JP3124422U - クリーンルーム用ワゴン - Google Patents
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Abstract
【解決手段】底部枠1の下面に導電性を有するキャスター6を複数配したワゴン基体Aと、ワゴン基体Aの底部枠1に導電性を有する防振具20を介して固定した防振フレームBと、防振フレームBの棚枠11に導電性を有する防振具20を介して固定した適数の防振トレーCとからなり、防振トレーCには、複数の被搬送物を収納するケース40が載置可能となる複数の収容凹部32を形成する。
【選択図】図2
Description
これは、複数のワークが収容されたカセットを、高いクリーン度が確保された内部空間内に複数個収容して移動可能な防塵ワゴンであって、上記各カセットが内部空間内を移動可能とされているとともに、高いクリーン度が確保され上記ワークに対して所定の処理を施すための装置が収容された処理室と結合される結合部を有し、かつ、上記結合部が上記処理室と結合された状態で、選択されたカセットを上記結合部内に移動した後に、そのカセットを上記処理室側に移送できるように構成されたものである。
また、ワゴン自体に静電気等が発生したときに、この静電気が被搬送物に悪影響を与える虞がある等の難点があった。
しかも、ワゴン自体の構成が簡素で、小型、軽量に形成でき、操作性に優れ、取扱い易く、使い勝手に優れ、外観上の体裁も良く、また、量産に適し、低廉で、経済的なクリーンルーム用ワゴンとなる。
しかも、ワゴン自体の構成が簡素で、堅牢で、耐久性に優れ、小型、軽量に形成でき、操作性に優れ、取扱い易く、使い勝手に優れ、外観上の体裁も良く、また、量産に適し、製造コストの負担を低減でき、低廉で、経済的なクリーンルーム用ワゴンとなる。
本考案は、例えば、クリーンルーム(主に、半導体クリーンルーム)内で使用されるワゴンであって、例えば、半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、検査や製造のために搬送できるようにしたクリーンルーム用ワゴンに係るものである。尚、本考案のクリーンルーム用ワゴンが搬送する被搬送物は、半導体に関連するものだけでなく、例えば、薬の開発に関連するものや、適宜菌の検査に関連するものや、その他の適宜分野のものであっても良い。
更に、本考案のクリーンルーム用ワゴンは、底部枠1の下面に導電性を有するキャスター6が複数配されているワゴン基体Aと、このワゴン基体Aの底部枠1に導電性を有する防振具20を介して固定される防振フレームBと、この防振フレームBの棚枠11に導電性を有する防振具20を介して固定される適数の防振トレーCとからなるものである。しかも、この防振トレーCに、複数の被搬送物が収納されるケース40を載置可能となるような複数の収容凹部32を形成したものである。
尚、図中13は、棚枠11の左右長辺間を跨ぐように配される複数の取付用横架材で、この取付用横架材13は、棚枠11全体の強度を高めると共に、棚枠11の上方に防振具20を介して防振トレーCを取付できるように設けられたものである。
しかも、この弾性体22中央の空洞部24には、銅線等で形成される適宜導電線25が配されており、この導電線25の上下端部が下部取付板21と上部取付板23に夫々接続されている。すなわち、下部取付板21と上部取付板23とが導電線25を介して導電状態となるように形成されている。
しかも、収容凹部32は、水平面に対してある程度の傾斜状態に配される傾斜底面33と、この傾斜底面33の後端縁に連設されると共に、傾斜底面33に対して直角となるように配される傾斜支持面34とで構成されている。すなわち、収容凹部32に載置されるケース40夫々が、相互に干渉或いは接触しないように構成され、更に、ケース40が重力によって傾斜底面33と傾斜支持面34とに常時接触するようになり、ワゴンの移動開始時や停止時にケース40が振動することなく安定的に収容しておけるように構成されている。
加えて、底板31には多数の透孔35が穿設されており、底板31上に塵埃が留まらないように配慮してある。
1 底部枠
2 前部枠
3 後部枠
4 横架補強杆
5 コーナープレート
6 キャスター
7 停止具
B 防振フレーム
10 支柱
11 棚枠
12 上部枠
13 取付用横架材
20 防振具
21 下部取付板
22 弾性体
23 上部取付板
24 空洞部
25 導電線
26 ネジ部
C 防振トレー
30 基枠
31 底板
32 収容凹部
33 傾斜底面
34 傾斜支持面
35 透孔
36 取付用横架材
40 ケース
Claims (2)
- 半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、クリーンルーム内で振動させることなく搬送できるように形成したワゴンであって、底部枠の下面に導電性を有するキャスターが複数配されているワゴン基体と、このワゴン基体の底部枠に導電性を有する防振具を介して固定される防振フレームと、この防振フレームの棚枠に導電性を有する防振具を介して固定される適数の防振トレーとからなり、この防振トレーには、複数の被搬送物が収納されるケースを載置可能となるような複数の収容凹部を形成したことを特徴とするクリーンルーム用ワゴン。
- 半導体ウェハーやその他の半導体部品或いは製品等の適宜被搬送物を、クリーンルーム内で振動させることなく搬送できるように形成したワゴンであって、底部枠の下面に導電性を有するキャスターが複数配されているワゴン基体と、このワゴン基体の底部枠に導電性を有する防振具を介して固定される防振フレームと、この防振フレームの棚枠に導電性を有する防振具を介して固定される適数の防振トレーとからなり、この防振トレーには、複数の被搬送物が収納されるケースを載置可能となるような複数の収容凹部を形成し、防振フレームは、四本の支柱と、この支柱に固定される適数の棚枠と、支柱の上端部に固定される上部枠とを備え、支柱の下端部分とワゴン基体の底部枠との間に複数の防振具を介装し、防振トレーは、基枠と、この基枠に固着される底板とを備え、防振トレーと防振フレームとの間に複数の防振具を介装し、底板には、多数の透孔を設け、防振具は、下部取付板と、弾性体と、上部取付板とを備え、弾性体内に導電線を配して、下部取付板と上部取付板とを導通せしめ、導電性のあるクリーンルームの床部を利用してワゴン自体の静電気の除電が行えるように構成したことを特徴とするクリーンルーム用ワゴン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006004340U JP3124422U (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | クリーンルーム用ワゴン |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006004340U JP3124422U (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | クリーンルーム用ワゴン |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3124422U true JP3124422U (ja) | 2006-08-17 |
Family
ID=43474358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006004340U Expired - Lifetime JP3124422U (ja) | 2006-06-06 | 2006-06-06 | クリーンルーム用ワゴン |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3124422U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021014267A (ja) * | 2016-06-23 | 2021-02-12 | ベルテック アソシエイツ インコーポレイテッドVeltek Associates, Inc. | 取り外し可能なホイールベースを備えたカート |
USD939178S1 (en) | 2015-12-22 | 2021-12-21 | Veltek Associates, Inc. | Wheel base assembly for cart having a braking mechanism |
US11473719B2 (en) | 2014-12-24 | 2022-10-18 | Veltek Associates, Inc. | Stationary transfer platform and cleaning device for supply transport device |
-
2006
- 2006-06-06 JP JP2006004340U patent/JP3124422U/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11473719B2 (en) | 2014-12-24 | 2022-10-18 | Veltek Associates, Inc. | Stationary transfer platform and cleaning device for supply transport device |
US11555576B2 (en) | 2014-12-24 | 2023-01-17 | Veltek Associates, Inc. | Stationary transfer platform and cleaning device for supply transport device |
USD939178S1 (en) | 2015-12-22 | 2021-12-21 | Veltek Associates, Inc. | Wheel base assembly for cart having a braking mechanism |
JP2021014267A (ja) * | 2016-06-23 | 2021-02-12 | ベルテック アソシエイツ インコーポレイテッドVeltek Associates, Inc. | 取り外し可能なホイールベースを備えたカート |
JP7242071B2 (ja) | 2016-06-23 | 2023-03-20 | ベルテック アソシエイツ インコーポレイテッド | 取り外し可能なホイールベースを備えたカート |
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