KR101511731B1 - 웨이퍼 운반장치 - Google Patents

웨이퍼 운반장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101511731B1
KR101511731B1 KR20130040558A KR20130040558A KR101511731B1 KR 101511731 B1 KR101511731 B1 KR 101511731B1 KR 20130040558 A KR20130040558 A KR 20130040558A KR 20130040558 A KR20130040558 A KR 20130040558A KR 101511731 B1 KR101511731 B1 KR 101511731B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
frame
wafer
support
cartridge
wheel
Prior art date
Application number
KR20130040558A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20140123650A (ko
Inventor
김권수
Original Assignee
주식회사 더시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 더시스템 filed Critical 주식회사 더시스템
Priority to KR20130040558A priority Critical patent/KR101511731B1/ko
Publication of KR20140123650A publication Critical patent/KR20140123650A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101511731B1 publication Critical patent/KR101511731B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B62—LAND VEHICLES FOR TRAVELLING OTHERWISE THAN ON RAILS
    • B62B—HAND-PROPELLED VEHICLES, e.g. HAND CARTS OR PERAMBULATORS; SLEDGES
    • B62B3/00—Hand carts having more than one axis carrying transport wheels; Steering devices therefor; Equipment therefor
    • B62B3/10—Hand carts having more than one axis carrying transport wheels; Steering devices therefor; Equipment therefor characterised by supports specially adapted to objects of definite shape
    • B62B3/108—Hand carts having more than one axis carrying transport wheels; Steering devices therefor; Equipment therefor characterised by supports specially adapted to objects of definite shape the objects being plates, doors, panels, or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers

Abstract

외부충격을 효과적으로 해소하여 웨이퍼를 안전하게 운반할 수 있는 개선된 완충구조를 갖는 웨이퍼 운반장치가 제공된다. 웨이퍼 운반장치는, 제1 프레임, 제1 프레임과 연결되고 제1 프레임 하부로 연장되며 내부에 웨이퍼(Wafer)를 수납하는 수납공간이 형성된 수납부, 제1 프레임 및 수납부와 이격되고, 제1 프레임과 지면 사이에 개재되는 제2 프레임, 제1 프레임과 제2 프레임 사이를 연결하는 적어도 하나의 탄성부재, 및 제2 프레임과 지면 사이에 개재되고 제2 프레임에 연결되는 적어도 하나의 바퀴부; 를 포함하되, 제2 프레임은, 일 측이 탄성부재와 연결되고 타 측이 바퀴부와 연결되는 지주부를 적어도 하나 포함하여, 지주부를 통해 바퀴부로 하중이 전달된다.

Description

웨이퍼 운반장치{Apparatus for carrying wafer}
본 발명은 웨이퍼 운반장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 진동과 같은 외부충격을 효과적으로 해소하여 웨이퍼를 안전하게 운반할 수 있는 개선된 완충구조를 갖는 웨이퍼 운반장치에 관한 것이다.
웨이퍼(Wafer)는 다이오드나 트랜지스터, IC(Integrated Circuit) 칩 등의 미세전자부품을 제조하는 데 사용되는 판상의 재료로서, 실리콘이나 산화알루미늄, 게르마늄, 갈륨비소와 같은 결정질의 반도체 물질을 적층, 성장, 및 커팅 등의 제조과정을 통해 제조한 것이다. 웨이퍼는 직경이 수십 내지 수백 밀리미터 단위인 반면, 두께는 수백 마이크로미터 이내에서 결정되는 극도로 얇은 원판형상으로 형성된다.
이러한 형태상의 특징으로 말미암아, 웨이퍼는 외부충격에 취약하며, 따라서 운반과정에서 전달되는 미세한 진동에 의해서도 웨이퍼가 변형될 수 있다. 종래, 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 웨이퍼를 운반하기 위한 카트나 운반용 대차 등에 완충구조 또는 방진구조를 형성하고, 완충구조를 이용하여 웨이퍼의 손상을 최소화하려는 시도가 있어왔다. 대한민국 공개실용신안 제20-1999-011647호에는 완충구조가 형성된 웨이퍼 운반장치의 일 례가 개시되어 있다.
그러나 종래의 카트나 운반용 대차 등에 적용된 완충구조는 예를 들어, 각종의 스프링이나 실린더, 또는 비틀림 복원력을 갖는 완충부재 등을 단순히 진동 발생위치에 장착한 것에 불과하여, 지면을 통해 전달되는 외부충격을 충분히 해소하지 못하는 단점이 있었다. 또한, 웨이퍼의 운반량이 증가하는 경우, 웨이퍼의 하중이 적절히 분산되지 못하였으며, 이로 인해 지면으로부터 전달되는 진동이 오히려 가중되는 등, 완충효과가 원하는 수준에 미치지 못하는 문제가 있었다.
대한민국 공개실용신안 제20-1999-011647호, (1999.03.25), 도면 1
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로서, 외부충격을 효과적으로 해소하여 웨이퍼를 안전하게 운반할 수 있는 개선된 완충구조를 갖는 웨이퍼 운반장치를 제공하려는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명에 의한 웨이퍼 운반장치는, 제1 프레임; 상기 제1 프레임과 연결되고 상기 제1 프레임 하부로 연장되며 내부에 웨이퍼(Wafer)를 수납하는 수납공간이 형성된 수납부; 상기 제1 프레임 및 상기 수납부와 이격되고, 상기 제1 프레임과 지면 사이에 개재되는 제2 프레임; 상기 제1 프레임과 상기 제2 프레임 사이를 연결하는 적어도 하나의 탄성부재; 및 상기 제2 프레임과 상기 지면 사이에 개재되고 상기 제2 프레임에 연결되는 적어도 하나의 바퀴부; 를 포함하되, 상기 제2 프레임은, 일 측이 상기 탄성부재와 연결되고 타 측이 상기 바퀴부와 연결되는 지주부를 적어도 하나 포함하여, 상기 지주부를 통해 상기 바퀴부로 하중이 전달된다.
상기 바퀴부는 상기 지주부를 통해 가해진 수직하중을 전달받아 완충작용을 하는 완충부재를 포함할 수 있다.
상기 완충부재는 임계하중 이상에서 완충작용하는 완충고무일 수 있다.
상기 운반장치는 상기 수납부 내부에 형성되는 웨이퍼적재용 바를 더 포함하고, 상기 웨이퍼적재용 바에 상기 웨이퍼가 실장된 카트리지가 적재될 수 있다.
상기 운반장치는 상기 웨이퍼적재용 바와 상기 카트리지 사이에 개재되어 상기 카트리지에 전달되는 미세 진동을 흡수하는 개스킷부를 더 포함할 수 있다.
상기 개스킷부는, 상기 카트리지를 향해 돌출되고, 끝단부가 상기 카트리지 표면에 밀착되어, 상기 카트리지를 탄력적으로 지지하는 복수의 돌기부를 포함할 수 있다.
상기 돌기부는 적어도 일부가 상기 카트리지의 적재방향과 수직한 방향으로 연장되는 톱니형상일 수 있다.
상기 웨이퍼적재용 바는, 상기 수납부 내부를 가로지르는 가로바, 및 상기 가로바의 일 측으로 서로 평행하게 연장되는 복수의 지지바를 포함하고, 상기 지지바 사이에 상기 카트리지가 삽입될 수 있다.
상기 지지바는 끝단부가 상기 가로바로부터 상승되어 일정한 각도로 상향 경사진 것일 수 있다.
상기 제1 프레임은 상기 수납부 둘레를 따라 수평방향으로 확장되는 확장부를 포함하고, 상기 지주부는 상기 확장부 하방에 수직방향으로 배치되며, 상기 탄성부재는 상기 확장부와 상기 지주부 사이에 위치할 수 있다.
상기 지주부가 복수로 형성되고, 제2 프레임이 상기 지주부를 서로 연결하는 연결부를 더 포함할 수 있다.
상기 탄성부재는 내부에 작동유체가 매입된 유압식 스프링일 수 있다.
본 발명에 의한 웨이퍼 운반장치는 개선된 완충구조를 이용하여 하중을 유기적으로 전달 및 분산 가능한 효과가 있으며, 이를 통해, 지면으로부터 전달되는 진동과 같은 외부충격을 효과적으로, 용이하게 해소할 수 있다. 따라서, 운반과정에서 웨이퍼의 손상이 방지되고, 다수의 웨이퍼가 안전하게 운반될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 운반장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 운반장치의 A-A'단면도이다.
도 3은 도 1의 운반장치의 측면도이다.
도 4는 도 1의 운반장치의 웨이퍼적재용 바 및 그 일부를 확대하여 도시한 사시도이다.
도 5는 도 4의 웨이퍼적재용 바의 개스킷부를 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 도 1의 운반장치의 바퀴부를 확대하여 도시한 도면이다.
도 7 및 도 8은 도 1의 운반장치의 작동도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하기 위한 방법들은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명을 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 단지 청구항에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하, 도 1 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 운반장치에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 운반장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 운반장치의 A-A'단면도이며, 도 3은 도 1의 운반장치의 측면도이다.
우선, 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 운반장치(1)는 제1 프레임(100), 제1 프레임(100)과 연결되고 내부에 웨이퍼를 수납하는 수납공간이 형성된 수납부(200), 제1 프레임(100) 및 수납부(200)와 이격되고, 제1 프레임(100)과 지면 사이에 개재되는 제2 프레임(300), 제1 프레임(100)과 제2 프레임(300) 사이를 연결하는 적어도 하나의 탄성부재(400), 및 제2 프레임(300)과 지면 사이에 개재되고 제2 프레임(300) 하부에 연결되는 적어도 하나의 바퀴부(500)를 포함한다.
이 때, 제2 프레임(300)은 일 측이 탄성부재(400)와 연결되고, 타 측은 바퀴부(500)와 연결되는 지주부(310)를 적어도 하나 포함하여, 지주부(310)를 통해 하중을 바퀴부(500)로 전달할 수 있다.
수납부(200)는 제1 프레임(100) 하부로 연장되어 무게중심을 낮추어 최대한 안정적으로 유지될 뿐만 아니라, 탄성부재(400) 및 이와 연결된 지주부(310)를 따라 자신의 하중을 바퀴부(500)에 직접 전달하여 분산시킬 수 있다. 또한, 바퀴부(500)는 예를 들어, 임계하중 이상에서 완충효과가 극대화되는 완충고무 등으로 이루어진 완충부재(도 6의 540 참조)를 포함함으로써, 지주부(310)를 따라 가해진 하중을 지속적으로 전달받고 그에 대응하여 유연하게 변형되면서, 외부충격을 효과적으로 해소할 수 있는 것이다.
아울러, 탄성부재(400)는 제1 프레임(100) 및 제2 프레임(300)상호간의 위치관계에 따라 탄력적으로 변형되어 지주부(310)를 통해 하중이 용이하게 전달 및 분산되도록 하고, 역으로 수납부(200)를 향해 전파되는 진동은 차단할 수 있다. 이와 같이 유기적으로 구성된 완충구조를 이용하여 웨이퍼를 외부충격으로부터 보호하고 안전하게 운반할 수 있는 것이다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여, 이러한 특징을 갖는 웨이퍼 운반장치(1)의 각 구성부에 대해 좀 더 상세히 설명한다.
제1 프레임(100)은 수납부(200)의 상부에 위치하며, 도시된 바와 같이 수평방향으로 연장된 방형의 판형상으로 형성될 수 있다. 그러나 제1 프레임(100)의 형상이 이로써 한정될 것은 아니다. 제1 프레임(100)은 수납부(200)가 용이하게 연결될 수 있는 다른 형상으로 얼마든지 변형될 수 있다.
제1 프레임(100)의 외측에는 확장부(110)가 형성된다. 확장부(110)는 수납부(200)의 둘레를 따라 수평방향으로 확장된 것일 수 있으며, 제1 프레임(100)의 단부가 수납부(200)의 외측으로 확장된 것일 수 있다. 확장부(110)의 형상 역시 도시된 바와 같은 형상으로 한정될 필요는 없다. 확장부(110)는 제1 프레임(100) 전체의 형상, 및 수납부(200)의 형상 등을 고려하여 이와 또 다른 형상으로 얼마든지 변형될 수 있다.
즉, 제1 프레임(100)은 수납부(200)를 지지하기 위한 지지구조를 이루는 것으로 특별한 제약 없이 다양한 형상으로 형성될 수 있는 것이며, 수납부(200) 역시 제1 프레임(100)과 다양한 방식으로 연결될 수 있는 것이다. 본 발명의 일 실시예에서와 같이 제1 프레임(100)이 상대적으로 두께가 얇고 넓게 확장된 판형상으로 형성되는 경우, 수납부(200)는 제1 프레임(100)의 하단에 면하여 용이하게 연결될 수 있다. 제1 프레임(100)과 수납부(200)는 판상의 재료를 가공하는 방식으로 서로 일체로 형성된 것일 수 있다.
수납부(200)는 제1 프레임(100)과 연결되며 제1 프레임(100)의 하부로 연장된다. 수납부(200)는 내부에 수납공간이 형성된 방형의 박스형상으로 형성될 수 있으며, 내부에 형성된 수납공간을 이용하여 다수의 웨이퍼를 수용할 수 있다. 수납부(200)의 용적을 증가시켜 웨이퍼의 수납량을 증가시키는 경우, 수납부(200) 전체의 높이나 가로길이가 증가할 수 있다. 그러나 수납부(200)의 형상 역시 이로써 한정될 필요는 없다. 수납부(200)의 형상은 내부에 웨이퍼가 용이하게 수납될 수 있는 한 제약 없이 다양한 형태로 형성될 수 있다. 한편, 수납부(200)의 일 측에는 개폐 가능한 도어(210)가 마련되어 웨이퍼를 용이하게 수납할 수 있으며, 도어(210)의 내측은 실리콘 발포제 등으로 방수 처리하여 수납부(200) 내부로 침투하는 습기 등이 차단되도록 할 수 있다.
한편, 수납부(200) 내부에는 웨이퍼적재용 바(220)가 형성된다. 웨이퍼적재용 바(220)는 웨이퍼가 실장된 카트리지(도 4의 A 참조)를 용이하게 적재하기 위한 것으로, 웨이퍼적재용 바(220)를 이용하여, 카트리지에 담겨 모듈단위로 취급되는 웨이퍼를 좀 더 편리하게 수납할 수 있다.
웨이퍼적재용 바(220)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 수납부(200)를 가로지르는 가로바(221) 및 가로바(221)의 일 측으로 서로 평행하게 연장되는 복수의 지지바(222)를 포함한다. 웨이퍼가 실장된 카트리지는 이와 같이 형성된 지지바(222)의 사이에 삽입되어 수납부(200) 내부에 용이하게 수납될 수 있다. 또한, 웨이퍼적재용 바(220)의 일 측에는 상기 카트리지에 전달되는 미세 진동을 흡수할 수 있도록 구성된 개스킷부(223)가 형성되어 있어, 이를 통해 웨이퍼를 좀 더 안전하게 운반할 수 있다. 웨이퍼적재용 바(220) 및 개스킷부(223)의 구성 및 작용에 대해서는 후술하여 좀 더 상세히 설명한다.
제2 프레임(300)은 제1 프레임(100)과 지면 사이에 개재되고, 각 도면에 도시된 바와 같이 제1 프레임(100) 및 수납부(200)와는 이격된다. 제2 프레임(300)과 수납부(200) 및 제1 프레임(100)과의 상호 위치관계는 운송과정에서 지속적으로 변화할 수 있다.
제2 프레임(300)은 지주부(310) 및 연결부(320)가 수납부(200) 주위로 서로 유기적으로 연결되어 하나가 다른 하나를 지지하는 지지구조를 형성할 수 있다. 이 때 지주부(310)는 복수로 형성될 수 있으며, 연결부(320)는 각각의 지주부(310)를 서로 연결하도록 형성될 수 있다. 지주부(310) 및 연결부(320)는 각각 수직 또는 수평방향으로 연장된 바 또는 빔의 형상으로 형성될 수 있다.
제2 프레임(300)은 도시된 바와 같이 방형의 블록 형상으로 형성될 수 있으나, 이에 한정될 것은 아니다. 제2 프레임(300) 역시 제1 프레임(100)의 형상, 수납부(200)의 형상 등을 고려하여 그에 대응하는 적절한 형상으로 얼마든지 변형될 수 있다.
제2 프레임(300)과 제1 프레임(100) 사이에는 탄성부재(400)가 연결되고, 다시 제2 프레임(300)과 지면 사이에는 바퀴부(500)가 개재된다. 따라서, 수납부(200)의 하중이 제1 프레임(100) 및 탄성부재(400)를 거쳐 제2 프레임(300)과 바퀴부(500)에 전달된다. 바퀴부(500)는 제2 프레임(300) 하부에 회동 가능하게 결합되어 웨이퍼 운반장치(1)를 다양한 방향으로 이동시킬 수 있다.
지주부(310)는 이와 같이 제2 프레임(300)의 서로 다른 위치에 연결된 탄성부재(400)와 바퀴부(500)의 사이를 직접 또는 간접적으로 연결한다. 즉, 지주부(310)는 일 측이 탄성부재(400)와 연결되고, 타 측이 바퀴부(500)와 연결되는 것이며, 바람직하게는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 탄성부재(400)와 바퀴부(500) 사이를 수직으로, 직접 연결하도록 형성될 수 있다.
이러한 구성을 통해 수납부(200)의 하중이 지주부(310)를 따라 각각의 바퀴부(500)로 용이하게 전달 및 분산되는 것이다. 지주부(310)는 도시된 바와 같이 수납부(200) 둘레를 따라 수평방향으로 확장된 확장부(110) 하방에 수직방향으로 배치될 수 있으며, 탄성부재(400)는 확장부(110)와 지주부(310) 사이에 위치할 수 있다. 이로써, 수납부(200)의 하중이 확장부(110)를 따라 서로 다른 방향으로 용이하게 분산될 뿐만 아니라, 탄성부재(400)를 거쳐 지주부(310)에 효과적으로 전달될 수 있다.
즉, 수납부(200)의 진동에 따라 탄성적으로 변형되는 탄성부재(400)가 지주부(310)를 압박하고, 압박된 지주부(310)는 바퀴부(500)에 하중을 용이하게 전달할 수 있는 것이다. 바퀴부(500)는 전술한 바와 같이 임계하중 이상에서 완충효과가 극대화 되는 완충고무 등의 완충부재를 이용하여 수납부(200)로 전달되는 외부충격을 효과적으로 해소할 수 있다. 이에 대해서는 후술하여 좀 더 상세히 설명한다.
탄성부재(400)는 예를 들어, 내부에 공기 또는 그 밖의 압축, 팽창이 가능한 작동 유체가 매입된 유압식 스프링으로 형성될 수 있으며, 제1 프레임(100)과 제2 프레임(300) 사이의 서로 다른 위치에 배치되어 수납부(200)로 전달되는 진동은 차단하고, 반대로 수납부(200)의 하중은 각각 서로 다른 방향으로 분산하여 용이하게 전달할 수 있다. 탄성부재(400)는 도시된 바와 같은 원형의 코일 스프링 형태로 한정될 것은 아니며, 탄력적으로 변형 및 복원이 용이한 이와 또 다른 형상으로 다양하게 변형될 수 있다.
한편, 제2 프레임(300)의 일 측에는 사용자가 파지 가능한 핸들(330)이 형성되어 있어, 사용자는 이를 이용하여 좀 더 편리하게 웨이퍼를 운반할 수 있다.
이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여 웨이퍼적재용 바, 개스킷부, 및 바퀴부 각각에 대해 좀 더 상세히 설명한다.
도 4는 도 1의 운반장치의 웨이퍼적재용 바 및 그 일부를 확대하여 도시한 사시도이고, 도 5는 도 4의 웨이퍼적재용 바의 개스킷부를 설명하기 위한 단면도이다.
우선, 도 4 를 참조하면, 웨이퍼적재용 바(220)는 가로바(221) 및 가로바(221)의 일 측으로 연장된 복수의 지지바(222)로 구성된다. 지지바(222)는 가로바(221)와 수직한 방향으로 연장될 수 있으며, 도시된 바와 같이 하나와 다른 하나가 일정한 간격을 사이에 두고 서로 평행하게 형성될 수 있다. 웨이퍼가 실장된 카트리지(A)는 지지바(222)의 사이에 화살표 방향을 따라 삽입될 수 있다.
웨이퍼적재용 바(220)는 이러한 방식으로 복수의 카트리지(A)를 수용할 수 있으며, 이를 통해 다수의 웨이퍼를 적재할 수 있는 것이다. 수납부(도 1 내지 도 3의 200 참조)의 용적이 충분한 경우, 웨이퍼적재용 바(220)의 배치를 늘려 웨이퍼의 수납량을 증가시킬 수 있다.
지지바(222)는 끝단부가 가로바(221)로부터 상승되어 일정한 각도로 상향 경사를 이룬다. 따라서, 카트리지(A)는 가로바(221)에 적재된 후 경사방향으로 놓이고, 이에 따라 카트리지(A) 내부에 실장된 웨이퍼들은 경사방향으로 기울어진 채 유동이 최소화되어 안정적으로 유지될 수 있다.
개스킷부(223)는 이러한 구조를 갖는 웨이퍼적재용 바(220)와 카트리지(A)의 사이에 개재되어 카트리지(A)에 전달되는 미세 진동을 흡수한다. 개스킷부(223)는 카트리지(A)를 향해 돌출되는 복수의 돌기부(223a)를 포함할 수 있으며, 돌기부(223a)의 끝단부가 카트리지(A)의 표면에 밀착되어 카트리지(A)를 탄력적으로 지지하면서 완충효과를 극대화 할 수 있다.
또한, 돌기부(223a)는 적어도 일부가 카트리지(A)의 적재방향(전술한 화살표 방향 참조)과 수직한 방향으로 연장되는 톱니형상으로 형성된다. 따라서, 톱니형상의 돌기부(223a)가 일종의 스토퍼 역할을 하여, 카트리지(A)의 미끄러짐을 방지하고 적재위치를 유지시킬 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시예에서와 같이 지지바(222)가 경사를 이루는 경우, 돌기부(223a)로 인한 미끄러짐 방지효과가 더욱 유용할 수 있다.
개스킷부(223)는 예를 들어, 지지바(222) 및 가로바(221)가 서로 연결되는 연결부위를 따라 삽입될 수 있으며, 도시된 바와 같이 적어도 한번 굴절되어 카트리지(A) 둘레에 용이하게 밀착될 수 있다. 그러나, 개스킷부(223)의 형상이 이로써 한정될 것은 아니며, 카트리지(A)와 웨이퍼적재용 바(220) 사이에 용이하게 개재될 수 있는 형상, 이를 테면, 판형상이나 넓게 확장된 시트(sheet)형상과 같은 다양한 형상으로, 개스킷부(223)의 형상이 다양하게 변형될 수 있다. 개스킷부(223)는 예를 들어, 실리콘이나, 그 밖의 탄성을 갖는 합성수지 등을 재료로 하여 형성될 수 있다.
도 5를 참조하면, 개스킷부(223)는 단면이 원형인 톱니형상으로 형성되어 카트리지(A) 표면에 용이하게 밀착될 수 있다. 개스킷부(223)는 일 측에 삽입부(223b)가 형성되어 웨이퍼적재용 바(220)의 단부에 용이하게 삽입 고정될 수 있으며, 카트리지(A)가 웨이퍼적재용 바(220)에 적재된 후에는 카트리지(A)와 웨이퍼적재용 바(220)의 사이에 도시된 바와 같이 개재된다.
이로써, 돌기부(223a)의 끝단부가 카트리지(A) 표면에 밀착하게 된다. 따라서 카트리지(A)가 경사진 상태를 유지하면서도 미끄러지지 않고 적재위치를 용이하게 유지하며, 카트리지(A) 내부에 실장된 웨이퍼(B) 역시 일 측으로 기울어진 채 안정적으로 유지되는 것이다. 또한, 탄성을 갖는 돌기부(223a)의 완충작용 의해 웨이퍼적재용 바(220)를 통해 전달되는 미세 진동은 효과적으로 해소되는 것이다. 돌기부(223a)의 돌출된 길이나 두께 등에 따라 돌기부(223a)와 카트리지(A) 사이의 밀착면적이 증가 또는 감소할 수 있으며, 돌기부(223a)의 탄성력 또는 복원력 역시 증가 또는 감소할 수 있다. 따라서, 돌기부(223a)의 길이나 두께 등을 변화시켜 개스킷부(223)의 미끄럼 방지효과 및 완충효과가 극대화 되도록 적절히 조절할 수 있다.
도 6은 도 1의 운반장치의 바퀴부를 확대하여 도시한 도면이다.
도 6을 참조하면, 바퀴부(500)는 지주부(310) 및 연결부(320)를 포함하는 제2 프레임(300)의 하단 특히, 지주부(310)의 하단에 연결되어 지주부(310)를 통해 가해진 하중을 용이하게 전달받을 수 있다.
바퀴부(500)는 제2 프레임(300)에 회동 가능하게 고정되는 고정부(510), 고정부(510)로부터 연장되는 아암(520), 아암(520)의 일 측에 결합되어 지면과 구름 접촉하는 롤러(530), 및 완충부재(540)를 포함한다. 이 때, 완충부재(540)는 예를 들어, 고정부(510)와 아암(520) 사이의 내측에 도시된 바와 같은 위치에 삽입될 수 있다. 이로써, 지면으로부터 전달된 진동 등 외부충격을 용이하게 해소할 수 있다.
즉, 바퀴부(500)는 지주부(310)로부터 수납부(도 1 내지 도 3의 200 참조)의 하중을 전달받고, 전달된 하중에 대응하여 완충작용을 하는 것이다. 이는 완충부재(540)를 통해 이루어지며, 완충부재(540)는 전술한 바와 같이 임계하중 이상에서 완충 작용하는 완충고무 등으로 이루어질 수 있다. 완충고무는 예를 들어, 탄성을 갖는 수지 등을 재료로 하여 이루어진 것일 수 있으나 이에 한정되지 않으며, 특정 하중에서 완충 특성을 갖는 천연 또는 합성의 다양한 재료로부터 형성된 것일 수 있다. 완충고무와 같은 완충부재(540)의 임계하중은 재료의 특성에 기인한 것일 수 있으며, 이는 웨이퍼가 수납된 수납부(200) 전체의 하중을 고려하여 특정 한계값 이상으로 미리 설정된 것일 수 있다.
완충부재(540)는 다양한 형상으로 형성되어 바퀴부(500) 내측에 배치될 수 있는 것으로, 그 형상 및 배치상태가 특정하게 제한될 필요가 없다. 즉, 완충부재(540)는 바퀴부(500) 전체의 형상이나, 아암(520)의 형상 또는 고정부(510)의 형상 등에 대응하여 예를 들어, 블록 형상이나 바 형상 또는 그 밖의 다양한 형상으로 형성될 수 있으며, 그 형상에 따라 배치상태 역시 적절하게 변화될 수 있는 것이다. 이를 통해 완충효과를 극대화하고 지면으로부터 전달되는 충격을 더욱 용이하게 해소할 수 있다.
한편, 아암(520)은 예를 들어, 고정부(510)와 힌지 결합되어 소정 각도 내에서 회동 가능하도록 형성된 것일 수 있다. 따라서, 아암(520)은 완충부재(540)의 완충작용에 대응하여 탄력적으로 움직일 수 있으며, 이러한 움직임이 완충효과를 증가시킬 수 있다.
아울러, 고정부(510)의 상부에 고무패킹(미도시) 등을 형성하여 제2 프레임(320)이 이에 접하게 함으로써 바퀴부(500)의 완충작용을 강화할 수 있다. 또한, 롤러(530) 역시 그 일부(예를 들어, 외주부)를 폴리우레탄과 같은 탄성을 갖는 재질로 형성하여 바퀴부(500)의 완충작용을 강화할 수 있다.
도 7 및 도 8은 도 1의 운반장치의 작동도이다.
이하, 도 7 및 도 8을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 의한 웨이퍼 운반장치의 작동과정에 대해 좀 더 상세히 설명한다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 지면(C)을 따라 웨이퍼 운반장치(1)를 이동시킴에 따라 수납부(200)가 유동할 수 있다. 수납부(200)의 유동은 지면(C)을 통해 전달된 진동에 의한 것일 수도 있으며, 웨이퍼 운반장치(1)의 운반속도 변화 등에 의한 관성력에 기인한 것일 수도 있다.
이 때, 수납부(200) 및 제1 프레임(100)의 수평위치가 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 변화하게 되며, 수납부(200)의 하중은 제1 프레임(100) 특히, 탄성부재(400)와 연결된 제1 프레임(100)의 확장부(110)를 통해 지주부(310)로 전달된다.
즉, 수납부(200)의 하중은 수납부(200)의 수평위치 변화에 따라 각각 다른 위치로 분산되는 것이며, 탄성부재(400)의 압축 및 신장에 의한 복원작용에 의해 지주부(310)로 전달되는 것이다. 이러한 방식으로 일차적으로 지주부(310)에 하중이 가해진다.
지주부(310)에 가해진 하중은 도 7 및 도 8에 각각 도시된 바와 같이 제2 프레임(300)의 하부에 연결된 바퀴부(500)로 다시 전달된다. 결국, 수납부(200)의 하중은 제1 프레임(100), 탄성부재(400), 지주부(310)의 연쇄를 따라 유기적으로 분산 및 전달되어 바퀴부(500)에 가해지는 것이다. 이와 같은 전달작용은 지주부(310)가 탄성부재(400)와 바퀴부(500)의 사이를 직접 또는 간접적으로 연결함으로써 발생하는 것으로, 지주부(310)는 탄성부재(400)와 바퀴부(500)의 사이를 반드시 직접 연결할 필요는 없다. 즉, 지주부(310)는 본 발명의 일 실시예서와 같이 일 측 및 타 측이 각각 탄성부재(400) 또는 바퀴부(500)와 맞닿게 형성되지 않을 수도 있는 것이며, 하중이 용이하게 전달될 수 있는 범위 내에서 연결부(320) 등을 통해 탄성부재(400) 또는 바퀴부(500)와 우회적으로 연결될 수도 있는 것이다.
따라서, 바퀴부(500)에 적절한 하중이 지속적으로 로드되고, 완충부재(540)는 임계하중 이상에서 완충 작용하여 롤러(530) 및 아암(520)등을 통해 지면(C)으로부터 전달되는 외부충격을 용이하게 해소하는 것이다. 이 때, 전술한 바와 같이 아암(520)이 함께 움직여 완충효과를 증가시킬 수 있다. 또한, 탄성부재(400) 역시 탄력적으로 변형되어, 지주부(310)를 통해 지면(C)으로부터 역으로 전달되는 진동을 용이하게 흡수할 수 있다. 이로써, 외부충격에 의한 손상을 방지하고 웨이퍼를 안전하게 운반할 수 있다.
한편, 이와 같은 완충작용에 의해서도 흡수되지 않은 미세진동은 전술한 바와 같이, 웨이퍼적재용 바(도 4 및 도 5의 220 참조)에 형성된 개스킷부(도 4 및 도 5의 223 참조)에 의해 추가로 차단될 수 있다. 따라서, 예기치 않은 충격 등의 요인에 의한 웨이퍼의 손상을 방지하고, 웨이퍼를 용이하게 운반할 수 있는 것이다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1: 웨이퍼 운반장치 100: 제1 프레임
110: 확장부 200: 수납부
210: 도어 220: 웨이퍼적재용 바
221: 가로바 222: 지지바
223: 개스킷부 223a: 돌기부
223b: 삽입부 300: 제2 프레임
310: 지주부 320: 연결부
330: 핸들 400: 탄성부재
500: 바퀴부 510: 고정부
520: 아암 530: 롤러
540: 완충부재
A: 카트리지 B: 웨이퍼
C: 지면

Claims (12)

  1. 제1 프레임;
    상기 제1 프레임과 연결되고 상기 제1 프레임 하부로 연장되며 내부에 웨이퍼(Wafer)를 수납하는 수납공간이 형성된 수납부;
    상기 제1 프레임 및 상기 수납부와 이격되고, 상기 제1 프레임과 지면 사이에 개재되는 제2 프레임;
    상기 제1 프레임과 상기 제2 프레임 사이를 연결하는 적어도 하나의 탄성부재;
    상기 제2 프레임과 상기 지면 사이에 개재되고 상기 제2 프레임에 연결되는 적어도 하나의 바퀴부;
    상기 수납부 내부에 형성되고 상기 웨이퍼가 실장된 카트리지가 적재되는 웨이퍼적재용 바; 및
    상기 웨이퍼적재용 바와 상기 카트리지 사이에 개재되는 개스킷부를 포함하고,
    상기 개스킷부는,
    상기 카트리지를 향해 돌출되고, 끝단부가 상기 카트리지 표면에 밀착되어, 상기 카트리지를 탄력적으로 지지하는 복수의 돌기부를 포함하고,
    상기 돌기부는 적어도 일부가 상기 카트리지의 적재방향과 수직한 방향으로 연장되는 톱니형상이며,
    상기 제2 프레임은, 일 측이 상기 탄성부재와 연결되고 타 측이 상기 바퀴부와 연결되는 지주부를 적어도 하나 포함하여, 상기 지주부를 통해 상기 바퀴부로 하중이 전달되는 웨이퍼 운반장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 바퀴부는 상기 지주부를 통해 가해진 수직하중을 전달받아 완충작용을 하는 완충부재를 포함하는 웨이퍼 운반장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 완충부재는 임계하중 이상에서 완충작용하는 완충고무인 웨이퍼 운반장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 웨이퍼적재용 바는,
    상기 수납부 내부를 가로지르는 가로바, 및
    상기 가로바의 일 측으로 서로 평행하게 연장되는 복수의 지지바를 포함하고, 상기 지지바 사이에 상기 카트리지가 삽입되는 웨이퍼 운반장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 지지바는 끝단부가 상기 가로바로부터 상승되어 상향 경사진 것인 웨이퍼 운반장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 프레임은 상기 수납부 둘레를 따라 수평방향으로 확장되는 확장부를 포함하고,
    상기 지주부는 상기 확장부 하방에 수직방향으로 배치되며,
    상기 탄성부재는 상기 확장부와 상기 지주부 사이에 위치하는 웨이퍼 운반장치.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 지주부가 복수로 형성되고, 상기 제2 프레임이 상기 지주부를 서로 연결하는 연결부를 더 포함하는 웨이퍼 운반장치.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 탄성부재는 내부에 작동유체가 매입된 유압식 스프링인 웨이퍼 운반장치.
KR20130040558A 2013-04-12 2013-04-12 웨이퍼 운반장치 KR101511731B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20130040558A KR101511731B1 (ko) 2013-04-12 2013-04-12 웨이퍼 운반장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20130040558A KR101511731B1 (ko) 2013-04-12 2013-04-12 웨이퍼 운반장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140123650A KR20140123650A (ko) 2014-10-23
KR101511731B1 true KR101511731B1 (ko) 2015-04-15

Family

ID=51994197

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20130040558A KR101511731B1 (ko) 2013-04-12 2013-04-12 웨이퍼 운반장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101511731B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20200039555A1 (en) * 2018-07-31 2020-02-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Transporting apparatus with shock absorbing elements

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105035133A (zh) * 2015-07-13 2015-11-11 苏州市华扬电子有限公司 一种用于导框柔性线路板生产的运载小车
KR101881980B1 (ko) * 2016-10-21 2018-07-25 전북대학교산학협력단 웨이퍼 파손 방지용 카세트
AT17342U1 (de) * 2020-08-13 2022-01-15 Viwa Gmbh Transportwagen für Halbleiterwafer
CN112582311B (zh) * 2020-12-29 2023-12-01 江苏暖阳半导体科技有限公司 一种具有运输防护功能的miniled生产设备

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990011647U (ko) * 1998-06-13 1999-03-25 양락운 반도체 웨이퍼 운반용 카트
KR200319005Y1 (ko) 2003-04-22 2003-07-04 성진세미텍주식회사 반도체 웨이퍼 운반용 수동대차
KR20090009357U (ko) * 2008-03-13 2009-09-17 조광직 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조
KR101119510B1 (ko) * 2011-10-21 2012-02-28 주식회사 맥스디앤티 디스플레이 패널 에이징용 운반대차

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990011647U (ko) * 1998-06-13 1999-03-25 양락운 반도체 웨이퍼 운반용 카트
KR200319005Y1 (ko) 2003-04-22 2003-07-04 성진세미텍주식회사 반도체 웨이퍼 운반용 수동대차
KR20090009357U (ko) * 2008-03-13 2009-09-17 조광직 웨이퍼카세트 운반용 카트의 방진구조
KR101119510B1 (ko) * 2011-10-21 2012-02-28 주식회사 맥스디앤티 디스플레이 패널 에이징용 운반대차

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20200039555A1 (en) * 2018-07-31 2020-02-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Transporting apparatus with shock absorbing elements
US11590996B2 (en) * 2018-07-31 2023-02-28 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Transporting apparatus with shock absorbing elements

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140123650A (ko) 2014-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101511731B1 (ko) 웨이퍼 운반장치
JP6027255B2 (ja) 基板収納容器を梱包するための梱包構造体
KR200412713Y1 (ko) 캐스터의 완충장치
JP6360259B2 (ja) 電池装置、電池ユニット及び電池装置の設置方法
JP2008239170A (ja) 防振機構
KR102090806B1 (ko) 완충 캐스터
JP5452643B2 (ja) 緩衝材
JP5992822B2 (ja) 移動体
JP4329536B2 (ja) 半導体ウェハーの収納具
KR102111947B1 (ko) 기판수납용기를 포장하기 위한 포장구조
EP3239065B1 (en) Pallet for transferring a glass plate
JP7162977B2 (ja) カセットホルダ
JP6988302B2 (ja) 梱包構造体、半導体ウェーハの梱包方法および輸送方法
JP7263752B2 (ja) 梱包装置
JP4850875B2 (ja) パレット
KR100516781B1 (ko) 클린룸에서사용되는운반장치
KR20140002010U (ko) 기판 보관 용기를 위한 패키지 구조물
CN213535668U (zh) 一种玻璃包装箱
JP3019701U (ja) 緩衝運搬函
JP3134802U (ja) パレット
JP7213774B2 (ja) ウエハ収容容器
JP3141376U (ja) 緩衝支持構造
JP3779224B2 (ja) 包装用緩衝材及び包装用箱
KR200415317Y1 (ko) 웨이퍼 보관박스
JP6033168B2 (ja) 緩衝部材

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
LAPS Lapse due to unpaid annual fee