CN217212821U - 检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种检测设备，包括机架、机械臂组件和固定件，机械臂组件包括固定台与机械臂本体，固定台安装于机架，机械臂本体与固定台连接，固定件安装于机架，固定件包括安装部和限位部，限位部与安装部固定连接，限位部与固定台的侧壁相接触，以对机械臂组件进行限位。本实用新型技术方案通过采用在机架上安装多个固定件，固定件的限位部与固定台的侧壁相接触，以对机械臂组件进行限位，进而防止安装在机械臂本体上的吸附前端在使用或移动过程中出现摆动或振动、影响到吸附前端对晶圆的吸附过程。

Description

检测设备

技术领域

本实用新型涉及机械生产技术领域，特别涉及一种检测设备。

背景技术

生产制造物料的过程中，需要使用到机械臂组件来对物料进行转移操作。

特别是应用到晶圆上，一般采用机械臂组件来转移晶圆，机械臂组件上包括用于吸附晶圆的机械手或吸附前端，吸附前端的吸附口通过真空吸附的方式固定晶圆。但在使用机械手吸附晶圆时，吸附前端会由于移动出现振动的问题，进而容易出现晶圆结构歪斜或是固定晶圆的结构晃动，甚至会出现晶圆从吸附前端脱落的情况发生。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种检测设备，旨在解决机械臂组件移动晶圆时出现的振动问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的检测设备，包括：

机架；

机械臂组件，所述机械臂组件包括固定台与机械臂本体，所述固定台安装于所述机架，所述机械臂本体与所述固定台连接；

固定件，所述固定件安装于所述机架，所述固定件包括安装部和限位部，所述安装部安装于所述机架，所述限位部与所述安装部固定连接，所述限位部与所述固定台的侧壁相接触，以对所述机械臂组件进行限位。

可选地，所述安装部包括底板和连接部，所述连接部连接所述底板和所述限位部，所述底板安装于所述机架。

可选地，所述连接部包括多个支柱，多个所述支柱连接所述底板和所述限位部。

可选地，所述底板的两侧设有多个安装孔，以将所述安装部安装到所述机架上。

可选地，所述限位部凹设有凹槽，所述凹槽装设有接触部，所述接触部与所述固定台接触。

可选地，所述限位部设有定位孔，所述定位孔与所述凹槽相通。

可选地，所述限位部为弧形板，所述弧形板往远离所述固定台的方向内凹设置且与所述固定台的侧壁贴合设置。

可选地，所述底板为方形板结构。

可选地，所述检测设备包括多个所述固定件，多个所述固定件围成一限位空间，所述机械臂组件在所述限位空间移动。

可选地，所述固定台为可升降机构，所述固定台用于带动所述机械臂本体沿所述固定台的中心轴线方向往复移动。

本实用新型提出的检测设备，包括机架、机械臂组件和固定件，机械臂组件包括固定台与机械臂本体，固定台安装于机架，机械臂本体与固定台连接，固定件安装于机架，固定件包括安装部和限位部，限位部与安装部固定连接，限位部与固定台的侧壁相接触，以对机械臂组件进行限位。本实用新型技术方案通过采用在机架上安装多个固定件，固定件的限位部与固定台的侧壁相接触，以对机械臂组件进行限位，进而防止安装在机械臂本体上的吸附前端在使用或移动过程中出现摆动或振动、影响到吸附前端对晶圆的吸附过程。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型固定件安装到机架上时的一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型机械臂组件与固定件接触时的一实施例的结构示意图；

图3为本实用新型固定件没有装饰有接触部时一实施例的结构示意图；

图4为本实用新型固定件装饰有接触部时一实施例的结构示意图；

图5为本实用新型固定件装饰有接触部时在另一视角下的一实施例的结构示意图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				100	检测设备	321	安装孔
10	机架	322	连接部
				20	机械臂组件	323	支柱
21	固定台	33	限位部
				22	机械臂本体	330	凹槽
30	固定件	331	接触部
				31	限位空间	332	定位孔
32	安装部	333	弧形板
				320	底板

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“A和/或B为例”，包括A方案，或B方案，或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提出一种检测设备100。参照图1至图5，图1为本实用新型固定件30安装到机架10上时的一实施例的结构示意图；图2为本实用新型机械臂组件20与固定件30接触时的一实施例的结构示意图；图3为本实用新型固定件30没有装饰有接触部331时一实施例的结构示意图；图4为本实用新型固定件30装饰有接触部331时一实施例的结构示意图；图5为本实用新型固定件30装饰有接触部331时在另一视角下的一实施例的结构示意图。

在本实用新型实施例中，如图1所示，本实用新型提出的检测设备100，包括：

机架10；

机械臂组件20，所述机械臂组件20包括固定台21与机械臂本体22，所述固定台21安装于所述机架10，所述机械臂本体22与所述固定台21连接；

固定件30，所述固定件30安装于所述机架10，所述固定件30包括安装部32和限位部33，所述安装部32安装于所述机架10，所述限位部33与所述安装部32固定连接，所述限位部33与所述固定台21的侧壁相接触，以对所述机械臂组件20限位。

本实用新型技术方案通过采用在所述机架10上安装多个所述固定件30，所述固定件30的所述限位部33与所述固定台21相接触，以对所述机械臂组件20限位，进而防止安装在所述机械臂本体22上的吸附前端在使用或移动过程中出现摆动或振动、影响到吸附前端对晶圆的吸附过程。

为了安装所述固定件30到所述机架10上，所述安装部32包括底板320和连接部322，所述连接部322连接所述底板320和所述限位部33，所述底板320安装于所述机架10。

在一实施例中，所述安装部32通过所述底板320安装到所述机架10上。本实用新型不对所述底板320的尺寸进行限定。所述固定件30的材质可以选用金属材质或是塑料材质等。

为了均匀地对所述限位部33进行支撑，所述连接部322包括多个支柱323，多个所述支柱323连接所述底板320和所述限位部33。

在一实施例中，多个所述支柱323均匀安装到所述连接部322与所述限位部33之间。且因所述限位部33不是平板结构，对应地，每个支柱323的长度不一。其中，所述连接部322也可以只设置一个支柱323，但一个支柱323的支撑力比较小且只能对所述限位部33的中间部分进行限位。一旦所述限位部33受力过大，所述支柱323就容易被折断。因此，在一实施例中，所述连接部322设置3个支柱323，以对所述限位部33进行支撑，进而分散所述限位部33受到的压力。

为了将所述固定件30安装到所述机架10上，所述底板320两侧设有多个安装孔321，以将所述安装部32安装到所述机架10上。

在一实施例中，螺丝贯穿所述安装孔321并钉入到所述机架10上，所述底板320与所述机架10相连接，进而将所述固定件30安装到所述机架10上。

为了避免所述固定件30与所述固定台21硬碰硬，造成所述固定件30或所述固定台21受损。所述限位部33凹设有凹槽330，所述凹槽330装设有接触部331，所述接触部331与所述固定台21接触。

在一实施例中，为了避免所述固定件30与所述固定台21相接触时，所述固定件30或所述固定台21相互硬性摩擦导致刮坏的问题出现，所述限位部33设置有所述凹槽330，且在所述凹槽330处装饰上所述接触部331。其中，所述接触部331由尼龙材料或其他缓冲材料组成，所述接触部331与所述固定台21接触为软接触。在所述固定台21上下移动时，所述接触部331与所述固定台21发生膜层，就不会出现因为过度压紧导致固定台21或固定件30损坏的问题。在实际操作中，所述固定台21被所述固定件30所限制后，安装在所述机械臂本体22上的吸附前端就不易振动，以保障所述吸附前端吸附上的晶圆不晃动。

为了将所述接触部331固定到所述凹槽330中，所述限位部33设有定位孔332，所述定位孔332与所述凹槽330相通。

在一实施例中，所述接触部331可以是采用粘贴的方式粘贴到所述凹槽330中，多余的胶水可以通过所述定位孔332流掉。若所述接触部331为多层结构，且所述接触部331底部采用硬板结构，那么所述接触部331可以通过螺丝贯穿所述定位孔332和螺母锁合的方式来安装到所述限位部33上。

为了更好地限制住所述固定台21，所述限位部33为弧形板333，所述弧形板333往远离所述固定台21的方向内凹设置且与所述固定台21的侧壁贴合设置。对应地，所述凹槽330为弧形槽。

在一实施例中，所述固定台21为圆台结构，为使所述限位部33贴合所述固定台21的侧壁，所述限位部33设置为弧形板333。所述弧形板333的表面直接接触或是通过所述接触部331与所述固定台21贴合。因所述接触部331由尼龙材料或其他缓冲材料组成，在机械臂组件20上下移动时，所述接触部331与固定台21发生膜层，就不会出现因为过度压紧导致固定台21或固定件30损坏的问题。所述固定台21被所述固定件30所限制后，所述固定台21上的吸附前端就不易振动，以保障所述吸附前端吸附上的晶圆不晃动。

在一实施例中，所述机架10采用的是方形管结构，对应的，所述底板320为方形板结构，以使所述固定件30通过所述底板320安装到所述机架10上。

为了限制住所述机械臂组件20，多个固定件30围成一限位空间31，所述机械臂组件20在所述限位空间31移动。在一实施例中，所述检测设备100安装有两个所述固定件30，两所述固定件30对称设置，并围成一限位空间31，所述限位空间31呈圆筒型。所述固定台21在所述限位空间31内升降或平移时，所述固定台21与所述固定件30接触且所述固定件30对所述固定台21限位，以保障所述固定台21和所述机械臂本体22升降过程中不易晃动、振动，安装在所述机械臂本体22上的吸附前端就不易振动，也保障了吸附前端吸附上的晶圆不晃动。

其中，所述机械臂组件20整体设计为方形时，所述机架10上安装多个所述固定件30，且所述固定件30的限位部33也对应设置为方形。多个所述固定件30围成一限位空间31，所述机械臂组件20在所述限位空间31内升降或平移，所述机械臂组件20不易晃动或振动。所述固定件30的数量可以是2个、3个或4个。

可选地，所述固定台21为可升降机构，所述固定台21用于带动所述机械臂本体22沿所述固定台21的中心轴线方向往复移动。

在实际操作中，所述机械臂本体22与所述固定台21相连接，多个所述固定件30对所述固定台21限位，所述固定台21在所述限位空间31升降。因所述固定台21被所述固定件30所限位后，所述机械臂本体22不易振动，以保障所述机械臂本体22吸附的晶圆不晃动。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种检测设备，其特征在于，包括

机架；

机械臂组件，所述机械臂组件包括固定台与机械臂本体，所述固定台安装于所述机架，所述机械臂本体与所述固定台连接；

固定件，所述固定件安装于所述机架，所述固定件包括安装部和限位部，所述安装部安装于所述机架，所述限位部与所述安装部固定连接，所述限位部与所述固定台的侧壁相接触，以对所述机械臂组件进行限位。

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述安装部包括底板和连接部，所述连接部连接所述底板和所述限位部，所述底板安装于所述机架。

3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述连接部包括多个支柱，多个所述支柱连接所述底板和所述限位部。

4.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述底板的两侧设有多个安装孔，以将所述安装部安装到所述机架上。

5.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述限位部凹设有凹槽，所述凹槽装设有接触部，所述接触部与所述固定台接触。

6.如权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述限位部设有定位孔，所述定位孔与所述凹槽相通。

7.如权利要求1至6中任意一项所述的检测设备，其特征在于，所述限位部为弧形板，所述弧形板往远离所述固定台的方向内凹设置且与所述固定台的侧壁贴合设置。

8.如权利要求2至6中任意一项所述的检测设备，其特征在于，所述底板为方形板结构。

9.如权利要求1至6中任意一项所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备包括多个所述固定件，多个所述固定件围成一限位空间，所述机械臂组件在所述限位空间移动。

10.如权利要求1至6中任意一项所述的检测设备，其特征在于，所述固定台为可升降机构，所述固定台用于带动所述机械臂本体沿所述固定台的中心轴线方向往复移动。

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