TW201518184A - 用於捆包基板收納容器的捆包構造體 - Google Patents

Abstract

一種用於捆包基板收納容器的捆包構造體1，前述基板收納容器2係以收納及運送半導體晶圓製基板W為目的者，而該捆包構造體1具備：捆包箱10、上緩衝材30、下緩衝材40、及彈性支持構件60。上緩衝材30係在捆包箱10內載置於基板收納容器2的上部。基板收納容器2則載置於下緩衝材40。下緩衝材40係和上緩衝材30從上下方向以夾持基板收納容器2的方式配置於捆包箱10內。而且，下緩衝材40不和捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板、及後板的任一者接觸，而在下緩衝材40與捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板、及後板之間形成有下部空間104。

Description

用於捆包基板收納容器的捆包構造體

本發明係關於一種用於捆包基板收納容器的捆包構造體，該基板收納容器則用來收納半導體晶圓等基板。

以收納半導體晶圓等基板的容器而言，具備有容器本體及蓋體的基板收納容器以往即為眾所公知。這種基板收納容器在捆包於捆包箱內進行運送時，會在捆包箱內配置樹脂製緩衝材等。而且，這些緩衝材在捆包箱內係用來保持基板收納容器，以減少來自捆包箱外部的衝撃與振動向基板收納容器的傳遞(專利文獻1參照)。

先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1 日本特開平7-307378號公報

垂直方向的振動係從捆包箱的底板及側板經由緩衝材傳遞。因此，乃需求一種比使用習知緩衝材的捆包構造更能減低振動向基板收納容器之傳遞的捆包構造。

本發明之目的在提供一種用於捆包基板收納容器的捆包構造體，其於搬運基板收納容器時能夠盡量抑制振動傳遞至基板收納容器內所收納的複數片基板。

本發明係關於一種用於捆包基板收納容器的捆包構造體，該捆包構造體係以收納及運送半導體晶圓製基板為目的，具備：六面體狀的捆包箱，具有第1側板、第2側板、前板、後板、頂板、底板；上緩衝材，在前述捆包箱內載置於前述基板收納容器的上部；下緩衝材，供前述基板收納容器載置於其上，且以前述上緩衝材及該下緩衝材從上下方向夾持前述基板收納容器的方式配置於前述捆包箱內；及彈性支持構件，配置於前述捆包箱內，可彈性變形，且由前述捆包箱的底板支持，藉以支持前述下緩衝材，其中，前述下緩衝材不和前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板的任一者接觸，在前述下緩衝材與前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板之間形成有下部空間，俾於振動加諸於前述捆包箱之際，從前述捆包箱向前述下緩衝材的側面的振動、由前述後板朝前述前板的方向及其相反方向的前後方向振動、或由前述第2側板朝前述第1側板的方向及其相反方向的左右方向振動，不會產生傳遞作用。

再者，前述上緩衝材較佳為接觸於前述捆包箱的頂板。或者，前述上緩衝材較佳為不接觸前述捆包箱的頂板，而在前述上緩衝材與前述捆包箱的頂板之間形成上方空間。

此外，前述上緩衝材較佳為接觸於前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板。或者，前述上緩衝材較佳為不接觸前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板的任一者，而在前述上緩衝材與前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板之間形成上部空間。

而且，前述捆包箱較佳為具有：下蓋，具有前述底板；箱壁構件，藉前述第1側板、第2側板、前板、及後板所構成，具有朝上下方向延伸的軸心，且呈四角筒狀；及上蓋，具有前述頂板，其中，前述箱壁構件的下端部係載置於前述下蓋的底板上，前述上蓋的頂板係載置於前述箱壁構件的上端部。

再者，本發明較佳為具備剛性體，其係配置於前述捆包箱內，具有分別呈平坦狀的上面及下面而形成為板狀，前述剛性體的上面係支持前述下緩衝材，前述剛性體的下面係抵接於前述彈性支持構件的上端部，並藉前述彈性支持構件所支持，其中，前述剛性體所具有的硬度程度在前述基板收納容器載置於前述下緩衝材時可抑制前述下緩衝材的變形且可支持前述下緩衝材，前述剛性體亦不接觸於前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板的任一者，而在前述剛性體與前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板之間形成有空間，且前述彈性支持構件的上端部係經由前述剛性體間接地支持前述下緩衝材。

又，前述彈性支持構件較佳為由螺旋彈簧、空氣彈簧、膠體、海綿、橡膠、具有彈性的高分子發泡體中的任一者構成。

若依本發明，可以提供用於捆包基板收納容器的捆包構造體，使基板收納容器在搬運時，可盡量抑制衝撃或振動傳遞到基板收納容器內所收納的複數片基板的情形。

1、1A、1B、1C、1D、1E、1F、1G‧‧‧捆包構造體

2‧‧‧基板收納容器

10、10G‧‧‧捆包箱

11‧‧‧上蓋

12‧‧‧箱壁構件

13‧‧‧下蓋

30、30A、30B、30C、30D、30E‧‧‧上緩衝材

40‧‧‧下緩衝材

41‧‧‧下面

50‧‧‧剛性體

51‧‧‧上面

52‧‧‧下面

60‧‧‧螺旋彈簧

60F‧‧‧海綿

101‧‧‧上方空間

102‧‧‧上部空間

103‧‧‧中部空間

104‧‧‧下部空間

105‧‧‧空間

106‧‧‧下方空間

111‧‧‧頂板

121‧‧‧第1側板

122‧‧‧第2側板

123‧‧‧前板

124‧‧‧後板

125‧‧‧穿孔

131‧‧‧底板

222‧‧‧容器中央部

341‧‧‧凸部

361‧‧‧凸狀部分

371‧‧‧凹部

441‧‧‧凸部

451‧‧‧凸部

461‧‧‧凸狀部分

471‧‧‧凹部

W‧‧‧基板

圖1為本發明第1實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1的分解斜視圖。

圖2A為本發明第1實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1的正視圖。

圖2B為本發明第1實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1的側視圖。

圖3A為沿圖2A之A-A線的剖視圖。

圖3B為沿圖2B之B-B線的剖視圖。

圖4為藉本發明第1實施形態之捆包構造體1所捆包的基板收納容器2的分解斜視圖。

圖5為本發明第2實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1A的上緩衝材30A的斜視圖。

圖6為本發明第2實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1A的剖視圖。

圖7為本發明第3實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1B的上緩衝材30B的斜視圖。

圖8為本發明第3實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1B的剖視圖。

圖9為本發明第4實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1C的上緩衝材30C的斜視圖。

圖10為本發明第4實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1C的剖視圖。

圖11為本發明第5實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1D的正視圖。

圖12為沿圖11的C-C線的剖視圖。

圖13為本發明第6實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1E的正視圖。

圖14為沿圖13的D-D線的剖視圖。

圖15為本發明第7實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1F的剖視圖。

圖16為本發明第8實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1G的斜視圖。

[發明的實施形態]

以下，一面參照圖式一面就本發明第1實施形態之用於捆包基板收納容器的捆包構造體1加以說明。圖1為本發明第1實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1的分解斜視圖。圖2A為本發明第1實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1的 正視圖。圖2B為本發明第1實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1的側視圖。圖3A為沿圖2A的A-A線的剖視圖。圖3B為沿圖2B的B-B線的剖視圖。圖4為藉本發明第1實施形態的捆包構造體1所捆包的基板收納容器2的分解斜視圖。

此處，為了說明的方便，從後述捆包箱10的後板124朝前板123的方向(圖1中的左下方向)係定義為前方向D11，其相反方向定義為後方向D12，這些方向定義為前後方向D1。再者，從後述底板131朝頂板111的方向(圖1中的上方向)係定義為上方向D21，其相反方向定義為下方向D22，這些方向定義為上下方向D2。此外，從後述第2側板122朝第1側板121的方向(圖1中的左上方向)係定義為左方向D31，其相反方向定義為右方向D32，這些方向定義為左右方向D3。

如圖4所示，藉捆包構造體1所捆包的基板收納容器2係為用於收納及運送由半導體晶圓所構成的基板W者，具有容器本體202、及蓋體203。此外，在圖3A、圖3B中，為了理解的方便，省略了基板收納容器2的內部圖示。

容器本體202具有一端部形成容器本體開口部221，另一端部予以封閉的筒狀壁部220。容器本體202內形成有基板收納空間227。基板收納空間227係由壁部220圍繞而成。屬於壁部220的一部分，且為形成基板收納空間227的部分配置有基板支持板狀部205及後部固定具(rear retainer，未圖示)。基板收納空間227可供收納複數片基板W。

基板支持板狀部205係在基板收納空間227內以成對方式設在壁部220。在未以蓋體203封閉容器本體開口部221時，基板支持板狀部205可以相鄰接基板W彼此間依預定間隔隔開並排的狀態支持複數片基板W的邊緣部。後部固定具(未圖示)可在蓋體203封閉容器本體開口部221時支持複數片基板W邊緣部的後部。

蓋體203可覆蓋於容器本體開口部221以封閉容器本體開口部221，或自容器本體開口部裝卸。蓋體203設有前部固定具(front retainer，未圖示)。在容器本體開口部221藉蓋體203封閉時，前部固定具(未圖示)係設在屬於蓋體203的一部分並和基板收納空間227相對向的部位。前部固定具(未圖示)係以和後部固定具(未圖示)成對的方式配置。

在容器本體開口部221藉蓋體203封閉時，前部固定具(未圖示)可支持複數片基板W邊緣部的前部。在容器本體開口部221藉蓋體203封閉時，透過前部固定具(未圖示)和後部固定具(未圖示)互相配合支持複數片基板W，使複數片基板W得以在相鄰接基板W彼此間以預定間隔隔開並排的狀態獲得支撐。

欲收納於基板收納容器2的基板W(參照圖4)可為圓盤狀的矽晶圓、玻璃晶圓、藍寶石晶圓等產業用薄片製品。本實施形態的基板W為直徑300mm至450mm的矽晶圓。

如圖1所示，用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1具備有：捆包箱10、上緩衝材30、下緩衝材 40、剛性體50、及作為彈性支持構件的螺旋彈簧60。捆包構造體1係用於捆包基板收納容器2，以便收納及運送半導體晶圓製基板W。

如圖1、圖2A所示，捆包箱10具有分別以所謂塑膠瓦楞板(普拉丹，pla-dan)構成的上蓋11、箱壁構件12、及下蓋13，而在整體上呈六面體形狀。

上蓋11具有頂板111及上蓋周壁112。頂板111具有長方形。上蓋周壁112具有由頂板111周圍朝下方向D22延伸的4片長方形板狀，其一端係以頂板111封閉，另一端敞開而呈四角筒狀。

箱壁構件12係由分別呈長方形板狀的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124所構成，具有朝上下方向延伸的軸心，且兩端敞開而呈四角筒狀。箱壁構件12的第1側板121、第2側板122分別形成有前後方向較長的長圓形穿孔125。作業人員可把手插入穿孔125中，將箱壁構件12提起。

下蓋13具有底板131及下蓋周壁132。底板131具有長方形。下蓋周壁132具有由底板131周圍向上方延伸的4片長方形板狀，其一端係藉底板131予以封閉，另一端敞開而呈四角筒狀。

箱壁構件12的上端部周圍係設成由上蓋周壁112圍繞的位置關係，上蓋11的頂板111則載置於箱壁構件12的上端部。而且，箱壁構件12的下端部周圍係形成由下蓋周壁132圍繞的位置關係，箱壁構件12的下端部則載置於下蓋13的底板131上。藉此結構，即可 組裝成由上蓋11、箱壁構件12、及下蓋13所構成的捆包箱10。

上緩衝材30具有的硬度程度，在即使收納了基板W的基板收納容器2直接載置於上緩衝材30也不會產生塑性變形且還可保持上緩衝材30本身的形狀。而且，上緩衝材30係由具柔軟性的材質所構成，藉由其柔軟性，可將作用於捆包箱10並經由上緩衝材30傳遞到基板收納容器2的至少一部分衝撃力吸收。因此，上緩衝材30在受到較預定衝撃程度更強的衝撃時雖會塑性變形而不能回復原狀，但對於較預定衝撃程度為弱的衝撃卻可予以吸收。以這種衝撃而言，幾乎不會變形。上緩衝材30係較剛性體50還柔軟。本實施形態中，上緩衝材30係由發泡苯乙烯所構成。

上緩衝材30具有大致六面體形狀。上緩衝材30的上面31係由平坦面所構成。上緩衝材30的前側面32具有往前方向D11突出的4個凸部321。同樣的，上緩衝材30的後側面33也有往後方向D12突出的4個凸部331(參照圖3A)。

左右方向D3中央附近的凸部321、331具有六面體形狀。而且，左右方向D3兩端的凸部321、331則具有將平面視之大致呈長方形的上緩衝材30的4個角部覆蓋的形狀。因此，左右方向D3兩端的凸部321、331在左右方向D3上也是從上緩衝材30的左右側面34、35突出。

再者，在上緩衝材30的左側面34，往左方向D31突出有六面體形狀的凸部341。同樣的，上緩衝材30的右側面35，往右方向D32也突出有六面體形狀的凸部351。

此外，上緩衝材30的下面設有往下方向D22突出的凸狀部分361。因此，上緩衝材30的下部具有從凸狀部分361相對地往上方凹陷的凹部371(參照圖3B等)。凹部371具有和基板收納容器2的蓋體203的上部及容器本體202的上部大致相同的形狀。藉由上緩衝材30載置於基板收納容器2的上部，蓋體203的上部及容器本體202的上部就卡合於凹部371。

上緩衝材30的上面31並未抵接於構成捆包箱10的上蓋11的頂板111。上緩衝材30的上面31與捆包箱10的頂板111之間形成有上方空間101(參照圖3B等)。

上緩衝材30具有小於箱壁構件12的開口的大致六面體形狀。相對於箱壁構件12的開口，由於凸部321、331、341、351的突出量很小，所以，上緩衝材30配置於捆包箱10內時，凸部321、331、341、351不會接觸構成箱壁構件12的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124。上緩衝材30與構成捆包箱10之箱壁構件12的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124之間形成有上部空間102(參照圖3B等)。

下緩衝材40所具有的硬度，即使在收納了基板W的基板收納容器2直接載置於下緩衝材40時也不 會產生塑性變形，仍可保持下緩衝材40本身的形狀。再者，下緩衝材40係由具有柔軟性的材質所構成，藉由其柔軟性，可將作用於捆包箱10並經由下緩衝材40傳遞至基板收納容器2的至少一部分衝撃吸収。本實施形態中，下緩衝材40係以和上緩衝材30相同的發泡苯乙烯所構成。

下緩衝材40具有大致六面體形狀。下緩衝材40的下面41(參照圖3B等)係由平坦面所構成。下緩衝材40的上面設有往上方向D21突出的凸狀部分461。因此，下緩衝材40的上部具有從凸狀部分461相對地向下方凹窪的凹部471(參照圖3B等)。凹部471具有和基板收納容器2的容器本體202的下部大致相同的形狀，容器本體202的下部即卡合於該凹部471。

亦即，基板收納容器2係載置於下緩衝材40上，且以上緩衝材30及下緩衝材40從上下方向D2夾持基板收納容器2的方式，使上緩衝材30、下緩衝材40、及基板收納容器2配置於捆包箱10內。

下緩衝材40的前側面42，朝前方向D11突出有4個凸部421。同樣地，下緩衝材40的後側面43也朝後方向D12突出有4個凸部431(參照圖1)。

左右方向D3中央附近的凸部421、431具有六面體形狀。而且，左右方向D3兩端的凸部421、431具有將平面視之大致呈長方形的下緩衝材40的4個角部覆蓋的形狀。因此，左右方向D3兩端的凸部421、431也在左右方向D3上從下緩衝材40的左右側面44、45突出。

此外，下緩衝材40的左側面44上往左方向D31突出有六面體形狀的凸部441(參照圖3B等)。同樣地，下緩衝材40的右側面45上，往右方向D32也突出有六面體形狀的凸部451。凸部421、431、441、451從左右方向D3的側面44、45突出的量係大於凸部321、331、341、351從相同方向的上緩衝材30的側面34、35突出的量。

如圖3A等所示，下緩衝材40係以平行於左右方向D3及前後方向D1的位置關係，以下緩衝材40的下面41呈面接觸方式抵接於剛性體50的上面51，而在捆包箱10內配置於基板收納容器2的下方。下緩衝材40的下面41係利用兩面膠帶(未圖示)固定於剛性體50的上面51。

下緩衝材40具有小於箱壁構件12的開口，又更小於上緩衝材30的大致六面體形狀。相對於此，凸部421、431、441、451的突出量並沒那麼大，故在下緩衝材40配置於捆包箱10內時，凸部421、431、441、451不會接觸構成箱壁構件12的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124。而會在下緩衝材40與構成捆包箱10的箱壁構件12的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124之間形成下部空間104(參照圖3B等)。

剛性體50所具有的硬度之程度，在基板收納容器2載置於下緩衝材40時可抑制下緩衝材40的變形並可支持下緩衝材40。本實施形態中，剛性體50係由 瓦楞板或塑膠板所構成。亦即，剛性體50也可不以其本身吸収振動或衝撃，而用可維持其本身形狀的較硬材質來構成。因此，剛性體50比上緩衝材30、下緩衝材40之任一者更硬。

剛性體50具有長方形的板狀，且該長方形係小於以平行於左右方向D3及前後方向D1之面剖切所得的箱壁構件12剖面且由箱壁構件12內面所圍繞的長方形。因此，剛性體50並不接觸構成捆包箱10的箱壁構件12的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124的任一者。在前後方向D1及左右方向D3上，剛性體50與捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124之間形成有空間105(參照圖3B等)。

剛性體50具有分別呈平坦狀的上面51及下面52，上面51及下面52在捆包箱10內係以平行於左右方向D3及前後方向D1的位置關係配置於下緩衝材40的下方。剛性體50的上面51係抵接於作為下緩衝材40下端面的下面41以支持下緩衝材40。而且，剛性體50的下面52係抵接於當作彈性支持構件的後述螺旋彈簧60的上端部，藉該螺旋彈簧60予以支持。

如圖3B所示，在捆包箱10內，上下方向的基板收納容器2中央部分具有不經由上緩衝材30、下緩衝材40的凸狀部分361、461，而直接與捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124相對向的容器中央部222。因此，容器中央部222與捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板 124之間形成有中部空間103。前述上部空間102的容積與中部空間103的容積不同，中部空間103的容積較上部空間102的容積為大。同樣的，前述下部空間104的容積與中部空間103的容積亦不相同，中部空間103的容積係大於下部空間104的容積。

螺旋彈簧60在捆包箱10內係配置於剛性體50的四個角落。螺旋彈簧60會對剛性體50朝上方向D21賦予勢能，螺旋彈簧60的上端部係以抵接剛性體50的下面52的狀態固定於剛性體50。螺旋彈簧60的下端部則以抵接下蓋13的底板131的狀態予以固定。藉此結構，可彈性變形的螺旋彈簧60即受捆包箱10的底板131所支持，同時螺旋彈簧60的上端部經由剛性體50以間接方式支持下緩衝材40。此外，圖示中，有關於螺旋彈簧60的圖示，係以簡化方式表示。

若依上述構成的第1實施形態的用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1，可獲得如下的效果。

捆包構造體1係為用於捆包基板收納容器2，而基板收納容器2則以收納及運送半導體晶圓製基板W為目的，該捆包構造體1具備：捆包箱10，具有第1側板121、第2側板122、前板123、後板124、頂板111、及底板131，呈六面體形狀；上緩衝材30，在捆包箱10內，載置於基板收納容器2的上部；下緩衝材40，供載置基板收納容器2，且以上緩衝材30及下緩衝材40從上下方向夾持基板收納容器2的方式配置於捆包箱10內；及螺旋彈簧60，配置於捆包箱10內，可彈性變形， 並支持於捆包箱10的底板131，作為支持下緩衝材40的彈性支持構件。而且，下緩衝材40並不與捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124的任一者接觸，而是在下緩衝材40與捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板123、及、後板124之間形成有下部空間104。

藉由此構成，垂直方向(上下方向D2)的振動經由下緩衝材40傳遞之際，振動就不會以前後方向D1或左右方向D3的振動的型態從捆包箱10向下緩衝材40的側面傳遞。因此，垂直方向的振動以前後方向D1或左右方向D3的振動的型態向收納於基板收納容器2的基板W傳遞的情形可以盡量獲得抑制，因朝向作為製品的基板W的振動而造成損害的情形可予以抑制。特別是，基板W係屬於對於前後方向D1或左右方向D3的振動抵抗性較弱的導體晶圓構成的基板W時，對基板W造成的損害可以盡量獲得抑制。

又，下緩衝材40接觸捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124的情形中，捆包箱10大幅上下振盪的振動力作用於捆包箱10時，基板收納容器2及下緩衝材40會向上方彈跳。因此，在較下緩衝材40靠下側的空間，亦即，空間105與下方空間106會形成負壓，而在較下緩衝材40靠上側的空間，亦即，在中部空間103、上部空間102、上方空間101會形成正壓。由於該壓力差的發生，會使振動増大。但，即使在這種振動產生作用的情形下，在下部空間104中，空氣仍可快速流通，故得以盡量抑制壓力差的發生。

再者，上緩衝材30並不接觸捆包箱10的頂板111，而是在上緩衝材30與捆包箱10的頂板111之間形成有上方空間101。藉此結構，垂直方向(上下方向D2)的振動從頂板111經由上緩衝材30傳遞的情形可以獲得抑制。因此，垂直方向的振動向收納於基板收納容器2的基板W傳遞的情形可以盡量抑制，振動向作為製品的基板W傳遞而造成損害的情形可以獲得抑制。

而且，上緩衝材30也不接觸捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124的任一者，而在上緩衝材30與捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124之間形成有上部空間102。

藉此結構，垂直方向的振動經由上緩衝材30傳遞之際，振動就不會從捆包箱10向上緩衝材30的側面以前後方向D1或左右方向D3的振動的型態進行傳遞。因此，垂直方向(上下方向D2)的振動從第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124經由上緩衝材30傳遞的情形可以獲得抑制。因此，垂直方向的振動向收納於基板收納容器2的基板W傳遞的情形可以盡量抑制，因振動而對作為製品的基板W造成損害的情形可予以抑制。

再者，在上緩衝材30接觸捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124的情形中，捆包箱10大幅上下振盪的振動力作用於捆包箱10時，基板收納容器2及上緩衝材30會向下沈落。因為此 一作用，較上緩衝材30靠上側的空間，亦即上方空間101中即形成負壓，而在較上緩衝材30靠下側的空間，亦即，中部空間103、空間105、下方空間106則形成正壓。由於該壓力差的發生，會使振動擴大。但，即使在這種振動產生作用的情況下，上部空間102中，仍可使空氣快速流通，故得以盡量抑制壓力差的發生。

而且，捆包箱10具備：下蓋13，具有底板131；箱壁構件12，由第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124所構成，具有朝上下方向延伸的軸心，且呈四角筒狀；及上蓋11，具有頂板111。而箱壁構件12的下端部係載置於下蓋13的底板131上，且上蓋11的頂板111係載置於箱壁構件12的上端部。

藉此結構，透過將上蓋11及箱壁構件12從下蓋13取下，捆包在捆包箱10的基板收納容器2就可以容易的從捆包箱10的下蓋13取出。

再者，捆包構造體1具備呈板狀的剛性體50，該剛性體50係配置在捆包箱10內，具有分別呈平坦狀的上面51及下面52，該剛性體50的上面51係支承下緩衝材40，剛性體50的下面52則抵接於作為彈性支持構件的螺旋彈簧60的上端部，並藉螺旋彈簧60予以支持。而且，剛性體50所具有的硬度程度，在基板收納容器2載置於下緩衝材40時可抑制下緩衝材40的變形，且可支持下緩衝材40；同時剛性體50不接觸於捆包箱10的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124的任一者，而在剛性體50與捆包箱10的第1 側板121、第2側板122、前板123、及後板124之間則形成有空間105。同時，螺旋彈簧60的上端部係經由剛性體50間接地支持下緩衝材40。

藉此結構，由於下緩衝材40的變形會受到抑制，故能穩定支持基板收納容器2。此外，作為彈性支持構件的螺旋彈簧60採用了4支，可在捆包箱10內以螺旋彈簧60配置於剛性體50的四個角落的狀態，有效的藉螺旋彈簧60對剛性體50朝上方向D21賦予勢能。

又，可使垂直方向的振動不會從捆包箱10向剛性體50的側面以前後方向D1或左右方向D3的振動的型態傳遞。因此，垂直方向(上下方向D2)的振動從第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124經由剛性體50傳遞的情形可獲得抑制。因此，垂直方向的振動向收納於基板收納容器2內的基板W傳遞的情形可盡量加以抑制。因振動而對作為製品的基板W造成損害的情形可獲得抑制。

以下，就本發明第2實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1A加以說明。。圖5為顯示本發明第2實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1A的上緩衝材30A的斜視圖。圖6為顯示本發明第2實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1A的剖視圖。

第2實施形態中，與第1實施形態不同的部分係在上緩衝材30A的形狀和第1實施形態的上緩衝材30的形狀相異。其他的構成則與第1實施形態相同，故相同的構件係以相同的符號來表示，並省略其說明。

分別從上緩衝材30A的左側面34、右側面35突出的凸部321B、331B、341B、351B的突出量係大於第1實施形態中朝相同方向突出的凸部321、331、341、351的突出量。因此，如圖6所示，凸部321B、331B、341B會接觸捆包箱10的第1側板121，凸部321B、331B、351B則接觸捆包箱10的第2側板122。

若依上述結構的第2實施形態的用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1A，可獲得以下的效果。如前所述，藉由凸部321B、331B、341B、351B接觸捆包箱10的第1側板121、第2側板122，上緩衝材30A會接觸於捆包箱10的第1側板121、第2側板122。因此，利用第1側板121、第2側板122就可朝左右方向D3支持上緩衝材30A，上緩衝材30A朝左右方向D3移晃的情形可獲得抑制。

以下，就本發明第3實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1B加以說明。圖7為顯示本發明第3實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1B的上緩衝材30B的斜視圖。圖8係為本發明第3實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1B的剖視圖。

第3實施形態中，上緩衝材30B的形狀和第1實施形態的上緩衝材30的形狀不同，係為和第1實施形態相異之處。至於其他的構成，則與第1實施形態相同，故相同的構件係以相同的符號表示，並省略其說明。

上緩衝材30B的上面31存在有上方突出凸部311。上方突出凸部311係分別形成在大致長方形的上緩衝材30B的上面31的四個角落附近，分別具有朝上方突出的相同六面體形狀。因此，如圖8所示，上方突出凸部311係接觸於捆包箱10的頂板111。

若依上述結構的第3實施形態的用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1B，可以獲致如下的效果。如前所述，上緩衝材30B係接觸於捆包箱10的頂板111。藉此結構，可利用頂板111抑制上緩衝材30B、基板收納容器2、下緩衝材40、及剛性體50因垂直方向(上下方向D2)的振動而上下晃動的情形。

以下，就本發明第4實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1C加以說明。圖9為顯示本發明第4實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1C的上緩衝材30C的斜視圖。圖10為顯示本發明第4實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1C的剖視圖。

第4實施形態中，上緩衝材30C的形狀和第2實施形態的上緩衝材30A的形狀不同，係為第4實施形態和第2實施形態相異之處。至於其他的構成則與第2實施形態相同，故相同的構件係以相同的符號表示，並省略其說明。

上緩衝材30C的上面31存在有上方突出凸部311。上方突出凸部311係分別形成在大致長方形的上緩衝材30C的上面31的四個角落附近，分別具有朝上 方突出的相同六面體形狀。因此，如圖10所示，上方突出凸部311係接觸於捆包箱10的頂板111，且和第2實施形態同樣地，凸部321B、331B、341B係接觸於捆包箱10的第1側板121，凸部321B、331B、351B則接觸於捆包箱10的第2側板122。

若依上述構成的第4實施形態的用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1C，可利用第1側板121、第2側板122在左右方向D3上支持上緩衝材30C，而得以抑制上緩衝材30C朝左右方向D3移晃的情形。而且，可利用頂板111抑制上緩衝材30C、基板收納容器2、下緩衝材40、及剛性體50因垂直方向(上下方向D2)的振動而上下晃動的情形。

以下，就本發明第5實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1D加以說明。圖11係顯示本發明第5實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1D的正視圖。圖12為沿圖11的C-C線的剖視圖。

第5實施形態中，上緩衝材30D的形狀和第1實施形態的上緩衝材30的形狀不同，係為和第1實施形態相異之處。至於其他構成，則與第1實施形態相同。因此，相同的構係件以相同的符號表示，並省略其說明。此外，圖12中，為了理解的方便，基板收納容器2內部的圖示已予以省略。

如圖12所示，上緩衝材30D的前後側面32、33中，突出的凸部321E、凸部331E的突出量係大於朝 相同方向突出的第1實施形態的凸部321、凸部331的突出量。因此，凸部321E、凸部331E係接觸於捆包箱10的前板123、後板124。

若依上述構成的第5實施形態的用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1D，可獲致如下的效果。如前所述，藉由凸部321E、凸部331E分別接觸於捆包箱10的前板123、後板124，上緩衝材30D會接觸捆包箱10的前板123、後板124。因此，可利用前板123、後板124朝前後方向D1支持上緩衝材30D，上緩衝材30D朝前後方向D1移晃的情形可獲得抑制。

以下，就本發明第6實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1E加以說明。圖13係顯示本發明第6實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1E的正視圖。圖14係沿圖13的D-D線的剖視圖。

第6實施形態中，上緩衝材30E的形狀和第5實施形態的上緩衝材30D的形狀不同，係為和第5實施形態相異之處。至於其他構成，則與第5實施形態相同，故相同構件係以相同符號表示，並省略其說明。此外，圖14中，為了理解的方便，省略了基板收納容器2內部的圖示。

上緩衝材30E的上面31存在有上方突出凸部311。上方突出凸部311係分別形成於大致長方形的上緩衝材30E的上面31的四個角落附近，分別具有向上方突出的相同六面體形狀。因此，如圖14所示，上方突出凸部311係接觸於捆包箱10的頂板111。

若依上述構成的第6實施形態的用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1E，可藉由前板123、後板124朝前後方向D1支持上緩衝材30E，上緩衝材30E朝前後方向D1移晃的情形可獲得抑制。而且，藉由頂板111，使上緩衝材30E、基板收納容器2、下緩衝材40、及剛性體50因朝垂直方向的振動而上下晃動的情形可獲得抑制。

以下，就本發明第7實施形態的用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1F加以說明。圖15係顯示本發明第7實施形態的用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1F的剖視圖。

第7實施形態中，在使用海綿60F作為彈性支持構件以取代螺旋彈簧60方面，係為和第1實施形態相異之處。至於其他的構成，則與第1實施形態相同，故相同的構件係以相同的符號來表示，並省略其說明。

海綿60F具有六面體形狀。海綿60F的整個上面61F係固定於剛性體50的下面52，海綿60F的整個下面62F則固定於底板131的上面。如圖15所示，海綿60F的兩側面、前面、及背面並不與構成捆包箱10的箱壁構件12接觸，而是和箱壁構件12的第1側板121、第2側板122、前板123、及後板124分開。

若依上述構成的第7實施形態的用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1F，由於使用海綿60F作為彈性支持構件，故可以簡單構造的彈性支持構件經由剛性體50來彈性支持下緩衝材40。

以下，就本發明第8實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1G加以說明。圖16係本發明第8實施形態之用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1G的斜視圖。

第8實施形態中，係在使用所謂橘子箱(orange carton)型捆包箱10G以取代由上蓋11、箱壁構件12、及下蓋13構成的捆包箱10方面，和第1實施形態不同。至於其他的構成，則與第1實施形態相同，因此，相同的構件係以相同符號來表示，並省略其說明。

捆包箱10G具有：第1側板21、第2側板22、前板23、後板24、頂板25、及底板26。第1側板21與第2側板22具有平行的位置關係。前板23與後板24也具有平行的位置關係。頂板25與底板26也具有平行的位置關係。第1側板21、第2側板22、前板23、及後板24分別呈長方形。藉由第1側板21、第2側板22、前板23、及後板24構成了上端及下端形成有開口的四角柱狀筒狀體12G。

頂板25具備分別呈長方形的前部板251、後部板252、左部板253、及右部板254。前部板251係一體連接於前板23的上邊。後部板252一體連接於後板24的上邊。左部板253一體連接於第1側板21的上邊。右部板254也一體連接於第2側板22的上邊。

左部板253及右部板254與第1側板21及第2側板22係設成呈正交的位置關係(水平的位置關係)，使筒狀體12G的上端開口呈局部封閉。然後，從其上方 使前部板251及後部板252形成與前板23及後板24成正交的位置關係(水平的位置關係)，而將筒狀體12G的上端開口整個封閉。底板26具有和頂板25同樣的構成，故省略其說明。

若依上述構成的第8實施形態的用於捆包基板收納容器2的捆包構造體1G，由於是使用所謂橘子箱型的捆包箱10G作為捆包箱，故可用構造簡單的捆包箱10G來包裝基板收納容器2。

本發明並不限定於上述的實施形態，在申請專利範圍所述的技術範圍內，可作各種變形。例如，彈性支持構件係藉螺旋彈簧60或海綿60F所構成，但不限定於這些材料。彈性支持構件也可用例如空氣彈簧、膠體、橡膠、具彈性的高分子發泡體中的任一種來構成。此處，所稱具彈性的高分子發泡體意指不包含輕石等不具彈性的高分子發泡體。

由於彈性支持構件係以空氣彈簧、膠體、橡膠、具彈性的高分子發泡體中的任一種材質所構成，故可按照所需求的彈性適當選擇用於彈性支持構件的構成材料。

再者，第2實施形態中，在上緩衝材30A，凸部321B、331B、341B係接觸於捆包箱10的第1側板121，凸部321B、331B、351B接觸於捆包箱10的第2側板122。此外，第5實施形態中，在上緩衝材30D上，凸部321E係接觸於捆包箱10的前板123，凸部331E則接觸捆包箱10的後板124。但並不限定於這類構造。例 如，上緩衝材中，也可使凸部321B、331B、341B接觸捆包箱10的第1側板121，凸部321B、331B、351B接觸捆包箱10的第2側板122，且凸部321E接觸捆包箱10的前板123，凸部331E接觸捆包箱10的後板124。

藉由採用這種構成，上緩衝材朝前後方向及左右方向移晃的情形可獲得抑制。

此外，第1實施形態中，剛性體50的上面51係抵接於作為下緩衝材40下端面的下面41以支持下緩衝材40，但並不限定於此種構成。例如，也可在剛性體50的上面51與下緩衝材40的下面41之間配置海綿等緩衝材，使剛性體50的上面51經由緩衝材而支持下緩衝材40的下面41。

而且，上緩衝材、下緩衝材、剛性體的材質並非限定於本實施形態的各種材質。例如，剛性體也可以三合板或鋁板(金屬薄板)來構成。

又，捆包箱10、10G雖係利用所謂塑膠瓦楞箱(普拉丹)所構成，但並非限定於此。例如，捆包箱也可利用紙製瓦楞材或鋁框板來構成。

此外，基板收納容器並不限定於本實施形態的形狀、尺寸。

1‧‧‧捆包構造體

2‧‧‧基板收納容器

10‧‧‧捆包箱

11‧‧‧上蓋

12‧‧‧箱壁構件

13‧‧‧下蓋

30‧‧‧上緩衝材

40‧‧‧下緩衝材

41‧‧‧下面

50‧‧‧剛性體

51‧‧‧上面

52‧‧‧下面

60‧‧‧彈性支持構件(螺旋彈簧)

101‧‧‧上方空間

102‧‧‧上部空間

103‧‧‧中部空間

104‧‧‧下部空間

105‧‧‧空間

106‧‧‧下方空間

111‧‧‧頂板

121‧‧‧第1側板

122‧‧‧第2側板

125‧‧‧穿孔

131‧‧‧底板

222‧‧‧容器中央部

341‧‧‧凸部

361‧‧‧凸狀部分

371‧‧‧凹部

441‧‧‧凸部

451‧‧‧凸部

461‧‧‧凸狀部分

471‧‧‧凹部

Claims (8)

1. 一種捆包構造體，係為用於捆包基板收納容器的捆包構造體，該基板收納容器係以收納及運送由半導體晶圓所構成的基板為目的，而捆包構造體係具備：捆包箱，具有第1側板、第2側板、前板、後板、頂板、及底板，且呈六面體形狀；上緩衝材，在前述捆包箱內，載置於前述基板收納容器的上部；下緩衝材，供載置前述基板收納容器，由前述上緩衝材與下緩衝材以從上下方向夾持前述基板收納容器的方式配置於前述捆包箱內；及彈性支持構件，配置於前述捆包箱內，可彈性變形，且支持在前述捆包箱的底板，藉以支持前述下緩衝材，前述下緩衝材不接觸前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板的任一者，而在前述下緩衝材與前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板之間形成有下部空間，俾於振動加諸於前述捆包箱之際，不會從前述捆包箱向前述下緩衝材的側面以從前述後板朝前述前板的方向及屬於其相反方向的前後方向的振動的形態傳遞，或者，以從前述第2側板朝前述第1側板的方向及屬於其相反方向的左右方向的振動的形態傳遞。
2. 如請求項1所述的捆包構造體，其中，前述上緩衝材係接觸於前述捆包箱的頂板。
3. 如請求項1所述的捆包構造體，其中，前述上緩衝材不接觸於前述捆包箱的頂板，而在前述上緩衝材與前述捆包箱的頂板之間形成有上方空間。
4. 如請求項1至3項中任一項所述的捆包構造體，其中，前述上緩衝材係接觸於前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板。
5. 如請求項1所述的捆包構造體，其中，前述上緩衝材不接觸前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板的任一者，而在前述上緩衝材與前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板之間形成有上部空間。
6. 如請求項1所述的捆包構造體，其中，前述捆包箱具備：下蓋，具有前述底板；箱壁構件，由前述第1側板、第2側板、前板、及後板所構成，具有朝上下方向延伸的軸心，且呈四角筒狀；及上蓋，具有前述頂板，而前述箱壁構件的下端部係載置於前述下蓋的底板上，前述上蓋的頂板則載置於前述箱壁構件的上端部。
7. 如請求項1所述的捆包構造體，其中，具備有剛性體，該剛性體係配置於前述捆包箱內，具有分別呈平坦狀的上面及下面而呈板狀，前述剛性體的上面係支持前述下緩衝材，前述剛性體的下面係抵接於前述彈性支持構件的上端部，而藉前述彈性支持構件支持， 前述剛性體具有的硬度係在前述基板收納容器載置於前述下緩衝材時可抑制前述下緩衝材之變形並可支持前述下緩衝材的程度，且該剛性體不接觸前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板的任一者，而在前述剛性體與前述捆包箱的第1側板、第2側板、前板、及後板之間形成有空間，前述彈性支持構件的上端部係經由前述剛性體而間接的支持前述下緩衝材。
8. 如請求項1所述的捆包構造體，其中，前述彈性支持構件係由螺旋彈簧、空氣彈簧、膠體、海綿、橡膠、具有彈性之高分子發泡體中的任一者所構成。