JPWO2015037136A1

JPWO2015037136A1 - 基板収納容器を梱包するための梱包構造体

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Publication number: JPWO2015037136A1
Application number: JP2015536401A
Authority: JP
Inventors: 剛永島
Original assignee: Miraial Co Ltd
Current assignee: Miraial Co Ltd
Priority date: 2013-09-13
Filing date: 2013-09-13
Publication date: 2017-03-02
Anticipated expiration: 2033-09-13
Also published as: WO2015037136A1; KR20160054525A; TWI608976B; US20160280443A1; US9850055B2; KR102075009B1; JP6027255B2; TW201515958A

Abstract

半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するための基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０と、梱包箱１０内において基板収納容器２が載置される下部緩衝材４と、を備える。下部緩衝材４は、第１緩衝部４ｆと、第２緩衝部４ｓとを有する。第１緩衝部４ｆは、緩衝材により構成されて基板収納容器２に直接当接して基板収納容器２を支持する緩衝支持部４０と、緩衝材により構成されて緩衝支持部４０に接続され緩衝支持部４０から下方へ延びる緩衝部連結部７０と、を有する。第２緩衝部４ｓは、貫通孔５３が形成された緩衝板状部５０と、第１緩衝部４ｆの緩衝部連結部７０よりも柔らかい緩衝材により構成され緩衝板状部５０から下方へ延びる緩衝脚部６０と、を有する。緩衝板状部５０の貫通孔５３に緩衝部連結部７０が貫通した状態で、緩衝板状部５０は、第１緩衝部４ｆを支持する。

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器を梱包するための梱包構造体に関する。

半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と蓋体とを備える基板収納容器が、従来より知られている。このような基板収納容器が梱包箱内に梱包されて輸送される際には、梱包箱内に樹脂製の緩衝材等が配置される。これらの緩衝材は、梱包箱内において基板収納容器を保持し、梱包箱外部からの基板収納容器への衝撃や振動の伝達を低減する。この用途において、２つ以上の異なる材質で構成されている緩衝材が用いられる場合がある（特許文献１参照）。

特開平７−２９１２８０号公報

例えば、２つの異なる材質で構成されている緩衝材が用いられる場合、一方の材質で構成されている緩衝材の部分と、他方の材質で構成されている緩衝材の部分とは、接着により固定することが簡便である。しかし、この場合、使用する接着剤によっては、アウトガスが発生する。そして、発生したアウトガスが、基板収納容器の包装袋に付着して、基板収納容器をクリーンルーム内に導入する際に一緒に持ち込まれる危険性がある。

本発明は、基板収納容器の輸送時に基板収納容器の梱包箱内に配置される緩衝材として、２つ以上の異なる材質で構成されている緩衝材を用いる場合に、接着剤を用いることなくそれらの緩衝材を固定することのできる、基板収納容器を梱包するための梱包構造体を提供することを目的とする。

本発明は、半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、梱包箱と、前記梱包箱内において前記基板収納容器が載置される下部緩衝材と、を備え、前記下部緩衝材は、第１緩衝部と第２緩衝部とを有し、前記第１緩衝部は、緩衝材により構成されて前記基板収納容器に直接当接して前記基板収納容器を支持する緩衝支持部と、緩衝材により構成されて前記緩衝支持部に接続され前記緩衝支持部から下方へ延びる緩衝部連結部と、を有し、前記第２緩衝部は、貫通孔が形成された緩衝板状部と、前記第１緩衝部の前記緩衝部連結部よりも柔らかい緩衝材により構成され前記緩衝板状部から下方へ延びる緩衝脚部と、を有し、前記緩衝板状部の前記貫通孔に前記緩衝部連結部が貫通した状態で、前記緩衝板状部は、前記第１緩衝部を支持する梱包構造体に関する。

また、前記第２緩衝部の前記緩衝脚部の下端部は前記梱包箱に支持され、前記第１緩衝部の前記緩衝部連結部の下端部は、前記梱包箱に支持されておらず、前記緩衝脚部の下端部よりも上方に位置して前記梱包箱から離間していることが好ましい。

また、前記第１緩衝部の前記緩衝支持部と前記緩衝部連結部とは、同一の緩衝材により一体成形されていることが好ましい。

また、前記第２緩衝部の前記緩衝脚部を構成する緩衝材は、コイルバネ、空気バネ、ゲル、スポンジ、ゴム、弾性を有する高分子発泡体のうちのいずれかにより構成されることが好ましい。

また、前記第２緩衝部の前記緩衝板状部は、それぞれ平坦な上面及び下面を有する板状を有して前記第１緩衝部の前記緩衝支持部に当接可能な剛性体であって、前記第１緩衝部の前記緩衝支持部に前記基板収納容器が載置されたときに前記緩衝支持部の変形を抑えて前記緩衝支持部を支持可能な程度の硬さを有する剛性体により構成されていることが好ましい。

また、前記第２緩衝部の前記緩衝脚部を構成する緩衝材は、スポンジにより構成され、前記第２緩衝部の前記緩衝板状部は、前記緩衝脚部を構成するスポンジと同一のスポンジにより構成され、前記緩衝板状部と前記緩衝脚部とは一体成形されていることが好ましい。

また、前記第１緩衝部の前記緩衝部連結部は、前記第２緩衝部の前記緩衝板状部に接着されておらず、前記緩衝板状部の前記貫通孔に嵌合されることによって前記緩衝板状部に固定されていることが好ましい。

本発明によれば、基板収納容器の輸送時に基板収納容器の梱包箱内に配置される緩衝材として、２つ以上の異なる材質で構成されている緩衝材を用いる場合に、接着剤を用いることなくそれらの緩衝材を固定することのできる、基板収納容器を梱包するための梱包構造体を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す展開斜視図である。本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す展開正面図である。本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す斜め上方から見た斜視図である。図３Ａの梱包構造体１において、梱包箱１０の前板１２３を省略して示す正面図である。本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１において、下部緩衝材４の第１緩衝部４ｆを示す正面図である。本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１において、下部緩衝材４の第２緩衝部４ｓを示す正面図である。図４Ａの第１緩衝部４ｆを斜め上方から見た斜視図である。図４Ｂの第２緩衝部４ｓを斜め上方から見た斜視図である。図４Ａの第１緩衝部４ｆを斜め下方から見た斜視図である。図４Ｂの第２緩衝部４ｓを斜め下方から見た斜視図である。図３ＢのＡ−Ａ線に沿った縦断側面図である。図７ＡのＢ部分の拡大図である。本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１によって梱包される基板収納容器２を示す展開斜視図である。本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１が落下して、第２緩衝部４ｓの緩衝脚部６０が縮み、第１緩衝部４ｆの緩衝部連結部７０が梱包箱１０の底板１３に到達した状態を示す、図３Ｂと同様の正面図である。本発明の第２実施形態に係る梱包構造体１における下部緩衝材４Ａの第１緩衝部４ｆＡを示す底面図である。図１０Ａの第１緩衝部４ｆＡを斜め下方から見た斜視図である。本発明の第３実施形態に係る梱包構造体１における下部緩衝材４Ｂの第１緩衝部４ｆＢを示す底面図である。図１１Ａの第１緩衝部４ｆＢを斜め下方から見た斜視図である。本発明の第４実施形態に係る梱包構造体１における下部緩衝材４Ｃの第１緩衝部４ｆＣを示す底面図である。図１２Ａの第１緩衝部４ｆＣを斜め下方から見た斜視図である。本発明の第５実施形態に係る梱包構造体１における下部緩衝材４Ｄの第１緩衝部４ｆＤを示す底面図である。図１３Ａの第１緩衝部４ｆＤを斜め下方から見た斜視図である。本発明の第５実施形態に係る梱包構造体１Ｄにおいて、第１緩衝部４ｆＤと第２緩衝部４ｓＤとの固定の様子を示す図７Ａと同様の縦断側面図である。図１４ＡのＣ部分の拡大図である。本発明の第６実施形態に係る梱包構造体１における下部緩衝材４Ｅの第２緩衝部４ｓＥを示す底面図である。図１５Ａの第２緩衝部４ｓＥを斜め下方から見た斜視図である。本発明の第７実施形態に係る梱包構造体１における下部緩衝材４Ｆの第２緩衝部４ｓＦを示す底面図である。図１５Ａの第２緩衝部４ｓＦを斜め下方から見た斜視図である。本発明の第８実施形態に係る梱包構造体１における下部緩衝材４Ｇの第１緩衝部４ｆＧと第２緩衝部４ｓＧとの固定の様子を示す図７Ａと同様の縦断側面図である。図１７Ｂは、図１７ＡのＤ部分の拡大図である。本発明の第９実施形態に係る梱包構造体１における下部緩衝材４Ｈの第１緩衝部４ｆＨと第２緩衝部４ｓＨとの固定の様子を示す図７Ａと同様の縦断側面図である。図１８Ｂは、図１８ＡのＥ部分の拡大図である。図１９は、第１０実施形態に係る梱包構造体１Ｉにおける下部緩衝材４Ｉを示す図３Ｂと同様の正面図である。

以下、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す展開斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す展開正面図である。図３Ａは、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を示す斜め上方から見た斜視図である。図３Ｂは、図３Ａの梱包構造体１において、梱包箱の前板を省略して示す正面図である。図４Ａは、本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１において、下部緩衝材の第１緩衝部を示す正面図である。図４Ｂは、本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１において、下部緩衝材の第２緩衝部を示す正面図である。図５Ａは、図４Ａの下部緩衝材の第１緩衝部を斜め上方から見た斜視図である。図５Ｂは、図４Ｂの下部緩衝材の第２緩衝部を斜め上方から見た斜視図である。図６Ａは、図４Ａの下部緩衝材の第１緩衝部を斜め下方から見た斜視図である。図６Ｂは、図４Ｂの下部緩衝材の第２緩衝部を斜め下方から見た斜視図である。図７Ａは、図３ＢのＡ−Ａ線に沿った縦断側面図である。図７Ｂは、図７ＡのＢ部分の拡大図である。図８は、本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１によって梱包される基板収納容器２を示す展開斜視図である。図９は、本発明の第１実施形態に係る梱包構造体１が落下して、第２緩衝部の緩衝脚部が縮み、第１緩衝部の緩衝部連結部が梱包箱の底面に到達した状態を示す、図３Ｂと同様の正面図である。

ここで、説明の便宜上、後述の梱包箱１０の背板１２４から前板１２３へ向かう方向（図１における左下方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の底板１３から天板１１へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する右板１２２から左板１２１へと向かう方向（図１における左上方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。

図８に示すように、梱包構造体１により梱包される基板収納容器２は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するためのものであり、容器本体２０２と、蓋体２０３とを有している。なお、図７Ａにおいては、便宜上、基板収納容器２の内部の図示を省略する。

容器本体２０２は、一端部に容器本体開口部２２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２２０を有する。容器本体２０２内には基板収納空間２２７が形成されている。基板収納空間２２７は、壁部２２０により取り囲まれて形成されている。壁部２２０の部分であって基板収納空間２２７を形成している部分には、基板支持板状部２０５及びリアリテーナ（図示せず）が配置されている。基板収納空間２２７には、複数の基板Ｗを収納可能である。

基板支持板状部２０５は、基板収納空間２２７内において対をなすように壁部２２０に設けられている。基板支持板状部２０５は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。リアリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

蓋体２０３は、容器本体開口部２２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２２１を閉塞可能である。蓋体２０３には、フロントリテーナ（図示せず）が設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３の部分であって蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに基板収納空間２２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、リアリテーナ（図示せず）と対をなすように配置されている。

フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、リアリテーナ（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。

基板収納容器２に収納される基板Ｗ（図８参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ〜４５０ｍｍのシリコンウェーハである。

図１に示すように、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０と、上部緩衝材３０と、下部緩衝材４と、を備えている。下部緩衝材４は、第１緩衝部４ｆと第２緩衝部４ｓとを組み合わせて構成される。梱包構造体１は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するために、基板収納容器２を梱包する。

図１、図２、図３Ａ等に示すように、梱包箱１０は、いわゆるプラスチック段ボール箱（プラダン）により構成された所謂みかん箱タイプのものであり、側板１２と、天板１１と、底板１３と、を備え、全体として直方体形状を有している。

側板１２は、それぞれ長方形状の板状を有する左板１２１、右板１２２、前板１２３、及び背板１２４により構成されており、上下方向に延びる軸心を有して両端において開口する四角筒状を有している。側板１２の左板１２１、右板１２２には、それぞれ前後方向に長い長円形状の貫通孔１２５が形成されている。作業者は、貫通孔１２５に手を挿入して、梱包箱１０を持ち上げることが可能である。

天板１１は、側板１２の左板１２１、右板１２２、前板１２３、及び背板１２４のそれぞれ上縁に連なり、互いに独立して上方向に延出する長方形状の４枚の延出板１１１、１１２、１１３、１１４を有している。これら４枚の延出板１１１、１１２、１１３、１１４の各々は、それらが連なる側板１２の左板１２１、右板１２２、前板１２３、及び背板１２４の各々に対してその上縁から実質的に９０°の角度で内側に折り畳まれて互いに重ねられる。この互いに重なった状態の４枚の延出板１１１、１１２、１１３、１１４によって、天板１１は、構成される。

底板１３は、側板１２の左板１２１、右板１２２、前板１２３、及び背板１２４のそれぞれ下縁に連なり、互いに独立して下方向に延出する長方形状の４枚の延出板（１３１、１３２、１３３、１３４、但しいずれも図示省略）を有している。これら４枚の延出板の各々は、それらが連なる側板１２の左板１２１、右板１２２、前板１２３、及び背板１２４の各々に対してその下縁から実質的に９０°の角度で内側に折り畳まれて互いに重ねられる。この互いに重なった状態の４枚の延出板によって、底板１３は、構成される。

上部緩衝材３０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を上部緩衝材３０に直接載置しても塑性変形せずに上部緩衝材３０自体の形状を保持可能な硬さを有している。また、上部緩衝材３０は、梱包箱１０に作用して上部緩衝材３０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する材質により構成されている。従って、上部緩衝材３０は、所定の衝撃よりも強い衝撃を受けると塑性変形して形状が元に戻らなくなるが、所定の衝撃よりも弱い衝撃については吸収可能であり、このような衝撃では、ほとんど変形しない。上部緩衝材３０は、本実施形態では、発泡スチロールにより構成されている。

図１、図２等に示すように、上部緩衝材３０は、略直方体形状を有している。上部緩衝材３０の上面３１には、上方突出凸部３１１が存在している。上方突出凸部３１１は、略長方形状の上部緩衝材３０の上面３１の四隅の近傍にそれぞれ形成されており、上方へ突出するそれぞれ同一形状の略直方体形状を有している。このため、図３Ｂ、図７Ａに示すように、上方突出凸部３１１は、梱包箱１０の天板１１に接している。

上部緩衝材３０の前側の側面３２には、前方向Ｄ１１へ略直方体形状の凸部３２１が４つ突出している。同様に、上部緩衝材３０の後側の側面３３にも、後方向Ｄ１２へ略直方体形状の凸部３３１が４つ突出している。このため、図７Ａに示すように、前方向Ｄ１１への凸部３２１は、梱包箱１０の前板１２３に接している。後方向Ｄ１２への凸部３３１は、梱包箱１０の背板１２４に接している。

上部緩衝材３０の左側の側面３４には、左方向Ｄ３１へ略直方体形状の凸部３４１が３つ突出している。同様に、上部緩衝材３０の右側の側面３５にも、右方向Ｄ３２へ略直方体形状の凸部３５１が３つ突出している。このため、図３Ｂに示すように、左方向Ｄ３１への凸部３４１は、梱包箱１０の左板１２１に接している。右方向Ｄ３２への凸部３５１は、梱包箱１０の右板１２２に接している。

上部緩衝材３０の下面には、下方向Ｄ２２へ突出する凸状部分３６１が設けられている。従って、上部緩衝材３０の下部は、凸状部分３６１に対して相対的に上方へ窪んだ凹部３７１（図７Ａ等参照）を有する。凹部３７１は、基板収納容器２の蓋体２０３の上部及び容器本体２０２の上部と略同一形状を有している。基板収納容器２の上部に上部緩衝材３０が載置されることにより、凹部３７１には、蓋体２０３の上部及び容器本体２０２の上部が係合する。

下部緩衝材４の第１緩衝部４ｆは、緩衝材により構成されて、基板収納容器２に直接当接して基板収納容器２を支持する緩衝支持部４０と、緩衝材により構成されて、緩衝支持部４０に接続され緩衝支持部４０から下方へ延びる緩衝部連結部７０と、を有している。

緩衝支持部４０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を緩衝支持部４０に直接載置しても塑性変形せずに緩衝支持部４０自体の形状を保持可能な硬さを有している。また、緩衝支持部４０は、梱包箱１０に作用して緩衝支持部４０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する材質により構成されている。緩衝支持部４０は、本実施形態では、上部緩衝材３０と同一の発泡スチロールにより構成されている。

緩衝支持部４０は、略直方体形状を有している。緩衝支持部４０の下面４１（図６Ａ等参照）は、平坦面により構成されるが、緩衝部連結部７０が２つ突出している。緩衝部連結部７０は、緩衝支持部４０の下面４１の中央から長手方向に所定間隔を置いて配置される。緩衝部連結部７０は、緩衝支持部４０とは異なる材質により構成されてもよい。緩衝部連結部７０は、本実施形態では、緩衝支持部４０と同一の発泡スチロールにより緩衝支持部４０と一体に構成されている。

２つの緩衝部連結部７０の形状、大きさは、同じである。緩衝部連結部７０は、緩衝支持部４０に連なる上端部から下端部に向けて徐々に細くなるテーパの付いた円筒形、換言すれば裁頭円錐形の形状を有する。緩衝部連結部７０の下端部から上端部の手前までの直径は、第２緩衝部４ｓの後述する緩衝板状部５０の貫通孔５３の直径よりも小径である。緩衝部連結部７０の上端部の手前から上端部までの直径は、緩衝板状部５０の貫通孔５３の直径よりも大径である。そのため、緩衝部連結部７０が下端部から緩衝板状部５０の貫通孔５３に挿通されると、緩衝部連結部７０の上端部付近が貫通孔５３により半径方向内側へ押しつぶされるようにして嵌合され、これにより、第１緩衝部４ｆと第２緩衝部４ｓとは、一体に固定される。

緩衝支持部４０の上面には、上方向Ｄ２１へ突出する凸状部分４６１が設けられている。従って、緩衝支持部４０の上部は、凸状部分４６１に対して相対的に下方へ窪んだ凹部４７１（図７Ａ等参照）を有する。凹部４７１は、基板収納容器２の容器本体２０２の下部と略同一形状を有しており、凹部４７１には、容器本体２０２の下部が係合する。

緩衝支持部４０の前側の側面４２には、前方向Ｄ１１へ略直方体形状の凸部４２１が４つ突出している。同様に、緩衝支持部４０の後側の側面４３にも、後方向Ｄ１２へ略直方体形状の凸部４３１が４つ突出している。このため、図７Ａに示すように、前方向Ｄ１１への凸部４２１は、梱包箱１０の前板１２３に接している。後方向Ｄ１２への凸部４３１は、梱包箱１０の背板１２４に接している。

緩衝支持部４０の左側の側面４４には、左方向Ｄ３１へ略直方体形状の凸部４４１（図６Ａ等参照）が３つ突出している。同様に、緩衝支持部４０の右側の側面４５にも、右方向Ｄ３２へ略直方体形状の凸部４５１が３つ突出している。このため、図３Ｂに示すように、左方向Ｄ３１への凸部４４１は、梱包箱１０の左板１２１に接している。右方向Ｄ３２への凸部４５１は、梱包箱１０の右板１２２に接している。

下部緩衝材４の第２緩衝部４ｓは、貫通孔５３が形成された緩衝板状部５０と、第１緩衝部４ｆの緩衝部連結部７０よりも柔らかい緩衝材により構成され、緩衝板状部５０から下方へ延びる緩衝脚部６０と、を有している。

緩衝板状部５０は、第１緩衝部４ｆの緩衝支持部４０に基板収納容器２が載置されたときに緩衝支持部４０の変形を抑えて緩衝支持部４０を支持可能な程度の硬さを有する。本実施形態では、緩衝板状部５０は、ダンボールの板又はプラスチックの板により構成されている。即ち、緩衝板状部５０は、それ自体で振動や衝撃を吸収しなくてもよく、それ自体の形状が維持できる比較的硬い材質により構成される。従って、緩衝板状部５０は、上部緩衝材３０、第１緩衝部４ｆのいずれよりも硬い。

緩衝板状部５０は、長方形状の板状を有しており、この長方形状は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な面で切った梱包箱１０の断面における、梱包箱１０の内面により囲まれる長方形状に近似している。従って、緩衝板状部５０は、梱包箱１０の左板１２１、右板１２２、前板１２３、及び背板１２４のいずれとも実質的に接してよい（図３Ｂ、図７Ａ等参照）。

緩衝板状部５０は、それぞれ平坦な上面５１及び下面５２を有し、上面５１と下面５２との間を貫通する貫通孔５３が２つ形成されている。貫通孔５３は、緩衝板状部５０の中央から長手方向に所定間隔を置いて配置される。２つの貫通孔５３の位置は、第１緩衝部４ｆの緩衝支持部４０の下面４１から突出した２つの緩衝部連結部７０の位置と対応している。

緩衝脚部６０は、緩衝板状部５０の下面５２の四隅に固定される。緩衝脚部６０の材質は、発泡スチロール製の緩衝部連結部７０よりも柔らかい緩衝材であればよい。緩衝脚部６０は、本実施形態では、緩衝部連結部７０の発泡スチロールよりも柔らかい弾性係数を有するコイルバネにより構成されている。なお、図中においてコイルバネ６０については、簡略化して図示している。

緩衝脚部としてのコイルバネ６０の長さは、第１緩衝部４ｆの緩衝部連結部７０が緩衝板状部５０の貫通孔５３に挿通されて嵌合し、緩衝支持部４０の下面４１と緩衝板状部５０の上面５１とが接触した位置で固定されたときに、緩衝部連結部７０の下端部がコイルバネ６０の下端部の高さよりも上方に位置するように決定される。そのため、第１緩衝部４ｆと第２緩衝部４ｓとは、緩衝支持部４０の下面４１と緩衝板状部５０の上面５１とが接触する位置まで緩衝部連結部７０が緩衝板状部５０の貫通孔５３に挿通して嵌合して固定され、このとき、コイルバネ６０の下端部の高さよりも緩衝部連結部７０の下端部が上方に位置するようにして、一体に組み合わされる。これにより、第１緩衝部４ｆ及び第２緩衝部４ｓが一体化した下部緩衝材４が構成される。

第１緩衝部４ｆ及び第２緩衝部４ｓが一体化して構成された下部緩衝材４において、下部緩衝材４は、緩衝脚部としてのコイルバネ６０によって全体を支持される。具体的には、コイルバネ６０は、緩衝板状部５０を支持する。緩衝板状部５０は、緩衝部連結部７０が緩衝板状部５０の貫通孔５３に挿通されて嵌合し、緩衝支持部４０の下面４１と緩衝板状部５０の上面５１とが接触した状態で緩衝支持部４０を支持する。

従って、天板１１を開けた状態の梱包箱１０に、第１緩衝部４ｆ及び第２緩衝部４ｓを一体化した下部緩衝材４を配置すると、コイルバネ６０の下端部は、梱包箱１０の底板１３上に載り、緩衝部連結部７０の下端部は、底板１３から上方に離間して位置する。この下部緩衝材４の緩衝支持部４０の凹部４７１内に、基板収納容器２を載置する。この基板収納容器２の上部に、上部緩衝材３０の凹部３７１を被せるようにして上部緩衝材３０を載置する。そして、天板１１を閉じる。すると、図３Ａ、図３Ｂ、図７Ａに示すように、基板収納容器２を梱包した梱包構造体１が構成される。

次に、上記のように構成された第１実施形態に係る梱包構造体１の作用について説明する。

図３Ｂ、図７Ａに示すように、基板収納容器２を梱包した梱包構造体１において、上部緩衝材３０の上方突出凸部３１１は、梱包箱１０の天板１１に接している。上部緩衝材３０の前方向Ｄ１１への凸部３２１は、梱包箱１０の前板１２３に接して、後方向Ｄ１２への凸部３３１は、梱包箱１０の背板１２４に接している。上部緩衝材３０の左方向Ｄ３１への凸部３４１は、梱包箱１０の左板１２１に接して、右方向Ｄ３２への凸部３５１は、梱包箱１０の右板１２２に接している。第１緩衝部４ｆ及び第２緩衝部４ｓが一体化して構成された下部緩衝材４の緩衝支持部４０の前方向Ｄ１１への凸部４２１は、梱包箱１０の前板１２３に接して、後方向Ｄ１２への凸部４３１は、梱包箱１０の背板１２４に接している。緩衝支持部４０の左方向Ｄ３１への凸部４４１は、梱包箱１０の左板１２１に接して、右方向Ｄ３２への凸部４５１は、梱包箱１０の右板１２２に接している。そして、梱包箱１０内の全ての構成要素は、下部緩衝材４の緩衝脚部としてのコイルバネ６０によって支持されている。

梱包箱１０の外方から梱包箱１０に振動が加えられる場合、その振動は、発泡スチロール製の上部緩衝材３０及び下部緩衝材４の緩衝支持部４０によって保護された基板収納容器２に対して、実質的にコイルバネ６０を介して伝播する。コイルバネ６０は、その弾性係数に応じて振動を吸収して減衰させる作用を有する。そのため、梱包箱１０に加えられる振動は、そのまま基板収納容器２に伝播されることはなく、コイルバネ６０により適切に減衰されたうえで基板収納容器２に伝播される。従って、基板収納容器２が受ける振動は、梱包箱１０に加えられる振動に比べて微弱になった振動であり、基板収納容器２に収納された半導体ウェーハからなる基板Ｗに損傷を及ぼす危険は回避される。

たとえ万一であったとしても、梱包箱１０がある高さから落下する場合もあり得る。このとき、下部緩衝材４が仮に緩衝板状部５０よりも下方にコイルバネ６０しか有していない場合には、コイルバネ６０は、その振動吸収能力を大幅に越える落下の衝撃を受けて破損してしまい、その結果、発泡スチロールよりも硬い材質（即ち剛性体）の緩衝板状部５０が、落下の衝撃を実質的に直接受ける。そのため、落下の衝撃を実質的に直接受けた剛性体の緩衝板状部５０から基板収納容器２に伝わる衝撃の大きさは、両者の間に介在する発泡スチロール製の緩衝支持部４０によってわずかに低減されるのみである。従って、基板収納容器２が受ける衝撃の大きさは、基板収納容器２に収納された半導体ウェーハからなる基板Ｗに重大な損傷を及ぼすのに十分な大きさであり、結果として、基板Ｗは、重大な損傷を被る。

これに対して、第１実施形態に係る梱包構造体１では、図３Ｂ、図７Ａに示すように、緩衝支持部４０の下面４１から突出する発泡スチロール製の緩衝部連結部７０が緩衝板状部５０の貫通孔５３を通って下方へ延在している。しかも、定常状態では、緩衝部連結部７０の下端部は、梱包箱１０の底板１３から上方に離間して位置している。梱包箱１０がある高さから落下した場合、図９に示すように、コイルバネ６０が落下の衝撃を吸収できずに縮まると、発泡スチロール製の緩衝部連結部７０の下端部が梱包箱１０の底板１３に当接して、緩衝部連結部７０が落下の衝撃を吸収する。このとき、緩衝支持部４０も同様に落下の衝撃を吸収する。そのため、落下の衝撃は、剛性体の緩衝板状部５０を直接介することなく、発泡スチロール製の緩衝部連結部７０及び緩衝支持部４０を介して基板収納容器２に伝わる。従って、基板収納容器２が受ける衝撃の大きさは、基板収納容器２に収納された半導体ウェーハからなる基板Ｗに重大な損傷を及ぼさないことを期待することもできる大きさであり、結果として、基板Ｗは、重大な損傷を免れることもあり得る。

上記構成の第１実施形態に係る梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。

梱包構造体１は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するための基板収納容器２を梱包するためのものであり、梱包箱１０と、梱包箱１０内において基板収納容器２が載置される下部緩衝材４と、を備え、下部緩衝材４は、第１緩衝部４ｆと第２緩衝部４ｓとを有する。第１緩衝部４ｆは、緩衝材により構成されて基板収納容器２に直接当接して基板収納容器２を支持する緩衝支持部４０と、緩衝材により構成されて緩衝支持部４０に接続され緩衝支持部４０から下方へ延びる緩衝部連結部７０と、を有する。第２緩衝部４ｓは、貫通孔５３が形成された緩衝板状部５０と、第１緩衝部４ｆの緩衝部連結部７０よりも柔らかい緩衝材により構成され緩衝板状部５０から下方へ延びる緩衝脚部（コイルバネ）６０と、を有する。そして、緩衝板状部５０の貫通孔５３に緩衝部連結部７０が貫通した状態で、緩衝板状部５０は、第１緩衝部４ｆを支持する。

この構成により、基板収納容器２の輸送時に基板収納容器２の梱包箱１０内に配置される下部緩衝材４として、２つ以上の異なる材質で構成されている第１緩衝部４ｆと第２緩衝部４ｓとを用いる場合に、接着剤を用いることなく第１緩衝部４ｆと第２緩衝部４ｓとを固定することのできる、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１を提供することができる。これにより、接着剤を用いる場合にアウトガスが発生して、そのアウトガスが、基板収納容器２の包装袋に付着して、基板収納容器２をクリーンルーム内に導入する際に一緒に持ち込まれる危険性を未然に回避することができる。

また、第２緩衝部４ｓの緩衝脚部６０の下端部は梱包箱１０に支持され、第１緩衝部４ｆの緩衝部連結部７０の下端部は、梱包箱１０に支持されておらず、緩衝脚部６０の下端部よりも上方に位置して梱包箱１０から離間している。

この構成により、梱包箱１０の外方から梱包箱１０に振動が加えられる場合、その振動は、第１緩衝部４ｆの緩衝部連結部７０よりも柔らかい緩衝材により構成される第２緩衝部４ｓの緩衝脚部６０を介して基板収納容器２に伝播する。緩衝脚部６０は、振動を吸収して減衰させるため、基板収納容器２が受ける振動は、梱包箱１０に加えられる振動に比べて微弱な振動である。従って、基板収納容器２に収納された半導体ウェーハからなる基板Ｗに損傷を及ぼす危険を回避することができる。万一、梱包箱１０がある高さから落下した場合には、第１緩衝部４ｆの緩衝部連結部７０及び緩衝支持部４０が落下の衝撃を吸収することができる。そのため、基板Ｗは、重大な損傷を免れることもできる。

また、第１緩衝部４ｆの緩衝支持部４０と緩衝部連結部７０とは、同一の緩衝材（発泡スチロール）により一体成形されている。この構成により、第１緩衝部４ｆを安価に得ることができる。

また、第２緩衝部４ｓの緩衝脚部６０を構成する緩衝材は、コイルバネに限定されず、空気バネ、ゲル、スポンジ、ゴム、弾性を有する高分子発泡体のうちのいずれかにより構成されてもよい。この構成によれば、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１に要求される仕様に応じて、第２緩衝部４ｓを、任意の緩衝材を用いて構成することができる。

また、第２緩衝部４ｓの緩衝板状部５０は、それぞれ平坦な上面５１及び下面５２を有する板状を有して第１緩衝部４ｆの緩衝支持部４０に当接可能な剛性体であって、第１緩衝部４ｆの緩衝支持部４０に基板収納容器２が載置されたときに緩衝支持部４０の変形を抑えて緩衝支持部４０を支持可能な程度の硬さを有する剛性体により構成されている。この構成により、基板収納容器２に直接当接して基板収納容器２を支持する緩衝支持部４０の変形を防止することができ、従って、基板収納容器２に無理な外力が加えられることを防止することができる。

また、第２緩衝部４ｓの緩衝脚部６０を構成する緩衝材は、コイルバネに代えて、スポンジにより構成されてもよい。そして、第２緩衝部４ｓの緩衝板状部５０は、緩衝脚部６０を構成するスポンジと同一のスポンジにより構成され、緩衝板状部５０と緩衝脚部６０とは一体成形されてもよい。この構成によれば、第２緩衝部４ｓを安価に得ることができる。

また、第１緩衝部４ｆの緩衝部連結部７０は、第２緩衝部４ｓの緩衝板状部５０に接着されておらず、緩衝板状部５０の貫通孔５３に嵌合されることによって緩衝板状部５０に固定されている。この構成により、接着剤を用いることなく第１緩衝部４ｆと第２緩衝部４ｓとを固定することができる。

以下、下部緩衝材４の第１緩衝部４ｆと第２緩衝部４ｓとの様々な組み合わせについて説明する。
上記の第１実施形態では、第１緩衝部４ｆの緩衝支持部４０及び緩衝部連結部７０は、いずれも同じ発泡スチロール製であり、一体成形されている。緩衝部連結部７０の形状は、上端部から下端部に向けて徐々に細くなるテーパの付いた円筒形（裁頭円錐形）である。第２緩衝部４ｓの緩衝板状部５０は、第１緩衝部４ｆの発泡スチロールよりも硬い剛性体で作られ、緩衝板状部５０の貫通孔５３の形状は、円筒状の丸孔である。第２緩衝部４ｓの緩衝脚部６０は、緩衝部連結部７０の発泡スチロールよりも柔らかい弾性係数を有するコイルバネにより構成されている。これが、下部緩衝材４の第１緩衝部４ｆと第２緩衝部４ｓとの基本的な組み合わせである。

図１０Ａは、第２実施形態の下部緩衝材４Ａにおいて、基本的な丸孔の貫通孔５３を有する緩衝板状部５０と組み合わされる第１緩衝部４ｆＡを示す底面図である。図１０Ｂは、図１０Ａの第１緩衝部４ｆＡを斜め下方から見た斜視図である。

第２実施形態の第１緩衝部４ｆＡにおいて、緩衝部連結部７０Ａの形状は、十字状に形成されている。具体的には、第１実施形態の緩衝部連結部７０の形状（裁頭円錐形）をベースにして、緩衝支持部４０に連なる上端部では十字を形成するための除去領域が大きく、明確に十字状を呈する。上端部から下端部に向けて水平断面積が徐々に減少していくにつれて、十字を形成するための除去領域が減少していき、下端部ではごくわずかな除去領域しか残っていない。第１緩衝部４ｆＡの緩衝部連結部７０Ａは、このような形状に形成されている。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第２実施形態の第１緩衝部４ｆＡの場合も、緩衝部連結部７０Ａの下端部から上端部の手前までの十字形状の外径は、第２緩衝部４ｓの緩衝板状部５０の丸孔の貫通孔５３の直径よりも小径である。緩衝部連結部７０Ａの上端部の手前から上端部までの十字形状の外径は、緩衝板状部５０の丸孔の貫通孔５３の直径よりも大径である。そのため、緩衝部連結部７０Ａが下端部から緩衝板状部５０の貫通孔５３に挿通されると、緩衝部連結部７０Ａの上端部付近が貫通孔５３により半径方向内側へ押しつぶされるようにして嵌合され、これにより、第１緩衝部４ｆＡと第２緩衝部４ｓとは、一体に固定される。

そして、第２実施形態の第１緩衝部４ｆＡの場合も、緩衝部連結部７０Ａの上端部付近と緩衝板状部５０の丸孔の貫通孔５３との嵌合により第２緩衝部４ｓと一体に固定されることによって、第１実施形態の場合の下部緩衝材４と同様に作用し、同様の効果を得ることができる。

図１１Ａは、第３実施形態の下部緩衝材４Ｂにおいて、基本的な丸孔の貫通孔５３を有する緩衝板状部５０と組み合わされる第１緩衝部４ｆＢを示す底面図である。図１１Ｂは、図１１Ａの第１緩衝部４ｆＢを斜め下方から見た斜視図である。

第３実施形態の第１緩衝部４ｆＢにおいて、緩衝部連結部７０Ｂの形状は、三角形状に形成されている。具体的には、第１実施形態の緩衝部連結部７０の形状（裁頭円錐形）をベースにして、緩衝支持部４０に連なる上端部では大きい三角形を呈し、上端部から下端部に向けて水平断面積が徐々に減少していくにつれて、三角形の大きさも徐々に小さくなっていき、下端部では最小の三角形を呈する。第１緩衝部４ｆＢの緩衝部連結部７０Ｂは、このような形状、即ち、裁頭三角錐形に形成されている。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第３実施形態の第１緩衝部４ｆＢの場合も、緩衝部連結部７０Ｂの下端部から上端部の手前までの三角形の外径は、第２緩衝部４ｓの緩衝板状部５０の丸孔の貫通孔５３の直径よりも小径である。緩衝部連結部７０Ｂの上端部の手前から上端部までの三角形の外径は、緩衝板状部５０の丸孔の貫通孔５３の直径よりも大径である。そのため、緩衝部連結部７０Ｂが下端部から緩衝板状部５０の貫通孔５３に挿通されると、緩衝部連結部７０Ｂの上端部付近が貫通孔５３により半径方向内側へ押しつぶされるようにして嵌合され、これにより、第１緩衝部４ｆＢと第２緩衝部４ｓとは、一体に固定される。

そして、第３実施形態の第１緩衝部４ｆＢの場合も、緩衝部連結部７０Ｂの上端部付近と緩衝板状部５０の丸孔の貫通孔５３との嵌合により第２緩衝部４ｓと一体に固定されることによって、第１実施形態の場合の下部緩衝材４と同様に作用し、同様の効果を得ることができる。

図１２Ａは、第４実施形態の下部緩衝材４Ｃにおいて、基本的な丸孔の貫通孔５３を有する緩衝板状部５０と組み合わされる第１緩衝部４ｆＣを示す底面図である。図１２Ｂは、図１２Ａの第１緩衝部４ｆＣを斜め下方から見た斜視図である。

第４実施形態の第１緩衝部４ｆＣにおいて、緩衝部連結部７０Ｃの形状は、星型状に形成されている。具体的には、第１実施形態の緩衝部連結部７０の形状（裁頭円錐形）をベースにして、緩衝支持部４０に連なる上端部では大きい星型を呈し、上端部から下端部に向けて水平断面積が徐々に減少していくにつれて、星型の大きさも徐々に小さくなっていき、下端部では最小の星型を呈する。第１緩衝部４ｆＣの緩衝部連結部７０Ｃは、このような形状に形成されている。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第４実施形態の第１緩衝部４ｆＣの場合も、緩衝部連結部７０Ｃの下端部から上端部の手前までの星型状の外径は、第２緩衝部４ｓの緩衝板状部５０の丸孔の貫通孔５３の直径よりも小径である。緩衝部連結部７０Ｃの上端部の手前から上端部までの星型状の外径は、緩衝板状部５０の丸孔の貫通孔５３の直径よりも大径である。そのため、緩衝部連結部７０Ｃが下端部から緩衝板状部５０の貫通孔５３に挿通されると、緩衝部連結部７０Ｃの上端部付近が貫通孔５３により半径方向内側へ押しつぶされるようにして嵌合され、これにより、第１緩衝部４ｆＣと第２緩衝部４ｓとは、一体に固定される。

そして、第４実施形態の第１緩衝部４ｆＣの場合も、緩衝部連結部７０Ｃの上端部付近と緩衝板状部５０の丸孔の貫通孔５３との嵌合により第２緩衝部４ｓと一体に固定されることによって、第１実施形態の場合の下部緩衝材４と同様に作用し、同様の効果を得ることができる。

図１３Ａは、第５実施形態の下部緩衝材４Ｄにおいて、基本的な丸孔の貫通孔５３を有する緩衝板状部５０と組み合わされる第１緩衝部４ｆＤを示す底面図である。図１３Ｂは、図１３Ａの第１緩衝部４ｆＤを斜め下方から見た斜視図である。図１４Ａは、第５実施形態の下部緩衝材４Ｄにおいて、第１緩衝部４ｆＤと第２緩衝部４ｓＤとの固定の様子を示す図７Ａと同様の縦断側面図である。図１４Ｂは、図１４ＡのＣ部分の拡大図である。

第５実施形態の第１緩衝部４ｆＤにおいて、緩衝部連結部７０Ｄの形状は、返しの付いた裁頭円錐形に形成されている。具体的には、第１実施形態の緩衝部連結部７０の形状（裁頭円錐形）をベースにして、緩衝支持部４０に連なる上端部に円筒状の小径部７１が形成され、それにより、小径部７１の下端部に連なる部分に小径部７１よりも大径の返し部７２が形成されている。なお、小径部７１の外径は、緩衝部連結部７０Ｄの下端部の外径よりも大きく、小径部７１の長さは、後述する緩衝板状部５０の貫通孔５３Ｄの長さに対応する長さに形成されている。また、第５実施形態の場合には、緩衝板状部５０の貫通孔５３Ｄの直径は、緩衝部連結部７０Ｄの小径部７１の外径に対応する大きさに形成されている。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第５実施形態の第１緩衝部４ｆＤの場合は、緩衝部連結部７０Ｄが下端部から緩衝板状部５０の貫通孔５３Ｄに挿通されると、緩衝部連結部７０Ｄの返し部７２のやや下方から返し部７２にかけて発泡スチロールがつぶされながら貫通孔５３Ｄを通過する。小径部７１が貫通孔５３Ｄ内に収まると、返し部７２の発泡スチロールが貫通孔５３Ｄよりも大径に拡開して小径部７１と貫通孔５３Ｄとが嵌合し、これにより、第１緩衝部４ｆＤと第２緩衝部４ｓＤとは、一体に固定される。

そして、第５実施形態の第１緩衝部４ｆＤの場合も、緩衝部連結部７０Ｄの小径部７１と緩衝板状部５０の丸孔の貫通孔５３Ｄとの嵌合により第２緩衝部４ｓＤと一体に固定されることによって、第１実施形態の場合の下部緩衝材４と同様に作用し、同様の効果を得ることができる。

図１５Ａは、第６実施形態の下部緩衝材４Ｅにおいて、基本的な裁頭円錐形の緩衝部連結部７０と組み合わされる第２緩衝部４ｓＥを示す底面図である。図１５Ｂは、図１５Ａの第２緩衝部４ｓＥを斜め下方から見た斜視図である。

第６実施形態の第２緩衝部４ｓＥにおいて、緩衝板状部５０の貫通孔５３Ｅの形状は、四角形状に形成されている。具体的には、四辺の長さ及びなす角が等しい四角筒状に形成されている。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第６実施形態の第２緩衝部４ｓＥの場合も、緩衝板状部５０の貫通孔５３Ｅに内接する円の直径は、緩衝部連結部７０の下端部から上端部の手前までの裁頭円錐形の外径よりも大径であり、緩衝部連結部７０の上端部の手前から上端部までの裁頭円錐形の外径よりも小径である。そのため、緩衝部連結部７０が下端部から緩衝板状部５０の貫通孔５３Ｅに挿通されると、緩衝部連結部７０の上端部付近が貫通孔５３Ｅにより半径方向内側へ押しつぶされるようにして嵌合され、これにより、第１緩衝部４ｆと第２緩衝部４ｓＥとは、一体に固定される。

そして、第６実施形態の第２緩衝部４ｓＥの場合も、裁頭円錐形の緩衝部連結部７０の上端部付近と緩衝板状部５０の貫通孔５３Ｅとの嵌合により第１緩衝部４ｆと一体に固定されることによって、第１実施形態の場合の下部緩衝材４と同様に作用し、同様の効果を得ることができる。

図１６Ａは、第７実施形態の下部緩衝材４Ｆにおいて、基本的な裁頭円錐形の緩衝部連結部７０と組み合わされる第２緩衝部４ｓＦを示す底面図である。図１６Ｂは、図１６Ａの第２緩衝部４ｓＦを斜め下方から見た斜視図である。

第７実施形態の第２緩衝部４ｓＦにおいて、緩衝板状部５０の貫通孔５３Ｆの形状は、三角形状に形成されている。具体的には、三辺の長さ及びなす角が等しい三角筒状に形成されている。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第７実施形態の第２緩衝部４ｓＦの場合も、緩衝板状部５０の貫通孔５３Ｆに内接する円の直径は、緩衝部連結部７０の下端部から上端部の手前までの裁頭円錐形の外径よりも大径であり、緩衝部連結部７０の上端部の手前から上端部までの裁頭円錐形の外径よりも小径である。そのため、緩衝部連結部７０が下端部から緩衝板状部５０の貫通孔５３Ｆに挿通されると、緩衝部連結部７０の上端部付近が貫通孔５３Ｆにより半径方向内側へ押しつぶされるようにして嵌合され、これにより、第１緩衝部４ｆと第２緩衝部４ｓＦとは、一体に固定される。

そして、第７実施形態の第２緩衝部４ｓＦの場合も、裁頭円錐形の緩衝部連結部７０の上端部付近と緩衝板状部５０の貫通孔５３Ｆとの嵌合により第１緩衝部４ｆと一体に固定されることによって、第１実施形態の場合の下部緩衝材４と同様に作用し、同様の効果を得ることができる。

図１７Ａは、第８実施形態の下部緩衝材４Ｇにおいて、第１緩衝部４ｆＧと第２緩衝部４ｓＧとの固定の様子を示す図７Ａと同様の縦断側面図である。図１７Ｂは、図１７ＡのＤ部分の拡大図である。

第８実施形態の第１緩衝部４ｆＧにおいて、緩衝部連結部７０Ｇは、基本的な裁頭円錐形の形状を有する。第８実施形態の第２緩衝部４ｓＧにおいて、緩衝板状部５０Ｇは、基本的な丸孔の貫通孔５３Ｇを有する。但し、第８実施形態では、緩衝部連結部７０Ｇの材質は、緩衝板状部５０Ｇの材質に比べてより硬い。例えば、緩衝部連結部７０Ｇが基本的な発泡スチロール製である場合には、緩衝板状部５０Ｇは、発泡スチロールよりも柔らかい材料で作られる。

第８実施形態の第１緩衝部４ｆＧの場合も、緩衝部連結部７０Ｇの下端部から上端部の手前までの裁頭円錐形の外径は、第２緩衝部４ｓＧの緩衝板状部５０Ｇの丸孔の貫通孔５３Ｇの直径よりも小径である。緩衝部連結部７０Ｇの上端部の手前から上端部までの裁頭円錐形の外径は、緩衝板状部５０Ｇの丸孔の貫通孔５３Ｇの直径よりも大径である。そのため、緩衝部連結部７０Ｇが下端部から緩衝板状部５０Ｇの貫通孔５３Ｇに挿通されると、緩衝部連結部７０Ｇの上端部付近により貫通孔５３Ｇが半径方向外側へ押し拡げられるようにして嵌合され、これにより、第１緩衝部４ｆＧと第２緩衝部４ｓＧとは、一体に固定される。

そして、第８実施形態の第１緩衝部４ｆＧの場合も、緩衝部連結部７０Ｇの上端部付近と緩衝板状部５０Ｇの丸孔の貫通孔５３Ｇとの嵌合により第２緩衝部４ｓＧと一体に固定されることによって、第１実施形態の場合の下部緩衝材４と同様に作用し、同様の効果を得ることができる。

図１８Ａは、第９実施形態の下部緩衝材４Ｈにおいて、第１緩衝部４ｆＨと第２緩衝部４ｓＨとの固定の様子を示す図７Ａと同様の縦断側面図である。図１８Ｂは、図１８ＡのＥ部分の拡大図である。

第９実施形態の第１緩衝部４ｆＨにおいて、緩衝部連結部７０Ｈは、図１０Ａ、図１０Ｂに示すような十字状、または図１１Ａ、図１１Ｂに示すような三角形状、または図１２Ａ、図１２Ｂに示すような星型状の形状を有する。第９実施形態の第２緩衝部４ｓＨにおいて、緩衝板状部５０Ｈは、基本的な丸孔の貫通孔５３Ｈを有する。但し、第９実施形態では、緩衝部連結部７０Ｈの材質は、緩衝板状部５０Ｈの材質に比べてより硬い。例えば、緩衝部連結部７０Ｈが基本的な発泡スチロール製である場合には、緩衝板状部５０Ｈは、発泡スチロールよりも柔らかい材料で作られる。

第９実施形態の第１緩衝部４ｆＨの場合も、緩衝部連結部７０Ｈの下端部から上端部の手前までの断面形状の外接円の直径は、第２緩衝部４ｓＨの緩衝板状部５０Ｈの丸孔の貫通孔５３Ｈの直径よりも小径である。緩衝部連結部７０Ｈの上端部の手前から上端部までの断面形状の外接円の直径は、緩衝板状部５０Ｈの丸孔の貫通孔５３Ｈの直径よりも大径である。そのため、緩衝部連結部７０Ｈが下端部から緩衝板状部５０Ｈの貫通孔５３Ｈに挿通されると、緩衝部連結部７０Ｈの上端部付近により貫通孔５３Ｈが半径方向外側へ押し拡げられるようにして嵌合され、これにより、第１緩衝部４ｆＨと第２緩衝部４ｓＨとは、一体に固定される。

そして、第９実施形態の第１緩衝部４ｆＨの場合も、緩衝部連結部７０Ｈの上端部付近と緩衝板状部５０Ｈの丸孔の貫通孔５３Ｈとの嵌合により第２緩衝部４ｓＨと一体に固定されることによって、第１実施形態の場合の下部緩衝材４と同様に作用し、同様の効果を得ることができる。

図１９は、第１０実施形態の梱包構造体１Ｊにおいて、下部緩衝材４Ｊの第２緩衝部４ｓＪを示す図３Ｂと同様の正面図である。

第１０実施形態の第２緩衝部４ｓＪにおいて、緩衝脚部６０Ｊは、第１実施形態の場合のコイルバネ６０に代えて、スポンジより構成されている。スポンジ６０Ｊは、緩衝部連結部７０の発泡スチロールよりも柔らかい材料であり、コイルバネ６０と同程度の高さを有する。スポンジ６０Ｊは、コイルバネ６０と同様に緩衝板状部５０Ｊの四隅に配置されてもよいが、緩衝部連結部７０を囲むようにして四辺に配置されてもよい。なお、図中においてスポンジ６０Ｊについては、概略的に図示している。

第１０実施形態の下部緩衝材４Ｊの場合も、第１実施形態の場合の下部緩衝材４と同様に、梱包箱１０の外方から梱包箱１０に振動が加えられる場合、その振動は、発泡スチロール製の上部緩衝材３０及び下部緩衝材４の緩衝支持部４０によって保護された基板収納容器２に対して、実質的にスポンジ６０Ｊを介して伝播する。スポンジ６０Ｊは、振動を吸収して減衰させる。そのため、梱包箱１０に加えられる振動は、そのまま基板収納容器２に伝播されることはなく、スポンジ６０Ｊにより適切に減衰されたうえで基板収納容器２に伝播される。従って、基板収納容器２が受ける振動は、梱包箱１０に加えられる振動に比べて微弱になった振動であり、基板収納容器２に収納された半導体ウェーハからなる基板Ｗに損傷を及ぼす危険は回避される。

万一、梱包箱１０がある高さから落下した場合、スポンジ６０Ｊが落下の衝撃を吸収できずに縮まると、発泡スチロール製の緩衝部連結部７０の下端部が梱包箱１０の底板１３に当接して、緩衝部連結部７０が落下の衝撃を吸収する。このとき、緩衝支持部４０も同様に落下の衝撃を吸収する。そのため、落下の衝撃は、剛性体の緩衝板状部５０を直接介することなく、発泡スチロール製の緩衝部連結部７０及び緩衝支持部４０を介して基板収納容器２に伝わる。従って、基板収納容器２が受ける衝撃の大きさは、基板収納容器２に収納された半導体ウェーハからなる基板Ｗに重大な損傷を及ぼさないことを期待することもできる大きさであり、結果として、基板Ｗは、重大な損傷を免れることもあり得る。

そして、第１０実施形態の下部緩衝材４Ｊの場合も、第１実施形態の場合の下部緩衝材４と同様に作用し、同様の効果を得ることができる。

なお、第１０実施形態において、例えば、緩衝部連結部７０を囲むようにして四辺にスポンジ６０Ｊを配置する場合、第２緩衝部４ｓＪの緩衝板状部５０Ｊも、緩衝脚部のスポンジ６０Ｊと同種のスポンジによって一体成形されてもよい。この構成によれば、第２緩衝部４ｓＪを安価に得ることができる。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、緩衝脚部は、コイルバネ６０やスポンジ６０Ｊによって構成されていたが、これらに限定されない。例えば、緩衝脚部は、空気バネ、ゲル、ゴム、弾性を有する高分子発泡体のうちのいずれかに構成されてもよい。ここで、弾性を有する高分子発泡体とは、軽石等の弾性を有していない高分子発泡体を含まないことを意味する。

緩衝脚部６０が、空気バネ、ゲル、ゴム、弾性を有する高分子発泡体のうちのいずれかにより構成される場合には、要求される弾性に応じて、緩衝脚部を構成する材料を適宜選択することができる。

また、緩衝板状部５０を剛性体で構成する場合、ベニヤ板やアルミの板（金属薄板）で構成されてもよい。

また、梱包箱１０は、いわゆるプラスチックダンボール箱（プラダン）により構成されたが、これに限定されない。例えば、梱包箱は、紙製の段ボールやアルミフレームにより構成されてもよい。

また、基板収納容器は、本実施形態の形状、寸法のものに限定されない。

１梱包構造体
１０梱包箱
２基板収納容器
４下部緩衝材
４ｆ第１緩衝部
４ｓ第２緩衝部
４０緩衝支持部
５０緩衝板状部
５１上面
５２下面
５３貫通孔
６０コイルバネ（緩衝脚部）
６０Ｊスポンジ（緩衝脚部）
７０緩衝部連結部

Claims

半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、
梱包箱と、
前記梱包箱内において前記基板収納容器が載置される下部緩衝材と、を備え、
前記下部緩衝材は、第１緩衝部と第２緩衝部とを有し、
前記第１緩衝部は、緩衝材により構成されて前記基板収納容器に直接当接して前記基板収納容器を支持する緩衝支持部と、緩衝材により構成されて前記緩衝支持部に接続され前記緩衝支持部から下方へ延びる緩衝部連結部と、を有し、
前記第２緩衝部は、貫通孔が形成された緩衝板状部と、前記第１緩衝部の前記緩衝部連結部よりも柔らかい緩衝材により構成され前記緩衝板状部から下方へ延びる緩衝脚部と、を有し、
前記緩衝板状部の前記貫通孔に前記緩衝部連結部が貫通した状態で、前記緩衝板状部は、前記第１緩衝部を支持する梱包構造体。
前記第２緩衝部の前記緩衝脚部の下端部は前記梱包箱に支持され、
前記第１緩衝部の前記緩衝部連結部の下端部は、前記梱包箱に支持されておらず、前記緩衝脚部の下端部よりも上方に位置して前記梱包箱から離間している請求項１に記載の梱包構造体。
前記第１緩衝部の前記緩衝支持部と前記緩衝部連結部とは、同一の緩衝材により一体成形されている請求項１又は請求項２に記載の梱包構造体。
前記第２緩衝部の前記緩衝脚部を構成する緩衝材は、コイルバネ、空気バネ、ゲル、スポンジ、ゴム、弾性を有する高分子発泡体のうちのいずれかにより構成される請求項１〜請求項３のいずれかに記載の梱包構造体。
前記第２緩衝部の前記緩衝板状部は、それぞれ平坦な上面及び下面を有する板状を有して前記第１緩衝部の前記緩衝支持部に当接可能な剛性体であって、前記第１緩衝部の前記緩衝支持部に前記基板収納容器が載置されたときに前記緩衝支持部の変形を抑えて前記緩衝支持部を支持可能な程度の硬さを有する剛性体により構成されている請求項１〜請求項４のいずれかに記載の梱包構造体。
前記第２緩衝部の前記緩衝脚部を構成する緩衝材は、スポンジにより構成され、前記第２緩衝部の前記緩衝板状部は、前記緩衝脚部を構成するスポンジと同一のスポンジにより構成され、前記緩衝板状部と前記緩衝脚部とは一体成形されている請求項１〜請求項３のいずれかに記載の梱包構造体。
前記第１緩衝部の前記緩衝部連結部は、前記第２緩衝部の前記緩衝板状部に接着されておらず、前記緩衝板状部の前記貫通孔に嵌合されることによって前記緩衝板状部に固定されている請求項１〜請求項６のいずれかに記載の梱包構造体。