WO2015029173A1 - 基板収納容器を梱包するための梱包構造 - Google Patents

基板収納容器を梱包するための梱包構造 Download PDF

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WO2015029173A1
WO2015029173A1 PCT/JP2013/073065 JP2013073065W WO2015029173A1 WO 2015029173 A1 WO2015029173 A1 WO 2015029173A1 JP 2013073065 W JP2013073065 W JP 2013073065W WO 2015029173 A1 WO2015029173 A1 WO 2015029173A1
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WO
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cushioning material
sleeve member
lid
packing
storage container
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PCT/JP2013/073065
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English (en)
French (fr)
Inventor
剛 永島
Original Assignee
ミライアル株式会社
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions

Definitions

  • the present invention relates to a packing structure for packing a substrate storage container for storing a substrate such as a semiconductor wafer.
  • a substrate storage container including a container main body and a lid is conventionally known.
  • a resin cushioning material or the like is disposed in the packing box. And these hold
  • the cushioning material tends to deteriorate due to dust adhesion or ultraviolet irradiation during storage. For this reason, in order to maintain the function as a buffer material, it is necessary to store in a sealed darkroom (or in a darkroom environment where no dust adheres). Moreover, when packing a substrate storage container, it is preferable that it can be confirmed that there is no deterioration in the buffer material and that the substrate storage container is disposed at an appropriate position with respect to the buffer material.
  • the present invention is a packing structure for packing a substrate storage container for storing and transporting a substrate made of a semiconductor wafer, and is placed on the upper portion of the substrate storage container in the packing box An upper cushioning material, and a lower cushioning material on which the substrate storage container is placed, wherein the upper packaging material and the lower cushioning material sandwich the substrate storage container in the vertical direction in the packing box.
  • the packaging box having a bottom plate and a lower lid peripheral wall extending upward from the periphery of the bottom plate, and a vertical direction
  • a cylindrical sleeve member having an axial center extending to the top
  • an upper lid having a top plate and an upper lid peripheral wall extending downward from the periphery of the top plate, and the lower end of the sleeve member is Placed on the bottom plate of the lid,
  • a top plate of the upper lid is placed on the upper lid, and the upper lid and the lower lid are configured to cushion the upper cushioning material and the lower cushioning material between the upper lid and the lower lid without using the sleeve member.
  • a cushioning material storage box having a protective performance capable of maintaining a function as a material and capable of storing the upper cushioning material and the lower cushioning material, and the lower lid peripheral wall and the lower cushioning material in the vertical direction;
  • a lower cushioning material position recognition unit capable of recognizing a relative positional relationship between the upper cushioning material position and an upper cushioning material position recognition unit capable of recognizing a relative positional relationship between the sleeve member and the upper cushioning material in the vertical direction. It relates to a packing structure.
  • the packing structure includes an elastic support member that is disposed in the packing box, is elastically deformable, is supported by a bottom plate of the packing box, and supports the lower cushioning material.
  • the lower lid and the sleeve member can store the lower cushioning material, the substrate storage container, and the upper cushioning material in a positional relationship in which the upper end of the upper cushioning material is aligned with the upper edge of the sleeve member. It is preferable that the upper cushioning material position recognizing part is constituted by an upper edge of the sleeve member and an upper edge of the upper cushioning material.
  • the lower lid and the sleeve member have a positional relationship in which the upper end of the upper cushioning material is positioned below the upper end edge of the sleeve member, and the lower cushioning material, the substrate storage container, and the upper cushioning member.
  • the upper cushioning material position recognizing portion is configured by a mark described on the inner surface of the sleeve member and an upper end of the upper cushioning material.
  • the upper cushioning material position recognition unit has an upper cushioning material side mark which is located at an upper end of the upper cushioning material and can be opposed to the mark.
  • the lower lid and the sleeve member have a positional relationship in which the upper end of the upper cushioning material is positioned below the upper end edge of the sleeve member, and the lower cushioning material, the substrate storage container, and the upper cushioning member.
  • the upper end portion of the sleeve member has an upper notch that opens upward, and the upper cushioning material position recognition portion is described on the outer surface of the sleeve member in the vicinity of the upper notch.
  • the upper facing mark is formed by an upper facing mark and an upper side mark written on the side surface of the upper cushioning material facing the inner surface of the sleeve member.
  • the lower lid can store the lower cushioning material in a positional relationship in which the upper end of the lower cushioning material coincides with the extended end of the lower lid peripheral wall, and the lower cushioning material position recognizing unit includes the lower lid It is preferable that it is comprised by the extension edge of a surrounding wall and the upper end of the said lower shock absorbing material.
  • the lower lid can store the lower cushioning material in a positional relationship in which the upper end of the lower cushioning material is positioned below the upper edge of the lower lid peripheral wall. It is preferable that it is comprised by the mark described in the inner surface of the said lower cover surrounding wall, and the upper end of the said lower shock absorbing material.
  • the lower cushioning material position recognition unit has a lower cushioning material side mark that is located at an upper end of the lower cushioning material and can be opposed to the mark.
  • the lower lid can store the lower cushioning material in a positional relationship in which the upper end of the lower cushioning material is positioned below the upper edge of the lower lid peripheral wall, and the upper end of the lower lid is A lower notch that opens in a direction, and the lower cushioning material position recognition unit faces a lower facing mark described on an outer surface of the lower lid peripheral wall in the vicinity of the lower notch and an inner surface of the lower lid peripheral wall It is preferable that it is comprised by the lower side surface mark described in the side surface of the said lower shock absorbing material.
  • the lower lid can store the lower cushioning material in a positional relationship in which the upper end of the lower cushioning material is positioned above the upper edge of the lower lid peripheral wall, and the lower cushioning material position recognition unit It is preferable that a lower side surface mark described on a side surface of the lower cushioning material facing the inner surface of the lower lid peripheral wall and an upper end edge of the lower lid peripheral wall are configured.
  • the sleeve member can be stored in the buffer material storage box.
  • the lower cover peripheral wall and the upper cover peripheral wall have a double structure, and the lower portion of the sleeve member can be inserted between the double lower cover peripheral walls, and the upper portion of the sleeve member is double It is preferable that it can be inserted between the upper lid peripheral walls.
  • the present invention it is possible to provide a packing structure that can prevent the buffer material from being deteriorated and can easily check the presence or absence of the buffer material and the arrangement of the substrate storage container at an appropriate position with respect to the buffer material.
  • FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1B. It is a perspective view which shows the state from which the upper cover 11 of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 based on 1st Embodiment of this invention was removed. It is a perspective view showing the state where upper lid 11 and sleeve member 12 were removed from packing structure 1 for packing substrate storage container 2 concerning a 1st embodiment of the present invention.
  • FIG. 4B is a sectional view taken along line BB in FIG. 4B.
  • FIG. 1 It is a perspective view which shows the lower cover side mark 133 of the lower cover 13 of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 based on 2nd Embodiment of this invention. It is a perspective view which shows the state which the upper end 43 and lower lid side mark 133 of the lower buffer material 40 of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 based on 2nd Embodiment of this invention do not correspond.
  • the lower buffer material position recognition part 130B located in the inner surface of the lower cover surrounding wall 132 of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2, and the upper end of the lower buffer material 40 based on 3rd Embodiment of this invention is shown, respectively. It is a perspective view. It is a perspective view which shows 120C of upper buffer material position recognition parts of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 based on 4th Embodiment of this invention. It is a front view which shows 120 C of upper buffer material position recognition parts of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 based on 4th Embodiment of this invention.
  • FIG. 16B is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 16B. It is a top view which shows the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 based on 10th Embodiment of this invention.
  • FIG. 17B is a cross-sectional view taken along the line DD in FIG. 17A.
  • FIG. 1A is an external perspective view showing a packing structure 1 for packing a substrate storage container 2 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1B is a top view of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1C is a cross-sectional view of the packing structure 1 along the line AA in FIG. 1B.
  • FIG. 2A is a perspective view showing a state where the upper lid 11 of FIG. 1A is removed.
  • FIG. 2B is a perspective view showing a state where the sleeve member 12 of FIG. 2A is removed.
  • FIG. 1A is an external perspective view showing a packing structure 1 for packing a substrate storage container 2 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1B is a top view of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1C is a cross-sectional view of the packing structure 1 along the line AA in FIG. 1B.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the lower cushioning member 40 of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4A is an external perspective view showing the cushioning material storage box 100 that houses the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4B is a top view of the cushioning material storage box 100 that houses the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 according to the first embodiment of the present invention.
  • 4C is a cross-sectional view of the cushioning material storage box 100 taken along line BB in FIG. 4B.
  • FIG. 5 is an exploded perspective view showing the substrate storage container 2 packed by the packing structure 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • a direction (lower left direction in FIG. 1A) from the back plate 124 to the front plate 123 of the packaging box 10 described later is defined as the front direction D11, and the opposite direction is defined as the rear direction D12. These are defined as the front-rear direction D1.
  • a direction (upward direction in FIG. 1A) from the bottom plate 131 described later to the top plate 111 is defined as an upward direction D21, the opposite direction is defined as a downward direction D22, and these are defined as a vertical direction D2.
  • a direction (upper left direction in FIG. 1A) from the second side plate 122 described later to the first side plate 121 is defined as the left direction D31, the opposite direction is defined as the right direction D32, and these are defined as the left-right direction D3.
  • the substrate storage container 2 is for storing and transporting a substrate W made of a semiconductor wafer packed by the packing structure 1, and has a container main body 202 and a lid 203. is doing. 1C and FIG. 17B, illustration of the inside of the substrate storage container 2 is omitted for convenience.
  • the container body 202 has a cylindrical wall part 220 in which a container body opening 221 is formed at one end and the other end is closed.
  • a substrate storage space 227 is formed in the container main body 202.
  • the substrate storage space 227 is formed so as to be surrounded by the wall 220.
  • a substrate support plate-like portion 205 and a rear retainer (not shown) are disposed in a portion of the wall portion 220 that forms the substrate storage space 227.
  • a plurality of substrates W can be stored in the substrate storage space 227.
  • the substrate support plate-like portion 205 is provided on the wall portion 220 so as to form a pair in the substrate storage space 227.
  • the substrate support plate-like portion 205 is configured so that, when the container main body opening 221 is not closed by the lid 203, the adjacent substrates W are separated from each other at a predetermined interval and are arranged in parallel. The part can be supported.
  • the rear retainer (not shown) can support the rear portions of the edges of the plurality of substrates W when the container main body opening 221 is closed by the lid 203.
  • the lid 203 is detachable from the container main body opening 221 and can close the container main body opening 221.
  • the lid 203 is provided with a front retainer (not shown).
  • a front retainer (not shown) is provided in a portion of the lid 203 that faces the substrate storage space 227 when the container main body opening 221 is closed by the lid 203.
  • the front retainer (not shown) is arranged to make a pair with the rear retainer (not shown).
  • the front retainer (not shown) can support the front portions of the edges of the plurality of substrates W when the container main body opening 221 is closed by the lid 203.
  • a front retainer (not shown) supports adjacent substrates by supporting a plurality of substrates W in cooperation with a rear retainer (not shown) when the container body opening 221 is closed by the lid 203.
  • a plurality of substrates W are held in a state where the Ws are separated from each other at a predetermined interval and are arranged in parallel.
  • the substrate W (see FIG. 5) stored in the substrate storage container 2 is a disk-shaped silicon wafer, glass wafer, sapphire wafer, or the like, and is a thin one used in the industry.
  • the substrate W in this embodiment is a silicon wafer having a diameter of 300 mm to 450 mm.
  • the packaging structure 1 for packaging the substrate storage container 2 includes a packaging box 10, an upper cushioning material 30, and a lower cushioning material 40 as shown in FIG. 1C.
  • the packing structure 1 packs the substrate storage container 2 in order to store and transport the substrate W made of a semiconductor wafer.
  • the packaging box 10 includes an upper lid 11, a sleeve member 12, and a lower lid 13 each formed of a so-called plastic cardboard box (pradan), and has a rectangular parallelepiped shape as a whole. ing.
  • the upper lid 11 has a top plate 111 and an upper lid peripheral wall 112.
  • the top plate 111 has a rectangular shape.
  • the upper lid peripheral wall 112 has four rectangular plates extending in the downward direction D22 from the periphery of the top plate 111, and has a rectangular tube shape with one end closed by the top plate 111 and the other end opened. is doing.
  • the sleeve member 12 includes a first side plate 121, a second side plate 122, a front plate 123, and a back plate 124 each having a rectangular plate shape, and extends in the vertical direction D2. It has a square cylindrical shape having an axis and opening at both ends.
  • the first side plate 121 and the second side plate 122 of the sleeve member 12 are each formed with an oval through hole 125 that is long in the front-rear direction D1. The operator can lift the sleeve member 12 by inserting a hand into the through hole 125.
  • the lower lid 13 has a bottom plate 131 and a lower lid peripheral wall 132.
  • the bottom plate 131 has a rectangular shape.
  • the lower lid peripheral wall 132 has four rectangular plates extending in the upward direction D21 from the periphery of the bottom plate 131, and has a rectangular tube shape in which one end is closed by the bottom plate 131 and the other end is opened. ing.
  • the top plate 111 of the upper lid 11 is placed on the upper end portion of the sleeve member 12 in such a positional relationship that the periphery of the upper end portion of the sleeve member 12 is surrounded by the upper lid peripheral wall 112.
  • the lower end portion of the sleeve member 12 is placed on the bottom plate 131 of the lower lid 13 in a positional relationship in which the periphery of the lower end portion of the sleeve member 12 is surrounded by the lower lid peripheral wall 132.
  • the packaging box 10 comprised from the upper cover 11, the sleeve member 12, and the lower cover 13 is assembled.
  • the lower end portion of the upper lid peripheral wall 112 can be placed on the upper end portion of the lower lid peripheral wall 132.
  • the upper cushioning material 30 has a hardness capable of maintaining the shape of the upper cushioning material 30 without plastic deformation even when the substrate storage container 2 storing the substrate W is directly placed on the upper cushioning material 30. Yes.
  • the upper cushioning material 30 is made of a flexible material that can absorb at least a part of the impact that acts on the packaging box 10 and is transmitted to the substrate storage container 2 via the upper cushioning material 30. Therefore, the upper cushioning material 30 is plastically deformed and does not return to its original shape when it receives an impact stronger than a predetermined impact, but it can absorb an impact weaker than the predetermined impact. Almost no deformation.
  • the upper cushioning material 30 is made of expanded polystyrene.
  • the upper portion of the upper cushioning material 30 has two first upper cushioning members 31 extending in the left-right direction D3 while maintaining a predetermined spacing in the front-rear direction D1, and a predetermined spacing in the left-right direction D3. It is comprised by the 2nd 2nd upper buffer member 32 extended in the front-back direction D1 while hold
  • the first upper buffer member 311 is positioned on the front side surface
  • the first upper buffer member 312 is positioned on the rear side surface.
  • the convex part 33 which protrudes to the front direction D11 is provided in the part of the 1st upper buffer member 311 pinched
  • the portion of the first upper buffer member 312 sandwiched between the two second upper buffer members 32 is provided with a convex portion 34 that protrudes in the rear direction D12.
  • the lower part of the upper cushioning material 30 has a substantially rectangular parallelepiped shape. As shown in FIG. 1C, a convex portion 361 that protrudes in the downward direction D ⁇ b> 22 is provided at the lower portion of the upper cushioning material 30. Accordingly, the lower portion of the upper cushioning material 30 has a concave portion 371 that is recessed in the upward direction D21 relative to the convex portion 361.
  • the recess 371 has substantially the same shape as the upper part of the lid 203 and the upper part of the container body 202 of the substrate storage container 2.
  • the left side surface, the right side surface, the front side surface, and the rear side surface are formed to be flush with each other, and the upper end of the cross-beam shape of the upper cushioning material 30 is also flush with each other.
  • the lower cushioning material 40 has a hardness capable of holding the shape of the lower cushioning material 40 itself without plastic deformation even when the substrate storage container 2 storing the substrate W is directly placed on the lower cushioning material 40. Yes.
  • the lower cushioning material 40 is made of a flexible material that can absorb at least a part of an impact that acts on the packaging box 10 and is transmitted to the substrate storage container 2 via the lower cushioning material 40.
  • the foamed polystyrene is the same as that of the upper cushioning material 30.
  • the upper part of the lower cushioning material 40 has a substantially rectangular parallelepiped shape as shown in FIG. Similar to the upper part of the upper cushioning material 30, the lower part of the lower cushioning material 40 has two first lower cushioning members 41 extending in the left-right direction D3 while maintaining a predetermined distance in the front-rear direction D1, and predetermined in the left-right direction D3.
  • the two second lower cushioning members 42 extending in the front-rear direction D1 while maintaining the interval are formed in a cross beam shape by being orthogonal to each other.
  • the first lower buffer member 411 is positioned on the front side surface
  • the first lower buffer member 412 is positioned on the rear side surface.
  • the second lower cushioning member 421 is located on the left side and the second lower cushioning member 422 is located on the right side.
  • a convex portion 403 projecting in the front direction D11 is provided at a portion of the first lower cushioning member 411 sandwiched between the two second lower cushioning members 42 of the lower cushioning material 40.
  • a convex portion (not shown) that protrudes in the rear direction D12 is provided in a portion of the first lower shock-absorbing member 412 sandwiched between the two second lower shock-absorbing members 42.
  • a convex portion 401 (not shown) protruding in the left direction D31 is provided in a portion of the second lower cushioning member 421 sandwiched between the two first lower cushioning members 41 of the lower cushioning material 40.
  • a convex portion 402 that protrudes in the right direction D32 is provided at a portion of the second lower cushioning member 422 sandwiched between the two first lower cushioning members 41.
  • a convex portion 461 that protrudes in the upward direction D ⁇ b> 21 is provided on the upper portion of the lower cushioning material 40. Accordingly, the upper portion of the lower cushioning material 40 has a concave portion 471 that is recessed in the downward direction D22 relative to the convex portion 461.
  • the recess 471 has substantially the same shape as the lower part of the container body 202 of the substrate storage container 2, and the lower part of the container body 202 is engaged with the recess 471.
  • the left side surface, the right side surface, the front side surface, and the rear side surface are formed to be flush with each other, and the bottom end of the lower cushioning material 40 is also flush with each other.
  • the substrate storage container 2 is placed on the lower cushioning material 40, and the upper cushioning material 30, the lower cushioning material 40, and the lower cushioning material 40 are sandwiched between the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 in the vertical direction D2.
  • the substrate storage container 2 is disposed in the packaging box 10.
  • the lower part of the upper cushioning material 30 can be placed on the upper part of the lower cushioning material 40 in the vertical direction D2.
  • the upper end of the upper cushioning material 30 has a sleeve when the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 are not deteriorated and the substrate storage container 2 is correctly engaged with the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40. It coincides with the upper edge of the member 12. Further, the upper end of the lower cushioning material 40 coincides with the upper edge of the lower lid peripheral wall 132 of the lower lid 13 when the lower cushioning material 40 is not deteriorated.
  • the upper cushioning material position recognizing unit is capable of recognizing the relative positional relationship between the sleeve member 12 and the upper cushioning material 30 in the vertical direction D2 at the upper end of the upper cushioning material 30 and the upper edge of the sleeve member 12.
  • the packing structure 1 has an upper cushioning material position recognition unit.
  • the upper end of the lower cushioning material 40 and the upper edge of the lower lid circumferential wall 132 of the lower lid 13 can recognize the relative positional relationship between the lower lid circumferential wall 132 and the lower cushioning material 40 in the vertical direction D2.
  • the lower cushioning material position recognition is comprised, and the packing structure 1 has a lower cushioning material position recognition part.
  • the lower cushioning material 40 is positioned so that the lower portion of the lower cushioning material 40 comes into surface contact with the upper surface of the bottom plate 131 of the lower lid 13 in a positional relationship parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1.
  • the packing box 10 it is arranged below the substrate storage container 2.
  • the upper part of the upper cushioning material 30 and the upper part of the lower cushioning material 40 have a substantially rectangular parallelepiped shape having the same size.
  • the left side surface of the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 are disposed.
  • the right side surface of the upper cushioning material 30 and the right side surface of the lower cushioning material 40 are flush with each other.
  • the front side surface of the upper cushioning material 30 and the front side surface of the lower cushioning material 40 are flush with each other, and the rear side surface of the upper cushioning material 30 and the rear side surface of the lower cushioning material 40 are flush with each other.
  • the side surfaces of the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 are in contact with the inner surface of the sleeve member 12.
  • the height H11 in the vertical direction D2 inside the upper lid 11 is high enough to accommodate the upper cushioning material 30 sufficiently.
  • the height H11 of the upper lid peripheral wall 112 of the upper lid 11 is the same as the height H30 of the upper cushioning material 30 in the vertical direction D2.
  • the height H11 of the upper lid 11 may be higher than the height H30 of the upper cushioning material 30 in the vertical direction D2.
  • a height H13 in the vertical direction D2 inside the lower lid 13 is high enough to accommodate the lower cushioning material 40.
  • the height H13 of the lower lid peripheral wall 132 of the lower lid 13 is the same as the height H40 of the lower cushioning material 40 in the vertical direction D2.
  • the height H13 of the lower lid 13 may be higher than the height H40 of the lower cushioning material 40 in the vertical direction D2.
  • the upper lid 11 and the lower lid 13 store the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 placed in the vertical direction D2 so as to be sandwiched between the upper lid 11 and the lower lid 13.
  • a space formed by the upper lid 11 and the lower lid 13 is substantially sealed.
  • the packing structure 1 is for storing and transporting a substrate W made of a semiconductor wafer, and includes a packing box 10 and an upper cushioning material 30 placed on the substrate storage container 2 in the packing box 10.
  • a lower cushioning material 40 on which the substrate storage container 2 is placed, and the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 are arranged in the packaging box 10 so as to sandwich the substrate storage container 2 in the vertical direction D2.
  • the buffer material storage box 100 that can store the upper buffer material 30 and the lower buffer material 40 is configured, and the relative positional relationship between the lower lid peripheral wall 132 and the lower buffer material 40 in the vertical direction D2 can be recognized.
  • a lower cushioning material position recognition unit, and an upper cushioning material position recognition unit capable of recognizing a relative positional relationship between the sleeve member 12 and the upper cushioning material 30 in the vertical direction D2.
  • the upper lid 11, the upper cushioning material 30, and the sleeve member 12 are easily removed, and the substrate storage container 2 packed in the packing box 10 is not lifted in the vertical direction (vertical direction D2). It can be easily removed from the packaging box 10. Further, when the substrate storage container 2 is packed by the packing box 10, the substrate storage container 2 is not lifted high in the vertical direction (vertical direction D ⁇ b> 2) and is placed on the upper portion of the lower cushioning material 40 disposed on the lower lid 13. The sleeve member 12, the upper cushioning material 30, and the upper lid 11 are assembled and packed. For this reason, even if the board
  • the upper lid 11 and the lower lid 13 accommodate the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 so as to be sandwiched between the upper lid 11 and the lower lid 13, and provide a cushioning material storage box 100 that provides a substantially sealed space in a dark room. Configure. Therefore, the adhesion of dust to the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 and the irradiation of ultraviolet rays are prevented, and deterioration of the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 can be suppressed. Therefore, the functionality as a buffer material can be maintained over a long period of time.
  • the lower lid 13 and the sleeve member 12 can store the lower cushioning material 40, the substrate storage container 2, and the upper cushioning material 30 in a positional relationship in which the upper end of the upper cushioning material 30 is aligned with the upper edge of the sleeve member 12.
  • the upper cushioning material position recognizing portion is constituted by the upper end edge of the sleeve member 12.
  • the upper end of the upper cushioning material 30 is not deteriorated in the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40, and the substrate storage container 2 is correctly engaged with the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40.
  • the substrate storage container 2 When stored in the lower lid 13 and the sleeve member 12, it coincides with the upper edge of the sleeve member 12.
  • the upper end of the upper cushioning material 30 and the upper end edge of the sleeve member 12 do not coincide with each other, so that the substrate storage container 2 is arranged at an appropriate position. It can be easily determined that there is no deterioration and / or that the upper cushioning material 30 is degraded and / or that the lower cushioning material 40 is degraded.
  • the lower lid 13 can store the lower cushioning material 40 in a positional relationship in which the upper end of the lower cushioning material 40 coincides with the extending end of the lower lid peripheral wall 132, and the lower cushioning material position recognition unit And an extended end edge of the lower lid peripheral wall 132.
  • the upper end of the lower cushioning material 40 coincides with the upper edge of the lower lid peripheral wall 132 of the lower lid 13 when the lower cushioning material 40 that has not deteriorated is stored in the lower lid 13. For this reason, when the substrate storage container 2 is packed by the packing box 10, the lower cushioning member 40 is deteriorated because the upper end of the lower cushioning member 40 and the upper edge of the lower lid peripheral wall 132 of the lower lid 13 do not coincide with each other. This can be easily determined.
  • FIG. 6A is a perspective view showing an upper cushioning material position recognition unit 120A of the sleeve member 12 of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 6B shows a state where the upper end portion of the upper cushioning material 30 of the packing structure 1 for packaging the substrate storage container 2 and the upper cushioning material position recognition unit 120A do not match according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7A is a perspective view showing a lower cushioning material position recognition unit 130A of the lower lid 13 of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7B shows a state where the upper end portion of the lower cushioning material 40 of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 and the lower cushioning material position recognition unit 130A do not match according to the second embodiment of the present invention. It is a perspective view.
  • the upper cushioning material position recognition unit 120A includes a sleeve member side mark 129 described on the inner surface of the sleeve member 12 and an upper end 35 of the upper cushioning material 30, and the lower cushioning material position recognition unit 130A
  • the lower lid side mark 133 described on the inner surface of the lower lid peripheral wall 132 and the upper end 43 of the lower cushioning material 40 are different from the first embodiment. Since the configuration other than this is the same as that of the first embodiment, the same members are illustrated by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the sleeve member side mark 129 described on the inner surface of the sleeve member 12 has a broken line shape parallel to the left-right direction D3.
  • the sleeve member side mark 129 described on the inner surface of the sleeve member 12 includes the upper end of the side surface in the rear direction D12 of the second upper buffer member 32 and the side surface of the convex portion 34 of the first upper buffer member 312 in the rear direction D12.
  • the upper end of the side surface in the rear direction D12 of the second upper cushioning member 32 and the upper end of the side surface in the rear direction D12 of the convex portion 34 of the first upper cushioning member 312 are part of the upper end 35 of the upper cushioning material 30 and face each other.
  • the lower lid side mark 133 described on the inner surface of the lower lid peripheral wall 132 has a broken line shape parallel to the left-right direction D3.
  • the lower lid side mark 133 described on the inner surface of the lower lid peripheral wall 132 coincides with the upper end 43 of the side surface in the rear direction D12 of the lower cushioning material 40 when the lower cushioning material 40 that is not deteriorated is stored in the lower lid 13.
  • it is described on the inner surface of the lower lid peripheral wall 132 on the rear direction D12 side of the lower lid 13.
  • the lower cushioning material 40 is deteriorated due to the upper end 43 of the lower cushioning material 40 and the lower lid side mark 133 described on the inner surface of the lower lid peripheral wall 132 not matching. You can easily confirm that there is.
  • the upper cushioning material 40, the substrate storage container 2, and the upper cushioning material 30 are stored in the lower lid 13 and the sleeve member 12, the upper end of the side surface in the rear direction D12 of the second upper cushioning member 32 and the first upper part
  • the upper end of the rear side surface of the convex portion 34 of the buffer member 312 does not coincide with the sleeve member-side mark 129 described on the inner surface of the sleeve member 12, so that the substrate storage container 2 is not disposed at an appropriate position.
  • FIG. 8 shows an upper cushioning material position recognition unit located on the inner surface of the sleeve member 12 and the upper edge of the upper cushioning material 30 of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the third embodiment of the present invention. It is a perspective view which shows 120B.
  • FIG. 9 shows the position of the lower cushioning material positioned on the inner surface of the lower lid peripheral wall 132 and the upper end of the lower cushioning material 40 for packing the substrate storage container 2 according to the third embodiment of the present invention. It is a perspective view which shows the part 130B.
  • the upper cushioning material position recognition unit 120B accommodates the lower cushioning material 40, the substrate storage container 2, and the upper cushioning material 30 in the lower lid 13 and the sleeve member 12
  • the upper cushioning material position recognition unit 120B The second embodiment is different from the second embodiment in that it includes a mark to be described and a mark that can face the mark described on the inner surface of the sleeve member 12.
  • the lower cushioning material position recognizing unit 130B includes a mark described on the inner surface of the lower lid peripheral wall and a mark described on the upper end of the lower cushioning material 40 when the lower cushioning material 40 is stored in the lower lid 13. This is different from the second embodiment. Since the configuration other than this is the same as that of the second embodiment, the same members are illustrated by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the upper cushioning material position recognition unit 120B includes two sleeve member side marks 129B described on the inner surface of the sleeve member 12 and having a triangular shape with the apex facing the downward direction D22, and the upper end of the upper cushioning material 30. And two upper cushioning material side marks 306 that can be opposed to the sleeve member side mark 129B.
  • the lower cushioning material position recognition unit 130B includes two lower lid side marks 133B described on the inner surface of the lower lid peripheral wall 132 and having a triangular shape with the apex facing the lower direction D22 of the lower lid peripheral wall 132 in the vicinity. It is composed of two lower cushioning material side marks 406 that are located at the upper end of the material 40 and can face the lower lid side mark 133B.
  • the apex of the sleeve member side mark 129B having an equilateral triangle shape has no deterioration in the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40, and the substrate storage container 2 is correctly engaged with the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40.
  • the substrate storage container 2 is correctly engaged with the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40.
  • it is stored in the lower lid 13 and the sleeve member 12
  • it faces the apex of the upper cushioning material side mark 306 having a triangular shape.
  • the apex of the lower lid side mark 133 ⁇ / b> B having a triangular shape faces the apex of the lower cushioning material side mark 406 having a triangular shape.
  • the lower cushioning material 40 When packing the substrate storage container 2 with the packing box 10, it is easily confirmed that the lower cushioning material 40 is deteriorated because the vertex of the lower lid side mark 133 ⁇ / b> B does not face the vertex of the lower cushioning material side mark 406. can do.
  • the lower cushioning material 40, the substrate storage container 2, and the upper cushioning material 30 are stored in the lower lid 13 and the sleeve member 12, the apex of the sleeve member side mark 129B and the apex of the upper cushioning material side mark 306 are obtained.
  • the substrate storage container 2 is not disposed at an appropriate position and / or that the upper cushioning material 30 is degraded and / or the lower cushioning material 40 is degraded. be able to.
  • the apex of the sleeve member-side mark 129B and the apex of the upper cushioning material-side mark 306 do not face each other, and particularly when there is a deviation in the left-right direction D3, the upper cushioning material 30 deteriorates on the side surface in the left-right direction D3. It can be easily determined to have it.
  • FIG. 10A is a perspective view showing an upper cushioning material position recognition unit 120C of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 10B is a front view showing a packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 11A is a perspective view showing a lower cushioning material position recognition unit 130C of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 11B is a front view showing a lower lid 13C of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the fourth embodiment of the present invention.
  • the upper cushioning material position recognition unit 120C includes an upper notch 128 of the sleeve member 12C, an upper facing mark 127 of the sleeve member 12C, and an upper side mark 305 of the upper cushioning material 30C. Is different from the upper cushioning material position recognition unit of the first embodiment.
  • the lower cushioning material position recognition unit 130C includes a lower notch 138C of the lower lid 13C, a lower facing mark 137C of the lower lid peripheral wall 132C, and a lower side mark 405 of the lower cushioning material 40C. This is different from the lower cushioning material position recognition unit of the first embodiment. Since the configuration other than this is the same as that of the first embodiment, the same members are illustrated by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the upper ends of the front plate 123C and the rear plate 124C of the sleeve member 12C are each provided with two upper cutouts 128 each having a rectangular shape that opens in the upward direction D21. From the upper notch 128, the side surface of the second upper cushioning member 32 in the front direction D11 can be seen. Further, near the upper end portions of the outer surfaces of the front plate 123C and the rear plate 124C, there is provided an upper facing mark 127 formed between the two upper cutouts 128, parallel to the left-right direction D3 and formed by a broken line. ing.
  • an upper side surface mark 305 formed by a solid line extending in the left-right direction D3 is provided on the side surface of the second upper cushioning member 32 in the front-rear direction D1.
  • the upper side surface mark 305 is visible from the opening of the upper notch 128.
  • the upper side surface mark 305 is aligned with the upper facing mark 127 when viewed from the front direction D11 or the rear direction D12, and the lower cushioning material 40C, the substrate storage container 2, and the upper part are placed on the lower lid 13 and the sleeve member 12. Buffer material 30C is stored.
  • the upper end portions of the lower lid peripheral wall 132 on the front direction D11 side and the rear direction D12 side of the lower lid 13C have two rectangular shapes each opening in the upward direction D21.
  • a lower notch 138C is provided. From the lower notch 138, the side surface in the front direction D11 of the lower cushioning material 40C or the side surface in the rear direction D12 of the lower cushioning material 40C can be seen. Further, in the vicinity of the upper end portion of the lower lid peripheral wall 132C on the front direction D11 side and the rear direction D12 side, it is formed between two lower cutouts 138C, and is parallel to the left-right direction D3 and formed by a broken line. A mark 137C is provided.
  • a lower side surface mark 405 formed by a solid line in the left-right direction D3 is provided on a side surface of the lower cushioning material 40C in the front-rear direction D1.
  • the lower side surface mark 405 is visible from the opening of the lower notch 138C.
  • the lower cushioning material 40C is housed in the lower lid 13 in such a positional relationship that the lower side surface mark 405 is aligned with the lower facing mark 137C when viewed from the front direction D11 or the rearward direction D12.
  • the substrate storage container 2 When the substrate storage container 2 is packed by the packing box 10, if the lower side surface mark 405 is not in a positional relationship that is aligned with the lower facing mark 137C, it can be easily confirmed that the lower cushioning material 40C is deteriorated. it can. Further, when the lower cushioning material 40C, the substrate storage container 2, and the upper cushioning material 30C are stored in the lower lid 13C and the sleeve member 12, when the upper side surface mark 305 is not in a positional relationship that is aligned with the upper facing mark 127, It can be easily determined that the substrate storage container 2 is not disposed at an appropriate position, and / or that the upper cushioning material 30C is degraded, and / or that the lower cushioning material 40C is degraded.
  • FIG. 12 is a front view showing a lower cushioning material position recognition unit 130D of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the fifth embodiment of the present invention.
  • the shape of the lower facing mark 137D of the lower lid 13D and the lower side mark 405D of the lower cushioning material 40 constituting the lower cushioning material position recognition unit 130D is the same as the lower facing mark 137C and the lower side face of the fourth embodiment. It is different from the mark 405C. Since the configuration other than this is the same as that of the fourth embodiment, the same members are illustrated by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the two lower facing marks 137D have a triangular shape and are formed between the two lower notches 138D.
  • One apex of the lower facing mark 137D is opposed to the right edge of the lower notch 138D extending in the vertical direction D2 of the lower left notch 138D when viewed from the front direction D11, and of the lower notch 138D in the vertical direction D2. It is formed in the central part.
  • the other vertex of the lower facing mark 137D is opposed to the left edge of the lower notch 138D extending in the vertical direction D2 of the right lower notch 138D when viewed from the front direction D11, and the lower notch in the vertical direction D2 138D is formed at the central portion.
  • One lower facing mark 137D is provided for one lower notch 138D.
  • the lower side surface mark 405D of the lower cushioning material 40 has a triangular shape so that when the undegraded lower cushioning material 40 is stored in the lower lid 13D, the apex faces the lower facing mark 137D in the left-right direction D3. Are listed.
  • the packaging structure 1 for packaging the substrate storage container 2 having the above configuration, the following effects can be obtained.
  • the lower facing mark 137D and the lower side mark 405D are in a positional relationship that does not face each other, it is easy to confirm that the lower cushioning material 40 has deteriorated. Can do.
  • FIG. 13 is a front view which shows the lower buffer material position recognition part 130E of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 based on 6th Embodiment of this invention.
  • the orientation of the lower facing mark 137E of the lower lid 13E constituting the lower cushioning material position recognition unit 130E and the orientation of the lower side face mark 405E of the lower cushioning material 40 are the same as those of the lower facing mark 137D of the fifth embodiment.
  • the direction is different from the direction of the lower side surface mark 405D. Since the configuration other than this is the same as that of the fifth embodiment, the same members are illustrated by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the lower facing mark 137E has a triangular shape and is formed below the two lower notches 138E.
  • the apex of the lower facing mark 137E faces the lower edge extending in the left-right direction D3 of the lower notch 138E on the left side when viewed from the front direction D11, and is the center of the lower edge extending in the left-right direction D3 of the lower notch 138E It is formed in the part.
  • One lower facing mark 137E is formed for one lower notch 138E.
  • the lower side surface mark 405E of the lower cushioning material 40 has a triangular shape so that when the undegraded lower cushioning material 40 is stored in the lower lid 13E, the apex faces the lower facing mark 137E in the vertical direction D2. Is formed.
  • the packaging structure 1 for packaging the substrate storage container 2 having the above configuration, the following effects can be obtained.
  • the lower cushioning material 40 is deteriorated because the lower facing mark 137E and the lower side mark 405E are not opposed to each other. Can do.
  • the lower cushioning material 40 has deterioration on the side surface in the left-right direction D3.
  • FIG. 14 is a perspective view showing a lower cushioning material position recognition unit 130F of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the seventh embodiment of the present invention.
  • the lower lid 13 can store the lower cushioning material 40F in a positional relationship in which the upper end of the lower cushioning material 40F is located above the upper edge 135 of the lower lid 13, and the lower cushioning material position recognition unit
  • the mark which comprises 130F differs from 1st Embodiment in the point currently described in the lower shock absorbing material 40 side. Since the configuration other than this is the same as that of the first embodiment, the same members are illustrated by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the lower lid 13 can store the lower cushioning material 40 in a positional relationship in which the upper end of the lower cushioning material 40F is located above the upper edge of the lower lid peripheral wall 132.
  • the lower cushioning material position recognition unit 130F includes a lower side surface mark 405F described on the side surface of the lower cushioning material 40F in the front direction D11 and a top edge 135 of the lower lid peripheral wall 132, which has a broken line shape extending in the left-right direction D3. Has been.
  • the lower side surface mark 405F coincides with the upper end edge 135 of the lower lid peripheral wall 132 in the vertical direction D2.
  • the packaging structure 1 for packaging the substrate storage container 2 according to the seventh embodiment having the above configuration the following effects can be obtained.
  • the lower cushioning material 40F is stored in the lower lid 13, if the lower side surface mark 405F does not coincide with the upper edge 135 of the lower lid peripheral wall 132, it can be easily confirmed that the lower cushioning material 40F is deteriorated. .
  • FIG. 15 is a perspective view showing a lower cushioning material position recognition unit 130G of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the eighth embodiment of the present invention.
  • the shape of the lower side surface mark 405G of the lower side surface mark 405G and the upper edge 135 of the lower lid peripheral wall 132 constituting the lower cushioning material position recognition unit 130G is different from that of the seventh embodiment. Since the configuration other than this is the same as that of the seventh embodiment, the same members are illustrated by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the lower lid 13 can store the lower cushioning material 40G in a positional relationship in which the upper end of the lower cushioning material 40G is positioned above the upper edge 135 of the lower lid peripheral wall 132.
  • the lower cushioning material position recognizing unit 130G has a triangular shape whose apex faces the lower direction D22 of the lower cushioning material 40G, and is described at positions near both ends of the front side surface of the lower cushioning material 40G in the left-right direction D3.
  • the lower side surface mark 405G and the upper edge 135 of the lower lid peripheral wall 132 are configured. When the lower cushioning material 40G which has not deteriorated is stored in the lower lid 13, the lower side surface mark 405G coincides with the upper end edge 135 of the lower lid peripheral wall 132 in the vertical direction D2.
  • the packaging structure 1 for packaging the substrate storage container 2 according to the eighth embodiment having the above configuration the following effects can be obtained.
  • the lower cushioning material 40G is housed in the lower lid 13, it can be easily confirmed that the lower cushioning material 40G is deteriorated because the lower side surface mark 405G does not coincide with the upper edge 135 of the lower lid peripheral wall 132. .
  • FIG. 16A is a perspective view showing a sleeve member 12H of the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the ninth embodiment of the present invention.
  • FIG. 16B is a plan view showing a packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the ninth embodiment of the present invention.
  • FIG. 16C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 16B.
  • the ninth embodiment differs from the first embodiment in that the sleeve member 12H can be folded in the left-right direction D3. Since the configuration other than this is the same as that of the first embodiment, the same members are illustrated by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the sleeve member 12H includes a first side plate 121H, a second side plate 122H, a front plate 123H, and a back plate 124H each having a rectangular plate shape, and extends in the vertical direction D2. It has a square cylindrical shape having an axis and opening at both ends.
  • the front plate 123H and the back plate 124H have a fold 126 extending in the vertical direction D2. By crushing the sleeve member 12H from the left-right direction D3, the front plate 123H and the back plate 124H are folded in a bellows shape along the fold line 126 in the left-right direction D3. As shown in FIG.
  • the folded sleeve member 12H has the vertical direction of FIG. 16B is placed in the upper direction D21 of the upper cushioning material 30 so that the surface of the first side plate 121H is in contact with the upper end surface of the upper cushioning material 30.
  • the upper lid 11 is placed in the upward direction D21 of the second side plate 122H so that the surface of the folded second side plate 122H of the sleeve member 12H contacts the inner surface of the top plate 111 of the upper lid 11, and the upper lid peripheral wall 112 Is placed on the upper end of the lower lid peripheral wall 132.
  • the sleeve member 12H can be stored together with the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 in the cushioning material storage box 100. Accordingly, when the sleeve member 12H is stored, dust adherence to the sleeve member 12H, ultraviolet irradiation, collision from the outside, and the like can be prevented, and deterioration of the sleeve member 12H can be suppressed.
  • FIG. 17A is a plan view showing a packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 according to the tenth embodiment of the present invention.
  • FIG. 17B is a cross-sectional view taken along the line DD of FIG. 17A.
  • the tenth embodiment is different from the first embodiment in that the upper lid peripheral wall 112K of the upper lid 11K and the lower lid peripheral wall 132K of the lower lid 13K have a double structure. Since the configuration other than this is the same as that of the first embodiment, the same members are illustrated by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the upper lid 11K includes a top plate 111K and an upper lid peripheral wall 112K.
  • the top plate 111K has a rectangular shape.
  • the upper lid peripheral wall 112K includes four rectangular plate-like members extending from the periphery of the top plate 111K in the downward direction D22 by a predetermined length L1, and a predetermined length L3 from the periphery of the top plate 111K to the inside of the top plate 111K. It is composed of four rectangular plate-like members extending from the moved position in the downward direction D22 by a predetermined length L2.
  • the upper lid 11K has a gap S1 that maintains a thickness of a predetermined length L3 in the vertical direction D2 between the inner side and the outer side of the upper lid peripheral wall 112K, one end is closed by the top plate 111K, and the other end is opened. It has a heavy square tube shape.
  • the predetermined length L1 is longer than the predetermined length L2, and the predetermined length L3 is substantially the same value as the thickness of the sleeve member 12.
  • the lower lid 13K has a bottom plate 131K and a lower lid peripheral wall 132K.
  • the bottom plate 131K has a rectangular shape.
  • the lower lid peripheral wall 132K has been moved by a predetermined length L3 from the periphery of the bottom plate 131K to the inside of the bottom plate 131K from the periphery of the bottom plate 131K and four rectangular plate-like members extending by a predetermined length L4 from the periphery of the bottom plate 131K. It is composed of four rectangular plate-like members extending from the position in the upward direction D21 by a predetermined length L5.
  • the lower lid peripheral wall 132K has a gap S2 that holds a thickness of a predetermined length L3 in the vertical direction D2 between the inner side and the outer side of the lower lid peripheral wall 132K, and one end is closed by the bottom plate 131K.
  • the predetermined length L4 is longer than the predetermined length L5, and the predetermined length L3 is substantially the same value as the thickness of the sleeve member 12.
  • the top plate 111 of the upper lid 11 is placed on the upper end portion of the sleeve member 12 in a state where the upper end portion of the sleeve member 12 is sandwiched between the gaps S1 of the upper lid peripheral wall 112K. Further, the lower end portion of the sleeve member 12 is placed on the bottom plate 131 of the lower lid 13 with the lower end portion of the sleeve member 12 being sandwiched by the gap S2 of the lower lid peripheral wall 132K.
  • the strength of the sleeve member 12 against the impact from the left-right direction D3 and the impact from the front-rear direction D1 can be increased, and the load resistance from the upward direction D21 can also be increased.
  • the present invention is not limited to the embodiment described above, and can be modified within the technical scope described in the claims.
  • the lower cushioning material 40 is directly disposed on the upper surface of the bottom plate 131 of the lower lid 13, but is not limited thereto.
  • the packing structure may be provided with an elastic support member that is disposed in the packing box, is elastically deformable, is supported by the bottom plate of the packing box, and supports the lower cushioning material.
  • the lower portion of the lower cushioning material 40 is formed in a cross-girder shape by the first lower cushioning member 41 and the second lower cushioning member 42 being orthogonal to each other.
  • the elastic support member may be, for example, any one of a coil spring, an air spring, gel, rubber, and a polymer foam having elasticity. Further, an elastic support member may be disposed between the lower cushioning material 40 and the bottom plate 131 so as to support the lower cushioning material 40 of the present embodiment.
  • the polymer foam having elasticity means that a polymer foam having no elasticity such as pumice is not included. Since the elastic support member is composed of any one of a coil spring, an air spring, gel, rubber, and an elastic polymer foam, the required elasticity can be obtained by appropriately selecting the material constituting the elastic support member. Can be demonstrated.
  • the packaging box 10 may be configured to include a sponge disposed on the upper surface of the bottom plate 131 of the lower lid 13 and a sponge that contacts the lower surface of the top plate 111 of the upper lid 11.
  • the bottom surface of the lower lid 13 (the outer surface of the bottom plate 131) may not be a flat surface.
  • the bottom surface of the lower lid 13 has legs.
  • the leg portions may be provided with resin-made leg portions that are supported at the four corners of the bottom surface of the lower lid 13 and protrude in the downward direction D22 by a predetermined length.
  • the packaging box is placed on the floor surface via the legs so as to be parallel to the floor surface.
  • a space of a predetermined length is provided on the bottom surface of the packaging box, and this space enables insertion of a transport portion such as a fork when the packaging box is moved by a transport machine such as a forklift.
  • the substrate storage container is not limited to the shape and size of the present embodiment.

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Abstract

　半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体は、梱包箱と、上部緩衝材３０と、下部緩衝材とを備える。梱包箱は、下蓋周壁１３２を有し下部緩衝材を収容可能な下蓋１３と、スリーブ部材１２と、上蓋周壁とを有しスリーブ部材１２の上端部に載置される上蓋とを備え、上蓋及び下蓋１３は、スリーブ部材１２が用いられずに、上部緩衝材３０及び下部緩衝材の緩衝材としての機能を維持可能な程度の保護性能を有して、上部緩衝材３０及び下部緩衝材を収納可能な緩衝材収納箱を構成する。梱包箱は、上下方向における下蓋周壁１３２と下部緩衝材との相対的な位置関係を認識可能な下部緩衝材位置認識部と、上下方向におけるスリーブ部材１２と上部緩衝材３０との相対的な位置関係を認識可能な上部緩衝材位置認識部１２０とを有する。

Description

基板収納容器を梱包するための梱包構造
　本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器を梱包するための梱包構造体に関する。
　半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と蓋体とを備える基板収納容器が、従来より知られている。このような基板収納容器が梱包箱内に梱包されて輸送される際には、梱包箱内に樹脂製の緩衝材等が配置される。そして、これらが梱包箱内において基板収納容器を保持し、梱包箱外部からの基板収納容器への衝撃や振動の伝達を低減して、容器及びウェーハの傷つきや破損を防止する（特許文献１参照）。
特開平７－３０７３７８号公報
　緩衝材は、保管時にホコリの付着や紫外線の照射により劣化し易い。このため、緩衝材としての機能を維持するために、密閉された暗室に（又は、ホコリの付着しない暗室の環境下で）保管する必要がある。また、基板収納容器を梱包する際に、緩衝材に劣化が無いことや、基板収納容器が、緩衝材に対して適切な位置に配置されていることを確認できることが好ましい。
　本発明は、緩衝材の劣化を防ぎ、緩衝材の劣化の有無と緩衝材に対する基板収納容器の適切な位置への配置とを容易に確認できる梱包構造体を提供することを目的とする。
　本発明は、半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、梱包箱と、前記梱包箱内において前記基板収納容器の上部に載置される上部緩衝材と、前記基板収納容器が載置される下部緩衝材であって、前記上部緩衝材と前記下部緩衝材とで上下方向において前記基板収納容器を挟むように前記梱包箱内に配置された下部緩衝材と、を備え、前記梱包箱は、底板と前記底板の周囲から上方へ延出する下蓋周壁とを有して前記下部緩衝材を収容可能な下蓋と、上下方向に延出する軸心を有する筒状のスリーブ部材と、天板と前記天板の周囲から下方へ延出する上蓋周壁とを有する上蓋と、を備え、前記スリーブ部材の下端部は、前記下蓋の底板の上に載置され、前記スリーブ部材の上端部には、前記上蓋の天板が載置され、前記上蓋及び前記下蓋は、前記スリーブ部材が用いられずに前記上蓋と前記下蓋とで、前記上部緩衝材及び前記下部緩衝材の緩衝材としての機能を維持可能な程度の保護性能を有して前記上部緩衝材及び前記下部緩衝材を収納可能な緩衝材収納箱を構成し、上下方向における前記下蓋周壁と前記下部緩衝材との相対的な位置関係を認識可能な下部緩衝材位置認識部と、上下方向における前記スリーブ部材と前記上部緩衝材との相対的な位置関係を認識可能な上部緩衝材位置認識部とを、有する梱包構造体に関する。
　また、前記梱包構造体は、前記梱包箱内に配置され、弾性変形可能であり、前記梱包箱の底板に支持され、前記下部緩衝材を支持する弾性支持部材を備えることが好ましい。
　また、前記下蓋及び前記スリーブ部材は、前記上部緩衝材の上端を前記スリーブ部材の上端縁に一致させた位置関係で前記下部緩衝材、前記基板収納容器、及び、前記上部緩衝材を収納可能であり、前記上部緩衝材位置認識部は、前記スリーブ部材の上端縁と、前記上部緩衝材の上端と、により構成されていることが好ましい。
　また、前記下蓋及び前記スリーブ部材は、前記上部緩衝材の上端を前記スリーブ部材の上端縁よりも下方へ位置させた位置関係で、前記下部緩衝材、前記基板収納容器、及び、前記上部緩衝材を収納可能であり、前記上部緩衝材位置認識部は、前記スリーブ部材の内面に記載された目印と、前記上部緩衝材の上端と、により構成されていることが好ましい。
　また、前記上部緩衝材位置認識部は、前記上部緩衝材の上端に位置し前記目印に対向可能な上部緩衝材側目印を有することが好ましい。
　また、前記下蓋及び前記スリーブ部材は、前記上部緩衝材の上端を前記スリーブ部材の上端縁よりも下方へ位置させた位置関係で、前記下部緩衝材、前記基板収納容器、及び、前記上部緩衝材を収納可能であり、前記スリーブ部材の上端部は、上方向へ開口する上部切欠きを有し、前記上部緩衝材位置認識部は、前記上部切欠き近傍の前記スリーブ部材の外面に記載された上部対向目印と、前記スリーブ部材の内面に対向する前記上部緩衝材の側面に記載された上部側面目印と、により構成されていることが好ましい。
　また、前記下蓋は、前記下部緩衝材の上端が前記下蓋周壁の延出端と一致した位置関係で前記下部緩衝材を収納可能であり、前記下部緩衝材位置認識部は、前記下蓋周壁の延出端縁と、前記下部緩衝材の上端と、により構成されていることが好ましい。
　また、前記下蓋は、前記下部緩衝材の上端を前記下蓋周壁の上端縁よりも下方へ位置させた位置関係で前記下部緩衝材を収納可能であり、前記下部緩衝材位置認識部は、前記下蓋周壁の内面に記載された目印と、前記下部緩衝材の上端と、により構成されていることが好ましい。
　また、前記下部緩衝材位置認識部は、前記下部緩衝材の上端に位置し前記目印に対向可能な下部緩衝材側目印を有することが好ましい。
　また、前記下蓋は、前記下部緩衝材の上端を前記下蓋周壁の上端縁よりも下方へ位置させた位置関係で前記下部緩衝材を収納可能であり、前記下蓋の上端部は、上方向へ開口する下部切欠きを有し、前記下部緩衝材位置認識部は、前記下部切欠き近傍の前記下蓋周壁の外面に記載された下部対向目印と、前記下蓋周壁の内面に対向する前記下部緩衝材の側面に記載された下部側面目印と、により構成されていることが好ましい。
　また、前記下蓋は、前記下部緩衝材の上端を前記下蓋周壁の上端縁よりも上方へ位置させた位置関係で前記下部緩衝材を収納可能であり、前記下部緩衝材位置認識部は、前記下蓋周壁の内面に対向する前記下部緩衝材の側面に記載された下部側面目印と、前記下蓋周壁の上端縁と、により構成されていることが好ましい。
　また、前記スリーブ部材を前記緩衝材収納箱内に収納可能であることが好ましい。
　また、前記下蓋周壁及び前記上蓋周壁は、二重構造を有し、前記スリーブ部材の下部は、二重の前記下蓋周壁の間に挿入可能であり、前記スリーブ部材の上部は、二重の前記上蓋周壁の間に挿入可能であることが好ましい。
　本発明によれば、緩衝材の劣化を防ぎ、緩衝材の劣化の有無と緩衝材に対する基板収納容器の適切な位置への配置とを容易に確認できる梱包構造体を提供することができる。
本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す外観斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す平面図である。 図１ＢのＡ－Ａ線に沿った断面図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の上蓋１１が取り外された状態を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１から上蓋１１及びスリーブ部材１２が取り外された状態を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材４０を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とを収納する緩衝材収納箱１００を示す外観斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とを収納する緩衝材収納箱１００を示す平面図である。 図４ＢのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１によって梱包される基板収納容器２を示す分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１のスリーブ部材１２のスリーブ部材側目印１２９を示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の上部緩衝材３０の上端３５とスリーブ部材側目印１２９とが一致しない状態を示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下蓋１３の下蓋側目印１３３示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材４０の上端４３と下蓋側目印１３３とが一致しない状態を示す斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１のスリーブ部材１２の内面及び上部緩衝材３０の上端にそれぞれ位置する上部緩衝材位置認識部１２０Ｂを示す斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下蓋周壁１３２の内面及び下部緩衝材４０の上端にそれぞれ位置する下部緩衝材位置認識部１３０Ｂを示す斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の上部緩衝材位置認識部１２０Ｃを示す斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の上部緩衝材位置認識部１２０Ｃを示す正面図である。 本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材位置認識部１３０Ｃを示す斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下蓋１３Ｃを示す正面図である。 本発明の第５実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材位置認識部１３０Ｄを示す正面図である。 本発明の第６実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材位置認識部１３０Ｅを示す正面図である。 本発明の第７実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材位置認識部１３０Ｆを示す斜視図である。 本発明の第８実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材位置認識部１３０Ｇを示す斜視図である。 本発明の第９実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１のスリーブ部材１２Ｈを示す斜視図である。 本発明の第９実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す平面図である。 図１６ＢのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 本発明の第１０実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す平面図である。 図１７ＡのＤ－Ｄ線に沿った断面図である。
　以下、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１について、図面を参照しながら説明する。図１Ａは、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す外観斜視図である。図１Ｂは、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の上面図である。図１Ｃは、図１ＢのＡ－Ａ線に沿った梱包構造体１の断面図である。図２Ａは、図１Ａの上蓋１１が取り外された状態を示す斜視図である。図２Ｂは、図２Ａのスリーブ部材１２を取り外した状態を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材４０を示す斜視図である。図４Ａは、本発明の第１実施形態に係る、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とを収納する緩衝材収納箱１００を示す外観斜視図である。図４Ｂは、本発明の第１実施形態に係る、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とを収納する緩衝材収納箱１００の上面図である。図４Ｃは、図４ＢのＢ－Ｂ線に沿った緩衝材収納箱１００の断面図である。図５は、本発明の第１実施形態に係る、梱包構造体１によって梱包される基板収納容器２を示す分解斜視図である。
　ここで、説明の便宜上、後述の梱包箱１０の背板１２４から前板１２３へ向かう方向（図１Ａにおける左下方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の底板１３１から天板１１１へと向かう方向（図１Ａにおける上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側板１２２から第１側板１２１へと向かう方向（図１Ａにおける左上方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。
　基板収納容器２は、図５に示すように、梱包構造体１により梱包される半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するためのものであり、容器本体２０２と、蓋体２０３とを有している。なお、図１Ｃ、図１７Ｂにおいては、便宜上、基板収納容器２の内部の図示を省略する。
　容器本体２０２は、一端部に容器本体開口部２２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２２０を有する。容器本体２０２内には基板収納空間２２７が形成されている。基板収納空間２２７は、壁部２２０により取り囲まれて形成されている。壁部２２０の部分であって基板収納空間２２７を形成している部分には、基板支持板状部２０５及びリアリテーナ（図示せず）が配置されている。基板収納空間２２７には、複数の基板Ｗを収納可能である。
　基板支持板状部２０５は、基板収納空間２２７内において対をなすように壁部２２０に設けられている。基板支持板状部２０５は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。リアリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
　蓋体２０３は、容器本体開口部２２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２２１を閉塞可能である。蓋体２０３には、フロントリテーナ（図示せず）が設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３の部分であって蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに基板収納空間２２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、リアリテーナ（図示せず）と対をなすように配置されている。
　フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、リアリテーナ（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
　基板収納容器２に収納される基板Ｗ（図５参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ～４５０ｍｍのシリコンウェーハである。
　基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、図１Ｃに示すように、梱包箱１０と、上部緩衝材３０と、下部緩衝材４０と、を備えている。梱包構造体１は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するために、基板収納容器２を梱包する。
　梱包箱１０は、図１Ａに示すように、それぞれいわゆるプラスチック段ボール箱（プラダン）により構成された上蓋１１と、スリーブ部材１２と、下蓋１３と、を備えており、全体として直方体形状を有している。
　上蓋１１は、天板１１１と上蓋周壁１１２とを有する。天板１１１は、長方形状を有している。上蓋周壁１１２は、天板１１１の周囲から下方向Ｄ２２へ延出する４枚の長方形状の板状を有しており、一端が天板１１１によって閉塞され他端が開口する四角筒状を有している。
　スリーブ部材１２は、図２Ａに示すように、それぞれ長方形状の板状を有する第１側板１２１、第２側板１２２、前板１２３、及び、背板１２４により構成されており、上下方向Ｄ２に延びる軸心を有して両端において開口する四角筒状を有している。スリーブ部材１２の第１側板１２１、第２側板１２２には、それぞれ前後方向Ｄ１に長い長円形状の貫通孔１２５が形成されている。作業者は、貫通孔１２５に手を挿入して、スリーブ部材１２を持ち上げることが可能である。
　図１Ｃに示すように、下蓋１３は、底板１３１と下蓋周壁１３２とを有する。底板１３１は、長方形状を有している。下蓋周壁１３２は、底板１３１の周囲から上方向Ｄ２１へ延出する４枚の長方形状の板状を有しており、一端が底板１３１によって閉塞され他端が開口する四角筒状を有している。
　図１Ｃに示すように、スリーブ部材１２の上端部には、スリーブ部材１２の上端部の周囲が上蓋周壁１１２によって取り囲まれる位置関係で、上蓋１１の天板１１１が載置される。また、スリーブ部材１２の下端部は、スリーブ部材１２の下端部の周囲が下蓋周壁１３２によって取り囲まれる位置関係で、下蓋１３の底板１３１の上に載置される。これにより、上蓋１１、スリーブ部材１２、及び、下蓋１３から構成される梱包箱１０が組み立てられる。
　また、図４Ｃに示すように、上蓋周壁１１２の下端部は、下蓋周壁１３２の上端部に載置可能である。
　上部緩衝材３０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を上部緩衝材３０に直接載置しても塑性変形せずに上部緩衝材３０自体の形状を保持可能な硬さを有している。また、上部緩衝材３０は、梱包箱１０に作用して上部緩衝材３０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する材質により構成されている。従って、上部緩衝材３０は、所定の衝撃よりも強い衝撃を受けると塑性変形して形状が元に戻らなくなるが、所定の衝撃よりも弱い衝撃については吸収可能であり、このような衝撃では、ほとんど変形しない。本実施形態では、上部緩衝材３０は、発泡スチロールにより構成されている。
　上部緩衝材３０の上部は、図２Ｂに示すように、前後方向Ｄ１に所定の間隔を保持しながら左右方向Ｄ３に伸びる２本の第１上部緩衝部材３１と、左右方向Ｄ３に所定の間隔を保持しながら前後方向Ｄ１に伸びる２本の第２上部緩衝部材３２とにより構成されており、これらが直交することにより、井桁状に形成されている。また、２本の第１上部緩衝部材３１のうち、第１上部緩衝部材３１１は前側面側に位置し、第１上部緩衝部材３１２は後側面側に位置する。
　上部緩衝材３０の２本の第２上部緩衝部材３２に挟まれる第１上部緩衝部材３１１の部分には、前方向Ｄ１１へ突出する凸部３３が設けられている。同様に、２本の第２上部緩衝部材３２に挟まれた第１上部緩衝部材３１２の部分には、後方向Ｄ１２へ突出する凸部３４が設けられている。
　上部緩衝材３０の下部は、略直方体形状を有している。図１Ｃに示すように、上部緩衝材３０の下部には、下方向Ｄ２２へ突出する凸状部分３６１が設けられている。従って、上部緩衝材３０の下部は、凸状部分３６１に対して相対的に上方向Ｄ２１へ窪んだ凹部３７１を有する。凹部３７１は、基板収納容器２の蓋体２０３の上部及び容器本体２０２の上部と略同一形状を有している。基板収納容器２の上部に上部緩衝材３０が載置されることにより、凹部３７１には、蓋体２０３の上部及び容器本体２０２の上部が係合する。
　上部緩衝材３０においては、左側面、右側面、前側面、及び、後側面は、それぞれ面一に形成され、上部緩衝材３０の井桁形状の上端も面一に形成されている。
　下部緩衝材４０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を下部緩衝材４０に直接載置しても塑性変形せずに下部緩衝材４０自体の形状を保持可能な硬さを有している。また、下部緩衝材４０は、梱包箱１０に作用して下部緩衝材４０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する材質により構成されている。本実施形態では、上部緩衝材３０と同一の発泡スチロールにより構成されている。
　下部緩衝材４０の上部は、図３に示すように、略直方体形状を有している。下部緩衝材４０の下部は、上部緩衝材３０の上部と同様に、前後方向Ｄ１に所定の間隔を保持しながら左右方向Ｄ３に伸びる２本の第１下部緩衝部材４１と、左右方向Ｄ３に所定の間隔を保持しながら前後方向Ｄ１に伸びる２本の第２下部緩衝部材４２とにより構成されており、これらが相互に直交することにより、井桁状に形成されている。また、２本の第１下部緩衝部材４１のうち、第１下部緩衝部材４１１は前側面側に位置し、第１下部緩衝部材４１２は後側面側に位置する。また、２本の第２下部緩衝部材４２のうち、第２下部緩衝部材４２１は左側面側に位置し、第２下部緩衝部材４２２は右側面側に位置する。
　下部緩衝材４０の２本の第２下部緩衝部材４２に挟まれる第１下部緩衝部材４１１の部分には、前方向Ｄ１１へ突出する凸部４０３が設けられている。同様に、２本の第２下部緩衝部材４２に挟まれた第１下部緩衝部材４１２の部分には、後方向Ｄ１２へ突出する凸部（図示せず）が設けられている。また、下部緩衝材４０の２本の第１下部緩衝部材４１に挟まれる第２下部緩衝部材４２１の部分には、左方向Ｄ３１へ突出する凸部４０１（図示せず）が設けられている。同様に、２本の第１下部緩衝部材４１に挟まれた第２下部緩衝部材４２２の部分には、右方向Ｄ３２へ突出する凸部４０２が設けられている。
　下部緩衝材４０の上部には、図１Ｃ及び図３に示すように、上方向Ｄ２１へ突出する凸状部分４６１が設けられている。従って、下部緩衝材４０の上部は、凸状部分４６１に対して相対的に下方向Ｄ２２へ窪んだ凹部４７１を有する。凹部４７１は、基板収納容器２の容器本体２０２の下部と略同一形状を有しており、凹部４７１には、容器本体２０２の下部が係合する。
　下部緩衝材４０においては、左側面、右側面、前側面、及び、後側面は、それぞれ面一に形成され、下部緩衝材４０の井桁形状の下端も面一に形成されている。
　即ち、下部緩衝材４０には基板収納容器２が載置され、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とで上下方向Ｄ２において基板収納容器２を挟むようにして、上部緩衝材３０、下部緩衝材４０、及び、基板収納容器２は、梱包箱１０内に配置される。上部緩衝材３０の下部は、上下方向Ｄ２において、下部緩衝材４０の上部に載置可能である。
　上部緩衝材３０の上端は、上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０に劣化がなく、且つ基板収納容器２が上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とに対しての正しく係合されるとき、スリーブ部材１２の上端縁と一致する。また、下部緩衝材４０の上端は、下部緩衝材４０に劣化がないとき、下蓋１３の下蓋周壁１３２の上端縁と一致する。
　即ち、上部緩衝材３０の上端、及び、スリーブ部材１２の上端縁は、上下方向Ｄ２における前記スリーブ部材１２と前記上部緩衝材３０との相対的な位置関係を認識可能な上部緩衝材位置認識部を構成しており、梱包構造体１は、上部緩衝材位置認識部を有している。同様に、下部緩衝材４０の上端、及び、下蓋１３の下蓋周壁１３２の上端縁は、上下方向Ｄ２における前記下蓋周壁１３２と前記下部緩衝材４０との相対的な位置関係を認識可能な下部緩衝材位置認識を構成しており、梱包構造体１は、下部緩衝材位置認識部を有している。
　図１Ｃに示すように、下部緩衝材４０は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、下蓋１３の底板１３１の上面に対して下部緩衝材４０の下部が面当接するように、梱包箱１０内において基板収納容器２の下方に配置される。
　上部緩衝材３０の上部と下部緩衝材４０の上部とは、同じ大きさの略直方体形状を有している。また、基板収納容器２が、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とで上下方向Ｄ２において挟まれるようにして梱包箱１０内に配置されるとき、上部緩衝材３０の左側面と下部緩衝材４０の左側面とは面一であり、上部緩衝材３０の右側面と下部緩衝材４０の右側面とは面一である。同様に、上部緩衝材３０の前側面と下部緩衝材４０の前側面とは面一であり、上部緩衝材３０の後側面と下部緩衝材４０の後側面とは面一である。これら上部緩衝材３０の側面及び下部緩衝材４０の側面は、スリーブ部材１２の内面に接している。
　一方、図４Ｃに示すように、上蓋１１の内側における上下方向Ｄ２の高さＨ１１は、上部緩衝材３０を十分収納できる程度に高い。具体的には、上蓋１１の上蓋周壁１１２の高さＨ１１は、上部緩衝材３０の上下方向Ｄ２の高さＨ３０と同じである。また、上蓋１１の高さＨ１１は、上部緩衝材３０の上下方向Ｄ２の高さＨ３０より高くてもよい。下蓋１３の内側における上下方向Ｄ２の高さＨ１３は、下部緩衝材４０を十分収納できる程度に高い。具体的には、下蓋１３の下蓋周壁１３２の高さＨ１３は、下部緩衝材４０の上下方向Ｄ２の高さＨ４０と同じである。また、下蓋１３の高さＨ１３は、下部緩衝材４０の上下方向Ｄ２の高さＨ４０より高くてもよい。
　即ち、上蓋１１及び下蓋１３は、上下方向Ｄ２において載置された上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０を、上蓋１１と下蓋１３とで、挟むように収納する。上蓋１１と下蓋１３とで構成される空間は、略密閉されている。
　上記構成の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　梱包構造体１は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するためのものであリ、梱包箱１０と、梱包箱１０内において基板収納容器２の上部に載置される上部緩衝材３０と、基板収納容器２が載置される下部緩衝材４０であって、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とで上下方向Ｄ２において基板収納容器２を挟むように梱包箱１０内に配置された下部緩衝材４０とを備え、梱包箱１０は、底板１３１と底板１３１の周囲から上方向Ｄ２１へ延出する下蓋周壁１３２とを有して下部緩衝材４０を収容可能な下蓋１３と、上下方向Ｄ２に延出する軸心を有する筒状のスリーブ部材１２と、天板１１１と天板１１１の周囲から下方向Ｄ２２へ延出する上蓋周壁１１２とを有する上蓋１１とを備え、スリーブ部材１２の下端部は、下蓋１３の底板１３１の上に載置され、スリーブ部材１２の上端部には、上蓋１１の天板１１１が載置される。また、上蓋１１及び下蓋１３は、スリーブ部材１２が用いられずに上蓋１１と下蓋１３とで、上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０の緩衝材としての機能を維持可能な程度の保護性能を有して上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０を収納可能な緩衝材収納箱１００を構成し、上下方向Ｄ２における下蓋周壁１３２と下部緩衝材４０との相対的な位置関係を認識可能な下部緩衝材位置認識部と、上下方向Ｄ２におけるスリーブ部材１２と上部緩衝材３０との相対的な位置関係を認識可能な上部緩衝材位置認識部とを有している。
　この構成により、上蓋１１と、上部緩衝材３０と、スリーブ部材１２とが簡単に取り外され、梱包箱１０に梱包された基板収納容器２は、垂直方向（上下方向Ｄ２）に持ち上げられることなく、梱包箱１０から容易に取り出し可能になる。また、基板収納容器２を梱包箱１０によって梱包する際も、基板収納容器２は、垂直方向（上下方向Ｄ２）に高く持ち上げられることなく、下蓋１３に配置される下部緩衝材４０の上部に容易に載置され、スリーブ部材１２と、上部緩衝材３０と、上蓋１１と、が組み付けられ梱包される。このため、基板の寸法が大きくなり基板収納容器２が重い場合であっても、基板収納容器２を梱包構造体１によって容易に梱包することができ、また、容易に開梱することができる。また、上蓋１１及び下蓋１３は、上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０を、上蓋１１と下蓋１３とで挟むように収納し、暗室で略密閉状態の空間を提供する緩衝材収納箱１００を構成する。従って、上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０へのホコリの付着と紫外線の照射とが防がれ、上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０の劣化を抑えることができる。従って、緩衝材としての機能性を長期にわたり維持することができる。
　また、下蓋１３及びスリーブ部材１２は、上部緩衝材３０の上端をスリーブ部材１２の上端縁に一致させた位置関係で下部緩衝材４０、基板収納容器２、及び、上部緩衝材３０を収納可能であり、上部緩衝材位置認識部は、スリーブ部材１２の上端縁により構成されている。
　この構成により、上部緩衝材３０の上端は、上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０に劣化がなく、且つ基板収納容器２が上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とに対して正しく係合されて下蓋１３及びスリーブ部材１２に収納されるとき、スリーブ部材１２の上端縁と一致する。このため、基板収納容器２を梱包箱１０によって梱包する際に、上部緩衝材３０の上端と、スリーブ部材１２の上端縁とが一致しないことにより、基板収納容器２が適切な位置に配置されていないこと、及び／又は上部緩衝材３０に劣化があること、及び／又は下部緩衝材４０に劣化があることを容易に判断することができる。
　また、下蓋１３は、下部緩衝材４０の上端が下蓋周壁１３２の延出端と一致した位置関係で下部緩衝材４０を収納可能であり、下部緩衝材位置認識部は、下部緩衝材４０の上端と下蓋周壁１３２の延出端縁とにより構成されている。
　この構成により、下部緩衝材４０の上端は、劣化していない下部緩衝材４０を下蓋１３に収納したとき、下蓋１３の下蓋周壁１３２の上端縁と一致する。このため、基板収納容器２を梱包箱１０によって梱包する際に、下部緩衝材４０の上端と下蓋１３の下蓋周壁１３２の上端縁とが一致しないことにより、下部緩衝材４０に劣化があることを容易に判断することができる。
　以下、本発明の第２実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１について説明する。図６Ａは、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１のスリーブ部材１２の上部緩衝材位置認識部１２０Ａを示す斜視図である。図６Ｂは、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の上部緩衝材３０の上端部と上部緩衝材位置認識部１２０Ａとが一致しない状態を示す斜視図である。図７Ａは、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下蓋１３の下部緩衝材位置認識部１３０Ａを示す斜視図である。図７Ｂは、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材４０の上端部と下部緩衝材位置認識部１３０Ａとが一致しない状態を示す斜視図である。
　第２実施形態では、上部緩衝材位置認識部１２０Ａは、スリーブ部材１２の内面に記載されるスリーブ部材側目印１２９と上部緩衝材３０の上端３５とにより構成され、下部緩衝材位置認識部１３０Ａは、下蓋周壁１３２の内面に記載される下蓋側目印１３３と下部緩衝材４０の上端４３とにより構成される点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　第２実施形態において、スリーブ部材１２の内面に記載されるスリーブ部材側目印１２９は、左右方向Ｄ３と平行な破線形状を有している。上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０に劣化がなく、且つ基板収納容器２が上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とに対して正しく係合されて下蓋１３及びスリーブ部材１２に収納されるとき、スリーブ部材１２の内面に記載されるスリーブ部材側目印１２９は、第２上部緩衝部材３２の後方向Ｄ１２における側面の上端と、第１上部緩衝部材３１２の凸部３４の後方向Ｄ１２における側面の上端とにそれぞれ一致するように、スリーブ部材１２の背板１２４の内面に記載されている。第２上部緩衝部材３２の後方向Ｄ１２における側面の上端、及び第１上部緩衝部材３１２の凸部３４の後方向Ｄ１２における側面の上端は、上部緩衝材３０の上端３５の一部分であり、互いに面一の位置関係を有する。
　また、第２実施形態において、下蓋周壁１３２の内面に記載される下蓋側目印１３３は、左右方向Ｄ３と平行な破線形状を有している。下蓋周壁１３２の内面に記載される下蓋側目印１３３は、劣化していない下部緩衝材４０を下蓋１３に収納したときに、下部緩衝材４０の後方向Ｄ１２における側面の上端４３と一致するように下蓋１３の後方向Ｄ１２側の下蓋周壁１３２の内面に記載されている。
　上記構成の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　基板収納容器２を梱包箱１０によって梱包する際に、下部緩衝材４０の上端４３と下蓋周壁１３２の内面に記載される下蓋側目印１３３とが一致しないことにより、下部緩衝材４０に劣化があることを容易に確認することができる。また、下蓋１３及びスリーブ部材１２に、下部緩衝材４０、基板収納容器２、及び上部緩衝材３０を収納したとき、第２上部緩衝部材３２の後方向Ｄ１２における側面の上端と、第１上部緩衝部材３１２の凸部３４の後側面の上端とが、スリーブ部材１２の内面に記載されるスリーブ部材側目印１２９に一致しないことにより、基板収納容器２が適切な位置に配置されていないこと、及び／又は上部緩衝材３０に劣化があること、及び／又は下部緩衝材４０に劣化があることを容易に判断することができる。
　以下、本発明の第３実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１について説明する。図８は、本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１のスリーブ部材１２の内面及び上部緩衝材３０の上端にそれぞれ位置する上部緩衝材位置認識部１２０Ｂを示す斜視図である。図９は、本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下蓋周壁１３２の内面及び下部緩衝材４０の上端にそれぞれ位置する下部緩衝材位置認識部１３０Ｂを示す斜視図である。
　第３実施形態では、上部緩衝材位置認識部１２０Ｂは、下蓋１３及びスリーブ部材１２に、下部緩衝材４０、基板収納容器２、及び上部緩衝材３０を収納したとき、スリーブ部材１２の内面に記載される目印と、スリーブ部材１２の内面に記載される目印に対向可能な目印とから構成される点において、第２実施形態とは異なる。また、下部緩衝材位置認識部１３０Ｂは、下蓋１３に下部緩衝材４０を収納したとき、下蓋周壁の内面に記載された目印と、下部緩衝材４０の上端に記載される目印とから構成される点において、第２実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第２実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　第３実施形態において、上部緩衝材位置認識部１２０Ｂは、スリーブ部材１２の内面に記載され頂点が下方向Ｄ２２へ向いた三角形状を有する２つのスリーブ部材側目印１２９Ｂと、上部緩衝材３０の上端に位置しスリーブ部材側目印１２９Ｂに対向可能な２つの上部緩衝材側目印３０６とから構成されている。一方、下部緩衝材位置認識部１３０Ｂは、下蓋周壁１３２の内面に記載され頂点が近傍の下蓋周壁１３２の下方向Ｄ２２へ向いた三角形状を有する２つの下蓋側目印１３３Ｂと、下部緩衝材４０の上端に位置し下蓋側目印１３３Ｂに対向可能な２つの下部緩衝材側目印４０６とから構成されている。
　正三角形状を有するスリーブ部材側目印１２９Ｂの頂点は、上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０に劣化がなく、且つ基板収納容器２が上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とに対して正しく係合されて下蓋１３及びスリーブ部材１２に収納されるとき、三角形状を有する上部緩衝材側目印３０６の頂点と対向する。一方、劣化していない下部緩衝材４０を下蓋１３に収納したとき、三角形状を有する下蓋側目印１３３Ｂの頂点は、三角形状を有する下部緩衝材側目印４０６の頂点と対向する。
　上記構成の第３実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　基板収納容器２を梱包箱１０によって梱包する際に、下蓋側目印１３３Ｂの頂点と下部緩衝材側目印４０６の頂点とが対向しないことにより、下部緩衝材４０に劣化があることを容易に確認することができる。また、下蓋１３及びスリーブ部材１２に、下部緩衝材４０、基板収納容器２、及び上部緩衝材３０を収納したとき、スリーブ部材側目印１２９Ｂの頂点と、上部緩衝材側目印３０６の頂点とが対向しないことにより、基板収納容器２が適切な位置に配置されていないこと、及び／又は上部緩衝材３０に劣化があること、及び／又は下部緩衝材４０に劣化があることを容易に判断することができる。スリーブ部材側目印１２９Ｂの頂点と、上部緩衝材側目印３０６の頂点とが対向せず、特に左右方向Ｄ３にズレを生じている場合は、上部緩衝材３０が、左右方向Ｄ３の側面に劣化を有することを容易に判断することができる。同様に、下蓋側目印１３３Ｂの頂点と下部緩衝材側目印４０６の頂点とが対向せず、特に左右方向Ｄ３にズレを生じている場合は、下部緩衝材４０が、左右方向Ｄ３の側面に劣化を有することを容易に判断することができる。
　以下、本発明の第４実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１について説明する。図１０Ａは、本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の上部緩衝材位置認識部１２０Ｃを示す斜視図である。図１０Ｂは、本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す正面図である。図１１Ａは、本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材位置認識部１３０Ｃを示す斜視図である。図１１Ｂは、本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下蓋１３Ｃを示す正面図である。
　第４実施形態では、上部緩衝材位置認識部１２０Ｃは、スリーブ部材１２Ｃの上部切欠き１２８と、スリーブ部材１２Ｃの上部対向目印１２７と、上部緩衝材３０Ｃの上部側面目印３０５とから構成される点について、第１実施形態の上部緩衝材位置認識部とは異なる。また、第４実施形態では、下部緩衝材位置認識部１３０Ｃは、下蓋１３Ｃの下部切欠き１３８Ｃと、下蓋周壁１３２Ｃの下部対向目印１３７Ｃと、下部緩衝材４０Ｃの下部側面目印４０５とから構成される点について、第１実施形態の下部緩衝材位置認識部とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　第４実施形態において、スリーブ部材１２Ｃの前板１２３Ｃ及び後板１２４Ｃの上端部は、それぞれ上方向Ｄ２１へ開口する四角形状を有した２つの上部切欠き１２８を備えている。上部切欠き１２８からは、第２上部緩衝部材３２の前方向Ｄ１１の側面が見える。また、前板１２３Ｃ及び後板１２４Ｃの外面の上端部付近には、２つの上部切欠き１２８の間に形成され、左右方向Ｄ３に平行で、且つ破線により形成される上部対向目印１２７が設けられている。上部緩衝材３０Ｃにおいて、第２上部緩衝部材３２の前後方向Ｄ１における側面には、左右方向Ｄ３に延びる実線で形成される上部側面目印３０５が設けられている。上部側面目印３０５は、上部切欠き１２８の開口部から目視可能である。上部緩衝材３０Ｃ及び下部緩衝材４０Ｃに劣化がなく、且つ基板収納容器２が上部緩衝材３０Ｃと下部緩衝材４０Ｃとに対して正しく係合されて下蓋１３Ｃ及びスリーブ部材１２に収納されるとき、上部側面目印３０５が、前方向Ｄ１１又は後方向Ｄ１２から見て上部対向目印１２７と一直線になる位置関係で、下蓋１３及びスリーブ部材１２に、下部緩衝材４０Ｃ、基板収納容器２、及び上部緩衝材３０Ｃが収納される。
　第４実施形態において、図１１Ａに示すように、下蓋１３Ｃの前方向Ｄ１１側及び後方向Ｄ１２側の下蓋周壁１３２の上端部は、それぞれ上方向Ｄ２１へ開口する四角形状を有した２つの下部切欠き１３８Ｃを備えている。下部切欠き１３８からは、下部緩衝材４０Ｃの前方向Ｄ１１の側面、又は下部緩衝材４０Ｃの後方向Ｄ１２の側面が見える。また、前方向Ｄ１１側及び後方向Ｄ１２側の下蓋周壁１３２Ｃの上端部付近には、２つの下部切欠き１３８Ｃの間に形成され、左右方向Ｄ３に平行で、且つ破線により形成される下部対向目印１３７Ｃが設けられている。下部緩衝材４０Ｃの前後方向Ｄ１の側面には、左右方向Ｄ３に実線で形成される、下部側面目印４０５が設けられている。下部側面目印４０５は、下部切欠き１３８Ｃの開口部から目視可能である。下部緩衝材４０Ｃに劣化がない場合に、下部側面目印４０５が、前方向Ｄ１１又は後方向Ｄ１２から見て下部対向目印１３７Ｃと一直線になる位置関係で、下蓋１３に下部緩衝材４０Ｃが収納される。
　上記構成の第４実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　基板収納容器２を梱包箱１０によって梱包する際に、下部側面目印４０５が、下部対向目印１３７Ｃと一直線になる位置関係でないときは、下部緩衝材４０Ｃに劣化があることを容易に確認することができる。また、下蓋１３Ｃ及びスリーブ部材１２に、下部緩衝材４０Ｃ、基板収納容器２、及び上部緩衝材３０Ｃを収納したとき、上部側面目印３０５が上部対向目印１２７と一直線になる位置関係でないときは、基板収納容器２が適切な位置に配置されていないこと、及び／又は上部緩衝材３０Ｃに劣化があること、及び／又は下部緩衝材４０Ｃに劣化があることを容易に判断することができる。
　以下、本発明の第５実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１について説明する。図１２は、本発明の第５実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材位置認識部１３０Ｄを示す正面図である。
　第５実施形態では、下部緩衝材位置認識部１３０Ｄを構成する下蓋１３Ｄの下部対向目印１３７Ｄ、下部緩衝材４０の下部側面目印４０５Ｄの形状が、第４実施形態の下部対向目印１３７Ｃ、下部側面目印４０５Ｃとは異なる。これ以外の構成については、第４実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　第５実施形態において、２つの下部対向目印１３７Ｄは、三角形状を有し、２つの下部切欠き１３８Ｄの間に形成される。下部対向目印１３７Ｄの一方の頂点は、前方向Ｄ１１から見て左側の下部切欠き１３８Ｄの上下方向Ｄ２に伸びる下部切欠き１３８Ｄの右側端縁に対向し、且つ上下方向Ｄ２における下部切欠き１３８Ｄの中央部分に形成されている。また、下部対向目印１３７Ｄの他方の頂点は、前方向Ｄ１１から見て右側の下部切欠き１３８Ｄの上下方向Ｄ２に伸びる下部切欠き１３８Ｄの左側端縁に対向し、且つ上下方向Ｄ２における下部切欠き１３８Ｄの中央部分に形成されている。１つの下部切欠き１３８Ｄに対して、１つの下部対向目印１３７Ｄが設けられている。下部緩衝材４０の下部側面目印４０５Ｄは、三角形状を有し、劣化していない下部緩衝材４０を下蓋１３Ｄに収納したとき、左右方向Ｄ３において、頂点が下部対向目印１３７Ｄに対向するように記載されている。
　上記構成の第５実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　基板収納容器２を梱包箱１０によって梱包する際に、下部対向目印１３７Ｄと、下部側面目印４０５Ｄとが対向しない位置関係にあるときは、下部緩衝材４０に劣化があることを容易に確認することができる。
　以下、本発明の第６実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１について説明する。図１３は、本発明の第６実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材位置認識部１３０Ｅを示す正面図である。
　第６実施形態では、下部緩衝材位置認識部１３０Ｅを構成する下蓋１３Ｅの下部対向目印１３７Ｅの向き、下部緩衝材４０の下部側面目印４０５Ｅの向きが、第５実施形態の下部対向目印１３７Ｄの向き、下部側面目印４０５Ｄの向きとは異なる。これ以外の構成については、第５実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　第６実施形態において、下部対向目印１３７Ｅは、三角形状を有し、２つの下部切欠き１３８Ｅの下方にそれぞれ形成される。下部対向目印１３７Ｅの頂点は、前方向Ｄ１１から見て左側の下部切欠き１３８Ｅの左右方向Ｄ３に伸びる下側端縁に対向し、下部切欠き１３８Ｅの左右方向Ｄ３に伸びる下側端縁の中央部分に形成されている。１つの下部切欠き１３８Ｅに対して、１つの下部対向目印１３７Ｅが形成されている。下部緩衝材４０の下部側面目印４０５Ｅは、三角形状を有し、劣化していない下部緩衝材４０を下蓋１３Ｅに収納したとき、上下方向Ｄ２において、頂点が下部対向目印１３７Ｅに対向するように形成されている。
　上記構成の第６実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　基板収納容器２を梱包箱１０によって梱包する際に、下部対向目印１３７Ｅと、下部側面目印４０５Ｅとが対向しない位置関係にあることにより、下部緩衝材４０に劣化があることを容易に確認することができる。特に左右方向Ｄ３にズレが生じている場合は、下部緩衝材４０が、左右方向Ｄ３の側面に劣化を有することを容易に判断することができる。
　以下、本発明の第７実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１について説明する。図１４は、本発明の第７実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材位置認識部１３０Ｆを示す斜視図である。
　第７実施形態では、下蓋１３は、下部緩衝材４０Ｆの上端が下蓋１３の上端縁１３５よりも上方へ位置した位置関係で下部緩衝材４０Ｆを収納可能であり、下部緩衝材位置認識部１３０Ｆを構成する目印が、下部緩衝材４０側に記載されている点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　第７実施形態では、下蓋１３は、下部緩衝材４０Ｆの上端が下蓋周壁１３２の上端縁よりも上方へ位置した位置関係で下部緩衝材４０を収納可能である。下部緩衝材位置認識部１３０Ｆは、左右方向Ｄ３に伸びる破線形状を有する、下部緩衝材４０Ｆの前方向Ｄ１１の側面に記載される下部側面目印４０５Ｆ、及び、下蓋周壁１３２の上端縁１３５により構成されている。劣化していない下部緩衝材４０を下蓋１３に収納したとき、下部側面目印４０５Ｆは、上下方向Ｄ２において下蓋周壁１３２の上端縁１３５に一致する。
　上記構成の第７実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　下部緩衝材４０Ｆを下蓋１３に収納した際に、下部側面目印４０５Ｆが下蓋周壁１３２の上端縁１３５に一致しないときは、下部緩衝材４０Ｆに劣化があることを容易に確認することができる。
　以下、本発明の第８実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１について説明する。図１５は、本発明の第８実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１の下部緩衝材位置認識部１３０Ｇを示す斜視図である。
　第８実施形態では、下部緩衝材位置認識部１３０Ｇを構成する下部側面目印４０５Ｇ及び下蓋周壁１３２の上端縁１３５のうち、下部側面目印４０５Ｇの形状が第７実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第７実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　第８実施形態では、下蓋１３は、下部緩衝材４０Ｇの上端が下蓋周壁１３２の上端縁１３５よりも上方へ位置した位置関係で下部緩衝材４０Ｇを収納可能である。下部緩衝材位置認識部１３０Ｇは、頂点が下部緩衝材４０Ｇの下方向Ｄ２２へ向いた三角形状を有しており左右方向Ｄ３における下部緩衝材４０Ｇの前側面の両端近傍の位置に記載されている下部側面目印４０５Ｇと、下蓋周壁１３２の上端縁１３５とにより構成されている。劣化していない下部緩衝材４０Ｇを下蓋１３に収納したとき、下部側面目印４０５Ｇは、上下方向Ｄ２において下蓋周壁１３２の上端縁１３５に一致する。
　上記構成の第８実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　下部緩衝材４０Ｇを下蓋１３に収納した際に、下部側面目印４０５Ｇが下蓋周壁１３２の上端縁１３５に一致しないことにより、下部緩衝材４０Ｇに劣化があることを容易に確認することができる。
　以下、本発明の第９実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１について説明する。図１６Ａは、本発明の第９実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１のスリーブ部材１２Ｈを示す斜視図である。図１６Ｂは、本発明の第９実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す平面図である。図１６Ｃは、図１６ＢのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　第９実施形態では、スリーブ部材１２Ｈが左右方向Ｄ３において折りたたむことができる点で、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　スリーブ部材１２Ｈは、図１６Ａに示すように、それぞれ長方形状の板状を有する第１側板１２１Ｈ、第２側板１２２Ｈ、前板１２３Ｈ、及び、背板１２４Ｈにより構成されており、上下方向Ｄ２に延びる軸心を有して両端において開口する四角筒状を有している。前板１２３Ｈ及び背板１２４Ｈは、上下方向Ｄ２に伸びる折り目１２６を有する。スリーブ部材１２Ｈを、左右方向Ｄ３から押しつぶすことにより、前板１２３Ｈ及び背板１２４Ｈは、折り目１２６に沿って左右方向Ｄ３へ蛇腹状に折りたたまれる。図１６Ｃに示すように、下蓋１３に下部緩衝材４０を収納し、上部緩衝材３０を下部緩衝材４０の上に載置した後に、折りたたまれたスリーブ部材１２Ｈは、図１６Ａの上下方向と図１６Ｂの上下方向とが一致する向きで、第１側板１２１Ｈの面が上部緩衝材３０の上端面に接するように、上部緩衝材３０の上方向Ｄ２１に載置される。上蓋１１は、折りたたまれたスリーブ部材１２Ｈの第２側板１２２Ｈの面が上蓋１１の天板１１１の内側の面と接するように、第２側板１２２Ｈの上方向Ｄ２１に載置され、且つ上蓋周壁１１２の下端部は、下蓋周壁１３２の上端部に載置される。
　この構成により、スリーブ部材１２Ｈを、上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０とまとめて、緩衝材収納箱１００へ収納することができる。従って、スリーブ部材１２Ｈ保管時における、スリーブ部材１２Ｈへのホコリの付着、紫外線の照射、外部からの衝突等が防がれ、スリーブ部材１２Ｈの劣化を抑えることができる。
　以下、本発明の第１０実施形態による、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１について説明する。図１７Ａは、本発明の第１０実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す平面図である。図１７Ｂは、図１７ＡのＤ－Ｄ線に沿った断面図である。
　第１０実施形態では、上蓋１１Ｋの上蓋周壁１１２Ｋ及び下蓋１３Ｋの下蓋周壁１３２Ｋが二重構造になっている点で、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　第１０実施形態において、上蓋１１Ｋは、天板１１１Ｋと上蓋周壁１１２Ｋとを有する。天板１１１Ｋは、長方形状を有している。上蓋周壁１１２Ｋは、天板１１１Ｋの周囲から下方向Ｄ２２へ所定長さＬ１だけ延出する４枚の長方形の板状部材と、天板１１１Ｋの周囲より天板１１１Ｋの内側へ所定長さＬ３だけ移動した位置から下方向Ｄ２２へ所定長さＬ２だけ延出する４枚の長方形の板状部材とから構成されている。そして、上蓋１１Ｋは、上蓋周壁１１２Ｋの内側と外側の間に、上下方向Ｄ２に所定長さＬ３の厚みを保持する隙間Ｓ１を有し、一端が天板１１１Ｋによって閉塞され他端が開口する二重の四角筒状を有している。所定長さＬ１は所定長さＬ２よりも長く、所定長さＬ３はスリーブ部材１２の厚みと略同じ値である。
　下蓋１３Ｋは、底板１３１Ｋと下蓋周壁１３２Ｋとを有する。底板１３１Ｋは、長方形状を有している。下蓋周壁１３２Ｋは、底板１３１Ｋの周囲から上方向Ｄ２１へ所定長さＬ４だけ延出する４枚の長方形の板状部材と、底板１３１Ｋの周囲より底板１３１Ｋの内側へ所定長さＬ３だけ移動した位置から上方向Ｄ２１へ所定長さＬ５だけ延出する４枚の長方形の板状部材とから構成されている。そして、下蓋周壁１３２Ｋは、下蓋周壁１３２Ｋの内側と外側の間に、上下方向Ｄ２に所定長さＬ３の厚みを保持する隙間Ｓ２を有しており、一端が底板１３１Ｋによって閉塞され他端が開口する二重の四角筒状を有している。所定長さＬ４は所定長さＬ５よりも長く、所定長さＬ３はスリーブ部材１２の厚みと略同じ値である。
　この構成によれば、スリーブ部材１２の上端部には、スリーブ部材１２の上端部が上蓋周壁１１２Ｋの隙間Ｓ１に挟まれる状態で、上蓋１１の天板１１１が載置される。また、スリーブ部材１２の下端部は、スリーブ部材１２の下端部が下蓋周壁１３２Ｋの隙間Ｓ２に挟まれる状態で、下蓋１３の底板１３１の上に載置される。これにより、左右方向Ｄ３からの衝撃や前後方向Ｄ１からの衝撃に対するスリーブ部材１２の強度を上げることができ、上方向Ｄ２１からの耐荷重性も上げることができる。
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、下部緩衝材４０は、下蓋１３の底板１３１の上面に直接配置されていたが、これらに限定されない。例えば、梱包構造体は、梱包箱内に配置され、弾性変形可能であり、梱包箱の底板に支持され、下部緩衝材を支持する弾性支持部材を備えていてもよい。具体的には、下部緩衝材４０の下部は、第１下部緩衝部材４１と第２下部緩衝部材４２とが、相互に直交することにより、井桁状に形成されていたが、この井桁状の部分は、弾性変形可能であり、下部緩衝材を支持する弾性支持部材により形成され、下部緩衝材は、弾性支持部材を介して、下蓋に支持されるように構成されてもよい。弾性支持部材は、例えば、コイルバネ、空気バネ、ゲル、ゴム、弾性を有する高分子発泡体のうちのいずれかであってもよい。また、本実施形態の下部緩衝材４０を支持するように、下部緩衝材４０と底板１３１との間に弾性支持部材を配置してもよい。ここで、弾性を有する高分子発泡体とは、軽石等の弾性を有していない高分子発泡体を含まないことを意味する。弾性支持部材が、コイルバネ、空気バネ、ゲル、ゴム、弾性を有する高分子発泡体のうちのいずれかにより構成されるため、弾性支持部材を構成する材料を適宜選択することにより、要求される弾性を発揮することができる。
　また、梱包箱１０は、下蓋１３の底板１３１の上面に配置されたスポンジと、上蓋１１の天板１１１の下面に当接するスポンジとを備えるように構成されていてもよい。この構成により、外部から梱包箱１０に伝わる前後方向Ｄ１、上下方向Ｄ２、左右方向Ｄ３の振動がスポンジによって吸収され、梱包された基板収納容器２に振動が伝わることを軽減できる。
　また、下蓋１３の底面（底板１３１の外面）は平面でなくてもよい。例えば、下蓋１３の底面は、脚部を有している。脚部は、下蓋１３の底面の四隅に支持され、下方向Ｄ２２に所定長さだけ突出した樹脂性の脚部を備えていてもよい。梱包箱は、床面と平行となるように、脚部を介して、床面上に載置される。これにより、梱包箱の底面には、所定長さ分の空間が設けられ、この空間は、梱包箱をフォークリフト等の搬送機によって移動させる際に、フォーク等の搬送部分を挿入可能とする。
　また、基板収納容器は、本実施形態の形状、寸法のものに限定されない。
１　梱包構造体
２　基板収納容器
１０　梱包箱
１１、１１Ｋ　上蓋
１２、１２Ｃ、１２Ｈ　スリーブ部材
１３、１３Ｃ、１３Ｄ、１３Ｅ、１３Ｋ　下蓋
３０、３０Ｃ　上部緩衝材
３５　上端
４０、４０Ｃ、４０Ｆ、４０Ｇ　下部緩衝材
４３　上端
１００　緩衝材収納箱
１１１、１１１Ｋ　天板
１１２、１１２Ｋ　上蓋周壁
１２０、１２０Ａ　上部緩衝材位置認識部
１２７　上部対向目印
１２８　上部切欠き
１２９、１２９Ｂ　スリーブ部材側目印（目印）
１３０、１３０Ａ、１３０Ｄ、１３０Ｅ、１３０Ｆ、１３０Ｇ　下部緩衝材位置認識部
１３１、１３１Ｋ　底板
１３２、１３２Ｃ、１３２Ｄ、１３２Ｅ、１３２Ｋ　下蓋周壁
１３３、１３３Ｂ　下蓋側目印（目印）
１３７、１３７Ｃ、１３７Ｄ、１３７Ｅ　下部対向目印
１３８、１３８Ｃ、１３８Ｄ、１３８Ｅ　下部切欠き
３０５　上部側面目印
３０６　上部緩衝材側目印
４０５、４０５Ｄ、４０５Ｅ，４０５Ｆ、４０５Ｇ　下部側面目印
４０６　下部緩衝材側目印
Ｗ　基板

Claims (13)

  1. 　半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、
    　梱包箱と、
    　前記梱包箱内において前記基板収納容器の上部に載置される上部緩衝材と、
    　前記基板収納容器が載置される下部緩衝材であって、前記上部緩衝材と前記下部緩衝材とで上下方向において前記基板収納容器を挟むように前記梱包箱内に配置された下部緩衝材と、を備え、
    　前記梱包箱は、底板と前記底板の周囲から上方へ延出する下蓋周壁とを有して前記下部緩衝材を収容可能な下蓋と、上下方向に延出する軸心を有する筒状のスリーブ部材と、天板と前記天板の周囲から下方へ延出する上蓋周壁とを有する上蓋と、を備え、前記スリーブ部材の下端部は、前記下蓋の底板の上に載置され、前記スリーブ部材の上端部には、前記上蓋の天板が載置され、前記上蓋及び前記下蓋は、前記スリーブ部材が用いられずに前記上蓋と前記下蓋とで、前記上部緩衝材及び前記下部緩衝材の緩衝材としての機能を維持可能な程度の保護性能を有して前記上部緩衝材及び前記下部緩衝材を収納可能な緩衝材収納箱を構成し、
    　上下方向における前記下蓋周壁と前記下部緩衝材との相対的な位置関係を認識可能な下部緩衝材位置認識部と、上下方向における前記スリーブ部材と前記上部緩衝材との相対的な位置関係を認識可能な上部緩衝材位置認識部とを有する梱包構造体。
  2. 　前記梱包箱内に配置され、弾性変形可能であり、前記梱包箱の底板に支持され、前記下部緩衝材を支持する弾性支持部材を備える請求項１に記載の梱包構造体。
  3. 　前記下蓋及び前記スリーブ部材は、前記上部緩衝材の上端を前記スリーブ部材の上端縁に一致させた位置関係で前記下部緩衝材、前記基板収納容器、及び、前記上部緩衝材を収納可能であり、
    　前記上部緩衝材位置認識部は、前記スリーブ部材の上端縁と、前記上部緩衝材の上端と、により構成されている請求項１又は請求項２に記載の梱包構造体。
  4. 　前記下蓋及び前記スリーブ部材は、前記上部緩衝材の上端を前記スリーブ部材の上端縁よりも下方へ位置させた位置関係で、前記下部緩衝材、前記基板収納容器、及び、前記上部緩衝材を収納可能であり、
    　前記上部緩衝材位置認識部は、前記スリーブ部材の内面に記載された目印と、前記上部緩衝材の上端と、により構成されている請求項１又は請求項２に記載の梱包構造体。
  5. 　前記上部緩衝材位置認識部は、前記上部緩衝材の上端に位置し前記目印に対向可能な上部緩衝材側目印を有する請求項４に記載の梱包構造体。
  6. 　前記下蓋及び前記スリーブ部材は、前記上部緩衝材の上端を前記スリーブ部材の上端縁よりも下方へ位置させた位置関係で、前記下部緩衝材、前記基板収納容器、及び、前記上部緩衝材を収納可能であり、
    　前記スリーブ部材の上端部は、上方向へ開口する上部切欠きを有し、
    　前記上部緩衝材位置認識部は、前記上部切欠き近傍の前記スリーブ部材の外面に記載された上部対向目印と、前記スリーブ部材の内面に対向する前記上部緩衝材の側面に記載された上部側面目印と、により構成されている請求項１又は請求項２に記載の梱包構造体。
  7. 　前記下蓋は、前記下部緩衝材の上端が前記下蓋周壁の延出端と一致した位置関係で前記下部緩衝材を収納可能であり、
    　前記下部緩衝材位置認識部は、前記下蓋周壁の延出端縁と、前記下部緩衝材の上端と、により構成されている請求項１～請求項６のいずれかに記載の梱包構造体。
  8. 　前記下蓋は、前記下部緩衝材の上端を前記下蓋周壁の上端縁よりも下方へ位置させた位置関係で前記下部緩衝材を収納可能であり、
    　前記下部緩衝材位置認識部は、前記下蓋周壁の内面に記載された目印と、前記下部緩衝材の上端と、により構成されている請求項１～請求項６のいずれかに記載の梱包構造体。
  9. 　前記下部緩衝材位置認識部は、前記下部緩衝材の上端に位置し前記目印に対向可能な下部緩衝材側目印を有する請求項８に記載の梱包構造体。
  10. 　前記下蓋は、前記下部緩衝材の上端を前記下蓋周壁の上端縁よりも下方へ位置させた位置関係で前記下部緩衝材を収納可能であり、
    　前記下蓋の上端部は、上方向へ開口する下部切欠きを有し、
    　前記下部緩衝材位置認識部は、前記下部切欠き近傍の前記下蓋周壁の外面に記載された下部対向目印と、前記下蓋周壁の内面に対向する前記下部緩衝材の側面に記載された下部側面目印と、により構成されている請求項１～請求項６のいずれかに記載の梱包構造体。
  11. 　前記下蓋は、前記下部緩衝材の上端を前記下蓋周壁の上端縁よりも上方へ位置させた位置関係で前記下部緩衝材を収納可能であり、
    　前記下部緩衝材位置認識部は、前記下蓋周壁の内面に対向する前記下部緩衝材の側面に記載された下部側面目印と、前記下蓋周壁の上端縁と、により構成されている請求項１～請求項６のいずれかに記載の梱包構造体。
  12. 　前記スリーブ部材を前記緩衝材収納箱内に収納可能である請求項１～請求項１１のいずれかに記載の梱包構造体。
  13. 　前記下蓋周壁及び前記上蓋周壁は、二重構造を有し、前記スリーブ部材の下部は、二重の前記下蓋周壁の間に挿入可能であり、前記スリーブ部材の上部は、二重の前記上蓋周壁の間に挿入可能である請求項１２に記載の梱包構造体。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023127332A1 (ja) * 2021-12-28 2023-07-06 株式会社Sumco 緩衝材、梱包体および梱包方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0516941A (ja) * 1991-07-10 1993-01-26 Gifu Plast Ind Co Ltd 収納容器
JPH07307378A (ja) * 1994-05-11 1995-11-21 Shin Etsu Handotai Co Ltd 半導体ウエーハ収納容器の梱包構造体とその梱包方法
JP2004168324A (ja) * 2002-11-15 2004-06-17 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd ウェーハ容器緩衝体
JP2008222263A (ja) * 2007-03-12 2008-09-25 Takahisa Watanabe 包装装置
JP2009107703A (ja) * 2007-10-31 2009-05-21 Kawakami Sangyo Co Ltd 輸送用容器
JP2010132331A (ja) * 2008-12-05 2010-06-17 Miraial Kk 半導体収納容器用梱包箱
JP2010208642A (ja) * 2009-03-06 2010-09-24 Takahisa Watanabe 包装装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0516941A (ja) * 1991-07-10 1993-01-26 Gifu Plast Ind Co Ltd 収納容器
JPH07307378A (ja) * 1994-05-11 1995-11-21 Shin Etsu Handotai Co Ltd 半導体ウエーハ収納容器の梱包構造体とその梱包方法
JP2004168324A (ja) * 2002-11-15 2004-06-17 Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd ウェーハ容器緩衝体
JP2008222263A (ja) * 2007-03-12 2008-09-25 Takahisa Watanabe 包装装置
JP2009107703A (ja) * 2007-10-31 2009-05-21 Kawakami Sangyo Co Ltd 輸送用容器
JP2010132331A (ja) * 2008-12-05 2010-06-17 Miraial Kk 半導体収納容器用梱包箱
JP2010208642A (ja) * 2009-03-06 2010-09-24 Takahisa Watanabe 包装装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023127332A1 (ja) * 2021-12-28 2023-07-06 株式会社Sumco 緩衝材、梱包体および梱包方法

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