状態で、コイルバネ６０により剛性体５０を上方向Ｄ２１へ、効果的に付勢することができる。

また、垂直方向における振動が梱包箱１０から剛性体５０の側面へ、前後方向Ｄ１又は左右方向Ｄ３の振動として伝播しないようにすることができる。このため、垂直方向（上下方向Ｄ２）における振動が、第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４から、剛性体５０を介して伝播することを抑えることができる。このため、基板収納容器２に収納されている基板Ｗへ、極力垂直方向における振動が伝播することを抑えることができ、製品としての基板Ｗへ振動によるダメージを与えることを、抑えることができる。

以下、本発明の第２実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａについて説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａの上部緩衝材３０Ａを示す斜視図である。図６は、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａを示す断面図である。

第２実施形態では、上部緩衝材３０Ａの形状が第１実施形態における上部緩衝材３０の形状とは異なる点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

上部緩衝材３０Ａの左側の側面３４、右側の側面３５においてそれぞれ突出する凸部３２１Ｂ、３３１Ｂ、３４１Ｂ、３５１Ｂの突出量は、同方向において突出する第１実施形態における凸部３２１、３３１、３４１、３５１の突出量よりも大きい。このため、図６に示すように、凸部３２１Ｂ、３３１Ｂ、３４１Ｂは、梱包箱１０の第１側板１２１に接しており、凸部３２１Ｂ、３３１Ｂ、３５１Ｂは、梱包箱１０の第２側板１２２に接している。

上記構成の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａによれば、以下のような効果を得ることができる。前述のように、凸部３２１Ｂ、３３１Ｂ、３４１Ｂ、３５１Ｂが梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２に接していることにより、上部緩衝材３０Ａは、梱包箱１０の第１側板１２１、第２側板１２２に接している。このため、第１側板１２１、第２側板１２２によって、左右方向Ｄ３において上部緩衝材３０Ａを支持することができ、上部緩衝材３０Ａが左右方向Ｄ３に揺れることを抑えることができる。

以下、本発明の第３実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｂについて説明する。図７は、本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｂの上部緩衝材３０Ｂを示す斜視図である。図８は、本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｂを示す断面図である。

第３実施形態では、上部緩衝材３０Ｂの形状が第１実施形態における上部緩衝材３０の形状とは異なる点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

上部緩衝材３０Ｂの上面３１には、上方突出凸部３１１が存在している。上方突出凸部３１１は、略長方形状の上部緩衝材３０Ｂの上面３１の四隅の近傍にそれぞれ形成されており、上方へ突出するそれぞれ同一形状の直方体形状を有している。このため、図８に示すように、上方突出凸部３１１は、梱包箱１０の天板１１１に接している。

上記構成の第３実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｂによれば、以下のような効果を得ることができる。前述のように、上部緩衝材３０Ｂは、梱包箱１０の天板１１１に接している。この構成により、天板１１１によって、上部緩衝材３０Ｂ、基板収納容器２、下部緩衝材４０、及び、剛性体５０が、垂直方向（上下方向Ｄ２）における振動により上下することを、抑えることができる。

以下、本発明の第４実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｃについて説明する。図９は、本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｃの上部緩衝材３０Ｃを示す斜視図である。図１０は、本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｃを示す断面図である。

第４実施形態では、上部緩衝材３０Ｃの形状が第２実施形態における上部緩衝材３０Ａの形状とは異なる点において、第２実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第２実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

上部緩衝材３０Ｃの上面３１には、上方突出凸部３１１が存在している。上方突出凸部３１１は、略長方形状の上部緩衝材３０Ｃの上面３１の四隅の近傍にそれぞれ形成されており、上方へ突出するそれぞれ同一形状の直方体形状を有している。このため、図１０に示すように、上方突出凸部３１１は、梱包箱１０の天板１１１に接しており、且つ、第２実施形態と同様に、凸部３２１Ｂ、３３１Ｂ、３４１Ｂは、梱包箱１０の第１側板１２１に接しており、凸部３２１Ｂ、３３１Ｂ、３５１Ｂは、梱包箱１０の第２側板１２２に接している。

上記構成の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｃによれば、第１側板１２１、第２側板１２２によって、左右方向Ｄ３において上部緩衝材３０Ｃを支持することができ、上部緩衝材３０Ｃが左右方向Ｄ３に揺れることを抑えることができる。更に、天板１１１によって、上部緩衝材３０Ｃ、基板収納容器２、下部緩衝材４０、及び、剛性体５０が、垂直方向（上下方向Ｄ２）における振動により上下することを、抑えることができる。

以下、本発明の第５実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｄについて説明する。図１１は、本発明の第５実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｄを示す正面図である。図１２は、図１１のＣ−Ｃ線に沿った断面図である。

第５実施形態では、上部緩衝材３０Ｄの形状が第１実施形態における上部緩衝材３０の形状とは異なる点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。なお、図１２においては、便宜上、基板収納容器２の内部の図示を省略する。

図１２に示すように、上部緩衝材３０Ｄの前後の側面３２、３３において突出する凸部３２１Ｅ、凸部３３１Ｅの突出量は、同方向において突出する第１実施形態における凸部３２１、凸部３３１の突出量よりも大きい。このため、凸部３２１Ｅ、凸部３３１Ｅは、梱包箱１０の前板１２３、背板１２４に接している。

上記構成の第５実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｄによれば、以下のような効果を得ることができる。前述のように、凸部３２１Ｅ、凸部３３１Ｅが梱包箱１０の前板１２３、背板１２４にそれぞれ接していることにより、上部緩衝材３０Ｄは、梱包箱１０の前板１２３、背板１２４に接している。このため、前板１２３、背板１２４によって、前後方向Ｄ１において上部緩衝材３０Ｄを支持することができ、上部緩衝材３０Ｄが前後方向Ｄ１に揺れることを抑えることができる。

以下、本発明の第６実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｅについて説明する。図１３は、本発明の第６実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｅを示す正面図である。図１４は、図１３のＤ−Ｄ線に沿った断面図である。

第６実施形態では、上部緩衝材３０Ｅの形状が第５実施形態における上部緩衝材３０Ｄの形状とは異なる点において、第５実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第５実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。なお、図１４においては、便宜上、基板収納容器２の内部の図示を省略する。

上部緩衝材３０Ｅの上面３１には、上方突出凸部３１１が存在している。上方突出凸部３１１は、略長方形状の上部緩衝材３０Ｅの上面３１の四隅の近傍にそれぞれ形成されており、上方へ突出するそれぞれ同一形状の直方体形状を有している。このため、図１４に示すように、上方突出凸部３１１は、梱包箱１０の天板１１１に接している。

上記構成の第６実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｅによれば、前板１２３、背板１２４によって、前後方向Ｄ１において上部緩衝材３０Ｅを支持することができ、上部緩衝材３０Ｅが前後方向Ｄ１に揺れることを抑えることができる。更に、天板１１１によって、上部緩衝材３０Ｅ、基板収納容器２、下部緩衝材４０、及び、剛性体５０が、垂直方向における振動により上下することを、抑えることができる。

以下、本発明の第７実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｆについて説明する。図１５は、本発明の第７実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｆを示す断面図である。

第７実施形態では、コイルバネ６０に代えて、弾性支持部材としてスポンジ６０Ｆが用いられている点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

スポンジ６０Ｆは、直方体形状を有している。スポンジ６０Ｆの上面６１Ｆの全体は、剛性体５０の下面５２に固定されており、スポンジ６０Ｆの下面６２Ｆの全体は、底板１３１の上面に固定されている。図１５に示すように、スポンジ６０Ｆの両側面、前面、及び、背面は、梱包箱１０を構成するスリーブ部材１２とは接触しておらず、スリーブ部材１２の第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４から離間している。

上記構成の第７実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｆによれば、弾性支持部材としてスポンジ６０Ｆが用いられているため、簡単な構成の弾性支持部材で、剛性体５０を介して下部緩衝材４０を弾性的に支持することができる。

以下、本発明の第８実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｇについて説明する。図１６は、本発明の第８実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｇを示す斜視図である。

第８実施形態では、上蓋１１、スリーブ部材１２、及び、下蓋１３により構成される梱包箱１０に代えて、いわゆるみかん箱タイプの梱包箱１０Ｇが用いられる点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

梱包箱１０Ｇは、第１側板２１と、第２側板２２と、前板２３と、背板２４と、天板２５と、底板２６とを有する。第１側板２１と第２側板２２とは、平行の位置関係を有する。前板２３と背板２４とは平行の位置関係を有する。天板２５と底板２６とは、平行の位置関係を有する。第１側板２１、第２側板２２、前板２３、及び、背板２４は、それぞれ長方形状を有する。第１側板２１、第２側板２２、前板２３、及び、背板２４により、上端及び下端に開口が形成された四角柱状の筒状体１２Ｇが構成される。

天板２５は、それぞれ長方形状を有する前部板２５１と、後部板２５２と、左部板２５３と、右部板２５４とを備える。前部板２５１は、前板２３の上辺に一体で接続されている。後部板２５２は、背板２４の上辺に一体で接続されている。左部板２５３は、第１側板２１の上辺に一体で接続されている。右部板２５４は、第２側板２２の上辺に一体で接続されている。

左部板２５３及び右部板２５４が、第１側板２１及び第２側板２２に対して直交する位置関係（水平の位置関係）とされて、筒状体１２Ｇの上端開口が、部分的に塞がれる。そして、その上から前部板２５１及び後部板２５２が、前板２３及び背板２４に対して直交する位置関係（水平の位置関係）とされて、筒状体１２Ｇの上端開口の全体が塞がれる。底板２６は、天板２５と同様の構成を有するため、説明を省略する。

上記構成の第８実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ｇによれば、梱包箱として、いわゆるみかん箱タイプの梱包箱１０Ｇが用いられるため、簡単な構成の梱包箱１０Ｇで基板収納容器２を梱包することができる。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、弾性支持部材は、コイルバネ６０やスポンジ６０Ｆによって構成されていたが、これらに限定されない。例えば、弾性支持部材は、空気バネ、ゲル、ゴム、弾性を有する高分子発泡体のうちのいずれかに構成されてもよい。ここで、弾性を有する高分子発泡体とは、軽石等の弾性を有していない高分子発泡体を含まないことを意味する。

弾性支持部材が、空気バネ、ゲル、ゴム、弾性を有する高分子発泡体のうちのいずれかにより構成されるため、要求される弾性に応じて、弾性支持部材を構成する材料を適宜選択することができる。

また、第２実施形態では、上部緩衝材３０Ａにおいて、凸部３２１Ｂ、３３１Ｂ、３４１Ｂが梱包箱１０の第１側板１２１に接しており、凸部３２１Ｂ、３３１Ｂ、３５１Ｂが梱包箱１０の第２側板１２２に接していた。また、第５実施形態では、上部緩衝材３０Ｄにおいて、凸部３２１Ｅは、梱包箱１０の前板１２３に接しており、凸部３３１Ｅは、梱包箱１０の背板１２４に接していた。しかし、これらの構成に限定されない。例えば、上部緩衝材において、凸部３２１Ｂ、３３１Ｂ、３４１Ｂが梱包箱１０の第１側板１２１に接しており、凸部３２１Ｂ、３３１Ｂ、３５１Ｂが梱包箱１０の第２側板１２２に接しており、且つ、凸部３２１Ｅが梱包箱１０の前板１２３に接しており、凸部３３１Ｅが梱包箱１０の背板１２４に接していてもよい。

このような構成とすることにより、上部緩衝材が、前後方向及び左右方向に揺れることを抑えることができる。

また、第１実施形態では、剛性体５０の上面５１は、下部緩衝材４０の下端面としての下面４１に当接して下部緩衝材４０を支持したが、この構成に限定されない。例えば、剛性体５０の上面５１と、下部緩衝材４０の下面４１との間には、スポンジ等のクッション材が配置され、クッション材を介して剛性体５０の上面５１は、下部緩衝材４０の下面４１を支持してもよい。

また、上部緩衝材、下部緩衝材、剛性体の材質は、本実施形態のそれぞれの材質に限定されない。例えば、剛性体は、ベニヤ板やアルミの板（金属薄板）で構成されてもよい。

また、梱包箱１０、１０Ｇは、いわゆるプラスチックダンボール箱（プラダン）により構成されたが、これに限定されない。例えば、梱包箱は、紙製の段ボールやアルミフレームにより構成されてもよい。

また、基板収納容器は、本実施形態の形状、寸法のものに限定されない。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇ 梱包構造体
２ 基板収納容器
１０、１０Ｇ 梱包箱
１１ 上蓋
１２ スリーブ部材
１３ 下蓋
３０、３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ、３０Ｅ 上部緩衝材
４０ 下部緩衝材
５０ 剛性体
５１ 上面
５２ 下面
６０ コイルスプリング
６０Ｆ スポンジ
１０１ 上方空間
１０２ 上部空間
１０３ 中部空間
１０４ 下部空間
１０５ 空間
１０６ 下方空間
１１１ 天板
１２１ 第１側板
１２２ 第２側板
１２３ 前板
１２４ 背板
１３１ 底板
Ｗ 基板

Claims (8)

1. 半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、
   第１側板と、第２側板と、前板と、背板と、天板と、底板とを有する直方体形状の梱包箱と、
   前記梱包箱内において前記基板収納容器の上部に載置される上部緩衝材と、
   前記基板収納容器が載置される下部緩衝材であって、前記上部緩衝材と下部緩衝材とで上下方向において前記基板収納容器を挟むように前記梱包箱内に配置された下部緩衝材と、
   前記梱包箱内に配置され、弾性変形可能であり、前記梱包箱の底板に支持され、前記下部緩衝材を支持する弾性支持部材と、を備え、
   前記下部緩衝材は、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板のいずれとも接しておらず、前記下部緩衝材と、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板との間には、下部空間が形成されている梱包構造体。
2. 前記上部緩衝材は、前記梱包箱の天板に接している請求項１に記載の梱包構造体。
3. 前記上部緩衝材は、前記梱包箱の天板に接しておらず、前記上部緩衝材と前記梱包箱の天板との間には、上方空間が形成されている請求項１に記載の梱包構造体。
4. 前記上部緩衝材は、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板に接している請求項１〜請求項３のいずれかに記載の梱包構造体。
5. 前記上部緩衝材は、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板のいずれにも接しておらず、前記上部緩衝材と、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板との間には、上部空間が形成されている請求項１〜請求項３のいずれかに記載の梱包構造体。
6. 前記梱包箱は、前記底板を有する下蓋と、前記第１側板、第２側板、前板、及び、背板により構成され、上下方向に延びる軸心を有する四角筒状を有するスリーブ部材と、前記天板を有する上蓋と、を備え、
   前記スリーブ部材の下端部は、前記下蓋の底板の上に載置され、前記スリーブ部材の上端部には、前記上蓋の天板が載置される請求項１〜請求項５のいずれかに記載の梱包構造体。
7. 前記梱包箱内に配置され、それぞれ平坦な上面及び下面を有する板状を有する剛性体であって、前記剛性体の上面は、前記下部緩衝材を支持し、前記剛性体の下面は、前記弾性支持部材の上端部に当接して前記弾性支持部材により支持される剛性体を備え、
   前記剛性体は、前記下部緩衝材に前記基板収納容器が載置されたときに前記下部緩衝材の変形を抑えて前記下部緩衝材を支持可能な程度の硬さを有し、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板のいずれにも接しておらず、前記剛性体と、前記梱包箱の第１側板、第２側板、前板、及び、背板との間には、空間が形成され、
   前記弾性支持部材の上端部は、前記剛性体を介して前記下部緩衝材を間接的に支持する請求項１〜請求項６のいずれかに記載の梱包構造体。
8. 前記弾性支持部材は、コイルバネ、空気バネ、ゲル、スポンジ、ゴム、弾性を有する高分子発泡体のうちのいずれかにより構成される請求項１〜請求項７のいずれかに記載の梱包構造体。

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