WO2023127332A1 - 緩衝材、梱包体および梱包方法 - Google Patents

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WO2023127332A1
WO2023127332A1 PCT/JP2022/042295 JP2022042295W WO2023127332A1 WO 2023127332 A1 WO2023127332 A1 WO 2023127332A1 JP 2022042295 W JP2022042295 W JP 2022042295W WO 2023127332 A1 WO2023127332 A1 WO 2023127332A1
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WO
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cushioning material
storage containers
storage
packing case
cushioning
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PCT/JP2022/042295
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朋広 堀尾
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株式会社Sumco
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D81/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
    • B65D81/02—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage
    • B65D81/05—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage maintaining contents at spaced relation from package walls, or from other contents
    • B65D81/107—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage maintaining contents at spaced relation from package walls, or from other contents using blocks of shock-absorbing material
    • B65D81/113—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage maintaining contents at spaced relation from package walls, or from other contents using blocks of shock-absorbing material of a shape specially adapted to accommodate contents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Definitions

  • the present invention relates to a cushioning material, a package, and a packaging method used for a cushioning material for a wafer storage container.
  • Patent Document 1 describes a cushioning material used when a plurality of storage containers are packed in two layers, upper and lower, in a packing case, and is a lower cushioning material that supports the lower storage container and a space between the upper and lower storage containers.
  • a cushioning material is described that includes a middle cushioning material that is interposed in the container and an upper cushioning material that holds the upper portion of the upper storage container.
  • the cushioning material described in Patent Document 1 does not have a gap between the upper cushioning material and the inner surface of the packaging case, and the side surface of the upper cushioning material and the inner surface of the packaging case are in contact.
  • the stability of removal is impaired when removing the cushioning material by a working robot or the like.
  • An object of the present invention is to provide a cushioning material, a package, and a packaging method capable of stably taking out the cushioning material placed between a plurality of storage containers in a packaging case. aim.
  • the cushioning material according to the present invention is used when packing a plurality of storage containers capable of storing semiconductor wafers in a box-shaped packing case having a bottom plate, a side plate, and a lid.
  • a lower cushioning material for supporting the lower parts of the two rows of storage containers in the lower row, and one each between the storage container in the upper row and the storage container in the lower row in each row of the storage containers.
  • At least one of the upper cushioning material and the middle cushioning material has a recess formed in a side surface along the inner surface of the packaging case so as to be recessed in a direction away from the inner surface of the packaging case. you can
  • the predetermined gap may be 5 mm or more and 20 mm or less.
  • the cushioning material may be formed so that a predetermined inter-cushioning material gap is provided between the two upper cushioning materials.
  • the cushioning material may be formed so that a predetermined inter-cushioning material gap is provided between the two middle cushioning materials.
  • the gap between the cushioning materials may be 5 mm or more and 20 mm or less.
  • a package according to the present invention is a package having any one of the cushioning materials described above, comprising the plurality of storage containers, the packaging case, the middle cushioning material, the upper cushioning material, and side plates of the packaging case. and the cushioning material arranged so that a predetermined gap is provided between them.
  • a packing method according to the present invention is a packing method using any one of the cushioning materials described above, wherein a predetermined gap is provided between the middle cushioning material and the upper cushioning material in the packaging case and the side plates of the packaging case.
  • the storage container is packed by arranging the cushioning material so that the storage container is packed.
  • the cushioning material can be taken out stably.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a package in which a storage container and cushioning materials are arranged in a packing case
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line A1-A1 of FIG. 1
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line A2-A2 of FIG. 1
  • FIG. 5 is a plan view showing a state in which the case lid is removed from the package. It is a perspective view of a storage container. It is a top view of a storage container. It is a back view of a container lid.
  • FIG. 4 is a top perspective view of the lower cushioning material of the embodiment of the present invention; It is a lower perspective view of the lower cushioning material of embodiment of this invention.
  • FIG. 4 is a plan view of the lower cushioning material of the embodiment of the present invention; It is a bottom view of the lower cushioning material of embodiment of this invention.
  • FIG. 8 is a view along arrow A3 in FIG. 7 (a front view of the lower cushioning material).
  • FIG. 8 is a view along arrow A4 in FIG. 7 (a side view of the lower cushioning material).
  • FIG. 10 is a cross-sectional view along A5-A5 in FIG. 9;
  • FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line A6-A6 of FIG. 9; It is a lower perspective view of the upper cushioning material of embodiment of this invention.
  • FIG. 4 is an upper perspective view of the upper cushioning material of the embodiment of the present invention; It is a top view of an upper cushioning material.
  • FIG. 14 is a view along arrow A7 in FIG. 13 (a front view of the upper cushioning material); FIG. 14 is a view along arrow A8 in FIG. 13 (a side view of the upper cushioning material).
  • 15B is a cross-sectional view taken along line A9-A9 of FIG. 15A; FIG. 15B is a cross-sectional view taken along line A10-A10 of FIG. 15A;
  • It is an upper perspective view of the middle part shock absorbing material of embodiment of this invention. It is a lower perspective view of the middle cushioning material of the embodiment of the present invention. It is a top view of a middle part cushioning material. It is a bottom view of a middle part cushioning material.
  • FIG. 19 is a view along arrow A11 in FIG. 18 (a front view of the central cushioning material).
  • FIG. 19 is a view along arrow A12 of FIG. 18 (a side view of the central cushioning material).
  • FIG. 20B is a cross-sectional view taken along line A13-A13 of FIG. 20A;
  • FIG. 20B is a cross-sectional view along A14-A14 of FIG. 20A;
  • the cushioning material of the present invention is arranged between a plurality of storage containers and a packing case when the plurality of storage containers capable of accommodating semiconductor wafers are packed in the packing case.
  • the package includes a plurality of storage containers, a packing case, and a cushioning material arranged between the plurality of storage containers and the packing case.
  • the packing case 200 has a rectangular parallelepiped housing space, and is a case for packing a plurality of (12 in this embodiment) housing containers 80 together with the cushioning material 100 .
  • the number of storage containers 80 to be packed is not limited to twelve.
  • the packing case 200 is provided with a case body 201 having a rectangular parallelepiped shape, which in FIG. It is box-shaped.
  • the case main body 201 is composed of four side plates 203 that are connected to each other to form a rectangular tube shape, and a bottom plate 202 that closes the bottom.
  • the packing case 200 can be made of a material that can withstand transportation by a truck or the like, such as cardboard, plastic, metal such as aluminum, or wood.
  • the storage containers 80 are arranged so that three storage containers 80 are arranged in two rows in the horizontal (lateral) direction and two rows in the vertical direction. , and a total of 12 storage containers 80 are arranged.
  • the number of storage containers 80 in a row of storage containers 80 is not limited to this, and for example, two rows of two storage containers 80 may be arranged in two rows and two tiers vertically.
  • the cushioning material 100 includes a lower cushioning material 1 that supports the lower parts of the two rows of storage containers 80 in the lower row, and an upper cushioning material 1 in each row of the storage containers 80.
  • the middle cushioning material 3 is interposed between the row of the storage containers 80 and the row of the storage containers 80 in the lower row, and the storage container is arranged in each row of the two rows of the storage containers 80 in the upper row. and an upper cushioning material 5 that holds the upper part of 80 .
  • the cushioning material 100 further comprises a vibration absorbing material 9 arranged between the lower cushioning material 1 and the bottom plate 202 of the packaging case 200 . That is, the package 10 has 12 storage containers 80 , two upper cushioning materials 5 , two middle cushioning materials 3 , and a lower cushioning material 1 arranged in a packaging case 200 .
  • the storage container 80 is a container for storing the semiconductor wafers W, and is, for example, a FOSB (Front Opening Shipping Box). As shown in FIG. 5, the storage container 80 has a container body 81 with an open top and a container lid 82 that closes the top of the container body 81 .
  • the container body 81 includes a pair of first wall portions 83 facing each other, a pair of second wall portions 84 facing each other and forming side surfaces of the container body 81 together with the pair of first wall portions 83, and It is integrally provided with a bottom portion 85 that closes the bottom.
  • the container main body 81 is formed so that the upper opening has a rectangular shape.
  • the container main body 81 has a plurality of leg portions 86 provided on the bottom portion 85, one at each of the four corners in this embodiment.
  • the leg portion 86 is a leg projecting downward from the bottom portion 85 .
  • the container body 81 of the storage container 80 is provided with a comb-shaped wafer storage portion 87 in which storage grooves are formed for storing a plurality of semiconductor wafers W at intervals.
  • the wafer housing portion 87 is composed of a side housing portion 87A that contacts the outer edge side portion of the semiconductor wafer W, and a bottom portion housing portion 87B that is provided inside the bottom portion 85 and contacts the outer edge bottom portion of the semiconductor wafer W.
  • 87 A of side part storage parts are provided in each 1 row inside the 2nd wall part 84 which opposes.
  • Two bottom storage portions 87B are provided directly above the bottom portion 85 .
  • the two side housing portions 87A are arranged parallel to each other in the groove arrangement direction, that is, the direction perpendicular to the plane of FIG.
  • the container lid 82 is a plate-like member having a rectangular planar shape, and as shown in FIGS. has 91.
  • the lock portion 89 is a member that fixes the container lid 82 to the container body 81, and has lock rods 89A and 89B and a latch mechanism 89C as shown in FIG. 6A.
  • the lock bars 89A, 89B are members provided along the opposite sides of the container lid 82, and are movable in directions D1, D2 in FIG. 6A.
  • the cam mechanism can operate the lock rod 89A in the D1 direction and the lock rod 89B in the D2 direction.
  • the tips of the lock rods 89A and 89B are engaged with the recess 81A of the container body 81, and the container lid 82 is fixed to the container body 81.
  • the locking rods 89A and 89B are pulled back into the container lid 82 by returning the latch mechanism 89C to the original position, and the container main body 81 is released. be.
  • the holding portion 91 is a vertically long comb-shaped member provided on the back side of the container lid 82 and provided between the lock portions 89 .
  • the holding portion 91 moves the semiconductor wafer W in the axial direction or rotates the semiconductor wafer W in the radial direction by inserting the upper peripheral edge of the semiconductor wafer W accommodated in the container body 81 between the teeth of the comb and bringing it into contact. are regulated, and the semiconductor wafers W are held so as not to come into contact with each other.
  • the comb-like shape of the side storage portion 87A and the bottom storage portion 87B of the wafer storage portion 87 is similar to the comb-like shape of the holding portion 91 as in a general wafer storage container.
  • the holding part 91 is arranged parallel to the arrangement direction (vertical direction) of the semiconductor wafers W in the central part of the container lid 82 so as to be parallel to one of the sides forming the rectangle of the container lid 82 . is provided.
  • the container body 81 is provided with an option mounting hole (not shown) for mounting the option 92 (see FIG. 5) to the storage container 80 .
  • An option 92 can be attached to the option attachment hole of the storage container 80 .
  • the option 92 to be attached can be selected from various shapes, and the type of the storage container 80 can be determined by the shape of the option 92 .
  • FIG. 7 is an upper perspective view of the lower cushioning material 1
  • FIG. 8 is a lower perspective view of the lower cushioning material 1.
  • FIG. 9 is a plan view of the lower cushioning material 1
  • FIG. 10 is a bottom view of the lower cushioning material 1.
  • FIG. 11A is a view along arrow A3 in FIG. 7 (a front view of the lower cushioning material 1)
  • FIG. 11B is a view along arrow A4 in FIG. 7 (a side view of the lower cushioning material 1).
  • 12A is a cross-sectional view along A5-A5 in FIG. 10
  • FIG. 12B is a cross-sectional view along A6-A6 in FIG.
  • the lower cushioning material 1 is a cushioning material that supports the lower part of the storage container 80 in the row of the storage containers 80 in the lower stage. As shown in FIG. 7 and the like, the lower cushioning material 1 has a rectangular shape. The lower cushioning material 1 is formed so as to cover substantially the entire surface of the bottom plate 202 of the packing case 200 . As shown in FIG. 7, the lower cushioning material 1 has six lower storage sections 11 formed as recesses between the outer peripheral portion of the lower cushioning material 1 and the ribs that divide the lower cushioning material 1 into two vertical rows and one horizontal row. The lower portion of the storage container 80 is stored in each lower storage portion 11 .
  • the lower cushioning material 1 is formed so that there is no gap between it and the inner surface of the side plate 203 of the packing case 200 .
  • the lower cushioning material 1 is formed so as not to move horizontally when placed on the bottom plate 202 of the packing case 200 via the vibration absorbing material 9 .
  • the lower cushioning material 1 has four side surfaces that are in surface contact with the inner surfaces of the side plates 203 of the packing case 200, that is, a total of four side surfaces 12 and 13, that is, the front and rear side surfaces 12 and the left and right side surfaces 13 shown in FIG.
  • the front and rear side surfaces 12 in FIG. 7 are side surfaces along the direction D3 in which the rows of storage containers 80 extend
  • the left and right side surfaces 13 are side surfaces perpendicular to the side surfaces 12 .
  • the side surfaces 12, 13 of the lower cushioning material 1 are provided with a plurality of recesses 14, 15 as required. That is, the entire side surfaces 12 and 13 of the lower cushioning material 1 need not be in surface contact with the inner surface of the packing case 200 .
  • three recesses 14 are formed in the side surface 12 and two recesses 15 are formed in the side surface 13 .
  • the positions of the recesses 14 and 15 correspond to the central position of the lower storage part 11 .
  • the lower storage portion 11 is a portion shaped to fit the lower portion of the storage container 80 .
  • the lower housing portion 11 has a lower facing surface 16 , a lower opening 17 , two sets of lower first ribs 18 and two sets of lower second ribs 19 .
  • the lower opening 17 is a rectangular hole formed in the bottom surface of the lower cushioning material 1 , that is, the lower facing surface 16 in the center of the lower storage portion 11 .
  • the lower first rib 18 and the lower second rib 19 laterally support the four side surfaces (the first wall portion 83 and the second wall portion 84) of the container, and the container accommodated in the lower container portion 11. It is a protrusion that positions the container 80 in the horizontal direction and restricts the movement of the storage container 80 .
  • the lower first ribs 18 and the lower second ribs 19 support the sides of the storage container 80 from opposite directions, and the two lower second ribs 19 support the sides of the container 80 in opposite directions. It is arranged to support a side different from the side supported by the lower first rib 18 from the direction.
  • the two lower first ribs 18 that constitute one set of lower first ribs 18 are spaced apart at a predetermined distance in the direction along the side surface of the storage container 80 .
  • the lower first rib 18 has a tapered surface 18A that supports the side surface of the storage container 80. As shown in FIG.
  • the tapered surface 18A is formed so that when the storage container 80 is accommodated in the lower storage portion 11, the upper portion of the tapered surface 18A is separated from the side surface of the container main body 81, and the lower portion of the tapered surface 18A is in contact with the side surface of the container main body 81. Inclined.
  • the two lower second ribs 19 constituting one set of lower second ribs 19 are spaced apart at a predetermined interval in a direction along a side surface of the storage container 80 different from the side surface supported by the lower first ribs 18. are placed. These lower second ribs 19 restrict movement of the storage container 80 in the D3 direction.
  • the option 92 (see FIG. 5) is stored in the lower storage section 11 when the storage container 80 with the option 92 (see FIG. 5) is stored.
  • a concave portion 20 is formed.
  • a recess 20 is formed between a pair of lower second ribs 19 that are spaced apart from each other.
  • the recess 20 is a recessed portion formed in the lower facing surface 16 of the lower housing portion 11 .
  • FIG. 13 is a bottom perspective view of the upper cushioning material 5, and FIG. 14 is a top perspective view of the top cushioning material 5.
  • FIG. 15A is a plan view of the upper cushioning material 5, and FIG. 15B is a bottom view of the upper cushioning material 5.
  • FIG. 16A is a view along arrow A7 in FIG. 13 (a front view of the upper cushioning material 5), and FIG. 16B is a view along arrow A8 in FIG. 13 (a side view of the upper cushioning material 5).
  • 17A is a cross-sectional view along A9-A9 in FIG. 15A
  • FIG. 17B is a cross-sectional view along A10-A10 in FIG. 15A.
  • the upper cushioning material 5 is a cushioning material that holds the upper part of the storage container 80 in the upper row of storage containers 80 . As shown in FIGS. 13, 14, 15A and 15B, the upper cushioning material 5 has a rectangular shape. As shown in FIG. 4 , the upper cushioning materials 5 are used in pairs in the package 10 , and each upper cushioning material 5 is formed to cover approximately half of the opening of the packaging case 200 .
  • the upper cushioning material 5 has three upper storage portions 51.
  • Each upper storage portion 51 holds a container lid 82 of a storage container 80 .
  • the upper storage portion 51 has an upper facing surface 56 and an upper opening 57 .
  • the upper cushioning material 5 has four sides, that is, a total of four sides 52 and 53, that is, the front and rear sides 52 and the left and right sides 53 shown in FIG. Of the four side surfaces 52 and 53, the side surface 52 is a side surface along the direction D3 in which the row of storage containers 80 extends, and the side surface 53 is a side surface perpendicular to the side surface 52. As shown in FIG. As shown in FIGS.
  • two upper cushioning materials 5 are housed side by side in the case body 201 of the package 10, and the outer peripheral surfaces of these two upper cushioning materials 5 as a whole, that is, , a gap G1 is formed between the three side surfaces 52 and 53 facing the inner surface of the case body 201 and the inner surface of the case body 201, respectively.
  • the case body 201 and the upper cushioning material 5 are formed so that the dimension of the gap G1 is 5 mm or more and 20 mm or less.
  • the upper cushioning material 5 is formed so that the inter-cushioning material gap G2 is provided between the adjacent upper cushioning materials 5 in the package 10 .
  • the upper cushioning material 5 is formed so that the dimension of the inter-cushioning material gap G2 is 5 mm or more and 20 mm or less.
  • Side surfaces 52 and 53 of the upper cushioning material 5 are provided with a plurality of recesses 54 and 55 formed so as to be recessed in a direction away from the inner surface of the packaging case 200 in the package 10 as required. That is, the side surface of the upper cushioning material 5 may not be flat.
  • three recesses 54 are formed in the side surface 52 and one recess 55 is formed in the side surface 53 .
  • the positions of the concave portions 54 and 55 correspond to the central position of the upper storage portion 51 .
  • the upper opening 57 is a rectangular hole that is formed in the upper surface of the upper cushioning material 5 , that is, the upper facing surface 56 in the center of the upper storage part 51 , and penetrates between the upper surface and the lower surface of the upper cushioning material 5 . be.
  • the upper opening 57 has four main surfaces 57A extending in the vertical direction and finger hooks 57B formed at the lower ends of the main surfaces 57A.
  • the finger hooking portion 57B is an inclined surface formed by obliquely cutting the corners of the ridge line between the main surface 57A of the upper opening 57 and the upper facing surface 56 .
  • the finger hooking portion 57B does not have to be an inclined surface as described above. Any shape can be used as long as it can be inserted. For example, it may have a stepped shape that is recessed with respect to the main surface 57A. Further, the finger hooking portion 57B does not need to be formed over the entire length of the ridgeline between the main surface 57A and the upper facing surface 56, and may be formed on a part of the ridgeline.
  • FIG. 18 is an upper perspective view of the middle cushioning material 3, and FIG. 19 is a lower perspective view of the middle cushioning material 3.
  • FIG. 20A is a plan view of the middle cushioning material 3, and FIG. 20B is a bottom view of the middle cushioning material 3.
  • FIG. 21A is a view along arrow A11 in FIG. 18 (a front view of the middle cushioning material 3), and FIG. 21B is a view along arrow A12 in FIG. 18 (a side view of the middle cushioning material 3).
  • 22A is an A13-A13 cross-sectional view of the middle cushioning material 3, and FIG. 22B is an A14-A14 cross-sectional view of the middle cushioning material 3.
  • FIG. 20A is a plan view of the middle cushioning material 3
  • FIG. 20B is a bottom view of the middle cushioning material 3.
  • FIG. 21A is a view along arrow A11 in FIG. 18 (a front view of the middle cushioning material 3)
  • FIG. 21B is a view along
  • the middle cushioning material 3 is a cushioning material that holds the upper portion of the storage container 80 in the lower row of storage containers 80 and supports the lower portion of the storage container 80 in the upper row of storage containers 80 . As shown in FIGS. 18, 19, 20A and 20B, the middle cushioning material 3 has a rectangular shape. Like the upper cushioning material 5, the middle cushioning material 3 is used in pairs in the package 10. As shown in FIG.
  • the upper surface of the middle cushioning material 3 (the surface facing upward in the package 10) has three middle body storage portions similar to the lower storage portions 11 of the lower cushioning material 1. 31 are formed.
  • a middle lid storage portion 41 similar to the upper storage portion 51 of the upper cushioning material 5 is provided on the lower surface of the middle cushioning material 3 (the surface facing downward in the package 10). formed.
  • the middle cushioning material 3 has four sides, that is, the front and rear sides 32 and the left and right sides 33 in FIG. Of the four side surfaces 32 and 33, the side surface 32 is a side surface along the direction D3 in which the row of storage containers 80 extends, and the side surface 33 is a side surface perpendicular to the side surface 32. As shown in FIG. Like the upper cushioning material 5, two middle cushioning materials 3 are stored side by side in the case body 201 in the package 10, and the outer peripheral surface of these two middle cushioning materials 3 as a whole, that is, the case body 201 A gap G1 is provided between the three side surfaces 32 and 33 facing the inner surface of the case main body 201 and the inner surface of the case main body 201 .
  • the case body 201 and the middle cushioning material 3 are formed so that the dimension of the gap G1 is 5 mm or more and 20 mm or less. Further, similarly to the upper cushioning material 5, the middle cushioning material 3 is formed so that the cushioning material gap G2 is provided between the adjacent middle cushioning materials 3 in the package 10. As shown in FIG. The middle cushioning material 3 is formed so that the dimension of the inter-cushioning material gap G2 is 5 mm or more and 20 mm or less.
  • the side surfaces 32 and 33 of the central cushioning material 3 are provided with a plurality of recesses 34 and 35 formed so as to be recessed in a direction away from the inner surface of the packaging case 200 in the package 10 as required. That is, the side surface of the middle cushioning material 3 may not be flat.
  • three recesses 34 are formed in the side surface 32 and one recess 35 is formed in the side surface 33 .
  • the positions of the recesses 34 and 35 correspond to the central positions of the middle main body housing portion 31 and the middle lid housing portion 41 .
  • the middle main body storage portion 31 has a middle main body facing surface 36 , a middle opening 37 , two sets of middle first ribs 38 , two sets of middle second ribs 39 and recesses 40 .
  • the central first rib 38 has a tapered surface 38A having the same shape and function as the tapered surface 18A of the lower cushioning material 1 .
  • the middle first rib 38 has the same shape and function as the lower first rib 18 of the lower cushioning material 1
  • the middle second rib 39 has the same shape and function as the lower second rib 19 of the lower cushioning material 1.
  • the recess 40 has the same shape and function as the recess 20 of the lower cushioning material 1 .
  • the middle lid housing part 41 has a middle lid facing surface 42 as shown in FIG. 19 .
  • the middle opening 37 has a finger hook 37B formed at the lower end of the main surface 37A.
  • the finger hooking portion 37B has the same shape and function as the finger hooking portion 37B of the upper cushioning material 5 .
  • the vibration absorbing material 9 is a member that absorbs vibrations generated when the storage container 80 is packed, and includes plate members 9A and 9B and an elastic body 9C.
  • the plate members 9A and 9B are rectangular plate members having substantially the same shape as the bottom plate 202 of the packing case 200 .
  • the plate 9B is first placed on the bottom plate 202 of the packing case 200, and the plate 9A is placed on the plate 9B via the elastic body 9C.
  • the plate members 9A and 9B are made of plastic plates, for example.
  • the elastic body 9C is a member that absorbs vibration by elastically deforming with respect to vibration, and is provided so as to be sandwiched between the plate members 9A and 9B.
  • the elastic body 9C is made of, for example, polyurethane, synthetic rubber, or polyethylene.
  • the lower cushioning material 1 supports the lower part of the two rows of storage containers 80 in a state in which the vibration absorption material 9 is arranged in the packaging case 200, and the storage container In each row of 80, one intermediate cushioning material 3 is interposed between the upper storage container 80 and the lower storage container 80, and one upper cushioning material 5 is inserted in each row of the two upper storage containers 80.
  • the cushioning materials 100 are arranged so that they are arranged one by one.
  • the middle cushioning material 3 and the upper cushioning material 5 are arranged so that a predetermined gap is provided between them and the side plate 203 of the packing case 200 .
  • the middle cushioning material 3 and the upper cushioning material 5 are formed such that a predetermined gap G1 is provided between them and the side plate 203 of the packing case 200 .
  • the case lid 204 of the packing case 200 when removing or attaching the cushioning material 100 (the upper cushioning material 5 and the middle cushioning material 3) by a working robot or the like, the work can be stably performed. be able to.
  • the lower cushioning material 1 is formed so that there is no gap between the lower cushioning material 1 and the side plate 203 of the packaging case 200, the lower cushioning material 1 that supports the storage container 80 from below in the packaging case 200 can move horizontally. can be inhibited from moving to
  • the finger hooks 57B, 37B are formed in the upper opening 57 of the upper cushioning material 5 and the middle opening 37 of the middle cushioning material 3, when the operator removes the top cushioning material 5 or the middle cushioning material, In addition, the cushioning material can be easily taken out by putting a finger inside the opening.
  • recesses 54 and 55 are formed in the side surfaces 52 and 53 of the upper cushioning material 5
  • recesses 34 and 35 are formed in the side surfaces 32 and 33 of the middle cushioning material 3, so that the upper cushioning material 5 or the middle cushioning material 3 contacts the inner surface of the packing case 200 to reduce the contact area.
  • the contact resistance when the upper cushioning material 5 or the middle cushioning material 3 contacts the packing case 200 is reduced, and the stability when taking out the cushioning material can be improved.
  • ribs 18 and 19 are provided in the lower storage portion 11 of the lower cushioning material 1, and ribs 38 and 39 are provided in the central main body storage portion 31 of the middle cushioning material 3, and these ribs come into contact with the side surface of the storage container 80. By doing so, it is possible to suppress shaking of the storage container 80 that occurs during transportation.
  • the option 92 It is possible to prevent the packaging bag for the semiconductor storage case from being damaged due to contact between the cushioning material 100 and the cushioning material 100 .
  • the cushioning material 100 is made of a foam having an expansion ratio of 20 times or more and 40 times or less. Therefore, it is possible to achieve both hardness to withstand external impacts and softness to absorb impacts.
  • the cushioning material 100 is made of foamed polyurethane, foamed polyethylene, foamed polypropylene, or foamed polystyrene. Therefore, the cushioning material 100 can be easily made into a foam with an expansion ratio of 20 times or more and 40 times or less.

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Abstract

複数の収納容器（８０）を、底板（２０２）と側板（２０３）と蓋体（２０４）とを有する箱型の梱包ケース（２００）に梱包する際に、収納容器（８０）と梱包ケース（２００）の間に配置される緩衝材（１００）であって、収納容器（８０）は、複数個の収納容器（８０）が並ぶ列が２列かつ上下に２段にわたって配置され、下段の２列の収納容器（８０）の列の下部を支持する下部緩衝材（１）と、上段の収納容器（８０）と下段の収納容器（８０）との間に介装される中部緩衝材（３）と、上段の２列の収納容器（８０）の各列に配置されて収納容器（８０）の上部を保持する上部緩衝材（５）と、を備え、下部緩衝材（１）は梱包ケース（２００）の側板（２０３）との間に隙間がないように形成され、中部緩衝材（３）および上部緩衝材（５）は梱包ケース（２００）の側板（２０３）との間に所定の隙間が設けられるように形成されている緩衝材（１００）を提供する。

Description

緩衝材、梱包体および梱包方法
　本発明は、ウェーハ収納容器用緩衝材などに用いられる緩衝材、梱包体および梱包方法に関する。
　半導体ウェーハを輸送する場合、複数の半導体ウェーハを収納した収納容器を複数用意し、これらの複数の収納容器を梱包ケース内に梱包した後、梱包ケースを搬送装置で輸送することが一般的である。
　輸送の際には、梱包ケースが搬送装置から落下するなどして、衝撃力等の外力が収納容器に作用することがある。そのため、外力によって半導体ウェーハが変形・損傷しない構造が必要である。このような構造としては、収納容器と梱包ケースの間に緩衝材を設けた構造がある。
　特許文献１には、梱包ケースに複数の収納容器を上下２段で梱包する際に使用される緩衝材であって、下段の収納容器を支持する下部緩衝材と、上下段の収納容器の間に介装される中部緩衝材と、上段の収納容器の上部を保持する上部緩衝材とを備える緩衝材が記載されている。
特開２０１８－１０７２１６号公報
　ところで、特許文献１に記載の緩衝材は、上部緩衝材と梱包ケースの内面との間に隙間が設けられておらず、上部緩衝材の側面と梱包ケースの内面とが接触しているため、例えば、梱包ケースの蓋を取り外した後、作業用ロボットなどにより緩衝材を取り外す際に取り出しの安定性が損なわれるという課題がある。
　本発明は、梱包ケース内において、複数の収納容器間に配置された緩衝材を取り出す際に、緩衝材の取り出しを安定的に行うことができる緩衝材、梱包体および梱包方法を提供することを目的とする。
　本発明に係る緩衝材は、半導体ウェーハを収納可能な複数の収納容器を、底板と側板と蓋体とを有する箱型の梱包ケースに梱包する際に、前記複数の収納容器と前記梱包ケースの間に配置される緩衝材であって、前記収納容器は、複数個の前記収納容器が並ぶ列が２列かつ上下に２段にわたって配置され、これらの２列かつ２段の前記収納容器を緩衝収納するため、下段の２列の前記収納容器の列の下部を支持する下部緩衝材と、前記収納容器の各列において上段の前記収納容器と下段の前記収納容器との間に１つずつ介装される中部緩衝材と、前記上段の２列の収納容器の各列において１つずつ配置されて前記収納容器の上部を保持する上部緩衝材と、を備え、前記下部緩衝材は、前記梱包ケースの側板との間に隙間がないように形成され、前記中部緩衝材および前記上部緩衝材は、前記梱包ケースの側板との間に所定の隙間が設けられるように形成されていることを特徴とする。
　上記緩衝材において、前記上部緩衝材と前記中部緩衝材の少なくとも一方は、前記梱包ケースの内面に沿う側面に、前記梱包ケースの内面から離隔する方向に凹むように形成されている凹部が形成されてよい。
　上記緩衝材において、前記所定の隙間は、５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってよい。
　上記緩衝材において、前記２つの上部緩衝材間に所定の緩衝材間隙間が設けられるように形成されてよい。
　上記緩衝材において、前記２つの中部緩衝材間に所定の緩衝材間隙間が設けられるように形成されてよい。
　上記緩衝材において、前記緩衝材間隙間は、５ｍｍ以上２０ｍｍ以下であってよい。
　本発明に係る梱包体は、上記いずれかの緩衝材を有する梱包体であって、前記複数の収納容器と、前記梱包ケースと、前記中部緩衝材および前記上部緩衝材と前記梱包ケースの側板との間に所定の隙間が設けられるように配置される前記緩衝材と、を有することを特徴とする。
　本発明に係る梱包方法は、上記いずれかの緩衝材を用いた梱包方法であって、前記梱包ケース内に前記中部緩衝材および前記上部緩衝材と前記梱包ケースの側板との間に所定の隙間が設けられるように前記緩衝材を配置して前記収納容器を梱包することを特徴とする。
　本発明によれば、中部緩衝材および上部緩衝材が梱包ケースの側板との間に所定の隙間が設けられていることによって、緩衝材の取り出しを安定的に行うことができる。
梱包ケース内に収納容器、緩衝材が配置された梱包体を示す斜視図である。 図１のＡ１－Ａ１断面図である。 図１のＡ２－Ａ２断面図である。 梱包体において、ケース蓋体を外した状態を示す平面図である。 収納容器の斜視図である。 収納容器の上面図である。 容器蓋体の裏面図である。 本発明の実施形態の下部緩衝材の上方斜視図である。 本発明の実施形態の下部緩衝材の下方斜視図である。 本発明の実施形態の下部緩衝材の平面図である。 本発明の実施形態の下部緩衝材の底面図である。 図７のＡ３矢視図（下部緩衝材の正面図）である。 図７のＡ４矢視図（下部緩衝材の側面図）である。 図９のＡ５－Ａ５断面図である。 図９のＡ６－Ａ６断面図である。 本発明の実施形態の上部緩衝材の下方斜視図である。 本発明の実施形態の上部緩衝材の上方斜視図である。 上部緩衝材の平面図である。 上部緩衝材の底面図である。 図１３のＡ７矢視図（上部緩衝材の正面図）である。 図１３のＡ８矢視図（上部緩衝材の側面図）である。 図１５ＡのＡ９－Ａ９断面図である。 図１５ＡのＡ１０－Ａ１０断面図である。 本発明の実施形態の中部緩衝材の上方斜視図である。 本発明の実施形態の中部緩衝材の下方斜視図である。 中部緩衝材の平面図である。 中部緩衝材の底面図である。 図１８のＡ１１矢視図（中部緩衝材の正面図）である。 図１８のＡ１２矢視図（中部緩衝材の側面図）である。 図２０ＡのＡ１３－Ａ１３断面図である。 図２０ＡのＡ１４－Ａ１４断面図である。
　以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
　本発明の緩衝材は、半導体ウェーハを収納可能な複数の収納容器を梱包ケースに梱包する際に、複数の収納容器と梱包ケースとの間に配置されるものである。梱包体は、複数の収納容器と、梱包ケースと、複数の収納容器と梱包ケースの間に配置される緩衝材と、を有する。
　まず、複数の収納容器が梱包される梱包ケースについて説明する。図１に示されるように、梱包ケース２００は、直方体形状の収容空間を有し、緩衝材１００とともに複数、本実施形態では１２個の収納容器８０を梱包するケースである。梱包される収納容器８０の数は１２個に限ることはない。
　梱包ケース２００は、直方体の一面、図１では上面を開放した形状のケース本体２０１と、ケース本体２０１の上面を塞ぐケース蓋体２０４とを備え、ケース本体２０１とケース蓋体２０４とで全体として箱型をなしている。ケース本体２０１は、互いに接続されて四角筒状をなす４つの側板２０３と、底部を塞ぐ底板２０２とによって構成されている。梱包ケース２００は、トラックなどによる搬送に耐えうる材料、例えば段ボール、プラスチック、アルミニウムなどの金属、または木材によって形成することができる。
　次に、緩衝材１００および収納容器８０の配置について説明する。
　図１から図３に示されるように、梱包ケース２００内において、収納容器８０は、本実施形態では、３個の収納容器８０が並ぶ列が水平（横）方向に２列かつ上下に２段にわたって配置され、合計１２個の収納容器８０が配置されている。収納容器８０の列における収納容器８０の数はこれに限ることはなく、例えば、２個の収納容器８０が並ぶ列が２列かつ上下に２段にわたって配置されてもよい。
　緩衝材１００は、これらの２列かつ２段の収納容器８０を緩衝収納するため、下段の２列の収納容器８０の下部を支持する下部緩衝材１と、収納容器８０の各列において上段の収納容器８０の列と下段の収納容器８０の列との間に１つずつ介装される中部緩衝材３と、上段の２列の収納容器８０の各列において１つずつ配置されて収納容器８０の上部を保持する上部緩衝材５と、を備えている。
　緩衝材１００は、さらに、下部緩衝材１と梱包ケース２００の底板２０２との間に配置される振動吸収材９を備える。
　すなわち、梱包体１０は、梱包ケース２００内に１２個の収納容器８０、２つの上部緩衝材５、２つの中部緩衝材３、および下部緩衝材１が配置されたものである。
　次に、収納容器８０について説明する。収納容器８０は、半導体ウェーハＷを収納する容器であり、例えばＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）である。図５に示されるように、収納容器８０は、上方が開放された容器本体８１と、容器本体８１の上方を塞ぐ容器蓋体８２とを有する。
　容器本体８１は、互いに対向する一対の第一壁部８３と、互いに対向し、一対の第一壁部８３とともに容器本体８１の側面を形成する一対の第二壁部８４と、容器本体８１の下方を塞ぐ底部８５とを一体に備えている。容器本体８１は、上方の開口が矩形状となるように形成されている。
　容器本体８１は、底部８５に複数、本実施形態では４隅に１つずつ設けられた脚部８６を備えている。脚部８６は、底部８５から下方に突出する脚である。
　図２に示されるように、収納容器８０の容器本体８１内には、複数の半導体ウェーハＷを間隔を空けて収納するための収納溝が形成された、櫛型のウェーハ収納部８７が設けられている。
　ウェーハ収納部８７は、半導体ウェーハＷの外縁側部と接触する側部収納部８７Ａと、底部８５の内側に設けられて半導体ウェーハＷの外縁底部と接触する底部収納部８７Ｂから構成されている。
　側部収納部８７Ａは、対向する第二壁部８４の内側にそれぞれ１列ずつ設けられている。底部収納部８７Ｂは、底部８５の直上に２つ設けられている。２つの側部収納部８７Ａは、各第二壁部８４において、溝の配列方向、すなわち、図２の紙面直交方向に互いに平行に配置されている。
　容器蓋体８２は、平面形状が矩形の板状部材であり、図５、図６Ａ、および図６Ｂに示されるように、表面側の一対のロック部８９と、裏面（内面）側の保持部９１を有する。
　ロック部８９は、容器蓋体８２を容器本体８１に固定する部材であり、図６Ａに示されるように、ロック棒８９Ａ、８９Ｂとラッチ機構８９Ｃを有する。
　ロック棒８９Ａ、８９Ｂは容器蓋体８２の対向する辺に沿って設けられた部材であり、図６ＡのＤ１、Ｄ２の向きに移動可能である。
　ラッチ機構８９Ｃを回転動作させることによって、カム機構により、ロック棒８９ＡをＤ１方向に動作させ、かつ、ロック棒８９ＢをＤ２方向に動作させることができる。これにより、ロック棒８９Ａ、８９Ｂの先端が容器本体８１の凹部８１Ａに係合し、容器蓋体８２が容器本体８１に固定される。容器蓋体８２を容器本体８１に固定した状態で、ラッチ機構８９Ｃの位置を元に戻すことで、ロック棒８９Ａ、８９Ｂが容器蓋体８２の内側に引き戻され、容器本体８１の固定が解除される。
　図６Ｂに示されるように、保持部９１は、容器蓋体８２の裏面側に設けられた縦長の櫛形の部材であり、ロック部８９の間に設けられる。保持部９１は、容器本体８１内に収容された半導体ウェーハＷの上部周縁を、櫛の歯の間に挿入して当接させることにより、半導体ウェーハＷの軸方向の移動あるいは径方向の回動を規制し、半導体ウェーハＷが互いに接触しないように保持する。
　なお、ウェーハ収納部８７の側部収納部８７Ａおよび底部収納部８７Ｂの櫛型形状は、一般的なウェーハ収納容器と同様に、保持部９１の櫛形の形状と類似形状である。
　図６Ｂでは、保持部９１は容器蓋体８２の矩形を構成する辺の１つに平行になるように、容器蓋体８２の中央部に、半導体ウェーハＷの配列方向（縦方向）に平行に設けられている。
　容器本体８１には、収納容器８０にオプション９２（図５参照）を取り付けるためのオプション取付孔（図示せず）が設けられている。収納容器８０のオプション取付孔には、オプション９２を装着することができる。装着されるオプション９２は、様々な形状のものから選択することができ、オプション９２の形状により収納容器８０の種類などを判別することができる。
　次に、緩衝材１００を構成する下部緩衝材１の構造を説明する。
　図７は、下部緩衝材１の上方斜視図であり、図８は、下部緩衝材１の下方斜視図である。図９は、下部緩衝材１の平面図であり、図１０は、下部緩衝材１の底面図である。図１１Ａは、図７のＡ３矢視図（下部緩衝材１の正面図）であり、図１１Ｂは、図７のＡ４矢視図（下部緩衝材１の側面図）である。図１２Ａは、図１０のＡ５－Ａ５断面図であり、図１２Ｂは、図１０のＡ６－Ａ６断面図である。
　下部緩衝材１は、下段の収納容器８０の列において、収納容器８０の下部を支持する緩衝材である。
　図７などに示されるように、下部緩衝材１は矩形状をなしている。下部緩衝材１は、梱包ケース２００の底板２０２のほぼ全面を覆うように形成されている。下部緩衝材１は、図７において、下部緩衝材１の外周部ならびに縦２列および横１列に区切るリブ間に凹部として形成された６つの下部収納部１１を有している。各々の下部収納部１１には収納容器８０の下部が収納される。
　図２、図３に示されるように、下部緩衝材１は、梱包ケース２００の側板２０３の内面との間に隙間がないように形成されている。換言すれば、下部緩衝材１は、振動吸収材９を介して梱包ケース２００の底板２０２上に配置された際に、水平方向に移動できないように形成されている。
　下部緩衝材１は、梱包ケース２００の側板２０３の内面に面接触する４つの側面、すなわち、図７の前後の側面１２と左右の側面１３との合計４つの側面１２，１３を有する。ここで、図７の前後の側面１２とは、収納容器８０の列の延びる方向Ｄ３に沿う側面であり、左右の側面１３とは、側面１２と直交する側面である。
　下部緩衝材１の側面１２，１３には、必要に応じて、複数の凹部１４，１５が設けられている。すなわち、下部緩衝材１の側面１２，１３の全面が梱包ケース２００の内面に面接触している必要はない。本実施形態の下部緩衝材１では、側面１２に３つの凹部１４が形成され、側面１３に２つの凹部１５が形成されている。凹部１４，１５の位置は、下部収納部１１の中央位置に対応している。
　下部収納部１１は、収納容器８０の下部が嵌まり込む形状の部位である。下部収納部１１は、下部対向面１６、下部開口部１７、２組の下部第一リブ１８、および２組の下部第二リブ１９を有する。
　下部開口部１７は、下部収納部１１の中央において、下部緩衝材１の底面、すなわち、下部対向面１６に形成された矩形状の孔である。
　下部第一リブ１８および下部第二リブ１９は、収納容器の４つの側面（第一壁部８３および第二壁部８４）を側方から支持して、下部収納部１１に収容された収納容器８０の水平方向の位置決めをし、収納容器８０の移動を規制する突起である。
　下部第一リブ１８および下部第二リブ１９は、２組の下部第一リブ１８が、互いに反対の方向から収納容器８０の側面を支持し、２組の下部第二リブ１９が、互いに反対の方向から下部第一リブ１８によって支持される側面とは異なる側面を支持するように配置されている。
　１組の下部第一リブ１８を構成する２つの下部第一リブ１８は、収納容器８０の側面に沿う方向に所定の間隔をあけて離隔して配置されている。
　下部第一リブ１８は、収納容器８０の側面を支持するテーパ面１８Ａを有している。テーパ面１８Ａは、収納容器８０が下部収納部１１に収容された際にテーパ面１８Ａの上方が容器本体８１の側面から離隔し、テーパ面１８Ａの下方が容器本体８１の側面と接触するように傾斜している。
　１組の下部第二リブ１９を構成する２つの下部第二リブ１９は、下部第一リブ１８によって支持される収納容器８０の側面とは異なる側面に沿う方向に所定の間隔をあけて離隔して配置されている。これらの下部第二リブ１９は、収納容器８０のＤ３方向の移動を規制している。
　図７、図９、図１２Ａ、および図１２Ｂに示されるように、下部収納部１１には、オプション９２（図５参照）が取り付けられている収納容器８０を収納する際に、オプション９２を収納する窪み２０が形成されている。窪み２０は、互いに離隔する１組の下部第二リブ１９同士の間に形成されている。窪み２０は、下部収納部１１の下部対向面１６に形成された凹状の部位である。
　次に、緩衝材１００を構成する上部緩衝材５の構造を説明する。
　図１３は、上部緩衝材５の下方斜視図であり、図１４は、上部緩衝材５の上方斜視図である。図１５Ａは、上部緩衝材５の平面図であり、図１５Ｂは、上部緩衝材５の底面図である。図１６Ａは、図１３のＡ７矢視図（上部緩衝材５の正面図）であり、図１６Ｂは、図１３のＡ８矢視図（上部緩衝材５の側面図）である。図１７Ａは、図１５ＡのＡ９－Ａ９断面図であり、図１７Ｂは、図１５ＡのＡ１０－Ａ１０断面図である。
　上部緩衝材５は、上段の収納容器８０の列において、収納容器８０の上部を保持する緩衝材である。図１３、図１４、図１５Ａ、および図１５Ｂに示されるように、上部緩衝材５は、矩形状をなしている。図４に示されるように、上部緩衝材５は、梱包体１０において２つ１組で使用され、各々の上部緩衝材５が梱包ケース２００の開口のほぼ半分を覆うように形成されている。
　図１３、および図１５Ｂに示されるように、上部緩衝材５は、３つの上部収納部５１を有している。各々の上部収納部５１は収納容器８０の容器蓋体８２を保持する。上部収納部５１は、上部対向面５６、上部開口部５７を備える。
　上部緩衝材５は、４つの側面、すなわち、図１３の前後の側面５２と左右の側面５３との合計４つの側面５２，５３を有する。４つの側面５２，５３のうち、側面５２は収納容器８０の列の延びる方向Ｄ３に沿う側面であり、側面５３は側面５２と直交する側面である。
　図２から図４に示されるように、上部緩衝材５は、梱包体１０において、ケース本体２０１内に２つ並んで収納され、これらの２つの上部緩衝材５の全体としての外周面、すなわち、ケース本体２０１の内面に対向するそれぞれ３つの側面５２，５３とケース本体２０１の内面との間に隙間Ｇ１が設けられるように形成されている。ケース本体２０１と上部緩衝材５は、隙間Ｇ１の寸法が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下となるように形成されている。
　また、上部緩衝材５は、梱包体１０において、隣り合う上部緩衝材５同士の間に緩衝材間隙間Ｇ２が設けられるように形成されている。上部緩衝材５は、緩衝材間隙間Ｇ２の寸法が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下となるように形成されている。
　上部緩衝材５の側面５２，５３には、梱包体１０において梱包ケース２００の内面から離隔する方向に凹むように形成されている複数の凹部５４，５５が必要に応じて、設けられている。すなわち、上部緩衝材５の側面は平坦でなくてもよい。本実施形態の上部緩衝材５では、側面５２に３つの凹部５４が形成され、側面５３に１つの凹部５５が形成されている。凹部５４，５５の位置は、上部収納部５１の中央位置に対応している。
　上部開口部５７は、上部収納部５１の中央において、上部緩衝材５の上面、すなわち、上部対向面５６に形成され、上部緩衝材５の上面と下面との間を貫通する矩形状の孔である。
　図１７Ａおよび図１７Ｂに示されるように、上部開口部５７は、鉛直方向に沿う４つの主面５７Ａと、主面５７Ａの下端に形成された指掛部５７Ｂとを有する。指掛部５７Ｂは、上部開口部５７の主面５７Ａと、上部対向面５６との間の稜線の角が斜めに削られた形状の傾斜面である。
　なお、指掛部５７Ｂは、上記したような傾斜面とする必要はなく、上部緩衝材５を取り外す際に、作業者が主面５７Ａと収納容器８０の容器蓋体８２との間に指が入れられる形状であればよい。例えば、主面５７Ａに対して凹んだ段形状としてもよい。また、指掛部５７Ｂは、主面５７Ａと上部対向面５６との間の稜線の全長にわたって形成されている必要はなく、上記稜線の一部に形成される構成としてもよい。
　次に、中部緩衝材３の構造を説明する。
　図１８は、中部緩衝材３の上方斜視図であり、図１９は、中部緩衝材３の下方斜視図である。図２０Ａは、中部緩衝材３の平面図であり、図２０Ｂは、中部緩衝材３の底面図である。図２１Ａは、図１８のＡ１１矢視図（中部緩衝材３の正面図）であり、図２１Ｂは、図１８のＡ１２矢視図（中部緩衝材３の側面図）である。図２２Ａは、中部緩衝材３のＡ１３－Ａ１３断面図であり、図２２Ｂは、中部緩衝材３のＡ１４－Ａ１４断面図である。
　中部緩衝材３は、下段の収納容器８０の列において収納容器８０の上部を保持するとともに、上段の収納容器８０の列において収納容器８０の下部を支持する緩衝材である。
　図１８、図１９、図２０Ａ、および図２０Ｂに示されるように、中部緩衝材３は、矩形状をなしている。上部緩衝材５と同様に、中部緩衝材３は、梱包体１０において２つ１組で使用される。
　図１８、および図２０Ａに示されるように、中部緩衝材３の上面（梱包体１０において、上方を向く面）には、下部緩衝材１の下部収納部１１と同様の３つの中部本体収納部３１が形成されている。
　図１９、および図２０Ｂに示されるように、中部緩衝材３の下面（梱包体１０において、下方を向く面）には、上部緩衝材５の上部収納部５１と同様の中部蓋収納部４１が形成されている。
　中部緩衝材３は、４つの側面、すなわち、図１８の前後の側面３２と左右の側面３３との合計４つの側面３２，３３を有する。４つの側面３２，３３のうち、側面３２は収納容器８０の列の延びる方向Ｄ３に沿う側面であり、側面３３は側面３２と直交する側面である。
　上部緩衝材５と同様に、中部緩衝材３は、梱包体１０においてケース本体２０１内に２つ並んで収納され、これらの２つの中部緩衝材３の全体としての外周面、すなわち、ケース本体２０１の内面に対向するそれぞれ３つの側面３２，３３とケース本体２０１の内面との間に隙間Ｇ１が設けられるように形成されている。ケース本体２０１と中部緩衝材３は、隙間Ｇ１の寸法が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下となるように形成されている。
　また、上部緩衝材５と同様に、中部緩衝材３は、梱包体１０において、隣り合う中部緩衝材３同士の間に緩衝材間隙間Ｇ２が設けられるように形成されている。中部緩衝材３は、緩衝材間隙間Ｇ２の寸法が５ｍｍ以上２０ｍｍ以下となるように形成されている。
　中部緩衝材３の側面３２，３３には、梱包体１０において梱包ケース２００の内面から離隔する方向に凹むように形成されている複数の凹部３４，３５が必要に応じて、設けられている。すなわち、中部緩衝材３の側面は平坦でなくてもよい。本実施形態の中部緩衝材３では、側面３２に３つの凹部３４が形成され、側面３３に１つの凹部３５が形成されている。凹部３４，３５の位置は、中部本体収納部３１、中部蓋収納部４１の中央位置に対応している。
　中部本体収納部３１は、図１８に示されるように、中部本体対向面３６、中部開口部３７、２組の中部第一リブ３８、および２組の中部第二リブ３９、窪み４０を有する。中部第一リブ３８は、下部緩衝材１のテーパ面１８Ａと同様の形状、機能を有するテーパ面３８Ａを有している。
　中部第一リブ３８は、下部緩衝材１の下部第一リブ１８と同様の形状、機能を有し、中部第二リブ３９は、下部緩衝材１の下部第二リブ１９と同様の形状、機能を有する。
　窪み４０は、下部緩衝材１の窪み２０と同様の形状、機能を有する。
　中部蓋収納部４１は、図１９に示されるように、中部蓋対向面４２を備える。
　中部開口部３７は、上部緩衝材５の上部開口部５７と同様に、主面３７Ａの下端に形成された指掛部３７Ｂを有する。指掛部３７Ｂは、上部緩衝材５の指掛部３７Ｂと同様の形状、機能を有する。
　次に、図２および図３を参照して、振動吸収材９の構造を説明する。
　振動吸収材９は、収納容器８０を梱包する際に生じる振動を吸収する部材であり、板材９Ａ、９Ｂ、および弾性体９Ｃを備える。
　板材９Ａ、９Ｂは、梱包ケース２００の底板２０２と略同形状の矩形状の板状部材である。梱包の際は、まず、板材９Ｂが梱包ケース２００の底板２０２上に配置され、弾性体９Ｃを介して板材９Ａが板材９Ｂ上に配置される。板材９Ａ、９Ｂは、例えばプラスチック板で構成される。
　弾性体９Ｃは、振動に対して弾性変形することにより、振動を吸収する部材であり、板材９Ａ、９Ｂに挟まれるように設けられる。弾性体９Ｃは、例えばポリウレタン、合成ゴム、ポリエチレンで構成される。
　上記した緩衝材１００を用いた梱包方法は、梱包ケース２００内に振動吸収材９を配置した状態で、下段の２列の収納容器８０の列の下部を下部緩衝材１が支持し、収納容器８０の各列において上段の収納容器８０と下段の収納容器８０との間に中部緩衝材３が１つずつ介装され、上段の２列の収納容器８０の各列において上部緩衝材５が１つずつ配置されるように、緩衝材１００を配置する。中部緩衝材３および上部緩衝材５は、梱包ケース２００の側板２０３との間に所定の隙間が設けられるように配置される。
　上記本実施形態によれば、中部緩衝材３および上部緩衝材５が、梱包ケース２００の側板２０３との間に所定の隙間Ｇ１が設けられるように形成されている。これによって、梱包ケース２００のケース蓋体２０４を取り外した後、作業用ロボットなどにより緩衝材１００（上部緩衝材５、中部緩衝材３）を取り外す際、または取り付ける際に、作業を安定的に行うことができる。
　また、下部緩衝材１が、梱包ケース２００の側板２０３との間に隙間がないように形成されていることによって、梱包ケース２００内で収納容器８０を下方から支持する下部緩衝材１が水平方向に移動することを抑制することができる。
　また、上部緩衝材５の上部開口部５７、中部緩衝材３の中部開口部３７に指掛部５７Ｂ，３７Ｂが形成されていることによって、作業者が上部緩衝材５または中部緩衝材を取り外す際に、開口部の内側から指を掛けることで緩衝材を容易に取り出すことが可能となる。
　また、上部緩衝材５の側面５２，５３に凹部５４，５５が形成され、中部緩衝材３の側面３２，３３に凹部３４，３５が形成されていることにより、上部緩衝材５または中部緩衝材３が梱包ケース２００の内面に接触した際の接触面積の低減を図っている。これにより、上部緩衝材５または中部緩衝材３が梱包ケース２００に接触した際の接触抵抗が低減され、緩衝材を取り出す際の安定性を向上させることができる。
　また、下部緩衝材１の下部収納部１１にリブ１８，１９が設けられ、中部緩衝材３の中部本体収納部３１にリブ３８，３９が設けられ、これらのリブが収納容器８０の側面と接触することによって、輸送中に生じる収納容器８０の揺れを抑制することができる。
　また、下部緩衝材１の下部収納部１１と中部緩衝材３の中部本体収納部３１に窪み２０，４０を設けたことによって、オプション９２が取り付けられた収納容器８０を梱包する際に、オプション９２と緩衝材１００とが接触することにより半導体収納ケース用包装袋が損傷するのを防止することができる。
　また、本実施形態によれば、緩衝材１００は、発泡倍率が２０倍以上、４０倍以下の発泡体で構成される。そのため、外部からの衝撃に対して耐えられる硬さと、衝撃を吸収する柔らかさを両立できる。
　また、本実施形態によれば、緩衝材１００は、発泡ポリウレタン、発泡ポリエチレン、発泡ポリプロピレン、または発泡ポリスチレンのいずれかで構成される。
　そのため、緩衝材１００を発泡倍率が２０倍以上、４０倍以下の発泡体に容易にできる。
　以上、本発明を実施形態に基づき説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されない。当業者であれば、本発明の思想の範囲内において、各種変形例および改良例に想到するのは当然のことであり、これらも本発明の範囲に含まれる。
　１…下部緩衝材、３…中部緩衝材、５…上部緩衝材、１０…梱包体、１１…下部収納部、１２，１３…側面、１４，１５…凹部１８…下部第一リブ、１８Ａ…テーパ面、１９…下部第二リブ、２０…窪み、３１…中部本体収納部、３２，３３…側面、３４，３５…凹部、３７…中部開口部、３７Ｂ…指掛部、３８…中部第一リブ、３８Ａ…テーパ面、３９…中部第二リブ、４０…窪み、４１…中部蓋収納部、５１…上部収納部、５２，５３…側面、５４，５５…凹部、５７…上部開口部、５７Ｂ…指掛部、８０…収納容器、９２…オプション、１００…緩衝材、２００…梱包ケース、２０１…ケース本体、２０２…底板、２０３…側板、２０４…ケース蓋体、Ｇ１…隙間、Ｇ２…緩衝材間隙間、Ｗ…半導体ウェーハ。

Claims (8)

  1. 　半導体ウェーハを収納可能な複数の収納容器を、底板と側板と蓋体とを有する箱型の梱包ケースに梱包する際に、前記複数の収納容器と前記梱包ケースの間に配置される緩衝材であって、
    　前記収納容器は、複数個の前記収納容器が並ぶ列が２列かつ上下に２段にわたって配置され、
    　これらの２列かつ２段の前記収納容器を緩衝収納するため、
    　下段の２列の前記収納容器の列の下部を支持する下部緩衝材と、
    　前記収納容器の各列において上段の前記収納容器と下段の前記収納容器との間に１つずつ介装される中部緩衝材と、
    　前記上段の２列の収納容器の各列において１つずつ配置されて前記収納容器の上部を保持する上部緩衝材と、を備え、
    　前記下部緩衝材は、前記梱包ケースの側板との間に隙間がないように形成され、
    　前記中部緩衝材および前記上部緩衝材は、前記梱包ケースの側板との間に所定の隙間が設けられるように形成されている緩衝材。
  2. 　請求項１に記載の緩衝材において、
    　前記上部緩衝材と前記中部緩衝材の少なくとも一方は、
    前記梱包ケースの内面に沿う側面に、
    前記梱包ケースの内面から離隔する方向に凹むように形成されている凹部が形成されている緩衝材。
  3. 　請求項１または請求項２に記載の緩衝材において、
    　前記所定の隙間は、５ｍｍ以上２０ｍｍ以下である緩衝材。
  4. 　請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の緩衝材において、
    　前記２つの上部緩衝材間に所定の緩衝材間隙間が設けられるように形成されている緩衝材。
  5. 　請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の緩衝材において、
    　前記２つの中部緩衝材間に所定の緩衝材間隙間が設けられるように形成されている緩衝材。
  6. 　請求項４または請求項５に記載の緩衝材において、
    　前記緩衝材間隙間は、５ｍｍ以上２０ｍｍ以下である緩衝材。
  7. 　請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の緩衝材を有する梱包体であって、
    　前記複数の収納容器と、
    　前記梱包ケースと、
    　前記中部緩衝材および前記上部緩衝材と前記梱包ケースの側板との間に所定の隙間が設けられるように配置される前記緩衝材と、を有する梱包体。
  8. 　請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の緩衝材を用いた梱包方法であって、
    　前記梱包ケース内に、前記中部緩衝材および前記上部緩衝材と前記梱包ケースの側板との間に所定の隙間が設けられるように前記緩衝材を配置して前記収納容器を梱包する梱包方法。
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