JP2006324583A - 基板収納容器及び基板輸送方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板に異物が付着することを抑制することが可能な基板収納容器及び基板輸送方法を提供する。
【解決手段】基板収納容器100は、ガラス基板等の基板2を収納する第1のカセットと、当該第1のカセットを内包する第2のカセット4とを備えている。そして、基板2は基板収納容器100を用いて輸送される。このように、基板2を収納する第1のカセットと、当該第1のカセットを内包する第2のカセット4とを設けることにより、本基板収納容器100の外部に存在する塵埃が基板2に付着することを抑制できる。
【選択図】図1
【解決手段】基板収納容器100は、ガラス基板等の基板2を収納する第1のカセットと、当該第1のカセットを内包する第2のカセット4とを備えている。そして、基板2は基板収納容器100を用いて輸送される。このように、基板2を収納する第1のカセットと、当該第1のカセットを内包する第2のカセット4とを設けることにより、本基板収納容器100の外部に存在する塵埃が基板2に付着することを抑制できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体基板やガラス基板等の基板を収納する基板収納容器及び当該基板の輸送方法に関する。
液晶表示装置などに使用されるガラス基板等の基板は、基板収納容器に収納されて輸送される。従来の基板収納容器は、特許文献1にも開示されているように、本体と、当該本体に嵌合する蓋とで構成されており、それらは発泡ポリプロピレン等で形成されている。そして、基板を収納した基板収納容器はトラックなどの輸送手段に搭載されて輸送される。
上述のように、従来の基板収納容器は本体と蓋とで構成されているため、当該基板収納容器を屋根付きのトラックで輸送したとしても、本体と蓋との嵌合面に形成される僅かな隙間から微細な塵埃が基板収納容器内に進入することがあり、基板に異物が付着することがある。
更に、基板収納容器を搭載する輸送手段が走行すれば、当該基板収納容器には必ず振動が加わり、当該振動は殆ど減衰することなく基板に到達する。その結果、基板と基板収納容器の内面とが擦れて異物が発生し、当該異物が基板に付着することがある。
このように基板に異物が付着した場合であっても、当該基板にトランジスタなどの半導体素子が形成されていないときには、基板処理工程は増加するものの、輸送完了後に基板を洗浄することによって当該基板を清浄化することも可能である。
しかしながら、近年の液晶表示装置等の製造工程は多岐にわたり、製造工程の分業化等により、一つの工場で製造が完了せずに別の工場へ基板を輸送して製造を継続するような形態も必要となり、半導体素子が形成されている、微細加工途中の基板を輸送するケースも見受けられるようになってきた。このような場合には、半導体素子が形成されている基板に異物が付着すると、基板の洗浄によっても異物を除去できず、基板不良が発生することがある。
そこで、本発明は上述の問題に鑑みて成されたものであり、基板に異物が付着することを抑制することが可能な基板収納容器及び基板輸送方法を提供することを目的とする。
この発明の基板収納容器は、基板を収納する第1のカセットと、前記第1のカセットを内包する第2のカセットとを備える。
また、この発明の基板輸送方法は、本発明の基板収納容器を用いて基板を輸送する方法である。
この発明の基板収納容器によれば、基板を収納する第1のカセットと、当該第1のカセットを内包する第2のカセットとが設けられている。従って、本発明の基板収納容器の外部に存在する塵埃が基板に付着することを抑制できる。
また、この発明の基板輸送方法によれば、基板を収納する第1のカセットと、当該第1のカセットを内包する第2のカセットとを備える基板収納容器を用いて基板を輸送するため、輸送中に基板に異物が付着することを防止できる。
図1は本発明の実施の形態に係る基板収納容器100の構造を示す正面図であって、図2は本基板収納容器100の構造を示す右側面図である。また、図3は本基板収納容器100の構造を正面方向から見た際の部分断面図であって、図4は本基板収納容器100が備える第1のカセット1を斜め方向から見た際の部分断面図である。なお以下では、本基板収納容器100の正面から背面に向かう方向を「前後方向」と呼び、左側面から右側面に向かう方向を「左右方向」と呼び、上面から底面に向かう方向を「上下方向」と呼ぶ。
図1〜3に示されるように、本実施の形態に係る基板収納容器100は、ガラス基板や半導体基板などの基板2を収納する第1のカセット1と、第1のカセット1を内包する第2のカセット4と、第1のカセット1の振動を抑制する防振機構として機能する複数の圧縮バネ3とを備えている。
第1のカセット1は、図3,4に示されるように、本体10と、当該本体10と嵌合する蓋11とを備えており、全体として直方体形状を成している。本体10及び蓋11はともに、一方端が開口した箱状に形成されており、蓋11は本体10よりも浅く形成されている。本体10と蓋11とは、それぞれの開口端面が互いに接触するように嵌合されて、第1のカセット1は密閉状態となる。本体10及び蓋11のそれぞれは、アクリルなどの発泡ポリプロピレンよりも硬い樹脂から成る複数の板状部材が貼り合わされて形成されている。
図5は本体10と蓋11とを引き離した状態で第1のカセット1の構造を示す斜視図である。図5に示されるように、本体10における互いに対面する2つの内側面のそれぞれには、上下方向に延在する細長い複数の溝部10aが前後方向に所定間隔で配列されている。本体10の一方の内側面に設けられた一つの溝部10aと、これに対向する、他方の内側面に設けられた一つの溝部10aとは対を成し、この対を成す2つの溝部10aに基板2の両端部がそれぞれ挿入されることによって、当該基板2は、当該対を成す2つの溝部10aに狭持される。これにより、複数の基板2は、隣り合うもの同士が互いに接触することなく第1のカセット1に内包される。
第2のカセット4は、第1のカセット1と同様に、本体40と、当該本体40と嵌合する蓋41とを備えており、全体として直方体形状を成している。本体40及び蓋41はともに、一方端が開口した箱状に形成されており、蓋41は本体40よりも浅く形成されている。本体40と蓋41とは、それぞれの開口端面が互いに接触するように嵌合されて、第2のカセット4は密閉状態となる。本体40及び蓋41のそれぞれは、アルミニウムなどの軽金属で形成されている。第2のカセット4の内面には複数の圧縮バネ3が取り付けられている。本実施の形態では、例えば21個の圧縮バネ3が第2のカセット4の内面に取り付けられている。第1のカセット1はこれらの複数の圧縮バネ3によって第2のカセット4内で支持されている。
第2のカセット4の内側上面4a、つまり蓋41の内側上面には1個の圧縮バネ3が取り付けられている。当該圧縮バネ3の一端は第2のカセット4の内側上面4aに固着されており、その他端は第1のカセット1の外側上面1a、つまり蓋11の外側上面に当接している。
第2のカセット4の内側底面4b、つまり本体40の内側底面には4個の圧縮バネ3が取り付けられている。当該4個の圧縮バネ3は、前後方向に2個、左右方向に2個並んで行列状に配置されている。当該4個の圧縮バネ3のそれぞれの一端は第2のカセット4の内側底面4bに固着されており、その他端は第1のカセット1の外側底面1b、つまり本体10の外側底面に当接している。
第2のカセット4の左側内側面4cには4個の圧縮バネ3が取り付けられており、当該4個の圧縮バネ3は行列状に配置されている。当該4個の圧縮バネ3のそれぞれの一端は第2のカセット4の左側内側面4cに固着されており、他端は第1のカセット1の左側外側面1cに当接している。具体的には、第2のカセット4の本体40の左側内側面には前後方向に並ぶ2個の圧縮バネ3のそれぞれの一端が固着されており、当該2個の圧縮バネ3のそれぞれの他端は第1のカセット1の本体10の左側外側面に当接している。第2のカセット4の蓋41の左側内側面にも前後方向に並ぶ2個の圧縮バネ3のそれぞれの一端が固着されており、当該2個の圧縮バネ3のそれぞれの他端は第1のカセット1の蓋11の左側外側面に当接している。
同様にして、第2のカセット4の右側内側面4dには、行列状に配置された4個の圧縮バネ3のそれぞれの一端が固着されており、当該4個の圧縮バネ3のそれぞれの他端は第1のカセット1の右側外側面1dに当接している。
第2のカセット4の正面側内側面4eには4個の圧縮バネ3が取り付けられており、当該4個の圧縮バネ3は行列状に配置されている。当該4個の圧縮バネ3のそれぞれの一端は第2のカセット4の正面側内側面4eに固着されており、他端は第1のカセット1の正面側外側面1eに当接している。具体的には、第2のカセット4の本体40の正面側内側面には左右方向に並ぶ2個の圧縮バネ3のそれぞれの一端が固着されており、当該2個の圧縮バネ3のそれぞれの他端は第1のカセット1の本体10の正面側外側面に当接している。第2のカセット4の蓋41の正面側内側面にも左右方向に並ぶ2個の圧縮バネ3のそれぞれの一端が固着されており、当該2個の圧縮バネ3のそれぞれの他端は第1のカセット1の蓋11の正面側外側面に当接している。
同様にして、第2のカセット4の背面側内側面4fには、行列状に配置された4個の圧縮バネ3のそれぞれの一端が固着されており、当該4個の圧縮バネ3のそれぞれの他端は第1のカセット1の背面側外側面1fに当接している。
なお、複数の圧縮バネ3はそれぞれが圧縮した状態で第1のカセット1を支持している。従って、第1のカセット1が多少振動したとしても、複数の圧縮バネ3のそれぞれは常に第1のカセット1に当接している。
以上のような構造を備える本実施の形態に係る基板収納容器100は、図6に示されるように、屋根付きのトラック等の輸送手段200に複数搭載されて、例えば、液晶表示装置の製造工場に輸送される。
このように本実施の形態に係る基板収納容器100では、基板2を収納する第1のカセット1と、当該第1のカセット1を内包する第2のカセット4とが設けられている。つまり、基板2を収納するカセットの構造が二重構造となっている。従って、本基板収納容器100の外部に存在する塵埃が基板2に付着することを抑制できる。本実施の形態では、外部の塵埃が基板収納容器100に進入して基板2に付着するまでには、当該塵埃は、第2のカセット4における本体40と蓋41との嵌合面42を通って、更に第1のカセット1における本体10と蓋11との嵌合面12を通る必要があるため、基板2には異物が付着しにくくなる。
また、本実施の形態に係る基板収納容器100では、第1のカセット1の振動を抑制する防振機構として機能する圧縮バネ3が設けられている。従って、基板2を輸送する際に本基板収納容器100に振動が加わった場合であっても、基板2と第1のカセット1とが擦れることを抑制することができる。よって、基板2と第1のカセット1とが擦れて生じる異物を低減でき、基板2への異物の付着を抑制できる。
本実施の形態では、第2のカセット4に加わる振動の第1のカセット1への伝達率τは以下の式(1)で表される。
ただし、fは抑制対象振動の周波数、つまり第2のカセット4に加わる振動の周波数を示しており、f0は第1のカセット1と圧縮バネ3とで構成される振動系の固有振動数を示している。固有振動数f0は以下の式(2)で表される。
上記式(2)中のMは、第1のカセット1の質量と基板2の質量との和を示しており、Kは、上記振動系を便宜上1次系として考え、複数の圧縮バネ3を1個の圧縮バネ3で置き換えた場合の当該圧縮バネ3のバネ定数を示している。
式(1),(2)に示されるように、バネ定数Kを質量Mに応じて適当な値に設定することによって、伝達率τを1よりも小さくすることができる。従って、第2のカセット4に加わる振動を減衰して第1のカセット1に伝達することができ、第1のカセット1の振動を抑制することができる。よって、基板2と第1のカセット1とが擦れることによって生じる異物を少なくすることができる。
また、第1のカセット1の振動を抑制する防振機構が設けられているため、基板2が割れたり欠けたりすることも抑制できる。特に、近年生産が増加している、厚さ0.5mmのガラス基板を輸送する際に効果的である。
また本実施の形態では、第1のカセット1の振動を抑制する防振機構(圧縮バネ3)が、第1のカセット1と第2のカセット4との間に配設されているため、当該防振機構が基板2の輸送の際に邪魔になることがない。
なお本実施の形態では、第1のカセット1の振動を抑制する防振機構として、弾性体である圧縮バネ3を使用したが、その他のものを使用しても良い。例えば、圧縮バネ3の代わりに、同じく弾性体である防振ゴムを使用することができる。この場合には、第1のカセット1の外側表面と、第2のカセット4の内面とで防振ゴムを挟み込むようにする。これにより、同様の効果を得ることができる。
このように、第1のカセット1の振動を抑制する防振機構を、圧縮バネ3や防振ゴムで構成することによって、本基板収納容器100の大きさを抑えることができる。
また、第1のカセット1を発泡ポリプロピレンで形成しても良い。本実施の形態のように、第1のカセット1をアクリル等の発泡ポリプロピレンよりも硬い樹脂で形成した場合には、基板2と第1のカセット1とが擦れた場合であっても異物が発生しにくくなり、基板2に異物が付着することを更に抑制できる。
また、本実施の形態に係る基板収納容器100を用いて基板2を輸送することによって、輸送中に当該基板2に異物が付着することを防止できる。
1 第1のカセット、2 基板、3 圧縮バネ、4 第2のカセット、100 基板収納容器。
Claims (6)
- 基板を収納する第1のカセットと、
前記第1のカセットを内包する第2のカセットと
を備える、基板収納容器。 - 請求項1に記載の基板収納容器であって、
前記第1のカセットの振動を抑制する防振機構を更に備える、基板収納容器。 - 請求項2に記載の基板収納容器であって、
前記防振機構は、前記第1のカセットと前記第2のカセットとの間に配設されている、基板収納容器。 - 請求項3に記載の基板収納容器であって、
前記防振機構は圧縮バネあるいは防振ゴムで構成されている、基板収納容器。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の基板収納容器であって、
前記第1のカセットは、発泡ポリプロピレンよりも硬い樹脂で形成されている、基板収納容器。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一つに記載の基板収納容器を用いて基板を輸送する、基板輸送方法。
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